JP3173730U - Light-emitting element inspection device - Google Patents

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Abstract

【課題】迅速な発光特性の測定が可能な発光素子の検査装置を提供する。
【解決手段】本発光素子の検査装置において、受光器7は、搬送台23の上方に配置され、内部空間を有し、発光素子Lから内部空間に放射される光を受光する。また、受光器7には、下方を向く挿入口7aが形成されている。昇降筒63は、受光器7の挿入口7aに挿入され、上下方向に進退可能である。昇降筒63の底部634には、開口63aが形成されている。昇降筒63が下降したとき、開口63aの縁が発光素子Lの非放射部に接触すると共に、開口63aの内に発光素子Lの光放射部(レンズ)が位置する。
【選択図】図4A
A light-emitting element inspection apparatus capable of quickly measuring light emission characteristics is provided.
In the inspection device for a light emitting element, a light receiver is disposed above a transport base, has an internal space, and receives light emitted from the light emitting element to the internal space. The light receiver 7 is formed with an insertion port 7a facing downward. The elevating cylinder 63 is inserted into the insertion port 7a of the light receiver 7, and can be moved forward and backward. An opening 63 a is formed in the bottom 634 of the elevating cylinder 63. When the elevating cylinder 63 is lowered, the edge of the opening 63a comes into contact with the non-radiating part of the light emitting element L, and the light emitting part (lens) of the light emitting element L is located in the opening 63a.
[Selection] Figure 4A

Description

本考案は、発光素子の検査装置に関し、特には、発光素子から放射される光を検出する技術に関する。   The present invention relates to a light-emitting element inspection apparatus, and more particularly to a technique for detecting light emitted from a light-emitting element.

従来、発光素子などの電子部品の特性を測定し、その結果に応じて電子部品を分類する装置が知られている(特許文献1を参照)。   2. Description of the Related Art Conventionally, an apparatus that measures characteristics of electronic components such as light emitting elements and classifies electronic components according to the results is known (see Patent Document 1).

特開2007−192576号公報JP 2007-192576 A 実登3161943号公報Noto 3161943 gazette

ところで、特許文献2に記載された電子部品の検査装置は、間欠回転盤の外縁部に配列した部品搬送部の載置台を上昇させることで、載置台に載せられた発光素子を受光器が接地された測定位置まで運んでいる。また、この検査装置は、載置台の下方に位置するプローブを載置台と一緒に上昇させることで、プローブを載置台に形成された挿入穴に挿入し、発光素子の端子と接触させている。このように載置台とプローブの両方を上昇させる場合、載置台の下方に位置するプローブの移動距離を比較的長く設定する必要があるため、載置台とプローブが上昇してから下降するまでの一連の動作に時間が掛かってしまう。また、各々の部品搬送部に載置台を上昇させるための機構を設ける必要があるため、装置構成が複雑になってしまう。   By the way, the electronic component inspection apparatus described in Patent Document 2 raises the mounting table of the component transport unit arranged on the outer edge of the intermittent rotating disk, so that the light receiving element is grounded on the mounting table. To the measured position. Moreover, this inspection apparatus raises the probe located below the mounting table together with the mounting table, thereby inserting the probe into an insertion hole formed in the mounting table and bringing it into contact with the terminal of the light emitting element. When raising both the mounting table and the probe in this way, it is necessary to set the moving distance of the probe located below the mounting table to be relatively long. It takes time to move. In addition, since it is necessary to provide a mechanism for raising the mounting table in each component conveying unit, the apparatus configuration becomes complicated.

本考案は、上記実情に鑑みて為されたものであり、迅速な発光特性の測定が可能な発光素子の検査装置を提供することを主な目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and a main object of the present invention is to provide a light emitting element inspection apparatus capable of quickly measuring light emission characteristics.

上記課題を解決するため、本考案の発光素子の検査装置は、搬送台と、受光器と、有底の昇降筒と、プローブと、を備える。前記搬送台は、上面に光放射部と非放射部とを有する発光素子が載せられる。前記受光器は、前記搬送台の上方に配置され、内部空間を有し、前記発光素子から前記内部空間に放射される光を受光する。また、前記受光器には、下方を向く挿入口が形成されている。前記昇降筒は、前記受光器の前記挿入口に挿入され、上下方向に進退可能である。前記昇降筒の底部には、開口が形成されている。前記昇降筒が下降したとき、前記開口の縁が前記発光素子の前記非放射部に接触すると共に、前記開口の内に前記発光素子の前記光放射部が位置する。前記プローブは、前記搬送台に載せられた前記発光素子の端子と接触して、前記発光素子に通電する。   In order to solve the above-described problems, a light-emitting element inspection apparatus according to the present invention includes a carrier, a light receiver, a bottomed lifting cylinder, and a probe. A light emitting element having a light emitting part and a non-radiating part is placed on the upper surface of the carrier. The light receiver is disposed above the carrier, has an internal space, and receives light emitted from the light emitting element to the internal space. The light receiver is formed with an insertion port facing downward. The elevating cylinder is inserted into the insertion port of the light receiver, and can be moved back and forth in the vertical direction. An opening is formed at the bottom of the lifting cylinder. When the elevating cylinder is lowered, the edge of the opening contacts the non-radiating part of the light emitting element, and the light emitting part of the light emitting element is located in the opening. The probe contacts a terminal of the light emitting element placed on the carrier and energizes the light emitting element.

本考案によると、受光器に挿入された昇降筒が上下に移動するため、従来技術と比較して、迅速な発光特性の測定が可能である。   According to the present invention, since the elevating cylinder inserted in the light receiver moves up and down, it is possible to measure the light emission characteristics more quickly than in the prior art.

本考案の一態様において、前記昇降筒の内周面は、前記発光素子から放射される光を反射する反射面である。これによると、発光素子から放射され、昇降筒を通って、受光器の内部空間に至る光の損失を抑制することが可能である。   1 aspect of this invention WHEREIN: The internal peripheral surface of the said raising / lowering cylinder is a reflective surface which reflects the light radiated | emitted from the said light emitting element. According to this, it is possible to suppress the loss of light emitted from the light emitting element, passing through the lifting cylinder, and reaching the internal space of the light receiver.

本考案の一態様において、前記発光素子の前記光放射部は、凸状のレンズであり、前記昇降筒が下降したとき、前記開口に挿入される。これによると、開口に挿入されたレンズから放射される光が、受光器の内部空間へ導かれる。   In one aspect of the present invention, the light emitting portion of the light emitting element is a convex lens, and is inserted into the opening when the lifting cylinder is lowered. According to this, the light radiated | emitted from the lens inserted in opening is guide | induced to the internal space of a light receiver.

この態様では、前記昇降筒の前記開口の側壁は、上方に向けて広がるテーパー形状であってもよい。これによると、開口に挿入されたレンズから放射される光をより多く、受光器の内部空間へ導くことが可能である。   In this aspect, the side wall of the opening of the lifting cylinder may have a tapered shape that widens upward. According to this, it is possible to guide more light emitted from the lens inserted into the opening to the internal space of the light receiver.

本考案の一態様において、前記搬送台には、前記プローブが挿入される貫通穴が形成され、前記プローブは、上下方向に進退可能とされ、上昇したとき、前記貫通穴に挿入され、前記発光素子の下面に設けられた前記端子と接触する。これによると、発光素子の下面に設けられた端子に、貫通孔を通じてプローブを接触させることが可能である。   In one aspect of the present invention, the transport base is formed with a through hole into which the probe is inserted, and the probe can be advanced and retracted in the vertical direction. When the probe is raised, the probe is inserted into the through hole, and the light emission It contacts the terminal provided on the lower surface of the element. According to this, it is possible to make a probe contact the terminal provided in the lower surface of the light emitting element through the through hole.

この態様では、前記昇降筒が前記発光素子の上面に接触した後に、前記プローブが前記発光素子の下面に接触してもよい。これによると、プローブが発光素子の下面に接触する際に、発光素子の浮き上がりを抑制することが可能である。   In this aspect, the probe may contact the lower surface of the light emitting element after the elevating cylinder contacts the upper surface of the light emitting element. According to this, when the probe contacts the lower surface of the light emitting element, it is possible to suppress the light emitting element from being lifted.

この態様では、前記プローブが前記発光素子の下面から離れた後に、前記昇降筒が前記発光素子の上面から離れてもよい。これによると、プローブが発光素子の下面から離れる際に、発光素子の浮き上がりを抑制することが可能である。   In this aspect, after the probe is separated from the lower surface of the light emitting element, the elevating cylinder may be separated from the upper surface of the light emitting element. According to this, when the probe moves away from the lower surface of the light emitting element, it is possible to suppress the light emitting element from being lifted.

この態様では、前記昇降筒を上下方向に進退させるカムと、前記プローブを上下方向に進退させるカムと、が同じ軸に設けられてもよい。これによると、昇降筒とプローブとを所望のタイミングで進退させることが容易である。   In this aspect, the cam that advances and retracts the elevating cylinder in the vertical direction and the cam that advances and retracts the probe in the vertical direction may be provided on the same shaft. According to this, it is easy to advance and retract the lifting cylinder and the probe at a desired timing.

本考案の一態様において、前記搬送台を上下方向に進退させる機構を有しない。これによると、装置構成を簡易にすることが可能である。   In one aspect of the present invention, there is no mechanism for advancing and retracting the transport table in the vertical direction. According to this, the apparatus configuration can be simplified.

本考案の一態様において、前記昇降筒の内部空間を、前記受光器の内部空間に連続する第1の空間と、前記開口に連続する第2の空間と、に分ける透光部材をさらに備える。これによると、発光素子から放射される光が、透光部材を透過して、受光器の内部空間へ導かれる。   In one aspect of the present invention, the light emitting device further includes a translucent member that divides the internal space of the elevating cylinder into a first space that is continuous with the internal space of the light receiver and a second space that is continuous with the opening. According to this, the light radiated | emitted from a light emitting element permeate | transmits a translucent member, and is guide | induced to the internal space of a light receiver.

この態様では、前記昇降筒には、前記第2の空間に繋がる貫通穴が形成され、前記貫通穴を通じて前記第2の空間に気体を注入する注入器をさらに備える。これによると、昇降筒から発光素子を離れやすくすることが可能である。   In this aspect, the elevating cylinder further includes an injector that is formed with a through hole connected to the second space and injects gas into the second space through the through hole. According to this, it is possible to easily separate the light emitting element from the lifting cylinder.

本考案の発光素子の検査装置は、搬送台と、受光器と、有底の昇降筒と、プローブと、特性測定部と、位置決定部と、分類動作部と、を備える。前記搬送台は、上面に光放射部と非放射部とを有する発光素子が載せられる。前記受光器は、前記搬送台の上方に配置され、内部空間を有し、前記発光素子から前記内部空間に放射される光を受光する。また、前記受光器には、下方を向く挿入口が形成されている。前記昇降筒は、前記受光器の前記挿入口に挿入され、上下方向に進退可能である。前記昇降筒の底部には、開口が形成されている。前記昇降筒が下降したとき、前記開口の縁が前記発光素子の前記非放射部に接触すると共に、前記開口の内に前記発光素子の前記光放射部が位置する。前記プローブは、前記搬送台に載せられた前記発光素子の端子と接触して、前記発光素子に通電する。前記特性測定部は、前記受光器からの検出信号に基づいて、前記発光素子の発光特性を測定する。前記位置決定部は、前記発光素子の発光特性に基づいて、複数の収容位置の中から前記発光素子の収容位置を決定する。前記分類動作部は、前記搬送台に載せられた前記発光素子を前記決定された収容位置まで移動させる。   The light-emitting element inspection apparatus according to the present invention includes a carrier, a light receiver, a bottomed lifting cylinder, a probe, a characteristic measurement unit, a position determination unit, and a classification operation unit. A light emitting element having a light emitting part and a non-radiating part is placed on the upper surface of the carrier. The light receiver is disposed above the carrier, has an internal space, and receives light emitted from the light emitting element to the internal space. The light receiver is formed with an insertion port facing downward. The elevating cylinder is inserted into the insertion port of the light receiver, and can be moved back and forth in the vertical direction. An opening is formed at the bottom of the lifting cylinder. When the elevating cylinder is lowered, the edge of the opening contacts the non-radiating part of the light emitting element, and the light emitting part of the light emitting element is located in the opening. The probe contacts a terminal of the light emitting element placed on the carrier and energizes the light emitting element. The characteristic measurement unit measures a light emission characteristic of the light emitting element based on a detection signal from the light receiver. The position determining unit determines a housing position of the light emitting element from a plurality of housing positions based on the light emission characteristics of the light emitting element. The classification operation unit moves the light emitting elements placed on the transport table to the determined accommodation position.

本考案によると、受光器に挿入された昇降筒が上下に移動するため、従来技術と比較して、迅速な発光特性の測定が可能である。そして、このようにして測定された発光特性に基づく収容位置に発光素子が移動される。   According to the present invention, since the elevating cylinder inserted in the light receiver moves up and down, it is possible to measure the light emission characteristics more quickly than in the prior art. And a light emitting element is moved to the accommodation position based on the light emission characteristic measured in this way.

発光素子の検査装置の構成例を表す平面図である。It is a top view showing the structural example of the inspection apparatus of a light emitting element. 発光素子の正面図である。It is a front view of a light emitting element. 発光素子の平面図である。It is a top view of a light emitting element. 発光素子の裏面図である。It is a back view of a light emitting element. 発光特性測定ユニットの構成例を表す側面図である。It is a side view showing the structural example of the light emission characteristic measurement unit. 昇降筒下降前の要部を表す断面図である。It is sectional drawing showing the principal part before a raising / lowering cylinder fall. 昇降筒下降後の要部を表す断面図である。It is sectional drawing showing the principal part after a raising / lowering cylinder descend | falls. カムのプロファイル例を表す図である。It is a figure showing the example of a profile of a cam. 発光素子の検査装置の構成例を表すブロック図である。It is a block diagram showing the example of a structure of the inspection apparatus of a light emitting element. テーブルの内容例を表す図である。It is a figure showing the example of the content of a table.

本考案の発光素子の検査装置の実施形態を、図面を参照しながら説明する。   An embodiment of a light-emitting element inspection apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は、発光素子の検査装置1の構成例を表す平面図である。発光素子の検査装置1は、図1中の矢印Rの方向に間欠回転する間欠回転盤2を備えている。また、発光素子の検査装置1は、間欠回転盤2の周囲に、部品供給機3と、部品移載機34と、位置調整機36と、発光特性測定ユニット12と、副間欠回転盤4と、部品移載機39と、分類動作ユニット9と、を備えている。   FIG. 1 is a plan view illustrating a configuration example of a light-emitting element inspection apparatus 1. The light-emitting element inspection apparatus 1 includes an intermittent rotating disk 2 that intermittently rotates in the direction of arrow R in FIG. Further, the light-emitting element inspection apparatus 1 includes a component feeder 3, a component transfer machine 34, a position adjuster 36, a light emission characteristic measuring unit 12, and a sub-intermittent rotary disk 4 around the intermittent rotary disk 2. The parts transfer machine 39 and the classification operation unit 9 are provided.

間欠回転盤2は、回動可能に配置された円板部21と、円板部21の外縁部に所定の角度間隔で配列する複数の部品搬送部22と、を備えている。間欠回転盤2は、部品搬送部22の配列角度単位で間欠回転する。各々の部品搬送部22の先端には、発光素子Lが載せられる搬送台23が設けられている。   The intermittent rotating disk 2 includes a disk part 21 that is rotatably arranged, and a plurality of component conveying parts 22 that are arranged at predetermined angular intervals on the outer edge part of the disk part 21. The intermittent rotating disk 2 rotates intermittently in units of the arrangement angle of the component conveying unit 22. A transport table 23 on which the light emitting element L is placed is provided at the tip of each component transport unit 22.

部品供給機3は、間欠回転盤2に向けて延びる整列搬送部32を備えている。整列搬送部32は、発光素子Lを一列に整列させながら間欠回転盤2に向けて搬送する。整列搬送部32の先端に至った発光素子Lは、部品移載機34により部品搬送部22の搬送台23に載せ替えられる。   The component feeder 3 includes an alignment transport unit 32 that extends toward the intermittent rotating disk 2. The alignment transport unit 32 transports the light emitting elements L toward the intermittent rotating disk 2 while aligning the light emitting elements L in a line. The light emitting element L that has reached the tip of the aligning and conveying unit 32 is mounted on the conveying table 23 of the component conveying unit 22 by the component transfer machine 34.

位置調整機36は、部品搬送部22の搬送台23に載せられている発光素子Lを、先端が谷状の2つのアームで挟み込むことで、発光素子Lの位置を調整する。   The position adjuster 36 adjusts the position of the light emitting element L by sandwiching the light emitting element L placed on the conveyance stage 23 of the component conveying unit 22 between two arms having a valley at the tip.

発光特性測定ユニット12は、積分球からなる受光器7を備えており、部品搬送部22に載せられている発光素子Lの輝度などの発光特性を測定する。発光特性測定ユニット12については、後に詳しく述べる。   The light emission characteristic measurement unit 12 includes a light receiver 7 composed of an integrating sphere, and measures light emission characteristics such as the luminance of the light emitting element L mounted on the component transport unit 22. The light emission characteristic measuring unit 12 will be described in detail later.

副間欠回転盤4は、回動可能に配置された円板部41と、円板部41の外縁部に配列する複数の部品搬送部42と、を備えている。部品搬送部22に載せられた発光素子Lは、部品移載機39によって部品搬送部42に載せ替えられる。各々の部品搬送部42には、複数の発光素子L(本例では2つ)が載せられる。   The sub-intermittent rotary disk 4 includes a disk part 41 that is rotatably arranged, and a plurality of component conveying parts 42 that are arranged on the outer edge part of the disk part 41. The light emitting element L placed on the component transport unit 22 is replaced with the component transport unit 42 by the component transfer machine 39. A plurality of light emitting elements L (two in this example) are placed on each of the component conveying units 42.

分類動作ユニット9は、発光素子Lを保持可能なヘッド部91と、ヘッド部91の位置を調整するアーム部93と、を備えている。部品搬送部42に載せられた複数の発光素子Lは、ヘッド部91により、2次元的に配列する複数の容器Bの上方まで搬送され、その中から決定される1つの容器Bにそれぞれ収容される。   The classification operation unit 9 includes a head unit 91 that can hold the light emitting element L and an arm unit 93 that adjusts the position of the head unit 91. The plurality of light emitting elements L placed on the component conveying unit 42 are conveyed by the head unit 91 to above the plurality of containers B arranged two-dimensionally, and are respectively accommodated in one container B determined from the inside. The

図2A〜図2Cは、発光素子Lの正面図、平面図及び裏面図である。発光素子Lは、矩形板状の基板部Lsと、基板部Lsの上面から凸状に突出した半球状のレンズLpと、基板部Lsの下面に設けられた一対の端子Ltと、を備えている。基板部Lsは、主にセラミック等の絶縁材料からなり、その内部に、半導体からなる発光部を備えている。この発光部は、端子Ltと電気的に接続されている。   2A to 2C are a front view, a plan view, and a back view of the light emitting element L. FIG. The light emitting element L includes a rectangular plate-shaped substrate portion Ls, a hemispherical lens Lp protruding in a convex shape from the upper surface of the substrate portion Ls, and a pair of terminals Lt provided on the lower surface of the substrate portion Ls. Yes. The substrate portion Ls is mainly made of an insulating material such as ceramic, and includes a light emitting portion made of a semiconductor therein. The light emitting unit is electrically connected to the terminal Lt.

レンズLpは、シリコーン等の透明な樹脂材料からなり、発光部から発せられる光はレンズLpを透過して外部へ放射される。すなわち、発光素子Lの上面のうち、レンズLpは光を放射する光放射部であり、レンズLpの周囲に位置する絶縁材料からなる部分Lnは光を放射しない非放射部である。   The lens Lp is made of a transparent resin material such as silicone, and light emitted from the light emitting part is transmitted through the lens Lp and emitted to the outside. That is, of the upper surface of the light emitting element L, the lens Lp is a light emitting portion that emits light, and a portion Ln made of an insulating material located around the lens Lp is a non-radiating portion that does not emit light.

なお、この態様に限られず、例えば、発光素子Lは平らな上面を有し、この平らな上面に円ないし楕円状の光放射部とその周囲に位置する非放射部とが設けられてもよい。   Note that the present invention is not limited to this mode. For example, the light emitting element L may have a flat upper surface, and a circular or elliptical light emitting portion and a non-radiating portion located around the light emitting portion may be provided on the flat upper surface. .

図3は、発光特性測定ユニット12の構成例を表す側面図である。発光特性測定ユニット12は、プローブ昇降ユニット5と、ステージ昇降ユニット6と、受光器7と、カム駆動ユニット8と、を備えている。   FIG. 3 is a side view illustrating a configuration example of the light emission characteristic measurement unit 12. The light emission characteristic measurement unit 12 includes a probe lift unit 5, a stage lift unit 6, a light receiver 7, and a cam drive unit 8.

プローブ昇降ユニット5は、発光素子Lが載せられた搬送台23の下方に位置する、上下方向に延びる複数のプローブ55を備えており、発光特性の測定時に、プローブ55を上昇させ、搬送台23に載せられた発光素子Lにプローブ55を接触させ、その後、プローブ55を下降させる。   The probe lifting / lowering unit 5 includes a plurality of probes 55 extending in the vertical direction located below the transport base 23 on which the light emitting element L is placed. The probe lift unit 5 is raised to measure the light emission characteristics. The probe 55 is brought into contact with the light emitting element L placed on the substrate, and then the probe 55 is lowered.

具体的には、プローブ昇降ユニット5は、台座に固定される固定部51と、固定部51に対して上下方向に昇降可能な昇降部52と、昇降部52の上端部に設けられた、プローブ55を保持する保持部53と、昇降部52の下端部に設けられたカムフォロワ54と、固定部51と昇降部52の間に架け渡された引張りバネ56と、を備えている。これらのうち、保持部53はプラスチック等の絶縁材料で構成されており、それ以外はステンレス等の金属で構成されている。   Specifically, the probe elevating unit 5 includes a fixed portion 51 fixed to the pedestal, an elevating portion 52 that can be moved up and down with respect to the fixed portion 51, and a probe provided at the upper end of the elevating portion 52. A holding part 53 that holds 55, a cam follower 54 provided at the lower end of the elevating part 52, and a tension spring 56 that spans between the fixed part 51 and the elevating part 52. Of these, the holding portion 53 is made of an insulating material such as plastic, and the other portions are made of metal such as stainless steel.

固定部51には、上下方向に延びるレール部512が設けられている。また、固定部51には、カム駆動ユニット8の軸部83が挿入されている。また、固定部51には、引張りバネ56の一端が掛けられるバネ支持部514が設けられている。昇降部52には、固定部51のレール部512に嵌められるランナー部523が設けられている。また、昇降部52には、引張りバネ56の他端が掛けられるバネ支持部525が設けられている。   The fixed portion 51 is provided with a rail portion 512 extending in the vertical direction. Further, the shaft portion 83 of the cam drive unit 8 is inserted into the fixed portion 51. The fixed portion 51 is provided with a spring support portion 514 on which one end of the tension spring 56 is hung. The elevating part 52 is provided with a runner part 523 fitted to the rail part 512 of the fixed part 51. Further, the elevating part 52 is provided with a spring support part 525 on which the other end of the tension spring 56 is hung.

カムフォロワ54は、下方に位置するカム85と接触し、カム85から受ける力を昇降部52に伝える。引張りバネ56は、昇降部52を下方へ引っ張っている。昇降部52は、カムフォロワ54を介してカム85から力を受けると、引張りバネ56の引っ張り力に抗して上方へスライドする。   The cam follower 54 is in contact with the cam 85 positioned below and transmits the force received from the cam 85 to the elevating unit 52. The tension spring 56 pulls the elevating part 52 downward. When receiving the force from the cam 85 via the cam follower 54, the elevating part 52 slides upward against the pulling force of the tension spring 56.

ステージ昇降ユニット6は、発光素子Lが載せられた搬送台23の上方に位置する、有底の昇降筒63を備えており、発光特性の測定時に、昇降筒63を下降させ、搬送台23に載せられた発光素子Lに昇降筒63を接触させ、その後、昇降筒63を上昇させる。   The stage elevating unit 6 includes a bottomed elevating cylinder 63 positioned above the transport table 23 on which the light emitting element L is placed. When measuring the light emission characteristics, the elevating cylinder 63 is moved down to The lifting cylinder 63 is brought into contact with the mounted light emitting element L, and then the lifting cylinder 63 is raised.

具体的には、ステージ昇降ユニット6は、台座に固定される固定部61と、固定部61に対して上下方向に昇降可能な昇降部62と、昇降部62の上端部に設けられた昇降筒63と、昇降部62の下端部に設けられたカムフォロワ64と、固定部61と昇降部62の間に架け渡された引張りバネ66と、を備えている。これらは、ステンレス等の金属で構成されている。   Specifically, the stage elevating unit 6 includes a fixed portion 61 fixed to the pedestal, an elevating portion 62 that can be moved up and down with respect to the fixed portion 61, and an elevating cylinder provided at the upper end of the elevating portion 62. 63, a cam follower 64 provided at the lower end of the elevating part 62, and a tension spring 66 spanned between the fixed part 61 and the elevating part 62. These are made of metal such as stainless steel.

固定部61には、上下方向に延びるレール部612が設けられている。また、固定部61には、カム駆動ユニット8の軸部83が挿入されている。また、固定部61には、引張りバネ66の一端が掛けられるバネ支持部614が設けられている。昇降部62には、固定部61のレール部612に嵌められるランナー部623が設けられている。また、昇降部62には、引張りバネ66の他端が掛けられるバネ支持部626が設けられている。   The fixed portion 61 is provided with a rail portion 612 extending in the vertical direction. Further, the shaft portion 83 of the cam drive unit 8 is inserted into the fixed portion 61. The fixed portion 61 is provided with a spring support portion 614 on which one end of the tension spring 66 is hung. The elevating / lowering part 62 is provided with a runner part 623 fitted to the rail part 612 of the fixing part 61. Further, the elevating part 62 is provided with a spring support part 626 on which the other end of the tension spring 66 is hung.

カムフォロワ64は、下方に位置するカム86と接触し、カム86から受ける力を昇降部62に伝える。引張りバネ66は、昇降部62を下方へ引っ張っている。昇降部62は、カムフォロワ64を介してカム86から力を受けると、引張りバネ66の引っ張り力に抗して上方へスライドする。   The cam follower 64 is in contact with the cam 86 positioned below and transmits the force received from the cam 86 to the elevating unit 62. The tension spring 66 pulls the elevating part 62 downward. When receiving the force from the cam 86 via the cam follower 64, the elevating part 62 slides upward against the pulling force of the tension spring 66.

昇降筒63の上方には、積分球からなる受光器7が配置されている。受光器7は、内部空間を有し、発光素子Lから内部空間に放射される光を受光する。受光器7の下端には、下方を向いた挿入口7aが形成されており、この挿入口7aに昇降筒63が挿入されている。昇降筒63については、後に詳しく述べる。   A light receiver 7 composed of an integrating sphere is disposed above the elevating cylinder 63. The light receiver 7 has an internal space and receives light emitted from the light emitting element L to the internal space. An insertion port 7a facing downward is formed at the lower end of the light receiver 7, and an elevating cylinder 63 is inserted into the insertion port 7a. The lifting cylinder 63 will be described in detail later.

カム駆動ユニット8は、モータ81と、モータ81から延出する軸部83と、を備えている。軸部83の中途には、プローブ昇降ユニット5のカムフォロワ54の下方に位置するカム85と、ステージ昇降ユニット6のカムフォロワ64の下方に位置するカム86と、が取り付けられている。カム85及び86は、プローブ昇降ユニット5及びステージ昇降ユニット6をそれぞれ駆動する。   The cam drive unit 8 includes a motor 81 and a shaft portion 83 extending from the motor 81. A cam 85 positioned below the cam follower 54 of the probe lift unit 5 and a cam 86 positioned below the cam follower 64 of the stage lift unit 6 are attached to the shaft 83. The cams 85 and 86 drive the probe lifting / lowering unit 5 and the stage lifting / lowering unit 6, respectively.

図4A及び図4Bは、発光特性測定ユニット12の要部を表す断面図である。発光特性の測定時において、昇降筒63は下降して搬送台23に載せられた発光素子Lと接触し、その後上昇する。これに対し、プローブ55は上昇して搬送台23に載せられた発光素子Lに接触し、その後下降する。図4Aは、昇降筒63が下降する前かつプローブ55が上昇する前の状態を表しており、図4Bは、昇降筒63が下降した後かつプローブ55が上昇した後の状態を表している。   4A and 4B are cross-sectional views showing the main part of the light emission characteristic measuring unit 12. FIG. At the time of measuring the light emission characteristics, the elevating cylinder 63 descends and comes into contact with the light emitting element L placed on the transport table 23 and then rises. On the other hand, the probe 55 rises to contact the light emitting element L placed on the transport table 23 and then descends. 4A shows a state before the elevating cylinder 63 is lowered and before the probe 55 is raised, and FIG. 4B shows a state after the elevating cylinder 63 is lowered and the probe 55 is raised.

昇降筒63は、円筒状の筒部632と、筒部632の底を塞ぐ底部634と、を備えており、受光器7の下端に形成された挿入口7aに挿入されている。昇降筒63は、上方に向けて開放されており、その内部空間が、受光器7の内部空間と連続している。昇降筒63の筒部632の外周面と、受光器7の挿入口7aの縁との間には、僅かに隙間が空いている。昇降筒63の筒部632の長さは、昇降筒63が下降しても受光器7の挿入口7aから抜けない程度の大きさとされている。   The elevating cylinder 63 includes a cylindrical tube portion 632 and a bottom portion 634 that closes the bottom of the tube portion 632, and is inserted into an insertion port 7 a formed at the lower end of the light receiver 7. The elevating cylinder 63 is opened upward, and its internal space is continuous with the internal space of the light receiver 7. There is a slight gap between the outer peripheral surface of the cylinder portion 632 of the elevating cylinder 63 and the edge of the insertion port 7 a of the light receiver 7. The length of the cylinder portion 632 of the elevating cylinder 63 is set to a size that does not come out of the insertion port 7a of the light receiver 7 even when the elevating cylinder 63 is lowered.

昇降筒63の底部634の中央部には、上下方向に貫通する開口63aが形成されている。具体的には、昇降筒63の底部634の下面に窪みが形成されており、その窪みの中央部に開口63aが形成されている。また、開口63aの側壁は、上方に向けて広がるテーパー形状である。昇降筒63の筒部632の内周面63bは、硫酸バリウム(BaSO)等の反射材料が塗布された面であり、発光素子Lから放射される光を受光器7の内部空間へ反射する。 An opening 63 a penetrating in the vertical direction is formed at the center of the bottom 634 of the elevating cylinder 63. Specifically, a recess is formed in the lower surface of the bottom portion 634 of the elevating cylinder 63, and an opening 63a is formed in the center of the recess. The side wall of the opening 63a has a tapered shape that spreads upward. The inner peripheral surface 63 b of the cylindrical portion 632 of the lifting cylinder 63 is a surface coated with a reflective material such as barium sulfate (BaSO 4 ), and reflects light emitted from the light emitting element L to the internal space of the light receiver 7. .

昇降筒63の内部空間の底には、下面の中央部に窪みが形成された円板状の透光部材67が配置されている。透光部材67は、ガラス等の透明材料で構成されており、発光素子Lからの光を透過させることが可能である。透光部材67は、昇降筒63の内部空間を、受光器7の内部空間に連続する第1の空間67aと、開口63aに連続する第2の空間67bと、に分けている。第2の空間67bは、透光部材67と底部634との間にできる空間であり、第1の空間67aと比べて十分に小さい。   At the bottom of the inner space of the lifting cylinder 63, a disc-shaped light-transmitting member 67 having a depression formed in the center of the lower surface is disposed. The translucent member 67 is made of a transparent material such as glass and can transmit light from the light emitting element L. The translucent member 67 divides the internal space of the elevating cylinder 63 into a first space 67a that continues to the internal space of the light receiver 7 and a second space 67b that continues to the opening 63a. The second space 67b is a space formed between the translucent member 67 and the bottom portion 634, and is sufficiently smaller than the first space 67a.

また、昇降筒63の底部634には、第2の空間67bに繋がる貫通穴63cが形成されている。貫通穴63cは、底部634の内部を外縁から中央に向けて延びており、開口63aの付近で上方に開放されている。貫通穴63cには、不図示の管を介して後述する注入器16が接続されており、注入器16の動作により第2の空間67bに気体が注入される。   In addition, a through-hole 63c connected to the second space 67b is formed in the bottom 634 of the elevating cylinder 63. The through hole 63c extends from the outer edge toward the center of the bottom 634, and is opened upward in the vicinity of the opening 63a. An injector 16 described later is connected to the through hole 63c through a pipe (not shown), and gas is injected into the second space 67b by the operation of the injector 16.

図4Bに示されるように、昇降筒63が下降して可動範囲の最下端に位置したとき、昇降筒63の底部634は、搬送台23に載せられた発光素子Lの上面と接触する。すなわち、搬送台23に載せられた発光素子Lは、昇降筒63の底部634と、搬送台23とによって挟み込まれる。具体的には、昇降筒63の底部634に形成された開口63aは、発光素子Lのうち、レンズLpが挿入可能で、基板部Lsが挿入不能な形状及び大きさを有している(図2を参照)。このため、昇降筒63が下降すると、レンズ(光放射部)Lpが開口63aに挿入されると共に、開口63aの縁が、レンズLpの周囲の絶縁材料からなる部分(非放射部)Lnに接触する。   As shown in FIG. 4B, when the elevating cylinder 63 descends and is positioned at the lowermost end of the movable range, the bottom 634 of the elevating cylinder 63 comes into contact with the upper surface of the light emitting element L placed on the transport table 23. In other words, the light emitting element L placed on the transport base 23 is sandwiched between the bottom 634 of the elevating cylinder 63 and the transport base 23. Specifically, the opening 63a formed in the bottom portion 634 of the elevating cylinder 63 has a shape and a size in which the lens Lp can be inserted and the substrate portion Ls cannot be inserted in the light emitting element L (see FIG. 2). For this reason, when the elevating cylinder 63 is lowered, the lens (light emitting portion) Lp is inserted into the opening 63a, and the edge of the opening 63a contacts the portion (non-radiating portion) Ln made of an insulating material around the lens Lp. To do.

また、図4Bに示されるように、プローブ55が上昇して可動範囲の最上端に位置したとき、プローブ55は、搬送台23の貫通穴23aを通って、搬送台23に載せられた発光素子Lの下面と接触する。具体的には、発光素子Lの下面には端子Ltが設けられており(図2を参照)、プローブ55は、搬送台23の貫通穴23aを通って、発光素子Lの端子Ltと接触し、通電する。発光素子Lは、プローブ55により通電されると、レンズLpから外部へ光を放射する。開口63aに挿入されたレンズLpから放射される光は、透光部材67を透過し、昇降筒63を通って、受光器7の内部空間に至る。   Further, as shown in FIG. 4B, when the probe 55 is raised and positioned at the uppermost end of the movable range, the probe 55 passes through the through hole 23a of the transport table 23, and the light emitting element placed on the transport table 23 Contact the lower surface of L. Specifically, a terminal Lt is provided on the lower surface of the light emitting element L (see FIG. 2), and the probe 55 contacts the terminal Lt of the light emitting element L through the through hole 23a of the transport base 23. Energize. When energized by the probe 55, the light emitting element L emits light from the lens Lp to the outside. The light emitted from the lens Lp inserted into the opening 63 a passes through the light transmitting member 67, passes through the lifting cylinder 63, and reaches the internal space of the light receiver 7.

さらに、図4に示される状態の後、昇降筒63が上昇し、プローブ55が下降する際には、昇降筒63の底部634と透光部材67との間に形成された第2の空間67bに、後述する注入器16によって貫通穴63cを介して気体が注入される。注入された気体は、第2の空間67bから開口63aを通って外部へ排出され、これにより、発光素子Lは、昇降筒63の底部634から離され、搬送台23に載せられたままとなる。なお、気体の注入は、昇降筒63が上昇を開始する前から開始してもよいし、昇降筒63が上昇を開始した後に開始してもよい。   Furthermore, after the state shown in FIG. 4, when the elevating cylinder 63 is raised and the probe 55 is lowered, the second space 67 b formed between the bottom 634 of the elevating cylinder 63 and the translucent member 67. In addition, a gas is injected through the through hole 63c by an injector 16 described later. The injected gas is discharged to the outside from the second space 67 b through the opening 63 a, whereby the light emitting element L is separated from the bottom 634 of the elevating cylinder 63 and remains placed on the transport table 23. . The gas injection may be started before the elevating cylinder 63 starts to rise, or after the elevating cylinder 63 starts to rise.

図5は、カム駆動ユニット8に含まれるカム85及び86のプロファイル例を表す図である。同図の横軸は、カム85及び86の回転角度を表し、0°及び360°は、搬送台23が昇降筒63の下方かつプローブ55の上方の位置に達した時点に対応している。同図の縦軸は、カム85及び86の半径を表す。モータ81は、搬送台23が昇降筒63の下方かつプローブ55の上方の位置に達してから離れるまでの間に、軸部83を一回転させる。   FIG. 5 is a diagram illustrating a profile example of the cams 85 and 86 included in the cam drive unit 8. The horizontal axis of the figure represents the rotation angles of the cams 85 and 86, and 0 ° and 360 ° correspond to the time when the transport base 23 reaches a position below the lifting cylinder 63 and above the probe 55. The vertical axis in the figure represents the radii of the cams 85 and 86. The motor 81 causes the shaft 83 to rotate once during the period from when the conveyance base 23 reaches the position below the lifting cylinder 63 and above the probe 55 until it leaves.

軸部83の回転に伴ってカム86が一回転するとき、昇降筒63は下降して搬送台23に載せられた発光素子Lと接触し、その後、元の位置まで上昇する。すなわち、カム86は、回転角度0°〜180°の間に最高半径から最低半径に達し、その後、回転角度180°〜360°の間に最低半径から最高半径に達する。カム86が最低半径にある間、昇降筒63は可動範囲の最下点に達し、発光素子Lの上面に接触する。   When the cam 86 makes one rotation along with the rotation of the shaft portion 83, the elevating cylinder 63 descends and comes into contact with the light emitting element L placed on the transport table 23, and then rises to the original position. That is, the cam 86 reaches the lowest radius from the highest radius during the rotation angle of 0 ° to 180 °, and then reaches the highest radius from the lowest radius during the rotation angle of 180 ° to 360 °. While the cam 86 is at the lowest radius, the elevating cylinder 63 reaches the lowest point of the movable range and contacts the upper surface of the light emitting element L.

軸部83の回転に伴ってカム85が一回転するとき、プローブ55は上昇して搬送台23に載せられた発光素子Lと接触し、その後、元の位置まで下降する。すなわち、カム85は、回転角度0°〜180°の間に最低半径から最高半径に達し、その後、回転角度180°〜360°の間に最高半径から最低半径に達する。カム85が最高半径にある間、プローブ55は可動範囲の最上点に達し、発光素子Lの下面に接触する。   When the cam 85 rotates once in accordance with the rotation of the shaft portion 83, the probe 55 rises and comes into contact with the light emitting element L placed on the transport table 23, and then descends to the original position. That is, the cam 85 reaches the highest radius from the lowest radius during the rotation angle of 0 ° to 180 °, and then reaches the lowest radius from the highest radius during the rotation angle of 180 ° to 360 °. While the cam 85 is at the maximum radius, the probe 55 reaches the uppermost point of the movable range and contacts the lower surface of the light emitting element L.

ここで、カム86が最低半径に達するタイミングは、カム85が最高半径に達するタイミングよりも早くなるよう設定されている。このため、昇降筒63が発光素子Lの上面に接触し、昇降筒63と搬送台23とで発光素子Lを挟み込んだ後に、プローブ55が発光素子Lの下面に接触する。   Here, the timing at which the cam 86 reaches the lowest radius is set to be earlier than the timing at which the cam 85 reaches the highest radius. For this reason, the elevating cylinder 63 contacts the upper surface of the light emitting element L, and the probe 55 contacts the lower surface of the light emitting element L after the light emitting element L is sandwiched between the elevating cylinder 63 and the carrier 23.

また、カム86が最低半径から離れるタイミングは、カム85が最高半径から離れるタイミングよりも遅くなるよう設定されている。このため、プローブ55が発光素子Lの下面から離れた後に、昇降筒63が発光素子Lの上面から離れ、昇降筒63と搬送台23とによる発光素子Lの挟み込みが解除される。   The timing at which the cam 86 leaves the lowest radius is set to be later than the timing at which the cam 85 leaves the highest radius. For this reason, after the probe 55 is separated from the lower surface of the light emitting element L, the elevating cylinder 63 is separated from the upper surface of the light emitting element L, and the sandwiching of the light emitting element L between the elevating cylinder 63 and the transport base 23 is released.

図6は、発光素子の検査装置1の構成例を表すブロック図である。発光素子の検査装置1では、装置全体の制御を司る主制御部10と、テスターとしての特性測定部17と、が相互に接続されている。主制御部10には、発光特性測定ユニット12に含まれるモータ81及び注入器16が接続されており、また分類動作ユニット9も接続されている。特性測定部17には、積分球からなる受光器7が接続されている。また、特性測定部17は、位置決定部19を機能的に含んでいる。   FIG. 6 is a block diagram illustrating a configuration example of the light-emitting element inspection apparatus 1. In the light-emitting element inspection apparatus 1, a main control unit 10 that controls the entire apparatus and a characteristic measurement unit 17 as a tester are connected to each other. A motor 81 and an injector 16 included in the light emission characteristic measurement unit 12 are connected to the main control unit 10, and a classification operation unit 9 is also connected. The characteristic measuring unit 17 is connected to a light receiver 7 composed of an integrating sphere. Further, the characteristic measuring unit 17 functionally includes a position determining unit 19.

他にも、主制御部10は、発光素子の検査装置1に含まれる間欠回転盤2などを制御する。間欠回転盤2の間欠回転では、間欠回転盤2が所定の角度だけ回転する回転期間と、回転が停止する停止期間と、が交互に繰り返される。発光特性測定ユニット12に含まれるモータ81等は、間欠回転盤2の停止期間に動作するように制御される。   In addition, the main control unit 10 controls the intermittent turntable 2 included in the light-emitting element inspection apparatus 1. In the intermittent rotation of the intermittent rotating disk 2, a rotation period in which the intermittent rotating disk 2 rotates by a predetermined angle and a stop period in which the rotation stops are alternately repeated. The motor 81 and the like included in the light emission characteristic measurement unit 12 are controlled so as to operate during the stop period of the intermittent rotating disk 2.

主制御部10及び特性測定部17は、CPU(中央演算装置)及びその作業領域であるRAM等を含んだコンピュータ又はPLC(プログラマブルコントローラ)として構成されている。また、主制御部10及び特性測定部17は、CPUの動作に必要なプログラム及びデータを記憶する記憶装置を含んでいる。   The main control unit 10 and the characteristic measurement unit 17 are configured as a computer or PLC (programmable controller) including a CPU (central processing unit) and a RAM as a work area thereof. The main control unit 10 and the characteristic measurement unit 17 include a storage device that stores programs and data necessary for the operation of the CPU.

特性測定部17は、プローブ55に接続されており、プローブ55が発光素子Lの端子Ltに接触するタイミングに合わせて、プローブ55を介して発光素子Lに通電することで、発光素子Lから光を放射させる(図4Bを参照)。   The characteristic measurement unit 17 is connected to the probe 55, and the light is emitted from the light emitting element L by energizing the light emitting element L through the probe 55 in accordance with the timing when the probe 55 contacts the terminal Lt of the light emitting element L. (See FIG. 4B).

また、特性測定部17は、受光器7に接続されており、受光器7の検出信号を受け入れて、発光素子Lの輝度などの発光特性を測定する。ここで、受光器7が検出する光は、昇降筒63の開口63aに挿入された発光素子LのレンズLpから放射され、透光部材67を透過し、昇降筒63を通って、受光器7の内部空間に至った光である(図4Bを参照)。   The characteristic measurement unit 17 is connected to the light receiver 7 and receives a detection signal from the light receiver 7 to measure light emission characteristics such as luminance of the light emitting element L. Here, the light detected by the light receiver 7 is radiated from the lens Lp of the light emitting element L inserted into the opening 63 a of the lifting cylinder 63, passes through the translucent member 67, passes through the lifting cylinder 63, and passes through the light receiver 7. (See FIG. 4B).

注入器16は、貫通穴63cに接続されており、主制御部10からの指令に応じて気体を放出する。注入器16は、例えば電磁弁からなる。具体的に、注入器16は、昇降筒63が上昇するタイミングに合わせて、昇降筒63の第2の空間67bに気体を注入することで、昇降筒63から発光素子Lを引き離す(図4Bを参照)。   The injector 16 is connected to the through hole 63c and discharges gas in response to a command from the main control unit 10. The injector 16 is composed of, for example, an electromagnetic valve. Specifically, the injector 16 injects a gas into the second space 67b of the elevating cylinder 63 in accordance with the timing when the elevating cylinder 63 rises, thereby pulling the light emitting element L away from the elevating cylinder 63 (see FIG. 4B). reference).

特性測定部17に含まれる位置決定部19は、測定された発光特性に基づいて、発光素子Lの収容位置を決定する。具体的には、始めに、位置決定部19は、取得した発光特性に基づいて、予め定められた複数の階級の中の何れの階級に発光素子Lが該当するのかを判定する。階級の数は、例えば容器Bの数と同数であり、例えば128である。次いで、位置決定部19は、記憶装置に保持されたテーブルを参照し、判定された階級に基づいて、複数の容器Bの中から発光素子Lを収容する容器Bを決定する。図7に示されるように、テーブルでは、発光特性の「階級」と、各容器Bの「容器位置」とが対応付けられている。   The position determination unit 19 included in the characteristic measurement unit 17 determines the accommodation position of the light emitting element L based on the measured light emission characteristics. Specifically, first, the position determination unit 19 determines which class among a plurality of predetermined classes the light emitting element L corresponds to based on the acquired light emission characteristics. The number of classes is, for example, the same as the number of containers B, for example 128. Next, the position determination unit 19 refers to the table held in the storage device, and determines the container B that houses the light emitting element L from the plurality of containers B based on the determined class. As shown in FIG. 7, in the table, “class” of the light emission characteristics and “container position” of each container B are associated with each other.

また、位置決定部19は、分類動作ユニット9のヘッド部91を位置決めする各容器Bの位置を2次元の直交座標もしくは極座標で管理しており、発光素子Lを収容する容器Bの位置を表す座標情報を主制御部10に出力する。主制御部10は、座標情報に基づいて分類動作ユニット9を駆動する。これにより、分類動作ユニット9は、発光素子Lを保持したヘッド部91を指定された容器Bの上方に位置決めし、当該容器Bに発光素子Lを収容する。   In addition, the position determination unit 19 manages the position of each container B for positioning the head unit 91 of the classification operation unit 9 by two-dimensional orthogonal coordinates or polar coordinates, and represents the position of the container B that houses the light emitting element L. The coordinate information is output to the main control unit 10. The main control unit 10 drives the classification operation unit 9 based on the coordinate information. Accordingly, the classification operation unit 9 positions the head portion 91 holding the light emitting element L above the designated container B, and accommodates the light emitting element L in the container B.

以上、本考案の実施形態について説明したが、本考案は上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形実施が当業者にとって可能であるのはもちろんである。   Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made by those skilled in the art.

上記実施形態では、発光素子Lから放射される光が透光部材67を透過しており、多少の減衰が予想されるため、透光部材67の吸収特性を予め求めて、これに基づき発光特性の測定結果を補正してもよい。   In the above embodiment, the light emitted from the light emitting element L is transmitted through the translucent member 67 and is expected to be attenuated to some extent. Therefore, the absorption characteristic of the translucent member 67 is obtained in advance, and based on this, the light emitting characteristic is obtained. The measurement result may be corrected.

1 発光素子の検査装置、10 主制御部、12 発光特性測定ユニット、16 注入器、17 特性測定部、19 位置決定部、2 間欠回転盤、21 円板部、22 部品搬送部、23 搬送台、23a 貫通穴、3 部品供給機、32 整列搬送部、34 部品移載機、36 位置調整機、39 部品移載機、4 副間欠回転盤、41 円板部、42 部品搬送部、5 プローブ昇降ユニット、51 固定部、512 レール部、514 バネ支持部、52 昇降部、523 ランナー部、525 バネ支持部、53 保持部、54 カムフォロワ、55 プローブ、56 引張りバネ、6 ステージ昇降ユニット、61 固定部、612 レール部、614 バネ支持部、62 昇降部、623 ランナー部、625 バネ支持部、63 昇降筒、63a 開口、63b 内周面、63c 貫通穴、632 筒部、634 底部、64 カムフォロワ、66 引張りバネ、67 透光部材、67a 第1の空間、67b 第2の空間、7 受光器、7a 挿入口、8 カム駆動ユニット、81 モータ、83 軸部、85 カム、86 カム、9 分類動作ユニット、91 ヘッド、93 アーム、B 容器、L 発光素子、Lp 光放射部(レンズ)、Ln 非放射部、Ls 基板部、Lt 端子。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inspection device of light emitting element, 10 main control part, 12 light emission characteristic measurement unit, 16 injector, 17 characteristic measurement part, 19 position determination part, 2 intermittent turntable, 21 disc part, 22 component conveyance part, 23 conveyance stand , 23a Through-hole, 3 parts supply machine, 32 alignment transport section, 34 parts transfer machine, 36 position adjustment machine, 39 parts transfer machine, 4 sub-intermittent rotating disk, 41 disc section, 42 parts transport section, 5 probe Lifting unit, 51 fixed part, 512 rail part, 514 spring support part, 52 lifting part, 523 runner part, 525 spring support part, 53 holding part, 54 cam follower, 55 probe, 56 tension spring, 6 stage lifting unit, 61 fixed Part, 612 rail part, 614 spring support part, 62 lift part, 623 runner part, 625 spring support part, 63 lift cylinder, 63a opening 63b inner peripheral surface, 63c through-hole, 632 cylinder, 634 bottom, 64 cam follower, 66 tension spring, 67 translucent member, 67a first space, 67b second space, 7 light receiver, 7a insertion port, 8 cam Drive unit, 81 motor, 83 shaft part, 85 cam, 86 cam, 9 sort operation unit, 91 head, 93 arm, B container, L light emitting element, Lp light emitting part (lens), Ln non-radiating part, Ls substrate part , Lt terminal.

Claims (12)

上面に光放射部と非放射部とを有する発光素子が載せられる搬送台と、
前記搬送台の上方に配置され、内部空間を有し、前記発光素子から前記内部空間に放射される光を受光する受光器であって、下方を向く挿入口が形成された受光器と、
前記受光器の前記挿入口に挿入され、上下方向に進退可能な有底の昇降筒であって、底部に開口が形成され、前記昇降筒が下降したとき、前記開口の縁が前記発光素子の前記非放射部に接触すると共に、前記開口の内に前記発光素子の前記光放射部が位置する昇降筒と、
前記搬送台に載せられた前記発光素子の端子と接触して、前記発光素子に通電するプローブと、
を備えることを特徴とする発光素子の検査装置。
A carrier on which a light emitting element having a light emitting portion and a non-radiating portion is placed on the upper surface;
A light receiver that is disposed above the carrier, has an internal space, receives light emitted from the light emitting element to the internal space, and has an insertion port facing downward;
A bottomed lifting cylinder that is inserted into the insertion port of the light receiver and can be moved back and forth in the vertical direction, and an opening is formed at the bottom, and when the lifting cylinder is lowered, the edge of the opening is the edge of the light emitting element. A lifting cylinder in contact with the non-radiating part and in which the light emitting part of the light emitting element is located in the opening,
A probe that is in contact with a terminal of the light emitting element placed on the carrier and energizes the light emitting element;
A light-emitting element inspection apparatus comprising:
前記昇降筒の内周面は、前記発光素子から放射される光を反射する反射面である、
請求項1に記載の発光素子の検査装置。
The inner peripheral surface of the elevating cylinder is a reflective surface that reflects light emitted from the light emitting element.
The light-emitting element inspection apparatus according to claim 1.
前記発光素子の前記光放射部は、凸状のレンズであり、前記昇降筒が下降したとき、前記開口に挿入される、
請求項1に記載の発光素子の検査装置。
The light emitting portion of the light emitting element is a convex lens, and is inserted into the opening when the lifting cylinder is lowered.
The light-emitting element inspection apparatus according to claim 1.
前記昇降筒の前記開口の側壁は、上方に向けて広がるテーパー形状である、
請求項3に記載の発光素子の検査装置。
The side wall of the opening of the lifting cylinder has a tapered shape that spreads upward.
The light-emitting element inspection apparatus according to claim 3.
前記搬送台には、前記プローブが挿入される貫通穴が形成され、
前記プローブは、上下方向に進退可能とされ、上昇したとき、前記貫通穴に挿入され、前記発光素子の下面に設けられた前記端子と接触する、
請求項1に記載の発光素子の検査装置。
A through hole into which the probe is inserted is formed in the transport table,
The probe can be moved back and forth in the vertical direction, and when it is raised, it is inserted into the through hole and contacts the terminal provided on the lower surface of the light emitting element.
The light-emitting element inspection apparatus according to claim 1.
前記昇降筒が前記発光素子の上面に接触した後に、前記プローブが前記発光素子の下面に接触する、
請求項5に記載の発光素子の検査装置。
After the lifting cylinder contacts the upper surface of the light emitting element, the probe contacts the lower surface of the light emitting element.
The light-emitting element inspection apparatus according to claim 5.
前記プローブが前記発光素子の下面から離れた後に、前記昇降筒が前記発光素子の上面から離れる、
請求項5に記載の発光素子の検査装置。
After the probe is separated from the lower surface of the light emitting element, the lifting cylinder is separated from the upper surface of the light emitting element.
The light-emitting element inspection apparatus according to claim 5.
前記昇降筒を上下方向に進退させるカムと、前記プローブを上下方向に進退させるカムと、が同じ軸に設けられる、
請求項5に記載の発光素子の検査装置。
A cam for advancing and retracting the elevating cylinder in the vertical direction and a cam for advancing and retracting the probe in the vertical direction are provided on the same shaft.
The light-emitting element inspection apparatus according to claim 5.
前記搬送台を上下方向に進退させる機構を有しない、
請求項1に記載の発光素子の検査装置。
It does not have a mechanism for moving the carriage up and down in the vertical direction,
The light-emitting element inspection apparatus according to claim 1.
前記昇降筒の内部空間を、前記受光器の内部空間に連続する第1の空間と、前記開口に連続する第2の空間と、に分ける透光部材をさらに備える、
請求項1に記載の発光素子の検査装置。
A translucent member that divides the internal space of the elevating cylinder into a first space that continues to the internal space of the light receiver and a second space that continues to the opening;
The light-emitting element inspection apparatus according to claim 1.
前記昇降筒には、前記第2の空間に繋がる貫通穴が形成され、
前記貫通穴を通じて前記第2の空間に気体を注入する注入器をさらに備える、
請求項10に記載の発光素子の検査装置。
A through-hole connected to the second space is formed in the lifting cylinder,
An injector for injecting gas into the second space through the through hole;
The light-emitting element inspection apparatus according to claim 10.
上面に光放射部と非放射部とを有する発光素子が載せられる搬送台と、
前記搬送台の上方に配置され、内部空間を有し、前記発光素子から前記内部空間に放射される光を受光する受光器であって、下方を向く挿入口が形成された受光器と、
前記受光器の前記挿入口に挿入され、上下方向に進退可能な有底の昇降筒であって、底部に開口が形成され、前記昇降筒が下降したとき、前記開口の縁が前記発光素子の前記非放射部に接触すると共に、前記開口の内に前記発光素子の前記光放射部が位置する昇降筒と、
前記搬送台に載せられた前記発光素子の端子と接触して、前記発光素子に通電するプローブと、
前記受光器からの検出信号に基づいて、前記発光素子の発光特性を測定する特性測定部と、
前記発光素子の発光特性に基づいて、複数の収容位置の中から前記発光素子の収容位置を決定する位置決定部と、
前記搬送台に載せられた前記発光素子を前記決定された収容位置まで移動させる分類動作部と、
を備えることを特徴とする発光素子の検査装置。
A carrier on which a light emitting element having a light emitting portion and a non-radiating portion is placed on the upper surface;
A light receiver that is disposed above the carrier, has an internal space, receives light emitted from the light emitting element to the internal space, and has an insertion port facing downward;
A bottomed lifting cylinder that is inserted into the insertion port of the light receiver and can be moved back and forth in the vertical direction, and an opening is formed at the bottom, and when the lifting cylinder is lowered, the edge of the opening is the edge of the light emitting element. A lifting cylinder in contact with the non-radiating part and in which the light emitting part of the light emitting element is located in the opening,
A probe that is in contact with a terminal of the light emitting element placed on the carrier and energizes the light emitting element;
Based on a detection signal from the light receiver, a characteristic measurement unit that measures a light emission characteristic of the light emitting element,
Based on the light emission characteristics of the light emitting element, a position determining unit that determines the accommodating position of the light emitting element from among a plurality of accommodating positions;
A classification operation unit for moving the light-emitting elements placed on the carrier to the determined accommodation position;
A light-emitting element inspection apparatus comprising:
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