JP3164780B2 - 放電型平面表示装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、平面表示装置に
係り、特に、発光効率が改善されるプラズマ放電を用い
た表示装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】エレクトロルミネセンスパネル、発光ダ
イオードパネル、プラズマ放電型表示装置ディスプレ
イ、蛍光表示装置、液晶表示装置等の表示装置は、表示
部分を薄くできることから、携帯用および移動用の小型
機器、事務機器およびコンピュータ等の端末表示装置等
への用途が高まっている。

【０００３】中でも、プラズマ放電型平面表示装置は、
視野角が広く、しかも光源光学等を必要としないため、
大画面テレビへの適用が実用化されている。プラズマ放
電型平面表示装置は、互いに対向される２枚の絶縁基板
間に放電用ガスを充填し、両基板間でガス放電により紫
外線を発生させ、その紫外線を用いて蛍光体を発光させ
て、画像を表示するものである。

【０００４】通常、放電用ガスとしては、Ｎｅ（ネオ
ン）とＸｅ（キセノン）の混合ガスが利用される。な
お、それぞれの混合比率は、Ｎｅが９に対し、Ｘｅが１
程度である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たプラズマ放電型平面表示装置は、液晶表示装置に比較
して視野角を広くできるものの、ＣＲＴ（カソード・レ
イ・チューブ、通常ブラウン管とよばれ、商用のテレビ
の受像管として利用されている陰極線管）に比較して画
面の明るさが暗い（すなわち発光効率が低い）問題があ
る。また、ＣＲＴや液晶表示装置に比較して寿命が短い
問題がある。この発明の目的は、発光効率が改善され、
高い表示輝度の確保が可能な放電型平面表示装置を提供
することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明は、上述した問
題点に基づきなされたもので、対向配置される一対の基
板と、前記基板間に封入される放電用ガスと、前記一対
の基板間に配置され、前記放電用ガスを励起させて紫外
線を発生せしめる励起手段と、前記紫外線に基づいて所
定の可視光を放出せしめる光変換手段とを備えた放電型
平面表示装置において、前記放電用ガスは、ハロゲンを
実質的に含まない主放電ガスと放電を制御する放電制御
ガスとの混合ガスとからなり、前記励起手段に基づいて
エキシマ発光されるよう調圧されてなることを特徴とす
る放電型平面表示装置を提供するものである。

【０００７】また、この発明は、対向配置される一対の
基板と、前記基板間に封入される放電用ガスと、前記一
対の基板間に配置され、前記放電用ガスを励起させて紫
外線を発生せしめる励起手段と、前記紫外線に基づいて
所定の可視光を放出せしめる光変換手段とを備えた放電
型平面表示装置において、前記光変換手段の他の基板側
または前記一対の基板の内の前記光変換手段から離れた
基板の前記光変換手段側に、紫外線を反射する紫外線反
射膜を有することを特徴とする放電型平面表示装置を提
供するものである。さらに、この発明は、対向配置され
る一対の基板と、前記基板間に封入される放電用ガス
と、前記一対の基板間に配置され、前記放電用ガスを励
起させて紫外線を発生せしめる励起手段と、前記紫外線
に基づいて所定の可視光を放出せしめる光変換手段とを
備えた放電型平面表示装置において、前記放電用ガス
は、少なくとも分圧が１５％以上の主放電ガスと、放電
を制御する放電制御ガスとの混合ガスとからなり、前記
励起手段に基づいてエキシマ発光されるよう調圧されて
なることを特徴とする放電型平面表示装置を提供するも
のである。 またさらに、この発明は、対向配置される一
対の基板と、前記基板間に封入される放電用ガスと、前
記一対の基板間に配置され、前記放電用ガスを励起させ
て紫外線を発生せしめる励起手段と、前記紫外線に基づ
いて所定の可視光を放出せしめる光変換手段とを備えた
放電型平面表示装置において、 前記放電用ガスは、Ｘｅ
のみからなる主放電ガスと、放電を制御する放電制御ガ
スとの混合ガスとからなり、前記励起手段に基づいてエ
キシマ発光されるよう調圧されてなることを特徴とする
放電型平面表示装置を提供するものである。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながらこの発
明の実施の形態について詳細に説明する。図１は、この
発明の実施例に係かる放電型平面表示装置すなわちプラ
ズマ放電型平面表示装置の一例を示す概略図である。

【０００９】図１に示されるように、プラズマ放電型平
面表示装置（以下、単に放電型表示装置と示す）１は、
耐熱性が高く光を透過する例えばガラス等により形成さ
れ、入力された画像信号に対応する表示光（可視光）を
放射する前面基板１１、前面基板１１に対して所定の間
隔、例えば２００マイクロメートル（以下、μｍと示
す）の間隔で対向され、前面基板１１が表示する表示光
に対応する可視光を発生する発光基板２１とを有してい
る。なお、前面基板１１と発光基板２１との間には、主
放電ガスであるＸｅ（キセノン）と放電制御ガスである
Ｎｅ（ネオン）とが所定比率で混合された紫外線放電用
の混合ガスＧが、所定の圧力で注入されている。また、
前面基板１１の発光基板２１に面する側の面と発光基板
２１の前面基板１１に面する側の面との間の距離をｄと
するとき、混合ガスＧの圧力ｐは、 ｐ・ｄ ≧ ７．５ （ｔｏｒｒ・ｃｍ）、 を満足するよう設定されている。なお、圧力ｐは、好ま
しくは、７６０ｔｏｒｒより低い圧力、より好ましく
は、概ね５００ｔｏｒｒに設定される。

【００１０】図２は、図１に示した放電型表示装置１の
１画素を拡大した部分断面図である。図２に示されるよ
うに、前面基板１１の発光基板２１と対向する面には、
例えばＩＴＯ等の透明な材質により形成され、第１の方
向（ここでは図１に示したＸ軸方向とする）に、複数本
延出された表示電極１２ａと一体的に形成された金属電
極（母線）１２ｂが配置されている。なお、表示電極１
２ａと母線１２ｂは、放電型表示装置１の大きさおよび
解像力に基づいて規定されるピッチで所定本数配置さ
れ、例えば、対角４２インチで、アスペクト比が１６：
９のＮＴＳＣ／ＶＧＡ（ビデオ・グラフィック・アレ
イ）においては、例えば８５２×４８０ドットの画素を
提供するために、１．０８ｍｍピッチで、４８０本配置
される。

【００１１】表示電極１２ａと母線１２ｂは、それぞれ
の電極を、放電によりＸｅから放射される紫外線から保
護するための誘電体層１３により覆われている。誘電体
層１３には、Ｘｅが発生する紫外線を発光基板２１側に
反射する紫外線反射コーティング（以下、ＵＶ（ウルト
ラ・バイオレット）反射層と略称する）１４が形成され
ている。ＵＶ反射層１４は、誘電体多層膜であって、Ｘ
ｅにより発生される所定の波長の紫外線の多くを反射す
るとともに、前面基板１１を透過すべき可視光を透過す
る特性が与えられている。なお、ＵＶ反射層１４は、放
電ガスであるＸｅが発生する紫外線の波長を効率よく反
射するために、反射特性がＸｅ^* およびＸｅ₂ ^* （^*
は、励起状態にあることを示す）に対して良い（吸収率
の小さい）ＹＦ₃ （フッ化イットリウム）を含んでい
る。

【００１２】ＵＶ反射層１４には、放電により発生され
たイオンにより放出する２次電子の放出効率（２次電子
放出係数）が高く、しかも前面基板１１と発光基板２１
との間で発生される放電からＵＶ反射層１４を保護する
保護膜１５が形成されている。なお、保護膜１５として
は例えばＭｇＯ（酸化マグネシウム）が利用される。ま
た、保護膜１５の厚さは、例えば４０ｎｍ以下、好まし
くは２０ｎｍに設定されている。

【００１３】発光基板２１の前面基板１１と対向する面
には、第１の方向と直交する第２の方向（ここでは図１
に示したＹ軸方向とする）に複数本延出され、前面基板
１１の表示電極１２ａとの間に所定の電圧が印加される
ことで、発光基板２１と前面基板に注入された混合ガス
Ｇから紫外線を発生させるための、表示（対向）電極２
３が設けられている。この対向電極２３は、前面基板１
１を表示面１１ａ側から見た状態で前面基板１１の母線
１２ｂと交差する点に位置する各ドットの対応表示色
（Ｒ，Ｇ，Ｂのいづれか）を選択的に駆動する。なお、
対向電極２３は、カラー画像を表示可能とするために、
１画素あたり、Ｒ（赤）表示用、Ｇ（緑）表示用および
Ｂ（青）表示用である３本配置され、上述したサイズの
パネルにおいては、８５２×３＝２５５６本配置され
る。この場合、ピッチは、１画素の１／３であることか
ら、０．３６ｍｍとなる。

【００１４】対向電極２３はまた、それぞれの電極と平
行に延出された障壁２４により区分されることで、それ
ぞれ、前面基板１１との間で放電室２６を構成する。な
お、障壁２４の高さすなわち発光基板２１からの長さ
は、それぞれ、図１１を用いて後述するように、発光基
板２１と前面基板１１との間の実効的な間隔を、１５０
μｍ以上とした場合に、概ね７０％程度に、また障壁２
４の幅は、画素の密度および画面サイズに応じて規定さ
れる所定幅に設定されている。

【００１５】放電室２６の内側すなわち１本の対向電極
２３を区分する２つの障壁２４の側面および障壁２４に
挟まれた発光基板２１の前面基板１１に面した面には、
以下に説明する蛍光面が発生する可視光を前面基板１１
に向けて反射する背面反射層２７が形成されている。背
面反射層２７は、蛍光面により発生された可視光が発光
基板２１を通り抜けることを防止することにより、前面
基板１１の表示面１１ａから目視可能な表示光の光量を
増大させることができ、例えばＡｌ₂ Ｏ₃ （アルミ
ナ），ＴｉＯ₂ （チタニア），ＭｇＯまたはＭｇＦ₂
（フッ化マグネシウム）などが利用される。なお、背面
反射層２７は、可視光を反射することを主要な目的とす
るもので、例えば白色塗装であってもよい。

【００１６】放電室２６の内側において背面反射層２７
が形成された領域または障壁２４を覆う全ての領域に
は、Ｘｅが発生する紫外線により励起されて可視光を放
射する蛍光体からなる蛍光面２８が形成されている。こ
の蛍光面２８は、図１４を用いて後段に詳述する製造方
法を用いて、平均粒径が３μｍ以下、好ましくは２μｍ
以下、より好ましくは１μｍ以下の球形に形成された複
数の球状蛍光体が利用される。なお、蛍光面２８の厚さ
は、上述した蛍光体を用いることにより、例えば５μｍ
に設定される。

【００１７】このように、小粒径の蛍光体を用いて蛍光
面の厚さを５μｍとすることは、２つの障壁２４相互間
の空間すなわち放電空間を拡大可能であり、プラズマ損
失が低減される結果として発光効率を向上できる。な
お、放電空間の大きさは、画素ピッチすなわち解像度と
画面の大きさに依存することから特定の数値を示すこと
ができないが、例えば１画素のピッチが０．６６ｍｍ
で、各放電室２６の間隔が０．２２ｍｍである場合、従
来利用されていた塗布厚さ２０μｍの蛍光体を使用した
場合に比較して、発光効率を概ね２０％増加できる。

【００１８】蛍光面２８は、例えばＭｇＯとＭｇＦ₂ を
含む蛍光面保護膜２９により覆われている。なお、蛍光
面保護膜２９は、蛍光面２８を構成する球状蛍光体粒子
の粒子毎に、それぞれの外周面にコーティングされても
よい。

【００１９】図３は、図１および図２に示した放電型表
示装置１に、画像を表示させる駆動回路の一例を示すブ
ロック図である。図３に示されるように、放電型表示装
置１には、Ｘ軸方向の画像信号に応じて表示電極１２ａ
および母線１２ｂに所定の電圧を供給する列駆動回路２
０１と、Ｙ軸方向の画像信号に応じて対向電極２３に所
定の電圧を供給する行駆動回路２０３と、外部から供給
される画像信号を記憶するフレームメモリ２０７とが接
続されている。なお、フレームメモリ２０７には、外部
からの画像信号を受け入れるビデオインタフェイス２０
９を経由して画像信号が入力される。

【００２０】列駆動回路２０１ならびに行駆動回路２０
３のそれぞれは、主制御回路２１１の制御により、周知
のサブフィールド法に従って所定数に分割された複数の
サブフィールド毎に、列駆動回路２０１および行駆動回
路２０３のそれぞれから画像表示用の放電電圧を放電室
２６に印加する。なお、主制御回路２１１には、放電型
表示装置１に固有の駆動条件および制御データ等が記憶
されているＲＯＭ（プログラムメモリ）２１３、基本ク
ロックを発生する基本クロック発生回路２１５、フレー
ムメモリ２０７に格納された画像信号と垂直方向の同期
を取るための垂直同期信号Ｖ−ｓｙｎｃを発生する垂直
同期信号発生回路２１７、フレームメモリ２０７に格納
された画像信号と水平方向の同期を取るための水平同期
信号Ｈ−ｓｙｎｃを発生する水平同期信号発生回路２１
９等の周知の画像表示用回路群が接続されている。

【００２１】列駆動回路２０１および行駆動回路２０３
のそれぞれは、駆動パルスの立ち上がり時間が、Ｘｅ₂
^* の持続時間（励起状態にある準安定原子の寿命）より
も短いパルスを発生するもので、パルスの立ち上がり時
間は、好ましくは図６を用いて後段に説明するように、
２００ないし１０ナノ秒（以下、ｎｓと示す）に設定さ
れている。なお、パルスの立ち上がり時間は、パルスの
大きさが１０％から９０％に変化するために要求される
時間を示すものとする。

【００２２】図４は、図１および図２に示した放電型表
示装置１において、各放電室２６内で発生される紫外線
の波長分布を示すグラフである。なお、図４において、
強度を示すスケールは、ピーク値を１として正規化した
ものである。

【００２３】図４から明らかなように、図１および図２
に示した放電型表示装置１においては、図５を用いて以
下に説明するように、Ｘｅの分圧すなわち放電制御ガス
Ｎｅに対する主放電ガスＸｅの比率が１５％ないし１０
０％の範囲で高められていることから、周知の放電型表
示装置により発生される紫外線の内のＸｅ^* 共鳴線であ
る１４７ナノメートル（以下、ｎｍと示す）の波長の紫
外線に加えて、Ｘｅ₂ ^* エキシマ発光による１７２ｎｍ
の波長の紫外線が発生される。

【００２４】すなわち、混合ガスＧ中のＸｅの分圧を高
めることにより、従来は、 ｅ ＋ Ｘｅ → ｅ ＋Ｘｅ^* Ｘｅ^* → Ｘｅ ＋ 波長１４７ｎｍの紫外線 により、１４７ｎｍの波長の紫外線を得ていたが、 Ｘｅ^* ＋ ２Ｘｅ → Ｘｅ₂ ^* ＋ Ｘｅ Ｘｅ₂ ^* → ２Ｘｅ ＋ 波長１７２ｎｍの紫外
線 により、１７２ｎｍの波長の紫外線が得られる。

【００２５】蛍光面２８の蛍光体を励起するエネルギー
は、Ｘｅ₂ ^* エキシマ発光により発生される波長１７２
ｎｍの紫外線の方が１４７ｎｍの紫外線に比較して低い
ことから、発光効率が増大される。なお、図４に示され
るように、Ｘｅの分圧が１０％である場合、１４７ｎｍ
の紫外線も多く含まれ、Ｘｅの分圧としては１５％より
高いことが好ましい。

【００２６】図５は、混合ガスＧのＸｅの分圧と発光効
率の関係を示すグラフである。なお、図５において、効
率を示すスケールは、任意目盛りである。図５に示され
るように、Ｘｅの分圧の程度を１５％より高くすること
で、発光効率が概ね２倍に改善されることが認められ
る。なお、Ｘｅの分圧を高めることは放電開始電圧を高
めることになるが、上述した実施例の如く、放電形式を
対向電極タイプとすることで、放電開始電圧を、例え
ば、３５０ボルト（以下、Ｖと示す）以内に抑えること
を可能にする。

【００２７】図６は、図３に示した列駆動回路２０１お
よび行駆動回路２０３のそれぞれにより、放電型表示装
置１の各放電室２６すなわち前面基板１１の表示電極１
２ａおよび母線１２ｂと発光基板２１の表示電極２３と
の間に、サブフィールド内で印加される画像表示パルス
のパルスの立ち上がり時間と発光効率との関係を示すグ
ラフである。なお、図６において、効率を示すスケール
は、任意目盛りである。

【００２８】図７は、図１および図２に示した放電型表
示装置１の前面基板１１のＵＶ反射層１４に用いられる
誘電体多層膜の反射特性を示すグラフである。なお、誘
電体多層膜には、既に説明したように少なくとも１層の
ＹＦ₃ 層が形成されている。

【００２９】図７に示されるように、ＵＶ反射層１４
は、反射層１４自身への紫外線の入射角度が法線方向
（０°）および法線から３０°のそれぞれの場合におい
て、概ね１７２ｎｍの紫外線に対して最大の反射率を提
供できる。また、入射角度が法線４５°の場合において
は、反射波長のピークは１７２ｎｍ以外の波長となる
が、放電により発生した全ての紫外線エネルギーの反射
率を高めることに有益であることが認められる。なお、
前面基板１１の発光基板２１側の面にＵＶ反射膜１４を
配置することにより、発光基板２１側へ向けられる全紫
外線エネルギーは、１５％以上増強される。

【００３０】図８は、図１および図２に示した放電型表
示装置１において、図７に示した反射特性を有するＵＶ
反射膜１４を設けたことにより、放電室２６から放射さ
れる可視光の発光効率が改善される様子を示すグラフで
ある。なお、図８において、発光効率を示すスケール
は、任意目盛りである。

【００３１】図８に示されるように、例えば、混合ガス
のＸｅの分圧が１５％である場合、ＵＶ反射層１４を付
加することにより、発光効率は、概ね２５％増大され
る。また、例えばＸｅの分圧が４０％であれば、反射効
率の増加率は、概ね２０％となる。なお、既に説明した
ように、図１および図２に示した放電型表示装置１にお
いては、ＵＶ反射膜１４の発光基板２１側の面には、厚
さ２０μｍの保護膜１５が設けられていることから、各
分圧での発光効率は、それぞれ、さらに概ね２０％程度
増大されることが認められている。

【００３２】図９は、図１および図２に示した放電型表
示装置１において、各放電室２６内で発生される可視光
のうち、外へ取り出される光の割合と各放電室２６の発
光基板２１側に形成される背面反射層２７の反射率との
関係を示すグラフである。なお、図９において、取り出
される光の割合を示すスケールは、任意目盛りである。

【００３３】図９に示されるように、背面反射層２７と
して、例えばＡｌ₂ Ｏ₃ （アルミナ）等により白色に着
色することで、未処理の場合（図９における縦軸上で
０．４）に比較して、概ね２倍（図９における縦軸上で
０．８）の可視光量が得られる。

【００３４】図１０は、図１および図２に示した放電型
表示装置１において、各放電室２６に対し、前面基板１
１の表示電極１２ａおよび母線１２ｂと発光基板２１の
表示電極２３とに印加される電圧とＸｅの分圧との関係
を示すグラフである。

【００３５】図１０に示されるように、放電形式を対向
放電としたことにより、混合ガス中のＸｅの分圧が概ね
６０％よりも低い場合に、放電開始電圧を３５０Ｖより
低い電圧に設定できることが認められる。従って、Ｘｅ
の分圧の最適値は、放電開始電圧を低くするという観点
からは、１５％〜６０％が好ましい。なお、同一条件に
おける周知の面放電型の放電型表示装置の放電開始電圧
は、Ｘｅの分圧が１５％程度であっても４００Ｖを越え
ることから、対向放電に比べて高耐圧の駆動素子を用い
る必要となる。

【００３６】図１１は、図１および図２に示した放電型
表示装置１において、各放電室２６を構成する障壁２４
の高さと発光効率との関係を示すグラフである。なお、
図１１において、発光効率を示すスケールは、任意目盛
りである。また、図１１に示す結果は、蛍光面保護膜２
９を伴った状態で計測したものである。

【００３７】図１１に示されるように、放電形式を対向
放電としたことにより、障壁２４の高さと発光効率は、
概ね比例することが認められる。従って、発光効率の向
上という観点から、発光基板２１と前面基板１１との間
の実効的な間隔は、好ましくは１５０μｍ以上に設定さ
れる。また、障壁２４の高さは、上述、発光基板２１と
前面基板１１との間の実効的な間隔の７０％以上がクロ
ストークの低減のために望ましい。

【００３８】図１２は、図１および図２に示した対向放
電型表示装置とは異なる面放電型の平面表示装置の実施
の形態を、１画素を取り出して断面図として示した概略
図である。なお、図１および図２に示した構成と類似し
た同一の構成には同じ符号を付して、詳細な説明を省略
する。また、図４ないし図１１を用いて説明した各要素
の特性は、共通であるものとする。

【００３９】図１２に示されるように、放電型表示装置
１０１は、Ｎｅに対するＸｅの分圧が１５ないし４０％
に設定された混合ガスＧを密閉する前面基板１１１およ
び発光基板１２１を有している。

【００４０】前面基板１１１の発光基板１２１と対向す
る面には、可視光線の波長に対して透明な材質で形成さ
れ、第１の方向に所定本数延出されたＸ表示電極１１２
ａとＸ表示電極１１２ａと一体的に形成された金属の母
線電極１１２ｂおよびＸ表示電極１１２ａと同様に可視
光線の波長に対して透明な材質で形成され、Ｘ表示電極
１１２ａに平行に所定本数延出されたＹ表示電極１１３
ａとＹ表示電極１１３ａと一体的に形成された金属の母
線電極１１３ｂとが配列されている。なお、Ｘ表示電極
の母線１１２ｂならびにＹ表示電極の母線１１３ｂは、
それぞれ、図示しない行駆動線により、駆動回路と接続
されている。

【００４１】Ｘ表示電極１１２ａと母線１１２ｂおよび
Ｙ表示電極１１３ａと母線１１３ｂならびにそれぞれが
形成されていない前面基板１１１の露出された部分に
は、誘電体層１３が形成されている。

【００４２】誘電体層１３には、Ｘｅ^* およびＸｅ₂ ^*
に対して高い反射効率を呈するＹＦ₃ を含み、Ｘｅが発
生する紫外線を発光基板１２１側に反射するＵＶ反射層
１４が形成されている。ＵＶ反射層１４は、以下に説明
する放電室１２６内で発生する紫外線の利用効率を高め
るもので、発光効率を向上するために有益である。

【００４３】ＵＶ反射層１４には、前面基板１１１と発
光基板１２１と間で発生される放電からＵＶ反射層１４
を保護する保護膜１５が形成されている。なお、保護膜
１５としては、例えばＭｇＯが利用される。

【００４４】発光基板１２１の前面基板１１１と対向す
る面には、例えばＹ表示電極１１３ａと平行に複数本延
出され、前面基板１１１に設けられたＸ表示電極１１２
ａとＹ表示電極１１３ａに所定の電圧が印加されること
による放電に先だって、以下に説明する放電室１２６に
おいて予備放電を実行するとともに、画像表示のための
Ｘ表示電極１１２ａとＹ表示電極１１３ａによる放電で
発光基板１２１と前面基板１１１との間に注入された混
合ガスＧから紫外線を発生すべき放電室１２６を選択す
るためのアドレス電極１２２が、形成されている。アド
レス電極１２２はまた、各ドットの対応表示色（Ｒ，
Ｇ，Ｂのいづれか）に合わせて、１画素あたり３本用意
される。

【００４５】アドレス電極１２２の両側には、それぞれ
の電極と平行に延出された障壁２４が所定の間隔で配列
されている。すなわち、アドレス電極１２２は、２つの
障壁２４により区分されることで、それぞれ、前面基板
１１１との間で放電室１２６を構成する。なお、障壁２
４の高さすなわち発光基板１２１からの長さは、それぞ
れ、図１１を用いて上述したように、発光基板１２１と
前面基板１１１との間の実効的な間隔が好ましくは１１
０μｍ以内に設定される場合にその間隔の概ね７０％程
度に、また障壁２４の幅は、画素の密度および画面サイ
ズに応じて規定される所定幅に設定されている。

【００４６】放電室１２６の内側すなわちアドレス１２
２を区分する２つの障壁２４の側面および障壁２４に挟
まれた発光基板１２１の前面基板１１１に面した面に
は、図２を用いて既に説明したと同様に、放電室１２６
内で混合ガスＧから発生される紫外線により所定波長の
蛍光（可視光）を発生する蛍光面２８と蛍光面２８が発
生する可視光を前面基板１１１に向けて反射する背面反
射層２７が形成されている。

【００４７】図１３は、図１および図２に示した対向放
電型表示装置および図１２に示した面放電型表示装置の
それぞれとはさらに別のバリアリブタイプの放電型表示
装置の１画素を取り出した示す概略断面図である。な
お、図１および図２に示した構成と同一の構成には、同
じ符号を付して詳細な説明を省略する。また、図４ない
し図１１を用いて説明した各要素の特性は、共通である
ものとする。

【００４８】図１３に示されるように、放電型表示装置
３０１は、前面基板３１１と発光基板３２１とを有して
いる。両基板の間には、Ｎｅに対するＸｅの分圧が１５
％〜６０％に設定された混合ガスＧが密閉されている。

【００４９】前面基板３１１の発光基板３２１と対向す
る面には、面方向に、複数本延出された透明電極３１２
ａと母線３１２ｂが配置されている。この透明電極３１
２ａは、アドレス電極として利用される。

【００５０】透明電極３１２ａと母線３１２ｂおよび電
極が設けられていない前面基板３１１の露出された部分
には、誘電体層１３が形成されている。誘電体層１３に
は、可視光を透過する蛍光体を含む可視光透過蛍光体層
３３０が配置されている。なお、可視光透過蛍光体層３
３０には、Ｘｅ^* およびＸｅ₂ ^* に対して高い反射効率
を呈するＹＦ₃ を含み、Ｘｅが発生する紫外線を発光基
板３２１側に反射するＵＶ反射層３１４あるいは前面基
板３１１と発光基板３２１と間で発生される放電から蛍
光体層３３０を保護する保護膜３１５の少なくとも一方
が形成されている。なお、保護膜３１５としては、例え
ばＭｇＯが利用される。また、ＵＶ反射層３１４および
保護層３１５の双方が利用されても良いことはいうまで
もない。

【００５１】可視光透過蛍光体層３３０は、図２または
図１２に既に説明した放電室２６または１２６に類似し
た構成の放電室３２６において、混合ガスＧにより発生
された紫外線により蛍光（可視光）を発生するもので、
これまで、発光基板により発生された可視光を透過する
のみであった前面基板においても、放電により到達する
光を直接可視光とすることができる。従って、放電室３
２６内で発生する紫外線および蛍光の利用効率がより高
められ、発光効率がさらに改善される。なお、前面基板
３１１に可視光透過性蛍光体３３０を配置する場合、可
視光透過性蛍光体３３０を配置することにより、以下に
説明する隔壁３２４が前面基板３１１まで達していない
構造においては、隔壁３２４の端部（前面基板３１１に
対して平行となる領域）で乱反射が生じるおそれがある
ことから、前面基板３１１に可視光透過性蛍光層３３０
を用いる場合には、隔壁３２４の頂部に、反射率の低い
材質、例えば黒色塗料（図示しない）を塗布することが
好ましい。また、隔壁３２４の頂部に黒色塗料を塗布す
ることに代えて、前面基板３１１を平面方向すなわち表
示面３１１ａから見た状態で、前面基板３１１が隔壁３
２４を透視可能な領域すなわち隔壁３２４の頂部に対向
する前面基板３１１の保護層３１５に、フィルタ部材３
３５を配置してもよい。

【００５２】発光基板３２１には、前面基板３１１の透
明基板３１２ａが延出されている第１の方向と直交する
第２の方向に延出されるとともに、発光基板３２１から
前面基板３１１に向けて発光基板３２１から概ね垂直
に、１画素当たり３本延出された複数の障壁３２４が形
成されている。なお、２つの障壁３２４により区分され
た領域は、前面基板３１１との間で放電室３２６を提供
する。

【００５３】２つの障壁３２４が対向される面すなわち
放電室３２６の内壁であって、障壁３２４の高さ方向概
ね中央または発光基板３２１上には、放電室３２６毎に
対をなすよう配置された第１および第２の放電電極３３
１および３３２が設けられている。なお、第１および第
２の放電電極３３１および３３２は、それぞれ、図１お
よび図２に示したパネル装置における表示電極１２ａ
（母線１２ｂ）および対向電極２３に対応されるもの
で、アドレス電極３１２ａを併用して、図示しない制御
回路により任意の行と列とが指定された位置で、対応表
示色（Ｒ，Ｇ，Ｂのいづれか）を選択的に表示する。ま
た、第１および第２の放電電極３３１，３３２は、図１
および図２に示したパネル装置における母線１２ｂおよ
び表示電極１２ａと表示電極２３とにより提供される放
電間隔と同一に設定することにより、アドレス電極の無
い状態では、図１０で示した対向放電と同等な放電開始
電圧でできることに加えて、アドレス電極による予備放
電を加えることにより、さらに放電開始電圧を下げるこ
とができる。

【００５４】放電室３２６の内側すなわち第１および第
２の放電電極３３１，３３２を区分する各障壁３２４の
各放電電極３３１，３３２が配置されている面と発光基
板３２１の前面基板３１１に面した面により囲まれる部
分には、背面反射層３３３が形成されている。背面反射
層３３３は、以下に説明する反射膜３３３上に形成され
る小粒径球状蛍光体粒子からなる蛍光面から発生された
可視光が発光基板３２１を通り抜けることを防止するこ
とにより、前面基板３１１の表示面３１１ａから目視可
能な表示光の光量を増大させるもので、好ましくは、Ａ
ｌ₂ Ｏ₃ ，ＴｉＯ₂ ，ＭｇＯまたはＭｇＦ₂ 等が利用さ
れる。なお、背面反射層３３３に利用する粒子には、好
ましくは、Ｘｅにより発生された紫外線により励起され
た蛍光体が出力する可視光とＸｅにより発生された紫外
線そのものを反射することのできる特性が与えられる。

【００５５】放電室３２６の内側において背面反射層３
３３が形成された領域には、蛍光面２８が形成されてい
る。蛍光面２８は、上述した他例と同様に、平均粒径が
３μｍ以下、好ましくは２μｍ以下、より好ましくは１
μｍ以下の小球形に形成された複数の球状蛍光体が利用
される。なお、蛍光面２８の厚さは、周知の放電型表示
装置の蛍光体厚さに比較して、数分の１の、例えば５μ
ｍに設定される。また、蛍光面２８には、既に説明した
例と同様に、例えばＭｇＯとＭｇＦ₂ を含む蛍光面保護
膜２９がコーティングされている。

【００５６】図１４は、図１および図２、図１２あるい
は図１３に示した放電型表示装置に利用される蛍光体の
製造方法を示す概略図である。図１４に示されるよう
に、蛍光体は、熱プラズマ装置４０１により、最高温度
が３０００°Ｃより低い環境下において、平均粒径が概
ね３μｍ以下、好ましくは２μｍ以下、より好ましくは
１μｍ以下の球状に形成される。すなわち、排気ポンプ
４１１により、所定の圧力に減圧されたプラズマ容器本
体４１３内には、プラズマトーチ４１５が通過しうるフ
レーム炉４１７で加熱された粉体原料が、噴射口４１９
からプラズマ容器本体４１３の内壁に直接接することの
ないよう、放出される。これにより、複雑な組成であっ
ても、小粒径で、球形の蛍光体粉末が得られる。

【００５７】

【発明の効果】以上説明したように、この発明のプラズ
マ放電型平面表示装置は、前面基板側に、放電により生
じる紫外線を発光基板に設けられている蛍光体に向けて
反射する紫外線反射膜を有し、放電ガス中のＸｅの分圧
を１５％〜６０％の範囲とし、表示電極を対向配置し、
放電室内の蛍光体の平均粒径を小粒径としたことによ
り、低い放電開始電圧による放電開始を可能で、しかも
発光効率が向上されている。

【００５８】また、放電室の壁面を反射層で覆い、蛍光
体層および表示電極を誘電体保護膜により保護したこと
により、寿命の増大および発光効率の向上を可能として
いる。従って、発光効率が高く、画面輝度の高い放電型
平面表示装置が提供される。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明のプラズマ放電型平面表示装置を示す
概略図。

【図２】図１に示した表示装置の単位画素を概略的に示
す部分断面図。

【図３】図１および図２に示した表示装置の駆動回路の
一例を示すブロック図。

【図４】図１および図２に示した表示装置の各放電室で
発生される紫外線の波長分布を示すグラフ。

【図５】図１および図２に示した表示装置の混合ガス中
のＸｅの分圧と発光効率の関係を示すグラフ。

【図６】図３に示した行駆動回路および列駆動回路のそ
れぞれにより、図１に示した表示装置の各放電室に、サ
ブフィールド内で印加される画像表示パルスのパルスの
立ち上がり時間と発光効率との関係を示すグラフ。

【図７】図１および図２に示した表示装置の前面基板の
ＵＶ反射層に用いられる誘電体多層膜の反射特性を示す
グラフ。

【図８】図１および図２に示した表示装置に図７に示し
た反射特性を有するＵＶ反射膜を用いたことにより、放
電室から放射される可視光の発光効率が改善される様子
を示すグラフ。

【図９】図１および図２に示した表示装置の各放電室内
から取り出される可視光の割合と各放電室の発光基板側
に形成される背面反射層との関係を示すグラフ。

【図１０】図１および図２に示した表示装置の放電室に
対し、前面基板の表示電極および母線と発光基板の表示
電極との間に印加される電極間電圧とＸｅの分圧との関
係を示すグラフ。

【図１１】図１および図２に示した表示装置の各放電室
を構成する画素内障壁および障壁の高さと発光効率との
関係を示すグラフ。

【図１２】図１および図２に示した表示装置とは異なる
別の実施の形態を、１画素を取り出して断面図として示
した概略図。

【図１３】図１および図２に示した表示装置とは異なる
別の実施の形態を、１画素を取り出して断面図として示
した概略図。

【図１４】図１および図２、および図１１のそれぞれに
示した表示装置に利用される球形小粒径蛍光体の製造に
利用される熱プラズマ装置を示す概略図。

【符号の説明】

１ …放電型表示装置（プラズマ放電型平面表示装
置）、 １１ …前面基板、 １２ａ…表示電極、 １２ｂ…母線（金属電極）、 １３ …誘電体層、 １４ …ＵＶ反射層（紫外線反射膜）、 １５ …保護膜、 ２１ …発光基板、 ２３ …表示電極（対向電極）、 ２４ …障壁、 ２６ …放電室、 ２７ …背面反射層、 ２８ …蛍光面、 ２９ …保護膜、 １１１ …前面基板、 １１２ａ…Ｘ表示電極、 １１２ｂ…母線（金属電極）、 １１３ａ…Ｙ表示電極、 １１３ｂ…母線（金属電極）、 １２１ …発光基板、 １２２ …アドレス電極（第３の電極）、 １２６ …放電室、 ２０１ …列駆動回路、 ２０３ …行駆動回路、 ２０７ …フレームメモリ、 ２０９ …ビデオインタフェイス、 ２１１ …主制御回路、 ２１３ …ＲＯＭ（プログラムメモリ）、 ２１５ …基本クロック発生回路、 ２１７ …垂直同期信号発生回路、 ２１９ …水平同期信号発生回路、 ３０１ …放電型表示装置、 ３２１ …発光基板、 ３３０ …可視光透過蛍光体層、 ３３１ …第１の放電電極、 ３３２ …第２の放電電極、 ３３３ …背面反射層、 ３３５ …黒色フィルタ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 寺井 清寿 神奈川県川崎市川崎区浮島町２番１号 株式会社東芝浜川崎工場内 (72)発明者 保科 好一 神奈川県川崎市川崎区浮島町２番１号 株式会社東芝浜川崎工場内 (72)発明者 玉谷 正昭 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地 株式会社東芝研究開発センター内 (72)発明者 沖田 裕二 東京都府中市晴見町２丁目24番地の１ 東芝エフエーシステムエンジニアリング 株式会社内 (72)発明者 津田 亮二 神奈川県川崎市川崎区日進町７番地１ 東芝電子エンジニアリング株式会社内 (56)参考文献 特開 平９−120776（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−157643（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−293262（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−325697（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01J 11/02

Claims (60)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】対向配置される一対の基板と、前記基板間
   に封入される放電用ガスと、前記一対の基板間に配置さ
   れ、前記放電用ガスを励起させて紫外線を発生せしめる
   励起手段と、前記紫外線に基づいて所定の可視光を放出
   せしめる光変換手段とを備えた放電型平面表示装置にお
   いて、 前記放電用ガスは、ハロゲンを実質的に含まない主放電
   ガスと放電を制御する放電制御ガスとの混合ガスとから
   なり、前記励起手段に基づいてエキシマ発光されるよう
   調圧されてなることを特徴とする放電型平面表示装置。
2. 【請求項２】前記放電用ガスは、主放電ガスと放電を制
   御する放電制御ガスとを含み、前記主放電ガスの分圧が
   １５％以上に設定されていることを特徴とする請求項第
   １項記載の放電型平面表示装置。
3. 【請求項３】前記放電用ガスは、主放電ガスがＸｅを含
   み、放電制御ガスがＮｅまたはＨｅの少なくとも一方を
   含むことを特徴とする請求項第１項または第２項のいづ
   れかに記載の放電型平面表示装置。
4. 【請求項４】前記放電用ガスによるエキシマ発光の波長
   が１７２ｎｍであることを特徴とする請求項第１項ない
   し第３項のいづれかに記載の放電型平面表示装置。
5. 【請求項５】前記励起手段は、前記一対の基板のそれぞ
   れの内側の主表面に対向配置される第１電極および第２
   電極を含むことを特徴とする請求項第１項ないし第４項
   のいづれかに記載の放電型平面表示装置。
6. 【請求項６】前記励起手段は、前記一対の基板のそれぞ
   れの内側の主表面に対向配置されるアドレス電極および
   一対の放電電極を含むことを特徴とする請求項第１項な
   いし第４項のいづれかに記載の放電型平面表示装置。
7. 【請求項７】前記一対の基板間に、前記基板の一方から
   他の一方の基板に向けて延出された複数の隔壁を含むこ
   とを特徴とする請求項第１項ないし第４項のいづれかに
   記載の放電型平面表示装置。
8. 【請求項８】前記隔壁は、前記一対の基板間において、
   前記隔壁の基部が形成される基板に対向する基板との間
   の距離が前記一対の基板間距離に比較して概ね７０％で
   あることを特徴とする請求項第７項記載の放電型平面表
   示装置。
9. 【請求項９】前記励起手段は、前記複数の隔壁のそれぞ
   れに、互いに対をなして形成される第１電極および第２
   電極を含むことを特徴とする請求項第７項記載の放電型
   平面表示装置。
10. 【請求項１０】前記光変換手段は、前記第２電極上に配
    置される蛍光体層を含むことを特徴とする請求項第５項
    記載の放電型平面表示装置。
11. 【請求項１１】前記光変換手段は、前記アドレス電極上
    に配置された蛍光体層を含むことを特徴とする請求項第
    ６項記載の放電型平面表示装置。
12. 【請求項１２】前記光変換手段は、前記隔壁に形成され
    た前記励起手段上に配置される蛍光体層を含むことを特
    徴とする請求項第９項記載の放電型平面表示装置。
13. 【請求項１３】前記蛍光体層は、平均粒径が３μｍ以下
    の蛍光体粒子が分散されてなることを特徴とする請求項
    第１０項ないし第１２項のいづれかに記載の放電型平面
    表示装置。
14. 【請求項１４】前記基板の一方の基板と前記第２電極と
    の間に紫外線反射膜を有することを特徴とする請求項第
    ５項および第９項のいづれかに記載の放電型平面表示装
    置。
15. 【請求項１５】前記基板の一方の基板と前記アドレス電
    極との間に紫外線反射膜を有することを特徴とする請求
    項第６項記載の放電型平面表示装置。
16. 【請求項１６】前記一対の基板間相互の距離をｄとする
    とき、前記放電用ガスの圧力ｐが、 ｐ・ｄ ≧ ７．５ （ｔｏｒｒ・ｃｍ） を満足することを特徴とする請求項第１項ないし第１５
    項のいづれかに記載の放電型平面表示装置。
17. 【請求項１７】対向配置される一対の基板と、前記基板
    間に封入される放電用ガスと、前記一対の基板間に配置
    され、前記放電用ガスを励起させて紫外線を発生せしめ
    る励起手段と、前記紫外線に基づいて所定の可視光を放
    出せしめる光変換手段とを備えた放電型平面表示装置に
    おいて、 前記光変換手段の他の基板側または前記一対の基板の内
    の前記光変換手段から離れた基板の前記光変換手段側
    に、紫外線を反射する紫外線反射膜を有することを特徴
    とする放電型平面表示装置。
18. 【請求項１８】前記励起手段は、前記一対の基板のそれ
    ぞれの内側の主表面に対向配置される第１電極および第
    ２電極を含むことを特徴とする請求項第１７項記載の放
    電型平面表示装置。
19. 【請求項１９】前記励起手段は、前記一対の基板のそれ
    ぞれの内側の主表面に対向配置されるアドレス電極およ
    び一対の放電電極を含むことを特徴とする請求項第１７
    項記載の放電型平面表示装置。
20. 【請求項２０】前記一対の基板間に、前記基板の一方か
    ら他の一方の基板に向けて延出された複数の隔壁を含む
    ことを特徴とする請求項第１７項記載の放電型平面表示
    装置。
21. 【請求項２１】前記隔壁は、前記一対の基板間におい
    て、前記隔壁の基部が形成される基板に対向する基板と
    の間の距離が前記一対の基板間距離に比較して概ね７０
    ％であることを特徴とする請求項第２０項記載の放電型
    平面表示装置。
22. 【請求項２２】前記励起手段は、前記複数の隔壁のそれ
    ぞれに、互いに対をなして形成される第１電極および第
    ２電極を含むことを特徴とする請求項第２１項記載の放
    電型平面表示装置。
23. 【請求項２３】前記光変換手段は、前記第２電極上に配
    置される蛍光体層を含むことを特徴とする請求項第１８
    項記載の放電型平面表示装置。
24. 【請求項２４】前記光変換手段は、前記アドレス電極上
    に配置された蛍光体層を含むことを特徴とする請求項第
    １９項記載の放電型平面表示装置。
25. 【請求項２５】前記光変換手段は、前記隔壁に形成され
    た前記励起手段上に配置される蛍光体層を含むことを特
    徴とする請求項第２０項記載の放電型平面表示装置。
26. 【請求項２６】前記蛍光体層は、平均粒径が３μｍ以下
    の蛍光体粒子が分散されてなることを特徴とする請求項
    第１８項ないし第２０項のいづれかに記載の放電型平面
    表示装置。
27. 【請求項２７】前記基板の一方の基板と前記第２電極と
    の間に紫外線反射膜を有することを特徴とする請求項第
    １８項および第２０項のいづれかに記載の放電型平面表
    示装置。
28. 【請求項２８】前記基板の一方の基板と前記アドレス電
    極との間に紫外線反射膜を有することを特徴とする請求
    項第１９項記載の放電型平面表示装置。
29. 【請求項２９】前記一対の基板間相互の距離をｄとする
    とき、前記放電用ガスの圧力ｐが、 ｐ・ｄ ≧ ７．５ （ｔｏｒｒ・ｃｍ） を満足することを特徴とする請求項第１７項ないし第２
    ８項のいづれかに記載の放電型平面表示装置。
30. 【請求項３０】対向配置される一対の基板と、前記基板
    間に封入される放電用ガスと、前記一対の基板間に配置
    され、前記放電用ガスを励起させて紫外線を発生せしめ
    る励起手段と、前記紫外線に基づいて所定の可視光を放
    出せしめる光変換手段とを備えた放電型平面表示装置に
    おいて、 前記放電用ガスは、少なくとも分圧が１５％以上の主放
    電ガスと、放電を制御する放電制御ガスとの混合ガスと
    からなり、前記励起手段に基づいてエキシマ発光される
    よう調圧されてなることを特徴とする放電型平面表示装
    置。
31. 【請求項３１】前記放電用ガスは、主放電ガスがＸｅを
    含み、放電制御ガスがＮｅまたはＨｅの少なくとも一方
    を含むことを特徴とする請求項第３０項記載の放電型平
    面表示装置。
32. 【請求項３２】前記放電用ガスによるエキシマ発光の波
    長が１７２ｎｍであることを特徴とする請求項第３０項
    または第３１項のいづれかに記載の放電型平面表示装
    置。
33. 【請求項３３】前記励起手段は、前記一対の基板のそれ
    ぞれの内側の主表面に対向配置される第１電極および第
    ２電極を含むことを特徴とする請求項第３０項ないし第
    ３２項のいづれかに記載の放電型平面表示装置。
34. 【請求項３４】前記励起手段は、前記一対の基板のそれ
    ぞれの内側の主表面に対向配置されるアドレス電極およ
    び一対の放電電極を含むことを特徴とする請求項第３０
    項ないし第３２項のいづれかに記載の放電型平面表示装
    置。
35. 【請求項３５】前記一対の基板間に、前記基板の一方か
    ら他の一方の基板に向けて延出された複数の隔壁を含む
    ことを特徴とする請求項第３０項ないし第３２項のいづ
    れかに記載の放電型平面表示装置。
36. 【請求項３６】前記隔壁は、前記一対の基板間におい
    て、前記隔壁の基部が形成される基板に 対向する基板と
    の間の距離が前記一対の基板間距離に比較して概ね７０
    ％であることを特徴とする請求項第３５項記載の放電型
    平面表示装置。
37. 【請求項３７】前記励起手段は、前記複数の隔壁のそれ
    ぞれに、互いに対をなして形成される第１電極および第
    ２電極を含むことを特徴とする請求項第３５項記載の放
    電型平面表示装置。
38. 【請求項３８】前記光変換手段は、前記第２電極上に配
    置される蛍光体層を含むことを特徴とする請求項第３３
    項記載の放電型平面表示装置。
39. 【請求項３９】前記光変換手段は、前記アドレス電極上
    に配置された蛍光体層を含むことを特徴とする請求項第
    ３４項記載の放電型平面表示装置。
40. 【請求項４０】前記光変換手段は、前記隔壁に形成され
    た前記励起手段上に配置される蛍光体層を含むことを特
    徴とする請求項第３７項記載の放電型平面表示装置。
41. 【請求項４１】前記蛍光体層は、平均粒径が３μｍ以下
    の蛍光体粒子が分散されてなることを特徴とする請求項
    第３８項ないし第４０項のいづれかに記載の放電型平面
    表示装置。
42. 【請求項４２】前記基板の一方の基板と前記第２電極と
    の間に紫外線反射膜を有することを特徴とする請求項第
    ３３項および３７項のいづれかに記載の放電型平面表示
    装置。
43. 【請求項４３】前記基板の一方の基板と前記アドレス電
    極との間に紫外線反射膜を有することを特徴とする請求
    項第３４項記載の放電型平面表示装置。
44. 【請求項４４】前記一対の基板間相互の距離をｄとする
    とき、前記放電用ガスの圧力ｐが、 ｐ・ｄ ≧ ７．５ （ｔｏｒｒ・ｃｍ） を満足することを特徴とする請求項第３０項ないし第４
    ３項のいづれかに記載の 放電型平面表示装置。
45. 【請求項４５】対向配置される一対の基板と、前記基板
    間に封入される放電用ガスと、前記一対の基板間に配置
    され、前記放電用ガスを励起させて紫外線を発生せしめ
    る励起手段と、前記紫外線に基づいて所定の可視光を放
    出せしめる光変換手段とを備えた放電型平面表示装置に
    おいて、 前記放電用ガスは、Ｘｅのみからなる主放電ガスと、放
    電を制御する放電制御ガスとの混合ガスとからなり、前
    記励起手段に基づいてエキシマ発光されるよう調圧され
    てなることを特徴とする放電型平面表示装置。
46. 【請求項４６】前記混合ガスにおいて、前記主放電ガス
    の分圧が１５％以上に設定されていることを特徴とする
    請求項第４５項記載の放電型平面表示装置。
47. 【請求項４７】前記放電制御ガスがＮｅまたはＨｅの少
    なくとも一方を含むことを特徴とする請求項第４５項記
    載の放電型平面表示装置。
48. 【請求項４８】前記放電用ガスによるエキシマ発光の波
    長が１７２ｎｍであることを特徴とする請求項第４５項
    ないし第４７項のいづれかに記載の放電型平面表示装
    置。
49. 【請求項４９】前記励起手段は、前記一対の基板のそれ
    ぞれの内側の主表面に対向配置される第１電極および第
    ２電極を含むことを特徴とする請求項第４５項ないし第
    ４８項のいづれかに記載の放電型平面表示装置。
50. 【請求項５０】前記励起手段は、前記一対の基板のそれ
    ぞれの内側の主表面に対向配置されるアドレス電極およ
    び一対の放電電極を含むことを特徴とする請求項第４５
    項ないし第４８項のいづれかに記載の放電型平面表示装
    置。
51. 【請求項５１】前記一対の基板間に、前記基板の一方か
    ら他の一方の基板に向けて延出された複数の隔壁を含む
    ことを特徴とする請求項第４５項ないし第４７項のいづ
    れかに 記載の放電型平面表示装置。
52. 【請求項５２】前記隔壁は、前記一対の基板間におい
    て、前記隔壁の基部が形成される基板に対向する基板と
    の間の距離が前記一対の基板間距離に比較して概ね７０
    ％であることを特徴とする請求項第５１項記載の放電型
    平面表示装置。
53. 【請求項５３】前記励起手段は、前記複数の隔壁のそれ
    ぞれに、互いに対をなして形成される第１電極および第
    ２電極を含むことを特徴とする請求項第５１項記載の放
    電型平面表示装置。
54. 【請求項５４】前記光変換手段は、前記第２電極上に配
    置される蛍光体層を含むことを特徴とする請求項第４９
    項記載の放電型平面表示装置。
55. 【請求項５５】前記光変換手段は、前記アドレス電極上
    に配置された蛍光体層を含むことを特徴とする請求項第
    ５０項記載の放電型平面表示装置。
56. 【請求項５６】前記光変換手段は、前記隔壁に形成され
    た前記励起手段上に配置される蛍光体層を含むことを特
    徴とする請求項第５３項記載の放電型平面表示装置。
57. 【請求項５７】前記蛍光体層は、平均粒径が３μｍ以下
    の蛍光体粒子が分散されてなることを特徴とする請求項
    第５４項ないし第５６項のいづれかに記載の放電型平面
    表示装置。
58. 【請求項５８】前記基板の一方の基板と前記第２電極と
    の間に紫外線反射膜を有することを特徴とする請求項第
    ４９項および５３項のいづれかに記載の放電型平面表示
    装置。
59. 【請求項５９】前記基板の一方の基板と前記アドレス電
    極との間に紫外線反射膜を有することを特徴とする請求
    項第５０項記載の放電型平面表示装置。
60. 【請求項６０】前記一対の基板間相互の距離をｄとする
    とき、前記放電用ガスの圧力ｐが、 ｐ・ｄ ≧ ７．５ （ｔｏｒｒ・ｃｍ） を満足することを特徴とする請求項第４５項ないし第５
    ９項のいづれかに記載の放電型平面表示装置。