JP3166638B2 - X-ray fluorescence analyzer - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、試料の下面側で励
起Ｘ線の照射と、蛍光Ｘ線の検出とを行うようにした下
面照射型の蛍光Ｘ線分析装置に係り、詳しくは、試料を
セットする部分の構造に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a bottom-illuminated X-ray fluorescence analyzer which emits excited X-rays and detects fluorescent X-rays on the lower surface side of a sample. Related to the structure of the part for setting.
【０００２】[0002]
【従来の技術】蛍光Ｘ線分析装置には、励起Ｘ線を試料
の上面に照射する上面照射型と、試料の下面に照射する
下面照射型とがある。上面照射型では、Ｘ線が照射され
る所定の高さまで試料を押し上げてセットするために、
試料の押し上げ機構が必要で、試料をセットする部分の
構造が複雑化するが、下面照射型では、試料をＸ線の照
射位置に載置するだけでセットすることができ、試料を
セットする部分の構造が簡単なもので済む。2. Description of the Related Art There are two types of X-ray fluorescence analyzers: an upper-surface irradiation type for irradiating the upper surface of a sample with excitation X-rays, and a lower-surface irradiation type for irradiating the lower surface of the sample. In the top irradiation type, in order to set the sample by pushing it up to a predetermined height where X-rays are irradiated,
A sample lifting mechanism is required, which complicates the structure of the part where the sample is set. However, the bottom-illuminated type can be set simply by placing the sample at the X-ray irradiation position. Is simple in structure.
【０００３】図５に、下面照射型の蛍光Ｘ線分析装置の
従来例として、エネルギー分散型の装置の概略構成を示
す。FIG. 5 shows a schematic configuration of an energy dispersive type apparatus as a conventional example of a bottom-illuminated X-ray fluorescence analyzer.
【０００４】図中、符号３１は分析チャンバで、その下
部の外壁にはＸ線源３２と検出器３３とが上向きに取り
付けられている。検出器３３は全波長のＸ線を検出する
もので、これには、蛍光Ｘ線が分光されることなくその
全波長成分が取り込まれる。この分析チャンバ３１内で
は、空気中の成分元素が一部波長の蛍光Ｘ線を吸収しそ
の検出を妨害する要因となるので、内部を真空ポンプ３
４により真空排気するか、ヘリウムガスで置換するよう
になっている。[0004] In the figure, reference numeral 31 denotes an analysis chamber, and an X-ray source 32 and a detector 33 are mounted on an outer wall at a lower portion thereof in an upward direction. The detector 33 detects X-rays of all wavelengths, and takes in all the wavelength components of the fluorescent X-rays without being separated. In the analysis chamber 31, component elements in the air absorb fluorescent X-rays of a part of the wavelength and hinder the detection thereof.
The pump 4 is evacuated or replaced with helium gas.
【０００５】分析チャンバ３１の上側には試料をセット
する部分があって、分析チャンバ３１の上面は、試料Ｓ
（Ｓ1もしくはＳ2）を載置するベース板３５で構成さ
れ、その中央にはＸ線の照射窓３５ａがある。[0005] There is a portion for setting a sample on the upper side of the analysis chamber 31.
It comprises a base plate 35 on which (S 1 or S 2 ) is placed, and has an X-ray irradiation window 35a at the center.
【０００６】さらに、図５に示しているように、比較的
小径の試料Ｓ1を分析するものでは、その小径の試料Ｓ1
に対応する小型のカバーケース３６が用意されており、
これで試料Ｓ1が気密に覆われる。Furthermore, as shown in FIG. 5, is intended to comparatively analyze the sample S 1 of the small diameter, a sample S 1 of the small diameter
A small cover case 36 corresponding to is provided.
This sample S 1 is covered airtight with.
【０００７】一方、ベース板３５には、カバーケース３
６の内側となる位置に排気通路３７が形成されており、
この排気通路３７によりカバーケース３６の内部が分析
チャンバ３１に通じている。そして、分析チャンバ３１
を真空排気することで、カバーケース３６の内部の空気
が分析チャンバ３１を通じて排気されて、分析チャンバ
３１およびカバーケース３６の内部が真空になる。On the other hand, the cover case 3
6, an exhaust passage 37 is formed at a position inside.
The interior of the cover case 36 communicates with the analysis chamber 31 by the exhaust passage 37. And the analysis chamber 31
Is evacuated, the air inside the cover case 36 is exhausted through the analysis chamber 31, and the inside of the analysis chamber 31 and the cover case 36 is evacuated.
【０００８】これに対して、大径の試料Ｓ2を分析する
ものでは、図６に示すように、大型のカバーケース３８
が用意されるほか、そのカバーケース３８の内側であっ
て、試料Ｓ2に塞がれない位置に排気通路３９が形成さ
れ、この排気通路３９からカバーケース３８内の空気が
排気されるようになっている。On the other hand, in the case of analyzing a large-diameter sample S 2 , as shown in FIG.
Besides There are prepared, a inside of the cover case 38, the exhaust passage 39 at a position which is not blocked by the sample S 2 is formed, so that the air in the cover casing 38 from the exhaust passage 39 is exhausted Has become.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】ところで、図５に示す
ような小径の試料Ｓ1に対応した構造において、大径の
試料Ｓ2をセットしようとすると、試料Ｓ2がカバーケー
ス３６に収まらず、また試料Ｓ2で排気通路３７が塞が
れることになり、大径の試料Ｓ2のセット自体が不可能
である。[SUMMARY OF THE INVENTION Incidentally, in the structure corresponding to the sample S 1 of the small diameter shown in FIG. 5, when you try to set the sample S 2 of larger diameter, not fit the sample S 2 is the cover case 36 and will be blocked exhaust passage 37 with the sample S 2, it is impossible to set itself in the sample S 2 of large diameter.
【００１０】これに対して、図６の大径試料Ｓ2に対応
した構造では、大径の試料Ｓ2も小径の試料Ｓ1もセット
し分析することができる。大小各種の試料を分析する場
合のことを考慮すると、試料のセット部分は、すべて大
径の試料Ｓ2に対応した構造にしておけばよいのである
が、その場合には次のような問題がある。[0010] In contrast, in the structure corresponding to the large径試charges S 2 in FIG. 6, it is possible to sample S 1 Sample S 2 also small in diameter larger set analyzed. Considering that in the case of analyzing a magnitude various samples, a set portion of the sample are all it be good if in the structure corresponding to the sample S 2 of large diameter, has the following problem when the is there.
【００１１】すなわち、大径の試料Ｓ2に適した構造の
ものに、小径の試料Ｓ1をセットし分析しようとする
と、カバーケース３８内に大きな隙間ができる。前記し
たように、分析する際にはカバーケース３８内の空気も
排気する必要があるが、カバーケース３８内に大きな隙
間があると、その排気に余分に時間がかかることにな
る。多数の試料を分析することを考え合わせると、排気
のよる時間のロスは無視できず、そのロスは効率的に分
析を進める上で障害となる。That is, when the small-diameter sample S 1 is set on a sample having a structure suitable for the large-diameter sample S 2 and is to be analyzed, a large gap is formed in the cover case 38. As described above, it is necessary to exhaust the air in the cover case 38 at the time of analysis. However, if there is a large gap in the cover case 38, it takes extra time to exhaust the air. Considering the analysis of a large number of samples, the loss of time due to exhaustion cannot be ignored, and the loss is a hindrance to efficient analysis.
【００１２】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、小径
の試料も大径の試料もセットし分析することができ、し
かもカバーケース内の空気を排気するのに余分な時間が
かからないようにして、時間的ロスなく、効率的に分析
が行えるようにすることを課題とする。The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, so that a sample having a small diameter and a sample having a large diameter can be set and analyzed, and an extra time is not required for exhausting the air in the cover case. It is therefore an object of the present invention to enable efficient analysis without time loss.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】上記課題を達成するため
に、本件の第１および第２の各発明では、分析チャンバ
上面にあるベース板上にカバーケースとともに載置セッ
トされた試料に対し、その下面側から励起Ｘ線を照射す
るようにした蛍光Ｘ線分析装置において、それぞれ次の
ような構成を採用した。In order to achieve the above object, in the first and second inventions of the present invention, a sample placed and set together with a cover case on a base plate on the upper surface of an analysis chamber is provided. The following configuration was employed in each of the X-ray fluorescence spectrometers configured to emit excitation X-rays from the lower surface side.
【００１４】すなわち、第１発明では、大型の試料に対
応するカバーケースを備え、このカバーケースの内側に
は小型の試料に対応する内側カバーケースが着脱自在に
取り付けられ、ベース板には、内側カバーケースの内側
位置に開口する内側カバーケース用の内側排気通路と、
内外両カバーケース間の位置に開口する外側カバーケー
ス用の外側排気通路とが形成されているとともに、小型
の試料を分析する際に前記外側排気通路を遮断する手段
を備えているとした。That is, in the first invention, a cover case corresponding to a large sample is provided, and an inner cover case corresponding to a small sample is detachably mounted inside the cover case, and an inner cover case is attached to the base plate. An inner exhaust passage for the inner cover case that opens at an inner position of the cover case,
An outer exhaust passage for the outer cover case which is opened at a position between the inner and outer cover cases is formed, and means for shutting off the outer exhaust passage when analyzing a small sample is provided.
【００１５】また、第２発明では、大型の試料に対応す
るカバーケースを備え、このカバーケースの内側には小
型の試料に対応する内側カバーケースが着脱自在に取り
付けられ、外側カバーケースには、その内部を排気する
ための排気管が接続され、内側カバーケースには、外側
カバーケースへの装着に伴い前記排気管に連通する排気
通路が形成されている構成とした。Further, in the second invention, a cover case corresponding to a large sample is provided, and an inner cover case corresponding to a small sample is detachably mounted inside the cover case. An exhaust pipe for exhausting the inside is connected, and an exhaust passage communicating with the exhaust pipe is formed in the inner cover case when attached to the outer cover case.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】以下、図１ないし図４に示す実施
例に基づいて本件の第１発明および第２発明の詳細を説
明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The first and second aspects of the present invention will be described below in detail with reference to the embodiments shown in FIGS.
【００１７】図１および図２は、第１発明の実施例であ
る第１実施例を示すもので、図１は蛍光Ｘ線分析装置の
縦断面図で、小径の試料をセットした場合を示し、図２
は上記装置の要部の縦断面図で、大径の試料をセットし
た場合を示している。FIGS. 1 and 2 show a first embodiment of the first invention. FIG. 1 is a longitudinal sectional view of an X-ray fluorescence spectrometer showing a case where a small-diameter sample is set. , FIG. 2
Is a longitudinal sectional view of a main part of the above-mentioned apparatus, and shows a case where a large-diameter sample is set.
【００１８】これらの図に示すのは、下面照射型でかつ
エネルギー分散型の蛍光Ｘ線分析装置であって、図中、
符号１は分析チャンバである。この分析チャンバ１の下
部の外壁には、Ｘ線源２と、全波長のＸ線を取り込む検
出器３とが上向きに取り付けられている。この分析チャ
ンバ１には排気管４が接続され、真空ポンプ５により真
空排気されるようになっている。分析チャンバ１の上面
は、試料Ｓ（Ｓ1もしくはＳ2）を載置するベース板６で
構成され、その中央にはＸ線の照射窓６ａがある。These figures show a bottom-illuminated and energy-dispersive X-ray fluorescence analyzer.
Reference numeral 1 denotes an analysis chamber. An X-ray source 2 and a detector 3 for capturing X-rays of all wavelengths are mounted on the lower outer wall of the analysis chamber 1 upward. An exhaust pipe 4 is connected to the analysis chamber 1 and evacuated by a vacuum pump 5. The upper surface of the analysis chamber 1 is composed of a base plate 6 on which a sample S (S 1 or S 2 ) is placed, and has an X-ray irradiation window 6a at the center.
【００１９】分析すべき試料Ｓは、このベース板６上に
カバーケースにより気密に覆われた状態で載置されるの
であるが、この実施例の装置では、大径の試料Ｓ2に対
応する大型のカバーケース７が用意されており、この大
型のカバーケース７（以下、外側カバーケースという）
の内側には、小径の試料Ｓ1に対応する小型の内側カバ
ーケース８が着脱自在に取り付けられている。The sample S to be analyzed is placed on the base plate 6 in a state of being air-tightly covered by a cover case. In the apparatus of this embodiment, the sample S corresponds to a large-diameter sample S 2 . A large cover case 7 is prepared, and the large cover case 7 (hereinafter, referred to as an outer cover case) is provided.
Inside the small inner cover case 8 corresponding to the sample S 1 of the small diameter is detachably attached.
【００２０】これら内外両カバーケース７，８の着脱に
は、凹凸の嵌め込み構造など適宜のものを用いてよい
が、本実施例では、内側カバーケース８の上板外面にネ
ジ９を突設し、外側カバーケース７の上板内面に、前記
ネジ９に螺合する雌ネジ部１０を形成し、これらの螺合
により内外両カバーケース７，８が結合されるようにし
ている。The inner and outer cover cases 7 and 8 may be attached or detached by using an appropriate structure such as a concave / convex fitting structure. In this embodiment, screws 9 are projected from the upper plate outer surface of the inner cover case 8. On the inner surface of the upper plate of the outer cover case 7, a female screw portion 10 to be screwed to the screw 9 is formed so that the inner and outer cover cases 7, 8 are connected by these screwing.
【００２１】一方、ベース板６には、内外各カバーケー
ス７，８の内部にそれぞれ通じる内外２つの排気通路１
１，１２が形成されている。すなわち、ベース板６に
は、内側カバーケース８の内側となる位置に内側カバー
ケース８用の排気通路１１が形成され、この排気通路１
１により内側カバーケース８の内部が分析チャンバ１内
に通じるようになっている。また、ベース板６の各部の
うち、内外両カバーケース７，８の間となる位置には、
外側カバーケース７用の排気通路１２が形成され、この
排気通路１２は開閉弁１３を介して真空ポンプ５に通じ
ている。On the other hand, the base plate 6 has two inner and outer exhaust passages 1 communicating with the inner and outer cover cases 7 and 8, respectively.
1 and 12 are formed. That is, an exhaust passage 11 for the inner cover case 8 is formed in the base plate 6 at a position inside the inner cover case 8.
1 allows the inside of the inner cover case 8 to communicate with the analysis chamber 1. In each part of the base plate 6, at a position between the inner and outer cover cases 7 and 8,
An exhaust passage 12 for the outer cover case 7 is formed, and this exhaust passage 12 communicates with the vacuum pump 5 via an on-off valve 13.
【００２２】上記の構成において、小径の試料Ｓ1をセ
ットして分析する場合は、図１に示すように、ベース板
６上の中央に試料Ｓ1を載置するとともに、その周り
を、外側カバーケース７と一体の内側カバーケース８で
覆う。このようにセットした状態では、内側カバーケー
ス８の内部は、内側の排気通路１１を介して分析チャン
バ１に通じている。In the above configuration, when a small-diameter sample S 1 is set for analysis, as shown in FIG. 1, the sample S 1 is placed at the center on the base plate 6 and the periphery thereof is placed on the outside. It is covered with an inner cover case 8 integral with the cover case 7. In this set state, the inside of the inner cover case 8 communicates with the analysis chamber 1 via the inner exhaust passage 11.
【００２３】そして、外側の排気通路１２を開閉弁１３
により遮断しておいて、真空ポンプ５により分析チャン
バ１の排気を行う。これで分析チャンバ１内の空気が排
気されるが、分析チャンバ１は内側カバーケース８の内
部に通じているから、内側カバーケース８の内部の空気
が分析チャンバ１を通じて排気される。これによって、
分析チャンバ１の内部と、試料のセット部分である内側
ケース８の内部とが真空になり、空気による吸収がない
状態での分析が可能になる。The outer exhaust passage 12 is connected to the on-off valve 13
The analysis chamber 1 is evacuated by the vacuum pump 5. With this, the air in the analysis chamber 1 is exhausted. However, since the analysis chamber 1 communicates with the inside of the inner cover case 8, the air inside the inner cover case 8 is exhausted through the analysis chamber 1. by this,
The interior of the analysis chamber 1 and the interior of the inner case 8, which is a sample setting portion, are evacuated, and analysis can be performed without absorption by air.
【００２４】この場合、試料のセット部分から排気され
るのは、内側カバーケース８と試料Ｓ1との間の小さな
隙間にある少量の空気であるから、ごく短時間で排気が
完了する。[0024] In this case, being exhausted from the set portion of the sample, because it is a small amount of air in the small gap between the inner cover case 8 and the sample S 1, is a very short time in the exhaust is completed.
【００２５】これに対して、大径の試料Ｓ2をセットし
て分析する場合は、図２に示すように、ベース板６上の
中央に大径の試料Ｓ2を載置し、その周りを、内側カバ
ーケース８を取り外した外側カバーケース７で覆う。そ
の状態では、外側カバーケース７内には外側の排気通路
１２が開口している。[0025] In contrast, when analyzing the sample was set S 2 of the large diameter, as shown in FIG. 2, by placing the sample S 2 of large diameter at the center on the base plate 6, around which Is covered with the outer cover case 7 from which the inner cover case 8 is removed. In this state, the outer exhaust passage 12 is open in the outer cover case 7.
【００２６】そして、この外側の排気通路１２を、開閉
弁１３の開放により真空ポンプ５に連通させておいて、
真空ポンプ５による排気を行うと、分析チャンバ１内の
空気が排気管４を通じて排気されるとともに、外側カバ
ーケース７内の空気は、外側の排気通路１２を通じて排
気される。これによって、分析チャンバ１の内部と、試
料のセット部分である外側カバーケース７の内部とが真
空になり、蛍光Ｘ線による分析が可能になる。The outside exhaust passage 12 is communicated with the vacuum pump 5 by opening the on-off valve 13.
When the vacuum pump 5 is evacuated, the air in the analysis chamber 1 is exhausted through the exhaust pipe 4 and the air in the outer cover case 7 is exhausted through the outer exhaust passage 12. As a result, the interior of the analysis chamber 1 and the interior of the outer cover case 7, which is the sample setting portion, are evacuated, and the analysis using fluorescent X-rays becomes possible.
【００２７】次に、図３および図４は、第２発明の実施
例である第２実施例を示すもので、図３は蛍光Ｘ線分析
装置の縦断面図で、小径の試料をセットする場合を示し
ている。図２は、上記装置の一部である内外両カバーケ
ースの着脱部分の拡大縦断面図で、分離した状態を示し
ている。FIGS. 3 and 4 show a second embodiment which is an embodiment of the second invention. FIG. 3 is a longitudinal sectional view of an X-ray fluorescence analyzer, in which a small-diameter sample is set. Shows the case. FIG. 2 is an enlarged vertical sectional view of a detachable portion of the inner and outer cover cases, which are a part of the device, and shows a separated state.
【００２８】図３に示すのは、下面照射型でかつ波長分
散型の蛍光Ｘ線分析装置であって、図中、符号１４は、
分析チャンバ１に隣接する検出チャンバである。分析チ
ャンバ１の下部外壁にＸ線源２が上向きに取り付けられ
ているほか、分析チャンバ１と検出チャンバ１４との隔
壁には入口スリット１５が取り付けられ、検出チャンバ
１４内には、回折格子のような分光素子１６と、出口ス
リット１７と、Ｘ線の検出器１８とが設けられている。
この検出チャンバ１４には排気管１９が連通接続され、
真空ポンプ２０により、分析チャンバ１および検出チャ
ンバ１４内の空気が常時排気されるようになっている。
分析チャンバ１の上面には試料を載置するベース板６が
あり、その中央の照射窓６ａにはシャッタ２１が設けら
れている。このベース板６で分析チャンバ１の上面部は
気密に遮蔽されている。FIG. 3 shows a bottom-illuminated and wavelength-dispersive X-ray fluorescence spectrometer. In FIG.
The detection chamber is adjacent to the analysis chamber 1. The X-ray source 2 is mounted upward on the lower outer wall of the analysis chamber 1, and an entrance slit 15 is mounted on a partition wall between the analysis chamber 1 and the detection chamber 14. And an exit slit 17 and an X-ray detector 18.
An exhaust pipe 19 is communicatively connected to the detection chamber 14, and
Air in the analysis chamber 1 and the detection chamber 14 is constantly exhausted by the vacuum pump 20.
A base plate 6 on which a sample is placed is provided on the upper surface of the analysis chamber 1, and a shutter 21 is provided in an irradiation window 6a at the center thereof. The upper surface of the analysis chamber 1 is hermetically shielded by the base plate 6.
【００２９】この実施例の装置においても、大径の試料
に対応する大型の外側カバーケース７と、その内側に収
まる大きさで小径の試料Ｓ1に対応する内側カバーケー
ス８とが用意されており、外側カバーケース７の内側に
内側カバーケース８が着脱自在に取り付けられている。[0029] Also in the apparatus of this embodiment, the large outer cover case 7 that correspond to the sample having a large diameter, an inner cover case 8 corresponding to the sample S 1 of the small diameter in a size that fits inside thereof are provided The inside cover case 8 is detachably attached inside the outside cover case 7.
【００３０】内外両カバーケース７，８の着脱部は、中
空のネジを用いたもので、その中空部は連結分離自在の
排気通路となっている。すなわち、外側カバーケース７
の上板中央には、図４に拡大して示すように、上下に貫
通する雌ネジ孔２２が形成され、その外端には真空ポン
プ２３に通じる排気管２４が接続されている。一方、内
側カバーケース８の上板中央には、前記雌ネジ孔２２に
下側から螺合するネジ管２５が突設されている。このネ
ジ管２５の中空部は、内側カバーケース８の上板を貫通
する排気通路２６となっている。The attachment / detachment portions of the inner and outer cover cases 7 and 8 use hollow screws, and the hollow portions form an exhaust passage that can be connected and separated. That is, the outer cover case 7
At the center of the upper plate, as shown in an enlarged manner in FIG. 4, a female screw hole 22 penetrating vertically is formed, and an exhaust pipe 24 connected to a vacuum pump 23 is connected to an outer end thereof. On the other hand, at the center of the upper plate of the inner cover case 8, a screw tube 25 is screwed into the female screw hole 22 from below. The hollow portion of the screw tube 25 forms an exhaust passage 26 that penetrates the upper plate of the inner cover case 8.
【００３１】上記の構成において、小径の試料Ｓ1をセ
ットして分析する場合は、その小径の試料Ｓ1をベース
板６上に載置し、その周りを、外側カバーケース７と一
体の内側カバーケース８で覆えばよく、大径の試料の場
合は、ベース板６上に載置した大径の試料の周りを、内
側カバーケース８を取り外した外側カバーケース７で覆
えばよい。In the above configuration, when a small-diameter sample S 1 is set and analyzed, the small-diameter sample S 1 is placed on the base plate 6, and the area around the sample S 1 is integrated with the outer cover case 7. The large-diameter sample may be covered with the cover case 8, and the large-diameter sample placed on the base plate 6 may be covered with the outer cover case 7 from which the inner cover case 8 is removed.
【００３２】小径の試料Ｓ1を、外側カバーケース７と
一体の内側カバーケース８で覆った場合、内外両カバー
ケース７，８の着脱部では、雌ネジ孔２２とネジ管２５
とを介して、内側カバーケース８の内部が排気管２４に
連通しており、排気管２４を通じて内側カバーケース８
の内部の空気を排気することができる。この場合、排気
されるのは、内側カバーケース８と試料Ｓ1との間の小
さな隙間にある少量の空気で、ごく短時間で真空にな
る。When the small-diameter sample S 1 is covered with the inner cover case 8 integral with the outer cover case 7, the female screw hole 22 and the screw pipe 25 are formed at the attachment / detachment portions of the inner and outer cover cases 7, 8.
The interior of the inner cover case 8 communicates with the exhaust pipe 24 through the inner cover case 8 through the exhaust pipe 24.
The air inside can be exhausted. In this case, being the exhaust gas, a small amount of air in the small gap between the inner cover case 8 and the sample S 1, it becomes a vacuum in a very short time.
【００３３】大径の試料を、内側カバーケース８を取り
外した外側カバーケース７で覆った場合、外側カバーケ
ース７の内部は雌ネジ孔２２を介して排気管２４に連通
しており、この排気管２４を通じて外側カバーケース７
内の空気は排気されることになる。When a large-diameter sample is covered with the outer cover case 7 from which the inner cover case 8 is removed, the inside of the outer cover case 7 communicates with the exhaust pipe 24 through the female screw hole 22. Outer cover case 7 through tube 24
The air inside will be exhausted.
【００３４】[0034]
【発明の効果】本件の第１発明もしくは第２発明によれ
ば、下側から励起Ｘ線が照射される位置に小型の試料も
大型の試料もセットして分析することができ、同一の装
置で大小各種の試料の分析が可能である。According to the first or second aspect of the present invention, a small sample and a large sample can be set and analyzed at a position irradiated with excitation X-rays from below, and the same apparatus can be used. Enables analysis of various samples, large and small.
【００３５】しかも、大型の試料をセットしうる従来の
装置で小型の試料をセットし分析しようとすると、試料
を覆うカバーケース内の空気を排気するのに時間がかか
るが、本件の各発明では、小型の試料はこれに対応する
大きさのカバーケースで覆われ、カバーケース内の排気
に余分の時間がかからず、時間的ロスなく効率的に分析
を行うことができる。Moreover, when a small sample is set and analyzed by a conventional apparatus capable of setting a large sample, it takes time to exhaust air in the cover case covering the sample. In addition, a small sample is covered with a cover case of a size corresponding to the small sample, so that no extra time is required for exhausting the inside of the cover case, and the analysis can be performed efficiently without time loss.
【図１】本件第１発明の実施例である第１実施例に係る
蛍光Ｘ線分析装置の縦断面図で、小径の試料をセットし
た場合を示している。FIG. 1 is a longitudinal sectional view of an X-ray fluorescence analyzer according to a first embodiment which is an embodiment of the first invention, showing a case where a small-diameter sample is set.
【図２】上記第１実施例の蛍光Ｘ線分析装置の要部の縦
断面図で、大径の試料をセットした場合を示している。FIG. 2 is a longitudinal sectional view of a main part of the X-ray fluorescence analyzer of the first embodiment, showing a case where a large-diameter sample is set.
【図３】本件第２発明の実施例である第２実施例に係る
蛍光Ｘ線分析装置の縦断面図で、小径の試料をセットし
た場合を示している。FIG. 3 is a longitudinal sectional view of a fluorescent X-ray analyzer according to a second embodiment which is an embodiment of the second invention, showing a case where a small-diameter sample is set.
【図４】上記第２実施例の蛍光Ｘ線分析装置の一部であ
る内外両カバーケースの着脱部分の拡大縦断面図で、分
離した状態を示している。FIG. 4 is an enlarged vertical sectional view of a detachable portion of the inner and outer cover cases which are a part of the X-ray fluorescence analyzer of the second embodiment, and shows a separated state.
【図５】従来例に係る蛍光Ｘ線分析装置の縦断面図。FIG. 5 is a longitudinal sectional view of a fluorescent X-ray analyzer according to a conventional example.
【図６】他の従来例に係る蛍光Ｘ線分析装置の縦断面
図。FIG. 6 is a longitudinal sectional view of an X-ray fluorescence analyzer according to another conventional example.
１…分析チャンバ、 ６…ベース板、７…外側カバ
ーケース、 ８…内側カバーケース、１１…内側の排気
通路、 １２…外側の排気通路、Ｓ1…小径の試料、
Ｓ2…大径の試料、２４…排気管、1 ... analysis chamber, 6 ... base plate, 7 ... outer cover case, 8 ... inner cover case, 11 ... inner exhaust passage, 12 ... outer exhaust passage, S 1 ... diameter of the sample,
S 2 : Large diameter sample, 24: Exhaust pipe,
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 23/223 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G01N 23/223
Claims (2)
バーケースとともに載置セットされた試料に対し、その
下面側から励起Ｘ線を照射するようにした蛍光Ｘ線分析
装置において、 大型の試料に対応するカバーケースを備え、このカバー
ケースの内側には小型の試料に対応する内側カバーケー
スが着脱自在に取り付けられ、ベース板には、内側カバ
ーケースの内側位置に開口する内側カバーケース用の内
側排気通路と、内外両カバーケース間の位置に開口する
外側カバーケース用の外側排気通路とが形成されている
とともに、小型の試料を分析する際に前記外側排気通路
を遮断する手段を備えていることを特徴とする蛍光Ｘ線
分析装置。An X-ray fluorescence analyzer for irradiating a sample placed and set together with a cover case on a base plate on an upper surface of an analysis chamber with excitation X-rays from a lower surface thereof. A corresponding cover case is provided.An inner cover case corresponding to a small sample is detachably mounted inside the cover case, and an inner cover case opening at an inner position of the inner cover case is provided on the base plate. An exhaust passage and an outer exhaust passage for an outer cover case that is opened at a position between the inner and outer cover cases are formed, and a means for shutting off the outer exhaust passage when analyzing a small sample is provided. X-ray fluorescence analyzer.
バーケースとともに載置セットされた試料に対し、その
下面側から励起Ｘ線を照射するようにした蛍光Ｘ線分析
装置において、 大型の試料に対応するカバーケースを備え、このカバー
ケースの内側には小型の試料に対応する内側カバーケー
スが着脱自在に取り付けられ、外側カバーケースには、
その内部を排気するための排気管が接続され、内側カバ
ーケースには、外側カバーケースへの装着に伴い前記排
気管に連通する排気通路が形成されていることを特徴と
する蛍光Ｘ線分析装置。2. A fluorescent X-ray analyzer in which a sample placed and set together with a cover case on a base plate on an upper surface of an analysis chamber is irradiated with excitation X-rays from a lower surface thereof. With a corresponding cover case, an inner cover case corresponding to a small sample is detachably attached inside the cover case, and an outer cover case has
An exhaust pipe for exhausting the inside thereof is connected, and an exhaust passage communicating with the exhaust pipe is formed in the inner cover case when the inner cover case is attached to the outer cover case. .
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31927596A JP3166638B2 (en) | 1996-11-29 | 1996-11-29 | X-ray fluorescence analyzer |
| US08/912,892 US5832054A (en) | 1996-11-29 | 1997-08-15 | Fluorescent x-ray analyzer with quickly evacuable cover cases |
| GB9724773A GB2319835B (en) | 1996-11-29 | 1997-11-24 | Fluorescent x-ray analyzer with quickly evacuable cover cases |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31927596A JP3166638B2 (en) | 1996-11-29 | 1996-11-29 | X-ray fluorescence analyzer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10160691A JPH10160691A (en) | 1998-06-19 |
| JP3166638B2 true JP3166638B2 (en) | 2001-05-14 |
Family
ID=18108394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31927596A Expired - Fee Related JP3166638B2 (en) | 1996-11-29 | 1996-11-29 | X-ray fluorescence analyzer |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5832054A (en) |
| JP (1) | JP3166638B2 (en) |
| GB (1) | GB2319835B (en) |
Families Citing this family (34)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19820321B4 (en) * | 1998-05-07 | 2004-09-16 | Bruker Axs Gmbh | Compact x-ray spectrometer |
| JP3853522B2 (en) * | 1998-08-07 | 2006-12-06 | 三菱原子燃料株式会社 | X-ray fluorescence inspection equipment |
| WO2000023795A1 (en) * | 1998-10-21 | 2000-04-27 | Glaxo Group Limited | Environmentally controllable sample holder for x-ray diffractometer (xrd) |
| JP4646418B2 (en) * | 2000-04-06 | 2011-03-09 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | X-ray fluorescence analyzer |
| FI20031753A (en) * | 2003-12-01 | 2005-06-02 | Metorex Internat Oy | Improved measurement arrangement for X-ray fluorescence analysis |
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| US7825376B2 (en) | 2007-09-28 | 2010-11-02 | The Invention Science Fund I | Scintillator aspects for X-ray fluorescence visualizer, imager, or information provider |
| US20090086899A1 (en) * | 2007-09-28 | 2009-04-02 | Searete Llc, A Limited Liability Corporation Of The State Of Delaware | Repositioning X-ray fluorescence visualizer, imager, or information provider |
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| CN112362632B (en) * | 2020-12-07 | 2023-05-02 | 苏州础润环境修复科技有限公司 | Soil fluorescence spectrometer limit structure |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0676976B2 (en) * | 1985-06-08 | 1994-09-28 | 株式会社堀場製作所 | Oil nickel / vanadium detector |
-
1996
- 1996-11-29 JP JP31927596A patent/JP3166638B2/en not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-08-15 US US08/912,892 patent/US5832054A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-24 GB GB9724773A patent/GB2319835B/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2319835A (en) | 1998-06-03 |
| JPH10160691A (en) | 1998-06-19 |
| GB2319835B (en) | 2000-07-26 |
| GB9724773D0 (en) | 1998-01-21 |
| US5832054A (en) | 1998-11-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080309 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090309 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100309 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100309 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110309 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110309 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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|
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