JP3185797B2 - Waveguide film with adhesive sheet and mounting method thereof - Google Patents

Waveguide film with adhesive sheet and mounting method thereof

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JP3185797B2
JP3185797B2 JP34886999A JP34886999A JP3185797B2 JP 3185797 B2 JP3185797 B2 JP 3185797B2 JP 34886999 A JP34886999 A JP 34886999A JP 34886999 A JP34886999 A JP 34886999A JP 3185797 B2 JP3185797 B2 JP 3185797B2
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waveguide
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、導波路フィルムの
片面、或いはその両面に接着シートが形成された高安定
な光学特性を有する接着シート付き導波路フィルム及び
その実装方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a waveguide film with an adhesive sheet having highly stable optical characteristics and an adhesive sheet formed on one side or both sides of the waveguide film, and a mounting method thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、大容量の情報伝送として多チャン
ネル並列光インターコネクションの研究が盛んに行われ
るようになってきているが、この多チャンネル並列光イ
ンターコネクションを実現する上でのキー部品の一つと
して、多芯光コネクタと多チャンネル光素子アレイとの
間を接続するための導波路フィルムがある。
2. Description of the Related Art In recent years, research on multi-channel parallel optical interconnection has been actively conducted for large-capacity information transmission, but key components for realizing this multi-channel parallel optical interconnection have been developed. As one, there is a waveguide film for connecting between a multi-core optical connector and a multi-channel optical element array.

【0003】図8に示すように、この導波路フィルムF
は、例えば16mm×13mmのポリイミドフィルムa
内に低屈折率のクラッド層bで覆われた高屈折率のコア
層cが略矩形状に所望間隔(250μm)でアレイ状に
配列されたものである。そして、その一方の端面d側に
は光ファイバアレイeが接続され、他方の端面f側には
発光ダイオード(或いは半導体レーザ)又はフォトダイ
オードのアレイgが配置されている。また、この端面f
側には45°ミラーiが形成され、上記発光ダイオード
又はフォトダイオードのアレイgとの光結合を効率良く
行わせるように構成されている。
As shown in FIG. 8, this waveguide film F
Is, for example, a polyimide film a of 16 mm × 13 mm
A high-refractive-index core layer c covered with a low-refractive-index cladding layer b is arranged in an array in a substantially rectangular shape at a desired interval (250 μm). An optical fiber array e is connected to one end face d, and an array g of light emitting diodes (or semiconductor lasers) or photodiodes is arranged on the other end face f. Also, this end face f
A 45 ° mirror i is formed on the side, and is configured to efficiently perform optical coupling with the light emitting diode or photodiode array g.

【0004】そして、このような導波路フィルムFは、
図9に示すような工程によって得られるようになってい
る。すなわち、(a)プラスチックフィルム表面に下部
クラッド層を形成し、(b)この下部クラッド層上にコ
ア層を形成した後、(c)このコア層上にフォトレジス
ト膜を形成し、(d)そのフォトレジスト膜上にフォト
マスクを置き、そのフォトマスクを介してUV光照射し
てフォトレジスト膜を露光する。次に、(e)そのフォ
トレジスト膜を現像してフォトマスクに対応したフォト
レジストパターンを形成した後、(f)このパターンを
用いてコア層をドライエッチングする。その後、(g)
このフォトレジスト膜を除去し、(h)フォトレジスト
パターンに対応した略矩形状のコア層パターンを形成
し、(i)このコア層パターンの上を覆うように上部ク
ラッドを形成した後、最後に(j)導波路端面へ45°
ミラーを形成することによって得られるようになってい
る。
[0004] Such a waveguide film F is
It is obtained by a process as shown in FIG. That is, (a) a lower clad layer is formed on the surface of a plastic film, (b) a core layer is formed on the lower clad layer, and (c) a photoresist film is formed on the core layer. A photomask is placed on the photoresist film, and the photoresist film is exposed to UV light through the photomask. Next, (e) developing the photoresist film to form a photoresist pattern corresponding to the photomask, and (f) dry etching the core layer using the pattern. Then, (g)
The photoresist film is removed, (h) a substantially rectangular core layer pattern corresponding to the photoresist pattern is formed, and (i) an upper clad is formed so as to cover the core layer pattern. (J) 45 ° to waveguide end face
It is obtained by forming a mirror.

【0005】また、このような導波路フィルムFは、図
10に示すような実装方法で基板h上に固定されて実装
されるようになっている。すなわち、先ず、基板h上に
固定用スペーサjを設けてその上にこの導波路フィルム
Fを固定した後、その導波路フィルムFの後端部に、光
ファイバーホルダーk、座屈部lを介してBFコネクタ
ーインターフェースmによって光ファイバアレイeを取
り付ける。尚、このBFコネクターインターフェースm
はコネクターホルダーnで保持される。次いで、この導
波路フィルムFの先端側に、VCSEL(面発光レーザ
アレイ)あるいはPDアレイ(フォトダイオードアレ
イ)gを光学的に結合することで基板h上に実装される
ようになっている。
Further, such a waveguide film F is fixed and mounted on a substrate h by a mounting method as shown in FIG. That is, first, the fixing film j is provided on the substrate h, and the waveguide film F is fixed thereon, and then the optical fiber holder k and the buckling portion 1 are provided at the rear end of the waveguide film F. The optical fiber array e is attached by the BF connector interface m. In addition, this BF connector interface m
Is held by the connector holder n. Next, a VCSEL (surface emitting laser array) or a PD array (photodiode array) g is optically coupled to the front end side of the waveguide film F so as to be mounted on the substrate h.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
構成をした従来の導波路フィルムF及びその実装方法に
は以下に示すようないくつかの問題点があった。
However, the conventional waveguide film F having such a configuration and the mounting method thereof have several problems as described below.

【0007】(1)先ず、この導波路フィルムFは、曲げ
状態、引き延ばし状態によって波長、損失、偏波等の光
学特性が変化するため、ある一定の曲げあるいは引き延
ばし状態を維持したまま、すなわち均一な状態で固定し
ておかなければならない。しかしながら、従来の導波路
フィルムFはそのようなしっかりとした固定方式が採用
されていないため、径時変形によってその光学特性が変
化することがあった。
(1) First, since the waveguide film F changes its optical characteristics such as wavelength, loss, and polarization depending on the bending state and the stretching state, the waveguide film F maintains a certain bending or stretching state, ie, is uniform. It must be fixed in a state. However, the conventional waveguide film F does not employ such a firm fixing method, and its optical characteristics may change due to deformation with time.

【0008】(2)しかも、導波路フィルムの厚みは数1
0μm〜数100μmの範囲といった薄膜であるため、
部屋の空調による風圧や湿度の変化などによって設置状
態が変化し易く、それによっても光学特性が変動すると
いった問題がある。
(2) In addition, the thickness of the waveguide film is as follows:
Because it is a thin film in the range of 0 μm to several 100 μm,
There is a problem that the installation state is apt to change due to a change in wind pressure or humidity due to air conditioning in the room, and the optical characteristics also fluctuate accordingly.

【0009】(3)従来の導波路フィルムFは光配線用の
光伝送路であり、光信号処理や電気信号処理を行う機能
が含まれていない。
(3) The conventional waveguide film F is an optical transmission line for optical wiring, and does not include a function of performing optical signal processing and electric signal processing.

【0010】(4)基板に対して任意の位置に導波路フィ
ルムFを設置して固定することが難しいため、実装時の
制約が大きいといった欠点がある。
(4) It is difficult to install and fix the waveguide film F at an arbitrary position with respect to the substrate, so that there is a drawback that mounting restrictions are large.

【0011】そこで、本発明はこのような課題を有効に
解決するために案出されたものであり、その主な目的
は、光学特性の変化が少ない新規な接着シート付き導波
路フィルム及びその実装方法を提供するものである。
The present invention has been devised in order to effectively solve such a problem, and a main object of the present invention is to provide a novel waveguide film with an adhesive sheet having little change in optical characteristics and its mounting. It provides a method.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に第一の発明は、請求項1に示すように、プラスチック
フィルム上の低屈折率のクラッド層中に断面略矩形状を
した高屈折率のコア層が少なくとも1つ以上埋め込まれ
ていると共に、上記プラスチックの裏面または上記クラ
ッド層の上面若しくはその両方の面に、紫外線硬化型の
接着シートが形成されている接着シート付き導波路フィ
ルムである。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a high-refractive element having a substantially rectangular cross section in a low-refractive-index cladding layer on a plastic film. At least one core layer is embedded in the base material, and an ultraviolet curing type is provided on the back surface of the plastic or the upper surface or both surfaces of the clad layer .
It is a waveguide film with an adhesive sheet on which an adhesive sheet is formed.

【0013】また、第二の発明は、請求項2に示すよう
に、接着シートが、熱硬化型の接着シートである接着シ
ート付き導波路フィルムである。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a waveguide film with an adhesive sheet, wherein the adhesive sheet is a thermosetting adhesive sheet .

【0014】また、第三の発明は、請求項3に示すよう
に、接着シートが、感圧型の接着シートである接着シー
ト付き導波路フィルムである。
According to a third aspect of the present invention, the adhesive sheet is a pressure-sensitive adhesive sheet.
This is a waveguide film with a groove .

【0015】また、第四の発明は、請求項4に示すよう
に、上記接着シートの屈折率が、上記コア層の屈折率よ
りも高い接着シート付き導波路フィルムである。
According to a fourth aspect of the present invention, the refractive index of the adhesive sheet is larger than the refractive index of the core layer.
It is a waveguide film with an adhesive sheet having a higher thickness.

【0016】また、第五の発明は、請求項5に示すよう
に、上記プラスチックフィルムと接着シートとの間に、
絶縁体層と銅箔層が少なくとも1層ずつ形成されている
接着シート付き導波路フィルムである。
According to a fifth aspect of the present invention, as described in claim 5, between the plastic film and the adhesive sheet,
This is a waveguide film with an adhesive sheet on which at least one insulator layer and at least one copper foil layer are formed.

【0017】また、第六の発明は、請求項6に示すよう
に、上記絶縁体層と銅箔層に電子回路、電子部品が実装
されている接着シート付き導波路フィルムである。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a waveguide film with an adhesive sheet in which electronic circuits and electronic components are mounted on the insulator layer and the copper foil layer.

【0018】また、第七の発明は、請求項7に示すよう
に、上記接着シート付き導波路フィルムの接着シート面
側を基板上に貼り付けて基板に実装するようにした接着
シート付き導波の実装方法である。
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a waveguide with an adhesive sheet, wherein the adhesive sheet surface side of the waveguide film with an adhesive sheet is attached to a substrate and mounted on the substrate. This is the implementation method.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】次に、本発明を実施する好適一形
態を添付図面を参照しながら説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

【0020】図1は本発明に係る接着シート付き導波路
フィルム1の実施の一形態を示したものであり、図1
(a)はその断面図、(b)はその平面図である。
FIG. 1 shows an embodiment of a waveguide film 1 with an adhesive sheet according to the present invention.
(A) is a sectional view, and (b) is a plan view.

【0021】図示するように、この接着シート付き導波
路フィルム(以下、単に導波路フィルムと称す)1は、
クラッド用フィルム(プラスチックフィルム)2の片面
側に側面クラッド層3を介して断面矩形状のコア層4が
一定の間隔を隔てて複数(本実施の形態にあっては6
つ)形成されており、さらにその上面には上部クラッド
層5が形成された構造となっている。
As shown, the waveguide film with an adhesive sheet (hereinafter, simply referred to as a waveguide film) 1 is
A plurality of core layers 4 each having a rectangular cross section are provided on one side of the cladding film (plastic film) 2 with a certain distance therebetween via a side cladding layer 3 (in the present embodiment, 6 layers).
And an upper clad layer 5 is formed on the upper surface thereof.

【0022】また、このクラッド用フィルム2の裏面側
には、屈折率がコア層4の屈折率よりも高い値の接着シ
ート6が形成されており、このクラッド用フィルム2の
裏面側全面を任意の位置に貼り付け固定できるようにな
っている。
An adhesive sheet 6 having a refractive index higher than the refractive index of the core layer 4 is formed on the back side of the cladding film 2. It can be attached and fixed at the position.

【0023】従って、この接着シート6によって導波路
フィルム1を任意の場所や種々の基板上に貼り付けて全
面を均一に固定することができるため、径時変形などに
よる接着シート付き導波路1自体の光学特性(波長特
性、損失特性、偏波特性等)の変動を極めて小さく抑え
ることができる。
Accordingly, the waveguide film 1 can be stuck on an arbitrary place or on various substrates by the adhesive sheet 6 so that the entire surface can be uniformly fixed. Of optical characteristics (wavelength characteristics, loss characteristics, polarization characteristics, etc.) can be extremely small.

【0024】しかも、任意の表面形状の基板表面上に固
定することができるため、取付性も格段に向上する上
に、風圧や湿度の変化等といった外的影響も受け難くな
るため、安定した光学特性を得ることができる。
In addition, since it can be fixed on the surface of the substrate having an arbitrary surface shape, the mountability is remarkably improved, and it is hardly affected by external influences such as changes in wind pressure and humidity. Properties can be obtained.

【0025】さらに側面クラッド層3に漏れて伝搬した
光が上記接着シート6で吸収されて取り除かれるように
なるため、安定した光伝搬特性も得ることができる。
Further, since the light leaking and propagating to the side cladding layer 3 is absorbed and removed by the adhesive sheet 6, stable light propagation characteristics can be obtained.

【0026】ここで、接着シート6の材料としては特に
限定されるものではなく、ポリオレフィン、ウレタン、
アクリル、シラン等の熱硬化型や感圧型、あるいは紫外
線硬化型等を用いることができる。このうち、特に、紫
外線(UV)硬化型接着シートを用いれば、紫外線を照
射するだけで容易に任意の場所に応力緩和状態で接着す
ることができるため、より安定した光学特性を維持する
ことが可能となる。
Here, the material of the adhesive sheet 6 is not particularly limited, and may be polyolefin, urethane,
A thermosetting type such as acryl or silane, a pressure-sensitive type, an ultraviolet curable type, or the like can be used. Of these, in particular, if an ultraviolet (UV) curable adhesive sheet is used, it can be easily adhered to any place in a stress-relaxed state only by irradiating ultraviolet light, so that more stable optical characteristics can be maintained. It becomes possible.

【0027】また、クラッド用フィルム2は低屈折率の
材料、例えば、紫外線硬化型エポキシ樹脂(屈折率1.
471、波長0.83μmでの値)やフッ素添加ポリイ
ミドフィルム等を用いることができる。
The cladding film 2 is made of a material having a low refractive index, for example, an ultraviolet curable epoxy resin (refractive index 1.
471, a value at a wavelength of 0.83 μm), a fluorine-added polyimide film, or the like.

【0028】コア層4は、例えば、重水素ポリメタクリ
ル酸メチル(屈折率1.489、波長0.83μm)等
が用いられ、また、このコア層4の両側の低屈折率の側
面クラッド層3や上部クラッド層5は、例えば、UV硬
化型エポキシ樹脂等が用いられる。
The core layer 4 is made of, for example, deuterated polymethyl methacrylate (refractive index: 1.489, wavelength: 0.83 μm). The side cladding layers 3 having a low refractive index on both sides of the core layer 4 are used. The upper clad layer 5 is made of, for example, a UV-curable epoxy resin.

【0029】また、本実施の形態においては、コア層4
の数は6個であるが、この数は本実施の形態に限定され
るものでなくそれ以上、例えば100個以上であっても
良い。
In the present embodiment, the core layer 4
Is six, but this number is not limited to the present embodiment, and may be more, for example, 100 or more.

【0030】また、この導波路フィルム1は、シングル
モード伝送用及びマルチモード伝送用のいずれにも適用
することができる。すなわち、コア層4,4…のサイズ
及びクラッド層3,5との屈折率を変えるだけでシング
ルモード伝送用かマルチモード伝送用のいずれにも構成
することができる。
The waveguide film 1 can be applied to both single mode transmission and multimode transmission. That is, it can be configured for either single-mode transmission or multi-mode transmission simply by changing the size of the core layers 4, 4,... And the refractive index with the cladding layers 3, 5.

【0031】接着シート6の厚さは10μm〜200μ
mの範囲から選択することができ、また、クラッド用フ
ィルム2の厚さも上記接着シート6の厚さと同程度の範
囲から選択されることになる。
The thickness of the adhesive sheet 6 is 10 μm to 200 μm.
m, and the thickness of the cladding film 2 is also selected from the same range as the thickness of the adhesive sheet 6.

【0032】次に、本発明の他の実施の形態を説明す
る。
Next, another embodiment of the present invention will be described.

【0033】図2(1)〜(3)は本発明に係る第二〜
第四の実施の形態を示したものである。先ず、第二の実
施の形態は、図2(1)に示すように上部クラッド5側
にも同じく接着シート6を設けたものである。すなわ
ち、本実施の形態のように両面に接着シート6,6を設
けることにより、両面のいずれか側を任意に接着するこ
とができるため、選択の自由度が増える。例えば、一方
の接着シート6側に電子部品、電子回路、光部品等を接
着し、他方の接着シート6側を基板に貼り付けて固定す
るか、あるいはその逆の方法を自由に選択することが可
能となる。また、上記コア層4が電子部品と基板によっ
て上下からサンドイッチ状に挟まれて固定されるように
なるため、光学特性の変動をより小さく抑えることもで
きる。さらに、クラッド層3,5内を伝搬する不要なク
ラディングモードを両側の接着シート6,6で吸収して
取り除くこともできる。
FIGS. 2 (1) to 2 (3) show second to second embodiments according to the present invention.
This shows a fourth embodiment. First, in the second embodiment, as shown in FIG. 2A, an adhesive sheet 6 is also provided on the upper clad 5 side. That is, by providing the adhesive sheets 6 and 6 on both sides as in the present embodiment, any one of the two sides can be arbitrarily bonded, so that the degree of freedom of selection increases. For example, an electronic component, an electronic circuit, an optical component, or the like may be bonded to one adhesive sheet 6 side and the other adhesive sheet 6 side may be bonded to a substrate and fixed, or the reverse method may be freely selected. It becomes possible. In addition, since the core layer 4 is sandwiched and fixed between the electronic component and the substrate from above and below, the fluctuation of the optical characteristics can be further suppressed. Further, unnecessary cladding modes propagating in the cladding layers 3 and 5 can be absorbed and removed by the adhesive sheets 6 and 6 on both sides.

【0034】一方、第三及び第四の実施の形態は、図2
(2)に示すようにその接着シート6の表面にさらに剥
離自在な保護フィルム7を設けたものである。これによ
って、導波路フィルム1を製造し終えた後から実装する
までの間に接着シート6への埃などの接着を防ぐことが
できるため、接着シート6の接着力の低下や他の部品等
への不要な接着を防止することができる。また、第二の
実施の形態のように両面に接着シート6,6を形成した
場合には、図2(3)に示すように、それぞれの接着シ
ート6,6にそれぞれ保護フィルム7,7を設けること
はいうまでもない。尚、この保護フィルム7はセロファ
ン等からなり、その厚みは数μm〜100μmの範囲か
ら選ばれる。
On the other hand, in the third and fourth embodiments, FIG.
As shown in (2), a protective film 7 which can be peeled off is further provided on the surface of the adhesive sheet 6. Accordingly, it is possible to prevent dust and the like from being adhered to the adhesive sheet 6 after the manufacture of the waveguide film 1 and before mounting the same. Unnecessary adhesion can be prevented. When the adhesive sheets 6, 6 are formed on both sides as in the second embodiment, as shown in FIG. 2 (3), protective films 7, 7 are respectively applied to the adhesive sheets 6, 6 respectively. Needless to say, it is provided. The protective film 7 is made of cellophane or the like, and its thickness is selected from a range of several μm to 100 μm.

【0035】次に、図3〜図5は、それぞれ本発明に係
る第五〜第七の実施の形態を示したものである。先ず、
第五の実施の形態は図3に示すように、コア層4,4…
をクラッド用フィルム2内に埋め込むと共に、クラッド
用フィルム2の下に非熱可塑性ポリイミドフィルムから
なる絶縁体層8と銅箔層9を形成し、その銅箔層9の下
に接着シート6を形成したものである。すなわち、この
ような構成とすることにより、上述した効果に加え、こ
の絶縁体層8と銅箔層9を電子回路用基板材料として用
いると共に、クラッド用フィルム2より上を光回路用と
して用いることができるため、いわゆる光・電気複合回
路構成用フィルムとして兼用させることが可能となる。
尚、この絶縁体層8となる非熱可塑性ポリイミドフィル
ムの厚みは数μm〜数数10μmの範囲が好ましい。ま
た、銅箔層9の厚みは0.8μm〜数100μmの範囲
が好ましく、種々の電気配線パターンを形成することが
できる。
Next, FIGS. 3 to 5 show fifth to seventh embodiments according to the present invention, respectively. First,
In the fifth embodiment, as shown in FIG.
Is embedded in the cladding film 2, an insulating layer 8 made of a non-thermoplastic polyimide film and a copper foil layer 9 are formed below the cladding film 2, and an adhesive sheet 6 is formed below the copper foil layer 9. It was done. That is, with such a configuration, in addition to the above-described effects, the insulator layer 8 and the copper foil layer 9 can be used as a substrate material for an electronic circuit, and the layer above the cladding film 2 can be used for an optical circuit. Therefore, the film can be used also as a so-called optical / electric composite circuit configuration film.
Note that the thickness of the non-thermoplastic polyimide film to be the insulator layer 8 is preferably in the range of several μm to several tens of μm. Further, the thickness of the copper foil layer 9 is preferably in the range of 0.8 μm to several hundred μm, and various electric wiring patterns can be formed.

【0036】一方、第六の実施の形態は、上記第一の実
施の形態に加え、同じくクラッド用フィルム2と接着シ
ート6との間に、さらに非熱可塑性ポリイミドフィルム
からなる絶縁体層8と銅箔層9を形成し、他方、第七の
実施の形態はさらにこの第六の実施の形態に加えそのク
ラッド用フィルム2側にも接着シート6を形成したもの
であり、このような構成とすることにより、同じく光・
電気複合回路構成用フィルムとして兼用させることが可
能となる。
On the other hand, the sixth embodiment is the same as the first embodiment, except that an insulating layer 8 made of a non-thermoplastic polyimide film is further provided between the cladding film 2 and the adhesive sheet 6. The copper foil layer 9 is formed, while the seventh embodiment further comprises an adhesive sheet 6 on the cladding film 2 side in addition to the sixth embodiment. By doing so,
The film can also be used as a film for forming an electric composite circuit.

【0037】次に、図6は、本発明の第一の実施の形態
に係る導波路フィルム1を用いた光・電気複合実装型デ
バイスの実装方法の一形態を示したものである。すなわ
ち、この導波路フィルム1上には、銅箔のパターン9
a,9b,9cが形成されると共にその上には非熱可塑
性ポリイミドフィルムからなる絶縁体層8が形成され、
その絶縁体層8上には上層導体層10a,10b,10
cが設けられている。そして、この上層導体層10a,
10b,10cと下部の銅箔パターン9a,9b,9c
とがそれぞれ充填スルーホール11a,11b,11c
によって導通接続されている。また、上層導体層10
a,10b,10c及び非熱可塑性ポリイミドフィルム
8の上には抵抗体12a,12b,12cが形成され、
さらに上層導体層10b,10cとの間には電子部品1
3が接続されている。
Next, FIG. 6 shows an embodiment of a mounting method of a combined optical / electrical mounting type device using the waveguide film 1 according to the first embodiment of the present invention. That is, a copper foil pattern 9 is formed on the waveguide film 1.
a, 9b, 9c are formed and an insulating layer 8 made of a non-thermoplastic polyimide film is formed thereon,
On the insulator layer 8, the upper conductor layers 10a, 10b, 10
c is provided. Then, this upper conductor layer 10a,
10b, 10c and lower copper foil patterns 9a, 9b, 9c
Are filled through holes 11a, 11b, 11c, respectively.
Are electrically connected. The upper conductor layer 10
a, 10b, and 10c and the non-thermoplastic polyimide film 8 are formed with resistors 12a, 12b, and 12c,
Further, the electronic component 1 is located between the upper conductor layers 10b and 10c.
3 are connected.

【0038】そして、このような光・電気複合実装型デ
バイスによって光信号を伝送させると共にその光信号を
処理して電気信号に変換し、電気回路にて信号処理する
ことが可能となり、より高速、大容量の情報信号を処理
することができるようになる。また、それぞれのコア層
4,4…内を高速の光信号をパラレル伝送させ、それを
電気信号に変換後、非常に短い配線パターンによって高
速電気信号処理することができるため、Gb/s〜Tb
/sの大容量、高速信号処理が可能となる。
An optical signal is transmitted by such an optical / electric hybrid mounting type device, and the optical signal is processed and converted into an electric signal, and the signal can be processed by an electric circuit. A large-capacity information signal can be processed. In addition, since high-speed optical signals are transmitted in parallel in the respective core layers 4, 4... And converted into electric signals, high-speed electric signal processing can be performed with a very short wiring pattern, so that Gb / s to Tb
/ S and high-speed signal processing.

【0039】次に、図7は本発明の導波路フィルム1を
基板15上に実装した状態を示したものである。
Next, FIG. 7 shows a state where the waveguide film 1 of the present invention is mounted on a substrate 15.

【0040】図示するように、この基板15上には本発
明に係る一対の導波路フィルム1a,1bの先端が互い
に向き合った状態で接着固定されており、それら各導波
路フィルム1a,1bの後端側にはそれぞれ光ファイバ
ー16a,16bが接続されている。一方の光ファイバ
16a内には矢印の如く光信号が伝送されてきて導波路
フィルム1aのコア層4内を伝搬し、フォトダイオード
アレイ16で除去される。発光素子アレイ17の光は他
方の導波路フィルム1bのコア層4内を伝搬し、他方の
光ファイバ16bに結合され、その光ファイバ16b内
を図示矢印の如く伝搬する。尚、この構成ではフォトダ
イオードアレイ16で電気信号に変換された信号を処理
する電気回路、発光素子アレイ17を駆動する電気駆動
回路が省略されているが、実際には基板15の上あるい
はその中に実装される。また、この導波路フィルム1
a,1bは、コア層が少なくとも2個アレイ状に構成さ
れており、光ファイバー16a,16bも上記コア層4
と同数だけアレイ状に構成されている。尚、図中18
は、光ファイバのコア、19は光ファイバのクラッドで
ある。
As shown in the figure, a pair of waveguide films 1a and 1b according to the present invention are bonded and fixed on the substrate 15 in such a manner that the tips thereof face each other. Optical fibers 16a and 16b are connected to the ends, respectively. An optical signal is transmitted into one optical fiber 16a as shown by an arrow, propagates through the core layer 4 of the waveguide film 1a, and is removed by the photodiode array 16. Light from the light emitting element array 17 propagates in the core layer 4 of the other waveguide film 1b, is coupled to the other optical fiber 16b, and propagates in the optical fiber 16b as shown by the arrow in the figure. In this configuration, an electric circuit for processing a signal converted into an electric signal by the photodiode array 16 and an electric driving circuit for driving the light emitting element array 17 are omitted, but actually on or in the substrate 15. Implemented in In addition, this waveguide film 1
a and 1b have at least two core layers arranged in an array.
And the same number as in the array. In addition, in FIG.
Is a core of the optical fiber, and 19 is a cladding of the optical fiber.

【0041】このようにそれぞれの導波路フィルム1
a,1bが基板15の表面上に部分的或いは全面的に固
定されていると、基板15が置かれている部屋の空気フ
ァンの流れや実装ハウジング内のファンによる空気の流
れなどによって外力が加わっても導波路フィルム1a,
1bの位置ずれや形状変形等が生じないため、光学特性
の劣化変動が起こらない。またフォトダイオードアレイ
16や発光素子アレイ17と導波路フィルム1a,1b
との結合位置のずれや変動も生じ難いため、光学特性が
安定する。特に接着シート6の接着剤としてUV硬化型
接着剤を用いれば、フォトダイオードアレイ16や発光
素子アレイ17と導波路フィルム1a,1bとの光学結
合の調整が容易となり、かつ短時間で調整及び接着作業
を終えることができる。
As described above, each waveguide film 1
When a and 1b are partially or wholly fixed on the surface of the substrate 15, an external force is applied by the flow of the air fan in the room where the substrate 15 is placed or the flow of air by the fan in the mounting housing. However, the waveguide film 1a,
Since the displacement and shape deformation of 1b do not occur, deterioration and fluctuation of optical characteristics do not occur. In addition, the photodiode array 16, the light emitting element array 17, and the waveguide films 1a, 1b
Since the displacement and fluctuation of the coupling position hardly occur, the optical characteristics are stabilized. In particular, if a UV-curable adhesive is used as the adhesive for the adhesive sheet 6, the adjustment of the optical coupling between the photodiode array 16 or the light emitting element array 17 and the waveguide films 1a and 1b becomes easy, and the adjustment and adhesion can be performed in a short time. Work can be completed.

【0042】また、この導波路フィルム1a,1b上に
電子部品、光部品、電気回路、光回路等を載せても導波
路フィルム1a,1bの光学特性が劣化し難いので、部
品の集積度を高めることができ、より小型な光・電気複
合実装型デバイスを実現することができる。尚、熱硬化
型の接着シートを用いれば、Siやセラミックス基板
上、基板上に強固に接着でき、かつ、他の部品(電子部
品、光部品等)と共に加熱固定することも可能となる。
Even when electronic components, optical components, electric circuits, optical circuits, and the like are mounted on the waveguide films 1a and 1b, the optical characteristics of the waveguide films 1a and 1b are hardly deteriorated. Therefore, a smaller optical / electric hybrid mounted device can be realized. If a thermosetting adhesive sheet is used, the adhesive sheet can be firmly adhered to a Si or ceramic substrate or a substrate, and can be heated and fixed together with other components (electronic components, optical components, etc.).

【0043】また、上記他の部品の加熱固定の前段階で
も、あるいは後段階でも接着固定することが可能とな
る。
Further, it is possible to bond and fix the above-mentioned other parts either before or after heating and fixing.

【0044】また、感圧型の接着シートを用いた場合に
は、Siやガラスなどの平坦な面状の基板表面に不要な
熱応力を加えることなく、圧着のみで接着することがで
き、不要な熱応力を与えることがなくなるため、導波路
フィルム1に変調をきたすことなく接着固定することが
できるというメリットがある。
In addition, when a pressure-sensitive adhesive sheet is used, it can be adhered to a flat planar substrate surface such as Si or glass only by pressing without applying unnecessary thermal stress. Since no thermal stress is applied, there is an advantage that the waveguide film 1 can be bonded and fixed without causing modulation.

【0045】また、セラミックス基板表面のように表面
に凹凸が数十μmもあるような場合でも圧着固定するこ
とができる。
Further, even when the surface has irregularities of several tens of μm, such as the surface of a ceramic substrate, it can be fixed by pressure bonding.

【0046】本発明の導波路フィルム1は、コア層、ク
ラッド層、接着シート及び保護フィルムがいずれも高分
子材料で構成されているため、熱膨張係数も近い値であ
り、温度変化に対して光学特性の変動が生じ難い。ま
た、光合分波回路、光フィルタ回路等の偏波依存性の小
さい回路も実現することができる。
In the waveguide film 1 of the present invention, since the core layer, the clad layer, the adhesive sheet and the protective film are all made of a polymer material, their thermal expansion coefficients are close to each other, and the waveguide film 1 is resistant to temperature changes. Variations in optical characteristics are unlikely to occur. In addition, a circuit having small polarization dependence such as an optical multiplexing / demultiplexing circuit and an optical filter circuit can be realized.

【0047】また、図3〜図5に示した上記銅箔層9
は、電気配線パターンとして機能させる以外に、導波路
フィルム1に形成した光合分波回路、光フィルタ、光ス
ターカプラー等の光回路の温度変化による光学特性の変
動を銅箔9で熱放散させることにより、緩和させる機能
も有している。
The copper foil layer 9 shown in FIGS.
Is to dissipate heat in the copper foil 9 due to a change in optical characteristics due to a temperature change of an optical circuit such as an optical multiplexing / demultiplexing circuit, an optical filter, and an optical star coupler formed on the waveguide film 1 in addition to the function as an electric wiring pattern. With this, it also has a function of relaxing.

【0048】また、接着シート付き導波路フィルム1を
所望の形状に曲げてその形状を維持させるのに、銅箔9
は有効に作用する。
Further, in order to bend the waveguide film 1 with the adhesive sheet into a desired shape and maintain the shape, a copper foil 9 is used.
Works effectively.

【0049】尚、上記各実施の形態では、コア層4がア
レイ状に構成されている導波路フィルム1の例について
示したが、それ以外に光合分波回路、光フィルター回
路、光スターカプラ等が少なくとも1個構成された接着
シート付き導波路フィルム1であっても良い。また、こ
れらがアレイ状に構成されていたり、これら各種光回路
が組み合わされて構成されていても良い。
In each of the above embodiments, the example of the waveguide film 1 in which the core layer 4 is formed in an array has been described, but other than that, an optical multiplexing / demultiplexing circuit, an optical filter circuit, an optical star coupler, etc. May be a waveguide film 1 with an adhesive sheet in which at least one is formed. Further, these may be configured in an array, or may be configured by combining these various optical circuits.

【0050】[0050]

【発明の効果】以上要するに本発明によれば、以下に示
すような優れた効果を発揮することができる。
In summary, according to the present invention, the following excellent effects can be exhibited.

【0051】(1)本発明の接着シート付き導波路フィル
ムは、任意の場所や種々の基板の表面に貼り付けて均一
に固定することができるため、径時変形や使用時の衝撃
や風圧等の外的影響を受け難くなる。その結果、その内
部を伝搬している光信号の光学特性(波長特性、損失特
性、偏波特性等)の変動を抑制することができ、安定す
ることができる。
(1) Since the waveguide film with an adhesive sheet of the present invention can be stuck to an arbitrary place or the surface of various substrates and fixed uniformly, it can be deformed over time, or subjected to shock or wind pressure during use. Less susceptible to external influences. As a result, fluctuations in the optical characteristics (wavelength characteristics, loss characteristics, polarization characteristics, etc.) of the optical signal propagating inside can be suppressed and the optical signals can be stabilized.

【0052】(2)本発明の接着シート付き導波路フィル
ムの一端あるいは両端に光結合された光部品(フォトダ
イオード、発光素子、光ファイバ、レンズ等)との間の
光結合特性を安定に保持することができる。
(2) The optical coupling characteristics between an optical component (photodiode, light emitting element, optical fiber, lens, etc.) optically coupled to one end or both ends of the waveguide film with an adhesive sheet of the present invention are stably maintained. can do.

【0053】(3)本発明の接着シート付き導波路フィル
ムの下面或いは上面、さらには両面に基板を固定するこ
とにより、その下面或いは上面に電機部品、電子回路、
光部品、光回路などを実装配置させても接着シート付き
導波路フィルムの光学特性が変動することがないので、
高密度集積実装を行うことができる。
(3) By fixing a substrate on the lower surface or the upper surface of the waveguide film with the adhesive sheet of the present invention, and further on both surfaces, electric parts, electronic circuits,
Even if optical components, optical circuits, etc. are mounted and arranged, the optical characteristics of the waveguide film with an adhesive sheet do not change,
High-density integrated mounting can be performed.

【0054】(4)本発明の接着シート付き導波路フィル
ムは、光信号処理のみならず、電気信号も処理する電子
部品、電子回路を集積して実装することができる構成で
あるため、高速、大容量の情報信号を処理することがで
きるデバイスを実現することができる。
(4) The waveguide film with an adhesive sheet of the present invention has a structure in which electronic components and electronic circuits for processing not only optical signals but also electric signals can be integrated and mounted. A device capable of processing a large-capacity information signal can be realized.

【0055】(5)本発明の接着シート付き導波路フィル
ムは、その下面部に電気信号処理回路を、その上面部に
光信号処理回路をそれぞれ備えた、光・電気複合実装型
デバイスとしたり、或いは上記と反対に下面部に光信号
処理回路を、上面部に電気信号処理回路を備えた光・電
気複合実装型デバイスとすることができ、上記光と電気
を密接に融合させた構成とすることができる。
(5) The waveguide film with an adhesive sheet according to the present invention may be an optical / electric combined mounting device having an electric signal processing circuit on the lower surface and an optical signal processing circuit on the upper surface. Alternatively, in contrast to the above, an optical signal processing circuit can be provided on the lower surface and an optical / electric hybrid mounting type device provided with an electric signal processing circuit on the upper surface, so that the light and the electricity are closely integrated. be able to.

【0056】(6)従来の導波路フィルムは、クラッド層
内に漏れて伝搬するクラディングモードが、導波路フィ
ルムが曲がったり、揺れ動いたりすることによって変動
し、光学特性に悪影響を及ぼしていたが、本発明の接着
シート付き導波路フィルムでは接着シートで上記クラデ
ィングモードを吸収して取り除くことができるため、光
学特性を安定に保つことができる。
(6) In the conventional waveguide film, the cladding mode, which leaks and propagates in the cladding layer, fluctuates due to bending or swinging of the waveguide film, which has an adverse effect on optical characteristics. In the waveguide film with an adhesive sheet according to the present invention, the above-mentioned cladding mode can be absorbed and removed by the adhesive sheet, so that optical characteristics can be stably maintained.

【0057】(7)銅箔層を備えることにより、この銅箔
層を電気配線パターン形成用以外に、熱放散用、導波路
フィルムの任意形状への変形保持機能等として兼用する
ことができる。
(7) By providing a copper foil layer, this copper foil layer can be used not only for forming an electric wiring pattern but also for dissipating heat, and as a function of holding a waveguide film in an arbitrary shape.

【0058】(8)接着シートは、光吸収率の高い材料で
あるため、クラディングモード除去用としてより有効に
作用する。
(8) Since the adhesive sheet is a material having a high light absorption rate, it works more effectively for removing the cladding mode.

【0059】(9)本発明の接着シート付き導波路フィル
ムを構成するコア層、クラッド層、接着シート等が互い
に熱膨張係数が近い材料で形成されているため、偏光依
存性の少ない光回路を実現することができ、また、従来
のようにSiや石英ガラス基板上に導波路を形成した構
造のものに比して低コストで得ることができる。
(9) Since the core layer, the clad layer, the adhesive sheet, and the like, which constitute the waveguide film with the adhesive sheet of the present invention, are formed of materials having similar thermal expansion coefficients to each other, an optical circuit with little polarization dependence can be manufactured. It can be realized at a lower cost than a conventional structure in which a waveguide is formed on a Si or quartz glass substrate.

【0060】(10)特に接着シートの接着剤としてUV硬
化型接着剤を用いれば、フォトダイオードアレイ16や
発光素子アレイ17と導波路フィルム1a,1bとの光
学結合の調整が容易となり、かつ短時間で調整及び接着
作業を終えることができる。
(10) In particular, UV hardening as an adhesive for an adhesive sheet
If the adhesive is used, the photodiode array 16 or
Light between the light emitting element array 17 and the waveguide films 1a and 1b
Easy adjustment of chemical bonding, and adjustment and bonding in a short time
Work can be completed.

【0061】(11)熱硬化型の接着シートを用いれば、S
iやセラミックス基板上、基板上に強固に接着でき、か
つ、他の部品(電子部品、光部品等)と共に加熱固定す
ることも可能となる。また、上記他の部品の加熱固定の
前段階でも、あるいは後段階でも接着固定することが可
能となる。
(11) If a thermosetting adhesive sheet is used,
Can be firmly adhered to i or ceramic substrate, substrate
Heat and fix it together with other parts (electronic parts, optical parts, etc.)
It is also possible. In addition, heating and fixing of the other parts
Can be bonded and fixed before or after
It works.

【0062】(12)感圧型の接着シートを用いた場合に
は、Siやガラスなどの平坦な面状の基板表面に不要な
熱応力を加えることなく、圧着のみで接着することがで
き、不要な熱応力を与えることがなくなるため、導波路
フィルム1に変調をきたすことなく接着固定することが
できるというメリットがある。また、セラミックス基板
表面のように表面に凹凸が数十μmもあるような場合で
も圧着固定することができる。
(12) When a pressure-sensitive adhesive sheet is used
Is unnecessary on flat planar substrate surfaces such as Si and glass.
Adhesion can be performed only by crimping without applying thermal stress.
To avoid unnecessary thermal stress
Adhesive fixing to film 1 without modulation
There is a merit that can be done. Also, ceramic substrate
In the case where the surface has irregularities of several tens μm like the surface
Can also be fixed by crimping.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(a)は本発明に係る接着シート付き導波路フ
ィルムの実施の一形態を示す断面図である。(b)は本
発明に係る接着シート付き導波路フィルムの実施の一形
態を示す平面図である。
FIG. 1A is a cross-sectional view showing one embodiment of a waveguide film with an adhesive sheet according to the present invention. (B) is a top view showing one embodiment of a waveguide film with an adhesive sheet concerning the present invention.

【図2】(1)〜(3)は、本発明に係る接着シート付
き導波路フィルムの第二〜第四の実施の形態を示す断面
図である。
FIGS. 2A to 2C are cross-sectional views showing second to fourth embodiments of a waveguide film with an adhesive sheet according to the present invention.

【図3】本発明に係る接着シート付き導波路フィルムの
第五の実施の形態を示す断面図である。
FIG. 3 is a sectional view showing a fifth embodiment of the waveguide film with an adhesive sheet according to the present invention.

【図4】本発明に係る接着シート付き導波路フィルムの
第六の実施の形態を示す断面図である。
FIG. 4 is a sectional view showing a sixth embodiment of the waveguide film with an adhesive sheet according to the present invention.

【図5】本発明に係る接着シート付き導波路フィルムの
第七の実施の形態を示す断面図である。
FIG. 5 is a sectional view showing a seventh embodiment of the waveguide film with an adhesive sheet according to the present invention.

【図6】本発明に係る接着シート付き導波路フィルムを
用いた光・電気複合実装型デバイスの実施の一形態を示
す断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing one embodiment of a combined optical / electrical device using a waveguide film with an adhesive sheet according to the present invention.

【図7】本発明の接着シート付き導波路フィルムを基板
上に実装した状態を示す断面図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing a state where the waveguide film with an adhesive sheet of the present invention is mounted on a substrate.

【図8】従来の導波路フィルムの構成及び構造の一例を
示す斜視図である。
FIG. 8 is a perspective view showing an example of the configuration and structure of a conventional waveguide film.

【図9】従来の導波路フィルムの製造工程の一例を示す
工程図である。
FIG. 9 is a process chart showing an example of a conventional manufacturing process of a waveguide film.

【図10】従来の導波路フィルムの基板への実装状態を
示す断面図である。
FIG. 10 is a cross-sectional view showing a state where a conventional waveguide film is mounted on a substrate.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 接着シート付き導波路フィルム 1 Waveguide film with adhesive sheet

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平8−222818(JP,A) 特開 平4−152306(JP,A) 特開 平6−281831(JP,A) 特開 平10−239542(JP,A) 特開 平5−281428(JP,A) 特開 平3−233410(JP,A) 特開 昭60−103319(JP,A) 電子情報通信学会技術研究報告 Vo l.99 No.277 OPE99−45〜53 (1999)p.1−6(1999年9月16日特 許庁受入) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 6/12 - 6/14 G02B 6/42 - 6/43 H05K 1/00 - 1/02 JICSTファイル(JOIS)──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-8-222818 (JP, A) JP-A-4-152306 (JP, A) JP-A-6-281831 (JP, A) JP-A-10- 239542 (JP, A) JP-A-5-281428 (JP, A) JP-A-3-233410 (JP, A) JP-A-60-103319 (JP, A) IEICE Technical Report Vol. 99 No. 277 OPE99-45-53 (1999) p. 1-6 (Accepted by the Patent Office on September 16, 1999) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G02B 6/12-6/14 G02B 6/42-6/43 H05K 1 / 00-1/02 JICST file (JOIS)

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 プラスチックフィルム上の低屈折率のク
ラッド層中に断面略矩形状をした高屈折率のコア層が少
なくとも1つ以上埋め込まれていると共に、上記プラス
チックフィルムの裏面又は上記クラッド層の上面若しく
はその両面に、紫外線硬化型の接着シートが形成されて
いることを特徴とする接着シート付き導波路フィルム。
At least one high-refractive-index core layer having a substantially rectangular cross section is embedded in a low-refractive-index cladding layer on a plastic film, and the back surface of the plastic film or the cladding layer has a high refractive index. A waveguide film with an adhesive sheet, wherein an ultraviolet-curable adhesive sheet is formed on the upper surface or on both surfaces thereof.
【請求項2】 プラスチックフィルム上の低屈折率のク
ラッド層中に断面略矩形状をした高屈折率のコア層が少
なくとも1つ以上埋め込まれていると共に、上記プラス
チックフィルムの裏面又は上記クラッド層の上面若しく
はその両面に、熱硬化型の接着シートが形成されている
ことを特徴とする接着シート付き導波路フィルム。
2. A low refractive index crystal on a plastic film.
There are few core layers of high refractive index with a substantially rectangular cross section in the lad layer.
At least one is embedded and the above plus
The back of the tic film or the top of the cladding layer
Has a thermosetting adhesive sheet on both sides
A waveguide film with an adhesive sheet, characterized in that:
【請求項3】 プラスチックフィルム上の低屈折率のク
ラッド層中に断面略矩形状をした高屈折率のコア層が少
なくとも1つ以上埋め込まれていると共に、上記プラス
チックフィルムの裏面又は上記クラッド層の上面若しく
はその両面に、感圧型の接着シートが形成されているこ
とを特徴とする接着シート付き導波路フィルム。
3. A low refractive index crystal on a plastic film.
There are few core layers of high refractive index with a substantially rectangular cross section in the lad layer.
At least one is embedded and the above plus
The back of the tic film or the top of the cladding layer
Has a pressure-sensitive adhesive sheet on both sides.
And a waveguide film with an adhesive sheet.
【請求項4】 上記接着シートの屈折率が、上記コア層
の屈折率よりも高いことを特徴とする請求項1〜3に記
載の接着シート付き導波路フィルム。
4. The adhesive sheet according to claim 1, wherein said adhesive layer has a refractive index of said core layer.
The waveguide film with an adhesive sheet according to claim 1 , wherein the refractive index is higher than the refractive index of the adhesive sheet.
【請求項5】 上記プラスチックフィルムと接着シート
との間に、絶縁体層と銅箔層が少なくとも1層ずつ形成
されていることを特徴とする請求項1〜4に記載の接着
シート付き導波路フィルム。
5. The waveguide with an adhesive sheet according to claim 1, wherein at least one insulator layer and at least one copper foil layer are formed between the plastic film and the adhesive sheet. the film.
【請求項6】 上記絶縁体層と銅箔層に電子回路、電子
部品が実装されていることを特徴とする請求項5に記載
の接着シート付き導波路フィルム。
6. The waveguide film with an adhesive sheet according to claim 5, wherein an electronic circuit and an electronic component are mounted on the insulator layer and the copper foil layer.
【請求項7】 上記請求項1〜6に記載の接着シート付
き導波路フィルムの接着シート面側を基板上に貼り付け
て基板に実装するようにしたことを特徴とする接着シー
ト付き導波路フィルムの実装方法。
7. A waveguide film with an adhesive sheet, wherein the adhesive sheet surface side of the waveguide film with an adhesive sheet according to claim 1 is attached to a substrate and mounted on the substrate. How to implement.
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電子情報通信学会技術研究報告 Vol.99 No.277 OPE99−45〜53(1999)p.1−6(1999年9月16日特許庁受入)

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