JP3169474B2 - 搬送装置における搬送物移動装置 - Google Patents
搬送装置における搬送物移動装置Info
- Publication number
- JP3169474B2 JP3169474B2 JP11787793A JP11787793A JP3169474B2 JP 3169474 B2 JP3169474 B2 JP 3169474B2 JP 11787793 A JP11787793 A JP 11787793A JP 11787793 A JP11787793 A JP 11787793A JP 3169474 B2 JP3169474 B2 JP 3169474B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- link
- moving device
- object moving
- transport
- transported
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、搬送装置における搬送
物移動装置に関し、特に、搬送物を搬送装置内に収納、
搬出するための鉛直面内で回動する２リンク式の搬送物
移動装置に関するものである。
物移動装置に関し、特に、搬送物を搬送装置内に収納、
搬出するための鉛直面内で回動する２リンク式の搬送物
移動装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば、半導体ウエハ、磁気ディ
スク、光ディスク、コンパクトディスク、液晶等の製造
等のクリーンな環境下において半導体ウエハ等を収納す
るカセット等の搬送物を搬送装置内に収納、搬出するた
めの搬送物移動装置として、ロボットアームのように各
リンク毎に駆動装置を持つものや、図４（ｂ）に示すよ
うな搬送装置側の第１リンク１１と先端側の第２リンク
１２の長さを同一長さとし、第１リンク１１と第２リン
ク１２を連動するリンク連動機構を設け、該リンク連動
機構の駆動により第２リンクの先端部１９を図示１９Ａ
から１９Ｂ又はその逆方向に水平に移動するようにした
２リンク式のものがあった。しかしながら、前者の場
合、制御及び構造が複雑であるとともに、搬送物移動装
置自体が大形化なものとなり、また、後者の場合、搬送
物を搬送装置内に収納する際搬送物の移動高さに対して
必要となる第１リンク１１の上方寸法が大きく、搬送装
置全体が大形化し、このため、いずれの場合も搬送物移
動装置を含め通過スペースが大きくなるとともに搬送装
置を駆動するために大きな駆動力が必要となる等によ
り、搬送装置全体のレイアウトの制約や製造コストが高
くつくという問題点を有していた。
スク、光ディスク、コンパクトディスク、液晶等の製造
等のクリーンな環境下において半導体ウエハ等を収納す
るカセット等の搬送物を搬送装置内に収納、搬出するた
めの搬送物移動装置として、ロボットアームのように各
リンク毎に駆動装置を持つものや、図４（ｂ）に示すよ
うな搬送装置側の第１リンク１１と先端側の第２リンク
１２の長さを同一長さとし、第１リンク１１と第２リン
ク１２を連動するリンク連動機構を設け、該リンク連動
機構の駆動により第２リンクの先端部１９を図示１９Ａ
から１９Ｂ又はその逆方向に水平に移動するようにした
２リンク式のものがあった。しかしながら、前者の場
合、制御及び構造が複雑であるとともに、搬送物移動装
置自体が大形化なものとなり、また、後者の場合、搬送
物を搬送装置内に収納する際搬送物の移動高さに対して
必要となる第１リンク１１の上方寸法が大きく、搬送装
置全体が大形化し、このため、いずれの場合も搬送物移
動装置を含め通過スペースが大きくなるとともに搬送装
置を駆動するために大きな駆動力が必要となる等によ
り、搬送装置全体のレイアウトの制約や製造コストが高
くつくという問題点を有していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来の搬
送装置における搬送物移動装置の問題点を解決し、搬送
物を搬送装置内に収納する際必要となる第１リンクの上
方寸法が従来のものと比較して小さくコンパクトで、か
つ構造が簡単で摩耗部品が少なく信頼性の高い、鉛直面
内で回動する２リンク式の搬送装置における搬送物移動
装置を提供することを目的とする。
送装置における搬送物移動装置の問題点を解決し、搬送
物を搬送装置内に収納する際必要となる第１リンクの上
方寸法が従来のものと比較して小さくコンパクトで、か
つ構造が簡単で摩耗部品が少なく信頼性の高い、鉛直面
内で回動する２リンク式の搬送装置における搬送物移動
装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、走行部と、該走行部の上部に設けた搬送
物移動装置と、搬送物及び搬送物移動装置を覆うカバー
とで構成した、搬送物を搬送装置内に収納、搬出する搬
送装置における搬送物移動装置において、前記搬送物移
動装置は、搬送物を搬送装置内に収納、搬出するための
鉛直面内で回動する２リンク式の搬送物移動装置からな
り、搬送装置側の第１リンクの長さを先端側の第２リン
クの長さより長く形成するとともに、前記第１リンクの
回転より第２リンクの回転比率を高めることにより第２
リンクの先端部を略水平に移動するようにする第１リン
クと第２リンクを連動させるリンク連動機構を設け、前
記第１リンクを回動することによりリンク連動機構を介
して第２リンクを回動し、第２リンクの先端部を略水平
に移動するようにしたことを要旨とする。
め、本発明は、走行部と、該走行部の上部に設けた搬送
物移動装置と、搬送物及び搬送物移動装置を覆うカバー
とで構成した、搬送物を搬送装置内に収納、搬出する搬
送装置における搬送物移動装置において、前記搬送物移
動装置は、搬送物を搬送装置内に収納、搬出するための
鉛直面内で回動する２リンク式の搬送物移動装置からな
り、搬送装置側の第１リンクの長さを先端側の第２リン
クの長さより長く形成するとともに、前記第１リンクの
回転より第２リンクの回転比率を高めることにより第２
リンクの先端部を略水平に移動するようにする第１リン
クと第２リンクを連動させるリンク連動機構を設け、前
記第１リンクを回動することによりリンク連動機構を介
して第２リンクを回動し、第２リンクの先端部を略水平
に移動するようにしたことを要旨とする。
【０００５】
【作用】本発明によれば、長い搬送装置側の第１リンク
の回動に短い先端側の第２リンクをリンク連動機構によ
り連動させて回動することにより、第２リンクの先端部
を略水平に移動することが可能となる。この際、すなわ
ち搬送物を搬送装置内に収納する際必要となる第１リン
クの上方寸法を小さくすることができる。
の回動に短い先端側の第２リンクをリンク連動機構によ
り連動させて回動することにより、第２リンクの先端部
を略水平に移動することが可能となる。この際、すなわ
ち搬送物を搬送装置内に収納する際必要となる第１リン
クの上方寸法を小さくすることができる。
【０００６】
【実施例】以下本発明を図示の実施例に基づいて説明す
る。図３に示すように、搬送装置は、走行部１３と、走
行部１３の上部に設けた搬送物移動装置１４と搬送物１
０を把持するチャック装置１５からなるロボット部と、
ロボット部を覆うカバー１６で構成される。
る。図３に示すように、搬送装置は、走行部１３と、走
行部１３の上部に設けた搬送物移動装置１４と搬送物１
０を把持するチャック装置１５からなるロボット部と、
ロボット部を覆うカバー１６で構成される。
【０００７】走行部１３は、レール２０上をガイドさ
れ、走行駆動装置（図示せず）の牽引等によって矢印方
向に走行するように構成されている。なお図３は、カバ
ー１６の一部を開放した状態を示しているが、開口１７
の大きさは、搬送物１０の大きさ等に応じて適宜変更す
ることができる。
れ、走行駆動装置（図示せず）の牽引等によって矢印方
向に走行するように構成されている。なお図３は、カバ
ー１６の一部を開放した状態を示しているが、開口１７
の大きさは、搬送物１０の大きさ等に応じて適宜変更す
ることができる。
【０００８】図１及び図２に示すように、搬送物移動装
置１４は、鉛直面内で駆動軸７を中心に回動する第１リ
ンク１と、第１リンク１と従動軸８によりピン結合する
とともに従動軸８に固定され、鉛直面内で回動する第２
リンク２と、搬送装置側フレーム６に固定された第１リ
ンク１のプーリ３、従動軸８に固定された第２リンク２
のプーリ４及び第１リンク１のプーリ３と第２リンク２
のプーリ４とに掛け渡したベルト５からなるリンク連動
機構とから構成する。ここで、第１リンク１の回転より
第２リンク２の回転比率を高めるようにリンク連動機構
のプーリ３とプーリ４の径を決定する。また、駆動軸７
には第１リンク１を回動するためのモータ（図示せず）
等を連結し、第２リンクの先端部９には搬送物１０を把
持するチャック装置１５を設ける。なお、上記実施例に
おいては、リンク連動機構をプーリ３，４及びベルト５
で構成したが、これに限定されず、スプロケット及びチ
ェーン、歯車機構等で構成することもできる。
置１４は、鉛直面内で駆動軸７を中心に回動する第１リ
ンク１と、第１リンク１と従動軸８によりピン結合する
とともに従動軸８に固定され、鉛直面内で回動する第２
リンク２と、搬送装置側フレーム６に固定された第１リ
ンク１のプーリ３、従動軸８に固定された第２リンク２
のプーリ４及び第１リンク１のプーリ３と第２リンク２
のプーリ４とに掛け渡したベルト５からなるリンク連動
機構とから構成する。ここで、第１リンク１の回転より
第２リンク２の回転比率を高めるようにリンク連動機構
のプーリ３とプーリ４の径を決定する。また、駆動軸７
には第１リンク１を回動するためのモータ（図示せず）
等を連結し、第２リンクの先端部９には搬送物１０を把
持するチャック装置１５を設ける。なお、上記実施例に
おいては、リンク連動機構をプーリ３，４及びベルト５
で構成したが、これに限定されず、スプロケット及びチ
ェーン、歯車機構等で構成することもできる。
【０００９】上記のように構成された搬送装置を半導体
ウエハ搬送装置として使用する場合について以下説明す
る。この場合、搬送物１０は、複数の工程の各製造装置
に設けられた受渡口に置かれている。受渡口の前面に搬
送装置を停止させ、開口１７を開き、搬送物移動装置１
４を駆動し、チャック装置１５を搬送物１０の受渡口に
移動し、チャック装置１５により搬送物１０を把持し、
搬送物移動装置１４を駆動して搬送物１０をカバー１６
内部に収容した後、開口１７を閉じる。その後、搬送装
置は、次の工程の製造装置までレール２０上をガイドさ
れながら走行駆動装置に牽引されて走行する。なお、上
記使用方法は、製造装置に設けられた受渡口に置かれて
いる搬送物１０を搬送装置内部に収容する工程について
のみ説明したが、搬送装置内部に収容されている搬送物
１０を製造装置に設けられた受渡口に搬出する場合も、
搬送物移動装置１４及びチャック装置１５を順に作動さ
せることにより行う。
ウエハ搬送装置として使用する場合について以下説明す
る。この場合、搬送物１０は、複数の工程の各製造装置
に設けられた受渡口に置かれている。受渡口の前面に搬
送装置を停止させ、開口１７を開き、搬送物移動装置１
４を駆動し、チャック装置１５を搬送物１０の受渡口に
移動し、チャック装置１５により搬送物１０を把持し、
搬送物移動装置１４を駆動して搬送物１０をカバー１６
内部に収容した後、開口１７を閉じる。その後、搬送装
置は、次の工程の製造装置までレール２０上をガイドさ
れながら走行駆動装置に牽引されて走行する。なお、上
記使用方法は、製造装置に設けられた受渡口に置かれて
いる搬送物１０を搬送装置内部に収容する工程について
のみ説明したが、搬送装置内部に収容されている搬送物
１０を製造装置に設けられた受渡口に搬出する場合も、
搬送物移動装置１４及びチャック装置１５を順に作動さ
せることにより行う。
【００１０】次に、図１、図２及び図４により、搬送物
移動装置１４の動作についてさらに詳細に説明する。駆
動軸７を反時計回りに回動すると従動軸８は、８Ａから
８Ｂに向けて移動する。ところで、第１リンク１のプー
リ３は搬送装置側フレーム６に固定されているため、第
１リンク１のプーリ３と第２リンク２のプーリ４とに掛
け渡されたベルト５により第２リンク２のプーリ４とこ
のプーリ４と従動軸８を介して固定されている第２リン
ク２は、時計回りに回動し、搬送物１０を把持するチャ
ック装置１５を設けた第２リンクの先端部９は、略水平
レベルＬを保ちながら９Ａから９Ｂに向けて移動する。
ここで、上記実施例の搬送物移動装置及び従来の搬送物
移動装置の各部材等の寸法の設計例を以下に示すが、一
般には搬送物移動装置の寸法はこれに限定されず、搬送
物移動装置の用途に応じて適宜変更することができる。 第１リンク長：Ｒ１＝４１０ｍｍ，Ｒ１１＝２６５ｍｍ 第２リンク長：Ｒ２＝２００ｍｍ，Ｒ２１＝２６５ｍｍ 第１リンクのプーリの直径：Ｐ１＝１４０ｍｍ，Ｐ１１
＝１４０ｍｍ 第２リンクのプーリの直径：Ｐ２＝５６ｍｍ，Ｐ１２＝
７０ｍｍ ストローク長：Ｓ＝５００ｍｍ，Ｓ１＝５００ｍｍ 水平レベル上方必要寸法：Ｈ＝２２８ｍｍ，Ｈ１＝３０
０ｍｍ 水平レベル上方必要寸法の差：Ｈ１−Ｈ＝７２ｍｍ
移動装置１４の動作についてさらに詳細に説明する。駆
動軸７を反時計回りに回動すると従動軸８は、８Ａから
８Ｂに向けて移動する。ところで、第１リンク１のプー
リ３は搬送装置側フレーム６に固定されているため、第
１リンク１のプーリ３と第２リンク２のプーリ４とに掛
け渡されたベルト５により第２リンク２のプーリ４とこ
のプーリ４と従動軸８を介して固定されている第２リン
ク２は、時計回りに回動し、搬送物１０を把持するチャ
ック装置１５を設けた第２リンクの先端部９は、略水平
レベルＬを保ちながら９Ａから９Ｂに向けて移動する。
ここで、上記実施例の搬送物移動装置及び従来の搬送物
移動装置の各部材等の寸法の設計例を以下に示すが、一
般には搬送物移動装置の寸法はこれに限定されず、搬送
物移動装置の用途に応じて適宜変更することができる。 第１リンク長：Ｒ１＝４１０ｍｍ，Ｒ１１＝２６５ｍｍ 第２リンク長：Ｒ２＝２００ｍｍ，Ｒ２１＝２６５ｍｍ 第１リンクのプーリの直径：Ｐ１＝１４０ｍｍ，Ｐ１１
＝１４０ｍｍ 第２リンクのプーリの直径：Ｐ２＝５６ｍｍ，Ｐ１２＝
７０ｍｍ ストローク長：Ｓ＝５００ｍｍ，Ｓ１＝５００ｍｍ 水平レベル上方必要寸法：Ｈ＝２２８ｍｍ，Ｈ１＝３０
０ｍｍ 水平レベル上方必要寸法の差：Ｈ１−Ｈ＝７２ｍｍ
【００１１】以上、本発明の搬送装置における搬送物移
動装置を半導体ウエハ搬送装置に組み込んで使用する場
合について説明したが、本発明の対象は、半導体ウエハ
のほか、磁気ディスク、光ディスク、コンパクトディス
ク、液晶等の製造等の工程で対象製品を収納するカセッ
ト等の搬送物のほか、広く一般の搬送物を搬送装置内に
収納、搬出するために広範囲に使用できるものである。
動装置を半導体ウエハ搬送装置に組み込んで使用する場
合について説明したが、本発明の対象は、半導体ウエハ
のほか、磁気ディスク、光ディスク、コンパクトディス
ク、液晶等の製造等の工程で対象製品を収納するカセッ
ト等の搬送物のほか、広く一般の搬送物を搬送装置内に
収納、搬出するために広範囲に使用できるものである。
【００１２】
【発明の効果】本発明によれば、搬送物を搬送装置内に
収納する際必要となる第１リンクの上方寸法を従来のも
のと比較してはるかに小さくすることができるととも
に、鉛直面内で回動する２リンク式の搬送物移動装置に
おいて、搬送物を把持するチャック装置を設ける第２リ
ンクの先端部を略水平に移動するようにしているため、
半導体ウエハのほか、磁気ディスク、光ディスク、コン
パクトディスク、液晶等の製造等の工程で対象製品を収
納するカセット等の搬送物に塵埃が付着するのを防止す
るカバーを含む搬送装置全体をコンパクトにすることが
でき、また、搬送物を上下動することなく安定して移動
することができ、さらに、搬送物移動装置の構造が簡単
でありかつ摩耗部品が少ないため、信頼性の高いコンパ
クトでかつクリーンな環境に適した鉛直面内で回動する
２リンク式の搬送物移動装置を提供することができる。
また、搬送物移動装置を含め搬送装置を駆動するための
駆動力も小出力のものでよく、搬送装置全体のレイアウ
トの制約を少なくできるとともに搬送装置全体の製造コ
ストを低減することができる。
収納する際必要となる第１リンクの上方寸法を従来のも
のと比較してはるかに小さくすることができるととも
に、鉛直面内で回動する２リンク式の搬送物移動装置に
おいて、搬送物を把持するチャック装置を設ける第２リ
ンクの先端部を略水平に移動するようにしているため、
半導体ウエハのほか、磁気ディスク、光ディスク、コン
パクトディスク、液晶等の製造等の工程で対象製品を収
納するカセット等の搬送物に塵埃が付着するのを防止す
るカバーを含む搬送装置全体をコンパクトにすることが
でき、また、搬送物を上下動することなく安定して移動
することができ、さらに、搬送物移動装置の構造が簡単
でありかつ摩耗部品が少ないため、信頼性の高いコンパ
クトでかつクリーンな環境に適した鉛直面内で回動する
２リンク式の搬送物移動装置を提供することができる。
また、搬送物移動装置を含め搬送装置を駆動するための
駆動力も小出力のものでよく、搬送装置全体のレイアウ
トの制約を少なくできるとともに搬送装置全体の製造コ
ストを低減することができる。
【図１】本発明の搬送装置における搬送物移動装置の概
念図。
念図。
【図２】本発明の搬送装置における搬送物移動装置の断
面図。
面図。
【図３】本発明の搬送装置における搬送物移動装置を組
み込んだ搬送装置の外観斜視図。
み込んだ搬送装置の外観斜視図。
【図４】本発明の搬送装置における搬送物移動装置と従
来の搬送物移動装置の概念図。
来の搬送物移動装置の概念図。
１ 第１リンク ２ 第２リンク ３ 第１リンクのプーリ ４ 第２リンクのプーリ ５ ベルト
フロントページの続き (72)発明者 林田 憲明 兵庫県尼崎市下坂部３丁目11番１号 日 立機電工業株式会社内 (56)参考文献 特開 平３−10779（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−157547（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−251180（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−198589（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−57089（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B25J 9/06 B25J 19/00 B65G 49/07 H01L 21/68
Claims (1)
- 【請求項１】 走行部と、該走行部の上部に設けた搬送
物移動装置と、搬送物及び搬送物移動装置を覆うカバー
とで構成した、搬送物を搬送装置内に収納、搬出する搬
送装置における搬送物移動装置において、前記搬送物移
動装置は、搬送物を搬送装置内に収納、搬出するための
鉛直面内で回動する２リンク式の搬送物移動装置からな
り、搬送装置側の第１リンクの長さを先端側の第２リン
クの長さより長く形成するとともに、前記第１リンクの
回転より第２リンクの回転比率を高めることにより第２
リンクの先端部を略水平に移動するようにする第１リン
クと第２リンクを連動させるリンク連動機構を設け、前
記第１リンクを回動することによりリンク連動機構を介
して第２リンクを回動し、第２リンクの先端部を略水平
に移動するようにしたことを特徴とする搬送装置におけ
る搬送物移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11787793A JP3169474B2 (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | 搬送装置における搬送物移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11787793A JP3169474B2 (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | 搬送装置における搬送物移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06304884A JPH06304884A (ja) | 1994-11-01 |
| JP3169474B2 true JP3169474B2 (ja) | 2001-05-28 |
Family
ID=14722467
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11787793A Expired - Fee Related JP3169474B2 (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | 搬送装置における搬送物移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3169474B2 (ja) |
-
1993
- 1993-04-20 JP JP11787793A patent/JP3169474B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06304884A (ja) | 1994-11-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6109860A (en) | Two-armed transfer robot | |
| KR100555620B1 (ko) | 기판 운반시스템 및 운반방법 | |
| US6102649A (en) | Two-armed transfer robot | |
| JP2007036227A (ja) | 基板の保存用カセット、搬送コンベア及びそれらを用いた搬送システム | |
| JPH0538686A (ja) | 搬送装置 | |
| JP2000176876A (ja) | ワーク搬送装置およびワーク搬送装置の姿勢保持方法 | |
| CN114435865B (zh) | 皮带输送装置 | |
| JP3169474B2 (ja) | 搬送装置における搬送物移動装置 | |
| EP0174252B1 (en) | Delivery apparatus | |
| CN116620859A (zh) | 一种用于晶圆储存搬运的机械臂装置 | |
| US7217079B2 (en) | Slide fork | |
| JPH0680244A (ja) | 反転装置 | |
| JPS63288677A (ja) | ウエハ搬送装置 | |
| JP4065997B2 (ja) | 台車式搬送装置 | |
| JP2000072231A (ja) | 反転装置 | |
| WO1994002394A1 (en) | System for conveying articles | |
| JP2864326B2 (ja) | 基板洗浄処理装置 | |
| JPS63185704A (ja) | 搬送用ハンドリング装置 | |
| JP3354656B2 (ja) | 物品移載装置 | |
| JP2000340631A (ja) | ウェーハ搬送用台車 | |
| JP4131922B2 (ja) | 物品搬送装置およびその運転方法 | |
| JP3325940B2 (ja) | 搬送装置 | |
| TW201012726A (en) | Conveying device and treatment device | |
| JPH05144920A (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPH11292268A (ja) | 旋回移載装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090316 Year of fee payment: 8 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100316 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110316 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110316 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120316 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |