JP3143346B2 - 加熱試料を分析する装置の試料保持装置 - Google Patents
加熱試料を分析する装置の試料保持装置Info
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- JP3143346B2 JP3143346B2 JP06324671A JP32467194A JP3143346B2 JP 3143346 B2 JP3143346 B2 JP 3143346B2 JP 06324671 A JP06324671 A JP 06324671A JP 32467194 A JP32467194 A JP 32467194A JP 3143346 B2 JP3143346 B2 JP 3143346B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、試料を加熱する加熱用
ヒータを組み込んだ加熱試料を分析する装置の試料保持
装置に関する。
ヒータを組み込んだ加熱試料を分析する装置の試料保持
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の加熱装置を備えた表面分析
装置等の試料保持装置の構成例を示す図である。オージ
ェ分析装置その他の表面分析装置等では、試料ホルダを
Ｘ動、Ｙ動、Ｚ動、Ｒ動（回転動）が可能な真空中のゴ
ニオステージ上に搭載し、試料に電子線を照射して試料
表面から放出されるオージェ電子や二次電子等を検出し
て成分や組織の形状を観察している。この場合、一般に
は試料を常温で観察するのが普通であるが、試料を加熱
して観察したい場合がある。例えばステンレス等の金属
を常温から８００℃まで加熱した時、組成変化が温度に
よってどのように変化するか、組成や成分を調べる場合
があり、そのために加熱ホルダ（加熱装置を備えた表面
分析装置等の試料保持装置）が用いられる。
装置等の試料保持装置の構成例を示す図である。オージ
ェ分析装置その他の表面分析装置等では、試料ホルダを
Ｘ動、Ｙ動、Ｚ動、Ｒ動（回転動）が可能な真空中のゴ
ニオステージ上に搭載し、試料に電子線を照射して試料
表面から放出されるオージェ電子や二次電子等を検出し
て成分や組織の形状を観察している。この場合、一般に
は試料を常温で観察するのが普通であるが、試料を加熱
して観察したい場合がある。例えばステンレス等の金属
を常温から８００℃まで加熱した時、組成変化が温度に
よってどのように変化するか、組成や成分を調べる場合
があり、そのために加熱ホルダ（加熱装置を備えた表面
分析装置等の試料保持装置）が用いられる。
【０００３】従来の傍熱型の加熱装置を備えた表面分析
装置等の試料保持装置は、図３に示すように試料載せ台
３１の下方内部に碍子等の絶縁体３２を介して例えばタ
ングステンの加熱用ヒータ３３が組み込まれている。そ
して、これらは試料ホルダ本体３４にルビーボール等の
熱絶縁体３５を挟んで固定されている。また、試料載せ
台３１の一部に例えばクロメルとアルメルからなる２種
の熱電対材を溶接した熱電対３６をネジ３７で固定し密
着させている。これら熱電対材は、それぞれ加熱用ヒー
タ３３と共に試料ホルダ本体３４と電気的に絶縁された
プラグ３８に接続されている。一方、このプラグ３８に
対向して所定位置にコンセント３９が配置されリード線
４０により電流導入端子（ハーメチックシール）４１を
通して大気側の微少電流計４２に接続されている。そし
て、試料４３を載置した試料載せ台３１を大気側から試
料交換室に搬入して真空引きを行い、図示左方から所定
の位置まで移動すると、コンセント３９にプラグ３８が
差し込まれる。
装置等の試料保持装置は、図３に示すように試料載せ台
３１の下方内部に碍子等の絶縁体３２を介して例えばタ
ングステンの加熱用ヒータ３３が組み込まれている。そ
して、これらは試料ホルダ本体３４にルビーボール等の
熱絶縁体３５を挟んで固定されている。また、試料載せ
台３１の一部に例えばクロメルとアルメルからなる２種
の熱電対材を溶接した熱電対３６をネジ３７で固定し密
着させている。これら熱電対材は、それぞれ加熱用ヒー
タ３３と共に試料ホルダ本体３４と電気的に絶縁された
プラグ３８に接続されている。一方、このプラグ３８に
対向して所定位置にコンセント３９が配置されリード線
４０により電流導入端子（ハーメチックシール）４１を
通して大気側の微少電流計４２に接続されている。そし
て、試料４３を載置した試料載せ台３１を大気側から試
料交換室に搬入して真空引きを行い、図示左方から所定
の位置まで移動すると、コンセント３９にプラグ３８が
差し込まれる。
【０００４】上記傍熱型の加熱装置を備えた表面分析装
置等の試料保持装置では、加熱用ヒータ３３に電流を流
すと、加熱用ヒータ３３は赤熱してその輻射熱で試料載
せ台３１が加熱され、その上に載置された試料４３も加
熱される。この加熱された試料４３の温度測定は、微少
電流計４２により熱電対３６に発生する起電力を測定す
ることにより行っている。
置等の試料保持装置では、加熱用ヒータ３３に電流を流
すと、加熱用ヒータ３３は赤熱してその輻射熱で試料載
せ台３１が加熱され、その上に載置された試料４３も加
熱される。この加熱された試料４３の温度測定は、微少
電流計４２により熱電対３６に発生する起電力を測定す
ることにより行っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の加熱装
置を備えた表面分析装置等の試料加熱装置では、上記の
ように試料ホルダ本体３４に設けられたプラグ３８がコ
ンセント３９に差し込まれ、これらが一体となってＸ
動、Ｙ動、Ｚ動、Ｒ動（回転動）を行うため、Ｒ動にお
いてリード線４０が邪魔になるという問題があった。こ
のリード線４０よりＲ動に制約を生じ、Ｒ動を３６０°
エンドレスで動かすことはできないという問題があっ
た。
置を備えた表面分析装置等の試料加熱装置では、上記の
ように試料ホルダ本体３４に設けられたプラグ３８がコ
ンセント３９に差し込まれ、これらが一体となってＸ
動、Ｙ動、Ｚ動、Ｒ動（回転動）を行うため、Ｒ動にお
いてリード線４０が邪魔になるという問題があった。こ
のリード線４０よりＲ動に制約を生じ、Ｒ動を３６０°
エンドレスで動かすことはできないという問題があっ
た。
【０００６】本発明は、上記の課題を解決するものであ
って、Ｒ動を３６０°エンドレスで動かすことができる
加熱試料を分析する装置の試料保持装置を提供すること
を目的とするものである。
って、Ｒ動を３６０°エンドレスで動かすことができる
加熱試料を分析する装置の試料保持装置を提供すること
を目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そのために本発明の加熱
試料を分析する装置の試料保持装置は、試料ホルダ、及
び該試料ホルダを回転動するゴニオステージを備え、前
記試料ホルダは、熱伝導率の良好な材料からなり内部に
加熱用ヒータを組み込み試料を載置する試料載せ台及び
加熱用ヒータと電気的に結合したディスク状通電端子を
有し試料載せ台とディスク状通電端子とを熱絶縁して保
持し、前記ゴニオステージは、前記試料ホルダを受ける
試料ホルダ受け台と、該試料ホルダ受け台を回転自在に
支持する支持体とを有し、該支持体側に電気絶縁材を介
して試料ホルダの試料載せ台の外周に接し摺動する２種
の熱電対材と試料ホルダのディスク状通電端子の外周に
接し摺動する端子とを配置したことを特徴とするもので
ある。
試料を分析する装置の試料保持装置は、試料ホルダ、及
び該試料ホルダを回転動するゴニオステージを備え、前
記試料ホルダは、熱伝導率の良好な材料からなり内部に
加熱用ヒータを組み込み試料を載置する試料載せ台及び
加熱用ヒータと電気的に結合したディスク状通電端子を
有し試料載せ台とディスク状通電端子とを熱絶縁して保
持し、前記ゴニオステージは、前記試料ホルダを受ける
試料ホルダ受け台と、該試料ホルダ受け台を回転自在に
支持する支持体とを有し、該支持体側に電気絶縁材を介
して試料ホルダの試料載せ台の外周に接し摺動する２種
の熱電対材と試料ホルダのディスク状通電端子の外周に
接し摺動する端子とを配置したことを特徴とするもので
ある。
【０００８】
【作用】本発明の加熱試料を分析する装置の試料保持装
置では、熱伝導率の良好な材料からなり内部に加熱用ヒ
ータを組み込み試料を載置する試料載せ台と加熱用ヒー
タと電気的に結合したディスク状通電端子とを有し試料
載せ台とディスク状通電端子とを熱絶縁して保持する試
料ホルダ、及び該試料ホルダを受ける試料ホルダ受け台
と該試料ホルダ受け台を回転自在に支持する支持体と該
支持体側に電気絶縁材を介して試料ホルダの試料載せ台
の外周に接し摺動するように配置された２種の熱電対材
とディスク状通電端子の外周に接し摺動するように配置
された端子とを有し試料ホルダを回転動するゴニオステ
ージを備えたので、熱電対や加熱用ヒータのリード線に
制約されることなく、Ｒ動を３６０°エンドレスで動か
すことができる。
置では、熱伝導率の良好な材料からなり内部に加熱用ヒ
ータを組み込み試料を載置する試料載せ台と加熱用ヒー
タと電気的に結合したディスク状通電端子とを有し試料
載せ台とディスク状通電端子とを熱絶縁して保持する試
料ホルダ、及び該試料ホルダを受ける試料ホルダ受け台
と該試料ホルダ受け台を回転自在に支持する支持体と該
支持体側に電気絶縁材を介して試料ホルダの試料載せ台
の外周に接し摺動するように配置された２種の熱電対材
とディスク状通電端子の外周に接し摺動するように配置
された端子とを有し試料ホルダを回転動するゴニオステ
ージを備えたので、熱電対や加熱用ヒータのリード線に
制約されることなく、Ｒ動を３６０°エンドレスで動か
すことができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。図１は本発明に係る加熱試料を分析する装置の
試料保持装置の１実施例構成を示す図、図２は本発明に
係る加熱試料を分析する装置の試料保持装置を装着した
状態を示す図であり、１は試料載せ台、２は絶縁体、３
は加熱用ヒータ、４は試料ホルダ本体、５は熱的電気的
絶縁体、６はゴニオステージ、７は絶縁体、８と９は熱
電対材、１０と１１は熱電対リード線、１２は電流導入
端子（ハーメチックシール）、１３は微少電流計、１４
と１５はディスク状通電端子、１６と１７はリード線、
１８は試料、１９は歯車、２０は回転中空軸、２１は試
料ホルダ受け台、２２は試料加熱ホルダ、２３は支持枠
を示す。
明する。図１は本発明に係る加熱試料を分析する装置の
試料保持装置の１実施例構成を示す図、図２は本発明に
係る加熱試料を分析する装置の試料保持装置を装着した
状態を示す図であり、１は試料載せ台、２は絶縁体、３
は加熱用ヒータ、４は試料ホルダ本体、５は熱的電気的
絶縁体、６はゴニオステージ、７は絶縁体、８と９は熱
電対材、１０と１１は熱電対リード線、１２は電流導入
端子（ハーメチックシール）、１３は微少電流計、１４
と１５はディスク状通電端子、１６と１７はリード線、
１８は試料、１９は歯車、２０は回転中空軸、２１は試
料ホルダ受け台、２２は試料加熱ホルダ、２３は支持枠
を示す。
【００１０】図１において、試料１８を載置する試料載
せ台１は、下側内部に絶縁体２を介して加熱用ヒータ３
を組み込んだものであり、熱伝導率の良好な材料、例え
ば銅で作られている。ディスク状通電端子１４と１５
は、リード線１６と１７を介して加熱用ヒータ３の端子
に接続され、試料載せ台１、及びディスク状通電端子１
４と１５は、熱的電気的絶縁体５を挟んでビス等により
試料ホルダ本体４に固定されている。これらからなる試
料加熱ホルダは、図２に示すゴニオステージ６のＲ動
（回転動）の中心と同心でなおかつ円筒型をしたもので
ある。
せ台１は、下側内部に絶縁体２を介して加熱用ヒータ３
を組み込んだものであり、熱伝導率の良好な材料、例え
ば銅で作られている。ディスク状通電端子１４と１５
は、リード線１６と１７を介して加熱用ヒータ３の端子
に接続され、試料載せ台１、及びディスク状通電端子１
４と１５は、熱的電気的絶縁体５を挟んでビス等により
試料ホルダ本体４に固定されている。これらからなる試
料加熱ホルダは、図２に示すゴニオステージ６のＲ動
（回転動）の中心と同心でなおかつ円筒型をしたもので
ある。
【００１１】一方、ゴニオステージは、図２に示すよう
にゴニオステージ本体６にｘ方向ベアリングを介して支
持枠２３及び絶縁体７が一体に支持され、支持枠２３の
内側にＲ動ベアリングを介して円筒中空軸２０が回転自
在に支持される。この円筒中空軸２０の下部には歯車１
９が設けられ、上部には試料ホルダ受け台２１が設けら
れる。したがって、支持枠２３及び絶縁体７にはＲ動が
なく、試料加熱ホルダ２２を受ける試料ホルダ受け台２
１と共に歯車１９、回転中空軸２０が一体となって歯車
１９を介してＲ動を行うように構成されている。そし
て、熱電対を構成する例えばクロメルの熱電対材８とア
ルメルの熱電対材９は、Ｒ動がない絶縁体７を介して試
料加熱ホルダ２２の試料載せ台１と接し摺動する位置に
固定して、そこにそれぞれ熱電対リード線１０と１１に
より電流導入端子（ハーメチックシール）１２を介して
大気側の微少電流計１３に接続している。また、加熱用
電源を供給するための摺動端子も同様に、図示しない
が、絶縁体７を介して試料加熱ホルダ２２のディスク状
通電端子１４、１５と接し摺動する位置に固定して、そ
こに電源リード線により電源供給端子（ハーメチックシ
ール）を介して電源に接続している。
にゴニオステージ本体６にｘ方向ベアリングを介して支
持枠２３及び絶縁体７が一体に支持され、支持枠２３の
内側にＲ動ベアリングを介して円筒中空軸２０が回転自
在に支持される。この円筒中空軸２０の下部には歯車１
９が設けられ、上部には試料ホルダ受け台２１が設けら
れる。したがって、支持枠２３及び絶縁体７にはＲ動が
なく、試料加熱ホルダ２２を受ける試料ホルダ受け台２
１と共に歯車１９、回転中空軸２０が一体となって歯車
１９を介してＲ動を行うように構成されている。そし
て、熱電対を構成する例えばクロメルの熱電対材８とア
ルメルの熱電対材９は、Ｒ動がない絶縁体７を介して試
料加熱ホルダ２２の試料載せ台１と接し摺動する位置に
固定して、そこにそれぞれ熱電対リード線１０と１１に
より電流導入端子（ハーメチックシール）１２を介して
大気側の微少電流計１３に接続している。また、加熱用
電源を供給するための摺動端子も同様に、図示しない
が、絶縁体７を介して試料加熱ホルダ２２のディスク状
通電端子１４、１５と接し摺動する位置に固定して、そ
こに電源リード線により電源供給端子（ハーメチックシ
ール）を介して電源に接続している。
【００１２】次に、本発明に係る加熱試料を分析する装
置の試料保持装置における試料加熱ホルダ２２の装着、
加熱について説明する。図２（ａ）において、試料１８
を試料載せ台１に載置した試料加熱ホルダ２２は、図示
下方から上方に向けて挿入される。この試料加熱ホルダ
２２を所定の位置にある試料ホルダ受け台２１で受ける
と、図示のように試料加熱ホルダ２２の試料載せ台１に
熱電対を構成する例えばクロメルの熱電対材８とアルメ
ルの熱電対材９が接し、同様に試料加熱ホルダ２２のデ
ィスク状通電端子１４、１５に加熱用電源を供給するた
めの摺動端子も接してバネ力で押圧する（図示省略）。
そこで、加熱用電源を供給するための摺動端子を通して
ディスク状通電端子１４と１５との間に電流を流すと、
図１に示すリード線１６と１７を介して加熱用ヒータ３
に電流が流れて加熱用ヒータ３が赤熱し、その輻射熱で
試料載せ台１を介してそれに載置された試料１８が加熱
される。この時、試料載せ台１は、熱伝導率の良好な材
料で作られることによって、全体がほぼ均一に加熱さ
れ、加熱された試料１８の温度が、熱電対材８と熱電対
材９との間に発生する起電力を微少電流計１３によって
測定される。
置の試料保持装置における試料加熱ホルダ２２の装着、
加熱について説明する。図２（ａ）において、試料１８
を試料載せ台１に載置した試料加熱ホルダ２２は、図示
下方から上方に向けて挿入される。この試料加熱ホルダ
２２を所定の位置にある試料ホルダ受け台２１で受ける
と、図示のように試料加熱ホルダ２２の試料載せ台１に
熱電対を構成する例えばクロメルの熱電対材８とアルメ
ルの熱電対材９が接し、同様に試料加熱ホルダ２２のデ
ィスク状通電端子１４、１５に加熱用電源を供給するた
めの摺動端子も接してバネ力で押圧する（図示省略）。
そこで、加熱用電源を供給するための摺動端子を通して
ディスク状通電端子１４と１５との間に電流を流すと、
図１に示すリード線１６と１７を介して加熱用ヒータ３
に電流が流れて加熱用ヒータ３が赤熱し、その輻射熱で
試料載せ台１を介してそれに載置された試料１８が加熱
される。この時、試料載せ台１は、熱伝導率の良好な材
料で作られることによって、全体がほぼ均一に加熱さ
れ、加熱された試料１８の温度が、熱電対材８と熱電対
材９との間に発生する起電力を微少電流計１３によって
測定される。
【００１３】上記のように構成することにより、ゴニオ
ステージのＲ動を駆動しても、歯車１９、回転中空軸２
０、試料ホルダ受け台２１、試料加熱ホルダ２２は回転
するが、熱電対材８と熱電対材９は回転せず常に試料載
せ台１に接しているので、Ｒ動を３６０°エンドレスで
回転しても測温が可能である。
ステージのＲ動を駆動しても、歯車１９、回転中空軸２
０、試料ホルダ受け台２１、試料加熱ホルダ２２は回転
するが、熱電対材８と熱電対材９は回転せず常に試料載
せ台１に接しているので、Ｒ動を３６０°エンドレスで
回転しても測温が可能である。
【００１４】なお、本発明は、上記の実施例に限定され
るものではなく、種々の変形が可能である。例えば上記
の実施例では、試料加熱ホルダを説明したが、加熱装置
のない試料ホルダを同様の形状で用いてもよい。この場
合、加熱用ヒータ３を組み込んだ試料載せ台１、ディス
ク状通電端子１４と１５の外径を試料ホルダ本体４の外
径よりも大きくし、加熱用ヒータ３を組み込んでいない
試料載せ台の場合には、ディスク状通電端子１４と１５
を含むサイズで試料ホルダ本体４の外径以下にすること
によって、加熱装置付と加熱装置なしとを区別できると
共に、熱電対材８と熱電対材９、加熱用電源を供給する
ための摺動端子が接しないように構成することができ
る。したがって、本発明は、加熱用ヒータを組み込んだ
試料加熱ホルダに限らず、熱伝導率の良好な試料載せ台
からなる通常の試料ホルダにも同様に適用して測温する
ように構成してもよいし、また、傍熱型だけでなく、試
料を通電加熱する試料ホルダに適用してもよい。
るものではなく、種々の変形が可能である。例えば上記
の実施例では、試料加熱ホルダを説明したが、加熱装置
のない試料ホルダを同様の形状で用いてもよい。この場
合、加熱用ヒータ３を組み込んだ試料載せ台１、ディス
ク状通電端子１４と１５の外径を試料ホルダ本体４の外
径よりも大きくし、加熱用ヒータ３を組み込んでいない
試料載せ台の場合には、ディスク状通電端子１４と１５
を含むサイズで試料ホルダ本体４の外径以下にすること
によって、加熱装置付と加熱装置なしとを区別できると
共に、熱電対材８と熱電対材９、加熱用電源を供給する
ための摺動端子が接しないように構成することができ
る。したがって、本発明は、加熱用ヒータを組み込んだ
試料加熱ホルダに限らず、熱伝導率の良好な試料載せ台
からなる通常の試料ホルダにも同様に適用して測温する
ように構成してもよいし、また、傍熱型だけでなく、試
料を通電加熱する試料ホルダに適用してもよい。
【００１５】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、試料ホルダとして、熱伝導率の良好な材料か
らなり内部に加熱用ヒータを組み込み試料を載置する試
料載せ台と加熱用ヒータと電気的に結合したディスク状
通電端子とを有し試料載せ台とディスク状通電端子とを
熱絶縁して保持し、ゴニオステージとして、試料ホルダ
を受ける試料ホルダ受け台と該試料ホルダ受け台を回転
自在に支持する支持体と該支持体側に電気絶縁材を介し
て試料ホルダの試料載せ台の外周に接し摺動するように
配置された２種の熱電対材とディスク状通電端子の外周
に接し摺動するように配置された端子とを有し試料ホル
ダを回転動するように構成したので、Ｒ動の影響を受け
ない位置から試料載せ台に熱電対材をそれぞれ個別に接
触させることができ、試料加熱ホルダを３６０°エンド
レスで回転しても常に測温が可能となる。
によれば、試料ホルダとして、熱伝導率の良好な材料か
らなり内部に加熱用ヒータを組み込み試料を載置する試
料載せ台と加熱用ヒータと電気的に結合したディスク状
通電端子とを有し試料載せ台とディスク状通電端子とを
熱絶縁して保持し、ゴニオステージとして、試料ホルダ
を受ける試料ホルダ受け台と該試料ホルダ受け台を回転
自在に支持する支持体と該支持体側に電気絶縁材を介し
て試料ホルダの試料載せ台の外周に接し摺動するように
配置された２種の熱電対材とディスク状通電端子の外周
に接し摺動するように配置された端子とを有し試料ホル
ダを回転動するように構成したので、Ｒ動の影響を受け
ない位置から試料載せ台に熱電対材をそれぞれ個別に接
触させることができ、試料加熱ホルダを３６０°エンド
レスで回転しても常に測温が可能となる。
【図１】 本発明に係る加熱試料を分析する装置の試料
保持装置の１実施例構成を示す図である。
保持装置の１実施例構成を示す図である。
【図２】 本発明に係る加熱試料を分析する装置の試料
保持装置を装着した状態を示す図である。
保持装置を装着した状態を示す図である。
【図３】 従来の加熱装置を備えた表面分析装置等の試
料保持装置の構成例を示す図である。
料保持装置の構成例を示す図である。
１…試料載せ台、２…絶縁体、３…加熱用ヒータ、４…
試料ホルダ本体、５…熱絶縁体、６…ゴニオステージ、
７…絶縁体、８と９…熱電対材、１０と１１…熱電対リ
ード線、１２…電流導入端子（ハーメチックシール）、
１３…微少電流計、１４と１５…ディスク状通電端子、
１６と１７…リード線、１８…試料、１９…歯車、２０
…回転中空軸、２１…試料ホルダ受け台、２２…試料加
熱ホルダ
試料ホルダ本体、５…熱絶縁体、６…ゴニオステージ、
７…絶縁体、８と９…熱電対材、１０と１１…熱電対リ
ード線、１２…電流導入端子（ハーメチックシール）、
１３…微少電流計、１４と１５…ディスク状通電端子、
１６と１７…リード線、１８…試料、１９…歯車、２０
…回転中空軸、２１…試料ホルダ受け台、２２…試料加
熱ホルダ
Claims (1)
- 【請求項１】 試料ホルダ、及び該試料ホルダを回転動
するゴニオステージを備え、 前記試料ホルダは、熱伝導率の良好な材料からなり内部
に加熱用ヒータを組み込み試料を載置する試料載せ台及
び加熱用ヒータと電気的に結合したディスク状通電端子
を有し試料載せ台とディスク状通電端子とを熱絶縁して
保持し、 前記ゴニオステージは、前記試料ホルダを受ける試料ホ
ルダ受け台と、該試料ホルダ受け台を回転自在に支持す
る支持体とを有し、該支持体側に電気絶縁材を介して試
料ホルダの試料載せ台の外周に接し摺動する２種の熱電
対材と試料ホルダのディスク状通電端子の外周に接し摺
動する端子とを配置したことを特徴とする加熱試料を分
析する装置の試料保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06324671A JP3143346B2 (ja) | 1994-12-27 | 1994-12-27 | 加熱試料を分析する装置の試料保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06324671A JP3143346B2 (ja) | 1994-12-27 | 1994-12-27 | 加熱試料を分析する装置の試料保持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08178809A JPH08178809A (ja) | 1996-07-12 |
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