JP3167782B2 - High-speed solder plating equipment for electronic components - Google Patents

High-speed solder plating equipment for electronic components

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JP3167782B2
JP3167782B2 JP10098492A JP10098492A JP3167782B2 JP 3167782 B2 JP3167782 B2 JP 3167782B2 JP 10098492 A JP10098492 A JP 10098492A JP 10098492 A JP10098492 A JP 10098492A JP 3167782 B2 JP3167782 B2 JP 3167782B2
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cathode electrode
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、電子部品の高速半田め
っき装置に関し、特に、たとえばIC(Integrated Circ
uit)用リードフレームなどの電子部品に高速半田めっき
を施す電子部品の高速半田めっき装置に適用して有効な
技術に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a high-speed solder plating apparatus for electronic parts, and more particularly to, for example, an IC (Integrated Circuit).
The present invention relates to a technique which is effective when applied to a high-speed solder plating apparatus for an electronic component that performs high-speed solder plating on an electronic component such as a lead frame for uit).

【0002】[0002]

【従来の技術】この種の電子部品の高速半田めっき装置
としては、たとえば以下に示すようなものがある。
2. Description of the Related Art As a high-speed solder plating apparatus for electronic parts of this kind, for example, there is the following apparatus.

【0003】すなわち、この電子部品の高速半田めっき
装置は、ラック方式を用い、ラックにIC用リードフレ
ームを大量に引っ掛け、ラック毎にめっき液中に浸漬さ
せ、IC用リードフレームに半田めっきを施していた。
That is, this high-speed solder plating apparatus for electronic components uses a rack system, in which a large number of IC lead frames are hooked on the racks, immersed in a plating solution for each rack, and the IC lead frames are plated with solder. I was

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記した電子
部品の高速半田めっき装置の構造では、めっき槽の外部
にサブタンクの設置を必要とする場合があり、この場
合、装置が大型化し、配管構造が複雑化するという問題
があった。
However, in the structure of the above-mentioned high-speed solder plating apparatus for electronic parts, it is sometimes necessary to install a sub-tank outside the plating tank. In this case, the apparatus becomes large and the piping structure becomes large. There was a problem that was complicated.

【0005】また、めっき処理はバッチ処理であるの
で、めっき被膜の組成や厚みにばらつきが生じ、コント
ロールが困難であるという問題があった。
[0005] Further, since the plating process is a batch process, there is a problem that the composition and thickness of the plating film vary, making it difficult to control.

【0006】また、カソード電極の電極接点はラック方
式で露出しているので、電極接点に半田めっき層が付着
成長し、この付着成長した半田めっき層の剥離や電極接
点の交換が面倒であるという問題があった。
In addition, since the electrode contacts of the cathode electrode are exposed in a rack system, a solder plating layer adheres and grows on the electrode contacts, and peeling of the adhered and grown solder plating layer and replacement of the electrode contacts are troublesome. There was a problem.

【0007】本発明の目的は、装置の小型化および配管
構造の簡易化を図ることのできる電子部品の高速半田め
っき装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a high-speed solder plating apparatus for electronic components which can reduce the size of the apparatus and simplify the piping structure.

【0008】本発明の他の目的は、めっき被膜の組成や
厚みのコントロールを容易にし、均一化および高速化を
図ることのできる電子部品の高速半田めっき装置を提供
することにある。
Another object of the present invention is to provide a high-speed solder plating apparatus for electronic parts which can easily control the composition and thickness of a plating film, and can achieve uniformity and high speed.

【0009】また、本発明の他の目的は、電極接点のシ
ール性および確実性を向上させて接点寿命を延ばすこと
のできる電子部品の高速半田めっき装置を提供すること
にある。
It is another object of the present invention to provide a high-speed solder plating apparatus for electronic parts which can improve the sealing property and reliability of electrode contacts and extend the life of the contacts.

【0010】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of the present specification and the accompanying drawings.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
SUMMARY OF THE INVENTION Among the inventions disclosed in the present application, the outline of a representative one will be briefly described.
It is as follows.

【0012】[0012]

【0013】[0013]

【0014】すなわち、本発明の電子部品の高速めっき
装置は、カソード電極の先端に設けられ、接点チップで
電子部品をチャックするカソード電極チャックと、この
カソード電極チャックを開閉するチャック開閉ユニット
とを備えた構造としたものである。
That is, the high-speed plating apparatus for electronic parts of the present invention includes a cathode electrode chuck provided at the tip of a cathode electrode and chucking the electronic parts with a contact tip, and a chuck opening / closing unit for opening and closing the cathode electrode chuck. It is a structure which was made.

【0015】また、この場合、前記カソード電極と電子
部品との間に電子部品の形状に対応した遮蔽板を設けた
構造とすることができる。
Further, in this case, it is possible to adopt a structure in which a shielding plate corresponding to the shape of the electronic component is provided between the cathode electrode and the electronic component.

【0016】[0016]

【0017】[0017]

【0018】[0018]

【0019】[0019]

【0020】[0020]

【0021】[0021]

【作用】カソード電極の先端に設けられ、接点チップで
電子部品をチャックするカソード電極チャックと、この
カソード電極チャックを開閉するチャック開閉ユニット
とを備えた構造としたので、電極接点のシール性および
確実性を向上させて接点寿命を延ばし、従来、問題とな
っていた電極接点のめっき層剥離や電極接点の交換を不
要にすることができる。
The structure provided with the cathode electrode chuck provided at the tip of the cathode electrode and chucking the electronic component with the contact tip, and the chuck opening / closing unit for opening and closing the cathode electrode chuck provides a sealing property and a reliable electrode contact. The contact life can be prolonged by improving the contactability, and the peeling of the plating layer of the electrode contact and the replacement of the electrode contact, which have conventionally been problems, can be eliminated.

【0022】また、この場合、前記カソード電極と電子
部品との間に電子部品の形状に対応した遮蔽板を設けた
構造としたので、めっき被膜の組成や厚みの均一性をさ
らに向上させることができる。
Further, in this case, since the shielding plate corresponding to the shape of the electronic component is provided between the cathode electrode and the electronic component, the composition and thickness uniformity of the plating film can be further improved. it can.

【0023】[0023]

【実施例】図1は本発明の一実施例である電子部品の高
速半田めっき装置を示す断面図、図2は図1の高速半田
めっき装置に用いられるめっき治具ユニットおよびカソ
ード電極チャックを示す平面図、図3は図2のIII −II
I 線断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing a high-speed solder plating apparatus for electronic parts according to one embodiment of the present invention. FIG. 2 shows a plating jig unit and a cathode electrode chuck used in the high-speed solder plating apparatus of FIG. FIG. 3 is a plan view, and FIG.
FIG. 3 is a sectional view taken along line I.

【0024】本実施例における電子部品の高速半田めっ
き装置は、IC用リードフレーム1の高速半田めっき装
置に適用したもので、めっき槽2を有している。このめ
っき槽2は貯留槽3に収納され、この貯留槽3はめっき
槽2の開口部からオーバーフローしためっき液を受け止
めて貯留する構造となっている。
The high-speed solder plating apparatus for electronic parts in this embodiment is applied to a high-speed solder plating apparatus for an IC lead frame 1 and has a plating tank 2. The plating tank 2 is stored in a storage tank 3, and the storage tank 3 is configured to receive and store a plating solution overflowing from an opening of the plating tank 2.

【0025】この貯留槽3内に貯留しためっき液を再び
めっき槽2に供給する循環供給構造となっている。
The plating solution stored in the storage tank 3 is circulated and supplied to the plating tank 2 again.

【0026】すなわち、貯留槽3の底部にフィルタ4を
介してドレン弁5が接続され、このドレン弁5にバルブ
7、循環ポンプ8、流量センサ9、三方弁10および逆
止弁6が順次接続され、この逆止弁6はめっき槽2の底
部に接続されてなる。
That is, a drain valve 5 is connected to the bottom of the storage tank 3 via a filter 4, and a valve 7, a circulating pump 8, a flow sensor 9, a three-way valve 10 and a check valve 6 are sequentially connected to the drain valve 5. The check valve 6 is connected to the bottom of the plating tank 2.

【0027】前記流量センサ9は、循環供給されるめっ
き液の流量を検知してデジタル表示する機能を有し、前
記循環ポンプ8は予め設定された流量になるようにモー
タの回転数を制御し、めっき液の循環供給量を制御する
フィードバック制御となっている。
The flow rate sensor 9 has a function of detecting the flow rate of the circulating plating solution and digitally displaying the flow rate. The circulating pump 8 controls the number of rotations of the motor so that the flow rate becomes a preset flow rate. In addition, feedback control is performed to control the circulating supply amount of the plating solution.

【0028】前記逆止弁6は、めっき槽2内のめっき液
の逆流を阻止するものであり、この逆止弁6の1次側を
始端とし、貯留槽3内を終端とするバイパス回路が設け
られ、バイパス回路は常時バルブで閉じられている。
The check valve 6 prevents the plating solution from flowing back in the plating tank 2, and a bypass circuit having the primary side of the check valve 6 as a start end and the storage tank 3 as an end end. The bypass circuit is provided and is always closed by a valve.

【0029】めっき槽2内の底部に液流制御ボード11
が2段設けられ、循環供給されためっき液が底部全域に
わたって下方から上方に向かって一様に流れるように液
流を制御するものである。すなわち、液流制御ボード1
1は、図1に示すように、めっき液を通過させるための
孔明き形状のボードを2段設けた構造となっている。そ
れにより、液流制御ボード11は、めっき槽2内のめっ
き液の液流を下方から上方に向かう一様な層流となるよ
う制御できる。
A liquid flow control board 11 is provided at the bottom of the plating tank 2.
Are provided in two stages to control the flow of the plating solution so that the circulated and supplied plating solution flows uniformly from below to above over the entire bottom area. That is, the liquid flow control board 1
As shown in FIG. 1, reference numeral 1 denotes a structure in which two stages of perforated boards for passing a plating solution are provided. Thereby, the liquid flow control board 11 can control the liquid flow of the plating solution in the plating tank 2 so as to be a uniform laminar flow from below to above.

【0030】また、めっき槽2の外部にめっき治具昇降
ユニット14が配置され、このめっき治具昇降ユニット
14はアーム15を介してめっき治具ユニット16を昇
降させる機能を有する。
A plating jig elevating unit 14 is disposed outside the plating tank 2. The plating jig elevating unit 14 has a function of elevating and lowering the plating jig unit 16 via the arm 15.

【0031】前記めっき治具ユニット16はアーム15
にそれぞれアノード電極支持板17が搭載され、このア
ノード電極支持板17はアノードバック18付きのアノ
ード電極19を支持するもので、両アノード電極支持板
17間に梁20が等間隔で配置されている。
The plating jig unit 16 includes an arm 15
Each has an anode electrode support plate 17 mounted thereon, and this anode electrode support plate 17 supports an anode electrode 19 with an anode back 18. Beams 20 are arranged at equal intervals between the anode electrode support plates 17. .

【0032】この梁20は中央にフレーム支持溝21を
備え、その両側に遮蔽板支持溝22を備え、フレーム支
持溝21にはIC用リードフレーム1が支持され、遮蔽
板支持溝22に遮蔽板23が嵌合により支持された構造
よりなる。この遮蔽板23はIC用リードフレーム1の
形状に合わせた専用の遮蔽板で、この遮蔽板23によ
り、めっき被膜の組成や厚みの均一化をより一層図って
いる。
The beam 20 has a frame support groove 21 at the center and shield plate support grooves 22 on both sides thereof. The frame support groove 21 supports the IC lead frame 1, and the shield plate support groove 22 supports the shield plate. 23 has a structure supported by fitting. The shielding plate 23 is a dedicated shielding plate conforming to the shape of the IC lead frame 1, and the composition and thickness of the plating film are made more uniform by the shielding plate 23.

【0033】また、めっき槽2内にカソード電極チャッ
ク24が設けられ、このカソード電極チャック24はI
C用リードフレーム1の肩部を接点チップ27でチャッ
クするチャック方式となっている。
Further, a cathode electrode chuck 24 is provided in the plating tank 2, and the cathode electrode chuck 24
This is a chuck method in which the shoulder of the C lead frame 1 is chucked by the contact chip 27.

【0034】すなわち、アーム15と一体に昇降するカ
ソード電極25が所定の間隔をなして上下方向に延び、
絶縁体26で覆われている。カソード電極25の下端部
に内側に弾性付勢されるカソード電極チャック24が設
けられ、このカソード電極チャック24は互いに対向し
て交換可能に設けられる接点チップ27を備え、この接
点チップ27の外周面は弾性シール体28で覆われ、こ
の弾性シール体28の端面は接点チップ27の端面より
若干突出する構造となっている。
That is, the cathode electrode 25 that moves up and down integrally with the arm 15 extends vertically at a predetermined interval,
It is covered with an insulator 26. A cathode electrode chuck 24 that is elastically biased inward is provided at a lower end portion of the cathode electrode 25. The cathode electrode chuck 24 includes a contact tip 27 that is provided so as to face each other and is exchangeable, and an outer peripheral surface of the contact tip 27. Is covered with an elastic seal 28, and the end surface of the elastic seal 28 protrudes slightly from the end surface of the contact tip 27.

【0035】また、めっき槽2の開口端部にブラケット
29を介してチャック開閉ユニット30が設けられ、こ
のチャック開閉ユニット30は開閉爪31を備え、この
開閉爪31が閉じたとき、カソード電極チャック24が
弾性付勢により閉じ、開閉爪31が開いたとき、この開
閉爪31の開動によりカソード電極チャック24が開く
構造となっている。
A chuck opening / closing unit 30 is provided at the opening end of the plating tank 2 via a bracket 29. The chuck opening / closing unit 30 has an opening / closing claw 31. When the opening / closing claw 31 is closed, the cathode electrode chuck is closed. When the opening and closing claw 31 is opened by closing the opening and closing claw 31, the cathode electrode chuck 24 is opened by the opening movement of the opening and closing claw 31.

【0036】なお、12は搬送ロボット、13はリード
フレームチャック昇降ユニットである。
Reference numeral 12 denotes a transfer robot, and reference numeral 13 denotes a lead frame chuck elevating unit.

【0037】次に、本実施例の作用について説明する。Next, the operation of this embodiment will be described.

【0038】IC用リードフレーム1に高速半田めっき
を施す場合、まず、IC用リードフレーム1とアノード
電極19との間隙に、循環ポンプ8によりめっき液を下
方から上方に向かう液流でかつ一定の速度で常時流動さ
せ、めっき槽2の開口部からオーバーフローさせる。
When high-speed solder plating is performed on the IC lead frame 1, first, a plating solution is supplied to the gap between the IC lead frame 1 and the anode electrode 19 by a circulation pump 8 so that the plating solution flows upward and downward at a constant rate. It flows constantly at a speed and overflows from the opening of the plating tank 2.

【0039】ついで、搬送ロボット12により前処理工
程から送られてきたIC用リードフレーム1をリードフ
レームチャック昇降ユニット13によりめっき治具ユニ
ット16にセットする。
Next, the IC lead frame 1 sent from the preprocessing step by the transfer robot 12 is set on the plating jig unit 16 by the lead frame chuck elevating unit 13.

【0040】このセット状態のIC用リードフレーム1
に対してカソード電極チャック24を閉じて電極接点を
取る。
The IC lead frame 1 in this set state
Then, the cathode electrode chuck 24 is closed to take an electrode contact.

【0041】そして、めっき治具昇降ユニット14より
めっき治具ユニット16をIC用リードフレーム1とと
もに下降させてめっき液中に浸漬させる。
Then, the plating jig unit 16 is lowered together with the IC lead frame 1 from the plating jig elevating unit 14 and immersed in a plating solution.

【0042】めっき電源のONにより、半田めっきを開
始し、IC用リードフレーム1に高速半田めっきを施
す。
When the plating power supply is turned on, solder plating is started, and high-speed solder plating is performed on the IC lead frame 1.

【0043】めっき時間のタイムアップ後、前記IC用
リードフレーム1のセットの場合と逆のプロセスを経て
半田めっき済みのIC用リードフレーム1をめっき液中
から引き上げて後処理工程に移行させる。
After the elapse of the plating time, the soldered IC lead frame 1 is pulled out of the plating solution through a process reverse to that for setting the IC lead frame 1, and the process is shifted to a post-processing step.

【0044】このように、液流を下方から与え、めっき
槽2の開口部からのオーバーフローにより乱流を生じさ
せないように液流を均一にすることができる。
As described above, the liquid flow is applied from below, and the liquid flow can be made uniform so that turbulence does not occur due to overflow from the opening of the plating tank 2.

【0045】したがって、めっき被膜の組成や厚みのコ
ントロールを容易にし、均一化を図り、品質を向上させ
ることができる。
Accordingly, it is possible to easily control the composition and thickness of the plating film, to achieve uniformity, and to improve the quality.

【0046】また、めっき槽2と、このめっき槽2を収
納し、めっき槽2の開口部からオーバーフローしためっ
き液を受け止めて貯留する貯留槽3と、貯留槽3内のめ
っき液をめっき槽2へ循環供給する循環ポンプ8とを備
えた構造としたので、装置の小型化および配管構造の簡
易化を図ることができる。
Further, a plating tank 2, a storage tank 3 for accommodating the plating tank 2, receiving and storing the plating solution overflowing from the opening of the plating tank 2, and a plating tank 2 for storing the plating solution in the storage tank 3. And a circulating pump 8 for circulating and supplying to the apparatus, the size of the apparatus can be reduced and the piping structure can be simplified.

【0047】また、循環ポンプ8の2次側に流量センサ
9を設け、この流量センサ9の検知信号に基づきモータ
の回転数を制御し、めっき液の流量制御を可能にした構
造としたので、めっき液の流量を容易に設定でき、めっ
き被膜の組成や厚みの均一化をより一層図り、品質をさ
らに向上させることができる。
Further, the flow rate sensor 9 is provided on the secondary side of the circulation pump 8, and the number of rotations of the motor is controlled based on the detection signal of the flow rate sensor 9, so that the flow rate of the plating solution can be controlled. The flow rate of the plating solution can be easily set, the composition and thickness of the plating film can be made more uniform, and the quality can be further improved.

【0048】また、カソード電極25の先端に設けら
れ、接点チップ27でIC用リードフレーム1をチャッ
クするカソード電極チャック24と、このカソード電極
チャック24を開閉するチャック開閉ユニット30とを
備えた構造としたので、電極接点のシール性および確実
性を向上させて接点寿命を延ばし、従来、問題となって
いた電極接点のめっき層剥離や電極接点の交換を不要に
することができる。
A structure provided with a cathode electrode chuck 24 provided at the tip of the cathode electrode 25 for chucking the IC lead frame 1 with the contact tip 27 and a chuck opening / closing unit 30 for opening and closing the cathode electrode chuck 24. As a result, it is possible to improve the sealing property and reliability of the electrode contact and extend the contact life, thereby making it unnecessary to remove the plating layer of the electrode contact and replace the electrode contact, which have conventionally been problems.

【0049】また、カソード電極とIC用リードフレー
ムの形状に対応した遮蔽板23を設けた構造としたの
で、めっき被膜の組成や厚みの均一性をさらに向上させ
ることができる。
Further, since the structure is such that the shielding plate 23 corresponding to the shape of the cathode electrode and the IC lead frame is provided, the composition and thickness uniformity of the plating film can be further improved.

【0050】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施
例に限定されるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
Although the invention made by the inventor has been specifically described based on the embodiments, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be variously modified without departing from the gist thereof. Needless to say, there is.

【0051】たとえば、前記実施例では、2列の場合に
ついて説明したが、これに限らず、4列,8列のような
多列の場合にも適用することができる。
For example, in the above embodiment, the case of two rows has been described. However, the present invention is not limited to this, and the present invention can be applied to a case of multiple rows such as four rows and eight rows.

【0052】以上の説明では、主として本発明者によっ
てなされた発明をその利用分野であるIC用リードフレ
ームの高速半田めっき装置に適用した場合について説明
したが、これに限らず、IC用リードフレーム以外のリ
ードフレーム状の電子部品の高速半田めっき装置にも適
用できる。
In the above description, the case where the invention made mainly by the present inventor is applied to a high-speed solder plating apparatus for an IC lead frame, which is a field of application, has been described. The present invention can also be applied to a high-speed solder plating apparatus for lead frame-shaped electronic components.

【0053】[0053]

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
Advantageous effects obtained by typical ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described.
It is as follows.

【0054】[0054]

【0055】[0055]

【0056】[0056]

【0057】[0057]

【0058】(1).カソード電極の先端に設けられ、接点
チップで電子部品をチャックするカソード電極チャック
と、このカソード電極チャックを開閉するチャック開閉
ユニットとを備えた構造としたので、電極接点のシール
性および確実性を向上させて寿命を延ばし、従来、問題
となっていた電極接点のめっき層剥離や電極接点の交換
を不要にすることができる。
(1) A structure provided with a cathode electrode chuck provided at the tip of the cathode electrode for chucking an electronic component with a contact tip and a chuck opening / closing unit for opening and closing the cathode electrode chuck is provided. It is possible to improve the sealing property and the reliability, prolong the service life, and eliminate the necessity of peeling off the plating layer of the electrode contact and replacing the electrode contact, which have been problems in the past.

【0059】(2).前記(1) の場合、カソード電極と電子
部品との間に電子部品の形状に対応した遮蔽板を設けた
構造とすることにより、めっき被膜の組成や厚みの均一
性をさらに向上させることができる。
(2) In the case of the above (1), by providing a structure in which a shielding plate corresponding to the shape of the electronic component is provided between the cathode electrode and the electronic component, the uniformity of the composition and the thickness of the plating film is obtained. Can be further improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は本発明の一実施例である電子部品の高速
半田めっき装置を示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing a high-speed solder plating apparatus for electronic components according to one embodiment of the present invention.

【図2】図1の高速半田めっき装置に用いられるめっき
治具ユニットおよびカソード電極チャックを示す平面図
である。
FIG. 2 is a plan view showing a plating jig unit and a cathode electrode chuck used in the high-speed solder plating apparatus of FIG.

【図3】図2のIII −III 線断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III in FIG. 2;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 IC用リードフレーム 1a パッケージ部 1b リード部 2 めっき槽 3 貯留槽 4 フィルタ 5 ドレン弁 6 逆止弁 7 バルブ 8 循環ポンプ 9 流量センサ 10 三方弁 11 液流制御ボード 12 搬送ロボット 13 リードフレームチャック昇降ユニット 14 めっき治具昇降ユニット 15 アーム 16 めっき治具ユニット 17 アノード電極支持板 18 アノードバック 19 アノード電極 20 梁 21 フレーム支持溝 22 遮蔽板支持溝 23 遮蔽板 24 カソード電極チャック 25 カソード電極 26 絶縁体 27 接点チップ 28 弾性シール体 29 ブラケット 30 チャック開閉ユニット 31 開閉爪 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Lead frame for IC 1a Package part 1b Lead part 2 Plating tank 3 Storage tank 4 Filter 5 Drain valve 6 Check valve 7 Valve 8 Circulation pump 9 Flow rate sensor 10 Three-way valve 11 Liquid flow control board 12 Transfer robot 13 Lead frame chuck elevating Unit 14 Plating jig elevating unit 15 Arm 16 Plating jig unit 17 Anode electrode support plate 18 Anode back 19 Anode electrode 20 Beam 21 Frame support groove 22 Shield plate support groove 23 Shield plate 24 Cathode electrode chuck 25 Cathode electrode 26 Insulator 27 Contact tip 28 Elastic seal body 29 Bracket 30 Chuck opening / closing unit 31 Opening / closing claw

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI H01L 23/48 H01L 23/48 23/50 23/50 D // H01R 43/16 H01R 43/16 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C23C 2/00 - 2/40 B23K 1/20 C25D 7/12,17/00 H01L 23/48,23/50 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI H01L 23/48 H01L 23/48 23/50 23/50 D // H01R 43/16 H01R 43/16 (58) Fields surveyed ( Int.Cl. 7 , DB name) C23C 2/00-2/40 B23K 1/20 C25D 7 / 12,17 / 00 H01L 23 / 48,23 / 50

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 カソード電極の先端に設けられ、接点チ
ップで電子部品をチャックするカソード電極チャック
と、このカソード電極チャックを開閉するチャック開閉
ユニットとを備えたことを特徴とする電子部品の高速半
田めっき装置。
1. A high-speed soldering device for electronic components, comprising: a cathode electrode chuck provided at a tip of a cathode electrode for chucking an electronic component with a contact tip; and a chuck opening / closing unit for opening and closing the cathode electrode chuck. Plating equipment.
【請求項2】 前記カソード電極と電子部品との間に電
子部品の形状に対応した遮蔽板を設けたことを特徴とす
る請求項記載の電子部品の高速半田めっき装置。
2. A high-speed solder plating apparatus for electronic components according to claim 1, characterized in that a shielding plate corresponding to the shape of the electronic component between the cathode electrode and the electronic component.
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