JP3166220B2 - Solid-state imaging device - Google Patents
Solid-state imaging deviceInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像装置に関し、
特に、受光部上にマイクロ集光レンズを形成した固体撮
像装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solid-state imaging device,
In particular, the present invention relates to a solid-state imaging device in which a micro condenser lens is formed on a light receiving unit.
【０００２】[0002]
【従来の技術】固体撮像装置、例えばＣＣＤ固体撮像装
置は、そのＣＣＤにおける信号電荷及び雑音と像面照度
との関係をみた場合、低照度側において、信号電荷のゆ
らぎによる雑音（ショット雑音）と暗時雑音の影響が大
きくなるということが知られている。2. Description of the Related Art In a solid-state image pickup device, for example, a CCD solid-state image pickup device, when the relationship between signal charge and noise in the CCD and illuminance on an image surface is viewed, noise (shot noise) due to fluctuation of signal charge on the low illuminance side. It is known that the influence of dark noise increases.
【０００３】上記ショット雑音を減らすには、受光部の
開口率を大きくすれば良いが、最近の微細化傾向に伴
い、上記開口率の増大化には限界がある。そこで、現
在、受光部上にマイクロ集光レンズを形成した構造が提
案されている。このマイクロ集光レンズを形成した構造
の場合、光の利用率が上がり、受光部における感度の向
上を図ることができ、上記ショット雑音の低減化に有効
となる（尚、マイクロ集光レンズの形成方法について
は、例えば特開昭６０−５３０７３号公報及び特開平１
−１０６６６号公報参照）。The shot noise can be reduced by increasing the aperture ratio of the light receiving portion. However, with the recent trend toward miniaturization, there is a limit to the increase in the aperture ratio. Therefore, a structure in which a micro condenser lens is formed on a light receiving unit has been proposed. In the case of the structure in which the micro condenser lens is formed, the light utilization rate increases, the sensitivity in the light receiving section can be improved, and this is effective in reducing the shot noise (the formation of the micro condenser lens). The method is described in, for example, JP-A-60-53073 and
-10666 publication).
【０００４】従来のＣＣＤ固体撮像装置は、図２に示す
ように、シリコン基板１１の表面に、イメージエリアを
構成する多数の受光部１２が形成され、これら受光部１
２を含む全面に平坦化膜１３が形成され、更に、該平坦
化膜１３上に、例えば赤、緑及び青のカラーフィルタ１
４Ｒ、１４Ｇおよび１４Ｂが夫々対応する受光部１２上
に形成され、そして、このカラーフィルタ１４Ｒ、１４
Ｇおよび１４Ｂ上において、各受光部１２に対応した位
置にマイクロ集光レンズ１５が形成されて構成されてい
る。尚、図において、１６は転送電極及び遮光膜の形成
による段差を模式的に示すものである。In the conventional CCD solid-state imaging device, as shown in FIG. 2, a large number of light receiving sections 12 forming an image area are formed on the surface of a silicon substrate 11.
2, a flattening film 13 is formed on the entire surface including the color filters 1 for red, green, and blue, for example.
4R, 14G, and 14B are formed on the corresponding light receiving sections 12, respectively.
On G and 14B, a micro condenser lens 15 is formed at a position corresponding to each light receiving unit 12. In the drawing, reference numeral 16 schematically shows a step due to the formation of the transfer electrode and the light shielding film.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
固体撮像装置においては、受光部１２上に１層のマイク
ロ集光レンズ１５を形成して構成しているため、そのマ
イクロ集光レンズ１５の形成上、どうしてもマイクロ集
光レンズ１５間にギャップｇができてしまうという問題
があった。即ち、マイクロ集光レンズ１５間にギャップ
ｇが形成されると、このギャップｇの部分に入射した光
Ｌｇは、集光されずにそのままカラーフィルタ（図示の
例では１４Ｒ）を通って、遮光膜が存する段差１６に入
射することになり、受光部１２へは到達しない。However, in the conventional solid-state imaging device, a single-layer micro-condensing lens 15 is formed on the light receiving section 12, so that the micro-condensing lens 15 is formed. In addition, there is a problem that a gap g is necessarily formed between the micro condenser lenses 15. That is, when the gap g is formed between the micro condenser lenses 15, the light Lg incident on the gap g portion passes through the color filter (14R in the illustrated example) as it is without being condensed, and passes through the light shielding film. Is incident on the step 16 where the light exists, and does not reach the light receiving unit 12.
【０００６】このように、従来の固体撮像装置において
は、ギャップｇ以外のレンズ面に入射する光Ｌのみしか
受光部１２に入射させることができず、イメージエリア
全体に入射する光を有効利用することができない。従っ
て、マイクロ集光レンズ１５を形成したことによる感度
の向上には、限界があるという不都合があった。As described above, in the conventional solid-state imaging device, only the light L incident on the lens surface other than the gap g can be incident on the light receiving unit 12, and the light incident on the entire image area is effectively used. Can not do. Therefore, there is an inconvenience that there is a limit in improving the sensitivity by forming the micro condenser lens 15.
【０００７】ここで、集光レンズの繰り返しピッチＰを
８μｍ、マイクロ集光レンズ１５間のギャップ幅ｄを
１．５μｍとすると、集光最大幅は８−１．５＝６．５
μｍ、最大感度の向上率は６．５／３＝２．２倍であ
る。尚、図において、マイクロ集光レンズ１５は、スト
ライプ形状で、断面方向からの集光しか考えないものと
する。Here, assuming that the repetition pitch P of the condenser lens is 8 μm and the gap width d between the micro condenser lenses 15 is 1.5 μm, the maximum condensing width is 8-1.5 = 6.5.
μm, the improvement rate of the maximum sensitivity is 6.5 / 3 = 2.2 times. In the figure, it is assumed that the micro condenser lens 15 has a stripe shape and only condenses from a cross-sectional direction.
【０００８】本発明は、このような課題に鑑み成された
もので、その目的とするところは、マイクロ集光レンズ
間のギャップをなくすことができ、イメージエリア全体
に入射する光を有効利用することができる固体撮像装置
を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to eliminate a gap between micro condenser lenses and to effectively use light incident on an entire image area. It is an object of the present invention to provide a solid-state imaging device capable of performing the above.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明は、受光部２上に
集光レンズが形成された固体撮像装置において、集光レ
ンズを、夫々屈折率の異なる第１及び第２の集光レンズ
５及び７にて構成し、第１の集光レンズ５をポリイミド
から構成し、第２の集光レンズ７で第１の集光レンズ５
上にそのギャップｇを埋めるように形成して構成する。
また本発明は、上記固体撮像装置において、第２の集光
レンズ７をｉ線レジスト、ｇ線レジスト、フッ素系樹脂
のいずれかから構成するを可とする。According to the present invention, there is provided a solid-state image pickup device in which a condenser lens is formed on a light receiving section 2, wherein the condenser lens is composed of first and second condenser lenses 5 having different refractive indexes. And 7, the first condenser lens 5 is made of polyimide, and the second condenser lens 7 is made of the first condenser lens 5.
Constitute formed so as to fill the gap g of it to the top.
According to the present invention, in the solid-state imaging device, the second condenser lens 7 may be made of any one of an i-line resist, a g-line resist, and a fluororesin.
【００１０】この場合、上記第１及び第２の集光レンズ
５及び７の各屈折率を夫々ｎ1 及びｎ2 としたとき、ｎ
1 ＞ｎ2 ＞１の関係にする。さらに、本発明は、受光部
２上に集光レンズが形成された固体撮像装置において、
集光レンズを、夫々屈折率の異なる第１及び第２の集光
レンズ５及び７にて構成し、第１の集光レンズ５の屈折
率を１．７〜１．８とし、第２の集光レンズ７の屈折率
を１．４〜１．６とし、第２の集光レンズ７を第１の集
光レンズ５上にそのギャップｇを埋めるように形成して
構成する。また、本発明は、受光部２上に集光レンズが
形成された固体撮像装置において、集光レンズを、夫々
屈折率の異なる第１及び第２の集光レンズ５及び７の積
層体にて構成し、第１の集光レンズ５をポリイミドから
構成し、第２の集光レンズ７で第１の集光レンズ５のギ
ャップｇを埋めるように形成して構成する。 さらに、本
発明は、受光部２上に集光レンズが形成された固体撮像
装置において、集光レンズを、夫々屈折率の異なる第１
及び第２の集光レンズ５及び７の積層体にて構成し、第
１の集光レンズ５の屈折率を１．７〜１．８とし、第２
の集光レンズ７の屈折率を１．４〜１．６とし、第２の
集光レンズ７を第１の集光レンズ５上のギャップｇを埋
めるように形成して構成する。 In this case, when the refractive indexes of the first and second condenser lenses 5 and 7 are n 1 and n 2 , respectively, n
1> n 2> to one relationship. Furthermore, the present invention relates to a solid-state imaging device in which a condenser lens is formed on the light receiving unit 2,
The condenser lens is composed of first and second condenser lenses 5 and 7 having different refractive indices, respectively. The refractive index of the first condenser lens 5 is set to 1.7 to 1.8, the refractive index of the condenser lens 7 and 1.4 to 1.6, configured by the second condenser lens 7 is formed so as to fill the gap g of that on the first condensing lens 5. Further, according to the present invention, a condenser lens is provided on the light receiving section 2.
In the formed solid-state imaging device, the focusing lens is
Product of first and second condenser lenses 5 and 7 having different refractive indexes
The first condenser lens 5 is made of polyimide
And the second condensing lens 7
It is formed so as to fill the gap g. In addition, the book
The present invention relates to a solid-state imaging device in which a condenser lens is formed on a light receiving unit 2.
In the apparatus, a condenser lens is provided with first lenses having different refractive indexes.
And a laminated body of the second condenser lenses 5 and 7,
The first lens 5 has a refractive index of 1.7 to 1.8, and the second
The condensing lens 7 has a refractive index of 1.4 to 1.6, and the second
The condenser lens 7 fills the gap g on the first condenser lens 5.
It is formed so as to fit.
【００１１】[0011]
【作用】上述の本発明の構成によれば、受光部２上に形
成される集光レンズを、夫々屈折率の異なる第１及び第
２の集光レンズ５及び７にて構成し、第２の集光レンズ
７で第１の集光レンズ５上にそのギャップｇを埋めるよ
うに形成するようにしたので、または受光部２上に形成
される集光レンズを、夫々屈折率の異なる第１及び第２
の集光レンズ５及び７の積層体にて構成し、第２の集光
レンズ７で第１の集光レンズ５のギャップｇを埋めるよ
うに形成するようにしたので、下層に形成される第１の
集光レンズ５間のギャップｇを上層に形成される第２の
集光レンズ７で埋めるかたちとなり、集光レンズ間のギ
ャップレス化を実現させることができる。その結果、イ
メージエリア全体に入射する光を有効利用することがで
き、感度の向上を効率よく図ることができる。According to the configuration of the present invention described above, the condenser lens formed on the light receiving section 2 is constituted by the first and second condenser lenses 5 and 7 having different refractive indexes, respectively. since the condenser lens 7 so as to form so as to fill the gap g of that on the first condensing lens 5, or formed on the light receiving section 2
The first and second condenser lenses having different refractive indices are used.
Of the second condensing lens 5 and 7
The gap g of the first condenser lens 5 is filled with the lens 7
As a result, the gap g between the first condensing lenses 5 formed in the lower layer is filled with the second condensing lens 7 formed in the upper layer. Can be realized. As a result, light incident on the entire image area can be effectively used, and the sensitivity can be efficiently improved.
【００１２】特に、第１及び第２の集光レンズ５及び７
の各屈折率を夫々ｎ1 及びｎ2 としたとき、ｎ1 ＞ｎ2
＞１の関係にすることにより、第１の集光レンズ５間の
ギャップｇ部分に入射する光Ｌｇを受光部２側へ有効に
集光させることができ、更に感度の向上を図ることがで
きる。In particular, the first and second condenser lenses 5 and 7
Where n 1 and n 2 are respectively n 1 > n 2
By setting the relationship of> 1, the light Lg incident on the gap g between the first condenser lenses 5 can be effectively focused on the light receiving section 2 side, and the sensitivity can be further improved. .
【００１３】[0013]
【実施例】以下、図１を参照しながら本発明の実施例を
説明する。図１は、本実施例に係る固体撮像装置の要部
を示す構成図である。An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. FIG. 1 is a configuration diagram illustrating a main part of the solid-state imaging device according to the present embodiment.
【００１４】この固体撮像装置は、図示するように、シ
リコン基板１の表面に、イメージエリアを構成する多数
の受光部２が形成され、これら受光部２を含む全面に平
坦化膜３が形成され、更に、該平坦化膜３上に、例えば
赤、緑及び青のカラーフィルタ４Ｒ、４Ｇ及び４Ｂが夫
々対応する受光部２上に形成され、そして、このカラー
フィルタ４Ｒ、４Ｇ及び４Ｂ上において、各受光部２に
対応した位置に第１のマイクロ集光レンズ５が形成され
て構成されている。ここまでの構成は、図２に示す従来
例の構成と同じである。尚、図において、６は転送電極
及び遮光膜の形成による段差を模式的に示すものであ
る。In this solid-state imaging device, as shown in the figure, a large number of light receiving portions 2 forming an image area are formed on the surface of a silicon substrate 1, and a flattening film 3 is formed on the entire surface including the light receiving portions 2. Further, on the flattening film 3, for example, red, green, and blue color filters 4R, 4G, and 4B are formed on the corresponding light receiving sections 2, respectively, and on the color filters 4R, 4G, and 4B, A first micro condenser lens 5 is formed at a position corresponding to each light receiving unit 2. The configuration so far is the same as the configuration of the conventional example shown in FIG. In the drawing, reference numeral 6 schematically shows a step due to the formation of the transfer electrode and the light shielding film.
【００１５】しかして、本例においては、第１のマイク
ロ集光レンズ５上に、第２のマイクロ集光レンズ７を形
成して構成する。この第２のマイクロ集光レンズ７は、
第１のマイクロ集光レンズ５の屈折率ｎ1 よりも低い屈
折率ｎ2 を有する材料を約５０００Åほどコーティング
またはＥＣＲプラズマＣＶＤ法により低温にて形成す
る。このとき、第１のマイクロ集光レンズ５間に形成さ
れたギャップｇを埋めるように第２のマイクロ集光レン
ズ７が形成される。In this embodiment, the second micro condenser lens 7 is formed on the first micro condenser lens 5. This second micro condenser lens 7
The first micro condensing approximately 5000Å a material having a lower refractive index n 2 than the refractive index n 1 of the lens 5 coating or ECR plasma CVD method to form at a low temperature. At this time, the second micro condenser lens 7 is formed so as to fill the gap g formed between the first micro condenser lenses 5.
【００１６】また、第１のマイクロ集光レンズ５の材料
としては、例えばポリイミド等、屈折率ｎ1 が１．７〜
１．８のものを使用することができる。また、第２のマ
イクロ集光レンズ７の材料は、その形成方法によって異
なり、コーティングによって形成する場合の材料として
は、例えばｉ線レジスト又はｇ線レジスト及びフッ素系
樹脂など、屈折率ｎ2 が１．４〜１．６のものを用いる
ことができる。一方、ＥＣＲプラズマＣＶＤ法により低
温にて形成する場合の材料としては、例えばプラズマＳ
ｉＯ2 膜など、屈折率ｎ2 が１．４〜１．５のものを用
いることができる。The material of the first micro condenser lens 5 is, for example, polyimide or the like having a refractive index n 1 of 1.7 to 1.7.
1.8 can be used. The material of the second micro-condensing lens 7 varies depending on the method of forming the material. When the material is formed by coating, for example, an i-line resist or a g-line resist and a fluororesin have a refractive index n 2 of 1 .4 to 1.6 can be used. On the other hand, when the material is formed at a low temperature by the ECR plasma CVD method, for example, plasma S
such iO 2 film, the refractive index n 2 that can be used in 1.4 to 1.5.
【００１７】次に、第１のマイクロ集光レンズ５間にお
けるギャップｇ部分に入射する光Ｌｇの光路を説明す
る。Next, the optical path of the light Lg incident on the gap g between the first micro condenser lenses 5 will be described.
【００１８】ギャップｇ部分に入射する光Ｌｇは、ま
ず、空気中の屈折率よりも大きい屈折率ｎ2 （＞１）を
有する第２のマイクロ集光レンズ７の表面にて、フレネ
ルの法則に従って屈折する。即ち、法線Ｍに対して角度
θ1にて入射した上記光Ｌｇは、第２のマイクロ集光レ
ンズ７の表面にて、法線Ｍに対して角度θ2 （＜θ1 ）
方向に屈折される。First, the light Lg incident on the gap g is first irradiated on the surface of the second micro condenser lens 7 having a refractive index n 2 (> 1) larger than the refractive index in air according to Fresnel's law. Bend. That is, the light Lg incident on the normal line M at an angle θ 1 is incident on the surface of the second micro condenser lens 7 at an angle θ 2 (<θ 1 ) with respect to the normal line M.
Refracted in the direction.
【００１９】次に、この第２のマイクロ集光レンズ７に
入射した光Ｌｇは、第２のマイクロ集光レンズ７の屈折
率ｎ2 よりも大きい屈折率ｎ1 （＞ｎ2 ）を有する第１
のマイクロ集光レンズ５の表面にて、フレネルの法則に
従って屈折する。即ち、法線Ｎに対して角度θ3 にて入
射した上記光Ｌｇは、第１のマイクロ集光レンズ５の表
面にて、法線Ｎに対して角度θ4 （＞θ3 ）方向に屈折
される。Next, the light Lg incident on the second micro condenser lens 7 has a refractive index n 1 (> n 2 ) larger than the refractive index n 2 of the second micro condenser lens 7. 1
Is refracted on the surface of the micro condenser lens 5 according to Fresnel's law. That is, the light Lg incident at an angle θ 3 with respect to the normal N is refracted on the surface of the first micro condenser lens 5 in a direction θ 4 (> θ 3 ) with respect to the normal N. Is done.
【００２０】そして、この第１のマイクロ集光レンズ５
に入射した光Ｌｇは、次に、下層のカラーフィルタ（図
示の例では４Ｒ）及び平坦化膜３の各表面にて、幾分屈
折されて、最終的にシリコン基板１表面に形成された受
光部２に入射する。このように、第１のマイクロ集光レ
ンズ５間におけるギャップｇ部分に入射する光Ｌｇも受
光部２上に集光させることができる。尚、ギャップｇ以
外の部分に入射する光Ｌは、確実に受光部２に入射され
る。The first micro condenser lens 5
Is then slightly refracted by the lower surface of the color filter (4R in the illustrated example) and the surface of the flattening film 3, and finally the light Lg formed on the surface of the silicon substrate 1 is received. The light enters the part 2. As described above, the light Lg incident on the gap g between the first micro condenser lenses 5 can also be collected on the light receiving unit 2. The light L incident on a portion other than the gap g is surely incident on the light receiving unit 2.
【００２１】上述のように、本例によれば、受光部２上
に形成されるマイクロ集光レンズを、夫々屈折率の異な
る第１及び第２のマイクロ集光レンズ５及び７にて構成
し、第２のマイクロ集光レンズ７で第１のマイクロ集光
レンズ５のギャップｇを埋めるように形成するようにし
たので、下層に形成される第１のマイクロ集光レンズ５
間のギャップｇを上層に形成される第２のマイクロ集光
レンズ７で埋めるかたちとなり、マイクロ集光レンズ間
のギャップレス化を実現させることができる。その結
果、イメージエリア全体に入射する光を有効利用するこ
とができ、感度の向上を効率よく図ることができる。As described above, according to the present embodiment, the micro condenser lens formed on the light receiving section 2 is constituted by the first and second micro condenser lenses 5 and 7 having different refractive indexes, respectively. Since the second micro condenser lens 7 is formed so as to fill the gap g of the first micro condenser lens 5, the first micro condenser lens 5 formed in the lower layer is formed.
The gap g between them is filled with the second micro condenser lens 7 formed in the upper layer, and the gapless between the micro condenser lenses can be realized. As a result, light incident on the entire image area can be effectively used, and the sensitivity can be efficiently improved.
【００２２】特に、第１及び第２のマイクロ集光レンズ
５及び７の各屈折率を夫々ｎ1 及びｎ2 としたとき、ｎ
1 ＞ｎ2 ＞１の関係にすることにより、第１のマイクロ
集光レンズ５間のギャップｇ部分に入射する光Ｌｇを受
光部２側へ有効に集光させることができ、更に感度の向
上を図ることができる。In particular, when the refractive indices of the first and second micro condenser lenses 5 and 7 are n 1 and n 2 respectively, n
By setting the relationship of 1 > n 2 > 1, the light Lg incident on the gap g between the first micro condenser lenses 5 can be effectively condensed on the light receiving section 2 side, and the sensitivity is further improved. Can be achieved.
【００２３】ここで、第１のマイクロ集光レンズ５の繰
り返しピッチＰを８μｍ、第１のマイクロ集光レンズ５
間のギャップ幅ｄを１．５μｍとすると、本例の場合、
上層の第２のマイクロ集光レンズ７によって、第１のマ
イクロ集光レンズ５間のギャップｇがなくなる形となる
ため、集光最大幅は８−０＝８μｍ、最大感度の向上率
は８／３＝２．７倍となり、従来の２．２倍と比して大
幅なる感度の向上を図ることができる。尚、図におい
て、第１及び第２のマイクロ集光レンズ５及び７は、ス
トライプ形状で、断面方向からの集光しか考えないもの
とする。Here, the repetition pitch P of the first micro condenser lens 5 is 8 μm, and the first micro condenser lens 5
Assuming that the gap width d between them is 1.5 μm, in the case of this example,
Since the gap g between the first micro condenser lenses 5 is eliminated by the second upper micro condenser lens 7, the maximum condensing width is 8-0 = 8 μm, and the improvement rate of the maximum sensitivity is 8 / 3 = 2.7 times, which is a significant improvement in sensitivity as compared with 2.2 times the conventional value. In the drawing, the first and second micro condenser lenses 5 and 7 are in the form of stripes and only consider light condensing from the cross-sectional direction.
【００２４】[0024]
【発明の効果】本発明に係る固体撮像装置によれば、マ
イクロ集光レンズ間のギャップをなくして、イメージエ
リア全体に入射する光を有効利用することができ、感度
の大幅なる向上を図ることができる。According to the solid-state imaging device of the present invention, it is possible to effectively use the light incident on the entire image area by eliminating the gap between the micro condenser lenses, and to greatly improve the sensitivity. Can be.
【図１】本実施例に係る固体撮像装置の要部（イメージ
エリア）を示す構成図。FIG. 1 is a configuration diagram showing a main part (image area) of a solid-state imaging device according to an embodiment.
【図２】従来例に係る固体撮像装置の要部（イメージエ
リア）を示す構成図。FIG. 2 is a configuration diagram showing a main part (image area) of a solid-state imaging device according to a conventional example.
１ シリコン基板 ２ 受光部 ３ 平坦化膜 ４Ｒ，４Ｇ，４Ｂ カラーフィルタ ５ 第１のマイクロ集光レンズ ６ 段差 ７ 第２のマイクロ集光レンズ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Silicon substrate 2 Light receiving part 3 Flattening film 4R, 4G, 4B Color filter 5 First micro condenser lens 6 Step 7 Second micro condenser lens
Claims (6)
撮像装置において、 上記集光レンズが、夫々屈折率の異なる第１及び第２の
集光レンズにて構成され、 上記第１の集光レンズがポリイミドからなり、 上記第２の集光レンズが、上記第１の集光レンズ上にそ
のギャップを埋めるように形成されていることを特徴と
する固体撮像装置。1. A solid-state imaging device in which a condensing lens is formed on a light receiving unit, wherein the condensing lens is constituted by first and second condensing lenses having different refractive indexes, respectively. condensing lens is made of polyimide, the second condenser lens, the solid-state imaging apparatus characterized by being formed so as to fill the gaps in its <br/> on the first condensing lens.
ｇ線レジスト、フッ素系樹脂のいずれかからなることを
特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。2. The method according to claim 1, wherein the second condenser lens is an i-line resist,
The solid-state imaging device according to claim 1, wherein the solid-state imaging device is made of any one of a g-line resist and a fluorine-based resin.
率を夫々ｎ1 及びｎ2 としたとき、ｎ1 ＞ｎ2 ＞１の関
係を有することを特徴とする請求項１記載の固体撮像装
置。3. The apparatus according to claim 1, wherein, when the respective refractive indexes of the first and second condenser lenses are n 1 and n 2 , respectively, the relation of n 1 > n 2 > 1 is satisfied. Solid-state imaging device.
撮像装置において、 上記集光レンズが、夫々屈折率の異なる第１及び第２の
集光レンズにて構成され、 上記第１の集光レンズの屈折率が１．７〜１．８であ
り、上記第２の集光レンズの屈折率が１．４〜１．６で
あり、 上記第２の集光レンズが、上記第１の集光レンズ上にそ
のギャップを埋めるように形成されていることを特徴と
する固体撮像装置。4. A solid-state imaging device in which a condensing lens is formed on a light receiving unit, wherein the condensing lens includes first and second condensing lenses having different refractive indexes, respectively. The refractive index of the condenser lens is 1.7 to 1.8, the refractive index of the second condenser lens is 1.4 to 1.6, and the second condenser lens is the first condenser lens. A solid-state imaging device formed on the condensing lens so as to fill the gap.
撮像装置において、 上記集光レンズが、夫々屈折率の異なる第１及び第２の
集光レンズの積層体にて構成され、 上記第１の集光レンズがポリイミドからなり、 上記第２の集光レンズが、上記第１の集光レンズのギャ
ップを埋めるように形成されていることを特徴とする固
体撮像装置。 5. A solid body having a light-collecting lens formed on a light-receiving part.
In the imaging apparatus, the condenser lens includes first and second different refractive indexes.
The first condenser lens is made of polyimide, and the second condenser lens is formed of a laminated body of condenser lenses.
Fixed to fill the gap
Body imaging device.
撮像装置において、 上記集光レンズが、夫々屈折率の異なる第１及び第２の
集光レンズの積層体にて構成され、 上記第１の集光レンズの屈折率が１．７〜１．８であ
り、上記第２の集光レン ズの屈折率が１．４〜１．６で
あり、 上記第２の集光レンズが、上記第１の集光レンズのギャ
ップを埋めるように形成されていることを特徴とする固
体撮像装置。 6. A solid body having a condensing lens formed on a light receiving section.
In the imaging apparatus, the condenser lens includes first and second different refractive indexes.
The first condenser lens has a refractive index of 1.7 to 1.8.
Ri, the refractive index of the second focusing lens is at 1.4 to 1.6
And the second condenser lens is a lens of the first condenser lens.
Fixed to fill the gap
Body imaging device.
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