JP3134678B2 - Bond application method - Google Patents

Bond application method

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JP3134678B2 JP06253425A JP25342594A JP3134678B2 JP 3134678 B2 JP3134678 B2 JP 3134678B2 JP 06253425 A JP06253425 A JP 06253425A JP 25342594 A JP25342594 A JP 25342594A JP 3134678 B2 JP3134678 B2 JP 3134678B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、チップを仮止めするた
めのボンドを基板の所定の座標位置に塗布するためのボ
ンド塗布方法に関するものである。
The present invention relates to relates to a ball <br/> command coating method for applying a bond for tacking the chip to the predetermined coordinate position of the substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】ボンド塗布装置は、ボンドが貯溜された
シリンジを備えた塗布ヘッドを可動テーブル部により水
平移動させながら、位置決め部に位置決めされた基板の
所定座標位置にボンドを塗布するようになっている。塗
布ヘッドにはノズルが装着されており、シリンジ内のボ
ンドに気体圧を加えることにより、ボンドをノズルから
吐出させて基板に塗布するようになっている。
2. Description of the Related Art A bond applying apparatus applies a bond to a predetermined coordinate position of a substrate positioned at a positioning section while horizontally moving an application head having a syringe in which bonds are stored by a movable table section. ing. A nozzle is mounted on the coating head, and by applying gas pressure to the bond in the syringe, the bond is discharged from the nozzle and coated on the substrate.

【0003】ボンドは粘性の大きい流体であり、ノズル
から繰り返しボンドを吐出している間に、ノズルの内部
はボンドで次第に詰り、ボンド塗布量は次第に低下して
いく。そこで従来は、ノズルを塗布ヘッドから適宜手作
業で取りはずして新たなノズルを塗布ヘッドに装着し、
この新たなノズルによるボンド塗布を再開するととも
に、取りはずされたノズルを手作業で洗浄していた。
The bond is a highly viscous fluid, and the inside of the nozzle is gradually clogged with the bond while the bond is repeatedly discharged from the nozzle, and the amount of the bond applied gradually decreases. Therefore, conventionally, the nozzle was manually removed from the coating head as needed, and a new nozzle was attached to the coating head.
The bond application with the new nozzle was restarted, and the removed nozzle was manually cleaned.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
手段では、ノズルの洗浄などに作業者の多大な労力を必
要とするため、作業能率があがらず、また作業者の労働
負担も大きいという問題点があった。
However, in the above-mentioned conventional means, a great deal of labor is required for cleaning the nozzle and the like, so that there is a problem that the working efficiency is not improved and the labor burden on the worker is large. there were.

【0005】そこで本発明は、ノズルの洗浄を自動的に
行えるボンド塗布方法を提供することを目的とする。
[0005] The present invention aims at providing an automatic <br/> performed Rubo command coating method to clean the nozzle.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、位置決め部に
位置決めされた基板の上方を可動テーブル部を駆動して
塗布ヘッドを移動させながら、塗布ヘッドのノズルから
ボンドを吐出して基板に塗布するようにしたボンド塗布
方法であって、前記塗布ヘッドを前記位置決め部の側部
に設けられたノズル洗浄部の上方へ移動させて、前記塗
布ヘッドに装着されたノズルをこのノズル洗浄部に貯溜
された洗浄液中に取りはずして浸漬し、その状態でこの
洗浄液を振動手段で振動させることによりノズルを洗浄
し、また洗浄済のノズルを前記塗布ヘッドに装着したう
えでこの塗布ヘッドをボンド吐出部の上方へ移動させ、
そこで前記ノズルから洗浄液が混じったボンドを吐出さ
せることにより前記ノズルの内部に付着した洗浄液を除
去したうえで、このノズルによる前記基板に対するボン
ド塗布を再開することを特徴とするボンド塗布方法であ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, a positioning unit
Drive the movable table unit above the positioned substrate
While moving the coating head,
Bond coating that discharges the bond and applies it to the substrate
A method, comprising: positioning the coating head on a side of the positioning unit.
By moving the nozzle above the nozzle cleaning section
The nozzle mounted on the cloth head is stored in this nozzle cleaning section.
Removed and immersed in the cleaning solution
Cleaning nozzle by vibrating the cleaning liquid with vibration means
And a cleaned nozzle is attached to the coating head.
Then, move this coating head above the bond discharge section,
Therefore, a bond mixed with the cleaning liquid is discharged from the nozzle.
To remove the cleaning liquid attached to the inside of the nozzle.
After the nozzle has been removed,
This is a bond application method characterized by resuming the bond application .

【0007】[0007]

【0008】[0008]

【作用】上記構成によれば、塗布ヘッドをノズル洗浄部
の上方へ移動させ、ノズルを塗布ヘッドから取りはずし
て容器内に貯溜された洗浄液に浸漬し、この洗浄液を振
動させることにより、ノズル洗浄を自動的に行える。
According to the above construction, the coating head is moved above the nozzle cleaning section, the nozzle is removed from the coating head, immersed in the cleaning liquid stored in the container, and the cleaning liquid is vibrated to clean the nozzle. Can be done automatically.

【0009】また新たに塗布ヘッドに装着したノズルを
ボンド吐出部の上方へ移動させ、そこでノズルから洗浄
液が混じったボンドを吐出することにより、このノズル
の内部に付着する洗浄液をボンドとともに吐出したうえ
で、基板に対するボンド塗布を再開できる。
Further, a nozzle newly attached to the coating head is moved to a position above the bond discharge section, and a bond mixed with a cleaning liquid is discharged from the nozzle there. Thus, the bond application to the substrate can be resumed.

【0010】[0010]

【実施例】次に、本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。図1は本発明の一実施例のボンド塗布装置の
斜視図、図2は同要部正面図、図3,図4は同ノズル着
脱方法の説明図である。図1において、Aは塗布ヘッド
であり、上部には内部にボンドを貯溜した円筒形のシリ
ンジ1が装着されている。またその下部にはノズル2が
着脱自在に装着されている。シリンジ1の上部にはチュ
ーブ3が接続されており、コンプレッサ(図外)からチ
ューブ3を通してシリンジ1内のボンドに気体圧を加え
ると、ノズル2の下端部からボンド10が吐出される。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of a bond coating apparatus according to one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front view of the essential part, and FIGS. 3 and 4 are explanatory views of the nozzle attaching / detaching method. In FIG. 1, reference numeral A denotes an application head, and a cylindrical syringe 1 having a bond stored therein is mounted on an upper portion thereof. Further, a nozzle 2 is detachably mounted at a lower portion thereof. A tube 3 is connected to an upper portion of the syringe 1. When a gas pressure is applied to a bond in the syringe 1 through the tube 3 from a compressor (not shown), a bond 10 is discharged from a lower end portion of the nozzle 2.

【0011】塗布ヘッドAはアーム4に支持されてお
り、アーム4はボックス5に支持されている。またボッ
クス5は可動テーブル部6上に設置されている。したが
って可動テーブル部6が駆動すると、塗布ヘッドAはX
方向やY方向に水平移動し、また上下動作をする。7は
クランパであって、基板8を左右からクランプして位置
決めしている。塗布ヘッドAは基板8の上方を水平移動
し、基板8の所定の座標位置にボンド10を塗布する。
The coating head A is supported by an arm 4, and the arm 4 is supported by a box 5. The box 5 is provided on a movable table 6. Therefore, when the movable table unit 6 is driven, the coating head A
It moves horizontally in the direction and the Y direction, and moves up and down. Reference numeral 7 denotes a clamper, which positions the substrate 8 by clamping it from the left and right. The coating head A horizontally moves above the substrate 8 and applies the bond 10 to a predetermined coordinate position on the substrate 8.

【0012】クランパ7の側部には台部11が設けられ
ており、台部11上にはノズル洗浄部12と箱形のボン
ド吐出部13が設けられている。図2において、ノズル
洗浄部12は容器14を主体としており、その内部には
洗浄液15が貯溜されている。容器14の内部にはノズ
ル2を支持するノズル支持部16が設けられている。塗
布ヘッドAが容器14の上方へ移動し、そこで下降動作
をするとノズル2は塗布ヘッドAから取りはずれ、ノズ
ル支持部16上に支持される。ノズル支持部16上のノ
ズル2は、洗浄液15に浸漬されており、容器12の底
部に設けられた振動部17を駆動すると洗浄液15は振
動し、ノズル2を洗浄する。ノズル2は細管状であっ
て、その内部にはボンドが付着しているが、ノズル2を
洗浄液15中に浸漬して洗浄液15を振動させると、こ
の内部のボンドは除去される。なお振動としては、超音
波振動が洗浄効果が大きい。
A base 11 is provided on the side of the clamper 7, and a nozzle cleaning unit 12 and a box-shaped bond discharge unit 13 are provided on the base 11. In FIG. 2, the nozzle cleaning section 12 is mainly composed of a container 14, and a cleaning liquid 15 is stored in the inside thereof. A nozzle support 16 for supporting the nozzle 2 is provided inside the container 14. When the coating head A moves above the container 14 and moves downward there, the nozzle 2 is disengaged from the coating head A and is supported on the nozzle support 16. The nozzle 2 on the nozzle support 16 is immersed in the cleaning liquid 15, and when the vibration unit 17 provided at the bottom of the container 12 is driven, the cleaning liquid 15 vibrates and cleans the nozzle 2. The nozzle 2 is a thin tube and has a bond adhered to the inside thereof. When the nozzle 2 is immersed in the cleaning liquid 15 and the cleaning liquid 15 is vibrated, the bond inside the nozzle 2 is removed. As the vibration, ultrasonic vibration has a large cleaning effect.

【0013】図3および図4はノズル2を塗布ヘッドA
に着脱するための具体的な方法を示している。21は塗
布ヘッドAの下部に設けられた内管、22は内管21に
装着された外管である。内管21と外管22の間にはス
プリング23が介装されており、そのばね力により外管
22は下方へ弾発されている。内管21の下部にはベア
リング24が配設されており、ベアリング24には外管
22の下部内面に形成されたテーパ面25が押接してい
る。ノズル2の上部には凹部26が形成されており、こ
の凹部26にベアリング24が嵌合することにより、ノ
ズル2は保持されている。27は外管22の上昇限度を
規定するストッパーである。図1において、容器14の
側面にはシリンダ30が装着されている。シリンダ30
は2本の平行なバー31を有している。シリンダ30が
作動すると、バー31は容器14の内部に突出し、また
この内部から引き込む。
FIG. 3 and FIG.
2 shows a specific method for attaching and detaching to and from a computer. Reference numeral 21 denotes an inner tube provided below the coating head A, and reference numeral 22 denotes an outer tube mounted on the inner tube 21. A spring 23 is interposed between the inner tube 21 and the outer tube 22, and the outer tube 22 is repelled downward by the spring force. A bearing 24 is disposed below the inner tube 21, and a tapered surface 25 formed on the lower inner surface of the outer tube 22 is pressed against the bearing 24. A concave portion 26 is formed in the upper part of the nozzle 2, and the nozzle 2 is held by fitting the bearing 24 into the concave portion 26. Reference numeral 27 denotes a stopper for defining the upper limit of the outer tube 22. In FIG. 1, a cylinder 30 is mounted on a side surface of the container 14. Cylinder 30
Has two parallel bars 31. When the cylinder 30 is activated, the bar 31 projects into and out of the container 14.

【0014】図3に示すように、塗布ヘッドAが容器1
4内に突出するバー31の上方へ移動し、そこで下降す
ると、図4に示すように外管22はバー31に着地して
スプリング23のばね力に抗して押し上げられる。する
とノズル2の重量によりベアリング24は側方へ移動し
て凹部26から脱出する。するとノズル1はノズル支持
部16上に落下する。このようにしてノズル2が取りは
ずされたならば、塗布ヘッドAは上昇する。すると外管
22はスプリング23のばね力により押し下げられて元
の位置に復帰する。
As shown in FIG. 3, the coating head A is
When the outer tube 22 moves above the bar 31 projecting into the inside 4 and descends there, the outer tube 22 lands on the bar 31 and is pushed up against the spring force of the spring 23 as shown in FIG. Then, the bearing 24 moves to the side by the weight of the nozzle 2 and escapes from the concave portion 26. Then, the nozzle 1 falls on the nozzle support 16. When the nozzle 2 is removed in this manner, the application head A moves up. Then, the outer tube 22 is pushed down by the spring force of the spring 23 and returns to the original position.

【0015】続いて、ノズル2が取りはずされたシリン
ジ1は、ノズル支持部16上の洗浄済の他のノズル2の
上方へ移動する。このとき、シリンダ30のバー31は
容器14から引き込んでいる。そこで塗布ヘッドAが下
降すると、ノズル2の凹部26はベアリング24に嵌着
し、塗布ヘッドAに装着される。このようにして新たな
ノズル2が装着された塗布ヘッドAは、基板8に対する
ボンド塗布作業を再開する。ノズル2は、同一形状のも
のを複数個使用してもかまわないが、異なる形状のノズ
ル2を複数個用意しておき、基板に仮止めされる電子部
品に最適なノズルを交換してボンドを塗布するようにし
てもよい。
Subsequently, the syringe 1 from which the nozzle 2 has been removed moves above the other cleaned nozzle 2 on the nozzle support 16. At this time, the bar 31 of the cylinder 30 has been drawn from the container 14. Then, when the coating head A descends, the concave portion 26 of the nozzle 2 is fitted to the bearing 24 and is mounted on the coating head A. The coating head A on which the new nozzle 2 is mounted in this way restarts the bond coating operation on the substrate 8. A plurality of nozzles 2 having the same shape may be used, but a plurality of nozzles 2 having different shapes are prepared, and a nozzle which is most suitable for an electronic component temporarily fixed to a substrate is exchanged for bonding. You may make it apply.

【0016】このボンド塗布装置は上記のように構成さ
れており、次に全体の動作を説明する。図1において、
可動テーブル部6が駆動することにより、塗布ヘッドA
は基板8の上方をX方向やY方向へ移動し、基板8の所
定の座標位置にボンド10を塗布する。繰り返しボンド
10を塗布する間に、ノズル2の内部にはボンド10が
徐々に詰り、ボンド塗布量は次第に低下する。そこで次
のようにしてノズル2の交換と洗浄を行う。
This bond coating apparatus is configured as described above, and the overall operation will be described next. In FIG.
When the movable table 6 is driven, the coating head A
Moves above the substrate 8 in the X direction or the Y direction, and applies a bond 10 to a predetermined coordinate position of the substrate 8. While the bond 10 is repeatedly applied, the inside of the nozzle 2 is gradually clogged with the bond 10, and the amount of the applied bond gradually decreases. Therefore, replacement and cleaning of the nozzle 2 are performed as follows.

【0017】可動テーブル部6を駆動して塗布ヘッドA
をノズル洗浄部12の容器14の上方へ移動させる。そ
こで塗布ヘッドAに上下動作を行わせて、ノズル2をノ
ズル支持部16上に取りはずす。続いてシリンジ1はノ
ズル支持部16上で洗浄済のノズル2の上方へ移動し、
そこで再度上下動作を行うことにより新しいノズル2を
装着する。この新しいノズル2は、洗浄液15に浸漬さ
れて洗浄が行われたことにより、その内部には洗浄液1
5が付着している。このノズル2でそのまま基板8に対
するボンド塗布を再開すると、基板8には洗浄液15が
混じったボンド10が塗布されるという不都合を生じ
る。そこで新たなノズル2を塗布ヘッドAに装着したな
らば、この塗布ヘッドAをボンド吐出部13の上方へ移
動させ、そこで塗布ヘッドA内のボンド10に気体圧を
付与することにより、ノズル2からボンド10をボンド
吐出部13に吐出する。このボンド10は上述のように
洗浄液15が混じったものである。ボンド吐出部13に
対するボンド10の吐出は十分に行って、洗浄液15を
完全に排出することが望ましい。
The movable table 6 is driven to apply the coating head A
Is moved above the container 14 of the nozzle cleaning unit 12. Then, the application head A is moved up and down, and the nozzle 2 is removed from the nozzle support 16. Subsequently, the syringe 1 moves above the cleaned nozzle 2 on the nozzle support 16,
Therefore, a new nozzle 2 is mounted by performing the vertical operation again. The new nozzle 2 is immersed in the cleaning liquid 15 and cleaned, so that the cleaning liquid 1 is contained therein.
5 is attached. When the bond application to the substrate 8 is resumed by the nozzle 2 as it is, there is a disadvantage that the bond 10 mixed with the cleaning liquid 15 is applied to the substrate 8. Therefore, when a new nozzle 2 is mounted on the coating head A, the coating head A is moved above the bond discharge unit 13, and the gas pressure is applied to the bond 10 in the coating head A therefrom. The bond 10 is discharged to the bond discharge unit 13. The bond 10 is a mixture of the cleaning liquid 15 as described above. It is desirable that the bond 10 is sufficiently discharged to the bond discharge unit 13 and the cleaning liquid 15 is completely discharged.

【0018】次いで塗布ヘッドAは基板8の上方へ移動
し、基板8に対するボンド塗布を再開する。一方、上述
のようにノズル支持部16上に取りはずされたノズル2
は、振動部17が駆動して洗浄液15を振動させること
により洗浄される。洗浄が終了したノズル2は、塗布ヘ
ッドAが再びノズル洗浄のために到来するのを待機す
る。
Next, the coating head A moves above the substrate 8, and resumes the bond coating on the substrate 8. On the other hand, the nozzle 2 removed on the nozzle support 16 as described above
Is cleaned by driving the vibration unit 17 to vibrate the cleaning liquid 15. The nozzle 2 that has been cleaned waits for the application head A to arrive again for nozzle cleaning.

【0019】[0019]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ノ
ズルの洗浄を自動的に行うことができる。また新たに塗
布ヘッドに装着したノズルをボンド吐出部の上方へ移動
させ、そこでノズルからボンドを吐出することにより、
このノズルの内部に付着する洗浄液をボンドとともに吐
出したうえで、基板に対するボンド塗布を再開できる。
また本発明によれば、形状が異なるノズルを複数種類使
用することが可能なので、仮止めされる電子部品に最適
なノズルを交換しながら基板へボンドを塗布することも
できる。
As described above, according to the present invention, the nozzle can be cleaned automatically. In addition, by moving the nozzle newly attached to the coating head above the bond discharge section, and discharging the bond from the nozzle there,
After discharging the cleaning liquid attached to the inside of the nozzle together with the bond, the application of the bond to the substrate can be resumed.
Further, according to the present invention, since a plurality of types of nozzles having different shapes can be used, it is possible to apply a bond to a substrate while exchanging a nozzle most suitable for an electronic component to be temporarily fixed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例のボンド塗布装置の斜視図FIG. 1 is a perspective view of a bond coating apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例のボンド塗布装置の要部正面
FIG. 2 is a front view of a main part of a bond coating apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施例のボンド塗布装置のノズル着
脱方法の説明図
FIG. 3 is an explanatory view of a nozzle attaching / detaching method of the bond coating apparatus according to one embodiment of the present invention.

【図4】本発明の一実施例のボンド塗布装置のノズル着
脱方法の説明図
FIG. 4 is an explanatory diagram of a nozzle attaching / detaching method of the bond applying apparatus according to one embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

A 塗布ヘッド 1 シリンジ 2 ノズル 6 可動テーブル部 7 クランパ(基板の位置決め部) 8 基板 10 ボンド 12 ノズル洗浄部 13 ボンド吐出部 15 洗浄液 17 振動部 A coating head 1 syringe 2 nozzle 6 movable table section 7 clamper (substrate positioning section) 8 substrate 10 bond 12 nozzle cleaning section 13 bond discharge section 15 cleaning liquid 17 vibrating section

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】位置決め部に位置決めされた基板の上方を
可動テーブル部を駆動して塗布ヘッドを移動させなが
ら、塗布ヘッドのノズルからボンドを吐出して基板に塗
布するようにしたボンド塗布方法であって、前記塗布ヘ
ッドを前記位置決め部の側部に設けられたノズル洗浄部
の上方へ移動させて、前記塗布ヘッドに装着されたノズ
ルをこのノズル洗浄部に貯溜された洗浄液中に取りはず
して浸漬し、その状態でこの洗浄液を振動手段で振動さ
せることによりノズルを洗浄し、また洗浄済のノズルを
前記塗布ヘッドに装着したうえでこの塗布ヘッドをボン
ド吐出部の上方へ移動させ、そこで前記ノズルから洗浄
液が混じったボンドを吐出させることにより前記ノズル
の内部に付着した洗浄液を除去したうえで、このノズル
による前記基板に対するボンド塗布を再開することを特
徴とするボンド塗布方法。
1. A bond coating method in which a bond is ejected from a nozzle of a coating head and applied to the substrate while moving a coating table by driving a movable table unit above a substrate positioned by a positioning unit. Then, the coating head is moved above the nozzle cleaning section provided on the side of the positioning section, and the nozzle mounted on the coating head is removed and immersed in the cleaning liquid stored in the nozzle cleaning section. In this state, the nozzle is cleaned by vibrating the cleaning liquid by vibrating means, and the cleaned nozzle is mounted on the coating head, and then the coating head is moved above the bond discharge unit. After discharging the bond mixed with the cleaning liquid from the nozzle to remove the cleaning liquid attached to the inside of the nozzle, the nozzle is applied to the substrate by the nozzle. Bond coating method which is characterized in that to resume the bond coating that.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN102269933A (en) * 2011-01-19 2011-12-07 沈阳芯源微电子设备有限公司 Auxiliary positioning semi-automatic fixing device for replacing photoresist nozzle

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102269933A (en) * 2011-01-19 2011-12-07 沈阳芯源微电子设备有限公司 Auxiliary positioning semi-automatic fixing device for replacing photoresist nozzle
CN102269933B (en) * 2011-01-19 2012-07-04 沈阳芯源微电子设备有限公司 Auxiliary positioning semi-automatic fixing device for replacing photoresist nozzle

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