JP3174667B2 - 非球面形状評価装置 - Google Patents
非球面形状評価装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、非球面形状を持つ光学
素子等の非球面形状データをライン走査型等の形状測定
機で測定し、この非球面形状データに基づいて非球面形
状の評価を行う非球面形状評価装置に関する。
素子等の非球面形状データをライン走査型等の形状測定
機で測定し、この非球面形状データに基づいて非球面形
状の評価を行う非球面形状評価装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、非球面レンズの製品の評価を行う
ために、例えば製品に応じたマスターレンズ（基準レン
ズ）を用いてレーザー干渉渦法で非球面レンズの球面形
状を測定することが行われている。
ために、例えば製品に応じたマスターレンズ（基準レン
ズ）を用いてレーザー干渉渦法で非球面レンズの球面形
状を測定することが行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、レーザー干渉
渦法では、非球面形状にずれが生じている部分は判明し
ても、その部分がどの程度ずれているかが判明せず、非
球面形状を高精度に評価することができなかった。
渦法では、非球面形状にずれが生じている部分は判明し
ても、その部分がどの程度ずれているかが判明せず、非
球面形状を高精度に評価することができなかった。
【０００４】本発明は、非球面形状のずれを定量的に評
価することによって、非球面レンズ等の非球面形状の評
価を高精度で行なえる非球面形状評価装置を提供するこ
とを課題とする。
価することによって、非球面レンズ等の非球面形状の評
価を高精度で行なえる非球面形状評価装置を提供するこ
とを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めになした本発明の請求項１に係る非球面形状評価装置
は、形状測定機で測定された非球面形状データから該非
球面形状データに最も近似する非球面式を求める非球面
式演算手段と、上記非球面式演算手段で得られた非球面
式に基づいて最適近軸曲率半径と設計近軸曲率半径との
差分を求める差分演算手段とを備え、上記差分演算手段
で得られた差分に基づいて非球面形状の評価を行うよう
にしたことを特徴とする。
めになした本発明の請求項１に係る非球面形状評価装置
は、形状測定機で測定された非球面形状データから該非
球面形状データに最も近似する非球面式を求める非球面
式演算手段と、上記非球面式演算手段で得られた非球面
式に基づいて最適近軸曲率半径と設計近軸曲率半径との
差分を求める差分演算手段とを備え、上記差分演算手段
で得られた差分に基づいて非球面形状の評価を行うよう
にしたことを特徴とする。
【０００６】また、本発明の請求項２に係る非球面形状
評価装置は、形状測定機で測定された非球面形状データ
から該非球面形状データに最も近似する非球面式を求め
る非球面式演算手段と、前記非球面形状データと前記非
球面式の偏差を求める偏差演算手段と、上記偏差演算手
段で得られた偏差の近似曲線を求める近似曲線演算手段
と、上記近似曲線演算手段で得られた近似曲線の最大偏
差量を求める最大偏差量演算手段とを備え、上記最大偏
差量演算手段で求めた最大偏差量に基づいて非球面形状
の評価を行うようにしたことを特徴とする。
評価装置は、形状測定機で測定された非球面形状データ
から該非球面形状データに最も近似する非球面式を求め
る非球面式演算手段と、前記非球面形状データと前記非
球面式の偏差を求める偏差演算手段と、上記偏差演算手
段で得られた偏差の近似曲線を求める近似曲線演算手段
と、上記近似曲線演算手段で得られた近似曲線の最大偏
差量を求める最大偏差量演算手段とを備え、上記最大偏
差量演算手段で求めた最大偏差量に基づいて非球面形状
の評価を行うようにしたことを特徴とする。
【０００７】また、本発明の請求項３に係る非球面形状
評価装置は、形状測定機で測定された非球面形状データ
から該非球面形状データに最も近似する非球面式を求め
る非球面式演算手段と、前記非球面形状データと前記非
球面式の偏差を求める偏差演算手段と、上記偏差演算手
段で得られた偏差の近似曲線を求める近似曲線演算手段
と、上記偏差演算手段で得られた偏差と前記近似曲線演
算手段で得られた近似曲線との偏差を求める二次偏差演
算手段と、上記二次偏差演算手段で得られた偏差の平均
値を求める平均値演算手段とを備え、上記平均値演算手
段で求めた平均値に基づいて非球面形状の評価を行うよ
うにしたことを特徴とする。
評価装置は、形状測定機で測定された非球面形状データ
から該非球面形状データに最も近似する非球面式を求め
る非球面式演算手段と、前記非球面形状データと前記非
球面式の偏差を求める偏差演算手段と、上記偏差演算手
段で得られた偏差の近似曲線を求める近似曲線演算手段
と、上記偏差演算手段で得られた偏差と前記近似曲線演
算手段で得られた近似曲線との偏差を求める二次偏差演
算手段と、上記二次偏差演算手段で得られた偏差の平均
値を求める平均値演算手段とを備え、上記平均値演算手
段で求めた平均値に基づいて非球面形状の評価を行うよ
うにしたことを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明の請求項１に係る非球面形状評価装置に
おいて、非球面式演算手段は、形状測定機で測定された
非球面形状データから該非球面形状データに最も近似す
る非球面式を求める。また、差分演算手段は、上記非球
面式演算手段で得られた非球面式に基づいて最適近軸曲
率半径と設計近軸曲率半径との差分を求める。そして、
この差分演算手段で得られた差分に基づいて非球面形状
の評価が定量的に行われる。なお、この最適近軸曲率半
径と設計近軸曲率半径との差分は、非球面形状の誤差の
うち最も低周波な形状誤差成分（球面成分）に対応す
る。
おいて、非球面式演算手段は、形状測定機で測定された
非球面形状データから該非球面形状データに最も近似す
る非球面式を求める。また、差分演算手段は、上記非球
面式演算手段で得られた非球面式に基づいて最適近軸曲
率半径と設計近軸曲率半径との差分を求める。そして、
この差分演算手段で得られた差分に基づいて非球面形状
の評価が定量的に行われる。なお、この最適近軸曲率半
径と設計近軸曲率半径との差分は、非球面形状の誤差の
うち最も低周波な形状誤差成分（球面成分）に対応す
る。
【０００９】本発明の請求項２に係る非球面形状評価装
置において、非球面式演算手段は、形状測定機で測定さ
れた非球面形状データから該非球面形状データに最も近
似する非球面式を求める。また、偏差演算手段は、前記
非球面形状データと前記非球面式の偏差を求める。ま
た、近似曲線演算手段は、上記偏差演算手段で得られた
偏差の近似曲線を求める。また、最大偏差量演算手段
は、上記近似曲線演算手段で得られた近似曲線の最大偏
差量を求める。そして、上記最大偏差量演算手段で求め
た最大偏差量に基づいて非球面形状の評価が定量的に行
われる。なお、この近似曲線の最大偏差量は、非球面形
状の誤差のうち低周波の形状誤差成分（非球面成分）に
対応する。
置において、非球面式演算手段は、形状測定機で測定さ
れた非球面形状データから該非球面形状データに最も近
似する非球面式を求める。また、偏差演算手段は、前記
非球面形状データと前記非球面式の偏差を求める。ま
た、近似曲線演算手段は、上記偏差演算手段で得られた
偏差の近似曲線を求める。また、最大偏差量演算手段
は、上記近似曲線演算手段で得られた近似曲線の最大偏
差量を求める。そして、上記最大偏差量演算手段で求め
た最大偏差量に基づいて非球面形状の評価が定量的に行
われる。なお、この近似曲線の最大偏差量は、非球面形
状の誤差のうち低周波の形状誤差成分（非球面成分）に
対応する。
【００１０】本発明の請求項３に係る非球面形状評価装
置において、非球面式演算手段は、形状測定機で測定さ
れた非球面形状データから該非球面形状データに最も近
似する非球面式を求める。また、偏差演算手段は、前記
非球面形状データと前記非球面式の偏差を求める。ま
た、近似曲線演算手段は、上記偏差演算手段で得られた
偏差の近似曲線を求める。また、二次偏差演算手段は、
上記偏差演算手段で得られた偏差と前記近似曲線演算手
段で得られた近似曲線との偏差を求める。また、平均値
演算手段は、上記二次偏差演算手段で得られた二次偏差
の平均値を求める。そして、上記平均値演算手段で求め
た平均値に基づいて非球面形状の評価が定量的に行われ
る。なお、この二次偏差の平均値は、非球面形状の誤差
のうち高周波の形状誤差成分（面の粗さ）に対応する。
置において、非球面式演算手段は、形状測定機で測定さ
れた非球面形状データから該非球面形状データに最も近
似する非球面式を求める。また、偏差演算手段は、前記
非球面形状データと前記非球面式の偏差を求める。ま
た、近似曲線演算手段は、上記偏差演算手段で得られた
偏差の近似曲線を求める。また、二次偏差演算手段は、
上記偏差演算手段で得られた偏差と前記近似曲線演算手
段で得られた近似曲線との偏差を求める。また、平均値
演算手段は、上記二次偏差演算手段で得られた二次偏差
の平均値を求める。そして、上記平均値演算手段で求め
た平均値に基づいて非球面形状の評価が定量的に行われ
る。なお、この二次偏差の平均値は、非球面形状の誤差
のうち高周波の形状誤差成分（面の粗さ）に対応する。
【００１１】
【実施例】図１は本発明実施例の非球面形状評価装置を
示す図である。この装置は、形状測定装置としてのフォ
ームタリサーフ１と、マイクロコンピュータで構成され
た処理装置２とによって構成されており、フォームタリ
サーフ１で例えば非球面レンズの形状を測定し、その測
定形状データ（非球面形状データ）を処理装置２に入力
して処理装置２で非球面形状の評価が行われる。
示す図である。この装置は、形状測定装置としてのフォ
ームタリサーフ１と、マイクロコンピュータで構成され
た処理装置２とによって構成されており、フォームタリ
サーフ１で例えば非球面レンズの形状を測定し、その測
定形状データ（非球面形状データ）を処理装置２に入力
して処理装置２で非球面形状の評価が行われる。
【００１２】また、この実施例の装置は、測定された非
球面形状データに最も近似する非球面式に基づいて３通
りの方法で評価を行うもので、最適近軸曲率半径と設計
近軸曲率半径との差分に基づく非球面形状の評価（以
後、第１評価項目という。）、非球面形状データと非球
面式の偏差の近似曲線の最大偏差量に基づく非球面形状
の評価（以後、第２評価項目という。）、および、非球
面形状データと非球面式の偏差の近似曲線とこの偏差の
二次偏差の平均値に基づく非球面形状の評価（以後、第
３評価項目という。）を行なえるようになっている。
球面形状データに最も近似する非球面式に基づいて３通
りの方法で評価を行うもので、最適近軸曲率半径と設計
近軸曲率半径との差分に基づく非球面形状の評価（以
後、第１評価項目という。）、非球面形状データと非球
面式の偏差の近似曲線の最大偏差量に基づく非球面形状
の評価（以後、第２評価項目という。）、および、非球
面形状データと非球面式の偏差の近似曲線とこの偏差の
二次偏差の平均値に基づく非球面形状の評価（以後、第
３評価項目という。）を行なえるようになっている。
【００１３】処理装置２は、非球面形状の設計値を入力
する設計値入力回路３、評価の基準となる規格値を入力
する規格値入力回路４およびフォームタリサーフ１から
非球面形状の測定形状データを入力する測定形状データ
入力回路５を備えており、設計値入力回路３と規格値入
力回路４はマイクロコンピュータにおけるキーボードと
その入力回路等から構成され、測定形状データ入力回路
５はフォームタリサーフ１が接続された入力ポートとデ
ータ読取りプログラム等により構成されている。
する設計値入力回路３、評価の基準となる規格値を入力
する規格値入力回路４およびフォームタリサーフ１から
非球面形状の測定形状データを入力する測定形状データ
入力回路５を備えており、設計値入力回路３と規格値入
力回路４はマイクロコンピュータにおけるキーボードと
その入力回路等から構成され、測定形状データ入力回路
５はフォームタリサーフ１が接続された入力ポートとデ
ータ読取りプログラム等により構成されている。
【００１４】また、処理装置２は、測定形状データから
推定非球面式（最適近軸曲率半径Ｒ、…）を算出する推
定非球面式算出回路６、最適近軸曲率半径Ｒと設計近軸
曲率半径Ｒ0 との差分ΔＲを算出する第１評価項目算出
回路７、推定非球面式と測定形状データとの偏差である
一次偏差データを演算する一次偏差算出回路８、一次偏
差データの近似曲線Y(X)を算出する近似曲線算出回路
９、近似曲線の最大偏差量MAX(Y(X)) を演算する第２評
価項目算出回路１０、近似曲線Y(X)と一次偏差データと
の偏差である二次偏差データを算出する二次偏差算出回
路１１、二次偏差データの平均値Average を算出する第
３評価項目算出回路１２および各評価を行う判定回路１
３を備えており、これらの各回路は、マイクロコンピュ
ータの図示しないＲＯＭに記憶した演算プログラムで構
成されている。
推定非球面式（最適近軸曲率半径Ｒ、…）を算出する推
定非球面式算出回路６、最適近軸曲率半径Ｒと設計近軸
曲率半径Ｒ0 との差分ΔＲを算出する第１評価項目算出
回路７、推定非球面式と測定形状データとの偏差である
一次偏差データを演算する一次偏差算出回路８、一次偏
差データの近似曲線Y(X)を算出する近似曲線算出回路
９、近似曲線の最大偏差量MAX(Y(X)) を演算する第２評
価項目算出回路１０、近似曲線Y(X)と一次偏差データと
の偏差である二次偏差データを算出する二次偏差算出回
路１１、二次偏差データの平均値Average を算出する第
３評価項目算出回路１２および各評価を行う判定回路１
３を備えており、これらの各回路は、マイクロコンピュ
ータの図示しないＲＯＭに記憶した演算プログラムで構
成されている。
【００１５】図２は実施例における測定データとしての
非球面形状データ、算出された式および偏差データの一
例をグラフで示した図であり、非球面レンズの非球面を
測定した場合を示している。なお、図２の各グラフにお
いて、横軸は非球面レンズの光軸に垂直な方向の位置に
対応し、縦軸は光軸方向の変位に対応している。
非球面形状データ、算出された式および偏差データの一
例をグラフで示した図であり、非球面レンズの非球面を
測定した場合を示している。なお、図２の各グラフにお
いて、横軸は非球面レンズの光軸に垂直な方向の位置に
対応し、縦軸は光軸方向の変位に対応している。
【００１６】フォームタリサーフ１で非球面レンズの測
定を行い、測定形状データ入力回路５から例えば図２の
ａ．のような非球面形状データが出力されると、この非
球面形状データに基づいて、推定非球面式算出回路６は
この非球面形状データに対して近軸曲率半径Ｒが最もフ
ィットする非球面式を図２のｂ．のような推定非球面式
として算出する。また、１次偏差算出回路８は推定非球
面式と非球面形状データ（測定データ）との偏差である
１次偏差データを図２のｃ．のように算出する。
定を行い、測定形状データ入力回路５から例えば図２の
ａ．のような非球面形状データが出力されると、この非
球面形状データに基づいて、推定非球面式算出回路６は
この非球面形状データに対して近軸曲率半径Ｒが最もフ
ィットする非球面式を図２のｂ．のような推定非球面式
として算出する。また、１次偏差算出回路８は推定非球
面式と非球面形状データ（測定データ）との偏差である
１次偏差データを図２のｃ．のように算出する。
【００１７】（第１評価項目）上記のように推定非球面
式算出回路６によって測定データから分離された推定非
球面式のデータは第１評価項目算出回路７に入力され、
第１評価項目算出回路７は、推定非球面式の近軸曲率半
径Ｒ（最適近軸曲率半径）と設計非球面式の近軸曲率半
径Ｒ0 （設計近軸曲率半径）との差ΔＲを演算し、この
差ΔＲを判定回路１３に出力する。そして、判定回路１
３は、規格値入力回路４から入力される曲率半径の差に
ついての規格値を基準にして差ΔＲの評価を行う。
式算出回路６によって測定データから分離された推定非
球面式のデータは第１評価項目算出回路７に入力され、
第１評価項目算出回路７は、推定非球面式の近軸曲率半
径Ｒ（最適近軸曲率半径）と設計非球面式の近軸曲率半
径Ｒ0 （設計近軸曲率半径）との差ΔＲを演算し、この
差ΔＲを判定回路１３に出力する。そして、判定回路１
３は、規格値入力回路４から入力される曲率半径の差に
ついての規格値を基準にして差ΔＲの評価を行う。
【００１８】また、１次偏差算出回路１によって測定デ
ータから分離された１次偏差データは近似曲線算出回路
９と２次偏差算出回路１１に入力され、近似曲線算出回
路９は、移動平均、多項式近似等の方法により、１次偏
差データの近似曲線を図２のｄ．のように算出する。ま
た、２次偏差算出回路１１は、近似曲線と１次偏差デー
タとの偏差である２次偏差データを図２のｅ．のように
算出する。
ータから分離された１次偏差データは近似曲線算出回路
９と２次偏差算出回路１１に入力され、近似曲線算出回
路９は、移動平均、多項式近似等の方法により、１次偏
差データの近似曲線を図２のｄ．のように算出する。ま
た、２次偏差算出回路１１は、近似曲線と１次偏差デー
タとの偏差である２次偏差データを図２のｅ．のように
算出する。
【００１９】（第２評価項目）上記のように近似曲線算
出回路９によって１次偏差データから分離された近似曲
線のデータは第２評価項目算出回路１０に入力され、第
２評価項目算出回路１０は、近似曲線の最大偏差量ＭＡ
Ｘ(Y(X))を算出し、この最大偏差量ＭＡＸ(Y(X))を判定
回路１３に出力する。そして、判定回路１３は、規格値
入力回路４から入力される最大偏差量についての規格値
を基準にして最大偏差量ＭＡＸ(Y(X))の評価を行う。
出回路９によって１次偏差データから分離された近似曲
線のデータは第２評価項目算出回路１０に入力され、第
２評価項目算出回路１０は、近似曲線の最大偏差量ＭＡ
Ｘ(Y(X))を算出し、この最大偏差量ＭＡＸ(Y(X))を判定
回路１３に出力する。そして、判定回路１３は、規格値
入力回路４から入力される最大偏差量についての規格値
を基準にして最大偏差量ＭＡＸ(Y(X))の評価を行う。
【００２０】（第３評価項目）また、２次偏差算出回路
１１によって１次偏差データから分離された２次偏差デ
ータは第３評価項目算出回路１２に入力され、第３評価
項目算出回路１２は、２次偏差データの平均値Average
を算出し、この平均値Average を判定回路１３に出力す
る。そして、判定回路１３は、規格値入力回路４から入
力される２次偏差の平均値についての規格値を基準にし
て平均値Average の評価を行う。
１１によって１次偏差データから分離された２次偏差デ
ータは第３評価項目算出回路１２に入力され、第３評価
項目算出回路１２は、２次偏差データの平均値Average
を算出し、この平均値Average を判定回路１３に出力す
る。そして、判定回路１３は、規格値入力回路４から入
力される２次偏差の平均値についての規格値を基準にし
て平均値Average の評価を行う。
【００２１】なお、第１評価項目〜第３評価項目の各評
価の結果はディスプレイあるいはプリンタ等の図示しな
い出力部に出力される。
価の結果はディスプレイあるいはプリンタ等の図示しな
い出力部に出力される。
【００２２】このように、第１評価項目〜第３評価項目
の各評価は、推定非球面式の近軸曲率半径Ｒと設計非球
面式の近軸曲率半径との差分ΔＲ、１次偏差データの近
似曲線の最大偏差量ＭＡＸ(Y(X))、および、１次偏差デ
ータの２次偏差データの平均値Average という各量の評
価を行っているので、定量的な評価が行なえる。
の各評価は、推定非球面式の近軸曲率半径Ｒと設計非球
面式の近軸曲率半径との差分ΔＲ、１次偏差データの近
似曲線の最大偏差量ＭＡＸ(Y(X))、および、１次偏差デ
ータの２次偏差データの平均値Average という各量の評
価を行っているので、定量的な評価が行なえる。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように本発明の請求項１の
非球面形状評価装置によれば、形状測定機で測定された
非球面形状データから該非球面形状データに最も近似す
る非球面式を求め、この非球面式に基づいて最適近軸曲
率半径と設計近軸曲率半径との差分を求め、この差分に
基づいて非球面形状の評価を行うようにしたので、非球
面形状の誤差のうち最も低周波の形状誤差成分（球面成
分）の評価を定量的に行うことができ、非球面レンズ等
の非球面形状の評価を高精度で行うことができる。
非球面形状評価装置によれば、形状測定機で測定された
非球面形状データから該非球面形状データに最も近似す
る非球面式を求め、この非球面式に基づいて最適近軸曲
率半径と設計近軸曲率半径との差分を求め、この差分に
基づいて非球面形状の評価を行うようにしたので、非球
面形状の誤差のうち最も低周波の形状誤差成分（球面成
分）の評価を定量的に行うことができ、非球面レンズ等
の非球面形状の評価を高精度で行うことができる。
【００２４】また、本発明の請求項２の非球面形状評価
装置によれば、形状測定機で測定された非球面形状デー
タから該非球面形状データに最も近似する非球面式を求
め、非球面形状データと非球面式の偏差の近似曲線につ
いての最大偏差量を求め、この最大偏差量に基づいて非
球面形状の評価を行うようにしたので、非球面形状の誤
差のうち低周波の形状誤差成分（非球面成分）の評価を
定量的に行うことができ、非球面レンズ等の非球面形状
の評価を高精度で行うことができる。
装置によれば、形状測定機で測定された非球面形状デー
タから該非球面形状データに最も近似する非球面式を求
め、非球面形状データと非球面式の偏差の近似曲線につ
いての最大偏差量を求め、この最大偏差量に基づいて非
球面形状の評価を行うようにしたので、非球面形状の誤
差のうち低周波の形状誤差成分（非球面成分）の評価を
定量的に行うことができ、非球面レンズ等の非球面形状
の評価を高精度で行うことができる。
【００２５】さらに、本発明の請求項３の非球面形状評
価装置によれば、形状測定機で測定された非球面形状デ
ータから該非球面形状データに最も近似する非球面式を
求め、非球面形状データと非球面式の偏差とこの偏差の
近似曲線を求め、この近似曲線に対する偏差の二次偏差
の平均値を求め、この平均値に基づいて非球面形状の評
価を行うようにしたので、非球面形状の誤差のうち高周
波の形状誤差成分（面の粗さ）の評価を定量的に行うこ
とができ、非球面レンズ等の非球面形状の評価を高精度
で行うことができる。
価装置によれば、形状測定機で測定された非球面形状デ
ータから該非球面形状データに最も近似する非球面式を
求め、非球面形状データと非球面式の偏差とこの偏差の
近似曲線を求め、この近似曲線に対する偏差の二次偏差
の平均値を求め、この平均値に基づいて非球面形状の評
価を行うようにしたので、非球面形状の誤差のうち高周
波の形状誤差成分（面の粗さ）の評価を定量的に行うこ
とができ、非球面レンズ等の非球面形状の評価を高精度
で行うことができる。
【図１】本発明実施例の非球面形状評価装置を示す図で
ある。
ある。
【図２】本発明実施例における測定データとしての非球
面形状データ、算出された式および偏差データの一例を
グラフで示した図である。
面形状データ、算出された式および偏差データの一例を
グラフで示した図である。
１…フォームタリサーフ（形状測定機）、２…処理装置
（マイクロコンピュータ）、６…推定非球面式算出回
路、７…第１評価項目算出回路、８…一次偏差算出回
路、９…近似曲線算出回路、１０…第２評価項目算出回
路、１１…二次偏差算出回路、１３…判定回路。
（マイクロコンピュータ）、６…推定非球面式算出回
路、７…第１評価項目算出回路、８…一次偏差算出回
路、９…近似曲線算出回路、１０…第２評価項目算出回
路、１１…二次偏差算出回路、１３…判定回路。
Claims (3)
- 【請求項１】 形状測定機で測定された非球面形状デー
タから該非球面形状データに最も近似する非球面式を求
める非球面式演算手段と、上記非球面式演算手段で得ら
れた非球面式に基づいて最適近軸曲率半径と設計近軸曲
率半径との差分を求める差分演算手段とを備え、上記差
分演算手段で得られた差分に基づいて非球面形状の評価
を行うようにしたことを特徴とする非球面形状評価装
置。 - 【請求項２】 形状測定機で測定された非球面形状デー
タから該非球面形状データに最も近似する非球面式を求
める非球面式演算手段と、前記非球面形状データと前記
非球面式の偏差を求める偏差演算手段と、上記偏差演算
手段で得られた偏差の近似曲線を求める近似曲線演算手
段と、上記近似曲線演算手段で得られた近似曲線の最大
偏差量を求める最大偏差量演算手段とを備え、上記最大
偏差量演算手段で求めた最大偏差量に基づいて非球面形
状の評価を行うようにしたことを特徴とする非球面形状
評価装置。 - 【請求項３】 形状測定機で測定された非球面形状デー
タから該非球面形状データに最も近似する非球面式を求
める非球面式演算手段と、前記非球面形状データと前記
非球面式の偏差を求める偏差演算手段と、上記偏差演算
手段で得られた偏差の近似曲線を求める近似曲線演算手
段と、上記偏差演算手段で得られた偏差と前記近似曲線
演算手段で得られた近似曲線との偏差を求める二次偏差
演算手段と、上記二次偏差演算手段で得られた偏差の平
均値を求める平均値演算手段とを備え、上記平均値演算
手段で求めた平均値に基づいて非球面形状の評価を行う
ようにしたことを特徴とする非球面形状評価装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18020293A JP3174667B2 (ja) | 1993-07-21 | 1993-07-21 | 非球面形状評価装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18020293A JP3174667B2 (ja) | 1993-07-21 | 1993-07-21 | 非球面形状評価装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0735541A JPH0735541A (ja) | 1995-02-07 |
| JP3174667B2 true JP3174667B2 (ja) | 2001-06-11 |
Family
ID=16079188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18020293A Expired - Lifetime JP3174667B2 (ja) | 1993-07-21 | 1993-07-21 | 非球面形状評価装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3174667B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4801427B2 (ja) * | 2005-01-04 | 2011-10-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターン形状評価方法 |
| JP4801795B2 (ja) * | 2005-01-04 | 2011-10-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターン形状評価方法及び電子顕微鏡 |
| JP5275853B2 (ja) * | 2009-03-06 | 2013-08-28 | オリンパス株式会社 | 面形状測定機、面形状測定方法、及び面形状の測定値の解析方法 |
| JP6158730B2 (ja) * | 2014-03-03 | 2017-07-05 | Dmg森精機株式会社 | 表面形状測定装置およびそれを備えた工作機械 |
| CN108734766B (zh) * | 2018-05-17 | 2022-04-08 | 业成科技（成都）有限公司 | 曲面装置的曲率半径的评估方法 |
-
1993
- 1993-07-21 JP JP18020293A patent/JP3174667B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0735541A (ja) | 1995-02-07 |
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