JP3123979B2 - 高周波プローブの先端構造 - Google Patents
高周波プローブの先端構造Info
- Publication number
- JP3123979B2 JP3123979B2 JP10168248A JP16824898A JP3123979B2 JP 3123979 B2 JP3123979 B2 JP 3123979B2 JP 10168248 A JP10168248 A JP 10168248A JP 16824898 A JP16824898 A JP 16824898A JP 3123979 B2 JP3123979 B2 JP 3123979B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- coaxial line
- lower absorber
- coaxial
- contact electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、根元部に同軸線路
の先端を固定し先端部に前記同軸線路の被覆導体に電気
的に接続されたグラウンド接触電極と前記同軸線路の中
心導体に電気的に接続された信号接触電極とを被測定物
に接触するように配置する高周波プローブの先端構造に
関し、特に、組み立て工数を削減すると共に被測定物の
微細なパターンまたは多ピン化された信号電極に適応し
かつ被測定物に対する適切な接触圧を得ることができる
高周波プローブの先端構造に関する。
の先端を固定し先端部に前記同軸線路の被覆導体に電気
的に接続されたグラウンド接触電極と前記同軸線路の中
心導体に電気的に接続された信号接触電極とを被測定物
に接触するように配置する高周波プローブの先端構造に
関し、特に、組み立て工数を削減すると共に被測定物の
微細なパターンまたは多ピン化された信号電極に適応し
かつ被測定物に対する適切な接触圧を得ることができる
高周波プローブの先端構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の高周波プローブの先端構
造には、米国特許第５５０６５１５号明細書に記載され
たものがある。この高周波プローブの先端構造は、図５
に示されるように、同軸ケーブル１００の先端を加工し
てある。
造には、米国特許第５５０６５１５号明細書に記載され
たものがある。この高周波プローブの先端構造は、図５
に示されるように、同軸ケーブル１００の先端を加工し
てある。
【０００３】同軸ケーブル１００は、内側中心軸位置の
中心導体１０１、外部に面した被覆導体１０２、および
その間に挿入された誘電体１０３それぞれが同心の状態
にあり、同軸方向に対して垂直に切断した垂直カット面
１０４より先端に、中心導体１０１と接続されている中
心接触子１１１およびこの中心接触子１１１の両側に被
覆導体１０２と接続されている外部接触子１１２を接続
固定している。
中心導体１０１、外部に面した被覆導体１０２、および
その間に挿入された誘電体１０３それぞれが同心の状態
にあり、同軸方向に対して垂直に切断した垂直カット面
１０４より先端に、中心導体１０１と接続されている中
心接触子１１１およびこの中心接触子１１１の両側に被
覆導体１０２と接続されている外部接触子１１２を接続
固定している。
【０００４】図５に図６を併せ参照して高周波プローブ
の先端構造について説明する。図６は図５で示される斜
視図を裏側から見た場合の製造手順の一例を示した裏面
図である。
の先端構造について説明する。図６は図５で示される斜
視図を裏側から見た場合の製造手順の一例を示した裏面
図である。
【０００５】まず、図６（Ａ）では、同軸ケーブル１０
０を中心軸方向に垂直な面で切断して垂直カット面１０
４を作成した工程の結果が示されている。
０を中心軸方向に垂直な面で切断して垂直カット面１０
４を作成した工程の結果が示されている。
【０００６】次いで、図６（Ｂ）では、中心軸を含む平
面およびこの平面と垂直な平面とにより半円筒型部分を
切り取り、中心軸を含むカット面１０５とこの面と垂直
なカット面１０６とを製作した工程の結果が示されてい
る。
面およびこの平面と垂直な平面とにより半円筒型部分を
切り取り、中心軸を含むカット面１０５とこの面と垂直
なカット面１０６とを製作した工程の結果が示されてい
る。
【０００７】次いで、図６（Ｃ）では、フレーム部品１
１０がカット面１０５に位置決めされ接続固定される。
フレーム部品１１０は、中心接触子１１１および外部接
触子１１２を基板部１１３と共に一括して製作したもの
であり、外部接触子１１２は、中心接触子１１１の両側
で、中心接触子１１１がカット面１０５の中心導体１０
１上に接続する際に、カット面１０５の被覆導体１０２
に接続するよう、基板部１１３により位置決めされてい
る。
１０がカット面１０５に位置決めされ接続固定される。
フレーム部品１１０は、中心接触子１１１および外部接
触子１１２を基板部１１３と共に一括して製作したもの
であり、外部接触子１１２は、中心接触子１１１の両側
で、中心接触子１１１がカット面１０５の中心導体１０
１上に接続する際に、カット面１０５の被覆導体１０２
に接続するよう、基板部１１３により位置決めされてい
る。
【０００８】最後に、図６（Ｄ）では、不要部品となる
基板部１１３が切り離され、図５の状態が完成する。
基板部１１３が切り離され、図５の状態が完成する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の高周波
プローブの先端構造では、同軸ケーブル以外に接触子を
構成するフレーム部品を製造工程で必要とし、一つの中
心導体に一つの中心接触子、また一つの被覆導体に二つ
の外部接触子、それぞれを接続固定したのち、基板部を
切り離すという工程を必要とするので、前準備の部品が
複雑な形状であり、完成品の構成部品数が多く、したが
って、製造工程が複雑になり、製造コストが高くなると
いう問題点がある。
プローブの先端構造では、同軸ケーブル以外に接触子を
構成するフレーム部品を製造工程で必要とし、一つの中
心導体に一つの中心接触子、また一つの被覆導体に二つ
の外部接触子、それぞれを接続固定したのち、基板部を
切り離すという工程を必要とするので、前準備の部品が
複雑な形状であり、完成品の構成部品数が多く、したが
って、製造工程が複雑になり、製造コストが高くなると
いう問題点がある。
【００１０】また、被測定物が小型化され狭ピッチで多
数の信号電極が並び、グラウンド電極が検査ステージと
なるデバイスステージと接触する場合でも、同軸ケーブ
ル以外に接触子を構成するフレーム部品を使用し、高周
波プローブ先端を上述した加工方法を応用して加工する
ことができるが、上述同様な問題点が残る。
数の信号電極が並び、グラウンド電極が検査ステージと
なるデバイスステージと接触する場合でも、同軸ケーブ
ル以外に接触子を構成するフレーム部品を使用し、高周
波プローブ先端を上述した加工方法を応用して加工する
ことができるが、上述同様な問題点が残る。
【００１１】本発明の課題は、上記問題点を解決し、構
成部品および製造工程を簡素化して組み立て工数を削減
すると共に被測定物の微細なパターンまたは多ピン化さ
れた信号電極に適応しかつ被測定物に対する適切な接触
圧を得ることができる高周波プローブの先端構造を提供
することである。
成部品および製造工程を簡素化して組み立て工数を削減
すると共に被測定物の微細なパターンまたは多ピン化さ
れた信号電極に適応しかつ被測定物に対する適切な接触
圧を得ることができる高周波プローブの先端構造を提供
することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明による高周波プロ
ーブの先端構造は、根元部に同軸線路の先端を固定し先
端部に前記同軸線路の被覆導体に電気的に接続されたグ
ラウンド接触電極と前記同軸線路の中心導体に電気的に
接続された信号接触電極とを被測定物に接触するように
配置する高周波プローブの先端構造において、前記同軸
線路の中心軸にほぼ平行に表裏面を有する平板形状を成
しこの裏面の先端部に前記信号接触電極を備えかつこの
信号接触電極と根元部に接続する前記同軸線路の中心導
体との両者を接続する伝送線路を有する基板と、この基
板の裏面を前記信号接触電極の部分を露出させてはめ込
む表面部分の基板台、前記同軸線路をはめ込み同軸線路
の前記被覆導体を導電材質により接着する根元部の案内
溝、および裏面部分の先端部に前記グラウンド接触電極
を備える導体の下アブソーバと、前記基板の表面一面を
被覆する薄板状を成し基板と共に前記下アブソーバには
め込まれた際に根元部分で下アブソーバと導電材質によ
り接着される導体のグラウンド板と、前記基板およびグ
ラウンド板をはめ込んだ前記下アブソーバの表面部分に
重ね根元部近辺でこの下アブソーバと固着される弾性材
質の上アブソーバとを備えている。
ーブの先端構造は、根元部に同軸線路の先端を固定し先
端部に前記同軸線路の被覆導体に電気的に接続されたグ
ラウンド接触電極と前記同軸線路の中心導体に電気的に
接続された信号接触電極とを被測定物に接触するように
配置する高周波プローブの先端構造において、前記同軸
線路の中心軸にほぼ平行に表裏面を有する平板形状を成
しこの裏面の先端部に前記信号接触電極を備えかつこの
信号接触電極と根元部に接続する前記同軸線路の中心導
体との両者を接続する伝送線路を有する基板と、この基
板の裏面を前記信号接触電極の部分を露出させてはめ込
む表面部分の基板台、前記同軸線路をはめ込み同軸線路
の前記被覆導体を導電材質により接着する根元部の案内
溝、および裏面部分の先端部に前記グラウンド接触電極
を備える導体の下アブソーバと、前記基板の表面一面を
被覆する薄板状を成し基板と共に前記下アブソーバには
め込まれた際に根元部分で下アブソーバと導電材質によ
り接着される導体のグラウンド板と、前記基板およびグ
ラウンド板をはめ込んだ前記下アブソーバの表面部分に
重ね根元部近辺でこの下アブソーバと固着される弾性材
質の上アブソーバとを備えている。
【００１３】このような構造によれば、位置決めの面を
有する下アブソーバに成型された基板およびグラウンド
板が基板台に位置決めされてはめ込まれ、かつ同軸線路
が案内溝に位置決めされてはめ込まれるので組み立てが
容易である。
有する下アブソーバに成型された基板およびグラウンド
板が基板台に位置決めされてはめ込まれ、かつ同軸線路
が案内溝に位置決めされてはめ込まれるので組み立てが
容易である。
【００１４】また、基板では、グラウンド板が前記基板
と一体化成型されることにより組み立てが簡素化され
る。
と一体化成型されることにより組み立てが簡素化され
る。
【００１５】また、下アブソーバで同軸線路をはめ込む
根元部近辺の底面部分に位置決め用の溝、例えばＶ型溝
またはＵ型溝を備えることにより、同軸線路のはめ込み
も更に容易になる。
根元部近辺の底面部分に位置決め用の溝、例えばＶ型溝
またはＵ型溝を備えることにより、同軸線路のはめ込み
も更に容易になる。
【００１６】また、同軸線路を複数備えた際には、下ア
ブソーバで同軸線路が同一平面上に並列状態で配置さ
れ、または、信号接触電極部が先端裏面部で同軸方向に
垂直な方向に一列に配備されることにより、被測定物の
微細なパターンまたは多ピン化された信号電極に容易に
適応できる。
ブソーバで同軸線路が同一平面上に並列状態で配置さ
れ、または、信号接触電極部が先端裏面部で同軸方向に
垂直な方向に一列に配備されることにより、被測定物の
微細なパターンまたは多ピン化された信号電極に容易に
適応できる。
【００１７】また、上アブソーバは、弾性条件の相違す
る複数種類を備え下アブソーバと着脱可能に固定される
ことにより、被測定物に対する適切な接触圧を得ること
ができる。
る複数種類を備え下アブソーバと着脱可能に固定される
ことにより、被測定物に対する適切な接触圧を得ること
ができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。以降に示される構造関係図
は模式図でデフォルムされており、相対的な大きさは参
考用のものである。
て図面を参照して説明する。以降に示される構造関係図
は模式図でデフォルムされており、相対的な大きさは参
考用のものである。
【００１９】図１および図２は本発明の実施の一形態を
示す組み立て分解斜視図である。
示す組み立て分解斜視図である。
【００２０】図１に示された高周波プローブの先端構造
では、基板１０、下アブソーバ２０、グラウンド板３
０、および上アブソーバ４０が重ね合わせて組み立てら
れ、その間に二つの同軸線路５０が下アブソーバ２０に
はめ込まれている。基板１０は信号接触電極部１１、お
よび伝送線路１２を備え、下アブソーバ２０はグラウン
ド接触電極部２１、基板台２２、および案内溝２３、か
つ同軸線路５０は中心導体５１および外周の被覆導体５
２を備えているものとする。
では、基板１０、下アブソーバ２０、グラウンド板３
０、および上アブソーバ４０が重ね合わせて組み立てら
れ、その間に二つの同軸線路５０が下アブソーバ２０に
はめ込まれている。基板１０は信号接触電極部１１、お
よび伝送線路１２を備え、下アブソーバ２０はグラウン
ド接触電極部２１、基板台２２、および案内溝２３、か
つ同軸線路５０は中心導体５１および外周の被覆導体５
２を備えているものとする。
【００２１】また、図２は図１における基板１０、下ア
ブソーバ２０、およびグラウンド板３０に、二つの同軸
線路５０を加えて組み立て、ろう付した構成品から上ア
ブソーバ４０を分離させた分解斜視図である。更に図３
は上記組み立て後の側面図である。
ブソーバ２０、およびグラウンド板３０に、二つの同軸
線路５０を加えて組み立て、ろう付した構成品から上ア
ブソーバ４０を分離させた分解斜視図である。更に図３
は上記組み立て後の側面図である。
【００２２】基板１０は、根本部に接続される二つの同
軸線路５０の中心軸に平行な表裏面を有し先端部が徐々
に細く成型された平板形状を成すものとし、二つの信号
接触電極部１１はこの裏面の先端部に備えられ、かつ伝
送線路１２は二つの信号接触電極部１１それぞれと根元
部に接続する二つの同軸線路５０の中心導体５１それぞ
れとの両者を接続している。二つの伝送線路は、裏面上
に直線状に貼られたストリップラインであるものとす
る。また、基板１０の材質は、成型を容易にするため、
樹脂、セラミックなどの可塑材が用いられるものとす
る。
軸線路５０の中心軸に平行な表裏面を有し先端部が徐々
に細く成型された平板形状を成すものとし、二つの信号
接触電極部１１はこの裏面の先端部に備えられ、かつ伝
送線路１２は二つの信号接触電極部１１それぞれと根元
部に接続する二つの同軸線路５０の中心導体５１それぞ
れとの両者を接続している。二つの伝送線路は、裏面上
に直線状に貼られたストリップラインであるものとす
る。また、基板１０の材質は、成型を容易にするため、
樹脂、セラミックなどの可塑材が用いられるものとす
る。
【００２３】導体による下アブソーバ２０で、グラウン
ド接触電極部２１は下アブソーバ２０の裏面部分で基板
１０を表面側にはめ込まれた際に信号接触電極部１１を
露出するように成型された先端部に取り付けられるもの
とし、基板台２２は基板１０の裏面で信号接触電極部１
１の部分を露出させ基板１０の少なくとも根元部分をは
め込むための壁枠により下アブソーバ２０の表面部分に
形成されているものとする。
ド接触電極部２１は下アブソーバ２０の裏面部分で基板
１０を表面側にはめ込まれた際に信号接触電極部１１を
露出するように成型された先端部に取り付けられるもの
とし、基板台２２は基板１０の裏面で信号接触電極部１
１の部分を露出させ基板１０の少なくとも根元部分をは
め込むための壁枠により下アブソーバ２０の表面部分に
形成されているものとする。
【００２４】また、案内溝２３は下アブソーバ２０の根
元部に同軸線路５０をはめ込むための壁枠を備えている
ものとする。基板台２２および案内溝２３それぞれの壁
枠は下アブソーバ２０の表面部分に垂直な平面を有し、
この方向に移動してはめ込まれるように形成されている
ものとする。また、下アブソーバ２０は、基板１０の伝
送線路１２に沿った基板台２２の位置に、伝送線路１２
と下アブソーバ２０により形成されるグラウンド面との
間に空間を形成する深い溝を有している。
元部に同軸線路５０をはめ込むための壁枠を備えている
ものとする。基板台２２および案内溝２３それぞれの壁
枠は下アブソーバ２０の表面部分に垂直な平面を有し、
この方向に移動してはめ込まれるように形成されている
ものとする。また、下アブソーバ２０は、基板１０の伝
送線路１２に沿った基板台２２の位置に、伝送線路１２
と下アブソーバ２０により形成されるグラウンド面との
間に空間を形成する深い溝を有している。
【００２５】導体のグラウンド板３０は、基板１０の表
面一面を被覆する薄板形状を成し、基板１０と共に下ア
ブソーバ２０にはめ込まれ、根元部部分で下アブソーバ
２０とろう付３１により接着されているものとする。
面一面を被覆する薄板形状を成し、基板１０と共に下ア
ブソーバ２０にはめ込まれ、根元部部分で下アブソーバ
２０とろう付３１により接着されているものとする。
【００２６】弾性材質の上アブソーバ４０は、板ばねを
成型したものとし、基板１０およびグラウンド板３０を
はめ込んだ下アブソーバ２０の表面部分に重ね、根元部
近辺でこの下アブソーバ２０と例えば捩子止め、または
ろう付により固着されるものとする。このため、基板１
０の信号接触電極部１１が被測定物の信号電極と接し、
下アブソーバ２０のグラウンド接触電極部２１と離れる
応力を受けた場合、選択された上アブソーバ４０の弾性
により信号接触電極部１１と被測定物の信号電極との接
触に対して適切な接触圧力を得ることができる。このよ
うに、上アブソーバは被測定物の信号電極との接触に対
して適切な接触圧力を得ることができるものであればそ
の材質を問わない。
成型したものとし、基板１０およびグラウンド板３０を
はめ込んだ下アブソーバ２０の表面部分に重ね、根元部
近辺でこの下アブソーバ２０と例えば捩子止め、または
ろう付により固着されるものとする。このため、基板１
０の信号接触電極部１１が被測定物の信号電極と接し、
下アブソーバ２０のグラウンド接触電極部２１と離れる
応力を受けた場合、選択された上アブソーバ４０の弾性
により信号接触電極部１１と被測定物の信号電極との接
触に対して適切な接触圧力を得ることができる。このよ
うに、上アブソーバは被測定物の信号電極との接触に対
して適切な接触圧力を得ることができるものであればそ
の材質を問わない。
【００２７】同軸線路５０は、下アブソーバ２０の案内
溝２３にはめ込まれ、下アブソーバ２０の基板台２２に
はめ込まれた基板１０の、図１では示されていない露出
された伝送線路１２に中心導体５１を例えばろう付して
導通をとる一方、被覆導体５２を下アブソーバ２０との
接触部分で銀ろう付部５３により固定されると共にグラ
ウンド接触電極部２１との導通を得ているものとする。
溝２３にはめ込まれ、下アブソーバ２０の基板台２２に
はめ込まれた基板１０の、図１では示されていない露出
された伝送線路１２に中心導体５１を例えばろう付して
導通をとる一方、被覆導体５２を下アブソーバ２０との
接触部分で銀ろう付部５３により固定されると共にグラ
ウンド接触電極部２１との導通を得ているものとする。
【００２８】また、先端部の信号接触電極部１１は平板
形状の板裏面に平行に二つが近接して配置されている。
この構造により、信号接触電極部１１は被測定物の微細
なパターンまたは多ピン化された信号電極に容易に適応
できる。
形状の板裏面に平行に二つが近接して配置されている。
この構造により、信号接触電極部１１は被測定物の微細
なパターンまたは多ピン化された信号電極に容易に適応
できる。
【００２９】次に、図４を参照して上記とは別の実施例
について説明する。図４（Ａ）は下アブソーバ６０の根
元部分で同軸線路５０をはめ込む場合の斜視図を示し、
図４（Ｂ）は根元部分を正面として示す根元正面図であ
る。
について説明する。図４（Ａ）は下アブソーバ６０の根
元部分で同軸線路５０をはめ込む場合の斜視図を示し、
図４（Ｂ）は根元部分を正面として示す根元正面図であ
る。
【００３０】全体の形状および構成は上述した例と同様
であり、下アブソーバ６０が上述した例と相違する点
は、図示されるように、下アブソーバ６０の根元部分で
表面側に設けられる案内溝６３に対応してこの案内溝６
３に設けられる二つのＶ形溝６４であり、上アブソーバ
６６は下アブソーバ６０に合致する形状であるものとす
る。
であり、下アブソーバ６０が上述した例と相違する点
は、図示されるように、下アブソーバ６０の根元部分で
表面側に設けられる案内溝６３に対応してこの案内溝６
３に設けられる二つのＶ形溝６４であり、上アブソーバ
６６は下アブソーバ６０に合致する形状であるものとす
る。
【００３１】案内溝６３におけるＶ形溝６４は、同軸線
路５０の中心導体５１を、図１に示される基板１０の伝
送線路１２に案内するため、下アブソーバ６０の表面側
から案内溝６３に押し込む際の位置決めに有効である。
図示されるように、同軸線路５０は、所定のＶ形溝６４
に位置決めされたのち、下アブソーバ６０との接触部分
の銀ろう付部６５で接着固定されると共に電気的導通を
確保する。
路５０の中心導体５１を、図１に示される基板１０の伝
送線路１２に案内するため、下アブソーバ６０の表面側
から案内溝６３に押し込む際の位置決めに有効である。
図示されるように、同軸線路５０は、所定のＶ形溝６４
に位置決めされたのち、下アブソーバ６０との接触部分
の銀ろう付部６５で接着固定されると共に電気的導通を
確保する。
【００３２】上記説明ではＶ形溝と図示して説明したが
直線状の深めの溝であれば機能する。また、はめ込み可
能なＵ形溝であってもよい。
直線状の深めの溝であれば機能する。また、はめ込み可
能なＵ形溝であってもよい。
【００３３】上記説明では、同軸線路を二つで図示して
説明したが、一つでも三つ以上でもよい。下アブソーバ
には配備される同軸線路の数に基づく案内溝またはＶ形
溝が備えられる。また、グラウンド板が基板と同形平面
を形成し単独に組み立てられたが、グラウンド板と基板
とが一体化成型されたものであってもよい。
説明したが、一つでも三つ以上でもよい。下アブソーバ
には配備される同軸線路の数に基づく案内溝またはＶ形
溝が備えられる。また、グラウンド板が基板と同形平面
を形成し単独に組み立てられたが、グラウンド板と基板
とが一体化成型されたものであってもよい。
【００３４】また、上アブソーバは、下アブソーバに嵌
め込んだ同軸線路を下アブソーバの表面部分で露出して
弾性を効果的にしているが、露出部分の一部または全部
を覆う形状でもよい。また、接着固定の手段をろう付と
して説明したが、電気的接続および機械的固定が完全で
あればどのような手段であってもよい。
め込んだ同軸線路を下アブソーバの表面部分で露出して
弾性を効果的にしているが、露出部分の一部または全部
を覆う形状でもよい。また、接着固定の手段をろう付と
して説明したが、電気的接続および機械的固定が完全で
あればどのような手段であってもよい。
【００３５】このように、上記説明では形状を図示し、
かつ材質を記載しているが、上記機能を満たすものであ
ればよいので、上記説明が本発明を限定するものではな
い。
かつ材質を記載しているが、上記機能を満たすものであ
ればよいので、上記説明が本発明を限定するものではな
い。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、従
来と比較して組み立て工数を削減するという効果が得ら
れる。
来と比較して組み立て工数を削減するという効果が得ら
れる。
【００３７】その理由は、予め成型された下アブソーバ
の案内溝に単純形状の基板、グラウンド板、および同軸
線路をそれぞれ順次はめ込み、ろう付固定しているから
である。
の案内溝に単純形状の基板、グラウンド板、および同軸
線路をそれぞれ順次はめ込み、ろう付固定しているから
である。
【００３８】また、本発明によれば、被測定物の微細な
パターンまたは多ピン化された信号電極に適応できると
いう効果が得られる。
パターンまたは多ピン化された信号電極に適応できると
いう効果が得られる。
【００３９】その理由は、基板先端部に信号接触電極を
接近して配置し、信号接触電極に対応して同軸線路の中
心導体を接続する伝送線路を基板に一体化成型すると共
に、周囲を下アブソーバおよびグラウンド板により覆い
同軸線路の被覆導体とグラウンド接続している構造を有
するからである。
接近して配置し、信号接触電極に対応して同軸線路の中
心導体を接続する伝送線路を基板に一体化成型すると共
に、周囲を下アブソーバおよびグラウンド板により覆い
同軸線路の被覆導体とグラウンド接続している構造を有
するからである。
【００４０】更に、本発明によれば、被測定物に対する
適切な接触圧を得ることができるという効果を得ること
ができる。
適切な接触圧を得ることができるという効果を得ること
ができる。
【００４１】その理由は、下アブソーバの表面側に基板
を内側にしてはめ込まれたグラウンド板が根元部分での
み下アブソーバにろう付され、かつ基板の先端の信号接
触電極が被測定物の信号電極に接触する際に下アブソー
バの先端部に配置されるグラウンド接触電極の接触に対
して反対の応力を生じるので、グラウンド板を押さえる
上アブソーバにより接触圧を生じるが、上アブソーバの
有する弾性の強さを複数準備することにより、接触圧の
選択ができるからである。
を内側にしてはめ込まれたグラウンド板が根元部分での
み下アブソーバにろう付され、かつ基板の先端の信号接
触電極が被測定物の信号電極に接触する際に下アブソー
バの先端部に配置されるグラウンド接触電極の接触に対
して反対の応力を生じるので、グラウンド板を押さえる
上アブソーバにより接触圧を生じるが、上アブソーバの
有する弾性の強さを複数準備することにより、接触圧の
選択ができるからである。
【図１】本発明の実施の一形態を示す組み立て分解斜視
図である。
図である。
【図２】図１において、上アブソーバを除く部品の組み
立て斜視図である。
立て斜視図である。
【図３】図１に示される部品の組み立て後の側面図であ
る。
る。
【図４】図４（Ａ）は下アブソーバの根元部分で同軸線
路を嵌め込む場合の斜視図、図４（Ｂ）は根元部分を正
面として示す根元正面図である。
路を嵌め込む場合の斜視図、図４（Ｂ）は根元部分を正
面として示す根元正面図である。
【図５】従来の一例を示す構造斜視図である。
【図６】図５の構造に対する製造工程の一例を示す各工
程終了時の裏面図である。
程終了時の裏面図である。
１０ 基板 １１ 信号接触電極部 １２ 伝送線路 ２０、６０ 下アブソーバ ２１ グラウンド接触電極部 ２２ 基板台 ２３、６３ 案内溝 ３０ グラウンド板 ３１ ろう付部 ４０、６６ 上アブソーバ ５０ 同軸線路 ５１ 中心導体 ５２ 被覆導体 ５３、６５ 銀ろう付部 ６４ Ｖ形溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 種橋 正夫 東京都港区芝五丁目７番１号 日本電気 株式会社内 (72)発明者 田浦 徹 東京都港区芝五丁目７番１号 日本電気 株式会社内 (72)発明者 山岸 祐一 東京都港区南麻布五丁目10番27号 アン リツ株式会社内 (72)発明者 早川 聡 東京都港区南麻布五丁目10番27号 アン リツ株式会社内 (56)参考文献 特開 平３−158764（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−318585（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 1/06 - 1/073 G01R 31/26 G01R 31/28 H01L 21/66
Claims (5)
- 【請求項１】 根元部に同軸線路の先端を固定し先端部
に前記同軸線路の被覆導体に電気的に接続されたグラウ
ンド接触電極と前記同軸線路の中心導体に電気的に接続
された信号接触電極とを被測定物に接触するように配置
する高周波プローブの先端構造において、前記同軸線路
の中心軸にほぼ平行に表裏面を有する平板形状を成しこ
の裏面の先端部に前記信号接触電極を備えかつこの信号
接触電極と根元部に接続する前記同軸線路の中心導体と
の両者を接続する伝送線路を有する基板と、この基板の
裏面を前記信号接触電極を露出させてはめ込む表面部分
の基板台、前記同軸線路をはめ込み同軸線路の前記被覆
導体を導電材質により接着する根元部の案内溝、および
裏面部分の先端部に前記グラウンド接触電極を備える導
体の下アブソーバと、前記基板の表面一面を被覆する薄
板状を成し基板と共に前記下アブソーバにはめ込まれた
際に根元部分で下アブソーバと導電材質により接着され
る導体のグラウンド板と、前記基板およびグラウンド板
をはめ込んだ前記下アブソーバの表面部分に重ね根元部
近辺でこの下アブソーバと固着される弾性材質の上アブ
ソーバとを備えることを特徴とする高周波プローブの先
端構造。 - 【請求項２】 請求項１において、前記グラウンド板は
前記基板と一体化成型されることを特徴とする高周波プ
ローブの先端構造。 - 【請求項３】 請求項１において、前記下アブソーバは
前記同軸線路をはめ込む根元部近辺の底面部分に位置決
め用のＶ型状の溝を備えることを特徴とする高周波プロ
ーブの先端構造。 - 【請求項４】 請求項１において、前記同軸線路は複数
を備え、前記下アブソーバは前記同軸線路を同一平面上
に並列状態で配置する前記案内溝を有することを特徴と
する高周波プローブの先端構造。 - 【請求項５】 請求項１において、前記同軸線路は複数
を備え、この信号接触電極部は先端裏面部で同軸方向に
垂直な方向に一列に配備されることを特徴とする高周波
プローブの先端構造。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10168248A JP3123979B2 (ja) | 1998-06-16 | 1998-06-16 | 高周波プローブの先端構造 |
| US09/328,362 US6281691B1 (en) | 1998-06-09 | 1999-06-09 | Tip portion structure of high-frequency probe and method for fabrication probe tip portion composed by coaxial cable |
| US09/886,033 US6400168B2 (en) | 1998-06-09 | 2001-06-22 | Method for fabricating probe tip portion composed by coaxial cable |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10168248A JP3123979B2 (ja) | 1998-06-16 | 1998-06-16 | 高周波プローブの先端構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000002717A JP2000002717A (ja) | 2000-01-07 |
| JP3123979B2 true JP3123979B2 (ja) | 2001-01-15 |
Family
ID=15864509
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10168248A Expired - Fee Related JP3123979B2 (ja) | 1998-06-09 | 1998-06-16 | 高周波プローブの先端構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3123979B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6724205B1 (en) * | 2002-11-13 | 2004-04-20 | Cascade Microtech, Inc. | Probe for combined signals |
-
1998
- 1998-06-16 JP JP10168248A patent/JP3123979B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000002717A (ja) | 2000-01-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6400168B2 (en) | Method for fabricating probe tip portion composed by coaxial cable | |
| US6100626A (en) | System for connecting a transducer array to a coaxial cable in an ultrasound probe | |
| USRE37368E1 (en) | High density, high bandwidth, coaxial cable, flexible circuit and circuit board connection assembly | |
| US6857880B2 (en) | Electrical connector | |
| JP4486028B2 (ja) | 電気コネクタ | |
| US8633429B2 (en) | Image pick-up module with contact point circuit connection | |
| JP3357650B2 (ja) | 終端装置及びプローブ・ヘッド | |
| JPH09107190A (ja) | 平形構成素子群用のシールド | |
| TW200934009A (en) | Multicore cable connector | |
| JP2003510574A (ja) | 高周波測定プローブ及びその製造方法 | |
| JPS6054747B2 (ja) | ２つの電気装置を電気接続する方法 | |
| JPH0668939A (ja) | 小径同軸コネクタの成端方法 | |
| JPS62170177A (ja) | 電気コネクタ組立体 | |
| JPH04230865A (ja) | 電気試験プローブ | |
| EP1003245A1 (en) | Cable connector capable of reliably connecting a cable and a method of connecting the cable to the cable connector | |
| JP2586334B2 (ja) | 接触形高周波信号接続構造 | |
| JP3123979B2 (ja) | 高周波プローブの先端構造 | |
| EP0259162A2 (en) | Integrated circuit probe system | |
| US11398689B2 (en) | Connecting method, connecting structure, contact and connector | |
| CN214895535U (zh) | 天线装置和天线板测试结构 | |
| US5198754A (en) | Testing apparatus for high frequency integrated circuit chip | |
| JP3190885B2 (ja) | 高周波プローブの先端構造 | |
| JP2006164580A (ja) | ケーブル付き電気コネクタ | |
| JP3190883B2 (ja) | 高周波プローブ先端の構造およびその加工方法 | |
| TWI655808B (zh) | Connector, connector subassembly, and connector manufacturing method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20001011 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071027 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081027 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091027 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091027 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101027 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111027 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121027 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131027 Year of fee payment: 13 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |