JP3175999U - 複合シート材の圧入装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プラットホーム1には一個の載置面11が含まれる。圧入プラットホーム2はプラットホーム1に相対して縦方向に変位するように形成され、圧入プラットホーム2には一個の圧入板21、一個の圧入膜22と一個の加熱器23が含まれ、圧入膜22は圧入板21の一方に設けられ、かつ圧入板21と圧入膜22の間には一個の空気室Rが形成され、空気室Rはプラットホーム1の載置面11に相対するように形成され、かつ気体を充填するのに用いられ、加熱器23は圧入板21と圧入膜22の間に設けられ、かつ空気室R内に収容され、加熱器23と圧入膜22の間には一個の間隔が形成されるように構成されている。
【選択図】図1
Description
11 載置面
12 環状リング
2 圧入プラットホーム
21 圧入板
211 注入孔
22 圧入膜
23 加熱器
24 接合部材
3 サポートバー
4 キャビティー
41 収容空間
42 投入口
43 排気口
5 ウエハー
6 スペースパッド
9 複合シート材の圧入装置
91 プラットホーム
911 載置面
92 金属圧入板
921 開口溝
922 接触面
93 挟圧部材
94 ウエハー
941 接着剤
95 駆動部材
R 空気室
T1 送風管
T2 排気管
V 空気弁
P1 送風ポンプ
P2 真空ポンプ
M 駆動部材
Claims (9)
- 一個のプラットホーム(1)および一個の圧入プラットホーム(2)を有する複合シート材の圧入装置において、プラットホーム(1)には一個の載置面(11)が含まれ、圧入プラットホーム(2)はプラットホーム(1)に相対して縦方向に変位するように構成され、圧入プラットホーム(2)には一個の圧入板(21)、一個の圧入膜(22)および一個の加熱器(23)が含まれ、圧入膜(22)は圧入板(21)の一方に設けられ、かつ圧入板(21)と圧入膜(22)の間には一個の空気室(R)が形成され、空気室(R)はプラットホーム(1)の載置面(11)に相対するように構成され、かつ気体を充填するのに用いられ、加熱器(23)は圧入板(21)と圧入膜(22)の間に設けられ、かつ空気室(R)内に収容され、加熱器(23)と圧入膜(22)の間には一個の間隔が形成されることを特徴とする複合シート材の圧入装置。
- 他に一個のサポートバー(3)が含まれ、サポートバー(3)は移動自在に圧入プラットホーム(2)の圧入板(21)を貫穿するように形成され、かつサポートバー(3)が圧入板(21)を貫穿する一端は空気室(R)に伸び入れるように形成されることを特徴とする請求項1に記載の複合シート材の圧入装置。
- サポートバー(3)は圧入板(21)の中央部位を貫穿するように形成され、かつプラットホーム(1)の載置面(11)の中心位置に当接するように形成されることを特徴とする請求項2に記載の複合シート材の圧入装置。
- 圧入板(21)には一個の注入孔(211)が開設され、注入孔(211)は空気室(R)と互いに連通するように形成され、注入孔(211)は一個の送風管(T1)と一個の排気管(T2)を連設するのに用いられ、送風管(T1)と排気管(T2)は共同で一個の空気弁(V)と連接するように構成されることを特徴とする請求項1、2または3に記載の複合シート材の圧入装置。
- 送風管(T1)には他に一個の送風ポンプ(P1)が連接され、排気管(T2)には他に一個の真空ポンプ(P2)が連接されることを特徴とする請求項4に記載の複合シート材の圧入装置。
- 圧入プラットホーム(2)には一個の駆動部材(M)が連接され、駆動部材(M)によって圧入プラットホーム(2)を変位するように形成されることを特徴とする請求項1に記載の複合シート材の圧入装置。
- 圧入プラットホーム(2)とサポートバー(3)には全て一個の駆動部材(M)が連接され、サポートバー(3)を連動する駆動部材(M)と圧入プラットホーム(2)を連動する駆動部材(M)は同期に作動するように形成されることを特徴とする請求項2または3に記載の複合シート材の圧入装置。
- 圧入板(21)と圧入膜(22)の間には一個の接合部材(24)が環設され、接合部材(24)は圧入膜(22)を固定するのに用いられることを特徴とする請求項1、2または3に記載の複合シート材の圧入装置。
- プラットホーム(1)には他に一個の環状リング(12)が設けられ、環状リング(12)はプラットホーム(1)の載置面(11)の外周縁に設けられ、かつ環状リング(12)は接合部材(24)が当接するのに用いられることを特徴とする請求項8に記載の複合シート材の圧入装置。
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