JP3168983B2 - Contact pin for printed circuit board inspection and method of manufacturing the same - Google Patents

Contact pin for printed circuit board inspection and method of manufacturing the same

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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は高密度プリント配線
基板の電気的検査装置に用いられるコンタクトピン及び
その製造方法に関し、特に微細な配線パッドにも対応可
能な高導電性で柔軟性にも富んだコンタクトピンとその
製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a contact pin used in an electrical inspection device for a high-density printed wiring board and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a high conductivity and a high flexibility which can cope with fine wiring pads. The contact pin and its manufacturing method.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子機器の小型化、高性能化に伴ってプ
リント配線基板においても配線の高密度化が進展してい
る。このため、微細な配線の断線、接続不良等の危険性
が増しており、簡便で確実なるプリント配線検査法への
要求が高まっている。このような要求に応える検査方法
としては、配線パターンの電極パッドにコンタクトピン
を直接接続して不良解析する方法が考えられるが、この
方法では、高密度プリント配線基板に用いられる間隔1
00μm以下で接続面高さの異なる電極パッドにも安定
に接続できるコンタクトピンを用いることが重要な技術
要素の一つとなっている。すなわち、微細加工が可能で
柔軟性にも富んだ導電性のコンタクトピン、およびその
簡便なる製造方法が求められている。
2. Description of the Related Art With the miniaturization and high performance of electronic devices, the density of wiring has been increasing on printed wiring boards. For this reason, the danger of disconnection of fine wiring, connection failure, etc. is increasing, and the demand for a simple and reliable printed wiring inspection method is increasing. As an inspection method that meets such a demand, a method of directly connecting a contact pin to an electrode pad of a wiring pattern and performing a failure analysis can be considered.
It is one of the important technical elements to use contact pins that can be stably connected to electrode pads having a connection surface height of not more than 00 μm. In other words, there is a demand for a conductive contact pin that can be finely processed and has high flexibility, and a simple manufacturing method thereof.

【0003】しかしながら、導電性の金属やセラミック
等を主な材料とするコンタクトピンでは剛直で柔軟性が
乏しいために高さの異なる電極パットと安定な電気的接
続を形成することは難しい。また、この問題を解決する
ために、柔軟性を有する高分子材料に導電性の金属やセ
ラミック、カーボン等の微粉末を分散させたコンタクト
ピンでは、ピン全体に導電性の経路を形成するためには
微粉末の粒径にもよるが少なくとも20重量%以上の導
電性粉末が必要であり、このような場合には柔軟性が失
われてしまう。さらに、導電性粉末を含んで十分な導電
性と柔軟性を有する材料が、仮に得られたとしても、こ
れらの導電性粉末が通常、数十μm以上の粒径であるの
で、高密度プリント配線基板に用いられる間隔100μ
m以下の電極パッドに接続できる形状に加工することは
難しい。
However, it is difficult to form a stable electrical connection with electrode pads having different heights because a contact pin mainly made of a conductive metal or ceramic is rigid and poor in flexibility. In order to solve this problem, in the case of a contact pin in which fine particles such as conductive metals, ceramics, and carbon are dispersed in a flexible polymer material, a conductive path is formed throughout the pin. Although it depends on the particle size of the fine powder, at least 20% by weight or more of the conductive powder is required, and in such a case, flexibility is lost. Furthermore, even if a material having sufficient conductivity and flexibility including a conductive powder is obtained, these conductive powders usually have a particle size of several tens of μm or more. 100μ spacing used for substrate
It is difficult to process into a shape that can be connected to an electrode pad of m or less.

【0004】このため、高密度プリント配線基板の検査
は目視、あるいは画像解析等の方法が採用されている。
しかしながら、この手法では電気的な接続を間接的に観
察しているのみであるので、微細な断線や不良を確実に
検出することは難しい。このため、高密度プリント配線
基板に用いられる間隔100μm以下の電極パッド
しては、確実性の高い電気的検査が行われていないのが
現状であった。
For this reason, inspection of a high-density printed wiring board employs a method such as visual observation or image analysis.
However, in this method, since only the electrical connection is indirectly observed, it is difficult to reliably detect a minute disconnection or a defect. For this reason, at present, highly reliable electrical inspection has not been performed on electrode pads having an interval of 100 μm or less used for high-density printed wiring boards.

【0005】一方、高分子それ自体が電気伝導性を有す
るものとしてポリピロールやポリアニリン等の導電性高
分子が開発され、電子部品の電極等に利用されている。
例えば、特開平3−46214号公報には、ドデシルベ
ンゼンスルホン酸とピロールのメタノール溶液を−30
℃以下で混合し、−20℃以上に昇温して重合する導電
性ポリピロールを電極とする固体電解コンデンサの製造
方法が開示されている。
On the other hand, conductive polymers such as polypyrrole and polyaniline have been developed as polymers themselves having electrical conductivity, and are used for electrodes and the like of electronic parts.
For example, JP-A-3-46214 discloses that a methanol solution of dodecylbenzenesulfonic acid and pyrrole is -30%.
There is disclosed a method for producing a solid electrolytic capacitor using conductive polypyrrole as an electrode, which is mixed at a temperature of -20 ° C. or lower and heated to -20 ° C. or higher to polymerize.

【0006】また、日本国特許第2601207号公報
には、アニリンやピロール等と酸化剤を含む溶液を冷却
して溶剤を凍結させ、溶剤の融解温度以下で導電性高分
子を重合させるスポンジ状の導電性高分子成形体の製造
方法が開示されている。さらに、日本国特許第2657
956号公報には、ポリパラフェニレンビニレン、ポリ
アニリン、ポリピロール等とエネルギーへの曝露によっ
てドーパントを発生する前駆体とを含む導電性ポリマー
組成物、およびこの組成物をエネルギー源に曝露してド
ーパント前駆体を分解してドーパントを生成させ、曝露
領域を導電性にする導電性ポリマー構造体の形成方法、
並びにこの導電性ポリマー構造体を溶媒に曝露し、エネ
ルギー源に曝露された領域以外の領域を溶解させて除去
する導電性ポリマー構造体の形成方法が開示されてい
る。
[0006] Japanese Patent No. 2601207 discloses a sponge-like solution in which a solution containing aniline, pyrrole and the like and an oxidizing agent is cooled to freeze the solvent, and the conductive polymer is polymerized below the melting temperature of the solvent. A method for producing a conductive polymer molded article is disclosed. Further, Japanese Patent No. 2657
No. 956 discloses a conductive polymer composition containing polyparaphenylenevinylene, polyaniline, polypyrrole, and the like, and a precursor that generates a dopant by exposure to energy, and a dopant precursor obtained by exposing the composition to an energy source. A method for forming a conductive polymer structure that decomposes to generate a dopant and makes the exposed region conductive,
Also disclosed is a method for forming a conductive polymer structure in which the conductive polymer structure is exposed to a solvent, and a region other than a region exposed to an energy source is dissolved and removed.

【0007】また、特開昭61−209225号公報に
は、複素五員環式化合物と分子量300以下のスルホン
酸塩を含む電解液を用いて1V以下の電位で電解重合反
応を行うことにより、電極面に高導電性の導電性高分子
を形成する方法が開示されている。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-209225 discloses that an electrolytic polymerization reaction is carried out at an electric potential of 1 V or less using an electrolyte containing a 5-membered heterocyclic compound and a sulfonate having a molecular weight of 300 or less. A method of forming a conductive polymer having high conductivity on an electrode surface is disclosed.

【0008】これらの技術は有機高分子による導電性成
形体の形成方法であるので、高密度プリント配線基板の
検査用コンタクトピンに応用した場合でも金属やセラミ
ック等に比べて柔軟であり、安定な電気的接続において
は一応の効果を奏するものと考えられる。
[0008] Since these techniques are methods for forming a conductive molded body using an organic polymer, even when applied to a contact pin for inspection of a high-density printed wiring board, they are more flexible and stable than metals and ceramics. It is considered that the electrical connection has a certain effect.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】以上述べたように、従
来、高密度プリント配線基板の検査は目視、あるいは画
像解析等の方法が採用されているが、この手法では微細
な断線や不良を確実に検出することは難しく、確実性の
高い電気的検査が行われていないのが現状であった。
As described above, the inspection of a high-density printed wiring board has conventionally been carried out by visual inspection or image analysis. It is difficult to detect the electric current at a time, and at present the electric inspection with high reliability has not been performed.

【0010】有機高分子による導電性成形体の形成方法
も種々開発されているが、これらはそのまま高密度プリ
ント配線基板の検査用コンタクトピンに応用できない。
すなわち、低温で反応を抑えた溶液を、昇温して重合す
る方法や、溶剤の融解温度以下で導電性高分子を重合す
る方法では基板全面に導電性高分子が形成してしまい、
任意の形状で、しかも微細な電極バッドにも対応できる
ものとはならない。また、導電性高分子とエネルギーへ
の曝露によってドーパントを発生する前駆体とを含む組
成物をエネルギー源に曝露してドーパント前駆体を分解
してドーパントを生成させ、曝露領域を導電性にする導
電性ポリマー構造体を形成し、溶媒に曝露してエネルギ
ー源に曝露された領域以外の領域を溶解させて除去する
方法では、ドーパントとして利用できる化合物がオニウ
ム塩のごとき特殊な分子構造に限られ、溶剤で溶解する
導電性高分子の数も少ないため、導電性や柔軟性などの
性能を任意に制御したものを製造することは難しい。
Although various methods for forming a conductive molded body using an organic polymer have been developed, these methods cannot be directly applied to a contact pin for inspection of a high-density printed wiring board.
In other words, a method of polymerizing a solution in which the reaction is suppressed at a low temperature and raising the temperature or a method of polymerizing a conductive polymer at a temperature equal to or lower than the melting temperature of the solvent forms a conductive polymer on the entire substrate,
It is not possible to have an arbitrary shape and to be able to cope with a fine electrode pad. In addition, a composition containing a conductive polymer and a precursor that generates a dopant by exposure to energy is exposed to an energy source to decompose the dopant precursor to generate a dopant, and to make the exposed region conductive. In the method of forming a conductive polymer structure and dissolving and removing a region other than a region exposed to an energy source by exposing to a solvent, a compound that can be used as a dopant is limited to a special molecular structure such as an onium salt, Since the number of conductive polymers soluble in a solvent is small, it is difficult to manufacture a polymer in which performance such as conductivity and flexibility is arbitrarily controlled.

【0011】さらに、電解重合法では、電極面方向への
広がりを抑えて十分な高さまで導電性高分子を成長させ
ることは難しい。加えて、導電性高分子の高密度プリン
ト配線基板の検査用コンタクトピンへの適応を考える
と、一般に導電性高分子は高分子の主鎖方向に拡がった
共役系を有するために剛直で、不溶不融のものが多く、
単独で用いた場合には柔軟性に乏しく高さの異なる電極
パットに密着させて安定な電気的接続を形成することは
難しいという問題を発生する。
Further, in the electrolytic polymerization method, it is difficult to suppress the spread in the electrode surface direction and grow the conductive polymer to a sufficient height. In addition, considering the application of conductive polymers to the contact pins for inspection of high-density printed wiring boards, conductive polymers are generally rigid and insoluble because they have a conjugated system that extends in the main chain direction of the polymer. Many are infusible,
When used alone, there arises a problem that it is difficult to form a stable electrical connection by being in close contact with electrode pads having poor flexibility and different heights.

【0012】本発明の目的は、高密度プリント配線基板
の電気的検査装置に用いられる微細な配線パッドにも対
応可能な、高導電性で柔軟性にも富んだコンタクトピン
及びその製造方法を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a highly conductive and flexible contact pin capable of coping with fine wiring pads used in an electrical inspection device for a high-density printed wiring board, and a method of manufacturing the same. It is to be.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明のプリント配線基
板検査用コンタクトピンは、感光性樹脂と導電性高分子
の混合組成物、もしくは感光性樹脂の反応生成物と導電
性高分子の混合組成物からなることを特徴としている。
このため、本発明のプリント基板検査用コンタクトピン
は感光性樹脂と導電性高分子の組み合わせを選択するこ
とにより、高導電性で柔軟なものとすることができる。
According to the present invention, there is provided a contact pin for inspecting a printed wiring board, comprising a mixed composition of a photosensitive resin and a conductive polymer, or a mixed composition of a reaction product of a photosensitive resin and a conductive polymer. It is characterized by consisting of things.
For this reason, the contact pin for printed circuit board inspection of the present invention can be made highly conductive and flexible by selecting a combination of a photosensitive resin and a conductive polymer.

【0014】また、本発明によるプリント配線基板検査
用コンタクトピンの製造方法は、配線パターンの電極パ
ッドに接続して不良解析するコンタクトピンの製造方法
において、電極パッドを備えた配線基板に感光性樹脂と
Fe3+、Cu2+、Cr6+、Mn7+やSn4+を
カチオンとする高価数の遷移金属塩からなる酸化剤を含
む混合物層を形成し、光化学反応の方法によって耐食性
画像をパターン形成する工程、耐食性画像を現像する工
程、および導電性高分子のモノマーを重合する工程とを
含むことを特徴としている。本発明の製造方法によれ
ば、光化学反応を用いたリソグラフィー手法が適用でき
るので、高密度プリント配線板に用いられる間隔100
μm以下の電極パッドも作製可能である。
Further, the method of manufacturing a contact pin for inspecting a printed wiring board according to the present invention is a method of manufacturing a contact pin which is connected to an electrode pad of a wiring pattern and performs failure analysis. Forming a mixture layer containing an oxidizing agent comprising an expensive transition metal salt having Fe3 +, Cu2 +, Cr6 +, Mn7 + or Sn4 + as a cation, and patterning a corrosion-resistant image by a photochemical reaction method; The method is characterized by including a step of developing a corrosion-resistant image and a step of polymerizing a monomer of a conductive polymer. According to the manufacturing method of the present invention, a lithography method using a photochemical reaction can be applied.
An electrode pad of μm or less can also be manufactured.

【0015】このように、本発明を実施することによっ
て高導電性で柔軟性にも富んだコンタクトピンを100
μm以下の高精細パターンで製造することができ、高密
度プリント配線基板の電気的検査を確実に行うことがで
きる。
As described above, by implementing the present invention, a highly conductive and highly flexible contact pin can be formed.
It can be manufactured with a high-definition pattern of μm or less, and an electrical inspection of a high-density printed wiring board can be reliably performed.

【0016】本発明において感光性樹脂とは通常の光化
学反応の方法によって耐食性画像が形成できるもの、お
よび光化学反応の方法で得られる樹脂であり、各種のネ
ガ型フォトレジスト、ポジ型フォトレジストやドライフ
ィルムレジスト、多層レジストが用いられるが、その製
造の容易さからアクリル化合物を主な成分とする感光性
樹脂が好ましく、特に、得られる樹脂の柔軟性の観点か
らウレタン結合を有するアクリル化合物が好ましく、中
でも炭素数4以上22以下の直鎖アルキレン基とウレタ
ン結合を有するアクリル化合物が好ましい。直鎖アルキ
レン基の炭素数が4以下では生成するアクリル化合物が
剛直となって柔軟性に乏しくなり、また、炭素数が22
以上では逆に柔らか過ぎてコンタクトピンとして必要な
弾性が得られない。
In the present invention, the photosensitive resin is a resin capable of forming a corrosion-resistant image by a usual photochemical reaction method and a resin obtained by a photochemical reaction method, and includes various negative photoresists, positive photoresists and dry photoresists. Film resist, a multi-layer resist is used, a photosensitive resin having an acrylic compound as a main component is preferable from the viewpoint of ease of production, and in particular, an acrylic compound having a urethane bond is preferable from the viewpoint of flexibility of the obtained resin, Among them, an acrylic compound having a linear alkylene group having 4 to 22 carbon atoms and a urethane bond is preferable. When the number of carbon atoms of the straight-chain alkylene group is 4 or less, the resulting acrylic compound becomes rigid and poor in flexibility.
Above, on the contrary, it is too soft, and the elasticity required as a contact pin cannot be obtained.

【0017】本発明では、分子構造の一部に架橋構造
導入する目的で、多官能性のアクリレートモノマーまた
はオリゴマーを少なくとも含むこともできる。このよう
な多官能アクリレート化合物としては、例えばエチレン
グリコールジアクリレート等の二官能アクリレート及び
それらのメタクリレート化合物、トリメチロールプロパ
ントリアクリレートなどの多官能アクリレート及びそれ
らのメタクリレート化合物が挙げられる。
In the present invention, at least a polyfunctional acrylate monomer or oligomer may be included for the purpose of introducing a crosslinked structure into a part of the molecular structure. Such polyfunctional acrylate compounds include, for example, bifunctional acrylates such as ethylene glycol diacrylate and their methacrylate compounds, polyfunctional acrylates such as trimethylolpropane triacrylate and their methacrylate compounds.

【0018】また、本発明では必要に応じて光硬化性樹
脂に重合開始剤を添加することもできる。重合開始剤の
例としては、例えばジエトキシアセトフェノン等のアセ
トフェノン系化合物、ベンゾインメチルエーテル、ベン
ゾインイソブチルエーテル等のベンゾイン化合物やベン
ゾフェノン系化合物、チオキサンソン系化合物等が挙げ
られる。
In the present invention, a polymerization initiator can be added to the photocurable resin as required. Examples of the polymerization initiator include, for example, acetophenone compounds such as diethoxyacetophenone, benzoin compounds such as benzoin methyl ether and benzoin isobutyl ether, benzophenone compounds, and thioxanthone compounds.

【0019】本発明において、導電性高分子とは高分子
それ自体が導電性の高分子化合物であり、ドーパントを
含むポリアセチレンやポリパラフェニレン等のπ電子共
役系高分子が挙げられるが、感光性樹脂との複合体の形
成し易さや導電性状態の安定性の観点からポリピロー
ル、ポリエチレンジオキシチオフェン、およびポリアニ
リンの少なくとも一種を含んだものが好ましい。
In the present invention, the conductive polymer is a polymer itself which is a conductive polymer, and includes π-electron conjugated polymers such as polyacetylene and polyparaphenylene containing a dopant. From the viewpoints of easy formation of a complex with a resin and stability of a conductive state, those containing at least one of polypyrrole, polyethylenedioxythiophene, and polyaniline are preferable.

【0020】本発明の製造法において、電極パッドとは
検査用コンタクトピンの引き出し電極として用いるもの
で、その形状、材質は特に限定されず、検査対象である
プリント配線基板に応じた形状で、導電性の銅、金、チ
タン、インジウム等や各種合金が用いられる。また、配
線基板とは電極パッドを支持するもので、ガラス−エポ
キシ複合フィルム基板やポリイミド基板等やセラミック
基板等の配線基板として従来公知のものであり、必要に
応じて外部端子から電極パッドまでの配線を設けて使用
される。
In the manufacturing method of the present invention, the electrode pad is used as a lead electrode of a contact pin for inspection, and its shape and material are not particularly limited. Copper, gold, titanium, indium, and various alloys are used. The wiring board supports the electrode pads, and is conventionally known as a wiring board such as a glass-epoxy composite film substrate, a polyimide substrate, a ceramic substrate, and the like. It is used with wiring.

【0021】本発明の製造方法において、高価数の遷移
金属塩とはFe3+、Cu2+、Cr6+、Mn7+や
Sn4+等をカチオンとする塩であり、感光性樹脂と高
価数の遷移金属塩からなる酸化剤を含む混合物層を形成
する方法としては、ディップコーター、スピンコータ
ー、バーコーター、ロールコーター等の通常の塗膜形成
方法を用いることができる。
In the production method of the present invention, the expensive transition metal salt is a salt having a cation of Fe3 +, Cu2 +, Cr6 +, Mn7 +, Sn4 +, or the like, and is an oxidizing agent comprising a photosensitive resin and an expensive transition metal salt. As a method for forming a mixture layer containing the same, a general coating film forming method such as a dip coater, a spin coater, a bar coater, and a roll coater can be used.

【0022】本発明の製造方法において、感光性樹脂と
高価数の遷移金属塩からなる酸化剤を含む混合物層に光
化学反応の方法によって耐食性画像をパターン形成する
方法は通常の光化学反応によるものであれば特に制限は
なく、メタルマスク、フォトマスク等を用いて、可視
光、紫外光や、アルゴンレーザーやKr−Fレーザー等
を照射して行われる。
In the production method of the present invention, a method of patterning a corrosion-resistant image by a photochemical reaction method on a mixture layer containing an oxidizing agent composed of a photosensitive resin and an expensive number of transition metal salts may be a conventional photochemical reaction. There is no particular limitation, and irradiation is performed with visible light, ultraviolet light, an argon laser, a Kr-F laser, or the like using a metal mask, a photomask, or the like.

【0023】また、本発明の製造方法では光照射後、感
光性樹脂層に応じた各種現像液で現像を行い、所定のパ
ターンを形成する。本発明の製造方法ではこの現像後に
導電性高分子のモノマーと接触させて導電性高分子を重
合したり、あるいは光化学反応の方法によって耐食性の
パターンを形成した後、導電性高分子のモノマーを含む
有機溶剤を用いて感光性樹脂の現像と導電性高分子の重
合を同時に行うこともできる。後者の場合、有機溶剤は
特に限定されないが、重合反応のし易さからエチルアル
コールやブチルアルコール、イソプロピルアルコール等
のアルコール系溶剤が好ましい。
Further, in the manufacturing method of the present invention, after irradiation with light, development is performed with various developing solutions corresponding to the photosensitive resin layer to form a predetermined pattern. In the manufacturing method of the present invention, after the development, the conductive polymer is polymerized by contact with the conductive polymer monomer, or after forming a corrosion-resistant pattern by a photochemical reaction method, the conductive polymer monomer is included. The development of the photosensitive resin and the polymerization of the conductive polymer can be simultaneously performed using an organic solvent. In the latter case, the organic solvent is not particularly limited, but alcohol solvents such as ethyl alcohol, butyl alcohol, and isopropyl alcohol are preferable because of the ease of polymerization reaction.

【0024】本発明の製造方法では導電性高分子を形成
した後、ドーピングを行って導電率を増大させたり、耐
熱性等の新たな機能を付与することができる。このよう
なドーピング方法としては導電性高分子を含む成形体を
ヨウ素等のガスに接触させたり、各種のスルホン酸やカ
ルボン酸、リン酸等の溶液に浸漬したり、塩化第二鉄等
の酸化剤溶液に浸漬する方法等が挙げられる。この際、
ドーピングの温度、時間等は特に限定されず、使用する
材料によって適宜選択される。
In the manufacturing method of the present invention, after the conductive polymer is formed, doping is performed to increase the conductivity, and a new function such as heat resistance can be provided. As such a doping method, a molded body containing a conductive polymer is brought into contact with a gas such as iodine, immersed in a solution of various sulfonic acids, carboxylic acids, phosphoric acids, or the like, or oxidized with ferric chloride or the like. For example, a method of immersing the composition in an agent solution. On this occasion,
The doping temperature, time, and the like are not particularly limited, and are appropriately selected depending on the material used.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】本発明の上記および他の目的、特
徴および利点を明確にすべく、添付した図面を参照しな
がら、本発明の実施の形態を以下に詳述する。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS In order to clarify the above and other objects, features and advantages of the present invention, embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

【0026】本発明の製造方法で製造しようとするプリ
ント配線基板検査用コンタクトピンの構成は、図1のよ
うに示される。プリント配線板検査用の配線基板3には
電極パッド2が形成されており、これに接続してコンタ
クトピン1が設けられている。これを検査対象であるプ
リント配線基板6に押し付けて検査を行う。
FIG. 1 shows the structure of a contact pin for inspecting a printed wiring board to be manufactured by the manufacturing method of the present invention. An electrode pad 2 is formed on a wiring board 3 for printed wiring board inspection, and a contact pin 1 is provided in connection with the electrode pad 2. This is pressed against the printed wiring board 6 to be inspected to perform the inspection.

【0027】本発明のプリント配線基板検査用コンタク
トピンは、図2〜図4に示す方法によって製造される。
即ち、電極パッド2を備えた配線基板3に感光性樹脂と
高価数の遷移金属塩からなる酸化剤を含む混合物層4を
形成し(図2)、フォトマスク5を使用して光化学反応
の方法によってパターン形成して耐食性画像をパターン
形成する(図3)。次に、この耐食性画像を現像し、導
電性高分子のモノマーを重合して感光性樹脂と導電性高
分子の混合組成物の成形体からなる突起部を形成し、プ
リント配線基板検査用のコンタクトピンとする(図
4)。
The contact pin for inspecting a printed wiring board of the present invention is manufactured by the method shown in FIGS.
That is, a mixture layer 4 containing an oxidizing agent composed of a photosensitive resin and an expensive number of transition metal salts is formed on a wiring substrate 3 provided with an electrode pad 2 (FIG. 2), and a photochemical reaction method is performed using a photomask 5. To form a corrosion resistant image (FIG. 3). Next, the corrosion-resistant image is developed, and a conductive polymer monomer is polymerized to form a protrusion made of a molded product of a mixed composition of a photosensitive resin and a conductive polymer. Pins (FIG. 4).

【0028】本発明による製造方法では、感光性樹脂層
を光化学反応の方法によってパターン形成する工程を採
用しているので、フォトマスクによって任意の形状のコ
ンタクトピンを数μm程度の間隔で高密度に形成するこ
とができる。また、本発明ではコンタクトピンの導電性
材料としてカーボンや金属粉末のような粒子状材料では
なく、分子それ自体が導電性の高分子を用いるので、形
成間隔は実質的に感光性樹脂のパターン形成精度まで小
さくすることが可能である。また、コンタクトピンの高
さは感光性樹脂層の厚さによって制御できる。従って、
複数の光化学反応を組み合わせて異なる高さのコンタク
トピンを形成できるという利点も得られる。
In the manufacturing method according to the present invention, since a step of patterning the photosensitive resin layer by a photochemical reaction method is employed, contact pins of an arbitrary shape are densely arranged at intervals of about several μm by a photomask. Can be formed. Further, in the present invention, since the molecule itself is not a particulate material such as carbon or metal powder as the conductive material of the contact pin, but the molecule itself is a conductive polymer, the formation interval is substantially the same as the pattern formation of the photosensitive resin. It is possible to reduce to the accuracy. Further, the height of the contact pin can be controlled by the thickness of the photosensitive resin layer. Therefore,
Another advantage is that a plurality of photochemical reactions can be combined to form contact pins of different heights.

【0029】[0029]

【実施例】以下、本発明の詳細について実施例により具
体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定され
るものではない。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0030】(実施例1) ガラスエポキシ基板上に銅
箔を張り付けて配線パターンを形成し、電極パッド部を
黒化処理した。この基板に、ドデシルベンゼンスルホン
酸第二鉄を溶解したエタノール溶液(濃度30重量%)
を50重量%含むウレタンアクリレート系感光性樹脂
(日本化薬株式会社製、KAYARAD UX−320
4、ヘキサメチレンジイソシアネート)を60℃に加熱
して滴下し、バーコーターを用いて100μmの樹脂層
を形成して室温で24時間減圧乾燥した。次に、間隔1
00μmで直径50μmの円形開口部を有するメタルマ
スクを密着させ、紫外光を5mW/cm2の照射強度で
5秒間照射して耐食性画像を形成した。その後、得られ
た基板をブチルアルコールに浸漬して耐食性画像の現像
を行った。
Example 1 A copper foil was adhered on a glass epoxy substrate to form a wiring pattern, and an electrode pad portion was blackened. An ethanol solution (concentration: 30% by weight) in which ferric dodecylbenzenesulfonate was dissolved was placed on this substrate.
UX-320, a urethane acrylate-based photosensitive resin containing 50% by weight of
4, hexamethylene diisocyanate) was heated and dropped at 60 ° C., a 100 μm resin layer was formed using a bar coater, and dried under reduced pressure at room temperature for 24 hours. Next, interval 1
A metal mask having a circular opening of 50 μm in diameter and having a diameter of 50 μm was brought into close contact with the mask and irradiated with ultraviolet light at an irradiation intensity of 5 mW / cm 2 for 5 seconds to form a corrosion-resistant image. Thereafter, the obtained substrate was immersed in butyl alcohol to develop a corrosion-resistant image.

【0031】次に、得られた基板を5重量%のピロール
を含むメタノールに浸漬し、室温で6時間反応させて、
導電性ポリピロールが形成されたウレタンアクリレート
系感光性樹脂成形体を得た。この成形体は直径50μ
m、高さ100μmの円柱であり、プリント配線基板検
査用コンタクトピンに適した形状であった。得られたコ
ンタクトピンはその高さの15%までの弾性変形が可能
であるため、異なる高さの配線パッドにも密着させるこ
とができた。また、電気抵抗は15Ωであるため、プリ
ント配線基板のオープン・ショート検査のみならず動作
試験も可能なものであった。
Next, the obtained substrate is immersed in methanol containing 5% by weight of pyrrole and reacted at room temperature for 6 hours.
A urethane acrylate-based photosensitive resin molded product on which conductive polypyrrole was formed was obtained. This compact has a diameter of 50μ
m, a column having a height of 100 μm and a shape suitable for a contact pin for inspection of a printed wiring board. Since the obtained contact pin can be elastically deformed up to 15% of its height, it can be brought into close contact with wiring pads of different heights. Further, since the electric resistance is 15Ω, not only the open / short inspection but also the operation test of the printed wiring board can be performed.

【0032】(実施例2) 実施例1のガラスエポキシ
基板上に銅箔を張り付けて配線パターンを形成し、電極
パッド部を黒化処理した後、実施例1の方法でドデシル
ベンゼンスルホン酸第二鉄を含むウレタンアクリレート
系感光性樹脂層を形成して耐食性画像を形成した基板を
得た。この基板を5重量%のピロールを含むブチルアル
コールに浸漬し、室温で30分間保持して耐食性画像の
現像とポリピロールの重合を同時に行い、導電性ポリピ
ロールが形成されたウレタンアクリレート系感光性樹脂
成形体を得た。この成形体は直径50μm、高さ90μ
mの円柱であり、プリント配線基板検査用コンタクトピ
ンに適した形状であった。
(Example 2) A copper foil was adhered on the glass epoxy substrate of Example 1 to form a wiring pattern, and the electrode pad was blackened. A substrate having a corrosion-resistant image formed by forming a urethane acrylate-based photosensitive resin layer containing iron was obtained. The substrate is immersed in butyl alcohol containing 5% by weight of pyrrole, and held at room temperature for 30 minutes to simultaneously develop a corrosion-resistant image and polymerize polypyrrole, thereby forming a urethane acrylate-based photosensitive resin molded article on which conductive polypyrrole is formed. I got This molded product has a diameter of 50 μm and a height of 90 μ
m and a shape suitable for a contact pin for inspection of a printed wiring board.

【0033】得られたコンタクトピンはその高さの15
%までの弾性変形が可能であるため、異なる高さの配線
パッドにも密着させることができ、また、電気抵抗は1
2Ωであるため、プリント配線基板のオープン・ショー
ト検査のみならず動作試験も可能なものであった。
The obtained contact pin has a height of 15
%, It can be closely attached to wiring pads of different heights, and has an electric resistance of 1%.
Since the resistance is 2Ω, not only the open / short inspection of the printed wiring board but also the operation test can be performed.

【0034】(実施例3) 実施例1のガラスエポキシ
基板上に銅箔を張り付けて配線パターンを形成し、電極
パッド部を黒化処理した後、実施例1のドデシルベンゼ
ンスルホン酸第二鉄に代えてパラトルエンスルホン酸第
二鉄を使う以外は実施例1と同様の方法でウレタンアク
リレート系感光性樹脂層を形成して耐食性画像を形成し
た基板を得た。この基板を5重量%のピロールを含むイ
ソプロピルアルコールに浸漬し、室温で15分間保持し
て耐食性画像の現像とポリピロールの重合を同時に行
い、導電性ポリピロールが形成されたウレタンアクリレ
ート系感光性樹脂成形体を得た。この成形体は直径50
μm、高さ100μmの円柱であり、プリント配線基板
検査用コンタクトピンに適した形状であった。
Example 3 A copper foil was adhered on the glass epoxy substrate of Example 1 to form a wiring pattern, and the electrode pads were blackened. Then, the ferric dodecylbenzenesulfonate of Example 1 was applied. A substrate having a corrosion-resistant image formed by forming a urethane acrylate-based photosensitive resin layer in the same manner as in Example 1 except that ferric paratoluenesulfonate was used instead was obtained. The substrate was immersed in isopropyl alcohol containing 5% by weight of pyrrole, and kept at room temperature for 15 minutes to simultaneously develop a corrosion-resistant image and polymerize polypyrrole, thereby forming a urethane acrylate-based photosensitive resin molded article having conductive polypyrrole formed thereon. I got This compact has a diameter of 50
It was a cylinder having a height of 100 μm and a height of 100 μm, and had a shape suitable for a contact pin for inspection of a printed wiring board.

【0035】得られたコンタクトピンはその高さの20
%までの弾性変形が可能であるため、異なる高さの配線
パッドにも密着させることができ、また、電気抵抗は5
Ωであるため、プリント配線基板のオープン・ショート
検査のみならず動作試験も可能なものであった。
The obtained contact pin has a height of 20.
%, It can be adhered to wiring pads of different heights, and has an electric resistance of 5%.
Because of Ω, not only open / short inspection of the printed wiring board but also operation test was possible.

【0036】(実施例4) 実施例1のガラスエポキシ
基板上に銅箔を張り付けて配線パターンを形成し、電極
パッド部を黒化処理した。この基板に、ブチルナフタレ
ンスルホン酸第二鉄を溶解したエタノール溶液(濃度2
0重量%)を50重量%含むウレタンアクリレート系感
光性樹脂(日本化薬株式会社製、KAYARAD UX
−3204)を60℃に加熱して滴下し、バーコーター
を用いて100μmの樹脂層を形成した。
Example 4 A copper foil was adhered on the glass epoxy substrate of Example 1 to form a wiring pattern, and the electrode pads were blackened. An ethanol solution (concentration 2) in which ferric butylnaphthalenesulfonate was dissolved was placed on this substrate.
Urethane acrylate-based photosensitive resin containing 50% by weight (KAYARAD UX, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
-3204) was added dropwise by heating to 60 ° C., and a 100 μm resin layer was formed using a bar coater.

【0037】次に、間隔100μmで直径50μmの円
形開口部を有するメタルマスクを密着させ、紫外光を5
mW/cm2の照射強度で5秒間照射して耐食性画像を
形成した基板を得た。この基板を5重量%のピロールを
含むブチルアルコールに浸漬し、室温で30分間保持し
て耐食性画像の現像とポリピロールの重合を同時に行
い、導電性ポリピロールが形成されたアクリレート系感
光性樹脂成形体を得た。この成形体は直径50μm、高
さ90μmの円柱であり、プリント配線基板検査用コン
タクトピンに適した形状であった。
Next, a metal mask having a circular opening having a diameter of 50 μm and having an interval of 100 μm is brought into close contact with the mask, and ultraviolet light is irradiated for 5 μm.
Irradiation was performed at an irradiation intensity of mW / cm 2 for 5 seconds to obtain a substrate on which a corrosion-resistant image was formed. The substrate was immersed in butyl alcohol containing 5% by weight of pyrrole, and kept at room temperature for 30 minutes to simultaneously develop the corrosion-resistant image and polymerize the polypyrrole to obtain an acrylate-based photosensitive resin molded article on which conductive polypyrrole was formed. Obtained. This molded product was a column having a diameter of 50 μm and a height of 90 μm, and had a shape suitable for a contact pin for inspecting a printed wiring board.

【0038】得られたコンタクトピンはその高さの15
%までの弾性変形が可能であるため、異なる高さの配線
パッドにも密着させることができ、また、電気抵抗は8
0Ωであるため、プリント配線基板のオープン・ショー
ト検査のみならず動作試験も可能なものであった。
The obtained contact pin has a height of 15
%, It can be closely attached to wiring pads of different heights, and has an electric resistance of 8%.
Since the resistance is 0Ω, not only the open / short inspection of the printed wiring board but also the operation test can be performed.

【0039】(実施例5) 実施例1のガラスエポキシ
基板上に銅箔を張り付けて配線パターンを形成し、電極
パッド部を黒化処理した後、ウレタンアクリレート系樹
脂として実施例1のKAYARAD UX−3204に
代えて東亜合成株式会社製アロニックスM−5700を
用いる以外は実施例1の方法で樹脂層を形成した。
Fifth Embodiment A copper foil is adhered on the glass epoxy substrate of the first embodiment to form a wiring pattern, and the electrode pad portion is blackened. Then, as a urethane acrylate resin, the KAYARAD UX- of the first embodiment is used. A resin layer was formed by the method of Example 1 except that Aronix M-5700 manufactured by Toa Gosei Co., Ltd. was used instead of 3204.

【0040】次に、間隔100μmで直径50μmの円
形開口部を有するメタルマスクを密着させ、紫外光を5
mW/cm2の照射強度で5秒間照射して耐食性画像を
形成した基板を得た。この基板を5重量%のピロールを
含むブチルアルコールに浸漬し、室温で30分間保持し
て耐食性画像の現像とポリピロールの重合を同時に行
い、導電性ポリピロールが形成されたウレタンアクリレ
ート系感光性樹脂成形体を得た。この成形体は直径50
μm、高さ90μmの円柱であり、プリント配線基板検
査用コンタクトピンに適した形状であった。
Next, a metal mask having a circular opening with a diameter of 50 μm and an interval of 100 μm is brought into close contact with each other, and ultraviolet light is irradiated for 5 minutes.
Irradiation was performed at an irradiation intensity of mW / cm 2 for 5 seconds to obtain a substrate on which a corrosion-resistant image was formed. The substrate is immersed in butyl alcohol containing 5% by weight of pyrrole, and held at room temperature for 30 minutes to simultaneously develop a corrosion-resistant image and polymerize polypyrrole, thereby forming a urethane acrylate-based photosensitive resin molded article on which conductive polypyrrole is formed. I got This compact has a diameter of 50
It was a cylinder having a height of 90 μm and a height of 90 μm, and had a shape suitable for a contact pin for inspecting a printed wiring board.

【0041】得られたコンタクトピンはその高さの15
%までの弾性変形が可能であるため、異なる高さの配線
パッドにも密着させることができ、また、電気抵抗は2
5Ωであるため、プリント配線基板のオープン・ショー
ト検査のみならず動作試験も可能なものであった。
The obtained contact pin has a height of 15
%, It can be closely attached to wiring pads of different heights, and has an electric resistance of 2%.
Since the resistance is 5Ω, not only the open / short inspection of the printed wiring board but also the operation test can be performed.

【0042】(実施例6) 実施例1のガラスエポキシ
基板上に銅箔を張り付けて配線パターンを形成し、電極
パッド部を黒化処理した後、実施例1の方法でドデシル
ベンゼンスルホン酸第二鉄を含むウレタンアクリレート
系感光性樹脂層を形成して耐食性画像を形成した基板を
得た。この基板をブチルアルコールに浸漬し、室温で3
0分間保持して耐食性画像の現像を行った。
Example 6 A copper foil was adhered on the glass epoxy substrate of Example 1 to form a wiring pattern, and the electrode pad portion was blackened. A substrate having a corrosion-resistant image formed by forming a urethane acrylate-based photosensitive resin layer containing iron was obtained. This substrate is immersed in butyl alcohol, and
After holding for 0 minute, development of the corrosion resistant image was performed.

【0043】次に、得られた基板を5重量%のアニリン
を含むメタノールに浸漬し、室温で6時間反応させて、
導電性ポリアニリンが形成されたウレタンアクリレート
系感光性樹脂成形体を得た。この成形体は直径50μ
m、高さ100μmの円柱であり、プリント配線基板検
査用コンタクトピンに適した形状であった。
Next, the obtained substrate was immersed in methanol containing 5% by weight of aniline and reacted at room temperature for 6 hours.
A urethane acrylate-based photosensitive resin molded product on which conductive polyaniline was formed was obtained. This compact has a diameter of 50μ
m, a column having a height of 100 μm and a shape suitable for a contact pin for inspection of a printed wiring board.

【0044】得られたコンタクトピンはその高さの15
%までの弾性変形が可能であるため、異なる高さの配線
パッドにも密着させることができた。また、電気抵抗は
300Ωであるため、プリント配線基板のオープン・シ
ョート検査のみならず動作試験も可能なものであった。
The obtained contact pin has a height of 15
% Can be elastically deformed, and thus can be closely attached to wiring pads of different heights. Further, since the electric resistance is 300Ω, not only the open / short inspection but also the operation test of the printed wiring board can be performed.

【0045】(実施例7) 実施例1のガラスエポキシ
基板上に銅箔を張り付けて配線パターンを形成し、電極
パッド部を黒化処理した後、実施例1のドデシルベンゼ
ンスルホン酸第二鉄に代えてパラトルエンスルホン酸第
二鉄を使う以外は実施例1と同様の方法でウレタンアク
リレート系感光性樹脂層を形成して耐食性画像を形成し
た基板を得た。この基板を5重量%のエチレンジオキシ
チオフェンを含むブチルアルコールに浸漬し、室温で1
5分間保持して耐食性画像の現像とエチレンジオキシチ
オフェンの重合を同時に行い、導電性ポリエチレンジオ
キシチオフェンが形成されたウレタンアクリレート系感
光性樹脂成形体を得た。この成形体は直径50μm、高
さ100μmの円柱であり、プリント配線基板検査用コ
ンタクトピンに適した形状であった。
(Example 7) A copper foil was adhered on the glass epoxy substrate of Example 1 to form a wiring pattern, and the electrode pad portion was blackened. Then, the ferric dodecylbenzenesulfonate of Example 1 was added. A substrate having a corrosion-resistant image formed by forming a urethane acrylate-based photosensitive resin layer in the same manner as in Example 1 except that ferric paratoluenesulfonate was used instead was obtained. This substrate was immersed in butyl alcohol containing 5% by weight of ethylenedioxythiophene, and
The development of the corrosion-resistant image and the polymerization of ethylenedioxythiophene were carried out simultaneously for 5 minutes to obtain a urethane acrylate-based photosensitive resin molded article on which conductive polyethylenedioxythiophene was formed. This molded product was a column having a diameter of 50 μm and a height of 100 μm, and had a shape suitable for a contact pin for inspecting a printed wiring board.

【0046】得られたコンタクトピンはその高さの20
%までの弾性変形が可能であるため、異なる高さの配線
パッドにも密着させることができ、また、電気抵抗は6
Ωであるため、プリント配線基板のオープン・ショート
検査のみならず動作試験も可能なものであった。
The obtained contact pin has a height of 20.
%, It can be adhered to wiring pads of different heights, and the electric resistance is 6%.
Because of Ω, not only open / short inspection of the printed wiring board but also operation test was possible.

【0047】なお、本発明は上記各実施例に限定され
ず、本発明の技術思想の範囲内において、各実施例は適
宜変更され得ることは明らかである。
It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and it is apparent that the embodiments can be appropriately modified within the scope of the technical idea of the present invention.

【0048】[0048]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
感光性樹脂と導電性高分子の混合組成物、もしくは感光
性樹脂の反応生成物と導電性高分子の混合組成物からな
るプリント配線基板検査用コンタクトピンを、電極パッ
ドを備えた配線基板に感光性樹脂と高価数の遷移金属塩
からなる酸化剤を含む混合物層を形成する工程と、光化
学反応の方法によって耐食性画像をパターン形成する工
程、耐食性画像を現像する工程、および導電性高分子の
モノマーを重合する工程とを含むという基本構成に基づ
き、微細な配線パッドにも対応可能な高導電性で柔軟性
にも富んだコンタクトピンの製造方法が提供される。
As described above, according to the present invention,
A contact pin for inspection of a printed wiring board made of a mixed composition of a photosensitive resin and a conductive polymer, or a mixed composition of a reaction product of a photosensitive resin and a conductive polymer is exposed to a wiring board having electrode pads. Forming a mixture layer containing an oxidizing agent comprising a conductive resin and an expensive number of transition metal salts, patterning a corrosion-resistant image by a photochemical reaction method, developing the corrosion-resistant image, and a monomer of a conductive polymer And a method for manufacturing a highly conductive and highly flexible contact pin that can cope with fine wiring pads.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明のコンタクトピンを備えたプリント配
線基板検査用基板及びその使用方法の概略を示した斜視
図である。
FIG. 1 is a perspective view schematically showing a printed wiring board inspection board having contact pins according to the present invention and a method of using the same.

【図2】プリント配線基板検査用コンタクトピンの製造
方法において、電極パッドを備えた検査基板に高価数の
遷移金属塩からなる酸化剤を含む感光性樹脂層を形成し
たものの断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view of a method for manufacturing a contact pin for inspecting a printed wiring board, in which a photosensitive resin layer containing an oxidizing agent composed of an expensive number of transition metal salts is formed on an inspection substrate having electrode pads.

【図3】プリント配線基板検査用コンタクトピンの製造
方法において、電極パッドを備えた検査基板にフォトマ
スクを用いて耐食性画像を形成したものの断面図であ
る。
FIG. 3 is a cross-sectional view of a method of manufacturing a contact pin for inspecting a printed wiring board, in which a corrosion-resistant image is formed on a test substrate provided with electrode pads using a photomask.

【図4】プリント配線基板検査用コンタクトピンの製造
方法において、上記図3から、感光性樹脂層を現像して
導電性高分子と感光性樹脂との成形体の突起部を設けた
ものの断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view of the method for manufacturing a contact pin for inspecting a printed wiring board in which the photosensitive resin layer is developed to provide a protrusion of a molded body of a conductive polymer and a photosensitive resin from FIG. It is.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 導電性のコンタクトピン 2 電極パッド 3 プリント配線基板検査装置の基板 4 感光性樹脂と導電性高分子の混合組成物層 5 フォトマスク 6 検査対象プリント配線基板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Conductive contact pin 2 Electrode pad 3 Substrate of printed wiring board inspection device 4 Mixed composition layer of photosensitive resin and conductive polymer 5 Photomask 6 Printed wiring board to be inspected

フロントページの続き (72)発明者 中村 豊一 東京都港区芝五丁目7番1号 日本電気 株式会社内 (72)発明者 久住 肇 東京都港区芝五丁目7番1号 日本電気 株式会社内 (56)参考文献 特開 平5−55314(JP,A) 特開 平7−235739(JP,A) 特開 平3−179760(JP,A) 特開 平5−175484(JP,A) 特開 平1−209734(JP,A) 特開 平4−62837(JP,A) 特開 平2−101461(JP,A) 特開 平4−179956(JP,A) 実開 平2−17672(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 1/06 - 1/073 G01R 31/26 H01L 21/66 H05K 3/00 Continuation of the front page (72) Inventor Toyoichi Nakamura 5-7-1 Shiba, Minato-ku, Tokyo NEC Corporation (72) Inventor Hajime Kusumi 5-7-1 Shiba, Minato-ku, Tokyo NEC Corporation (56) References JP-A-5-55314 (JP, A) JP-A-7-235739 (JP, A) JP-A-3-179760 (JP, A) JP-A-5-175484 (JP, A) Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 1-209734 (JP, A) Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 4-62837 (JP, A) Japanese Unexamined Patent Publication No. 2-101461 (JP, A) Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 4-17956 (JP, A) (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01R 1/06-1/073 G01R 31/26 H01L 21/66 H05K 3/00

Claims (12)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 感光性樹脂と導電性高分子の混合組成
物、もしくは感光性樹脂の反応生成物と導電性高分子の
混合組成物からなるプリント配線基板検査用コンタクト
ピン。
1. A contact pin for inspecting a printed wiring board, comprising a mixed composition of a photosensitive resin and a conductive polymer, or a mixed composition of a reaction product of a photosensitive resin and a conductive polymer.
【請求項2】 前記感光性樹脂はアクリル化合物を主成
分とすることを特徴とする請求項1記載のプリント配線
基板検査用コンタクトピン。
2. The contact pin according to claim 1, wherein the photosensitive resin contains an acrylic compound as a main component.
【請求項3】 前記アクリル化合物はウレタン結合を有
するものであることを特徴とする請求項2記載のプリン
ト配線基板検査用コンタクトピン。
3. The contact pin according to claim 2, wherein the acrylic compound has a urethane bond.
【請求項4】 前記アクリル化合物は炭素数4以上22
以下のアルキレン基とウレタン結合を有するものである
ことを特徴とする請求項2記載のプリント配線基板検査
用コンタクトピン。
4. The acrylic compound has 4 to 22 carbon atoms.
The printed circuit board inspection contact pin according to claim 2, wherein the contact pin has the following alkylene group and urethane bond.
【請求項5】 前記導電性高分子はポリピロール、ポリ
エチレンジオキシチオフェン、およびポリアニリンの少
なくとも1種を含んだものであることを特徴とする請求
項1〜3いずれか記載のプリント配線基板検査用コンタ
クトピン。
Wherein said conductive polymer is polypyrrole, polyethylene dioxythiophene and the printed wiring board inspection contact according to any one of claims 1-3, wherein the polyaniline is those containing at least one, pin.
【請求項6】 電極パッドを備えた配線基板に感光性樹
脂とFe3+、Cu2+、Cr6+、Mn7+やSn4
+をカチオンとする高価数の遷移金属塩からなる酸化剤
を含む混合物層を形成する工程と、光化学反応の方法に
よって耐食性画像をパターン形成する工程と、耐食性画
像を現像する工程と、導電性高分子のモノマーを重合す
る工程とを含むことを特徴とするプリント配線基板検査
用コンタクトピンの製造方法。
6. A photosensitive resin and Fe3 +, Cu2 +, Cr6 +, Mn7 +, or Sn4
Forming a mixture layer containing an oxidizing agent comprising an expensive number of transition metal salts having + as a cation, forming a corrosion-resistant image by a photochemical reaction method, developing the corrosion-resistant image, And c. Polymerizing a monomer of a molecule.
【請求項7】 前記耐食性画像を現像する工程と、前記
導電性高分子のモノマーを重合する工程とは、導電性高
分子のモノマーを含む有機溶剤を用いて同時に行われる
ことを特徴とする請求項6記載のプリント配線基板検査
用コンタクトピンの製造方法。
7. The method according to claim 1, wherein the step of developing the corrosion-resistant image and the step of polymerizing the monomer of the conductive polymer are performed simultaneously using an organic solvent containing a monomer of the conductive polymer. Item 7. The method for manufacturing a contact pin for printed circuit board inspection according to Item 6.
【請求項8】 前記有機溶剤はアルコール系溶剤を主成
分とすることを特徴とする請求項7記載のプリント配線
基板検査用コンタクトピンの製造方法。
8. The method according to claim 7, wherein the organic solvent contains an alcohol-based solvent as a main component.
【請求項9】 前記感光性樹脂はアクリル化合物を主成
分とすることを特徴とする請求項6〜8いずれか記載の
プリント配線基板検査用コンタクトピンの製造方法。
Wherein said photosensitive resin according to claim 6-8 method of manufacturing a printed wiring board inspection contact pin according to any one characterized by including acrylic compound.
【請求項10】 前記アクリル化合物はウレタン結合を
有するものであることを特徴とする請求項9記載のプリ
ント配線基板検査用コンタクトピンの製造方法。
10. The method according to claim 9, wherein the acrylic compound has a urethane bond.
【請求項11】 前記のアクリル化合物は炭素数4以上
22以下のアルキレン基とウレタン結合を有するもので
あることを特徴とする請求項9記載のプリント配線基板
検査用コンタクトピンの製造方法。
11. The method according to claim 9, wherein said acrylic compound has an alkylene group having 4 to 22 carbon atoms and a urethane bond.
【請求項12】 前記導電性高分子のモノマーを含む溶
液はピロール、エチレンジオキシチオフェン、およびア
ニリンの少なくとも1種を含むアルコール溶液であるこ
とを特徴とする請求項6〜11いずれか記載のプリント
配線基板検査用コンタクトピンの製造方法。
12. A solution comprising monomers of the conductive polymer pyrrole, ethylenedioxythiophene printing according to any one of claims 6 to 11, characterized in that, and an alcohol solution containing at least one aniline Manufacturing method of contact pins for wiring board inspection.
JP13729998A 1998-05-20 1998-05-20 Contact pin for printed circuit board inspection and method of manufacturing the same Expired - Fee Related JP3168983B2 (en)

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