JP3145006U - 安全施策ユニット - Google Patents
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Abstract
【課題】ドライポンプから出たプロセス排気を、規定の濃度(N2で希釈)にする事により、除害装置で効率の良い排気ガス処理を行うことのできるガス希釈制御ユニットを提供する。
【解決手段】排気ラインのチャンバー毎にN2希釈ラインを接続し規定濃度まで希釈を行う。また配管をヒーターにより保温し、閉塞を回避する。配管の継手部には、ボックス状のカバーで覆い、工場排気にチューブ配管にて繋ぎ込み常にバキュームする事により、万が一継手部からプロセス排気が漏れた場合も工場排気ラインへ流れるようにし、排気ラインはガス検知器によりガス漏れ監視を行う。これらを安全施策ユニットのタッチパネルにより、一括管理を行う。
【選択図】図1
【解決手段】排気ラインのチャンバー毎にN2希釈ラインを接続し規定濃度まで希釈を行う。また配管をヒーターにより保温し、閉塞を回避する。配管の継手部には、ボックス状のカバーで覆い、工場排気にチューブ配管にて繋ぎ込み常にバキュームする事により、万が一継手部からプロセス排気が漏れた場合も工場排気ラインへ流れるようにし、排気ラインはガス検知器によりガス漏れ監視を行う。これらを安全施策ユニットのタッチパネルにより、一括管理を行う。
【選択図】図1
Description
本考案はCVD装置のプロセス排気ラインの希釈及びヒーティングに関するものである。
ドライポンプから出たプロセス排気を、そのままの状態で除害装置に流すと規定濃度以上のガスは、除害処理が出来ない場合がある。
また排気ガスによる生成物により、排気ラインが閉塞される事もある。
また排気ガスによる生成物により、排気ラインが閉塞される事もある。
ドライポンプから出たプロセス排気をN2で希釈することで、規定の濃度にする事により、除害装置で効率の良い排気ガス処理を行う。
規定濃度まで処理されていない排気ガスが漏れた場合、人的被害を与える。
また生成物により排気ラインが閉塞してしまうと、生産プロセスがストップし、
コスト面にも影響を及ぼす。
規定濃度まで処理されていない排気ガスが漏れた場合、人的被害を与える。
また生成物により排気ラインが閉塞してしまうと、生産プロセスがストップし、
コスト面にも影響を及ぼす。
本考案は、排気ラインの各チャンバー毎にN2希釈ラインを接続し規定濃度まで希釈
を行う。また配管をヒーターにより保温し、閉塞を回避する。配管の継手部は、SUS製のBox状のカバーで覆い、カバーに接続されたチューブ配管を通してカバー内部を
バキュームし、工場排気に流される。万が一継手部からプロセス排気が漏れた場合は工場排気ラインへ流れるようにし、排気ラインはガス検知器によりガス漏れ監視を行う。これらを安全施策ユニットのタッチパネルにより、一括管理を行う。
を行う。また配管をヒーターにより保温し、閉塞を回避する。配管の継手部は、SUS製のBox状のカバーで覆い、カバーに接続されたチューブ配管を通してカバー内部を
バキュームし、工場排気に流される。万が一継手部からプロセス排気が漏れた場合は工場排気ラインへ流れるようにし、排気ラインはガス検知器によりガス漏れ監視を行う。これらを安全施策ユニットのタッチパネルにより、一括管理を行う。
上述の様に、本考案は希釈・ヒーター・ガス漏れを一括管理（タッチパネル上）を、
行うことにより、危険なガスを安全に除害装置へ排気する事ができる。
行うことにより、危険なガスを安全に除害装置へ排気する事ができる。
CVD装置内の各チャンバーのガスＢｏｘ内で特定のガスオープンの指示があった場合その動作と連動して、希釈用N2ガスをプロセス排気ラインへ流す。さらには、常に閉塞を防止する為、プロセス排気ラインをヒーターにて保温する。
以下、添付図面に従って一実施例を説明する。
CVD装置内の各チャンバーのガスＢｏｘ内で特定のガスオープンの指示があった場合ガスを流す為にガスBox内の自動弁を「開」にします。その時ガスBox内の自動弁を動作する為のエアーを継手で分岐し、圧力スイッチ１に取り込む。圧力スイッチからガスオープン信号を、安全施策ユニット２の電装部で受けて処理し、同じく安全施策ユニット２内に、設けているN2のガスライン部の自動弁３を「開」にし、規定流量のN2をプロセス排気ラインへ、流すようにする。（この制御は、各チャンバー毎に行う。）
また、何らかの原因により規定の流量のN2が流れなかった場合は、重故障信号として、
CVD装置に信号を出す様にする。
CVD装置内の各チャンバーのガスＢｏｘ内で特定のガスオープンの指示があった場合ガスを流す為にガスBox内の自動弁を「開」にします。その時ガスBox内の自動弁を動作する為のエアーを継手で分岐し、圧力スイッチ１に取り込む。圧力スイッチからガスオープン信号を、安全施策ユニット２の電装部で受けて処理し、同じく安全施策ユニット２内に、設けているN2のガスライン部の自動弁３を「開」にし、規定流量のN2をプロセス排気ラインへ、流すようにする。（この制御は、各チャンバー毎に行う。）
また、何らかの原因により規定の流量のN2が流れなかった場合は、重故障信号として、
CVD装置に信号を出す様にする。
除害装置内で異常があった場合は、緊急希釈信号が安全施策ユニット2に送られユニット内のN2ガスラインの自動弁4を「開」にし、工場から供給されるN2ガスを
圧力・流量の制御なく、排気ラインへ流しこむ事ができる。
圧力・流量の制御なく、排気ラインへ流しこむ事ができる。
プロセス排気ラインの継手部をSUS製Box状の物で覆い(局所排気Box5)、 工場排気6にチューブ配管にて繋ぎ込み常にバキュームする事により、万が一継手部からプロセス排気が漏れた場合も工場排気ラインへ流れるようにする。工場排気ラインは安全施策ユニット2に組込まれているガス検知器によりガス漏れ監視を行い、異常あった場合は、緊急希釈信号が、安全施策ユニット2に送られユニット内のN2ガスラインの自動弁4を「開」にし、工場から供給されるN2を圧力・流量の制御なく、排気ラインへ流しこむ事ができる。
ジャケットヒーター7をプロセス排気ラインに巻き保温する事により、排気ライン内部の生成物による閉塞を防止する。保温温度は、あらかじめ設定を行った上限温度及び下限温度の制御を熱伝対で行い安全施策ユニット２のタッチパネルで、常に温度のモニタリングが出来る。温度異常が出た場合は、アラームにて異常を知らせて上限の異常の場合は、安全施策ユニット2内にあるブレーカーもトリップする様に制御する。
・ 圧力スイッチ
・ 安全施策ユニット
・ 自動弁（通常ライン）
・ 自動弁（緊急ライン）
・ 局所排気Box
・ 工場排気ライン
・ ジャケットヒーター
・ 安全施策ユニット
・ 自動弁（通常ライン）
・ 自動弁（緊急ライン）
・ 局所排気Box
・ 工場排気ライン
・ ジャケットヒーター
Claims (1)
- CVD装置で、特定のガスを使用した際の排気ラインの希釈。
希釈は間欠運転とし、その運転には圧力スイッチを用いた。
緊急時には、バイパスラインの自動バルブが開き強制的に大流量のN2ガスを流す。
また同じく排気ラインの閉塞を防止する為のヒーティングの制御、さらにはガス検
知器を盛り込んだ、トータル的な制御ユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008002051U JP3145006U (ja) | 2008-04-03 | 2008-04-03 | 安全施策ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008002051U JP3145006U (ja) | 2008-04-03 | 2008-04-03 | 安全施策ユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP3145006U true JP3145006U (ja) | 2008-09-25 |
Family
ID=43294819
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008002051U Expired - Fee Related JP3145006U (ja) | 2008-04-03 | 2008-04-03 | 安全施策ユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3145006U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2021053972A1 (ja) * | 2019-09-19 | 2021-03-25 |
-
2008
- 2008-04-03 JP JP2008002051U patent/JP3145006U/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2021053972A1 (ja) * | 2019-09-19 | 2021-03-25 | ||
| WO2021053972A1 (ja) * | 2019-09-19 | 2021-03-25 | 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラム、記録媒体および排ガス処理システム |
| CN114341399A (zh) * | 2019-09-19 | 2022-04-12 | 株式会社国际电气 | 基板处理装置、半导体装置的制造方法、程序、记录介质以及废气处理系统 |
| JP7250152B2 (ja) | 2019-09-19 | 2023-03-31 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、基板処理方法、プログラム及び排ガス処理システム |
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