JP3162831B2 - 焦電型センサの温度補正方法 - Google Patents
焦電型センサの温度補正方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、特定波長の光を検出す
ることができる焦電型センサの温度補正方法に関し、特
にガス分析装置または温度測定装置に好適に使用できる
焦電型センサの温度補正方法に関するものである。
ることができる焦電型センサの温度補正方法に関し、特
にガス分析装置または温度測定装置に好適に使用できる
焦電型センサの温度補正方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、背景温度（放射エネルギー
量）と被測定物との温度差（エネルギー差）を検出して
出力する微分型センサの一例として、焦電型センサが知
られている。図４に従来から公知の焦電型センサの一例
として焦電型赤外線センサの例を示す。図４において、
６１は必要な波長の赤外線のみを透過させる光学フィル
タ、６２は赤外線を熱に変換する熱吸収膜、６３はＰＺ
Ｔ（チタン酸ジルコン酸鉛系セラミック）強誘電体セラ
ミックスからなる感知素子、６４はアルミナ基板、６５
はＦＥＴ、６６はケース、６７はドレイン端子、６８は
ソース端子、６９はアース端子である。
量）と被測定物との温度差（エネルギー差）を検出して
出力する微分型センサの一例として、焦電型センサが知
られている。図４に従来から公知の焦電型センサの一例
として焦電型赤外線センサの例を示す。図４において、
６１は必要な波長の赤外線のみを透過させる光学フィル
タ、６２は赤外線を熱に変換する熱吸収膜、６３はＰＺ
Ｔ（チタン酸ジルコン酸鉛系セラミック）強誘電体セラ
ミックスからなる感知素子、６４はアルミナ基板、６５
はＦＥＴ、６６はケース、６７はドレイン端子、６８は
ソース端子、６９はアース端子である。
【０００３】図４に示す構造の焦電型センサにおいて、
赤外線が熱吸収膜６２に吸収され熱となり、感知素子６
３の温度が上昇して焦電効果により表面電荷が発生し、
発生した表面電荷をＦＥＴ６５が電圧増幅し、ソース端
子６８とアース端子６９との間に電圧として出力する構
成となっている。なお、ドレイン端子６７からはＦＥＴ
６５を動作させるための電圧が供給されている。
赤外線が熱吸収膜６２に吸収され熱となり、感知素子６
３の温度が上昇して焦電効果により表面電荷が発生し、
発生した表面電荷をＦＥＴ６５が電圧増幅し、ソース端
子６８とアース端子６９との間に電圧として出力する構
成となっている。なお、ドレイン端子６７からはＦＥＴ
６５を動作させるための電圧が供給されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した構造の焦電型
センサにおいては、光学フィルタ６１の特性を変化させ
て所望の波長を有する光のみが透過するよう構成するこ
とにより、赤外線のみならず、種々のガスや放射温度を
好適に測定することができるが、周囲温度の変化によっ
て出力が変化してしまう問題があった。すなわち、焦電
型センサは周囲温度の緩やかな変化と周囲温度の急な変
化では、焦電型センサの発生する信号の大きさが異な
り、現状ではこの温度の変化度合が異なる場合の最適な
温度補正方法が知られておらず、正確な出力を得ること
ができず、特にガス分析装置や温度測定装置として用い
た場合に正確な出力を得ることができない問題があっ
た。
センサにおいては、光学フィルタ６１の特性を変化させ
て所望の波長を有する光のみが透過するよう構成するこ
とにより、赤外線のみならず、種々のガスや放射温度を
好適に測定することができるが、周囲温度の変化によっ
て出力が変化してしまう問題があった。すなわち、焦電
型センサは周囲温度の緩やかな変化と周囲温度の急な変
化では、焦電型センサの発生する信号の大きさが異な
り、現状ではこの温度の変化度合が異なる場合の最適な
温度補正方法が知られておらず、正確な出力を得ること
ができず、特にガス分析装置や温度測定装置として用い
た場合に正確な出力を得ることができない問題があっ
た。
【０００５】本発明の目的は上述した課題を解決して、
温度の急変時や温度が緩慢な変化を示す場合でも正確な
出力を得ることができる焦電型センサの温度補正方法を
提供しようとするものである。
温度の急変時や温度が緩慢な変化を示す場合でも正確な
出力を得ることができる焦電型センサの温度補正方法を
提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の焦電型センサの
温度補正方法は、焦電型センサの近傍に焦電型センサの
周囲温度を計測する測温素子を設置し、この測温素子に
より焦電型センサの周囲温度Ｔを測定し、測定した周囲
温度Ｔから以下の演算によりＨ１、Ｈ２およびＨ３を求
め、
温度補正方法は、焦電型センサの近傍に焦電型センサの
周囲温度を計測する測温素子を設置し、この測温素子に
より焦電型センサの周囲温度Ｔを測定し、測定した周囲
温度Ｔから以下の演算によりＨ１、Ｈ２およびＨ３を求
め、
【数３】Ｈ１＝（１＋Ｋ１＊（Ｔ−Ｔ０）） Ｈ２＝ｄ（Ｋ２＊（ＴーＴ０））／ｄｔ Ｈ３＝ｄ（Ｋ３＊（Ｔ4 −Ｔ０4 ））／ｄｔ （ここで、Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３は定数、Ｔ０は基準温度で
ある） 焦電型センサの信号Ｓｘを、求めたＨ１、Ｈ２およびＨ
３から以下の式に基づき演算して、補正信号Ｓを求め、
ある） 焦電型センサの信号Ｓｘを、求めたＨ１、Ｈ２およびＨ
３から以下の式に基づき演算して、補正信号Ｓを求め、
【数４】Ｓ＝Ｓｘ／Ｈ１−（Ｈ２＋Ｈ３） 求めた補正信号Ｓを焦電型センサの出力とすることを特
徴とするものである。
徴とするものである。
【０００７】
【作用】上述した構成において、焦電型センサの信号
を、周囲温度に比例する補正項（Ｈ１）、周囲温度の時
間微分に比例する補正項（Ｈ２）および周囲温度を絶対
温度に変換後この絶対温度の４乗に比例する補正の時間
微分に比例する補正項（Ｈ３）に基づき温度補正してい
るため、温度が種々に変化しても常に正確な出力を得る
ことができる。以下、その理由について説明する。
を、周囲温度に比例する補正項（Ｈ１）、周囲温度の時
間微分に比例する補正項（Ｈ２）および周囲温度を絶対
温度に変換後この絶対温度の４乗に比例する補正の時間
微分に比例する補正項（Ｈ３）に基づき温度補正してい
るため、温度が種々に変化しても常に正確な出力を得る
ことができる。以下、その理由について説明する。
【０００８】今、焦電型センサに入る熱エネルギーを考
える。信号としての熱エネルギーをＰｓ、周囲温度より
ノイズとしての熱エネルギーをＰｎとすると、焦電型セ
ンサに入る熱エネルギーＱは、
える。信号としての熱エネルギーをＰｓ、周囲温度より
ノイズとしての熱エネルギーをＰｎとすると、焦電型セ
ンサに入る熱エネルギーＱは、
【数５】Ｑ＝Ｐｓ＋Ｐｎ となる。従って、焦電型センサの感度係数をＤとし、発
生する焦電型センサの信号をＳｘとすると、
生する焦電型センサの信号をＳｘとすると、
【数６】Ｓｘ＝Ｄ＊ｄＱ／ｄｔ となる。一方、この焦電型センサはＦＥＴアンプにより
信号増幅が成される。それ故、焦電型センサの感度係数
の温度依存性、ＦＥＴアンプの温度依存性および抵抗器
の温度依存性を各々ｅ１、ｅ２、ｅ３とすると、トータ
ル温度依存性は（１＋ｅ１）＊（１＋ｅ２）＊（１＋ｅ
３）となり、高次の誤差を省略すると近似的に（１＋ｅ
１＋ｅ２＋ｅ３）と現される。すなわち、これを近似的
に表現すると、
信号増幅が成される。それ故、焦電型センサの感度係数
の温度依存性、ＦＥＴアンプの温度依存性および抵抗器
の温度依存性を各々ｅ１、ｅ２、ｅ３とすると、トータ
ル温度依存性は（１＋ｅ１）＊（１＋ｅ２）＊（１＋ｅ
３）となり、高次の誤差を省略すると近似的に（１＋ｅ
１＋ｅ２＋ｅ３）と現される。すなわち、これを近似的
に表現すると、
【数７】（１＋ＫＫ１＊（Ｔ−Ｔ０））、（但し、ＫＫ
１は比例定数である。）と置ける。
１は比例定数である。）と置ける。
【０００９】一方、周囲温度のノイズ成分としての熱エ
ネルギーの伝達は、熱伝導、熱対流、熱輻射の３者があ
る。このうち、熱伝導と熱対流の項は温度の一次近似と
して表される。熱輻射の項は周囲温度の絶対値の４乗に
比例した項として表される。それ故、以下の式を得るこ
とができる。
ネルギーの伝達は、熱伝導、熱対流、熱輻射の３者があ
る。このうち、熱伝導と熱対流の項は温度の一次近似と
して表される。熱輻射の項は周囲温度の絶対値の４乗に
比例した項として表される。それ故、以下の式を得るこ
とができる。
【数８】 Ｐｎ＝（ＫＫ２＊（Ｔ−Ｔ０）＋ＫＫ３＊（Ｔ4 ＋Ｔ０4 ）） （但し、ＫＫ２、ＫＫ３は各々比例常数である） このことより、焦電型センサの出力は、
【数９】 Ｓｘ＝（１＋ＫＫ１＊（Ｔ−Ｔ０））＊Ｄ（ｄＰｓ／ｄｔ ＋ｄ（ＫＫ２＊（Ｔ−Ｔ０）＋ＫＫ３＊（Ｔ4 −Ｔ０4 ））／ｄｔ） となる。ここで、信号のみの出力Ｓは、Ｓ＝ｄＰｓ／ｄ
ｔであり、また、ＫＫ１＝Ｋ１、Ｄ＊ＫＫ２＝Ｋ２、Ｄ
＊ＫＫ３＝Ｋ３と置き、さらに補正項をＨ１＝１＋Ｋ１
＊（Ｔ−Ｔ０）、Ｈ２＝ｄ（Ｋ２＊（Ｔ−Ｔ０））／ｄ
ｔ、Ｈ３＝ｄ（Ｋ３＊（Ｔ4 −Ｔ０4 ））／ｄｔと置く
と、
ｔであり、また、ＫＫ１＝Ｋ１、Ｄ＊ＫＫ２＝Ｋ２、Ｄ
＊ＫＫ３＝Ｋ３と置き、さらに補正項をＨ１＝１＋Ｋ１
＊（Ｔ−Ｔ０）、Ｈ２＝ｄ（Ｋ２＊（Ｔ−Ｔ０））／ｄ
ｔ、Ｈ３＝ｄ（Ｋ３＊（Ｔ4 −Ｔ０4 ））／ｄｔと置く
と、
【数１０】Ｓ＝Ｓｘ／Ｈ１−（Ｈ２＋Ｈ３） と表せる。
【００１０】
【実施例】図１は本発明の焦電型センサの温度補正方法
を利用するガス分析装置の一例の構成を示す図である。
図１において、ガス分析装置は、光源部１と、セル部１
１と、検出部２１とから構成されている。光源部１は、
ケース２内に光源となるヒータ３を固定して形成してい
る。また、４はヒータ３のリード線、５はリード線４を
外部へ導くための絶縁碍子、６は光源部１とセル部１１
とを区切るＣａＦ等からなる光学まどである。セル部１
１は、ケース１２に被測定ガスを供給するためのガス入
口１３と、被測定ガスを排出するためのガス出口１４を
設けて構成している。また、１５はセル部１１と検出部
２１とを区切る光学まどである。
を利用するガス分析装置の一例の構成を示す図である。
図１において、ガス分析装置は、光源部１と、セル部１
１と、検出部２１とから構成されている。光源部１は、
ケース２内に光源となるヒータ３を固定して形成してい
る。また、４はヒータ３のリード線、５はリード線４を
外部へ導くための絶縁碍子、６は光源部１とセル部１１
とを区切るＣａＦ等からなる光学まどである。セル部１
１は、ケース１２に被測定ガスを供給するためのガス入
口１３と、被測定ガスを排出するためのガス出口１４を
設けて構成している。また、１５はセル部１１と検出部
２１とを区切る光学まどである。
【００１１】検出部２１は、ケース２２内にガスフィル
タ部２３とガス検出部３１とを設けて構成されている。
ガスフィルタ部２３は２系統設けられており、光通路２
４ａ、２４ｂの両端に光学まど２５ａ、２５ｂおよび２
６ａ、２６ｂを設け、さらに内部に基準ガスとしてのＮ
2 と測定ガスとしての例えばＣＯガスとＳＯガスを封入
して構成している。また、ガス検出部３１は、２系統の
ガスフィルタ部２２に対応して焦電型センサを３２ａ、
３２ｂを設けるとともに、各焦電型センサ３２ａ、３２
ｂの側部に測温素子３３ａ、３３ｂを設けている。ま
た、徐々に変化するガス濃度を測定可能とするために、
円板状で９０度ごとの扇型領域に交互に遮へい板を設け
たセクタ羽根３４を、２系統のガスフィルタ部２３と焦
電型センサ３２ａ、３２ｂとの間に設け、ケース２２の
外部に設けたセクタモータ３５により回転できるよう構
成している。なお、３６ａ、３６ｂはバンドパスフィル
タ、３７は焦電型センサおよび測温素子のリード線群、
３８はセクタモータのリード線群である。
タ部２３とガス検出部３１とを設けて構成されている。
ガスフィルタ部２３は２系統設けられており、光通路２
４ａ、２４ｂの両端に光学まど２５ａ、２５ｂおよび２
６ａ、２６ｂを設け、さらに内部に基準ガスとしてのＮ
2 と測定ガスとしての例えばＣＯガスとＳＯガスを封入
して構成している。また、ガス検出部３１は、２系統の
ガスフィルタ部２２に対応して焦電型センサを３２ａ、
３２ｂを設けるとともに、各焦電型センサ３２ａ、３２
ｂの側部に測温素子３３ａ、３３ｂを設けている。ま
た、徐々に変化するガス濃度を測定可能とするために、
円板状で９０度ごとの扇型領域に交互に遮へい板を設け
たセクタ羽根３４を、２系統のガスフィルタ部２３と焦
電型センサ３２ａ、３２ｂとの間に設け、ケース２２の
外部に設けたセクタモータ３５により回転できるよう構
成している。なお、３６ａ、３６ｂはバンドパスフィル
タ、３７は焦電型センサおよび測温素子のリード線群、
３８はセクタモータのリード線群である。
【００１２】上述した構成のガス分析装置では、ヒータ
３から発せられる光がセル部１１を通過し、さらに検出
部１１においてガスフィルタ部２３に導入され、Ｎ2 ガ
スおよび被測定成分のガスを通過した光を焦電型センサ
３２ａ、３２ｂで受光し、焦電型センサ３２ａ、３２ｂ
の出力の差から被測定ガスの濃度を測定することができ
る。このとき、焦電型センサ３２ａ、３２ｂにおいて、
測温素子３３ａ、３３ｂを使用することにより、本発明
の焦電型センサの温度補正を実施している。
３から発せられる光がセル部１１を通過し、さらに検出
部１１においてガスフィルタ部２３に導入され、Ｎ2 ガ
スおよび被測定成分のガスを通過した光を焦電型センサ
３２ａ、３２ｂで受光し、焦電型センサ３２ａ、３２ｂ
の出力の差から被測定ガスの濃度を測定することができ
る。このとき、焦電型センサ３２ａ、３２ｂにおいて、
測温素子３３ａ、３３ｂを使用することにより、本発明
の焦電型センサの温度補正を実施している。
【００１３】図２は本発明の焦電型センサの温度補正方
法の一例を実施するためのブロック図である。図２にお
いて、基準ガス側の焦電型センサ３２ａと測温素子３３
ａおよび測定ガス側の焦電型センサ３２ｂと測温素子３
３ｂの各信号は、信号処理のためのバッファアンプ４１
ａ〜４１ｄ、整流器４２ａ、４２ｂおよびローパスフィ
ルタ４３ａ、４３ｂを通過した後、マルチプレクサ４４
に供給される。マルチプレクサ４４は供給された各信号
のうちＡ／Ｄ変換する信号にスイッチングして、サンプ
ルホールド回路４５において信号は一旦サンプルホール
ドされ、Ａ／Ｄ変換器４６において各信号をデジタル信
号に変換する。
法の一例を実施するためのブロック図である。図２にお
いて、基準ガス側の焦電型センサ３２ａと測温素子３３
ａおよび測定ガス側の焦電型センサ３２ｂと測温素子３
３ｂの各信号は、信号処理のためのバッファアンプ４１
ａ〜４１ｄ、整流器４２ａ、４２ｂおよびローパスフィ
ルタ４３ａ、４３ｂを通過した後、マルチプレクサ４４
に供給される。マルチプレクサ４４は供給された各信号
のうちＡ／Ｄ変換する信号にスイッチングして、サンプ
ルホールド回路４５において信号は一旦サンプルホール
ドされ、Ａ／Ｄ変換器４６において各信号をデジタル信
号に変換する。
【００１４】Ａ／Ｄ変換器４６でＡ／Ｄ変換されたデジ
タル信号は、ＣＰＵ４７の制御のもとデータバス４８を
介してＲＡＭ４９中に記憶される。そして、ＣＰＵ４７
の制御のもとＲＯＭ５０中に予め記憶されているプログ
ラムに基づき、ＲＡＭ４９に記憶されたデータに対し本
発明の焦電型センサの温度補正を実施する。補正後の信
号はデータバス４８を介してＤ／Ａ変換器５１に供給さ
れ、さらに出力変換器５２において実際の被測定ガス濃
度に変換された後、出力される。なお、データバス４８
およびパラレルＩ／Ｏ５３ａ〜５３ｃを介し、情報を入
力するためのキーボード５４、結果を表示するための表
示器５５および外部装置との接続のためのターミナル５
６を設けている。
タル信号は、ＣＰＵ４７の制御のもとデータバス４８を
介してＲＡＭ４９中に記憶される。そして、ＣＰＵ４７
の制御のもとＲＯＭ５０中に予め記憶されているプログ
ラムに基づき、ＲＡＭ４９に記憶されたデータに対し本
発明の焦電型センサの温度補正を実施する。補正後の信
号はデータバス４８を介してＤ／Ａ変換器５１に供給さ
れ、さらに出力変換器５２において実際の被測定ガス濃
度に変換された後、出力される。なお、データバス４８
およびパラレルＩ／Ｏ５３ａ〜５３ｃを介し、情報を入
力するためのキーボード５４、結果を表示するための表
示器５５および外部装置との接続のためのターミナル５
６を設けている。
【００１５】図３は本発明の焦電型センサの温度補正方
法およびその後の出力変換方法の一例を示すソフトブロ
ック図である。図３において、測定ガス側および基準ガ
ス側での補正は同一の操作であるため、片側のみを示し
ている。図３にそってその流れを簡単に説明すると、焦
電型センサ３２ａの出力Ｓｘと、測温素子３２ｂの出力
である測定温度Ｔから例えば２５℃を基準としてＴ０を
使用し、Ｈ１、Ｈ２、Ｈ３の各補正項を準備し、準備し
た補正項Ｈ１を除算する。また、Ｈ２とＨ３とを加算し
た後微分し、上記除算後の結果より微分した結果を減算
することにより、温度補正後の焦電型センサ３２ａの出
力Ｓ１を求める。同様の計算を行うことにより焦電型セ
ンサ３３ａの出力Ｓ２を求め、Ｓ１とＳ２とを除算す
る。さらにこの結果から１減算し、定数Ｋを乗算した後
リニアライザで標準化し、その後被測定ガスの温度に出
力変換して出力するとともに、表示器にその結果を表示
している。
法およびその後の出力変換方法の一例を示すソフトブロ
ック図である。図３において、測定ガス側および基準ガ
ス側での補正は同一の操作であるため、片側のみを示し
ている。図３にそってその流れを簡単に説明すると、焦
電型センサ３２ａの出力Ｓｘと、測温素子３２ｂの出力
である測定温度Ｔから例えば２５℃を基準としてＴ０を
使用し、Ｈ１、Ｈ２、Ｈ３の各補正項を準備し、準備し
た補正項Ｈ１を除算する。また、Ｈ２とＨ３とを加算し
た後微分し、上記除算後の結果より微分した結果を減算
することにより、温度補正後の焦電型センサ３２ａの出
力Ｓ１を求める。同様の計算を行うことにより焦電型セ
ンサ３３ａの出力Ｓ２を求め、Ｓ１とＳ２とを除算す
る。さらにこの結果から１減算し、定数Ｋを乗算した後
リニアライザで標準化し、その後被測定ガスの温度に出
力変換して出力するとともに、表示器にその結果を表示
している。
【００１６】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、焦電型センサの信号を、周囲温度に比例する
補正項（Ｈ１）、周囲温度の時間微分に比例する補正項
（Ｈ２）および周囲温度を絶対温度に変換後この絶対温
度の４乗に比例する補正の時間微分に比例する補正項
（Ｈ３）に基づき温度補正しているため、温度の急変時
や温度の緩慢な変化に対しても正しく温度補正をするこ
とができ、測定精度の向上を図ることができる。
によれば、焦電型センサの信号を、周囲温度に比例する
補正項（Ｈ１）、周囲温度の時間微分に比例する補正項
（Ｈ２）および周囲温度を絶対温度に変換後この絶対温
度の４乗に比例する補正の時間微分に比例する補正項
（Ｈ３）に基づき温度補正しているため、温度の急変時
や温度の緩慢な変化に対しても正しく温度補正をするこ
とができ、測定精度の向上を図ることができる。
【図１】本発明の焦電型センサの温度補正方法を利用す
るガス分析装置の一例の構成を示す図である。
るガス分析装置の一例の構成を示す図である。
【図２】本発明の焦電型センサの温度補正方法の一例を
実施するためのブロック図である。
実施するためのブロック図である。
【図３】本発明の焦電型センサの温度補正方法およびそ
の後の出力変換方法の一例を示すソフトのブロック図で
ある。
の後の出力変換方法の一例を示すソフトのブロック図で
ある。
【図４】従来から公知の焦電型センサの一例として焦電
型赤外線センサの例を示す図である。
型赤外線センサの例を示す図である。
【符号の説明】 ３２ａ、３３ａ 焦電型センサ ３３ａ、３３ｂ 測温素子
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−122823（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−35322（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−28524（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−82988（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−146835（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−42592（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−196932（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−22778（ＪＰ，Ａ) 国際公開89／6348（ＷＯ，Ａ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01J 1/02 G01J 1/42 - 1/44 G01J 5/02 G01J 5/12 G01D 3/00 - 3/04 G08B 13/191
Claims (1)
- 【請求項１】 焦電型センサの近傍に焦電型センサの周
囲温度を計測する測温素子を設置し、この測温素子によ
り焦電型センサの周囲温度Ｔを測定し、測定した周囲温
度Ｔから以下の演算によりＨ１、Ｈ２およびＨ３を求
め、 【数１】Ｈ１＝（１＋Ｋ１＊（Ｔ−Ｔ０）） Ｈ２＝ｄ（Ｋ２＊（ＴーＴ０））／ｄｔ Ｈ３＝ｄ（Ｋ３＊（Ｔ4 −Ｔ０4 ））／ｄｔ （ここで、Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３は定数、Ｔ０は基準温度で
ある） 焦電型センサの信号Ｓｘを、求めたＨ１、Ｈ２およびＨ
３から以下の式に基づき演算して、補正信号Ｓを求め、 【数２】Ｓ＝Ｓｘ／Ｈ１−（Ｈ２＋Ｈ３） 求めた補正信号Ｓを焦電型センサの出力とすることを特
徴とする焦電型センサの温度補正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28772892A JP3162831B2 (ja) | 1992-10-26 | 1992-10-26 | 焦電型センサの温度補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28772892A JP3162831B2 (ja) | 1992-10-26 | 1992-10-26 | 焦電型センサの温度補正方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06137952A JPH06137952A (ja) | 1994-05-20 |
| JP3162831B2 true JP3162831B2 (ja) | 2001-05-08 |
Family
ID=17720985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28772892A Expired - Fee Related JP3162831B2 (ja) | 1992-10-26 | 1992-10-26 | 焦電型センサの温度補正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3162831B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4603299B2 (ja) * | 2004-06-11 | 2010-12-22 | ホーチキ株式会社 | 熱感知器 |
-
1992
- 1992-10-26 JP JP28772892A patent/JP3162831B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06137952A (ja) | 1994-05-20 |
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