JP3154817B2 - 角速度検出装置 - Google Patents

角速度検出装置

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JP3154817B2 JP17068392A JP17068392A JP3154817B2 JP 3154817 B2 JP3154817 B2 JP 3154817B2 JP 17068392 A JP17068392 A JP 17068392A JP 17068392 A JP17068392 A JP 17068392A JP 3154817 B2 JP3154817 B2 JP 3154817B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、カメラ等の撮影装置の
手ぶれ検出などに用いられる角速度検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の振動型角速度センサは、一つの軸
回りの角速度を検出することを目的として、長年の工夫
により、高感度,高精度なものが開発されてきている。
例えば、日経エレクトロニクス誌1990年11月26
日号に整理され紹介されているように、自動車のナビケ
ーションシステムやVTRカメラの手ぶれ防止に応用可
能な、小型で高性能な角速度センサがある。これらは、
圧電体のような機械電気エネルギー変換素子が、回転運
動により受けるコリオリの力を検出することで回転の角
速度を検出するものである。この場合に、高精度で角速
度を検出するために、コリオリの力が、物体が受ける角
速度と回転の軸に直角な角度で受ける外力の大きさとに
比例するということに着目し、機械電気エネルギー変換
素子を高周波で振動させることによってより大きな外力
を与え、回転運動により振動体の受けるコリオリの力を
十分に大きな値として検出し、角速度を精度良く検出す
るものである。この振動を効果的に単一の形で発生させ
て精度良く角速度を検出するために、振動体は、検出回
転軸方向の棒状の形状をしている。
【0003】ところで、画面の上下左右方向に関して、
カメラ等の撮影装置の手ぶれによる回転量θと平行移動
量xと画像の移動量dとの関係は、撮影レンズの焦点距
離をf、撮影倍率をβとすると、近似的に、 d=f・θ+β・x …(1) となることが知られている。さらに、撮影倍率が小さい
場合、つまり被写体がある程度離れている場合には、 f・θ>>β・x …(2) であるので、 d=f・θ …(3) と近似することも可能である。この(3)式の両辺を時
間微分すると、画像の移動速度vとカメラの手ぶれによ
る角速度ωとの関係式、 v=f・ω …(4) が得られ、手ぶれによる画像の移動速度vと角速度ωの
間に比例関係が有ることがわかる。そのため、角速度を
検出することで、撮影装置の手ぶれによる画質の劣化の
程度を知ることができる。さらに、カメラ等の撮影装置
の手ぶれの回転は、図2で示すx軸まわりの回転とy軸
まわりの回転によるものが大半であることも知られてい
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】そのため、従来、角速
度を検出することで撮影装置の手ぶれを検出する場合、
x,y軸それぞれの角速度を個別に検出することが考え
られている。
【0005】これは、精度良く角速度を検出するため
に、x,y軸について、別々の棒状の振動体を必要とす
るため、一個だけの振動子による2軸まわりの角速度の
検出ができないためである。
【0006】ところで、手ぶれ補正を行うためには精度
良く手ぶれ量を検出することが必要となるが、それほど
高精度な検出を必要としないような用途に用いるため
に、簡易的に、撮影装置の手ぶれについて、手ぶれが有
るの、どれぐらいの手ぶれか、といった情報を検出し
たい場合がある。
【0007】手ぶれは、画面の上下方向,左右方向関係
なく発生するため、2つの角速度センサを用いることで
手ぶれを検出することはたやすい。しかし、2つの角速
度センサを用いることは、コスト上,スペース上の問題
が発生する。特に、手ぶれが有れば、レリーズを禁止し
たり、ストロボを発光させる等の簡易的な手ぶれ防止措
置に応用する場合には、それほど精度良く手ぶれの方向
や大きさの検出を必要としないため、上記の2つの角速
度センサを用いる構成では過剰の設備となり、コストパ
フォーマンスの低下を招く。
【0008】本発明は、上記の点に鑑みてなされたもの
で、簡単な構成で2軸方向の手ぶれの有無と程度を知る
のに十分な性能を有した角速度検出装置を提供すること
を目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明による角速度検出装置は、図1に示すよう
に、異なる2つの軸方向の内の一方の軸の回転速度を検
出する機械電気エネルギー変換素子からなる第1角速度
検出手段1と、上記異なる2つの軸方向の内の他方の軸
の回転速度を検出する機械電気エネルギー変換素子から
なる第2角速度検出手段2と、上記第1の角速度検出手
段1と第2角速度検出手段2とを同時に励振振動させる
共通の加振手段3とを備えることを特徴としている。
【0010】
【作用】即ち、本発明の角速度検出は、例えば撮影装置
の手ぶれ検出装置等に用いられるもので、加振手段3に
よって、異なる2つの軸方向の内の一方の軸の回転速度
を検出する機械電気エネルギー変換素子からなる第1角
速度検出手段1と、上記異なる2つの軸方向の内の他方
の軸の回転速度を検出する機械電気エネルギー変換素子
からなる第2角速度検出手段2とを、共通の加振手段3
により同時に励振振動させる
【0011】このように、2軸に対応した2組の機械電
気エネルギー変換素子(第1及び第2角速度検出手段
1,2)を同一の振動素子(加振手段3)で駆動するよ
うに構成したため、コンパクトな構成が可能になる。
【0012】本発明の第1の態様に於いては、加振手段
3の振動体に伸縮する振動体を用い、この振動体の伸縮
方向に対して振動体を囲むように振動体に取り付けられ
た部材上の振動方向が90度異なる2点に機械電気エネ
ルギー変換素子を取り付けた第1,第2角速度検出手段
1,2を構成する。
【0013】また、本発明の第2,第3の態様に於いて
は、加振手段3の一部にピラミッド型の振動部を有し、
このピラミッド部の対向する二つの三角面に取り付けた
機械電気エネルギー変換素子の組合せで、第1,第2角
速度検出手段1,2を構成する。さらには、本発明の第
3の態様に於いては、第1,第2角速度検出手段1,2
と加振手段3に同一の機械電気エネルギー変換素子を用
いている。
【0014】また、撮影装置に用いた場合には、画像の
移動速度が角速度と撮影レンズの焦点距離に比例するこ
とに着目し、2軸ぶれ演算手段4に於いて、撮影装置の
撮影レンズの焦点距離情報を用いて画面上のぶれの大き
さを演算することも可能である。
【0015】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例を
メラの手ぶれ検出に利用した例として説明する。
【0016】図3の(A)乃至(C)は第1の実施例の
構成を示す図である。上記加振手段3は、積層型圧電体
11と、この積層型圧電体11を囲むように取り付けら
れた円環型振動部材12と、上記積層型圧電体11に交
番電圧を印加するための交番電圧発生部13とから構成
されている。円環型振動部材12は、積層型圧電体11
の伸縮振動方向と同一あるいは90度ずれた位置に、カ
メラへの取り付け位置12aを有している。また、カメ
ラへの取り付けは、ビス12bを用いてカメラ本体内の
固定部材15に対して行われるもので、この場合、図3
の(D)に示すように、積層型圧電体11の伸縮方向が
画面に対して平行つまり光軸(z軸)に対して直角方向
になるように行われる。
【0017】図3の(B)及び(C)に示すように、上
記円環型振動部材12上には、第1及び第2角速度検出
手段1,2に用いられる機械電気エネルギー変換素子と
してバイモルフ型の圧電体16,17が設置されてい
る。圧電体16,17は、光軸方向にそれぞれの屈曲方
向を有しており、また、円環型振動部材12のカメラへ
の取り付け位置12aと90度ずれた円対称の位置にそ
れぞれ取り付けられている。これら圧電体16と圧電体
17には、図3の(E)の等価回路に示すように、屈曲
により発生した電荷を電圧に直すための抵抗18,19
がそれぞれ接続されている。即ち、圧電体16と抵抗1
8とから上記第1角速度検出手段1が構成され、圧電体
17と抵抗19とから上記第2角速度検出手段2が構成
されている。
【0018】このような構成に於いては、積層型圧電体
11に交番電圧発生部13により交番電圧を印加した場
合、圧電体16は図3の(F)の略図に示すように動
く。即ち、積層型圧電体11が微小量δ伸びたとき、直
径Rの円環型振動部材12は、積層型圧電体11に直交
する径方向では微小量δ直径が縮む。この時、円周上の
積層型圧電体11の変形と直交する点つまり圧電体16
の取り付け点は、円環型振動部材12の中心方向にδ/
2移動すると共に積層型圧電体11の伸び方向にもδ/
2移動する。積層型圧電体11が縮む場合には、これと
逆方向に移動する。つまり、圧電体16には、積層型圧
電体11の変形方向と45度ずれた方向での振動、即ち
スライド移動が発生する。この圧電体16の振動方向
は、当該圧電体16の屈曲方向と直交する方向でもあ
る。圧電体17も同様に、積層型圧電体11の振動方向
と45度ずれた方向に振動する。但し、圧電体16と圧
電体17は90度ずれた方向に振動する。これらの振動
方向は、圧電体16と17の屈曲方向とは90度ずれて
いるために、この振動による。圧電体16と圧電体17
の出力信号はない。
【0019】ところが、カメラが手ぶれ等により回転運
動している場合には、例えば圧電体17に於いては、図
3の(G)に示すように、該圧電体17の移動(振動)
方向と屈曲方向とに直交する軸回りの回転により、コリ
オリの力が移動の加速度による力と回転速度に比例した
値で圧電体17の屈曲方向に発生する。この屈曲に応じ
て発生する電荷を抵抗19に流し、その時の電圧を検出
することで、回転の角速度の検出が行える。他方の圧電
体16も同様に、抵抗18を用いて、圧電体16の移動
方向と屈曲方向とに直交した、さらには圧電体17によ
る検出可能な回転軸とも直交した方向の軸回りの角速度
を電圧として検出することができる。このようにして、
第1角速度検出手段1及び第2角速度検出手段2によ
り、撮影画面に直交する2軸の回転による角速度を検出
することができる。
【0020】ここで、圧電体17の検出する回転角は、
図3の(G)に示すとおりであり、圧電体16によって
検出される回転軸は、図3の(G)に示す回転軸に直交
する軸である。従って、本構成により、直交する2軸回
りのぶれ量を検出することができる。このぶれ量として
は、x−y平面での量が判れば良いので、この2軸を
x,y軸(図2参照)に一致させる必要はない。
【0021】なお、上記圧電体及び抵抗によりそれぞれ
発生した電圧は、加えた振動の力に比例するため、積層
型圧電体11に印加した電圧の変化に応じて変化する。
また、加える力の方向も変化するため、角速度の大きさ
と方向を検出するためには、加えた力が一定の値の場合
の出力をサンプルするか、あるいは、位置方向の力の印
加時のみの出力を検波することが必要になる。しかし、
角速度の大きさのみを検出する場合には、第1角速度検
出手段1や第2角速度検出手段2からの出力信号の絶対
値を取ることで簡単に検出することが可能になる。
【0022】そのため、上記2軸ぶれ演算手段4では、
先ず、第1,第2の二つの角速度検出手段1,2からの
信号をそれぞれ絶対値に変換する。そのために、図4の
(A)に示すように、先ず、一般的なCRによるハイパ
スフィルタ20,21を用いて、信号のDC成分を除去
し、さらに、公知の全波整流演算を行なう回路を用いた
絶対値変換回路22,23を用いて、角速度の絶対値を
取る。そして、信号加算回路24を用いて、これら2つ
の絶対値変換回路22,23からの2つの信号を加算す
る。この信号加算回路24の出力信号は、圧電体11に
印加する交番電圧により増減するため、ローパスフィル
タ25を用いて平滑化して、この駆動信号の成分を除去
する。これにより、交番電圧による信号変化の、実効値
としての角速度を検出することができる。これら各部に
於ける信号波形を図5の(A)乃至(G)に示す。
【0023】このように、一つの加振を行なう振動体1
2を用いて2軸回りの角速度を検出することが可能にな
るため、非常にコンパクトな手ぶれの検出装置を作るこ
とが可能になる。
【0024】なお、2軸の角速度を合算するために、上
記説明では信号加算回路24を用いたが、図4の(B)
に示すように、2乗演算回路26,27、加算回路2
8、及び平方根演算回路29を用いて平方平均を演算す
ることで、ベクトル的に処理し、2軸合計の角速度の検
出精度を高めることも可能である。
【0025】また、ズームレンズ等の使用により撮影レ
ンズの焦点距離が変更可能な撮影装置に適用する場合に
は、図4の(C)に示すように、上記ローパスフィルタ
25の後段に、増幅回路30を取付け、撮影レンズの焦
点距離を焦点距離検出部31で検出し、その検出した焦
点距離に応じて、増幅回路30の増幅率を変更制御する
増幅率変更回路32を用いて、手ぶれ情報として焦点距
離の変化に追従して画像の移動速度を求めることも可能
ある。
【0026】次に、本発明の第2の実施例について説明
する。本実施例では、加振手段3は、図6の(A)に示
すように、積層型圧電アクチュエータ33と交番電圧発
生部34とピラミッド型振動部材35とを用い、積層型
圧電アクチュエータ33の変形軸の一方を固定し、他方
に、フレーム構造のピラミッド型振動部材35を接着し
て構成している。そして、ピラミッド型振動部材35の
4つの三角面には、バイモルフ型の圧電体36a,36
b,36c,36dがフレームに沿って接着されてい
る。
【0027】また、積層型圧電アクチュエータ33の振
動方向が、図6の(B)に示すように、カメラの撮影レ
ンズの光軸方向と同一方向となるように、カメラに固定
される。
【0028】そして、図7の(A)及び(B)に示すよ
うに、圧電体36aと圧電体36cを、その極性を逆に
して直列に電気的に接続し、さらに、圧電体の屈曲に応
じて発生する電荷を電圧に変換するための抵抗37aを
接続して、第1角速度検出手段1を構成している。
【0029】同様に、第2角速度検出手段2として、圧
電体36bと圧電体36dが直列に電気的に接続される
とともに圧電体の屈曲に応じて発生する電荷を電圧に変
換するための抵抗37bが接続されている。
【0030】ここで、図6の(B)に示すように、対向
する二つの圧電体を通り、積層型圧電アクチュエータ3
3の振動方向に直交する軸、即ち、圧電体36aと圧電
体36cに対して軸k1を、圧電体36bと36dに対
して軸k2を考えると、これらの軸k1と軸k2は、積
層型圧電アクチュエータ33の変形方向がカメラの光軸
と同一であるため、撮影画像の画像面に平行で互いに直
交した2軸である。
【0031】そして、上記構成の加振手段3により、上
記4つの圧電体が振動しているときには、圧電体36a
と36cは、図7の(C)に示すように、同一の振動を
受けて同一の屈曲を生じ、電荷を発生する。しかし、前
述したように、両圧電体は極性を逆に接続されているた
め、発生した電荷は打ち消され、抵抗37aでは、電圧
を生じない。
【0032】次に、この加振手段3で、上記軸k1回り
の回転が与えられた場合を考える。この場合には、各圧
電体にコリオリの力が加わる。即ち、図7の(D)に示
すように、圧電体36aと圧電体36cには同一の方向
のコリオリの力が加わるが、それぞれの圧電体の屈曲方
向が異なるため、それぞれの圧電体の屈曲量は異なる。
従って、それぞれの圧電体に発生する電荷量は異なるた
め、抵抗37aには電流が流れ、電圧が発生する。この
ようにして、軸k1回りの回転が加えられた場合に、そ
の角速度に応じた電圧が出力される。同様にして、軸k
2回りの回転の角速度に応じて抵抗37bに電圧が発生
し出力される。
【0033】なお、2軸ぶれ演算手段4は、図7の
(E)に示すように、圧電体及び抵抗に接続されてお
り、前述の第1の実施例と同様にして、2軸の回転の角
速度に応じた信号を得ることができる。
【0034】次に、本発明の第3の実施例を説明する。
本実施例の角速度検出装置を利用した手ぶれ検出装置
は、図8の(A)及び(B)に示すように構成されてい
る。即ち、合同な3角形の4面を持つ薄い金属板できた
ピラミッド型振動部材38の各3角面に、バイモルフ型
圧電体39a,39b,39c,39dを張り合わせ
る。また、ピラミッド型振動部材38は、電気的に接地
されている。バイモルフ型圧電体は、それぞれ極性を同
一にしてピラミッド型振動部材38に片面を接続して設
置されている。また、ピラミッド型振動部材38の底面
は、画像面と平行になるようにカメラに取り付けられて
いる。4つのバイモルフ型圧電体には、交番電圧発生部
40が接続され、交番電圧が印加された場合には、4個
とも同一の屈曲変形を起こす。
【0035】また、それぞれの圧電体には、当該圧電体
の電圧を検出するための、電圧検出部41a,41b,
41c,41dが接続されている。電圧検出部41aと
41cには、これら電圧検出部41aと41cの電圧の
差を演算するための電圧差演算部42aが接続されてい
る。この電圧差演算部42aは、公知のオペアンプを用
いた作動増幅回路等で構成されている。同様に、電圧検
出部41bと41dの電圧の差を演算する電圧差演算部
42bが、電圧検出部41bと41dに接続されてい
る。そして、これら電圧差演算部42a,42bが、前
述したような2軸ぶれ演算手段4に接続され、2軸の回
転の角速度に応じた信号が得られる。
【0036】カメラが静止した状態で、交番電圧発生部
40により、4つのバイモルフ型圧電体に交番電圧を印
加した場合、図8の(C)に示すように、ピラミッド型
振動部材38は、光軸方向に変形を生じる。この場合の
電圧差演算部42a,42bの出力は、各圧電体に印加
する電圧が等しいことから、「0」である。
【0037】ここで、上記第2の実施例と同様に軸k1
と軸k2を考え、軸k1回りに回転運動が加わった場合
を考える。この場合も、第2の実施例で示した場合と同
様に、コリオリの力が各振動部に加わる。そのため、バ
イモルフ型圧電体39a,39cもその力による屈曲を
生じ、そのために、電荷が発生して、電圧検出部41
a,41cで検出される電圧が変化する。二つの圧電体
の屈曲方向が異なることから、コリオリの力による電圧
の違いが生じ、そのため、電圧差演算部42aでは、出
力信号が変化する。この出力は、コリオリの力、つま
り、軸k1回りの角速度に応じて変化する。これによ
り、軸k1回りの角速度を検出することができる。同様
に、軸k2回りの角速度について、電圧差演算部42b
で検出することができる。2軸ぶれ演算手段4は、前述
の第1の実施例と同様であり、2軸の回転の角速度に応
じた信号が得られる。
【0038】この第3の実施例では、角速度の検出部と
振動の発生部の機械電気エネルギー変換素子を兼用した
ため、上記第1及び第2の実施例に比べて、さらに、コ
ンパクトな構成がとれる。
【0039】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
振動型角速度センサに於て、共通の振動部で、2軸分の
検出部を駆動可能にしたため、例えば撮影装置に用いた
場合、簡単な構成で2軸方向の手ぶれの有無と程度を知
るのに十分な性能を有した手ぶれ検出が可能な角速度検
装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の角速度検出装置を利用した例である、
撮影装置の手ぶれ検出装置のブロック構成図である。
【図2】撮影装置としてのカメラの手ぶれの回転の軸を
示す図である。
【図3】(A)乃至(C)は第1の実施例に於ける加振
手段の斜視図及び正面図と側面図であり、(D)は加振
手段のカメラへの取付け方向を示す図であり、(E)は
第1及び第2角速度検出手段の等価回路であり、(F)
は積層型圧電体が伸びた時の圧電体の移動量を説明する
ための図であり、(G)はカメラが手ぶれにより回転運
動している場合のコリオリの力の発生方向を説明するた
めの図である。
【図4】(A)は2軸ぶれ演算手段のブロック構成図で
あり、(B)は2軸ぶれ演算手段の他の構成を示すブロ
ック図であり、(C)は撮影レンズの焦点距離が変更可
能な撮影装置の場合の2軸ぶれ演算手段の構成を説明す
るためのブロック図である。
【図5】(A)乃至(G)は第1の実施例の構成に於け
る各部の信号波形を示す図である。
【図6】(A)は本発明の第2の実施例に使用される加
振手段の構成を示す斜視組み立て図であり、(B)は上
記加振手段のカメラへの取付け状態を示す図である。
【図7】(A)は第2の実施例に於ける第1角速度検出
手段の構成を示す図であり、(B)は上記第1角速度検
出手段の等価回路図であり、(C)は第1角速度検出手
段を構成する圧電体の屈曲方向を示す図であり、(D)
は軸回りの回転が与えられた場合のコリオリの力の発生
方向を説明するための図であり、(E)は第1及び第2
角速度検出手段と2軸ぶれ演算手段との接続状態を示す
図である。
【図8】(A)は本発明の第3の実施例の構成を示す図
であり、(B)は対向する圧電体と交番電圧発生部及び
電圧検出部の接続状態を示す図であり、(C)はピラミ
ッド型振動部材の変形方向を示す図である。
【符号の説明】
1…第1角速度検出手段、2…第2角速度検出手段、3
…加振手段、4…2軸ぶれ演算手段、11…積層型圧電
体、12…円環型振動部材、13,34,40…交番電
圧発生部、16,17,36a〜36d,39a〜39
d…圧電体、20,21…ハイパスフィルタ、22,2
3…絶対値変換回路、24…信号加算回路、25…ロー
パスフィルタ、33…積層型圧電アクチュエータ、3
5,38…ピラミッド型振動部材、41a〜41d…電
圧検出部、42a,42b…電圧差演算部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G03B 5/00

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 異なる2つの軸方向の内の一方の軸の回
    転速度を検出する機械電気エネルギー変換素子からなる
    第1角速度検出手段と、上記異なる2つの軸方向の内の 他方の軸の回転速度を検
    出する機械電気エネルギー変換素子からなる第2角速度
    検出手段と、 上記第1の角速度検出手段と第2角速度検出手段とを同
    時に励振振動させる共通の加振手段と を具備してなることを特徴とする角速度検出装置。
JP17068392A 1992-06-29 1992-06-29 角速度検出装置 Expired - Fee Related JP3154817B2 (ja)

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US7191636B2 (en) * 2005-03-04 2007-03-20 Bei Technologies, Inc. Inertial measurement system and method with sensor bias cancellation

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