JP3166946B2 - 電子ビ―ム露光装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子ビ―ム露光装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、図６に示すような、（ｉ）電子ビ
―ム源（図示せず）から試料１側に向う、試料１を露光
させる電子ビ―ム２の軸のまわりに、電子ビ―ム２の通
路を形成するように配された、電子ビ―ム２を試料１上
に集束させる電子ビ―ム集束用対物レンズ３と、（ｉ
ｉ）電子ビ―ム集束用対物レンズ３が配されている位置
における、電子ビ―ム集束用対物レンズ３が形成してい
る電子ビ―ム２の通路内に、電子ビ―ム２の通路を形成
するように配されている、電子ビ―ム２を偏向させる電
子ビ―ム偏向器４とを、試料１側端部に有する電子ビ―
ム露光装置（以下、従来の第１の電子ビ―ム露光装置と
称す）が、半導体集積回路を製造するのに用いる電子ビ
―ム露光装置として、提案されている。

【０００３】この場合、試料１は、基板体１ａ上に電子
レジスト層１ｂが塗布によって形成されている構成を有
する。

【０００４】また、電子ビ―ム集束用対物レンズ３は、
図６においては、磁気ヨ―ク３ａとコイル３ｂとを有す
る電磁型のものであるとして示されているが、静電型の
ものであってもよい。

【０００５】さらに、電子ビ―ム偏向器４は、図６にお
いては、相対する偏向板４ａの複数の組を有する静電型
のものであるとして示されているが、電磁型のものであ
ってもよい。

【０００６】また、従来、図７に示すような、図６に示
す従来の第１の電子ビ―ム露光装置と同様の電子ビ―ム
露光装置において、電子ビ―ム偏向器４が、電子ビ―ム
集束用対物レンズ３が配されている位置における、電子
ビ―ム集束用対物レンズ３が形成している電子ビ―ム２
の通路内に配されているのに応じて、試料１と、電子ビ
―ム集束用対物レンズ３または電子ビ―ム偏向器４との
間に、電子ビ―ム２の軸のまわりに、電子ビ―ム偏向器
４によって形成している電子ビ―ム２の通路よりも十分
大きな電子ビ―ム２の通路を形成するように配されてい
る、試料１からの反射電子５を検出する反射電子検出器
６を有する電子ビ―ム露光装置（以下、従来の第２の電
子ビ―ム露光装置と称す）も、同様に、半導体集積回路
を製造するのに用いる電子ビ―ム露光装置として、提案
されている。

【０００７】なお、図７に示す従来の第２の電子ビ―ム
露光装置において、反射電子検出器６は、その反射電子
検出器６の出力によって電子ビ―ム２が試料１を露光す
る位置をモニタ制御するために用いているものである。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】図６及び図７にそれぞ
れ示す従来の第１及び第２の電子ビ―ム露光装置によれ
ば、試料１が電子ビ―ム２によって露光されることによ
って、試料１の表面から、その表面を構成している材料
（電子レジスト層１ｂを構成している有機物）が蒸発す
るのを予儀なくされ、そして、その蒸発物が、電子ビ―
ム集束用対物レンズ３及び電子ビ―ム偏向器４側に向う
が、この場合、蒸発物が電子ビ―ム集束用対物レンズ３
及び電子ビ―ム偏向器４によってそれぞれ形成している
電子ビ―ム２の通路内に向うのを阻止する何物も有して
いないので、蒸発物が、電子ビ―ム偏向器４によって形
成している電子ビ―ム２の通路内、及び電子ビ―ム集束
用対物レンズ３及び電子ビ―ム偏向器４間内に、容易に
侵入し、電子ビ―ム集束用対物レンズ３及び電子ビ―ム
偏向器４のそれぞれの電子ビ―ム２の通路を画成してい
る内面、とにく電子ビ―ム偏向器４の電子ビ―ム２の通
路を画成している内面に、多量に、汚れとして、容易に
付着する。

【０００９】また、試料１が電子ビ―ム２によって露光
されることによって、試料１の表面から電子ビ―ム集束
用対物レンズ３及び電子ビ―ム偏向器４側に向う反射電
子５及び２次電子が生じ、そして、それら反射電子５及
び２次電子が、同様に、電子ビ―ム集束用対物レンズ３
及び電子ビ―ム偏向器４側に向うが、この場合、反射電
子５及び２次電子が電子ビ―ム集束用対物レンズ３及び
電子ビ―ム偏向器４にそれぞれ形成されている電子ビ―
ム２の通路内に向うのを阻止する何物も有していないの
で、反射電子５及び２次電子が、電子ビ―ム偏向器４に
よって形成されている電子ビ―ム２の通路内、及び電子
ビ―ム集束用対物レンズ３及び電子ビ―ム偏向器４間内
に、容易に侵入し、電子ビ―ム集束用対物レンズ３及び
電子ビ―ム偏向器４のそれぞれの電子ビ―ム２を通路を
画成している内面に付着している上述した汚れを、多量
に、容易に照射し、よって、その汚れに、電荷が、多量
に、容易に蓄積される。

【００１０】以上のことから、図６及び図７にそれぞれ
示す従来の第１及び第２の電子ビ―ム露光装置によれ
ば、電子ビ―ム２が試料１を露光する位置が、予定の位
置から大きく変化してしまう、という欠点を有してい
た。

【００１１】よって、本発明は、上述した欠点を有効に
回避し得る、新規な電子ビ―ム露光装置を提案せんとす
るものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本願第１番目の発明によ
る電子ビ―ム露光装置は、図６に示す従来の第１の電子
ビ―ム露光装置と同様の、（ｉ）電子ビ―ム源から試料
側に向う、上記試料を露光させる電子ビ―ムの軸のまわ
りに、上記電子ビ―ムの通路を形成するように配され
た、上記電子ビ―ムを上記試料上に集束させる電子ビ―
ム集束用対物レンズと、（ｉｉ）（ａ）上記電子ビ―ム
集束用対物レンズが配されている位置における、上記電
子ビ―ム集束用対物レンズが形成している上記電子ビ―
ムの通路内に、または（ｂ）上記電子ビ―ム集束用対物
レンズが配されている位置よりも上記試料側の位置に、
もしくは（ｃ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズが配さ
れている位置よりも上記試料側とは反対側の位置に、上
記電子ビ―ムの軸のまわりに、上記電子ビ―ムの通路を
形成するように配されている、上記電子ビ―ムを偏向さ
せる電子ビ―ム偏向器とを、上記試料側端部に有する電
子ビ―ム露光装置において、（ｉｉｉ）上記電子ビ―ム
集束用対物レンズ及び上記電子ビ―ム偏向器がそれぞれ
形成している上記電子ビ―ムの通路中の小さい方の上記
電子ビ―ムの通路よりも小さな電子ビ―ム用開口を有
し、且つ上記電子ビ―ム偏向器が、（ａ）上記電子ビ―
ム集束用対物レンズが配されている位置における、上記
電子ビ―ム集束用対物レンズが形成している上記電子ビ
―ムの通路内に、または（ｂ）電子ビ―ム集束用対物レ
ンズが配されている位置よりも上記試料側の位置に、も
しくは（ｃ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズが配され
ている位置よりも上記試料側とは反対側に配されている
のに応じて、上記試料と、（ａ）上記電子ビ―ム集束用
対物レンズまたは上記電子ビ―ム偏向器、または（ｂ）
上記電子ビ―ム偏向器、もしくは（ｃ）上記電子ビ―ム
集束用対物レンズとの間に、上記電子ビ―ム用開口によ
って上記電子ビ―ムの通路を形成するように配されてい
る導電性板体と、（ｉｖ）上記導電性板体に、上記試料
を基準として、上記試料からの２次電子が上記電子ビ―
ム集束用対物レンズ及び上記電子ビ―ム偏向器側に向う
のを阻止するための負極性の電圧を印加する電圧印加手
段とを有する、という構成を有する。

【００１３】本願第２番目の発明による電子ビ―ム露光
装置は、図７に示す従来の第２の電子ビ―ム露光装置の
場合と同様の、（ｉ）電子ビ―ム源から試料側に向う、
上記試料を露光させる電子ビ―ムの軸のまわりに、上記
電子ビ―ムの通路を形成するように配された、上記電子
ビ―ムを上記試料上に集束させる電子ビ―ム集束用対物
レンズと、（ｉｉ）（ａ）上記電子ビ―ム集束用対物レ
ンズが配されている位置における、上記電子ビ―ム集束
用対物レンズが形成している上記電子ビ―ムの通路内
に、または（ｂ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズが配
されている位置よりも上記試料側の位置に、もしくは
（ｃ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズが配されている
位置よりも上記試料側とは反対側の位置に、上記電子ビ
―ムの軸のまわりに、上記電子ビ―ムの通路を形成する
ように配されている、上記電子ビ―ムを偏向させる電子
ビ―ム偏向器と、（ｉｉｉ）上記電子ビ―ム偏向器が、
（ａ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズが配されている
位置における、上記電子ビ―ム集束用対物レンズが形成
している電子ビ―ムの通路内に、または（ｂ）電子ビ―
ム集束用対物レンズが配されている位置よりも上記試料
側の位置に、もしくは（ｃ）電子ビ―ム集束用対物レン
ズが配されている位置よりも上記試料側とは反対側に配
されているのに応じて、上記試料と、（ａ）上記電子ビ
―ム集束用対物レンズまたは上記電子ビ―ム偏向器、ま
たは（ｂ）上記電子ビ―ム偏向器、もしくは（ｃ）上記
電子ビ―ム集束用対物レンズとの間に、上記電子ビ―ム
の軸のまわりに、上記電子ビ―ムの通路を形成するよう
に配されている、上記試料からの反射電子を検出する反
射電子検出器とを、上記試料側端部に有する電子ビ―ム
露光装置において、（ｉｖ）上記電子ビ―ム集束用対物
レンズ及び上記電子ビ―ム偏向器がそれぞれ形成してい
る上記電子ビ―ムの通路中の小さい方の上記電子ビ―ム
の通路よりも小さな電子ビ―ム用開口を有し、且つ上記
電子ビ―ム偏向器が、（ａ）上記電子ビ―ム集束用対物
レンズが配されている位置における、上記電子ビ―ム集
束用対物レンズが形成している電子ビ―ムの通路内に、
または（ｂ）電子ビ―ム集束用対物レンズが配されてい
る位置よりも上記試料側の位置に、もしくは（ｃ）電子
ビ―ム集束用対物レンズが配されている位置よりも上記
試料側とは反対側に配されているのに応じて、上記反射
電子検出器と、（ａ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズ
または上記電子ビ―ム偏向器、または（ｂ）上記電子ビ
―ム偏向器、もしくは（ｃ）上記電子ビ―ム集束用対物
レンズとの間に、または上記試料と上記反射電子検出器
との間に、上記電子ビ―ム用開口によって上記電子ビ―
ムの通路を形成するように配されている導電性板体と、
（ｖ）上記導電性板体に、上記試料を基準として、上記
試料からの２次電子が上記電子ビ―ム集束用 対物レンズ
及び上記電子ビ―ム偏向器側に向うのを阻止するための
負極性の電圧を印加する電圧印加手段とを有する、とい
う構成を有する。

【００１４】本願第３番目の発明による電子ビ―ム露光
装置は、図７に示す従来の第２の電子ビ―ム露光装置の
場合と同様の、（ｉ）電子ビ―ム源から試料側に向う、
上記試料を露光させる電子ビ―ムの軸のまわりに、上記
電子ビ―ムの通路を形成するように配された、上記電子
ビ―ムを上記試料上に集束させる電子ビ―ム集束用対物
レンズと、（ｉｉ）（ａ）上記電子ビ―ム集束用対物レ
ンズが配されている位置における、上記電子ビ―ム集束
用対物レンズが形成している上記電子ビ―ムの通路内
に、または（ｂ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズが配
されている位置よりも上記試料側の位置に、もしくは
（ｃ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズが配されている
位置よりも上記試料側とは反対側の位置に、上記電子ビ
―ムの軸のまわりに、上記電子ビ―ムの通路を形成する
ように配されている、上記電子ビ―ムを偏向させる電子
ビ―ム偏向器と、（ｉｉｉ）上記電子ビ―ム偏向器が、
（ａ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズが配されている
位置における、上記電子ビ―ム集束用対物レンズが形成
している電子ビ―ムの通路内に、または（ｂ）電子ビ―
ム集束用対物レンズが配されている位置よりも上記試料
側の位置に、もしくは（ｃ）電子ビ―ム集束用対物レン
ズが配されている位置よりも上記試料側とは反対側に配
されているのに応じて、上記試料と、（ａ）上記電子ビ
―ム集束用対物レンズまたは上記電子ビ―ム偏向器、ま
たは（ｂ）上記電子ビ―ム偏向器、もしくは（ｃ）上記
電子ビ―ム集束用対物レンズとの間に、または上記試料
と上記反射電子検出器との間に、上記電子ビ―ムの軸の
まわりに、上記電子ビ―ムの通路を形成するように配さ
れている、上記試料からの反射電子を検出する反射電子
検出器とを、上記試料側端部に有する電子ビ―ム露光装
置において、（ｉｖ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズ
及び上記電子ビ―ム偏向器がそれぞれ形成している上記
電子ビ―ムの通路中の小さい方の上記電子ビ―ムの通路
よりも小さな電子ビ―ム用開口と、そのまわりに形成さ
れている反射電子用開口とを有し、且つ上記試料と上記
反射電子検出器との間に、上記電子ビ―ム用開口によっ
て上記電子ビ―ムの通路を形成し且つ上記反射電子用開
口によって上記試料から反射して上記反射電子検出器側
に向う反射電子の通路を形成するように配されている導
電性板体と、（ｖ）上記導電性板体に、上記試料を基準
として、上記試料からの２次電子が上記電子ビ―ム集束
用対物レンズ及び上記電子ビ―ム偏向器側に向うのを阻
止するための負極性の電圧を印加する電圧印加手段とを
有する、という構成を有する。

【００１５】

【作用・効果】本願第１番目及び本願第２番目の発明に
よる電子ビ―ム露光装置によれば、試料が電子ビ―ムに
よって露光されることによって、試料の表面からその表
面を構成している材料が蒸発するのを予儀なくされ、そ
して、その蒸発物が、電子ビ―ム集束用対物レンズ及び
電子ビ―ム偏向器側に向うが、この場合、導電性板体を
有するので、蒸発物を、電子ビ―ム集束用対物レンズ及
び電子ビ―ム偏向器によってそれぞれ形成されている電
子ビ―ムの通路内にほとんど侵入させなくすることがで
きるか、侵入させるとしても、わずかな量でしか侵入さ
せなくすることができ、このため、試料の表面からの蒸
発物を、電子ビ―ム集束用対物レンズ及び電子ビ―ム偏
向器のそれぞれの電子ビ―ムの通路を画成している内面
に、ほとんど、汚れとして付着させなくすることができ
るか、付着させるとしても、わずかな量でしか付着させ
なくすることができる。

【００１６】また、試料が電子ビ―ムによって露光され
ることによって、試料の表面から電子ビ―ム集束用対物
レンズ及び電子ビ―ム偏向器側に向う反射電子及び２次
電子が生じ、そして、それら反射電子及び２次電子が、
蒸発物と同様に、電子ビ―ム集束用対物レンズ及び電子
ビ―ム偏向器側に向うが、この場合、導電性板体を有す
るとともに電圧印加手段を有し、そして、その電圧印加
手段によって、導電性板体に、試料を基準として負極性
の電圧を印加することができるとともに、その電圧を適
当に選定することができるので、反射電子及び２次電子
中の反射電子を、電子ビ―ム集束用対物レンズ及び電子
ビ―ム偏向器によってそれぞれ形成されている電子ビ―
ムの通路内にほとんど侵入させなくすることができる
か、侵入させるとしても、わずかな量でしか侵入させな
くすることができ、また、反射電子 及び２次電子中の２
次電子のほとんどを、電子ビ―ム偏向器及び電子ビ―ム
集束用対物レンズ側とは反対側に向わせることができ、
このため、２次電子を、電子ビ―ム集束用対物レンズ及
び電子ビ―ム偏向器のそれぞれによって形成されている
通路内にほとんど侵入させなくすることができ、よっ
て、蒸発物が、電子ビ―ム集束用対物レンズ及び電子ビ
―ム偏向器のそれぞれの電子ビ―ムの通路を画成してい
る内面に、汚れとして、付着していても、その汚れに、
反射電子及び２次電子を、ほとんど照射させなくするこ
とができるか、照射させるとしても、わずかな量でしか
照射させなくすることができ、よって、汚れに、電荷を
ほとんど蓄積させなくすることができるか、蓄積させる
としても、わずかな量でしか蓄積させなくすることがで
きる。

【００１７】以上のことから、本願第１番目の発明及び
本願第２番目の発明による電子ビ―ム露光装置によれ
ば、電子ビ―ムが試料を露光する位置を、予定の位置か
らほとんど変化させなくすることができるか、変化させ
るとしても、無視し得る程度にしか変化させなくするこ
とができる。

【００１８】また、本願第３番目の発明による電子ビ―
ム露光装置によれば、導電性板体を有するが、その導電
性板体が反射電子用開口を有するので、その導電性板体
を大きくしても、反射電子を、反射電子検出器に、有効
に多量、向わせることができるとともに、導電性板体を
大きくすることによって、試料が電子ビ―ムによって露
光されることによって試料の表面から蒸発して得られる
蒸発物を、電子ビ―ム集束用対物レンズ及び電子ビ―ム
偏向器のそれぞれによって形成されている通路内にほと
んど侵入させなくすることができるか、侵入させるとし
ても、きわめてわずかな量でしか侵入させなくすること
が、本願第１番目の発明及び本願第２番目の発明による
電子ビーム露光装置の場合に比しより効果的にでき、こ
のため、試料の表面からの蒸発物を、電子ビ―ム集束用
対物レンズ及び電子ビ―ム偏向器のそれぞれの電子ビ―
ムの通路を画成している内面に、ほとんど、汚れとし
て、付着させなくすることができるか、付着させるとし
ても、わずかな量でしか付着させなくすることができ
る。

【００１９】また、本願第１番目の発明及び本願第２番
目の発明による電子ビーム露光装置の場合と同様に、導
電性板を有するとともに電圧印加手段を有し、そして、
その電圧印加手段によって、導電性板体に、試料を基準
として負極性の電圧を印加することができるとともに、
その電圧を適当に選定することができるので、本願第１
番目の発明及び本願第２番目の発明による電子ビーム露
光装置の場合と同様に、反射電子及び２次電子中の反射
電子を、電子ビ―ム集束用対物レンズ及び電子ビ―ム偏
向器によってそれぞれ形成されている電子ビ―ムの通路
内にほとんど侵入させなくすることができるか、侵入さ
せるとしても、わずかな量でしか侵入させなくすること
ができ、また、反射電子及び２次電子中の２次電子のほ
とんどを、電子ビ―ム偏向器及び電子ビ―ム集束用対物
レンズ側とは反対側に向わせることができ、このため、
２次電子を、電子ビ―ム集束用対物レンズ及び電子ビ―
ム偏向器のそれぞれによって形成されている通路内にほ
とんど侵入させなくすることができ、よって、蒸発物
が、電子ビ―ム集束用対物レンズ及び電子ビ―ム偏向器
のそれぞれの電子ビ―ムの通路を画成している内面に、
汚れとして、付着していても、その汚れに、反射電子及
び２次電子を、ほとんど照射させなくすることができる
か、照射させるとしても、わずかな量でしか照射させな
くすることができ、よって、汚れに、電荷をほとんど蓄
積させなくすることができるか、蓄積させるとしても、
わずかな量でしか蓄積させなくすることができる。

【００２０】以上のことから、本願第３番目の発明によ
る電子ビーム露光装置によれば、試料が電子ビームによ
って露出されることによって試料の表面から生じる反射
電子を、反射電子検出器に、有効に多量、向わせること
ができるとともに、本願第１番目の発明及び本願第２番
目の発明による電子ビーム露光装置の場合と同様に、電
子ビ―ムが試料を露光する位置を、予定の位置からほと
んど変化させなくすることができるか、変化させるとし
ても、きわめてわずかな、無視し得る程度にしか変化さ
せなくすることができる。

【００２１】

【実施例１】次に、図１を伴って、本発明による電子ビ
―ム露光装置の第１の実施例を述べよう。

【００２２】図１において、図６との対応部分には同一
符号を付して示す。

【００２３】図１に示す本発明による電子ビ―ム露光装
置は、図６に示す従来の第１の電子ビ―ム露光装置の場
合と同様の、（ｉ）電子ビ―ム源（図示せず）から試料
１側に向う、試料１を露光させる電子ビ―ム２の軸のま
わりに、電子ビ―ム２の通路を形成するように配され
た、電子ビ―ム２を試料１上に集束させる電子ビ―ム集
束用対物レンズ３と、（ｉｉ）電子ビ―ム集束用対物レ
ンズ３が配されている位置における、電子ビ―ム集束用
対物レンズ３が形成している電子ビ―ム２の通路内に、
電子ビ―ム２の通路を形成するように配されている、電
子ビ―ム２を偏向させる電子ビ―ム偏向器４とを、試料
１側端部に有する、という電子ビ―ム露光装置におい
て、（ｉｉｉ）電子ビ―ム集束用対物レンズ３及び電子
ビ―ム偏向器４がそれぞれ形成している電子ビ―ム２の
通路中の小さい方の電子ビ―ム２の通路、この場合、電
子ビ―ム偏向器４が形成している電子ビ―ム２の通路よ
りも小さな電子ビ―ム用開口７ａを有し、且つ電子ビ―
ム偏向器４が、電子ビ―ム集束用対物レンズ３が配され
ている位置における、電子ビ―ム集束用対物レンズ３が
形成している電子ビ―ム２の通路内に配されているのに
応じて、試料１と、電子ビ―ム集束用対物レンズ３また
は電子ビ―ム偏向器４との間に、電子ビ―ム用開口７ａ
によって電子ビ―ム２の通路を形成するように配されて
いる導電性板体７と、（ｉｖ）導電性板体７に、試料１
を基準として、試料１からの２次電子が電子ビ―ム集束
用対物レンズ３及び電子ビ―ム偏向器４側に向うのを阻
止するための負極性の電圧を印加する電源９を有する電
圧印加手段８とを有する、という構成を有する。

【００２４】この場合、試料１は、図６に示す従来の第
１の電子ビ―ム露光装置の場合と同様に、基板体１ａ上
に電子レジスト層１ｂが塗布によって形成されている構
成を有する。

【００２５】また、電子ビ―ム集束用対物レンズ３は、
図１においては、図６に示す従来の第１の電子ビ―ム露
光装置の場合と同様に、磁気ヨ―ク３ａとコイル３ｂと
を有する電磁型のものであるとして示されているが、静
電型のものであってもよい。

【００２６】さらに、電子ビ―ム偏向器４は、図１にお
いては、図６に示す従来の第１の電子ビ―ム露光装置の
場合と同様に、相対する偏向板４ａの複数の組を有する
静電型のものであるとして示されているが、電磁型のも
のであってもよい。

【００２７】また、試料１、及び電圧印加手段８の電源
９の正極端を、図示のように、接地しておくのを可とす
る。

【００２８】以上が、本発明による電子ビ―ム露光装置
の第１の実施例の構成である。

【００２９】このような構成を有する本発明による電子
ビ―ム露光装置によれば、試料１が電子ビ―ム２によっ
て露光されることによって、試料１の表面からその表面
を構成している材料（電子レジスト層１ｂを構成してい
る有機物）が蒸発するのを予儀なくされ、そして、その
蒸発物が、電子ビ―ム集束用対物レンズ３及び電子ビ―
ム偏向器４側に向うが、この場合、導電性板体７を有す
るので、蒸発物を、電子ビ―ム集束用対物レンズ３及び
電子ビ―ム偏向器４によってそれぞれ形成されている電
子ビ―ム２の通路内にほとんど侵入させなくすることが
できるか、侵入させるとしても、わずかな量でしか侵入
させなくすることができ、このため、試料１の表面から
の蒸発物を、電子ビ―ム集束用対物レンズ３及び電子ビ
―ム偏向器４のそれぞれの電子ビ―ム２の通路を画成し
ている内面に、ほとんど、汚れとして、付着させなくす
ることができるか、付着させるとしても、わずかな量で
しか付着させなくすることができる。

【００３０】また、試料１が電子ビ―ム２によって露光
されることによって、試料１の表面から電子ビ―ム集束
用対物レンズ３及び電子ビ―ム偏向器４側に向う反射電
子５及び２次電子が生じ、そして、それら反射電子５及
び２次電子が、蒸発物と同様に、電子ビ―ム集束用対物
レンズ３及び電子ビ―ム偏向器４側に向うが、この場
合、導電性板体７を有するとともに電圧印加手段８を有
し、そして、電圧印加手段８によって、導電性板体７
に、試料１を基準として負極性の電圧を印加することが
できるとともに、その電圧を適当に選定することができ
るので、反射電子５及び２次電子中の反射電子を電子ビ
―ム集束用対物レンズ３及び電子ビ―ム偏向器４によっ
てそれぞれ形成されている電子ビ―ム２の通路内にほと
んど侵入させなくすることができるか、侵入させるとし
ても、わずかな量でしか侵入させなくすることができ、
また、反射電子５及び２次電子中の２次電子のほとんど
を、電子ビ―ム偏向器４及び電子ビ―ム集束用対物レン
ズ３側とは反対側に向わせることができ、このため、２
次電子を、電子ビ―ム集束用対物レンズ３及び電子ビ―
ム偏向器４のそれぞれによって形成されている通路内に
ほとんど侵入させなくすることができ、よって、蒸発物
が、電子ビ―ム集束用対物レンズ３及び電子ビ―ム偏向
器４のそれぞれの電子ビ―ム２の通路を画成している内
面に、汚れとして、付着していても、反射電子５及び２
次電子を、汚れに、ほとんど照射させなくすることがで
きるか、照射させるとしても、わずかな量でしか照射さ
せなくすることができ、よって、汚れに、電荷をほとん
ど蓄積させなくすることができるか、蓄積させるとして
も、わずかな量でしか蓄積させなくすることができる。

【００３１】以上のことから、図１に示す本発明による
電子ビ―ム露光装置によれば、電子ビ―ム２が試料１を
露光する位置を、予定の位置からほとんど変化させなく
することができるか、変化させるとしても、無視し得る
程度にしか変化させなくすることができる。

【００３２】このことは、導電性板体７の電圧に対す
る、試料１上の電子ビ―ムの位置の変化量を測定したと
ころ、図２に示す結果が得られたことからも明らかであ
ろう。

【００３３】

【実施例２】次に、本発明による電子ビ―ム露光装置の
第２の実施例を述べよう。

【００３４】本発明による電子ビ―ム露光装置の第２の
実施例は、図示詳細説明は省略するが、図１に示す本発
明による電子ビ―ム露光装置の第１の実施例において、
電子ビ―ム偏向器４が、電子ビ―ム集束用対物レンズ３
が配されている位置に配されているのに代え、電子ビ―
ム集束用対物レンズ３が配されている位置よりも試料１
側の位置に配され、これに応じて、導電性板体７が、試
料１と電子ビ―ム偏向器４との間に配されていることを
除いて、図１に示す本発明による電子ビ―ム露光装置の
第１の実施例の場合と同様の構成を有する。

【００３５】このような構成を有する本発明による電子
ビ―ム露光装置の第２の実施例によれば、上述した事項
を除いて、図１に示す本発明による電子ビ―ム露光装置
の第１の実施例の場合と同様の構成を有するので、詳細
説明は省略するが、図１に示す本発明による電子ビ―ム
露光装置の第１の実施例の場合と同様の作用効果が得ら
れることは明らかである。

【００３６】

【実施例３】次に、本発明による電子ビ―ム露光装置の
第３の実施例を述べよう。

【００３７】本発明による電子ビ―ム露光装置の第３の
実施例は、図示詳細説明は省略するが、図１に示す本発
明による電子ビ―ム露光装置の第１の実施例において、
電子ビ―ム偏向器４が、電子ビ―ム集束用対物レンズ３
が配されている位置に配されているのに代え、電子ビ―
ム集束用対物レンズ３が配されている位置よりも試料１
側とは反対側の位置に配され、これに応じて、導電性板
体７が、試料１と電子ビ―ム集束用対物レンズ３との間
に配されていることを除いて、図１に示す本発明による
電子ビ―ム露光装置の第１の実施例の場合と同様の構成
を有する。

【００３８】このような構成を有する本発明による電子
ビ―ム露光装置の第３の実施例によれば、上述した事項
を除いて、図１に示す本発明による電子ビ―ム露光装置
の第１の実施例の場合と同様の構成を有するので、詳細
説明は省略するが、図１に示す本発明による電子ビ―ム
露光装置の第１の実施例の場合と同様の作用効果が得ら
れることは明らかである。

【００３９】

【実施例４】次に、図３を伴って、本発明による電子ビ
―ム露光装置の第４の実施例を述べよう。

【００４０】図３において、図１及び図１３との対応部
分には同一符号を付して示す。

【００４１】図３に示す本発明による電子ビ―ム露光装
置の第４の実施例は、図７で前述した従来の第２の電子
ビ―ム露光装置の場合と同様の、図６に示す従来の第１
の電子ビ―ム露光装置において、電子ビ―ム偏向器４が
電子ビ―ム集束用対物レンズ３が配されている位置にお
ける、電子ビ―ム集束用対物レンズ３が形成している電
子ビ―ム２の通路内に配されているのに応じて、試料１
と、電子ビ―ム集束用対物レンズ３または電子ビ―ム偏
向器４との間に、電子ビ―ム２の軸のまわりに、電子ビ
―ム偏向器４によって形成している電子ビ―ム２の通路
よりも十分大きな電子ビ―ム２の通路を形成するように
配されている、試料１からの反射電子５を検出する反射
電子検出器６を有する電子ビ―ム露光装置において、
（ｉ）電子ビ―ム集束用対物レンズ３及び電子ビ―ム偏
向器４がそれぞれ形成している電子ビ―ム２の通路中の
小さい方の電子ビ―ム２の通路、この場合、電子ビ―ム
偏向器４が形成している電子ビ―ム２の通路よりも小さ
な電子ビ―ム用開口７ａを有し、且つ電子ビ―ム偏向器
４が、電子ビ―ム集束用対物レンズ３が配されている位
置における、電子ビ―ム集束用対物レンズ３が形成して
いる電子ビ―ム２の通路内に配されているのに応じて、
反射電子検出器６と、電子ビ―ム集束用対物レンズ３ま
たは電子ビ―ム偏向器４との間に、電子ビ―ム用開口７
ａによって電子ビ―ム２の通路を形成するように配され
ている導電性板体７と、（ｉｉ）導電性板体７に、試料
１を基準として、試料１からの２次電子が電子ビ―ム集
束用対物レンズ３及び電子ビ―ム偏向器４側に向うのを
阻止するための負極性の電圧を印加する電源９を有する
電圧印加手段８とを有する、という構成を有する。

【００４２】以上が、本発明による電子ビ―ム露光装置
の第４の実施例の構成である。

【００４３】このような構成を有する電子ビ―ム露光装
置によれば、導電性板体７が、図１に示す本発明による
電子ビ―ム露光装置の第１の実施例の場合と同様に、試
料１と、電子ビ―ム集束用対物レンズ３または電子ビ―
ム偏向器４との間に配されている構成を有するととも
に、電圧印加手段８によって導電性板７に試料１からの
２次電子が電子ビーム集束用対物レンズ３及び電子ビー
ム偏向器４側に向かうのを阻止する負極性の電圧を印加
することができる構成を有するので、詳細説明は省略す
るが、図１に示す本発明による電子ビ―ム露光装置の第
１の実施例の場合と同様の作用効果が得られることは明
らかである。

【００４４】

【実施例５】次に、本発明による電子ビ―ム露光装置の
第５の実施例を述べよう。

【００４５】本発明による電子ビ―ム露光装置の第５の
実施例は、図示詳細説明は省略するが、図３に示す本発
明による電子ビ―ム露光装置の第４の実施例において、
電子ビ―ム偏向器４が、電子ビ―ム集束用対物レンズ３
が配されている位置に配されているのに代え、電子ビ―
ム集束用対物レンズ３が配されている位置よりも試料１
側の位置に配され、これに応じて、導電性板体７が、試
料１と電子ビ―ム偏向器４との間に配されていることを
除いて、図３に示す本発明による電子ビ―ム露光装置の
第４の実施例の場合と同様の構成を有する。

【００４６】このような構成を有する本発明による電子
ビ―ム露光装置の第５の実施例によれば、上述した事項
を除いて、図３に示す本発明による電子ビ―ム露光装置
の第４の実施例の場合と同様の構成を有するので、詳細
説明は省略するが、図３に示す本発明による電子ビ―ム
露光装置の第４の実施例の場合と同様の作用効果が得ら
れることは明らかである。

【００４７】

【実施例６】次に、本発明による電子ビ―ム露光装置の
第６の実施例を述べよう。

【００４８】本発明による電子ビ―ム露光装置の第６の
実施例は、図示詳細説明は省略するが、図３に示す本発
明による電子ビ―ム露光装置の第４の実施例において、
電子ビ―ム偏向器４が、電子ビ―ム集束用対物レンズ３
が配されている位置に配されているのに代え、電子ビ―
ム集束用対物レンズ３が配されている位置よりも試料１
側とは反対側の位置に配され、これに応じて、導電性板
体７が、試料１と電子ビ―ム集束用対物レンズ３との間
に配されていることを除いて、図３に示す本発明による
電子ビ―ム露光装置の第４の実施例の場合と同様の構成
を有する。

【００４９】このような構成を有する本発明による電子
ビ―ム露光装置の第６の実施例によれば、上述した事項
を除いて、図３に示す本発明による電子ビ―ム露光装置
の第４の実施例の場合と同様の構成を有するので、詳細
説明は省略するが、図３に示す本発明による電子ビ―ム
露光装置の第４の実施例の場合と同様の作用効果が得ら
れることは明らかである。

【００５０】

【実施例７】次に、図４を伴って、本発明による電子ビ
―ム露光装置の第７の実施例を述べよう。

【００５１】図４において、図１及び図１３との対応部
分には同一符号を付して示す。

【００５２】図４に示す本発明による電子ビ―ム露光装
置の第７の実施例は、図７で前述した従来の第２の電子
ビ―ム露光装置の場合と同様の、図６に示す従来の第１
の電子ビ―ム露光装置において、電子ビ―ム偏向器４が
電子ビ―ム集束用対物レンズ３が配されている位置にお
ける、電子ビ―ム集束用対物レンズ３が形成している電
子ビ―ム２の通路内に配されているのに応じて、試料１
と、電子ビ―ム集束用対物レンズ３または電子ビ―ム偏
向器４との間に、電子ビ―ム２の軸のまわりに、電子ビ
―ム偏向器４によって形成している電子ビ―ム２の通路
よりも十分大きな電子ビ―ム２の通路を形成するように
配されている、試料１からの反射電子５を検出する反射
電子検出器を有する電子ビ―ム露光装置において、
（ｉ）電子ビ―ム集束用対物レンズ３及び電子ビ―ム偏
向器４がそれぞれ形成している電子ビ―ム２の通路中の
小さい方の電子ビ―ム２の通路、この場合、電子ビ―ム
偏向器４が形成している電子ビ―ム２の通路よりも小さ
な電子ビ―ム用開口７ａを有し、且つ試料１と、反射電
子検出器６との間に、電子ビ―ム用開口７ａによって電
子ビ―ム２の通路を形成するように配されている導電性
板体７と、（ｉｉ）導電性板体７に、試料１を基準とし
て、試料１からの２次電子が電子ビ―ム集束用対物レン
ズ３及び電子ビ―ム偏向器４側に向うのを阻止するため
の負極性の電圧を印加する電源９を有する電圧印加手段
８とを有する、という構成を有する。

【００５３】以上が、本発明による電子ビ―ム露光装置
の第７の実施例の構成である。

【００５４】このような構成を有する電子ビ―ム露光装
置によれば、導電性板体７が、図１に示す本発明による
電子ビ―ム露光装置の第１の実施例の場合と同様に、試
料１と、電子ビ―ム集束用対物レンズ３または電子ビ―
ム偏向器４との間に配されている構成を有するととも
に、電圧印加手段８によって導電性板７に試料１からの
２次電子が電子ビーム集束用対物レンズ３及び電子ビー
ム偏向器４側に向かうのを阻止する負極性の電圧を印加
することができる構成を有するので、詳細説明は省略す
るが、図１に示す本発明による電子ビ―ム露光装置の第
１の実施例の場合と同様の作用効果が得られることは明
らかである。

【００５５】

【実施例８】次に、本発明による電子ビ―ム露光装置の
第８の実施例を述べよう。

【００５６】本発明による電子ビ―ム露光装置の第８の
実施例は、図示詳細説明は省略するが、図４に示す本発
明による電子ビ―ム露光装置の第７の実施例において、
電子ビ―ム偏向器４が、電子ビ―ム集束用対物レンズ３
が配されている位置に配されているのに代え、電子ビ―
ム集束用対物レンズ３が配されている位置よりも試料１
側の位置に配されていることを除いて、図４に示す本発
明による電子ビ―ム露光装置の第７の実施例の場合と同
様の構成を有する。

【００５７】このような構成を有する本発明による電子
ビ―ム露光装置の第８の実施例によれば、上述した事項
を除いて、図４に示す本発明による電子ビ―ム露光装置
の第７の実施例の場合と同様の構成を有するので、詳細
説明は省略するが、図４に示す本発明による電子ビ―ム
露光装置の第７の実施例の場合と同様の作用効果が得ら
れることは明らかである。

【００５８】

【実施例９】次に、本発明による電子ビ―ム露光装置の
第９の実施例を述べよう。

【００５９】本発明による電子ビ―ム露光装置の第９の
実施例は、図示詳細説明は省略するが、図４に示す本発
明による電子ビ―ム露光装置の第７の実施例において、
電子ビ―ム偏向器４が、電子ビ―ム集束用対物レンズ３
が配されている位置に配されているのに代え、電子ビ―
ム集束用対物レンズ３が配されている位置よりも試料１
側とは反対側の位置に配されていることを除いて、図４
に示す本発明による電子ビ―ム露光装置の第７の実施例
の場合と同様の構成を有する。

【００６０】このような構成を有する本発明による電子
ビ―ム露光装置の第９の実施例によれば、上述した事項
を除いて、図４に示す本発明による電子ビ―ム露光装置
の第７の実施例の場合と同様の構成を有するので、詳細
説明は省略するが、図４に示す本発明による電子ビ―ム
露光装置の第７の実施例の場合と同様の作用効果が得ら
れることは明らかである。

【００６１】

【実施例１０】次に、図５を伴って、本発明による電子
ビ―ム露光装置の第１０の実施例を述べよう。

【００６２】図５において、図１及び図７との対応部分
には同一符号を付して示す。

【００６３】図７に示す本発明による電子ビ―ム露光装
置の第１０の実施例は、図７で前述した従来の第２の電
子ビ―ム露光装置の場合と同様の、図６に示す従来の第
１の電子ビ―ム露光装置において、電子ビ―ム偏向器４
が電子ビ―ム集束用対物レンズ３が配されている位置に
おける、電子ビ―ム集束用対物レンズ３が形成している
電子ビ―ム２の通路内に配されているのに応じて、試料
１と、電子ビ―ム集束用対物レンズ３または電子ビ―ム
偏向器４との間に、電子ビ―ム２の軸のまわりに、電子
ビ―ム偏向器４によって形成している電子ビ―ム２の通
路よりも十分大きな電子ビ―ム２の通路を形成するよう
に配されている、試料１からの反射電子５を検出する反
射電子検出器６を有する電子ビ―ム露光装置において、
（ｉ）電子ビ―ム集束用対物レンズ３及び電子ビ―ム偏
向器４がそれぞれ形成している電子ビ―ム２の通路中の
小さい方の電子ビ―ム２の通路、この場合、電子ビ―ム
偏向器４が形成している電子ビ―ム２の通路よりも小さ
な電子ビ―ム用開口７ａとそのまわりに形成されている
反射電子用開口７ｂとを有し、且つ試料１と反射電子検
出器６との間に、電子ビ―ム用開口７ａによって電子ビ
―ム２の通路を形成と且つ反射電子用開口７ｂによって
試料１から反射して反射電子検出器６側に向う反射電子
の通路を形成するように配されている導電性板体７と、
（ｉｉ）導電性板体７に、試料１を基準として、試料１
からの２次電子が電子ビ―ム集束用対物レンズ３及び電
子ビ―ム偏向器４側に向うのを阻止するための負極性の
電圧を印加する電源９を有する電圧印加手段８とを有す
る、という構成を有する。

【００６４】以上が、本発明による電子ビ―ム露光装置
の第１０の実施例の構成である。

【００６５】このような構成を有する電子ビ―ム露光装
置によれば、導電性板体７を有し、そして、その導電性
板体７を大きくしても、その導電性板体７が反射電子用
開口７ｂを有するので、反射電子５を、反射電子検出器
６に、有効に多量、向わせることができるとともに、導
電性板体７を大きくすることによって、試料１が電子ビ
―ム２によって露光されることによって試料１の表面か
ら蒸発して得られる蒸発物を、電子ビ―ム集束用対物レ
ンズ３及び電子ビ―ム偏向器４のそれぞれによって形成
されている通路内にほとんど侵入させなくすることがで
きるか、侵入させるとしても、きわめてわずかな量でし
か侵入させなくすることが、上述した実施例１〜９に示
す本発明による電子ビーム露光装置の場合に比しより効
果的にでき、このため、試料１の表面からの蒸発物を、
電子ビ―ム集束用対物レンズ３及び電子ビ―ム偏向器４
のそれぞれの電子ビ―ム２の通路を画成している内面
に、ほとんど、汚れとして、付着させなくすることがで
きるか、付着させるとしても、わずかな量でしか付着さ
せなくすることができる。

【００６６】また、上述した実施例１〜９に示す本発明
による電子ビーム露光装置の場合と同様に、導電性板７
を有するとともに電圧印加手段８を有し、そして、その
電圧印加手段８によって、導電性板体７に、試料１を基
準として負極性の電圧を印加することができるととも
に、その電圧を適当に選定することができるので、反射
電子５及び２次電子中の反射電子を、電子ビ―ム集束用
対物レンズ３及び電子ビ―ム偏向器４によってそれぞれ
形成されている電子ビ―ム２の通路内にほとんど侵入さ
せなくすることができるか、侵入させるとしても、わず
かな量でしか侵入させなくすることができ、また、反射
電子５及び２次電子中の２次電子のほとんどを、電子ビ
―ム偏向器４及び電子ビ―ム集束用対物レンズ３側とは
反対側に向わせることができ、このため、２次電子を、
電子ビ―ム集束用対物レンズ３及び電子ビ―ム偏向器４
のそれぞれによって形成されている通路内にほとんど侵
入させなくすることができ、よって、蒸発物が、電子ビ
―ム集束用対物レンズ３及び電子ビ―ム偏向器４のそれ
ぞれの電子ビ―ム２の通路を画成している内面に、汚れ
として、付着していても、その汚れに、反射電子５及び
２次電子を、ほとんど照射させなくすることができる
か、照射させるとしても、わずかな量でしか照射させな
くすることができ、よって、汚れに、電荷をほとんど蓄
積させなくすることができるか、蓄積させるとしても、
わずかな量でしか蓄積させなくすることができる。

【００６７】以上のことから、図５に示す本発明による
電子ビーム露光装置による場合も、図１、図３及び図４
に示す本発明による電子ビーム露光装置の場合と同様
に、電子ビ―ム２が試料１を露光する位置を、予定の位
置からほとんど変化させなくすることができるか、変化
させるとしても、きわめてわずかな、無視し得る程度に
しか変化させなくすることができる。

【００６８】

【実施例１１】次に、本発明による電子ビ―ム露光装置
の第１１の実施例を述べよう。

【００６９】本発明による電子ビ―ム露光装置の第１１
の実施例は、図示詳細説明は省略するが、図５に示す本
発明による電子ビ―ム露光装置の第１０の実施例におい
て、電子ビ―ム偏向器４が、電子ビ―ム集束用対物レン
ズ３が配されている位置に配されているのに代え、電子
ビ―ム集束用対物レンズ３が配されている位置よりも試
料１側の位置に配され、これに応じて、導電性板体７
が、試料１と電子ビ―ム偏向器４との間に配されている
ことを除いて、図５に示す本発明による電子ビ―ム露光
装置の第１０の実施例の場合と同様の構成を有する。

【００７０】このような構成を有する本発明による電子
ビ―ム露光装置の第２の実施例によれば、上述した事項
を除いて、図５に示す本発明による電子ビ―ム露光装置
の第１０の実施例の場合と同様の構成を有するので、詳
細説明は省略するが、図５に示す本発明による電子ビ―
ム露光装置の第１０の実施例の場合と同様の作用効果が
得られることは明らかである。

【００７１】

【実施例１２】次に、本発明による電子ビ―ム露光装置
の第１２の実施例を述べよう。

【００７２】本発明による電子ビ―ム露光装置の第１２
の実施例は、図示詳細説明は省略するが、図５に示す本
発明による電子ビ―ム露光装置の第１０の実施例におい
て、電子ビ―ム偏向器４が、電子ビ―ム集束用対物レン
ズ３が配されている位置に配されているのに代え、電子
ビ―ム集束用対物レンズ３が配されている位置よりも試
料１側とは反対側の位置に配され、これに応じて、導電
性板体７が、試料１と電子ビ―ム集束用対物レンズ３と
の間に配されていることを除いて、図５に示す本発明に
よる電子ビ―ム露光装置の第１０の実施例の場合と同様
の構成を有する。

【００７３】このような構成を有する本発明による電子
ビ―ム露光装置の第１２の実施例によれば、上述した事
項を除いて、図５に示す本発明による電子ビ―ム露光装
置の第１０の実施例の場合と同様の構成を有するので、
詳細説明は省略するが、図５に示す本発明による電子ビ
―ム露光装置の第１０の実施例の場合と同様の作用効果
が得られることは明らかである。

【００７４】なお、上述においては本発明のわずかな実
施例を示したに留まり、本発明の精神を脱することなし
に、種々の変型、変更をなし得るであろう。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による電子ビ―ム露光装置の第１の実施
例を示す、その要部の略線的断面図である。

【図２】本発明による電子ビ―ム露光装置の第１の実施
例の説明に供する、導電性板体に印加する電圧に対す
る、試料上の電子ビ―ムの位置変動量の関係を示す図で
ある。

【図３】本発明による電子ビ―ム露光装置の第４の実施
例を示す、その要部の略線的断面図である。

【図４】本発明による電子ビ―ム露光装置の第７の実施
例を示す、その要部の略線的断面図である。

【図５】本発明による電子ビ―ム露光装置の第１０の実
施例を示す、その要部の略線的断面図である。

【図６】従来の第１の電子ビ―ム露光装置を示す、その
要部の略線的断面図である。

【図７】従来の第２の電子ビ―ム露光装置を示す、その
要部の略線的断面図である。

【符号の説明】

１ 試料 ２ 電子ビ―ム ３ 電子ビ―ム集束用対物レンズ ４ 電子ビ―ム偏向器 ５ 反射電子 ６ 反射電子検出器 ７ 導電性板体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−147611（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−248517（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−94739（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−171810（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−53021（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/027

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （ｉ）電子ビ―ム源から試料側に向う、
   上記試料を露光させる電子ビ―ムの軸のまわりに、上記
   電子ビ―ムの通路を形成するように配された、上記電子
   ビ―ムを上記試料上に集束させる電子ビ―ム集束用対物
   レンズと、（ｉｉ）（ａ）上記電子ビ―ム集束用対物レ
   ンズが配されている位置における、上記電子ビ―ム集束
   用対物レンズが形成している上記電子ビ―ムの通路内
   に、または（ｂ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズが配
   されている位置よりも上記試料側の位置に、もしくは
   （ｃ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズが配されている
   位置よりも上記試料側とは反対側の位置に、上記電子ビ
   ―ムの軸のまわりに、上記電子ビ―ムの通路を形成する
   ように配されている、上記電子ビ―ムを偏向させる電子
   ビ―ム偏向器とを、上記試料側端部に有する電子ビ―ム
   露光装置において、 （ｉｉｉ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズ及び上記電
   子ビ―ム偏向器がそれぞれ形成している上記電子ビ―ム
   の通路中の小さい方の上記電子ビ―ムの通路よりも小さ
   な電子ビ―ム用開口を有し、且つ上記電子ビ―ム偏向器
   が、（ａ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズが配されて
   いる位置における、上記電子ビ―ム集束用対物レンズが
   形成している上記電子ビ―ムの通路内に、または（ｂ）
   電子ビ―ム集束用対物レンズが配されている位置よりも
   上記試料側の位置に、もしくは（ｃ）電子ビ―ム集束用
   対物レンズが配されている位置よりも上記試料側とは反
   対側に配されているのに応じて、上記試料と、（ａ）上
   記電子ビ―ム集束用対物レンズまたは上記電子ビ―ム偏
   向器、または（ｂ）上記電子ビ―ム偏向器、もしくは
   （ｃ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズとの間に、上記
   電子ビ―ム用開口によって上記電子ビ―ムの通路を形成
   するように配されている導電性板体と、 （ｉｖ）上記導電性板体に、上記試料を基準として、上
   記試料からの２次電子が上記電子ビ―ム集束用対物レン
   ズ及び上記電子ビ―ム偏向器側に向うのを阻止するため
   の負極性の電圧を印加する電圧印加手段とを有する こと
   を特徴とする電子ビ―ム露光装置。
2. 【請求項２】 （ｉ）電子ビ―ム源から試料側に向う、
   上記試料を露光させる電子ビ―ムの軸のまわりに、上記
   電子ビ―ムの通路を形成するように配された、上記電子
   ビ―ムを上記試料上に集束させる電子ビ―ム集束用対物
   レンズと、（ｉｉ）（ａ）上記電子ビ―ム集束用対物レ
   ンズが配されている位置における、上記電子ビ―ム集束
   用対物レンズが形成している上記電子ビ―ムの通路内
   に、または（ｂ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズが配
   されている位置よりも上記試料側の位置に、もしくは
   （ｃ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズが配されている
   位置よりも上記試料側とは反対側の位置に、上記電子ビ
   ―ムの軸のまわりに、上記電子ビ―ムの通路を形成する
   ように配されている、上記電子ビ―ムを偏向させる電子
   ビ―ム偏向器と、（ｉｉｉ）上記電子ビ―ム偏向器が、
   （ａ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズが配されている
   位置における、上記電子ビ―ム集束用対物レンズが形成
   している上記電子ビ―ムの通路内に、または（ｂ）電子
   ビ―ム集束用対物レンズが配されている位置よりも上記
   試料側の位置に、もしくは（ｃ）上記電子ビ―ム集束用
   対物レンズが配されている位置よりも上記試料側とは反
   対側に配されているのに応じて、上記試料と、（ａ）上
   記電子ビ―ム集束用対物レンズまたは上記電子ビ―ム偏
   向器、または（ｂ）上記電子ビ―ム偏向器、もしくは
   （ｃ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズとの間に、上記
   電子ビ―ムの軸のまわりに、上記電子ビ―ムの通路を形
   成するように配されている、上記試料からの反射電子を
   検出する反射電子検出器とを、上記試料側端部に有する
   電子ビ―ム露光装置において、 （ｉｖ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズ及び上記電子
   ビ―ム偏向器がそれぞれ形成している上記電子ビ―ムの
   通路中の小さい方の上記電子ビ―ムの通路よりも小さな
   電子ビ―ム用開口を有し、且つ上記電子ビ―ム偏向器
   が、（ａ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズが配されて
   いる位置における、上記電子ビ―ム集束用対物レンズが
   形成している電子ビ―ムの通路内に、または（ｂ）電子
   ビ―ム集束用対物レンズが配されている位置よりも上記
   試料側の位置に、もしくは（ｃ）電子ビ―ム集束用対物
   レンズが配されている位置よりも上記試料側とは反対側
   に配されているのに応じて、上記反射電子検出器と、
   （ａ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズまたは上記電子
   ビ―ム偏向器、または（ｂ）上記電子ビ―ム偏向器、も
   しくは（ｃ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズとの間
   に、または上記試料と上記反射電子検出器との間に、上
   記電子ビ―ム用開口によって上記電子ビ―ムの通路を形
   成するように配されている導電性板体と、 （ｖ）上記導電性板体に、上記試料を基準として、上記
   試料からの２次電子が上記電子ビ―ム集束用対物レンズ
   及び上記電子ビ―ム偏向器側に向うのを阻止するための
   負極性の電圧を印加する電圧印加手段とを有する ことを
   特徴とする電子ビ―ム露光装置。
3. 【請求項３】 （ｉ）電子ビ―ム源から試料側に向う、
   上記試料を露光させる電子ビ―ムの軸のまわりに、上記
   電子ビ―ムの通路を形成するように配された、上記電子
   ビ―ムを上記試料上に集束させる電子ビ―ム集束用対物
   レンズと、（ｉｉ）（ａ）上記電子ビ―ム集束用対物レ
   ンズが配されている位置における、上記電子ビ―ム集束
   用対物レンズが形成している上記電子ビ―ムの通路内
   に、または（ｂ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズが配
   されている位置よりも上記試料側の位置に、もしくは
   （ｃ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズが配されている
   位置よりも上記試料側とは反対側の位置に、上記電子ビ
   ―ムの軸のまわりに、上記電子ビ―ムの通路を形成する
   ように配されている、上記電子ビ―ムを偏向させる電子
   ビ―ム偏向器と、（ｉｉｉ）上記電子ビ―ム偏向器が、
   （ａ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズが配されている
   位置における、上記電子ビ―ム集束用対物レンズが形成
   している上記電子ビ―ムの通路内に、または（ｂ）電子
   ビ―ム集束用対物レンズが配されている位置よりも上記
   試料側の位置に、もしくは（ｃ）上記電子ビ―ム集束用
   対物レンズが配されている位置よりも上記試料側とは反
   対側に配されているのに応じて、上記試料と、（ａ）上
   記電子ビ―ム集束用対物レンズまたは上記電子ビ―ム偏
   向器、または（ｂ）上記電子ビ―ム偏向器、もしくは
   （ｃ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズとの間に、上記
   電子ビ―ムの軸のまわりに、上記電子ビ―ムの通路を形
   成するように配されている、上記試料からの反射電子を
   検出する反射電子検出器とを、上記試料側端部に有する
   電子ビ―ム露光装置において、 （ｉｖ）上記電子ビ―ム集束用対物レンズ及び上記電子
   ビ―ム偏向器がそれぞれ形成している上記電子ビ―ムの
   通路中の小さい方の上記電子ビ―ムの通路よりも小さな
   電子ビ―ム用開口と、そのまわりに形成されている反射
   電子用開口とを有し、且つ上記試料と上記反射電子検出
   器との間に、上記電子ビ―ム用開口によって上記電子ビ
   ―ムの通路を形成し且つ上記反射電子用開口によって上
   記試料から反射して上記反射電子検出器側に向う反射電
   子の通路を形成するように配されている導電性板体と、 （ｖ）上記導電性板体に、上記試料を基準として、上記
   試料からの２次電子が上記電子ビ―ム集束用対物レンズ
   及び上記電子ビ―ム偏向器側に向うのを阻止するための
   負極性の電圧を印加する電圧印加手段とを有する ことを
   特徴とする電子ビ―ム露光装置。