JP3141975B2 - 不純物添加シリコン単結晶の育成方法 - Google Patents
不純物添加シリコン単結晶の育成方法Info
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Description
結晶の育成方法に関する。
単結晶が用いられているが、前記単結晶の育成方法とし
てチョクラルスキー法(以下CZ法という)やフローテ
ィングゾーン法(以下FZ法という)が知られている。
CZ法では、るつぼに入れた原料多結晶を抵抗加熱また
は高周波誘導加熱などによって融液とし、この融液に種
結晶を浸漬させてなじませた後、るつぼおよび種結晶を
回転させつつ前記種結晶をゆっくり引き上げて円柱状の
単結晶を成長させる。またFZ法は、原料多結晶棒と種
結晶とを垂直に保持し、高周波誘導加熱コイルなどを用
いて前記原料多結晶棒の一端を種結晶に融着した後、原
料多結晶棒を回転させつつ前記加熱コイルを移動するこ
とにより帯域溶融させて単結晶化を行う。これらの方法
は、いずれも種結晶と同一の結晶軸を持ったバルク結晶
を育成するものである。そして、溶融原料に不純物を添
加することによって、育成単結晶の電気的性質を制御す
ることができる。
融原料に不純物を添加した場合、その添加量にほぼ比例
して育成単結晶の格子定数が変化する。そして、育成す
る単結晶と種結晶との格子定数に差がある場合、すなわ
ち育成単結晶と種結晶との格子不整合率が大きい場合に
は種結晶と育成単結晶との接合部に欠陥を生じ、単結晶
の成長に伴って転位が発生しやすくなる。従って、不純
物を含まない無転位のシリコン単結晶、あるいは不純物
濃度の低い無転位のシリコン単結晶を種結晶として用い
た場合、育成単結晶に添加される不純物量が多いほど種
結晶と育成単結晶との格子不整合率が大きくなり、無転
位単結晶の育成が困難になる。また、育成単結晶の直径
が大きくなるほど前記欠陥が発達しやすい。本発明は上
記従来の問題点に着目してなされたもので、CZ法また
はFZ法を用いて不純物添加量の多いシリコン単結晶、
特に高濃度の不純物を添加する大口径のシリコン単結晶
を無転位の状態で育成することができるような、不純物
添加シリコン単結晶の育成方法を提供することを目的と
している。
め、本発明に係る不純物添加シリコン単結晶の育成方法
は、CZ法またはFZ法による不純物添加シリコン単結
晶の育成において、育成する単結晶と同程度の濃度の不
純物を含む無転位単結晶を種結晶として用い、前記育成
単結晶と種結晶との格子不整合率を小さくすることによ
り無転位単結晶を得る構成とした。
て不純物添加量の多いシリコン単結晶を育成する場合
に、育成単結晶と種結晶との格子不整合率が大きいと前
記両者の接合部に欠陥が発生して無転位単結晶の成長を
阻害する点に着目し、育成単結晶と種結晶との格子不整
合率を小さくするため、育成単結晶と同程度の濃度の不
純物を添加した無転位単結晶を種結晶として用いること
にしたので、種結晶と育成単結晶との接合部における欠
陥の発生が抑制される。従って、不純物を添加したシリ
コン単結晶、特に大口径のシリコン単結晶を無転位の状
態で育成することができる。
結晶の育成方法の実施例について説明する。育成する単
結晶の格子定数をLc 、種結晶の格子定数をLs とする
と、前記育成単結晶と種結晶との格子不整合率は次の算
式で表すことができる。 格子不整合率=|(Lc −Ls )/Ls |×100
(%)
原料であるシリコン多結晶に添加するIII ,IV,V 族元
素のほとんどは置換型不純物で、その原子半径ri と相
互サイズ効果εは表1に示す通りである。相互サイズ効
果εは、不純物の原子半径をri 、シリコンの原子半径
をr0 としたとき、ε=(ri −r0 )/r0 で表され
る。前記相互サイズ効果εの絶対値が大きいほど不純物
添加による格子定数の変化量が大きくなる。従って、不
純物を含まないか、または低濃度の不純物を含む無転位
のシリコン単結晶を種結晶として用いた場合、育成単結
晶に添加される不純物量が多くなるほど育成単結晶と種
結晶との格子不整合率が大きくなり、育成単結晶に転位
の発生が起きやすい。しかし、育成する単結晶と同程度
の濃度の不純物を含む無転位単結晶を種結晶として用い
ることにより、種結晶の格子定数を育成単結晶の格子定
数に近似させることができるので、育成単結晶と種結晶
との格子不整合率が小さくなり、高濃度の不純物を添加
したシリコン単結晶を無転位の状態で育成することがで
きる。
晶の育成に当たり、育成単結晶と種結晶との格子不整合
率を0.01%以下に抑えた場合は、種結晶と育成単結
晶との接合部における欠陥が起こらず、転位も発生しな
かった。しかし、前記格子不整合率が0.01%を超え
た場合は育成単結晶に転位が発生した。従って、育成単
結晶と種結晶との格子不整合率は0.01%以下とする
ことが望ましい。
としてp型半導体とするために添加する不純物であるB
やGaなどのIII 族元素、n型半導体とするために添加
する不純物であるPやSbなどのV 族元素、あるいはG
eのようなIV族元素を添加したシリコン多結晶原料から
無転位単結晶を育成する場合に適用することができる。
Z法またはFZ法を用いて不純物添加量の多いシリコン
単結晶、特に大口径のシリコン単結晶を育成する場合
に、無転位単結晶の成長を阻害する原因が育成単結晶と
種結晶との格子不整合率にある点に着目し、前記格子不
整合率を小さくするため、育成しようとする単結晶と同
程度の濃度の不純物を添加した無転位単結晶を種結晶と
して用いることにしたので、種結晶と育成単結晶との接
合部における欠陥の発生が抑制される。従って、不純物
を添加したシリコン単結晶、特に大口径のシリコン単結
晶を無転位の状態で育成することができ、高品質のp型
あるいはn型半導体単結晶の生産性を向上させることが
可能となる。
Claims (10)
- 【請求項1】 チョクラルスキー法(但し、液体封止引
上げ法を除く)による不純物添加シリコン単結晶の育成
において、育成する単結晶と同程度の濃度の不純物を含
み、育成単結晶との格子不整合率が0.01%以下とさ
れた無転位単結晶を種結晶として用いることにより、高
濃度の不純物が添加された大口径のシリコン単結晶を無
転位の状態で育成することを特徴とする不純物添加シリ
コン単結晶の育成方法。 - 【請求項2】 チョクラルスキー法(但し、液体封止引
上げ法を除く)による不純物添加シリコン単結晶の育成
において、育成単結晶と種結晶との格子不整合率を0.
01%以下とすることにより、高濃度の不純物が添加さ
れた大口径のシリコン単結晶を無転位の状態で育成する
ことを特徴とする不純物添加シリコン単結晶の育成方
法。 - 【請求項3】 前記不純物はIII族元素またはV族元素
である請求項1または2記載の不純物添加シリコン単結
晶の育成方法。 - 【請求項4】 前記III族元素はBもしくはGaであ
り、前記V族元素はPもしくはSbである請求項3記載
の不純物添加シリコン単結晶の育成方法。 - 【請求項5】 育成する単結晶と同程度の濃度の不純物
を含み、育成単結晶との格子不整合率が0.01%以下
とされた、チョクラルスキー法(液体封止引上げ法を除
く)による不純物添加シリコン単結晶の育成用のシリコ
ン種結晶。 - 【請求項6】 育成する単結晶と同程度の濃度の不純物
を含み、育成単結晶との格子不整合率が0.01%以下
とされた、チョクラルスキー法(液体封止引上げ法を除
く)による不純物ボロン添加シリコン単結晶の育成用の
シリコン種結晶。 - 【請求項7】 育成シリコン単結晶との格子不整合率が
0.01%以下とされた、チョクラルスキー法(液体封
止引上げ法を除く)による不純物添加シリコン単結晶の
育成用のシリコン種結晶。 - 【請求項8】 育成シリコン単結晶との格子不整合率が
0.01%以下とされた、チョクラルスキー法(液体封
止引上げ法を除く)による不純物ボロン添加シリコン単
結晶の育成用のシリコン種結晶。 - 【請求項9】 請求項5から8いずれか記載のシリコン
種結晶を使用することによって育成された不純物添加シ
リコン無転位単結晶。 - 【請求項10】 請求項6または8記載のシリコン種結
晶を使用することによって育成された不純物ボロン添加
シリコン無転位単結晶。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP06013203A JP3141975B2 (ja) | 1994-01-11 | 1994-01-11 | 不純物添加シリコン単結晶の育成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP06013203A JP3141975B2 (ja) | 1994-01-11 | 1994-01-11 | 不純物添加シリコン単結晶の育成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH07206583A JPH07206583A (ja) | 1995-08-08 |
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Family
ID=11826604
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP06013203A Expired - Fee Related JP3141975B2 (ja) | 1994-01-11 | 1994-01-11 | 不純物添加シリコン単結晶の育成方法 |
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TW538445B (en) | 1998-04-07 | 2003-06-21 | Shinetsu Handotai Kk | Silicon seed crystal and method for producing silicon single crystal |
DE60026286T2 (de) | 1999-05-28 | 2006-11-09 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | MIT Ga DOTIERTER CZOCHRALSKI-EINKRISTALL UND WAFER UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG |
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WO2010021272A1 (ja) * | 2008-08-18 | 2010-02-25 | Sumco Techxiv株式会社 | シリコンインゴット、シリコンウェーハ及びエピタキシャルウェーハの製造方法、並びにシリコンインゴット |
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1994
- 1994-01-11 JP JP06013203A patent/JP3141975B2/ja not_active Expired - Fee Related
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