JP3146810B2 - センサ光軸補正装置 - Google Patents
センサ光軸補正装置Info
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
- G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、センサ光軸補正装置に
関し、特に計測センサに光軸調整機構を設けることな
く、自動的に光軸のずれに関係する補正を行いうるよう
にしたものである。
関し、特に計測センサに光軸調整機構を設けることな
く、自動的に光軸のずれに関係する補正を行いうるよう
にしたものである。
【0002】
【従来の技術】最近、レーザ光などを利用した非接触式
計測装置が普及し、いろいろな分野で使われている。図
5はたとえば自動車のパネル部品の形状を測定するパネ
ル計測装置の一例を示したものである。このパネル計測
装置1は、計測センサ2が取り付けられた計測装置本体
3と、計測センサ2を含めて計測装置本体3を制御する
計測コントローラ4と、計測センサ2の計測結果を統計
処理する計測データ統計処理装置5とから構成されてい
る。計測センサ2は、たとえば図6に示すように、レー
ザ光源6と検出器(受光素子など)7とを有し、ロボッ
トの手首部8に取り付けられている。この場合、計測セ
ンサ2のレーザ光源6から照射されたレーザ光は、パネ
ル部品9の表面で反射されて計測センサ2の検出器7に
受光されるようになっている。
計測装置が普及し、いろいろな分野で使われている。図
5はたとえば自動車のパネル部品の形状を測定するパネ
ル計測装置の一例を示したものである。このパネル計測
装置1は、計測センサ2が取り付けられた計測装置本体
3と、計測センサ2を含めて計測装置本体3を制御する
計測コントローラ4と、計測センサ2の計測結果を統計
処理する計測データ統計処理装置5とから構成されてい
る。計測センサ2は、たとえば図6に示すように、レー
ザ光源6と検出器(受光素子など)7とを有し、ロボッ
トの手首部8に取り付けられている。この場合、計測セ
ンサ2のレーザ光源6から照射されたレーザ光は、パネ
ル部品9の表面で反射されて計測センサ2の検出器7に
受光されるようになっている。
【0003】ところで、このような計測装置において
は、計測結果の精度を確保するため、計測センサ2のレ
ーザ光の光軸をあらかじめ決められた位置と方向になる
ように調整すること(つまり光軸調整)がきわめて重要
である。従来、こうした光軸調整は、光軸調整用治具と
センサ上の光軸調整機構を用いて行われていた。
は、計測結果の精度を確保するため、計測センサ2のレ
ーザ光の光軸をあらかじめ決められた位置と方向になる
ように調整すること(つまり光軸調整)がきわめて重要
である。従来、こうした光軸調整は、光軸調整用治具と
センサ上の光軸調整機構を用いて行われていた。
【0004】たとえば図7に示すように、治具10上に
計測センサ2をロケートピンなどで正確に位置決め固定
した後、計測センサ2の光軸が通るべき位置にピンホー
ルを持つピンホールプレート11をガイドバー12に沿
って前後に移動させ、計測センサ2に設けられた光軸調
整機構によってレーザ光が常にピンホールを通過するよ
うに調整する。そして、すべての計測センサ2の光軸を
一定に調整した上で、これらを計測装置本体3に取り付
けていた。
計測センサ2をロケートピンなどで正確に位置決め固定
した後、計測センサ2の光軸が通るべき位置にピンホー
ルを持つピンホールプレート11をガイドバー12に沿
って前後に移動させ、計測センサ2に設けられた光軸調
整機構によってレーザ光が常にピンホールを通過するよ
うに調整する。そして、すべての計測センサ2の光軸を
一定に調整した上で、これらを計測装置本体3に取り付
けていた。
【0005】図8には計測センサ2に設けられた光軸調
整機構の一例を示してある。この光軸調整機構は、垂直
方向のずれを修正するための1対のアジャストスクリュ
ー13、13と、水平方向のずれを修正するための他の
1対のアジャストスクリュー14、14と、計測センサ
2の本体を取り付けるブラケット15とからなってい
る。
整機構の一例を示してある。この光軸調整機構は、垂直
方向のずれを修正するための1対のアジャストスクリュ
ー13、13と、水平方向のずれを修正するための他の
1対のアジャストスクリュー14、14と、計測センサ
2の本体を取り付けるブラケット15とからなってい
る。
【0006】この光軸調整機構による光軸調整手順の一
例は次の通りである。光軸のずれは一般に垂直方向のず
れと水平方向のずれの組み合わせて起こるので片方ずつ
修正する。垂直方向のずれはアジャストスクリュー1
3、13によって、水平方向のずれはアジャストスクリ
ュー14、14によってそれぞれ行う。T字ブロックを
それぞれ至近距離と遠距離に置き、ブロック上の方眼目
盛りのどの位置にレーザ光が当たっているかを見る。こ
れら2点のスポットの当たり方を見て、光軸がどのよう
にずれているかを判断する。それから、垂直方向のずれ
と水平方向のずれの調整をそれぞれ行うが、どちらであ
れ、まず光軸を平行にする。すなわち、垂直方向のずれ
の修正を例にとると、T字ブロックを至近距離に置き、
フロント(F)側のアジャストスクリュー13を調整し
て、T字ブロックを遠距離に置いた時とほぼ同じ高さに
スポットが当たるように調整した後、T字ブロックを再
び遠距離に移動して、スポットの高さが一定であること
を確認する。このとき、アジャストスクリュー13の締
め込み量が多すぎると、プランジャ16が目一杯下がっ
て動かなくなってしまうので(図8(B)参照)、フロ
ント(F)側とリア(R)側の両方のアジャストスクリ
ュー13、13を回して、適当な位置までブラケット1
5全体を上げる。これで平行がでたので、次にスポット
が目標の高さから何ミリメートル(mm)ずれているかを
目盛りから読み取り、アジャストスクリューのピッチを
考慮して、両方のアジャストスクリュー13、13とも
そのずれの分だけ上下する。これでほぼ平行になってい
るので、さらに以上の作業を繰り返して微調整を行う。
こうして垂直方向ならびに水平方向のずれの調整を終え
ると、ボルトを締め込んでブラケット15を固定する。
例は次の通りである。光軸のずれは一般に垂直方向のず
れと水平方向のずれの組み合わせて起こるので片方ずつ
修正する。垂直方向のずれはアジャストスクリュー1
3、13によって、水平方向のずれはアジャストスクリ
ュー14、14によってそれぞれ行う。T字ブロックを
それぞれ至近距離と遠距離に置き、ブロック上の方眼目
盛りのどの位置にレーザ光が当たっているかを見る。こ
れら2点のスポットの当たり方を見て、光軸がどのよう
にずれているかを判断する。それから、垂直方向のずれ
と水平方向のずれの調整をそれぞれ行うが、どちらであ
れ、まず光軸を平行にする。すなわち、垂直方向のずれ
の修正を例にとると、T字ブロックを至近距離に置き、
フロント(F)側のアジャストスクリュー13を調整し
て、T字ブロックを遠距離に置いた時とほぼ同じ高さに
スポットが当たるように調整した後、T字ブロックを再
び遠距離に移動して、スポットの高さが一定であること
を確認する。このとき、アジャストスクリュー13の締
め込み量が多すぎると、プランジャ16が目一杯下がっ
て動かなくなってしまうので(図8(B)参照)、フロ
ント(F)側とリア(R)側の両方のアジャストスクリ
ュー13、13を回して、適当な位置までブラケット1
5全体を上げる。これで平行がでたので、次にスポット
が目標の高さから何ミリメートル(mm)ずれているかを
目盛りから読み取り、アジャストスクリューのピッチを
考慮して、両方のアジャストスクリュー13、13とも
そのずれの分だけ上下する。これでほぼ平行になってい
るので、さらに以上の作業を繰り返して微調整を行う。
こうして垂直方向ならびに水平方向のずれの調整を終え
ると、ボルトを締め込んでブラケット15を固定する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の装置にあっては、光軸のずれの補正に関し
て、あらかじめ光軸調整用治具とセンサ上の光軸調整機
構によって計測センサ2の光軸を一定の位置と方向に調
整した後にこの光軸調整された計測センサ2を計測装置
本体3に取り付けるという方法であるため、計測センサ
2に光軸調整機構を設ける必要があり、そのため計測セ
ンサ2の構造が複雑になるばかりか、光軸調整用治具と
センサ上の光軸調整機構とによる光軸調整作業には上記
のようにかなりの手間がかかるという問題がある。
うな従来の装置にあっては、光軸のずれの補正に関し
て、あらかじめ光軸調整用治具とセンサ上の光軸調整機
構によって計測センサ2の光軸を一定の位置と方向に調
整した後にこの光軸調整された計測センサ2を計測装置
本体3に取り付けるという方法であるため、計測センサ
2に光軸調整機構を設ける必要があり、そのため計測セ
ンサ2の構造が複雑になるばかりか、光軸調整用治具と
センサ上の光軸調整機構とによる光軸調整作業には上記
のようにかなりの手間がかかるという問題がある。
【0008】本発明は、このような従来技術の問題点に
鑑みてなされたものであり、計測センサに光軸調整機構
を設けることなく、計測センサの光軸のずれに対して計
測センサの計測結果を自動的に補正しうるセンサ光軸補
正装置を提供することを目的とする。
鑑みてなされたものであり、計測センサに光軸調整機構
を設けることなく、計測センサの光軸のずれに対して計
測センサの計測結果を自動的に補正しうるセンサ光軸補
正装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、被測定物に光を照射する計測センサと、当
該計測センサからの光を受光しその受光位置情報を検出
する受光手段と、当該受光手段を移動させてその位置情
報を検出する移動手段と、前記受光手段によって検出さ
れた複数の受光位置情報と移動手段によって検出された
複数の位置情報とに基づいて、前記計測センサの座標系
と当該計測センサの取り付け面の座標系との座標変換に
用いられる座標変換マトリックスを演算する演算手段
と、前記計測センサに内蔵され前記演算手段の演算結果
を記憶する記憶手段と、当該記憶手段に記憶されている
座標変換マトリックスによる座標変換に基づいて前記計
測センサによる計測結果を補正し、前記計測センサの光
軸のずれ分を補正する補正手段とを有することを特徴と
する。
の本発明は、被測定物に光を照射する計測センサと、当
該計測センサからの光を受光しその受光位置情報を検出
する受光手段と、当該受光手段を移動させてその位置情
報を検出する移動手段と、前記受光手段によって検出さ
れた複数の受光位置情報と移動手段によって検出された
複数の位置情報とに基づいて、前記計測センサの座標系
と当該計測センサの取り付け面の座標系との座標変換に
用いられる座標変換マトリックスを演算する演算手段
と、前記計測センサに内蔵され前記演算手段の演算結果
を記憶する記憶手段と、当該記憶手段に記憶されている
座標変換マトリックスによる座標変換に基づいて前記計
測センサによる計測結果を補正し、前記計測センサの光
軸のずれ分を補正する補正手段とを有することを特徴と
する。
【0010】
【作用】このように構成した本発明にあっては、移動手
段は受光手段を適当な位置に移動させ、その位置情報を
検出する。受光手段は前記位置において計測センサから
の光を受光し、その受光位置情報を検出する。演算手段
は、移動手段の検出した位置情報と受光手段の検出した
受光位置情報とを複数組取り込んだ後、これら複数の位
置情報および受光位置情報に基づいて、計測センサの座
標系と当該計測センサの取り付け面の座標系との座標変
換に用いられる座標変換マトリックスを演算する。この
演算結果は計測センサに内蔵されている記憶手段に格納
される。その後、この計測センサを計測装置に取り付け
て実際に計測を行う場合において、補正手段は、計測セ
ンサの記憶手段に記憶されている座標変換マトリックス
による座標変換に基づいて、計測センサによる計測結果
を補正し、前記計測センサの光軸のずれ分を補正する。
これにより、計測センサの光軸にずれがあっても、従来
のように計測センサに対する光軸調整作業を行うことな
く、光軸のずれ分だけ計測センサの計測結果を自動的に
補正することができる。
段は受光手段を適当な位置に移動させ、その位置情報を
検出する。受光手段は前記位置において計測センサから
の光を受光し、その受光位置情報を検出する。演算手段
は、移動手段の検出した位置情報と受光手段の検出した
受光位置情報とを複数組取り込んだ後、これら複数の位
置情報および受光位置情報に基づいて、計測センサの座
標系と当該計測センサの取り付け面の座標系との座標変
換に用いられる座標変換マトリックスを演算する。この
演算結果は計測センサに内蔵されている記憶手段に格納
される。その後、この計測センサを計測装置に取り付け
て実際に計測を行う場合において、補正手段は、計測セ
ンサの記憶手段に記憶されている座標変換マトリックス
による座標変換に基づいて、計測センサによる計測結果
を補正し、前記計測センサの光軸のずれ分を補正する。
これにより、計測センサの光軸にずれがあっても、従来
のように計測センサに対する光軸調整作業を行うことな
く、光軸のずれ分だけ計測センサの計測結果を自動的に
補正することができる。
【0011】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図1は本発明の一実施例を示すブロック図、図
2はその具体的な装置例を示す図、図3は光軸補正デー
タ書込み時の動作フローチャート、図4は実際の計測時
の動作フローチャートである。
明する。図1は本発明の一実施例を示すブロック図、図
2はその具体的な装置例を示す図、図3は光軸補正デー
タ書込み時の動作フローチャート、図4は実際の計測時
の動作フローチャートである。
【0012】図1に示すセンサ光軸補正装置は、計測時
にレーザ光などの光を被測定物に照射する計測センサ2
0と、この計測センサ20からの光を受光しその位置情
報を検出する受光手段としての受光センサ21と、計測
センサ20を取り付け固定し一方で受光センサ21をX
Y方向に移動させこの位置情報を検出する移動手段とし
ての調整用治具22とを有し、計測センサ20には後述
する光軸補正データとしてのマトリックスデータが格納
される記憶手段としての不揮発性メモリ23が内蔵され
ている。計測センサ20にはこれを制御する計測センサ
コントローラ24が接続され、受光センサ21にはこれ
を制御する受光センサコントローラ25が接続され、ま
た、調整用治具22にはこれを制御する治具コントロー
ラ26が接続されている。受光センサコントローラ25
と治具コントローラ26にはこれらからそれぞれ受光位
置情報と治具位置情報を取り込んで光軸補正データとし
てのセンサ座標系のセンサ取付面の座標系に対する座標
変換マトリックスを作成する演算手段としての座標変換
マトリックス作成部27が接続されている。この座標変
換マトリックス作成部27で作成された座標変換マトリ
ックスのデータは、データ書込み処理部28を介して計
測センサ20内の不揮発性メモリ23に格納されるよう
になっている。
にレーザ光などの光を被測定物に照射する計測センサ2
0と、この計測センサ20からの光を受光しその位置情
報を検出する受光手段としての受光センサ21と、計測
センサ20を取り付け固定し一方で受光センサ21をX
Y方向に移動させこの位置情報を検出する移動手段とし
ての調整用治具22とを有し、計測センサ20には後述
する光軸補正データとしてのマトリックスデータが格納
される記憶手段としての不揮発性メモリ23が内蔵され
ている。計測センサ20にはこれを制御する計測センサ
コントローラ24が接続され、受光センサ21にはこれ
を制御する受光センサコントローラ25が接続され、ま
た、調整用治具22にはこれを制御する治具コントロー
ラ26が接続されている。受光センサコントローラ25
と治具コントローラ26にはこれらからそれぞれ受光位
置情報と治具位置情報を取り込んで光軸補正データとし
てのセンサ座標系のセンサ取付面の座標系に対する座標
変換マトリックスを作成する演算手段としての座標変換
マトリックス作成部27が接続されている。この座標変
換マトリックス作成部27で作成された座標変換マトリ
ックスのデータは、データ書込み処理部28を介して計
測センサ20内の不揮発性メモリ23に格納されるよう
になっている。
【0013】これの具体的な装置例を図2に示してあ
る。同図に示すように、計測センサ20はレーザ光源4
0と受光素子などの検出器41を有し、さらに、ここで
は図示しないが前記不揮発性メモリ23を内蔵してい
る。しかし、従来の計測センサのように光軸調整機構は
一切備えていない。
る。同図に示すように、計測センサ20はレーザ光源4
0と受光素子などの検出器41を有し、さらに、ここで
は図示しないが前記不揮発性メモリ23を内蔵してい
る。しかし、従来の計測センサのように光軸調整機構は
一切備えていない。
【0014】また、調整用治具22は、L字形の治具本
体42と、この治具本体42上にX方向に移動自在に設
けられた第1テーブル43と、この第1テーブル43上
にY方向に移動自在に設けられた第2テーブル44と、
この第2テーブル44上に回転自在に設けられた円板形
の第3テーブル45とからなっている。第1〜第3テー
ブル43、44、45は可動テーブルであり、それぞれ
サーボモータ46、47、48と減速機49、50、5
1によって駆動されるようになっている。これら3つの
サーボモータ46〜48にはそれぞれサーボドライバ5
2、53、54が接続されている。また、各サーボモー
タ46〜48にはエンコーダなどの図示しない位置検出
器が取り付けられており、各テーブル43〜45の位置
情報を検出できるようになっている。受光センサ21は
第3テーブル45上に取り付けられている。また、計測
センサ20の光軸を測定しその光軸補正データを不揮発
性メモリ23に書き込む際には、計測センサ20は治具
本体42上の適当な位置に取り付けられる。
体42と、この治具本体42上にX方向に移動自在に設
けられた第1テーブル43と、この第1テーブル43上
にY方向に移動自在に設けられた第2テーブル44と、
この第2テーブル44上に回転自在に設けられた円板形
の第3テーブル45とからなっている。第1〜第3テー
ブル43、44、45は可動テーブルであり、それぞれ
サーボモータ46、47、48と減速機49、50、5
1によって駆動されるようになっている。これら3つの
サーボモータ46〜48にはそれぞれサーボドライバ5
2、53、54が接続されている。また、各サーボモー
タ46〜48にはエンコーダなどの図示しない位置検出
器が取り付けられており、各テーブル43〜45の位置
情報を検出できるようになっている。受光センサ21は
第3テーブル45上に取り付けられている。また、計測
センサ20の光軸を測定しその光軸補正データを不揮発
性メモリ23に書き込む際には、計測センサ20は治具
本体42上の適当な位置に取り付けられる。
【0015】さらに、上記した計測センサコントローラ
24、受光センサコントローラ25、治具コントローラ
26、座標変換マトリックス作成部27、およびデータ
書込み処理部28は一体化されて1つの統合コントロー
ラ55を構成している。また、この統合コントローラ5
5にはこのシステムを操作するための操作盤56が接続
されている。
24、受光センサコントローラ25、治具コントローラ
26、座標変換マトリックス作成部27、およびデータ
書込み処理部28は一体化されて1つの統合コントロー
ラ55を構成している。また、この統合コントローラ5
5にはこのシステムを操作するための操作盤56が接続
されている。
【0016】一方、図1に示すように、実際に計測を行
う際に計測センサ20が取り付けられる計測装置30の
側には、計測センサ20内の不揮発性メモリ23に格納
されているデータを読み取るためのインタフェース部3
1が設けられ、このインタフェース部31には計測装置
30を制御する補正手段としての計測コントローラ32
が接続されている。
う際に計測センサ20が取り付けられる計測装置30の
側には、計測センサ20内の不揮発性メモリ23に格納
されているデータを読み取るためのインタフェース部3
1が設けられ、このインタフェース部31には計測装置
30を制御する補正手段としての計測コントローラ32
が接続されている。
【0017】次に、以上のように構成された本装置の動
作について、図3と図4のフローチャートに従って説明
する。まず図3に基づいて光軸補正データ書込み時の動
作を説明する。この場合には、計測センサ20を調整用
治具22の治具本体42上に設置する。この状態におい
て、操作盤56の起動スイッチがオンされると、治具コ
ントローラ26は、サーボドライバ52〜54を介して
各サーボモータ46〜48に制御信号を送って各テーブ
ル43〜45を駆動し、これらを所定の位置に移動させ
(S1)、その時の各テーブル43〜45の位置情報を
エンコーダからの信号の形で入力した後、所定の信号処
理を施して、テーブル位置情報として座標変換マトリッ
クス作成部27に送出する(S2)。それから、計測セ
ンサコントローラ24は、計測センサ20に制御信号を
送って計測センサ20を作動させ、レーザ光源40から
レーザ光を発射させる(S3)。このレーザ光は受光セ
ンサ21によって受光され、受光センサコントローラ2
5はその受光位置情報を受光センサ21からの信号の形
で入力した後、所定の信号処理を施して、受光位置情報
として座標変換マトリックス作成部27に送出する(S
4)。そして、以上の動作を所定回数だけ繰り返す(S
5)。この回数は、1か所でのテーブル位置情報と受光
位置情報を1組として、計測センサ20の光軸の位置と
方向を算出するのに必要かつ適当なだけの組数の位置情
報を取得しうるよう、適当な複数の値に設定されてい
る。
作について、図3と図4のフローチャートに従って説明
する。まず図3に基づいて光軸補正データ書込み時の動
作を説明する。この場合には、計測センサ20を調整用
治具22の治具本体42上に設置する。この状態におい
て、操作盤56の起動スイッチがオンされると、治具コ
ントローラ26は、サーボドライバ52〜54を介して
各サーボモータ46〜48に制御信号を送って各テーブ
ル43〜45を駆動し、これらを所定の位置に移動させ
(S1)、その時の各テーブル43〜45の位置情報を
エンコーダからの信号の形で入力した後、所定の信号処
理を施して、テーブル位置情報として座標変換マトリッ
クス作成部27に送出する(S2)。それから、計測セ
ンサコントローラ24は、計測センサ20に制御信号を
送って計測センサ20を作動させ、レーザ光源40から
レーザ光を発射させる(S3)。このレーザ光は受光セ
ンサ21によって受光され、受光センサコントローラ2
5はその受光位置情報を受光センサ21からの信号の形
で入力した後、所定の信号処理を施して、受光位置情報
として座標変換マトリックス作成部27に送出する(S
4)。そして、以上の動作を所定回数だけ繰り返す(S
5)。この回数は、1か所でのテーブル位置情報と受光
位置情報を1組として、計測センサ20の光軸の位置と
方向を算出するのに必要かつ適当なだけの組数の位置情
報を取得しうるよう、適当な複数の値に設定されてい
る。
【0018】なお、複数組の位置情報を取得する方法は
本実施例のものに限定されるものではなく、たとえば、
計測センサ20を作動させたままの状態で各テーブル4
3〜45を離散的または連続的に移動させ、テーブル位
置情報の検出と受光位置情報の検出との間のタイミング
をとるなどの方法であっても良い。
本実施例のものに限定されるものではなく、たとえば、
計測センサ20を作動させたままの状態で各テーブル4
3〜45を離散的または連続的に移動させ、テーブル位
置情報の検出と受光位置情報の検出との間のタイミング
をとるなどの方法であっても良い。
【0019】所定の組数の位置情報(テーブル位置情報
と受光位置情報)が入力されると、座標変換マトリック
ス作成部27は、複数組のテーブル位置情報と受光位置
情報に基づいて、計測センサ20の光軸の位置と方向を
算出し(S6)、さらに、この算出結果に基づいて、セ
ンサ座標系のセンサ取付面の座標系(計測装置30に取
り付けられた場合にはロボットの手首の座標系となる)
に対する座標変換マトリックスAを作成する(S7)。
センサ座標系は光軸を基準にしているため光軸にずれが
あると計測結果の精度が低下するが、上記のように光軸
のずれ分を補正する座標変換マトリックスAを作成する
ことによって、後述するように座標変換処理を行うこと
によって簡単に計測センサ20の計測結果を光軸のずれ
分だけ補正できるようになる。ステップ7で座標変換マ
トリックスAが作成されると、このマトリックスデータ
はデータ書込み処理部28を介して計測センサ20内の
不揮発性メモリ23に書き込まれる(S8)。以上の動
作は必要とされるすべての計測センサ20について実行
される。その結果として、それぞれの計測センサ20は
自身の光軸のずれを補正する固有のマトリックスデータ
Aを保有することになる。
と受光位置情報)が入力されると、座標変換マトリック
ス作成部27は、複数組のテーブル位置情報と受光位置
情報に基づいて、計測センサ20の光軸の位置と方向を
算出し(S6)、さらに、この算出結果に基づいて、セ
ンサ座標系のセンサ取付面の座標系(計測装置30に取
り付けられた場合にはロボットの手首の座標系となる)
に対する座標変換マトリックスAを作成する(S7)。
センサ座標系は光軸を基準にしているため光軸にずれが
あると計測結果の精度が低下するが、上記のように光軸
のずれ分を補正する座標変換マトリックスAを作成する
ことによって、後述するように座標変換処理を行うこと
によって簡単に計測センサ20の計測結果を光軸のずれ
分だけ補正できるようになる。ステップ7で座標変換マ
トリックスAが作成されると、このマトリックスデータ
はデータ書込み処理部28を介して計測センサ20内の
不揮発性メモリ23に書き込まれる(S8)。以上の動
作は必要とされるすべての計測センサ20について実行
される。その結果として、それぞれの計測センサ20は
自身の光軸のずれを補正する固有のマトリックスデータ
Aを保有することになる。
【0020】次に図4に基づいて実際の計測時の動作を
説明する。この場合には、マトリックスデータAが格納
された計測センサ20を計測装置30、具体的にはたと
えばロボットの手首部8に取り付ける(図6参照)。こ
の状態において実際の計測が開始されると、計測装置3
0の計測コントローラ32は、計測センサ20を作動さ
せ、レーザ光を被測定物に照射しその反射光を受光して
得た計測結果(座標値)Xを入力するとともに(S
9)、計測センサ20内の不揮発性メモリ23に格納さ
れている座標変換マトリックスAをインタフェース部3
1を介して取り込む(S10)。このときの計測結果X
はセンサ座標系におけるものである。それから、前記計
測結果Xを座標変換マトリックスAに基づいて次の式1
に従って、センサ座標系からロボット手首座標系の座標
値XA に変換する(S11)。これによって、計測セン
サ20の光軸のずれが補正される。 XA =AX …式1 それから、ロボット手首座標系からロボット座標系への
座標変換マトリックスRに基づいて次の式2に従って、
ロボット手首座標系の座標値XA をロボット座標系の座
標値XR に変換する(S12)。ここで、座標変換マト
リックスRは、ロボットの各軸の変位(J1 、J2 、
…、Jn )(n軸ロボットの場合)に応じてその都度自動
的に作成されるようになっている。 XR =RXA …式2 それから、ロボット座標系からワーク座標系への座標変
換マトリックスWに基づいて次の式3に従って、ロボッ
ト座標系の座標値XR をワーク座標系の座標値XW に変
換する(S13)。ここで、座標変換マトリックスW
は、被測定物たるワーク固定時にキャリブレーションに
よって作成される。 XW =WXR …式3 それから、ステップ13の変換結果をデータ解析処理部
に転送して(S14)、計測装置30における所定の演
算処理に提供する。
説明する。この場合には、マトリックスデータAが格納
された計測センサ20を計測装置30、具体的にはたと
えばロボットの手首部8に取り付ける(図6参照)。こ
の状態において実際の計測が開始されると、計測装置3
0の計測コントローラ32は、計測センサ20を作動さ
せ、レーザ光を被測定物に照射しその反射光を受光して
得た計測結果(座標値)Xを入力するとともに(S
9)、計測センサ20内の不揮発性メモリ23に格納さ
れている座標変換マトリックスAをインタフェース部3
1を介して取り込む(S10)。このときの計測結果X
はセンサ座標系におけるものである。それから、前記計
測結果Xを座標変換マトリックスAに基づいて次の式1
に従って、センサ座標系からロボット手首座標系の座標
値XA に変換する(S11)。これによって、計測セン
サ20の光軸のずれが補正される。 XA =AX …式1 それから、ロボット手首座標系からロボット座標系への
座標変換マトリックスRに基づいて次の式2に従って、
ロボット手首座標系の座標値XA をロボット座標系の座
標値XR に変換する(S12)。ここで、座標変換マト
リックスRは、ロボットの各軸の変位(J1 、J2 、
…、Jn )(n軸ロボットの場合)に応じてその都度自動
的に作成されるようになっている。 XR =RXA …式2 それから、ロボット座標系からワーク座標系への座標変
換マトリックスWに基づいて次の式3に従って、ロボッ
ト座標系の座標値XR をワーク座標系の座標値XW に変
換する(S13)。ここで、座標変換マトリックスW
は、被測定物たるワーク固定時にキャリブレーションに
よって作成される。 XW =WXR …式3 それから、ステップ13の変換結果をデータ解析処理部
に転送して(S14)、計測装置30における所定の演
算処理に提供する。
【0021】したがって、本実施例によれば、計測セン
サ20を調整用治具22に取り付けて自動的に光軸の位
置・方向を測定し、光軸のずれを補正するための座標変
換マトリックスAを作成し、さらにそのマトリックスA
のデータを計測センサ20内の不揮発性メモリ23に格
納し、一方で実際に計測する際にはその格納されている
データAを用いた座標変換によって計測センサ20の計
測結果Xを補正するようにしたので、従来のように計測
センサに複雑な光軸調整機構を設ける必要がなくなり、
計測センサの構造を簡単化できる。また、従来のように
作業者が光軸調整作業を行う必要がなくなり、調整作業
の手間が省けるばかりか、自動化によってきわめて短時
間で精度の良い補正を行うことが可能となる。
サ20を調整用治具22に取り付けて自動的に光軸の位
置・方向を測定し、光軸のずれを補正するための座標変
換マトリックスAを作成し、さらにそのマトリックスA
のデータを計測センサ20内の不揮発性メモリ23に格
納し、一方で実際に計測する際にはその格納されている
データAを用いた座標変換によって計測センサ20の計
測結果Xを補正するようにしたので、従来のように計測
センサに複雑な光軸調整機構を設ける必要がなくなり、
計測センサの構造を簡単化できる。また、従来のように
作業者が光軸調整作業を行う必要がなくなり、調整作業
の手間が省けるばかりか、自動化によってきわめて短時
間で精度の良い補正を行うことが可能となる。
【0022】さらに、個々の計測センサ20ごとに自身
の光軸のずれを補正するための固有のマトリックスデー
タAを保有させ、そのデータを計測センサ20自身から
取り込むようにしたので、計測センサ20をどの計測装
置30に取り付けようとも、特別の操作を必要としない
こととなり、使い勝手がかなり向上する。
の光軸のずれを補正するための固有のマトリックスデー
タAを保有させ、そのデータを計測センサ20自身から
取り込むようにしたので、計測センサ20をどの計測装
置30に取り付けようとも、特別の操作を必要としない
こととなり、使い勝手がかなり向上する。
【0023】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、従来
のように計測センサの光軸を一定の位置と方向に調整す
るのではなく、所定の検出結果に基づいて計測センサの
光軸補正データである座標変換マトリックスを演算しそ
の演算結果を計測センサに保有させ一方でその座標変換
マトリックスによる座標変換に基づいて実際の計測結果
を補正するようにしたので、計測センサ上の光軸調整機
構が不要となり、計測センサの簡単化が図られるととも
に、作業者による光軸調整作業の手間が省略でき、自動
化と相俟って光軸のずれに関係する補正をきわめて短時
間で精度良く行うことができるようになる。
のように計測センサの光軸を一定の位置と方向に調整す
るのではなく、所定の検出結果に基づいて計測センサの
光軸補正データである座標変換マトリックスを演算しそ
の演算結果を計測センサに保有させ一方でその座標変換
マトリックスによる座標変換に基づいて実際の計測結果
を補正するようにしたので、計測センサ上の光軸調整機
構が不要となり、計測センサの簡単化が図られるととも
に、作業者による光軸調整作業の手間が省略でき、自動
化と相俟って光軸のずれに関係する補正をきわめて短時
間で精度良く行うことができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示すブロック図
【図2】同実施例の具体的な装置例を示す図
【図3】同実施例による光軸補正データ書込み時の動作
フローチャート
フローチャート
【図4】同実施例による実際の計測時の動作フローチャ
ート
ート
【図5】非接触式パネル計測装置の概略構成図
【図6】計測センサの部分を示す概略図
【図7】従来の光軸調整の一方法を示す図
【図8】従来の光軸調整機構の一例を示す図
20…計測センサ 21…受光センサ(受光手段) 22…調整用治具(移動手段) 23…不揮発性メモリ(記憶手段) 27…座標変換マトリックス作成部(演算手段) 32…計測コントローラ(補正手段)
Claims (1)
- 【請求項1】 被測定物に光を照射する計測センサと、 当該計測センサからの光を受光しその受光位置情報を検
出する受光手段と、 当該受光手段を移動させてその位置情報を検出する移動
手段と、前記受光手段によって検出された複数の受光位置情報と
移動手段によって検出された複数の位置情報とに基づい
て、前記計測センサの座標系と当該計測センサの取り付
け面の座標系との座標変換に用いられる座標変換マトリ
ックスを演算する演算手段と 、 前記計測センサに内蔵され前記演算手段の演算結果を記
憶する記憶手段と、 当該記憶手段に記憶されている座標変換マトリックスに
よる座標変換に基づいて前記計測センサによる計測結果
を補正し、前記計測センサの光軸のずれ分を補正する補
正手段と、 を有することを特徴とするセンサ光軸補正装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29367793A JP3146810B2 (ja) | 1993-11-24 | 1993-11-24 | センサ光軸補正装置 |
KR1019940029017A KR0143956B1 (ko) | 1993-11-24 | 1994-11-05 | 센서 광축 보정장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29367793A JP3146810B2 (ja) | 1993-11-24 | 1993-11-24 | センサ光軸補正装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07146122A JPH07146122A (ja) | 1995-06-06 |
JP3146810B2 true JP3146810B2 (ja) | 2001-03-19 |
Family
ID=17797805
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29367793A Expired - Fee Related JP3146810B2 (ja) | 1993-11-24 | 1993-11-24 | センサ光軸補正装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3146810B2 (ja) |
KR (1) | KR0143956B1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4738888B2 (ja) * | 2005-05-20 | 2011-08-03 | 住友大阪セメント株式会社 | 三次元位置測定装置及びソフトウエアプログラム |
-
1993
- 1993-11-24 JP JP29367793A patent/JP3146810B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-11-05 KR KR1019940029017A patent/KR0143956B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR0143956B1 (ko) | 1998-07-15 |
KR950014905A (ko) | 1995-06-16 |
JPH07146122A (ja) | 1995-06-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |