JP3176582B2 - Recording and erasing information - Google Patents

Recording and erasing information

Info

Publication number
JP3176582B2
JP3176582B2 JP22978898A JP22978898A JP3176582B2 JP 3176582 B2 JP3176582 B2 JP 3176582B2 JP 22978898 A JP22978898 A JP 22978898A JP 22978898 A JP22978898 A JP 22978898A JP 3176582 B2 JP3176582 B2 JP 3176582B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
phase
recording
erasing
transition
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP22978898A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH11134709A (en
Inventor
由紀雄 井手
真人 針谷
喜之 影山
博子 岩崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP22978898A priority Critical patent/JP3176582B2/en
Publication of JPH11134709A publication Critical patent/JPH11134709A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3176582B2 publication Critical patent/JP3176582B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は情報の記録及び消去
方法、特に相変化型情報記録媒体を用いる方法であっ
て、光ビームを照射することにより記録層材料に相変化
を生じさせ、情報の記録、再生を行い、且つ書き換えが
可能である情報記録媒体を用いる方法に関するものであ
り、光メモリー関連機器に応用される。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for recording and erasing information, and more particularly to a method using a phase-change type information recording medium. The present invention relates to a method of using a rewritable information recording medium for performing recording and reproduction, and is applied to an optical memory related device.

【0002】[0002]

【従来の技術】電磁波特にレーザービームの照射による
情報の記録・再生及び消去可能な光メモリー媒体の一つ
として、結晶−非晶質相間或いは結晶−結晶相間の転移
を利用する、いわゆる相変化型記録媒体が良く知られて
いる。特に光磁気メモリーでは困難な単一ビームによる
オーバーライトが可能であり、ドライブ側の光学系もよ
り単純であることなどから最近その研究開発が活発にな
っている。その代表的な材料例として、USP3,53
0,441に開示されているようにGe−Te、Ge−
Te−Sb−S、Ge−Te−S、Ge−Se−S、G
e−Se−Sb、Ge−As−Se、In−Te、Se
−Te、Se−As等所謂カルコゲン系合金材料が挙げ
られる。又、安定性、高速結晶化等の向上を目的にGe
−Te系にAu(特開昭61−219692)、Sn及
びAu(特開昭61−270190)、Pd(特開昭6
2−19490)等を添加した材料の提案や、記録/消
去の繰返し性能向上を目的に、Ge−Te−Se−Sb
の組成比を特定した材料(特開昭62−73438)の
提案等もなされている。しかしながら、そのいずれもが
相変化型書換え可能光メモリー媒体として要求される諸
特性のすべてを満足し得るものとはいえない。
2. Description of the Related Art As one of optical memory media capable of recording / reproducing and erasing information by irradiating an electromagnetic wave, particularly a laser beam, a so-called phase change type utilizing a transition between a crystal and an amorphous phase or between a crystal and a crystal phase. Recording media are well known. In particular, overwriting with a single beam, which is difficult with a magneto-optical memory, is possible, and the drive-side optical system is simpler. USP3, 53
0,441, Ge-Te, Ge-
Te-Sb-S, Ge-Te-S, Ge-Se-S, G
e-Se-Sb, Ge-As-Se, In-Te, Se
And so-called chalcogen-based alloy materials such as -Te and Se-As. In addition, for the purpose of improving stability, high-speed crystallization, etc.
Au (Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-21992), Sn and Au (Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-270190), Pd (Japanese Patent Application Laid-open No.
2--19490) and the like, and for the purpose of improving the repetition performance of recording / erasing, Ge-Te-Se-Sb
There has been proposed a material (JP-A-62-73438) in which the composition ratio is specified. However, none of them can satisfy all of the characteristics required for a phase-change rewritable optical memory medium.

【0003】又、特開昭63−251290では結晶状
態が実質的に3元以上の多元化合物単相からなる記録層
を具備した光記録媒体が提案されている。ここで実質的
に三元以上の多元化合物単相とは三元以上の化学量論組
成をもった化合物(例えばIn3SbTe2)を記録層中
に90原子%以上含むものとされている。
Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-251290 proposes an optical recording medium having a recording layer composed of a single phase of a multi-component compound having a ternary or higher crystalline state. Here, a ternary or higher ternary compound single phase is defined as a compound having a ternary or higher stoichiometric composition (for example, In 3 SbTe 2 ) in a recording layer of 90 atomic% or more.

【0004】このような記録層を用いることにより、高
速記録、高速消去が可能となるとしている。
By using such a recording layer, high-speed recording and high-speed erasing can be performed.

【0005】しかしながら、記録、消去に要するレーザ
ーパワーは未だ充分ではない。消去比も低い(消し残り
が大きい)等の欠点を有している。
However, the laser power required for recording and erasing is not yet sufficient. It has disadvantages such as a low erasure ratio (large erasure remaining).

【0006】更に特開平1−277338においては
(SbXTe1-X1-YY(ここで0.4≦X<0.7、
Y≦0.2、MはAg、Al、As、Au、Bi、C
u、Ga、Ge、In、Pb、Pt、Se、Si、Sn
及びZnからなる群から選ばれる少なくとも1種以上)
で表される組成の合金からなる記録層を有する光記録媒
体が提案されている。
Further, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-277338, (Sb X Te 1 -X ) 1 -Y M Y (where 0.4 ≦ X <0.7,
Y ≦ 0.2, M is Ag, Al, As, Au, Bi, C
u, Ga, Ge, In, Pb, Pt, Se, Si, Sn
And at least one selected from the group consisting of Zn and Zn)
An optical recording medium having a recording layer made of an alloy having a composition represented by the following formula has been proposed.

【0007】この系の基本はSb2Te3であり、Sb過
剰にすることにより、高速消去、繰返し特性を向上さ
せ、Mの添加により高速消去を促進させている。又、D
C光による消去率も大きいとしている。
The basis of this system is Sb 2 Te 3. Excessive Sb improves high-speed erasure and repetition characteristics, and addition of M promotes high-speed erasure. D
The erasure rate by C light is also large.

【0008】しかしながらオーバーライト時の消去率は
示されておらず(本発明者の検討結果では消し残りを生
じた)、記録感度も不充分である。
However, the erasure rate at the time of overwriting is not shown (the result of the study by the present inventor has left unerased data), and the recording sensitivity is insufficient.

【0009】同様に特開昭60−177446では記録
層に(In1-XSbX1-YY(0.55≦X≦0.8
0、0≦Y≦0.20)なる合金を、又、特開昭63−
228433では記録層にGeTe−Sb2Te3−Sb
(過剰)なる合金を各々用いているが、感度、消去比等
の特性を満足するものではない。
Similarly, Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 60-177446 discloses that (In 1 -X Sb x ) 1 -Y M Y (0.55 ≦ X ≦ 0.8
0, 0 ≦ Y ≦ 0.20).
The recording layer in 228433 GeTe-Sb 2 Te 3 -Sb
Although (excess) alloys are used, they do not satisfy characteristics such as sensitivity and erasing ratio.

【0010】又、特開昭63−173241では記録材
料を熱的に安定なマトリックス中に分散せしめた記録層
が提案されている。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-173241 proposes a recording layer in which a recording material is dispersed in a thermally stable matrix.

【0011】しかしながらマトリックス材料はいずれも
透光性の高い高融点材料であり、記録層全体として充分
な光吸収率、反射率が得られず感度、コントラスト等の
低下をきたす。又、1ビームオーバーライト性能も充分
とはいえない。
However, the matrix materials are all high melting point materials having high translucency, and the recording layer as a whole cannot obtain sufficient light absorption and reflectance, resulting in a decrease in sensitivity, contrast and the like. Also, the one-beam overwrite performance is not sufficient.

【0012】特に記録感度、消去感度の向上、オーバー
ライト時の消し残りによる消去比低下の防止、並びに記
録部、未記録部の長寿命化が解決すべき最重要課題とな
っている。
In particular, improvement of recording sensitivity and erasing sensitivity, prevention of a decrease in erasing ratio due to unerased data during overwriting, and prolongation of life of a recorded portion and an unrecorded portion are the most important issues to be solved.

【0013】中でもレーザー照射時間が100nsen
以下という条件下で媒体面でのレーザー書込みパワーに
ついては、現在までの報告例のいずれもが、15mW程
度以上のパワーを必要としており、転送速度向上のため
大きな障壁となっている。又、記録・消去のくり返し時
に発生する熱により、記録層、耐熱保護層等が損傷を受
け、特性劣化をきたすため、くり返し性能向上に対して
も大きな障害となっている。
Among them, the laser irradiation time is 100 nsen
Regarding the laser writing power on the medium surface under the following conditions, all of the reported examples up to now require a power of about 15 mW or more, which is a major barrier for improving the transfer speed. In addition, the heat generated at the time of repeated recording / erasing damages the recording layer, the heat-resistant protective layer, and the like, and causes deterioration of the characteristics.

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来技
術に比較して下記の点を改良した情報記録媒体を用いる
情報の記録及び消去方法を提供しようとするものであ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method for recording and erasing information using an information recording medium in which the following points are improved as compared with the above prior art.

【0015】(1)レーザー書込み(記録)感度の向
上、(2)消去感度の向上、(3)記録−消去のくり返
し性能向上、(4)消去比の向上
(1) Improvement of laser writing (recording) sensitivity, (2) improvement of erasure sensitivity, (3) improvement of repetition performance of recording and erasure, and (4) improvement of erasure ratio.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
には相変化形情報記録媒体の記録層材料として以下に示
す物質を用いることが極めて有効であることを見出し
た。
In order to solve the above-mentioned problems, it has been found that it is extremely effective to use the following substances as a recording layer material of a phase change type information recording medium.

【0017】基板上に設けられた記録層の主成分が記録
・消去時に結晶−非晶間あるいは結晶−結晶間の相転移
を生じる相(M相)と、記録・消去時に相転移を生じな
い相(L相)との混相状態で存在し、M相とL相が下記
条件を満足する情報記録媒体。
The main component of the recording layer provided on the substrate has a phase (M phase) in which a phase transition between crystal and amorphous or between crystal and crystal occurs during recording / erasing, and no phase transition occurs during recording / erasing. An information recording medium that exists in a mixed state with a phase (L phase), and the M phase and the L phase satisfy the following conditions.

【0018】L1-a+Ma(0.30≦a≦0.92) Mの融点≦700℃ Lの融点>Mの融点 記録・消去に使用する波長の電磁波に対するM相、L相
各々の光吸収係数αM、αLが αM≧103cm~1、 αL≧102cm~1 ここでαはI=IO(1−R)2exp~α1O:入射光強度 I:透過光強度 l:膜厚 R:反射率 αMは好適には5×103cm~1以上、最適には1×10
4cm~1以上、αLは好適には1×103cm~1以上、最
適には5×103cm~1以上である。
L 1−a + M a (0.30 ≦ a ≦ 0.92) Melting point of M ≦ 700 ° C. Melting point of L> Melting point of M Each of the M phase and the L phase for an electromagnetic wave having a wavelength used for recording / erasing. The light absorption coefficients α M and α L are α M ≧ 10 3 cm- 1 and α L ≧ 10 2 cm- 1 where α is I = I O (1-R) 2 exp ~ α1 I O : incident light intensity I : Transmitted light intensity l: Film thickness R: Reflectance α M is preferably 5 × 10 3 cm to 1 or more, most preferably 1 × 10 3
4 cm to 1 or more, α L is preferably 1 × 10 3 cm to 1 or more, and most preferably 5 × 10 3 cm to 1 or more.

【0019】更にLは繰り返し性能向上のために、二元
以上の化合物組成か、その近傍の組成が望ましい。M相
とL相とは混相状態にある必要があるが、望ましくは相
転移相であるM相同士はL相により完全に隔離された状
態にあるのがよい。その場合剥離されたM相の平均的な
大きさ(以後、微粒子粒径と呼ぶ)は30〜500Å、
好適には50〜300Å、最適には80〜200Åであ
る。Mの含有率aは、0.30≦a≦0.92、好適に
は0.50≦a≦0.90、最適には0.60≦a≦
0.90である。
Further, L is desirably a compound composition of two or more components or a composition in the vicinity thereof in order to improve the repetition performance. The M phase and the L phase need to be in a mixed phase, but it is desirable that the M phases, which are phase transition phases, are completely separated by the L phase. In that case, the average size of the exfoliated M phase (hereinafter, referred to as fine particle diameter) is 30 to 500 °,
Preferably it is between 50 and 300 °, optimally between 80 and 200 °. The content a of M is 0.30 ≦ a ≦ 0.92, preferably 0.50 ≦ a ≦ 0.90, and most preferably 0.60 ≦ a ≦
0.90.

【0020】更にMの融点は700℃以下、好適には6
50℃以下、最適には600℃以下がよい。
Further, the melting point of M is 700 ° C. or less, preferably 6 ° C.
The temperature is preferably 50 ° C. or less, most preferably 600 ° C. or less.

【0021】添付図面は本記録層を単純化し模式的に表
わしたものである。
The accompanying drawings show the present recording layer in a simplified and schematic manner.

【0022】相転移相(M相)1がマトリックスを形成
している非相転移相(L相)2の中に分散している状態
の混相を形成している。M相としては例えばSb(m.
p.630℃)、L相としてはAgInTe2(m.
p.680℃)がある。
The phase change phase (M phase) 1 forms a mixed phase in a state of being dispersed in the non-phase change phase (L phase) 2 forming a matrix. As the M phase, for example, Sb (m.
p. 630 ° C.), and AgInTe 2 (m.
p. 680 ° C).

【0023】このような構成にすることにより、記録層
は以下のような特徴を持つようになる。
With such a configuration, the recording layer has the following characteristics.

【0024】(1)相転移相(M相)、非相転移相(L
相)が共に、光吸収能を持つため、記録・消去時に電磁
波(例えばLD光)の利用効率が高くなる。その結果、
感度が向上する。
(1) Phase transition phase (M phase), non-phase transition phase (L
Both phases have light absorbing ability, so that the use efficiency of electromagnetic waves (for example, LD light) at the time of recording / erasing increases. as a result,
The sensitivity is improved.

【0025】(2)M相が微粒子状態で存在するため、
融点がバルク状態の値に比べ、降下する。したがってア
モルファス化記録(通常は溶融・急冷)時に必要とされ
るエネルギーを低くすることができる。すなわち記録感
度、応答速度が向上する。
(2) Since the M phase exists in a fine particle state,
The melting point is lower than the value in the bulk state. Therefore, it is possible to reduce the energy required at the time of amorphous recording (usually melting / quenching). That is, recording sensitivity and response speed are improved.

【0026】又、再結晶化(消去)時にも感度、応答速
度が向上する。
In addition, sensitivity and response speed are improved during recrystallization (erasing).

【0027】その中でも特に記録層材料として、下記一
般式で表わされる物質を主成分とする情報記録媒体を用
いることにより、極めて大きな改善が可能であることを
見出した。
Among them, it has been found that an extremely large improvement can be achieved particularly by using an information recording medium containing a substance represented by the following general formula as a main component as a recording layer material.

【0028】[0028]

【発明の実施の形態】その情報記録媒体の構成は、 (1)基板上に設けられた記録層の主成分が下記一般式
で表され、かつ記録層中の存在状態がXYZ2相とM相
との混相であることを特徴とする情報記録媒体。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The structure of the information recording medium is as follows: (1) The main component of a recording layer provided on a substrate is represented by the following general formula, and the presence state in the recording layer is XYZ 2 phase and M An information recording medium characterized by being a mixed phase with a phase.

【0029】一般式 (XYZ21-aa XYZ2は周期表のIb−IIIb−VIb2あるいはIIb−I
Vb−Vb2で表されるカルコパイライト型化合物、M
は、Sb、Bi、S、Se、Teの中から選ばれる1種
以上の元素あるいはAgSbTe2、 0.30≦a≦0.92 である。
The general formula (XYZ 2 ) 1- a Ma XYZ 2 is represented by Ib-IIIb-VIb 2 or IIb-I in the periodic table.
Chalcopyrite-type compound represented by the Vb-Vb 2, M
Is one or more elements selected from Sb, Bi, S, Se, and Te, or AgSbTe 2 , where 0.30 ≦ a ≦ 0.92.

【0030】(2)XYZ2がAgInTe2であり、M
がSb又はBiであることを特徴とする上記(1)項記
載の情報記録媒体。
(2) XYZ 2 is AgInTe 2 and M
Is Sb or Bi, the information recording medium according to the above (1).

【0031】aが0.3未満或いは0.92を超えると
感度、消去比、コントラストの向上に効果がなくなる。
If a is less than 0.3 or more than 0.92, there is no effect on improving sensitivity, erasing ratio and contrast.

【0032】又、記録層中には他の不純物等を微量(1
%以下)含んでいてもよい。
In the recording layer, a trace amount of other impurities (1
% Or less).

【0033】更に本発明はその実施態様とし下記各事項
を包含するものである。
Further, the present invention includes the following items as its embodiments.

【0034】a)L相が二元以上の化合物である情報記
録媒体。
A) An information recording medium in which the L phase is a binary compound or more.

【0035】b)基板上に設けられた記録層の主成分が
下記一般式で表わされ、かつ記録層中の存在状態がXY
2相とM相との混相である情報記録媒体、一般式 (XYZ21-aa XYZ2は周期表のIb−IIIb−VIb2あるいはIIb−I
Vb−Vb2で表されるアルコパイライト型化合物、M
は、Sb、Bi、S、Se、Teの中から選ばれる1種
以上の元素あるいはAgSbTe2、 0.30≦a≦0.92 c)XYZ2がAgInTe2であり、MがSb又はBi
である上記b)項記載の情報記録媒体。
B) The main component of the recording layer provided on the substrate is represented by the following general formula, and the presence state in the recording layer is XY
An information recording medium which is a mixed phase of Z 2 phase and M phase. The general formula (XYZ 2 ) 1- a Ma XYZ 2 is represented by Ib-IIIb-VIb 2 or IIb-I in the periodic table.
Arco pyrite type compound represented by the Vb-Vb 2, M
Is at least one element selected from Sb, Bi, S, Se and Te or AgSbTe 2 , 0.30 ≦ a ≦ 0.92 c) XYZ 2 is AgInTe 2 and M is Sb or Bi
The information recording medium according to the above item b), wherein

【0036】d)上記b)又はc)項における一般式
(XYZ21-aaで表わされる物質が微量の酸素を含
有した結果、一般式が(XYZ21-aaに代り {(XYZ21-aa1-bb (ただし、0.01≦b≦0.30、その他の記号は
b)項と同じ)で表わされる上記b)項又はc)項記載
の情報記録媒体である。
[0036] d) above b) or c) the general formula in claim (XYZ 2) results material represented by 1-a M a is contained traces of oxygen, the general formula (XYZ 2) in 1-a M a instead {(XYZ 2) 1-a M a} 1-b O b ( however, 0.01 ≦ b ≦ 0.30, and other symbols are b) above b) the term or c represented by the same) and section) It is an information recording medium described in the section.

【0037】XYZ2の具体例としては、 Ib−IIIb−VIb2;AgInTe2、AgInSe2
AgGaSe2、AgInS2、CuInTe2、CuI
nSe2 IIb−IVb−Vb2 ;ZnSnSb2、ZnSnAs2
ZnSnP2、ZnGeAs2、CdSnP2、CdSn
As2 等が挙げられる。
Specific examples of XYZ 2 include: Ib-IIIb-VIb 2 ; AgInTe 2 , AgInSe 2 ,
AgGaSe 2 , AgInS 2 , CuInTe 2 , CuI
nSe 2 IIb-IVb-Vb 2 ; ZnSnSb 2 , ZnSnAs 2 ,
ZnSnP 2 , ZnGeAs 2 , CdSnP 2 , CdSn
As 2 and the like.

【0038】XYZ2は化学量論組成が望ましいが、各
々若干の組成ずれがあっても構わない。
XYZ 2 preferably has a stoichiometric composition, but each may have a slight composition deviation.

【0039】具体的には、Xopqとした場合 0.2≦o≦0.3 0.2≦p≦0.3 0.4≦q≦0.6 o+p+q=1.0[0039] Specifically, X o Y p Z when the q 0.2 ≦ o ≦ 0.3 0.2 ≦ p ≦ 0.3 0.4 ≦ q ≦ 0.6 o + p + q = 1.0

【0040】[0040]

【作用】本発明の記録層にレーザービームを照射する
と、照射条件により、以下の様な相転移を生じるものと
考えられる。
When the recording layer of the present invention is irradiated with a laser beam, it is considered that the following phase transition occurs depending on the irradiation conditions.

【0041】わかり易くするためにXYZ2としてAg
InTe2をとり、MとしてSbを例にとり説明する。
For simplicity, Ag is used as XYZ 2
A description will be given taking InTe 2 as an example and S as S as an example.

【0042】AgInTe2の非晶質及び/又はChalcop
yrite型構造及び/又はZincblende型構造中でのM(こ
の場合はSb)の結晶−結晶間及び/又は結晶−非晶
間、及び/又は微結晶−粗大結晶間転移(AgInTe
2は転移を容易かつ安定化させる)。
Amorphous and / or Chalcop of AgInTe 2
The crystal-to-crystal and / or crystal-to-amorphous and / or microcrystalline-coarse crystal transition (MgInTe in this case) of M (Sb in this case) in the yrite type structure and / or the Zincblende type structure.
2 makes the transition easy and stable).

【0043】現在得られている情報だけでは相転移の機
構を明確に特定することはできないが、いずれにせよA
gInTe2及びSbが単独で存在する場合に比べ以下
の点が特に優れていることが判明した。
Although the mechanism of the phase transition cannot be clearly specified by only the information obtained at present, in any case, A
The following points were found to be particularly excellent as compared with the case where gInTe 2 and Sb exist alone.

【0044】(1)光吸収率が大きくなり、記録・消去
感度が向上する。
(1) The light absorptivity is increased, and the recording / erasing sensitivity is improved.

【0045】(2)転移前後の光学的コンラストが大き
くなりC/Nが向上する。
(2) The optical contrast before and after the transition is increased, and the C / N is improved.

【0046】(3)オーバーライト時の消去比が飛躍的
に向上する。
(3) The erasing ratio during overwriting is dramatically improved.

【0047】特に消去特性については、驚くべきこと
に、DC光による単純消去時のみならず、1ビームのオ
ーバーライトモードにおいてもほぼ完全な消去が可能で
あった。
With regard to the erasing characteristics in particular, surprisingly, almost complete erasing was possible not only in simple erasing with DC light but also in one-beam overwrite mode.

【0048】これは現在までに公知となっているいかな
る材料にも全く見られない性能である。
This is a performance not found at all in any of the materials known to date.

【0049】次にAgSbTe2系の相をM相とする場
合を例にして説明すると、本発明にかかる記録層はAg
SbTe2系の相(M相)と、L系の相とが混相の状態
で存在している。この様な混相状態を得る方法はいくつ
かある。例えばスパッタリング等の成膜法でAg、S
b、Teを含む薄膜を基板上に成膜し、これに熱処理し
てAgSbTe2とL相とに相分離させることにより得
られる。熱処理方法としてはレーザービームによる方
法、ヒーターによる方法などがある。レーザービームに
よる場合、ディスクを回転させることでレーザービーム
強度、回転数を制御することにより熱処理条件を任意に
選択できるため好適である。
Next, the case where the AgSbTe 2 -based phase is the M phase will be described as an example.
The SbTe 2 -based phase (M phase) and the L-based phase exist in a mixed phase. There are several methods for obtaining such a mixed phase. For example, Ag, S by a film forming method such as sputtering.
It is obtained by forming a thin film containing b and Te on a substrate and subjecting it to a heat treatment to phase-separate AgSbTe 2 and the L phase. Examples of the heat treatment method include a method using a laser beam and a method using a heater. The use of a laser beam is preferable because the heat treatment conditions can be arbitrarily selected by controlling the laser beam intensity and the number of rotations by rotating the disk.

【0050】ところで、記録パワー(Pw)のレーザー
ビームを照射した場合、AgSbTe2系の相は結晶か
ら非晶質へと相転移を生じ、混相のもう一方のL相(記
録・消去時に結晶−非晶質間の相転移を生じない材料よ
りなる相)は常に非晶質状態を維持する。
When a laser beam having a recording power (Pw) is irradiated, the AgSbTe 2 phase undergoes a phase transition from a crystal to an amorphous phase, and the other L phase of the mixed phase (the crystal phase at the time of recording and erasing). The phase that is made of a material that does not cause a phase transition between amorphous states always maintains the amorphous state.

【0051】又、消去パワー(PE)のレーザービーム
を照射した場合、AgSbTe系の相は非晶質から結晶
へと相転移を生じ、L相は相転移を生じることなく非晶
質状態を維持する。
When a laser beam having an erasing power (P E ) is irradiated, the AgSbTe-based phase undergoes a phase transition from amorphous to crystalline, and the L phase enters the amorphous state without causing a phase transition. maintain.

【0052】この例ではL相が非晶質であったが、L相
が結晶であってもよい。又、この例ではAgSbTe2
相が非晶質状態を記録状態としてが、逆に結晶状態を記
録状態としてもよい。
Although the L phase is amorphous in this example, the L phase may be crystalline. In this example, AgSbTe 2
The phase may be in an amorphous state as a recording state, and conversely, a crystalline state may be in a recording state.

【0053】いずれにしてもAgSbTe2相とL相と
はいわゆる混相状態になっている。
In any case, the AgSbTe 2 phase and the L phase are in a so-called mixed phase.

【0054】L相としては光吸収係数が102cm~2
上のものが望ましく、その具体例としては、In−Sb
系、In−Sb−Te系、Sb−Te系、In−Te
系、Ge−Sb系、Ge−Te系、Ge−Sb−Te系
等があげられる。
As the L phase, those having a light absorption coefficient of 10 2 cm to 2 or more are desirable, and specific examples thereof include In-Sb
System, In-Sb-Te system, Sb-Te system, In-Te
System, Ge-Sb system, Ge-Te system, Ge-Sb-Te system and the like.

【0055】本発明においては前記のようにL相はいず
れにしても相変化が起きず、AgSbTe2相が結晶・
非晶質が相転移することにより、ディスクの反射率が変
化し、ここに記録・消去が行われるとともに、著しく高
い消去比が得られるようになる。
In the present invention, no phase change occurs in any case of the L phase as described above, and the AgSbTe 2 phase
Due to the phase transition of the amorphous phase, the reflectivity of the disk changes, and recording / erasing is performed here, and an extremely high erasing ratio can be obtained.

【0056】高い消去比が得られるメカニズムは必ずし
も明確にはなっていないが、次の様に考えることができ
る。AgSbTe2はもともと結晶化しやすい物質であ
るため、これを非相転移相Lでおおうことで記録(非晶
質化)を容易にする効果が期待される。そのメカニズム
としては下記が考えられる。
Although the mechanism for obtaining a high erase ratio is not always clear, it can be considered as follows. Since AgSbTe 2 is originally a substance that is easily crystallized, covering it with the non-phase transition phase L is expected to have an effect of facilitating recording (amorphization). The mechanism is considered as follows.

【0057】AgSbTe2をおおうL相のためにA
gSbTe2のオーダリングが起こりにくくなる。
A for the L phase over AgSbTe 2
Ordering of gSbTe 2 is less likely to occur.

【0058】AgSbTe2の特性をある程度維持し
たまま、記録層としての熱伝導率をL相で制御すること
により、記録時には急冷条件を満足するようにする。こ
の場合には、L相としてAgSbTe2よりも熱伝導率
の大きなものが望ましい。
By controlling the thermal conductivity of the recording layer in the L phase while maintaining the characteristics of AgSbTe 2 to some extent, the rapid cooling condition is satisfied during recording. In this case, it is desirable that the L phase has a higher thermal conductivity than AgSbTe 2 .

【0059】又、AgSbTe2相をL相でおおうこと
により、AgSbTe2の粒径を一定に保つことがで
き、繰返し信頼性を向上させることができる。
Further, by covering the AgSbTe 2 phase with the L phase, the particle size of AgSbTe 2 can be kept constant, and the repetition reliability can be improved.

【0060】前記一般式から判るように、本発明の記録
層においては、AgSbTe2相の量がL相の量に比較
してかなり大きくなっている。すなわち、前者のAgS
bTe2相の量は混相全体の30〜92%を占めてい
る。なお、前記一般式において、aの値が30%未満又
は92%を超えると消去比の向上に効果が認められなく
なる。又、記録層には他の不純物(例えば酸素など)が
微量(1重量%以下)含まれていてもかまわない。
As can be seen from the general formula, in the recording layer of the present invention, the amount of the AgSbTe 2 phase is considerably larger than the amount of the L phase. That is, the former AgS
The amount of BTE 2 phase accounts for 30-92% of the total multiphase. In the above general formula, if the value of a is less than 30% or exceeds 92%, the effect of improving the erase ratio cannot be recognized. Further, the recording layer may contain a small amount (1% by weight or less) of another impurity (for example, oxygen or the like).

【0061】すなわち、高消去比が得られるということ
は、記録部に対して消去動作を行った時、記録部を完全
におおいつくす形で結晶化又は非晶質化が進行すること
を意味している。そこで非晶質又は結晶質としての記録
部において多量のAgSbTe2の均一核形成並びに成
長がまず進行し、それに平行して非晶質L相の表面から
AgSbTe2の不均一核形成及び成長が進行するとい
うプロセスが生じているものと考えられる。
That is, the fact that a high erasing ratio can be obtained means that, when an erasing operation is performed on the recording portion, crystallization or amorphization proceeds in a form completely covering the recording portion. ing. Therefore, a large amount of uniform nucleation and growth of AgSbTe 2 first proceed in the amorphous or crystalline recording portion, and in parallel with this, heterogeneous nucleation and growth of AgSbTe 2 proceed from the surface of the amorphous L phase. It is thought that the process of doing this has occurred.

【0062】又、本発明にかかる記録層によれば、
(1)光吸収率が大きくなり、記録・消去感度が向上す
る、(2)転移前後の光学的コントラストが大きくなり
C/Nが向上する、(3)オーバーライト時の消去比が
飛躍的に向上する、なども認められた。
According to the recording layer of the present invention,
(1) The light absorptance is increased, and the recording / erasing sensitivity is improved. (2) The optical contrast before and after the transition is increased to improve the C / N. (3) The erasing ratio during overwriting is dramatically increased. It was also recognized that it improved.

【0063】本発明の光情報記録媒体は、基本的には、
かかる記録層が200〜10000Å厚、好ましくは5
00〜3000Å、更に好ましくは700〜2000Å
厚で基板上に形成されたものからなっている。
The optical information recording medium of the present invention basically comprises
Such a recording layer has a thickness of 200 to 10000Å, preferably 5
00-3000Å, more preferably 700-2000Å
It is made of a thick material formed on a substrate.

【0064】本発明の前記情報記録媒体は、必要に応じ
て耐熱保護層、表面保護層、反射層、放熱層、接着層等
の補助層を設けてもよい。
The information recording medium of the present invention may be provided with auxiliary layers such as a heat-resistant protective layer, a surface protective layer, a reflective layer, a heat dissipation layer, and an adhesive layer, if necessary.

【0065】本発明で用いられる基板は通常、ガラス、
セラミックスあるいは樹脂であり、樹脂基板が成型性、
コスト等の点で好適である。樹脂の代表例としてはポリ
カーボネート樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリ
スチレン樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合体樹
脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、シリコン
系樹脂、フッ素系樹脂、ABS樹脂、ウレタン樹脂等が
挙げられるが、加工性、光学特性等の点でポリカーボネ
ート樹脂、アクリル系樹脂が好ましい。又、基板の形状
としてはディスク状、カード状あるいはシート状であっ
ても良い。
The substrate used in the present invention is usually glass,
Ceramic or resin, the resin substrate is moldable,
It is suitable in terms of cost and the like. Representative examples of the resin include polycarbonate resin, acrylic resin, epoxy resin, polystyrene resin, acrylonitrile-styrene copolymer resin, polyethylene resin, polypropylene resin, silicone resin, fluorine resin, ABS resin, urethane resin and the like. Polycarbonate resins and acrylic resins are preferred in view of workability, optical properties and the like. The shape of the substrate may be a disk shape, a card shape or a sheet shape.

【0066】耐熱性保護層の材料としては、SiO、S
iO2、ZnO、SnO2、Al23、TiO2、In2
3、MgO、ZrO2等の金属酸化物、Si34、Al
N、TiN、BN、ZrN等の窒化物、ZnS、In2
3、TaS4等の硫化物、SiC、TaC、B4C、W
C、TiC、ZrC等の炭化物やダイヤモンド状カーボ
ン或いはそれらの混合物が挙げられる。又、必要に応じ
て不純物を含んでいてもよい。このような耐熱性保護層
は各種気相成膜法、例えば、真空蒸着法、スパッタ法、
プラズマCVD法、光CVD法、イオンプレーティング
法、電子ビーム蒸着法等によって形成できる。
As the material of the heat-resistant protective layer, SiO, S
iO 2 , ZnO, SnO 2 , Al 2 O 3 , TiO 2 , In 2 O
3 , metal oxides such as MgO, ZrO 2 , Si 3 N 4 , Al
Nitride such as N, TiN, BN, ZrN, ZnS, In 2
S 3, TaS sulfides such as 4, SiC, TaC, B 4 C, W
Examples thereof include carbides such as C, TiC, and ZrC, diamond-like carbon, and mixtures thereof. Further, it may contain impurities as needed. Such a heat-resistant protective layer can be formed by various vapor deposition methods, for example, a vacuum deposition method, a sputtering method,
It can be formed by a plasma CVD method, a photo CVD method, an ion plating method, an electron beam evaporation method, or the like.

【0067】耐熱性保護層の膜厚としては200〜50
00Å、好適には500〜3000Åとするのが良い。
200Åより薄くなると耐熱性保護層としての機能を果
たさなくなり、逆に5000Åより厚くなると、感度低
下を来たしたり、界面剥離を生じ易くなる。又、必要に
応じて保護層を多層化することもできる。
The thickness of the heat-resistant protective layer is 200 to 50.
00 °, preferably 500-3000 °.
When the thickness is less than 200 °, the function as a heat-resistant protective layer is not fulfilled. On the other hand, when the thickness is more than 5000 °, the sensitivity is lowered and the interface is liable to peel off. Further, if necessary, the protective layer can be multi-layered.

【0068】反射層と放熱層を兼ねるものとしてはA
l、Auなどの薄膜(厚さ200〜2000Åくらい)
が用いられる。
A that serves as both the reflection layer and the heat radiation layer is A
l, Au and other thin films (thickness of about 200-2000mm)
Is used.

【0069】相変化材料は単層のみならず、多層膜ある
いは超微粒子状の請求項1記載の相変化物質を耐熱性マ
トリックス中に分散せしめたようなものであっても良
い。
The phase change material is not limited to a single layer, but may be a multilayer film or an ultrafine particle in which the phase change material according to claim 1 is dispersed in a heat resistant matrix.

【0070】後者のような記録膜の作製法としては、前
記気相成膜以外にゾル−ゲル法のような湿式プロセスも
適用可能である。
As a method for producing the recording film as the latter, a wet process such as a sol-gel method can be applied in addition to the vapor phase film formation.

【0071】気相成膜法の中では、膜の特性、成膜の容
易さ等の点で高周波(rf)スパッタ法が好適な方法で
ある。
Among the vapor deposition methods, a high frequency (rf) sputtering method is a preferable method in terms of film characteristics, ease of film formation, and the like.

【0072】rfスパッタ法の代表的な記録層作製条件
としては、 ・ターゲット…XYZ2+M(例えばAgInTe2+S
b) ・スパッタ(反応)時圧力…0.5〜20Pa ・rfパワー…20W〜1kW ・スパッタガス…Ar+(O2:膜中酸素量制御時) ・スパッタ時間…10秒〜20分 等が挙げられるが、製法及び条件については何ら限定さ
れるものではない。
Typical conditions for forming the recording layer in the rf sputtering method are as follows: target: XYZ 2 + M (for example, AgInTe 2 + S
b) ・ Sputtering (reaction) pressure: 0.5 to 20 Pa ・ rf power: 20 W to 1 kW ・ Sputtering gas: Ar + (O 2 : when controlling the amount of oxygen in the film) ・ Sputtering time: 10 seconds to 20 minutes However, the production method and conditions are not limited at all.

【0073】記録層の膜厚としては200〜10,00
0Å、好適には500〜3000Å、最適には700〜
2000Åである。
The thickness of the recording layer is 200 to 10,000.
0 °, preferably 500-3000 °, optimally 700-
2000 $.

【0074】記録、再生及び消去に用いる電磁波として
はレーザー光、電子線、X線、紫外線、可視光線、赤外
線、マイクロ波等、種々のものが採用可能であるが、ド
ライブに取付ける際、小型でコンパクトな半導体レーザ
ーのビームが最適である。
Various electromagnetic waves such as laser light, electron beam, X-ray, ultraviolet ray, visible light, infrared ray, and microwave can be used for recording, reproducing and erasing. A compact semiconductor laser beam is optimal.

【0075】[0075]

【実施例】以下、実施例によって本発明を具体的に説明
する。ただし、これらの実施例は本発明を何ら制限する
ものではない。
The present invention will be specifically described below with reference to examples. However, these examples do not limit the present invention at all.

【0076】実施例I−1 ピッチ1.6μm、深さ700Åの溝付、厚さ1.2m
m、86mmφポリカーボネート基板上にrfスパッタ
リング法により耐熱保護層、記録層、耐熱保護層、反射
層を順次積層し、評価用光ディスクを作製した。各層に
用いた材料と膜厚を下記表I−1に示す。
Example I-1 A groove having a pitch of 1.6 μm and a depth of 700 °, a thickness of 1.2 m
A heat-resistant protective layer, a recording layer, a heat-resistant protective layer, and a reflective layer were sequentially laminated on an m, 86 mmφ polycarbonate substrate by rf sputtering to produce an optical disc for evaluation. The materials and film thicknesses used for each layer are shown in Table I-1 below.

【0077】光ディスクの評価は830nmの半導体レ
ーザー光をNA0.5のレンズを通して媒体面で1μm
φのスポット径に絞りこみ基板側から照射することによ
り行った。
The optical disk was evaluated by passing a 830 nm semiconductor laser beam through the lens of NA 0.5 at 1 μm on the medium surface.
This was performed by narrowing down to a spot diameter of φ and irradiating from the substrate side.

【0078】成膜後の記録膜は非晶質であったが、測定
に際し、最初に媒体面で4〜10mWのDC光でディス
ク全面を充分に結晶化させ、それを初期(未記録)状態
とした。ディスクの線速度は7m/sとした。
Although the recording film after film formation was amorphous, at the time of measurement, the entire surface of the disk was first sufficiently crystallized with 4 to 10 mW of DC light on the medium surface, and the medium was initialized (unrecorded). And The linear velocity of the disk was 7 m / s.

【0079】記録の書込み条件は、線速度7m/s、周
波数3.7MHz一定とし、レーザーパワー(PW)を
7〜14mWまで変化させた。
The recording conditions were such that the linear velocity was 7 m / s, the frequency was constant at 3.7 MHz, and the laser power (P W ) was varied from 7 to 14 mW.

【0080】読みとりパワー(PR)は1.0mWとし
た。C/N(キャリア対ノイズ比)値が飽和もしくは最
大となった時のレーザーパワー(PW)と最適消去パワ
ー(PE)、並びに得られたC/N値及び消去比を表I
−1に示す。
The reading power (P R ) was set to 1.0 mW. Table I shows the laser power (P W ) and the optimum erase power (P E ) when the C / N (carrier-to-noise ratio) value is saturated or maximum, and the obtained C / N value and erase ratio.
-1.

【0081】更にC/N値45dB以上で、かつ消去比
35dB以上となったディスクについては2つの書込み
周波数(f1=3.7MHz、f2=4.5MHz)で、
交互にオーバーライトテストを実施した。
Further, for a disk having a C / N value of 45 dB or more and an erasing ratio of 35 dB or more, two writing frequencies (f 1 = 3.7 MHz and f 2 = 4.5 MHz) are used.
An overwrite test was performed alternately.

【0082】オーバーライト時の書込みパワー(PW
及び消去パワー(PE)はディスクによって最適な値を
選択した。
Write power during overwrite (P W )
The optimum value of the erasing power (P E ) was selected depending on the disc.

【0083】線速度、PR等、他の条件は書込みテスト
時と同様とした。
[0083] line speed, P R, etc., other conditions were the same as those of the time of writing test.

【0084】オーバーライト性能の結果を下記表I−2
に示す。
The results of overwrite performance are shown in Table I-2 below.
Shown in

【0085】表I−1、2より本発明による相変化型光
記録媒体が優れた性能を有すること、特に記録感度の点
で高感度化が達成されていることが確認される。
From Tables I-1 and I-2, it is confirmed that the phase change type optical recording medium according to the present invention has excellent performance, and particularly, high sensitivity is achieved in terms of recording sensitivity.

【0086】[0086]

【表1】 [Table 1]

【0087】[0087]

【表2】 [Table 2]

【0088】実施例I−2 層構成を替えた外は実施例I−1と同じ条件で書き込み
性能を試験した。その結果を下記表I−3に示す。
Example I-2 The write performance was tested under the same conditions as in Example I-1, except that the layer configuration was changed. The results are shown in Table I-3 below.

【0089】又、実施例I−1と同じ条件でオーバーラ
イト性能を試験した。その結果を下記表I−4に示す。
The overwrite performance was tested under the same conditions as in Example I-1. The results are shown in Table I-4 below.

【0090】[0090]

【表3】 [Table 3]

【0091】[0091]

【表4】 [Table 4]

【0092】実施例I−3 実施例I−2と同様に、実施例I−1の層構成を替えた
外は実施例I−1と同じ条件で書き込み性能を試験し
た。その結果を下記表I−5に示す。
Example I-3 As in Example I-2, the write performance was tested under the same conditions as in Example I-1, except that the layer configuration of Example I-1 was changed. The results are shown in Table I-5 below.

【0093】又、実施例I−1と同じ条件でオーバーラ
イト性能を試験した。その結果を下記表I−6に示す。
The overwrite performance was tested under the same conditions as in Example I-1. The results are shown in Table I-6 below.

【0094】[0094]

【表5】 [Table 5]

【0095】[0095]

【表6】 [Table 6]

【0096】実施例II−1 ピッチ1.6μm、深さ700Åの溝付、厚さ1.2m
m、86mmφポリカーボネート基板上にrfスパッタ
リング法により耐熱保護層、記録層、耐熱保護層、反射
層を順次積層し、評価用光ディスクを作製した。実施例
II−(1,2,3)の記録層作製時には、スパッタガス
中酸素濃度をO2ガスとArガスの流量比(O2/Ar)
を変化させることにより制御し、酸素濃度の異なる記録
層を得た。各層に用いた材料と膜厚を下記表II−1に示
す。
Example II-1 A groove having a pitch of 1.6 μm and a depth of 700 °, a thickness of 1.2 m
A heat-resistant protective layer, a recording layer, a heat-resistant protective layer, and a reflective layer were sequentially laminated on an m, 86 mmφ polycarbonate substrate by rf sputtering to produce an optical disc for evaluation. Example
At the time of preparing the recording layer of II- (1, 2, 3), the oxygen concentration in the sputtering gas was adjusted to the flow ratio of O 2 gas to Ar gas (O 2 / Ar).
Was changed to obtain recording layers having different oxygen concentrations. The materials and film thicknesses used for each layer are shown in Table II-1 below.

【0097】光ディスクの評価は830nmの半導体レ
ーザー光をNA0.5のレンズを通して媒体面で1μm
φのスポット径に絞りこみ基板側から照射することによ
り行った。
The evaluation of the optical disk was conducted by passing a 830 nm semiconductor laser beam through a lens of NA 0.5 at 1 μm on the medium surface.
This was performed by narrowing down to a spot diameter of φ and irradiating from the substrate side.

【0098】成膜後の記録膜は非晶質であったが、測定
に際し、最初に媒体面で4〜10mWのDC光でディス
ク全面を充分に結晶化させ、それを初期(未記録)状態
とした。ディスクの線速度は7m/sとした。
Although the recording film after film formation was amorphous, at the time of measurement, the entire surface of the disk was first sufficiently crystallized with 4 to 10 mW of DC light on the medium surface, and the medium was initialized (unrecorded). And The linear velocity of the disk was 7 m / s.

【0099】記録の書込み条件は、線速度7m/s、周
波数3.7MHz一定とし、レーザーパワー(PW)を
7〜14mWまで変化させた。
The recording conditions were such that the linear velocity was 7 m / s, the frequency was constant at 3.7 MHz, and the laser power (P W ) was varied from 7 to 14 mW.

【0100】読みとりパワー(PR)は1.0mWとし
た。C/N(キャリア対ノイズ比)値が飽和もしくは最
大となった時のレーザーパワー(PW)と最適消去パワ
ー(PE)、並びに得られたC/N値及び消去比を表II
−1に示す。
The reading power (P R ) was 1.0 mW. Table II shows the laser power (P W ) and the optimum erase power (P E ) when the C / N (carrier-to-noise ratio) value is saturated or maximum, and the obtained C / N value and erase ratio.
-1.

【0101】更にC/N値45dB以上で、かつ消去比
35dB以上となったディスクについては2つの書込み
周波数(f1=3.7MHz、f2=4.5MHz)で、
交互にオーバーライトテストを実施した。
Further, for a disk having a C / N value of 45 dB or more and an erasing ratio of 35 dB or more, two writing frequencies (f 1 = 3.7 MHz and f 2 = 4.5 MHz) are used.
An overwrite test was performed alternately.

【0102】オーバーライト時の書込みパワー(PW
及び消去パワー(PE)はディスクによって最適な値を
選択した。
Write power at overwrite (P W )
The optimum value of the erasing power (P E ) was selected depending on the disc.

【0103】線速度、PR等、他の条件は書込みテスト
時と同様とした。
[0103] line speed, P R, etc., other conditions were the same as those of the time of writing test.

【0104】オーバーライト性能の結果を下記表II−2
に示す。
The results of overwrite performance are shown in Table II-2 below.
Shown in

【0105】表II−1、2より本発明による相変化型光
記録媒体が優れた性能を有すること、特に記録感度の点
で高感度化が達成されていることが確認される。
From Tables II-1 and II, it is confirmed that the phase change type optical recording medium according to the present invention has excellent performance, and particularly, high sensitivity is achieved in terms of recording sensitivity.

【0106】[0106]

【表7】 [Table 7]

【0107】[0107]

【表8】 [Table 8]

【0108】実施例II−2 層構成を替えた外は実施例II−1と同じ条件で書き込み
性能を試験した。その結果を下記表II−3に示す。
Example II-2 The write performance was tested under the same conditions as in Example II-1, except that the layer structure was changed. The results are shown in Table II-3 below.

【0109】又、実施例II−1と同じ条件でオーバーラ
イト性能を試験した。その結果を下記表II−4に示す。
The overwrite performance was tested under the same conditions as in Example II-1. The results are shown in Table II-4 below.

【0110】[0110]

【表9】 [Table 9]

【0111】[0111]

【表10】 [Table 10]

【0112】実施例II−3 実施例II−2と同様に、実施例II−1の層構成を替えた
外は実施例II−1と同じ条件で書き込み性能を試験し
た。その結果を下記表II−5に示す。
Example II-3 As in Example II-2, the write performance was tested under the same conditions as in Example II-1, except that the layer configuration of Example II-1 was changed. The results are shown in Table II-5 below.

【0113】又、実施例II−1と同じ条件でオーバーラ
イト性能を試験した。その結果を下記表II−6に示す。
The overwrite performance was tested under the same conditions as in Example II-1. The results are shown in Table II-6 below.

【0114】[0114]

【表11】 [Table 11]

【0115】[0115]

【表12】 [Table 12]

【0116】実施例III−1、比較例III−1及びIII−
2 ピッチ約1.6μm、深さ約700Åの溝付で厚さ1.
2mm、86mmφのポリカーボネート基板上にrfス
パッタリング法により下部(基板側)耐熱保護層、記録
層、上部耐熱保護層、反射層を順次積層し、3種類の評
価用光ディスクを作製した。
Example III-1, Comparative Examples III-1 and III-
2. A groove with a pitch of about 1.6 μm and a depth of about 700 ° has a thickness of 1.
A lower (substrate-side) heat-resistant protective layer, a recording layer, an upper heat-resistant protective layer, and a reflective layer were sequentially laminated on a 2 mm and 86 mm φ polycarbonate substrate by rf sputtering to produce three types of optical disks for evaluation.

【0117】各層に用いた材料と膜厚とを下記表III−
1に示した。なお共通して、下部耐熱保護層としてはS
34(約2000Å厚)、上部耐熱保護層としてはS
34(約1000Å厚)、反射層としてはAl(約5
00Å厚)とした。
The materials and film thicknesses used for each layer are shown in Table III-
1 is shown. In common, the lower heat-resistant protective layer is S
i 3 N 4 (about 2000 mm thick), S
i 3 N 4 (about 1000 mm thick) and Al (about 5
00Å).

【0118】光ディスクの評価は830nmの半導体レ
ーザー光をNA0.5のレンズを通して記録層面で約1
μmφのスポット系に絞りこみ基板側から照射すること
により行った。
The evaluation of the optical disc was performed by passing a semiconductor laser beam of 830 nm through a lens having an NA of about 0.5 on the recording layer surface.
This was performed by narrowing down the spot system of μmφ and irradiating it from the substrate side.

【0119】成膜後の記録層は非晶質であったが、測定
に際し、最初に記録層面で4〜10mWのDC光でディ
スク全面を充分に結晶化させ、それを初期(未記録)状
態とした。ディスクの線速度は7m/sとした。
Although the recording layer after film formation was amorphous, at the time of measurement, the entire surface of the disk was first sufficiently crystallized with 4 to 10 mW of DC light at the time of measurement, and the recording layer was initialized (unrecorded). And The linear velocity of the disk was 7 m / s.

【0120】記録の書込み条件は、線速度7m/s、周
波数3.7MHz一定とし、レーザーパワー(PW)を
7〜14mWまで変化させた。
The recording conditions were such that the linear velocity was 7 m / s, the frequency was constant at 3.7 MHz, and the laser power (P W ) was varied from 7 to 14 mW.

【0121】読み取りパワー(PR)は1.0mWとし
た。C/N(キャリア対ノイズ比)値が飽和もしくは最
大となった時のレーザーパワー(PW)と最適消去パワ
ー(PE)、並びに得られたC/N値及び消去比をも併
せて表III−1に示す。
The reading power (P R ) was set to 1.0 mW. The table also shows the laser power (P W ) and the optimum erase power (P E ) when the C / N (carrier-to-noise ratio) value is saturated or maximum, and the obtained C / N value and erase ratio. It is shown in III-1.

【0122】[0122]

【表13】 [Table 13]

【0123】つづいて、オーバーライト特性を評価し
た。方法は2つの書き込み周波数f1=3.7MHz、
2=4.5MHzで交互にオーバーライトを実施し
た。又、オーバーライト時の書き込みパワー(PW)及
び消去パワー(PE)はディスクによって最適な値を選
択した。その他の条件は書き込みテスト時と同様にし
た。表III−2にその結果を示す。
Subsequently, the overwrite characteristics were evaluated. The method consists of two writing frequencies f 1 = 3.7 MHz,
Overwriting was performed alternately at f 2 = 4.5 MHz. The optimum values of the write power (P W ) and the erase power (P E ) at the time of overwriting were selected depending on the disk. Other conditions were the same as in the writing test. Table III-2 shows the results.

【0124】[0124]

【表14】 [Table 14]

【0125】又、オーバーライトした記録層の記録部、
消去部のそれぞれに電子線回折を行ったところ、記録部
についてはアモルファス特有のブロードなリングパター
ンが観察された。これに対して消去部については記録部
と同様のリングパターンに加え、明確なブラッグ反射点
が観察され、面間隔よりこの結晶がAgSbTe2であ
ることが確認された。
Also, the recording portion of the overwritten recording layer,
When electron beam diffraction was performed on each of the erased portions, a broad ring pattern unique to amorphous was observed in the recorded portion. On the other hand, in the erased portion, in addition to the same ring pattern as that of the recording portion, a clear Bragg reflection point was observed, and it was confirmed from the plane interval that the crystal was AgSbTe 2 .

【0126】[0126]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の効果を要
約すると下記のとおりである。
As described above, the effects of the present invention are summarized as follows.

【0127】(1)記録・消去時に要求される加熱温度
が低い。又、本発明の材料は光吸収率が高いためレーザ
ー光の吸収時の記録層加熱昇温効率も高い。以上の理由
により、必要レーザーパワーを低くすることができる。
即ち記録・消去感度が大巾に向上する。
(1) The heating temperature required for recording / erasing is low. Further, since the material of the present invention has a high light absorptivity, the recording layer heating efficiency during laser beam absorption is also high. For the above reasons, the required laser power can be reduced.
That is, the recording / erasing sensitivity is greatly improved.

【0128】(2)必要レーザーパワーを低くできるた
め、市販の安い、安定した半導体レーザーを使用でき
る。
(2) Since the required laser power can be reduced, a commercially available inexpensive and stable semiconductor laser can be used.

【0129】(3)レーザー照射部の温度を低く抑える
ことが可能なため、熱損傷による特性劣化を低減でき
る。
(3) Since the temperature of the laser irradiation part can be kept low, the characteristic deterioration due to thermal damage can be reduced.

【0130】(4)オーバーライト時の消去比を飛躍的
に高くできる。
(4) The erasing ratio during overwriting can be dramatically increased.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の情報記録媒体の混相記録層の模式図で
ある。
FIG. 1 is a schematic view of a multi-phase recording layer of an information recording medium of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…相転移相 2…非相転移相 1: Phase transition phase 2: Non-phase transition phase

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岩崎 博子 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株 式会社リコー内 (56)参考文献 特開 昭64−72341(JP,A) 特開 昭64−72340(JP,A) 特開 平3−104019(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 7/24 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (72) Inventor Hiroko Iwasaki 1-3-6 Nakamagome, Ota-ku, Tokyo Inside Ricoh Co., Ltd. (56) References JP-A-64-72341 (JP, A) JP-A Sho 64-72340 (JP, A) JP-A-3-104019 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G11B 7/24

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 光ビームを照射することによって、記録
層材料に相変化を生じさせ、情報の記録を行なう記録方
法において、記録層の主成分として記録時に結晶−非晶
間あるいは結晶−結晶間の相転移を生じる相(M相)
と、記録時に相転移を生じない相(L相)との混相状態
で存在し、かつ、M相とL相が下記条件を満足する情報
記録媒体に記録パワーのレーザービームを照射してL相
は相転移を生じさせずにM相を結晶状態もしくは非晶質
状態から相転移を生じさせて情報を記録することを特徴
とする記録方法。ただし、上記M相とL相の関係は 1-a +M a (0.30≦a≦0.92)である。
In a recording method for recording information by causing a phase change in a recording layer material by irradiating a light beam, a main component of the recording layer is a crystal-to-amorphous or crystal-to-crystal during recording. (M phase) that causes phase transition of
And a phase (L phase) in which no phase transition occurs during recording , and an M phase and an L phase satisfy the following conditions by irradiating a laser beam having a recording power to the information recording medium, and thereby forming an L phase. Is a method for recording information by causing a phase transition from a crystalline state or an amorphous state to an M phase without causing a phase transition. However, the relationship between the M phase and the L phase is L 1−a + M a (0.30 ≦ a ≦ 0.92).
【請求項2】 光ビームを照射することによって、記録
層材料に相変化を生じさせ、情報の消去を行なう消去方
法において、記録層の主成分として消去時に結晶−非晶
間あるいは結晶−結晶間の相転移を生じる相(M相)
と、消去時に相転移を生じない相(L相)との混相状態
で存在し、かつ、M相とL相が下記条件を満足する情報
記録媒体に消去パワーのレーザービームを照射してL相
は相転移を生じさせずにM相を結晶状態もしくは非晶質
状態から相転移を生じさせて情報を消去することを特徴
とする消去方法。ただし、上記M相とL相の関係は 1-a +M a (0.30≦a≦0.92)である。
2. An erasing method for erasing information by irradiating a light beam to cause a phase change in a material of a recording layer and erasing information. (M phase) that causes phase transition of
A laser beam having an erasing power is applied to an information recording medium that exists in a mixed phase state of a phase that does not cause a phase transition at the time of erasing (L phase) and the M phase and the L phase satisfy the following conditions. Is a method of erasing information by causing a phase transition from a crystalline state or an amorphous state to an M phase without causing a phase transition. However, the relationship between the M phase and the L phase is L 1−a + M a (0.30 ≦ a ≦ 0.92).
JP22978898A 1990-06-29 1998-08-14 Recording and erasing information Expired - Fee Related JP3176582B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22978898A JP3176582B2 (en) 1990-06-29 1998-08-14 Recording and erasing information

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22978898A JP3176582B2 (en) 1990-06-29 1998-08-14 Recording and erasing information

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2171325A Division JP2868849B2 (en) 1990-02-19 1990-06-29 Information recording medium

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11134709A JPH11134709A (en) 1999-05-21
JP3176582B2 true JP3176582B2 (en) 2001-06-18

Family

ID=16897693

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22978898A Expired - Fee Related JP3176582B2 (en) 1990-06-29 1998-08-14 Recording and erasing information

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3176582B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014202496A (en) * 2013-04-01 2014-10-27 株式会社島津製作所 Connector for capillary cell, and ferrule used for the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014202496A (en) * 2013-04-01 2014-10-27 株式会社島津製作所 Connector for capillary cell, and ferrule used for the same

Also Published As

Publication number Publication date
JPH11134709A (en) 1999-05-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5736657A (en) Sputtering target
US6652806B2 (en) Method of producing a sputtering target
US5498507A (en) Optical recording media
KR0144001B1 (en) Optical recording media and information recording and reproducing units
EP0574025A2 (en) Optical recording medium and method for making same
JP3011200B2 (en) Optical recording medium
US5523140A (en) Optical recording method and medium
JPH10166738A (en) Optical recording material and optical recording medium
JP3032585B2 (en) Information recording medium
JP2908826B2 (en) Information recording medium
JP2868849B2 (en) Information recording medium
US5916730A (en) Optical information recording medium and recording method by use of the recording medium
JPH0737251A (en) Optical information recording method
JP3176582B2 (en) Recording and erasing information
JP3032600B2 (en) Optical information recording medium
JP3255204B2 (en) Optical information recording method
JP3029690B2 (en) Information recording medium and information recording method using the same
JP3234350B2 (en) Optical information recording medium and manufacturing method
JP2986897B2 (en) Information recording medium
JPH0558047A (en) Optical data recording medium
JP2954731B2 (en) Information recording medium and information recording method using the same
JPH05345478A (en) Optical data recording medium and production thereof
JP3969613B2 (en) Method of manufacturing phase change type optical recording medium
JPH0428587A (en) Optical information record medium
JP2963106B2 (en) Information recording medium

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080406

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090406

Year of fee payment: 8

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees