JP3162705B2 - 測定装置 - Google Patents
測定装置Info
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- JP3162705B2 JP3162705B2 JP33464690A JP33464690A JP3162705B2 JP 3162705 B2 JP3162705 B2 JP 3162705B2 JP 33464690 A JP33464690 A JP 33464690A JP 33464690 A JP33464690 A JP 33464690A JP 3162705 B2 JP3162705 B2 JP 3162705B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は抵抗計やLCRメータ等の測定装置に係り、
更に詳しくは測定試料の電流依存性に影響されず、正確
な測定を可能とする測定装置に関するものである。
更に詳しくは測定試料の電流依存性に影響されず、正確
な測定を可能とする測定装置に関するものである。
［従 来 例］ 従来、この種の測定装置には、例えば第３図に示すよ
うに、測定試料１に印加する測定信号（例えば正弦波）
を発生し、かつこの測定信号の周波数を可変する測定信
号発生部２と、この測定信号を所定に増幅するパワーア
ンプ部３と、その測定信号の印加により測定試料１に流
れる電流を端子Lcを介して検出する電流検出回路４と、
測定試料１の端子電圧を端子Hp,Lpを介して検出する電
圧検出回路５とが備えられている。
うに、測定試料１に印加する測定信号（例えば正弦波）
を発生し、かつこの測定信号の周波数を可変する測定信
号発生部２と、この測定信号を所定に増幅するパワーア
ンプ部３と、その測定信号の印加により測定試料１に流
れる電流を端子Lcを介して検出する電流検出回路４と、
測定試料１の端子電圧を端子Hp,Lpを介して検出する電
圧検出回路５とが備えられている。
そして、上記検出電流および電圧により位相を検出
し、この位相、検出電圧および検出電流の各信号をディ
ジタル変換し、これらディジタル値に基づいて測定試料
の回路定数を演算するようになってる。
し、この位相、検出電圧および検出電流の各信号をディ
ジタル変換し、これらディジタル値に基づいて測定試料
の回路定数を演算するようになってる。
［発明が解決しようとする課題］ ところで、上記測定装置にあっては、測定試料１が電
流依存性を有する場合、印加する測定信号のレベルがそ
の測定試料１にとって小さいものであると、その電流依
存性による影響が少なく、つまり検出電流値および検出
電圧値の変動が小さく、その測定信号のレベルが大きい
と、それら検出値の変動値が大きくなる。
流依存性を有する場合、印加する測定信号のレベルがそ
の測定試料１にとって小さいものであると、その電流依
存性による影響が少なく、つまり検出電流値および検出
電圧値の変動が小さく、その測定信号のレベルが大きい
と、それら検出値の変動値が大きくなる。
そこで、上記測定信号のレベルを可変した場合、電流
検出回路４および電圧検出回路５の増幅度をそのままと
するか、あるいは固定の増幅度（例えば１倍、10倍、10
0倍等）をもたせればよい。
検出回路４および電圧検出回路５の増幅度をそのままと
するか、あるいは固定の増幅度（例えば１倍、10倍、10
0倍等）をもたせればよい。
しかしながら、上記測定信号のレベル可変方法におい
て、その測定信号のレベルを小さくすると、上記検出電
流値および検出電圧値をディジタル変換する分解能の低
下、および測定の演算分解能が低下し、正確な測定がで
きなくなることから、そのレベル変化に応じて電流検出
回路４および電圧検出回路５のダイミックレンジを大き
くする必要があるという問題があった。
て、その測定信号のレベルを小さくすると、上記検出電
流値および検出電圧値をディジタル変換する分解能の低
下、および測定の演算分解能が低下し、正確な測定がで
きなくなることから、そのレベル変化に応じて電流検出
回路４および電圧検出回路５のダイミックレンジを大き
くする必要があるという問題があった。
この発明は上記課題を鑑みなされたものであり、その
目的は測定試料の電流依存性によらず、その回路定数を
正確に測定することができ、しかも簡単な回路構成を付
加するだけでよく、低コストにできるようにした測定装
置を提供することにある。
目的は測定試料の電流依存性によらず、その回路定数を
正確に測定することができ、しかも簡単な回路構成を付
加するだけでよく、低コストにできるようにした測定装
置を提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため、この発明は、測定試料に印
加する測定信号を発生し、かつ同測定信号の周波数を連
続的に可変する信号発生手段と、上記測定試料に流れる
電流を検出する電流検出手段と、上記測定試料の端子間
電圧を検出する電圧検出手段とを備え、上記検出電流値
および上記検出電圧値をそれぞれディジタル変換し、こ
れらのディジタル値に基づいて上記測定試料の回路定数
を測定する測定装置において、上記測定試料に印加する
測定信号の最大レベルを１として、同測定信号のレベル
を1/N倍（Ｎは正の整数）に可変する1/N倍増幅手段と、
ディジタル変換される前の上記検出電流値のレベルをＮ
倍に可変する第１のＮ倍増幅手段と、ディジタル変換さ
れる前の上記検出電圧値のレベルをＮ倍に可変する、位
相特性が上記第１のＮ倍増幅手段の位相特性と同一であ
る第２のＮ倍増幅手段と、上記測定信号のレベルが上記
1/N倍増幅手段により1/N倍にされたとき、これに連動し
て上記第１のＮ倍増幅手段および上記第２のＮ倍増幅手
段により上記検出電流値と上記検出電圧値の各レベルを
それぞれＮ倍する制御手段とを備え、ディジタル変換前
における上記検出電流値と上記検出電圧値の各レベル
が、常に上記測定信号の最大レベル時のレベルとなるよ
うにしたことを特徴としている。
加する測定信号を発生し、かつ同測定信号の周波数を連
続的に可変する信号発生手段と、上記測定試料に流れる
電流を検出する電流検出手段と、上記測定試料の端子間
電圧を検出する電圧検出手段とを備え、上記検出電流値
および上記検出電圧値をそれぞれディジタル変換し、こ
れらのディジタル値に基づいて上記測定試料の回路定数
を測定する測定装置において、上記測定試料に印加する
測定信号の最大レベルを１として、同測定信号のレベル
を1/N倍（Ｎは正の整数）に可変する1/N倍増幅手段と、
ディジタル変換される前の上記検出電流値のレベルをＮ
倍に可変する第１のＮ倍増幅手段と、ディジタル変換さ
れる前の上記検出電圧値のレベルをＮ倍に可変する、位
相特性が上記第１のＮ倍増幅手段の位相特性と同一であ
る第２のＮ倍増幅手段と、上記測定信号のレベルが上記
1/N倍増幅手段により1/N倍にされたとき、これに連動し
て上記第１のＮ倍増幅手段および上記第２のＮ倍増幅手
段により上記検出電流値と上記検出電圧値の各レベルを
それぞれＮ倍する制御手段とを備え、ディジタル変換前
における上記検出電流値と上記検出電圧値の各レベル
が、常に上記測定信号の最大レベル時のレベルとなるよ
うにしたことを特徴としている。
［作用］ 上記構成としたので、測定試料が電流依存性を有して
いる場合、上記1/N倍増幅器、第１のＮ倍増幅器および
第２のＮ増幅器の増幅度がその電流依存性等に応じて可
変され、その電流依存性に応じて、測定試料に印加する
測定信号のレベルが小さくされる。すると、測定試料の
回路定数測定に際し、その測定試料に流れる電流の信号
はその電流依存性による影響が小さく、同様にその測定
試料の端子間電圧の信号はその電流依存性による影響が
小さくなる。それら検出信号は、上記第１および第２の
Ｎ倍増幅器ＣでＮ倍にされ、上記測定信号が最大レベル
時におけるレベルの大きさになる。したがって、それら
検出信号をディジタル変換するときの分解能、およびそ
れらディジタル変換データに基づいて測定試料の回路定
数を演算するときの分解能が低下することもない。
いる場合、上記1/N倍増幅器、第１のＮ倍増幅器および
第２のＮ増幅器の増幅度がその電流依存性等に応じて可
変され、その電流依存性に応じて、測定試料に印加する
測定信号のレベルが小さくされる。すると、測定試料の
回路定数測定に際し、その測定試料に流れる電流の信号
はその電流依存性による影響が小さく、同様にその測定
試料の端子間電圧の信号はその電流依存性による影響が
小さくなる。それら検出信号は、上記第１および第２の
Ｎ倍増幅器ＣでＮ倍にされ、上記測定信号が最大レベル
時におけるレベルの大きさになる。したがって、それら
検出信号をディジタル変換するときの分解能、およびそ
れらディジタル変換データに基づいて測定試料の回路定
数を演算するときの分解能が低下することもない。
［実 施 例］ 以下、この発明の実施例を第１図および第２図に基づ
いて説明する。なお、図中、第３図と同一部分には同一
符号を付し重複説明を省略する。
いて説明する。なお、図中、第３図と同一部分には同一
符号を付し重複説明を省略する。
第１図において、この測定装置には、測定信号発生部
２とパワーアンプ部３との間に介在し、その測定信号の
レベルを可変する1/N倍増幅器６と、電流検出回路４に
て検出した電流をＮ倍する第１のＮ倍増幅器７と、電圧
検出回路５にて検出した電圧をＮ倍に増幅する第２のＮ
倍増幅器８とが備えられている。なお、Ｎは正の整数で
ある。
２とパワーアンプ部３との間に介在し、その測定信号の
レベルを可変する1/N倍増幅器６と、電流検出回路４に
て検出した電流をＮ倍する第１のＮ倍増幅器７と、電圧
検出回路５にて検出した電圧をＮ倍に増幅する第２のＮ
倍増幅器８とが備えられている。なお、Ｎは正の整数で
ある。
また、例えば第２図に示されているように、それら1/
N倍増幅器６、第１のＮ倍増幅器７および第２のＮ倍増
幅器８はオペレーショナルアンプを用いた反転増幅回路
（オペレーショナルアンプ）である。また、1/N倍増幅
器６の帰還抵抗6aは可変抵抗で、第１および第２のＮ倍
増幅器7,8の反転入力端子側の抵抗7a,8aは可変抵抗であ
り、しかもそれら可変抵抗6a,7a,8aは連動して可変する
ようになっている。すなわち、1/N倍増幅器６の増幅度
が1/Nになると、第１および第２のＮ倍増幅器7,8の増幅
度はそれぞれＮ倍となる。
N倍増幅器６、第１のＮ倍増幅器７および第２のＮ倍増
幅器８はオペレーショナルアンプを用いた反転増幅回路
（オペレーショナルアンプ）である。また、1/N倍増幅
器６の帰還抵抗6aは可変抵抗で、第１および第２のＮ倍
増幅器7,8の反転入力端子側の抵抗7a,8aは可変抵抗であ
り、しかもそれら可変抵抗6a,7a,8aは連動して可変する
ようになっている。すなわち、1/N倍増幅器６の増幅度
が1/Nになると、第１および第２のＮ倍増幅器7,8の増幅
度はそれぞれＮ倍となる。
さらに、図示しないが、それら可変抵抗6a,7a,8aの可
変制御は、例えば当該測定装置の制御部（例えばCPU）
で行なうようにしてもよい。また、その可変抵抗6a,7a,
8aの部分には乗算部D/A変換器を用い、ディジタル制御
するようにしてもよい。
変制御は、例えば当該測定装置の制御部（例えばCPU）
で行なうようにしてもよい。また、その可変抵抗6a,7a,
8aの部分には乗算部D/A変換器を用い、ディジタル制御
するようにしてもよい。
そして、測定試料１の回路定数を測定する際、上記1/
N倍増幅器６、第１のＮ倍増幅器７および第２のＮ倍増
幅器８の増幅度が測定試料１の電流依存性に応じた値に
される。すると、測定信号発生部２からの測定信号が1/
N倍増幅器６で1/N倍にされ、さらにパワーアンプ部３で
所定に増幅される。この1/N倍のレベルにされた測定信
号が測定試料１に印加され、この状態においてその測定
試料１に流れる電流が電流検出回路４で検出され、その
端子間の電圧が電圧検出回路５で検出される。
N倍増幅器６、第１のＮ倍増幅器７および第２のＮ倍増
幅器８の増幅度が測定試料１の電流依存性に応じた値に
される。すると、測定信号発生部２からの測定信号が1/
N倍増幅器６で1/N倍にされ、さらにパワーアンプ部３で
所定に増幅される。この1/N倍のレベルにされた測定信
号が測定試料１に印加され、この状態においてその測定
試料１に流れる電流が電流検出回路４で検出され、その
端子間の電圧が電圧検出回路５で検出される。
続いて、上記検出電流が第１のＮ倍増幅器７でＮ倍に
され、検出電圧が第２のＮ倍増幅器８でＮ倍にされるこ
とから、測定信号のレベルが微小であっても、その電流
および電圧の検出信号のレベルはその測定信号のレベル
が最大のときと同じ大きさになる。しかる後、それら電
流および電圧の各信号がA/D変換器でそれぞれディジタ
ルに変換され、それらディジタル変換データに基づいて
測定試料１の回路定数が演算される。このとき、その電
流および電圧の検出信号が最大レベルの測定信号を測定
試料１に印加して検出したときと同じ大きさであること
から、上記A/D変換器の分解能が低下することもなく、
またそのディジタル変換データによる測定試料１の測定
演算の際、その演算分解能が低下することもない。な
お、この場合、従来例同様に、その検出電流および電圧
により位相が検出され、この位相がディジタルに変換さ
れるが、上記電流および電圧同様にその分解能が下がる
こともない。
され、検出電圧が第２のＮ倍増幅器８でＮ倍にされるこ
とから、測定信号のレベルが微小であっても、その電流
および電圧の検出信号のレベルはその測定信号のレベル
が最大のときと同じ大きさになる。しかる後、それら電
流および電圧の各信号がA/D変換器でそれぞれディジタ
ルに変換され、それらディジタル変換データに基づいて
測定試料１の回路定数が演算される。このとき、その電
流および電圧の検出信号が最大レベルの測定信号を測定
試料１に印加して検出したときと同じ大きさであること
から、上記A/D変換器の分解能が低下することもなく、
またそのディジタル変換データによる測定試料１の測定
演算の際、その演算分解能が低下することもない。な
お、この場合、従来例同様に、その検出電流および電圧
により位相が検出され、この位相がディジタルに変換さ
れるが、上記電流および電圧同様にその分解能が下がる
こともない。
このように、その測定試料１に印加する測定信号のレ
ベルが小さいことから、その分検出電流および電圧はそ
の測定試料１の電流依存性による影響が少なくなり、ま
たその測定信号のレベルの小さい分だけ、電流および電
圧の検出値をＮ倍していることから、A/D変換器の分解
能および演算分解能が低下することもない。したがっ
て、測定試料１の回路定数を正確に測定することがで
き、また電流検出回路４および電圧検出回路５のダイナ
ミックレンジを大きくする必要がなく、簡単な増幅回路
を付加するだけでよいことから、低コストで済ませられ
る。
ベルが小さいことから、その分検出電流および電圧はそ
の測定試料１の電流依存性による影響が少なくなり、ま
たその測定信号のレベルの小さい分だけ、電流および電
圧の検出値をＮ倍していることから、A/D変換器の分解
能および演算分解能が低下することもない。したがっ
て、測定試料１の回路定数を正確に測定することがで
き、また電流検出回路４および電圧検出回路５のダイナ
ミックレンジを大きくする必要がなく、簡単な増幅回路
を付加するだけでよいことから、低コストで済ませられ
る。
なお、上記実施例の第１および第２のＮ倍増幅器7,8
が位相特性等を有していても、それらＮ倍増幅器7,8の
位相特性等についてマッチングがとれていれば、検出電
流と検出電圧との間にはその位相特性等による誤差が生
じない。
が位相特性等を有していても、それらＮ倍増幅器7,8の
位相特性等についてマッチングがとれていれば、検出電
流と検出電圧との間にはその位相特性等による誤差が生
じない。
［発明の効果］ 以上説明したように、この発明の測定装置によれば、
測定試料に周波数可変の測定信号を印加し、その測定試
料に流れる電流を検出し、またその測定試料の端子間の
電圧を検出する際、測定試料に印加する測定信号のレベ
ルを1/N倍にする1/N倍増幅器と、その検出電流をＮ倍す
る第１のＮ倍増幅器と、その検出電圧をＮ倍する第２の
Ｎ倍増幅器とを備え、そのＮ倍した電流検出値および電
圧検出値をディジタル変換し、上記測定試料の回路定数
を測定するようにしたので、簡単な回路構成を付加する
だけで、電流依存性を有する測定試料の回路定数の測定
の場合、測定信号のレベルを小さくしても、上記検出電
流値および検出電圧値がその測定信号のレベルの小さい
分だけ大きくなることから、A/D変換の分解能および測
定演算の分解能が低下することもないため、測定試料の
測定が電流依存性等に影響されずに、正確な測定がで
き、しかも低コストで済ませられるという効果がある。
測定試料に周波数可変の測定信号を印加し、その測定試
料に流れる電流を検出し、またその測定試料の端子間の
電圧を検出する際、測定試料に印加する測定信号のレベ
ルを1/N倍にする1/N倍増幅器と、その検出電流をＮ倍す
る第１のＮ倍増幅器と、その検出電圧をＮ倍する第２の
Ｎ倍増幅器とを備え、そのＮ倍した電流検出値および電
圧検出値をディジタル変換し、上記測定試料の回路定数
を測定するようにしたので、簡単な回路構成を付加する
だけで、電流依存性を有する測定試料の回路定数の測定
の場合、測定信号のレベルを小さくしても、上記検出電
流値および検出電圧値がその測定信号のレベルの小さい
分だけ大きくなることから、A/D変換の分解能および測
定演算の分解能が低下することもないため、測定試料の
測定が電流依存性等に影響されずに、正確な測定がで
き、しかも低コストで済ませられるという効果がある。
第１図はこの発明の一実施例を示す測定装置の概略的ブ
ロック図、第２図は上記測定装置の部分的具体的回路
図、第３図は従来の測定装置の概略的ブロック図であ
る。 図中、１は測定試料、２は測定信号発生部、３はパワー
アンプ部、４は電流検出回路、５は電圧検出回路、６は
1/N倍増幅器（反転増幅回路）、6aは可変抵抗（反転増
幅回路の帰還抵抗）、７は第１のＮ倍増幅器（反転増幅
回路）、7a,8aは可変抵抗回路（反転増幅回路の反転入
抵抗）、８は第２のＮ倍増幅器（反転増幅回路）であ
る。
ロック図、第２図は上記測定装置の部分的具体的回路
図、第３図は従来の測定装置の概略的ブロック図であ
る。 図中、１は測定試料、２は測定信号発生部、３はパワー
アンプ部、４は電流検出回路、５は電圧検出回路、６は
1/N倍増幅器（反転増幅回路）、6aは可変抵抗（反転増
幅回路の帰還抵抗）、７は第１のＮ倍増幅器（反転増幅
回路）、7a,8aは可変抵抗回路（反転増幅回路の反転入
抵抗）、８は第２のＮ倍増幅器（反転増幅回路）であ
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 27/02 G01R 27/26
Claims (1)
- 【請求項１】測定試料に印加する測定信号を発生し、か
つ同測定信号の周波数を連続的に可変する信号発生手段
と、上記測定試料に流れる電流を検出する電流検出手段
と、上記測定試料の端子間電圧を検出する電圧検出手段
とを備え、上記検出電流値および上記検出電圧値をそれ
ぞれディジタル変換し、これらのディジタル値に基づい
て上記測定試料の回路定数を測定する測定装置におい
て、 上記測定試料に印加する測定信号の最大レベルを１とし
て、同測定信号のレベルを1/N倍（Ｎは正の整数）に可
変する1/N倍増幅手段と、 ディジタル変換される前の上記検出電流値のレベルをＮ
倍に可変する第１のＮ倍増幅手段と、 ディジタル変換される前の上記検出電圧値のレベルをＮ
倍に可変する、位相特性が上記第１のＮ倍増幅手段の位
相特性と同一である第２のＮ倍増幅手段と、 上記測定信号のレベルが上記1/N倍増幅手段により1/N倍
にされたとき、これに連動して上記第１のＮ倍増幅手段
および上記第２のＮ倍増幅手段により上記検出電流値と
上記検出電圧値の各レベルをそれぞれＮ倍する制御手段
とを備え、 ディジタル変換前における上記検出電流値と上記検出電
圧値の各レベルが、常に上記測定信号の最大レベル時の
レベルとなるようにしたことを特徴とする測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33464690A JP3162705B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33464690A JP3162705B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04204164A JPH04204164A (ja) | 1992-07-24 |
| JP3162705B2 true JP3162705B2 (ja) | 2001-05-08 |
Family
ID=18279696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33464690A Expired - Lifetime JP3162705B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3162705B2 (ja) |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP33464690A patent/JP3162705B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04204164A (ja) | 1992-07-24 |
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