JP3107315B2 - 光導波路の製造方法 - Google Patents
光導波路の製造方法Info
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- G02B6/2804—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers
- G02B6/2821—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers using lateral coupling between contiguous fibres to split or combine optical signals
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は装置間及び装置内を光を
用いて信号を並列伝送する際に用いる光伝送路とその製
造法及び光伝搬時間測定法とその装置に関する。
用いて信号を並列伝送する際に用いる光伝送路とその製
造法及び光伝搬時間測定法とその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば特開昭６４−４８０１１号
公報において、コンピュータ間及びコンピュータ端末装
置間でデータの並列伝送を、複数の光ファイバを用いて
高速に行う並列データ伝送用の光ケーブルが示されてい
る。
公報において、コンピュータ間及びコンピュータ端末装
置間でデータの並列伝送を、複数の光ファイバを用いて
高速に行う並列データ伝送用の光ケーブルが示されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記の公開特許には、
コネクタ取付け前に光ファイバそれぞれの光路長のばら
つきを実測し、ばらつきが５０ｃｍ以下となるようにコ
ネクタの取付位置を加減してコネクタを取付ける、とあ
るが、具体的な光路長測定装置や方法についての記述が
ない。また、光ケーブルを構成する光ファイバの両端コ
ネクタ間の光路長変動のみに着目していて、各光ファイ
バの光路長の絶対値や、光ケーブルどうしの光路長差に
ついては考慮していない。
コネクタ取付け前に光ファイバそれぞれの光路長のばら
つきを実測し、ばらつきが５０ｃｍ以下となるようにコ
ネクタの取付位置を加減してコネクタを取付ける、とあ
るが、具体的な光路長測定装置や方法についての記述が
ない。また、光ケーブルを構成する光ファイバの両端コ
ネクタ間の光路長変動のみに着目していて、各光ファイ
バの光路長の絶対値や、光ケーブルどうしの光路長差に
ついては考慮していない。
【０００４】装置間や装置内でデータをやりとりしなが
ら処理を行うときには、光伝搬時間のばらつきだけでは
なく光伝搬時間そのものを設定した光伝送路の必要性が
出てくる。さらに、信号転送スピードを高くするには光
伝送路の光伝搬時間を高精度に調整する必要がある。
ら処理を行うときには、光伝搬時間のばらつきだけでは
なく光伝搬時間そのものを設定した光伝送路の必要性が
出てくる。さらに、信号転送スピードを高くするには光
伝送路の光伝搬時間を高精度に調整する必要がある。
【０００５】そこで、本発明の１つの目的は、光導波路
の光伝搬時間が定められた範囲に納まっている光伝送路
を提供することである。
の光伝搬時間が定められた範囲に納まっている光伝送路
を提供することである。
【０００６】本発明の他の目的は、光導波路の光伝搬時
間を時間領域で高精度かつ簡便に測定する装置及び方法
を提供することである。
間を時間領域で高精度かつ簡便に測定する装置及び方法
を提供することである。
【０００７】本発明の他の目的は、光導波路の光伝搬時
間の調整された光伝送路の製造法を提供することであ
る。
間の調整された光伝送路の製造法を提供することであ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明においては光伝送路を構成する光導波路の基
準光導波路に対する光伝搬時間差を測定し、その値を所
定値以下に抑えることにより、光伝搬時間を所定の範囲
に定めた光伝送路をつくる。
め、本発明においては光伝送路を構成する光導波路の基
準光導波路に対する光伝搬時間差を測定し、その値を所
定値以下に抑えることにより、光伝搬時間を所定の範囲
に定めた光伝送路をつくる。
【０００９】片端のみにコネクタを取付けた状態の光伝
送路を構成する光導波路の基準光導波路に対する光伝搬
時間差を測定し、光伝搬時間差が目標の範囲に入ってい
ないときには、光伝搬時間差の測定とコネクタのついて
いない側での光導波路長の調節を順次繰り返すことによ
り光伝搬時間の調整を行う。必要ならば反対側にコネク
タを取付けて両端コネクタ付きの等光路長光伝送路を得
る。
送路を構成する光導波路の基準光導波路に対する光伝搬
時間差を測定し、光伝搬時間差が目標の範囲に入ってい
ないときには、光伝搬時間差の測定とコネクタのついて
いない側での光導波路長の調節を順次繰り返すことによ
り光伝搬時間の調整を行う。必要ならば反対側にコネク
タを取付けて両端コネクタ付きの等光路長光伝送路を得
る。
【００１０】光伝搬時間の測定に際して、被測定光導波
路と基準光導波路を同種の光導波路とし、同じ環境条件
下に置くことにより測定系の大幅な安定化をはかる。
路と基準光導波路を同種の光導波路とし、同じ環境条件
下に置くことにより測定系の大幅な安定化をはかる。
【００１１】パルス光を分岐して複数の光導波路へ入射
し、該光導波路からの反射パルス光を合波して光伝搬時
間を観測する。
し、該光導波路からの反射パルス光を合波して光伝搬時
間を観測する。
【００１２】
【作用】本発明によれば、光伝送路を構成する光導波路
の光伝搬時間を所定の範囲に定めた光伝送路を製造でき
る。
の光伝搬時間を所定の範囲に定めた光伝送路を製造でき
る。
【００１３】片端のみにコネクタを取付けた状態の光伝
送路を構成する光導波路の基準光導波路に対する光伝搬
時間差を測定し、光伝搬時間差が目標の範囲に入ってい
ないときには、光伝搬時間差の測定とコネクタのついて
いない側での光導波路長の調節を順次繰り返すことによ
り光伝搬時間の調整を行える。必要ならば反対側にコネ
クタを取付けて両端コネクタ付きの等光路長光伝送路を
得ることができる。
送路を構成する光導波路の基準光導波路に対する光伝搬
時間差を測定し、光伝搬時間差が目標の範囲に入ってい
ないときには、光伝搬時間差の測定とコネクタのついて
いない側での光導波路長の調節を順次繰り返すことによ
り光伝搬時間の調整を行える。必要ならば反対側にコネ
クタを取付けて両端コネクタ付きの等光路長光伝送路を
得ることができる。
【００１４】光伝搬時間の測定に際して、被測定光導波
路と基準光導波路を同種の光導波路とし、同じ環境条件
下に置くことにより測定系の大幅な安定化をはかれる。
路と基準光導波路を同種の光導波路とし、同じ環境条件
下に置くことにより測定系の大幅な安定化をはかれる。
【００１５】パルス光を分岐して複数の光導波路へ入射
し、該光導波路からの反射パルス光を合波して光伝搬時
間を観測する装置を提供できる。
し、該光導波路からの反射パルス光を合波して光伝搬時
間を観測する装置を提供できる。
【００１６】
【実施例】図１は本発明による光伝搬時間測定の一実施
例を示す図である。
例を示す図である。
【００１７】光双方向性結合器４のポート４ｃとポート
４ｄにそれぞれ被測定光導波路６と基準光導波路５を接
続する。パルス光源２から出たパルス光がポート４ａよ
り入射し、光双方向性結合器４で分岐されてポート４ｃ
とポート４ｄに入射され、被測定光導波路６及び基準光
導波路５の遠端からの２つの反射光が光双方向性結合器
４で合波される。この２つの反射光の時間間隔を、ポー
ト４ｂに接続された受光装置３で観測する。
４ｄにそれぞれ被測定光導波路６と基準光導波路５を接
続する。パルス光源２から出たパルス光がポート４ａよ
り入射し、光双方向性結合器４で分岐されてポート４ｃ
とポート４ｄに入射され、被測定光導波路６及び基準光
導波路５の遠端からの２つの反射光が光双方向性結合器
４で合波される。この２つの反射光の時間間隔を、ポー
ト４ｂに接続された受光装置３で観測する。
【００１８】パルス光源２と受光装置３は、制御信号線
１ａを通じてタイミング制御部１と連動している。光導
波路として光ファイバを用いる場合は、光コネクタ７を
介して光双方向性結合器４のポート４ｃとポート４ｄに
それぞれ被測定光導波路６と基準光導波路５を接続する
と取扱いが容易である。被測定光導波路６及び基準光導
波路５について温度、張力などの環境条件をそろえてお
き、被測定光導波路６及び基準光導波路５を同種の光導
波路とすることにより高精度の光伝搬時間測定を行え
る。
１ａを通じてタイミング制御部１と連動している。光導
波路として光ファイバを用いる場合は、光コネクタ７を
介して光双方向性結合器４のポート４ｃとポート４ｄに
それぞれ被測定光導波路６と基準光導波路５を接続する
と取扱いが容易である。被測定光導波路６及び基準光導
波路５について温度、張力などの環境条件をそろえてお
き、被測定光導波路６及び基準光導波路５を同種の光導
波路とすることにより高精度の光伝搬時間測定を行え
る。
【００１９】例えばパルス光源２としてパルスレーザダ
イオード、受光装置３として光サンプリングオシロスコ
ープを使用する。受光装置３としてフォトダイオードと
アンプを組合せる方法もある。
イオード、受光装置３として光サンプリングオシロスコ
ープを使用する。受光装置３としてフォトダイオードと
アンプを組合せる方法もある。
【００２０】受信演算処理装置３の受光感度が低い場合
には、被測定光導波路６または基準光導波路５の接続さ
れた面と反対側に金蒸着膜のような光高反射率面を接続
しておく。
には、被測定光導波路６または基準光導波路５の接続さ
れた面と反対側に金蒸着膜のような光高反射率面を接続
しておく。
【００２１】図２に示すのは光伝搬時間の設定された光
伝送路の製造フローチャートである。
伝送路の製造フローチャートである。
【００２２】まず被測定光導波路と基準光導波路を同種
の光導波路とし、被測定光導波路をその外形長さが基準
光導波路よりも長くなるように切り出しておく。被測定
光導波路の基準光導波路に対する光伝搬時間差に応じ
て、被測定光導波路６につき光双方向性結合器４に接続
されていない側で導波路長を調節することにより光伝搬
時間をあらかじめ決められた範囲内に納めることができ
る。導波路の調節手段としては例えば切断法などがあ
る。光導波路として光ファイバを用いる場合はファイバ
を融着接続で継ぎ足す方法でもよい。この作業後に必要
ならばコネクタ付を行う。
の光導波路とし、被測定光導波路をその外形長さが基準
光導波路よりも長くなるように切り出しておく。被測定
光導波路の基準光導波路に対する光伝搬時間差に応じ
て、被測定光導波路６につき光双方向性結合器４に接続
されていない側で導波路長を調節することにより光伝搬
時間をあらかじめ決められた範囲内に納めることができ
る。導波路の調節手段としては例えば切断法などがあ
る。光導波路として光ファイバを用いる場合はファイバ
を融着接続で継ぎ足す方法でもよい。この作業後に必要
ならばコネクタ付を行う。
【００２３】複数の光導波路からなる光伝送路におい
て、各光導波路につきこの製造法を採用することによ
り、光伝搬時間があらかじめ決められた範囲内におさま
っていることを特徴とする光伝送路を得ることができ
る。
て、各光導波路につきこの製造法を採用することによ
り、光伝搬時間があらかじめ決められた範囲内におさま
っていることを特徴とする光伝送路を得ることができ
る。
【００２４】図３に示すのはテープファイバの光伝搬時
間の測定例である。
間の測定例である。
【００２５】テープファイバの一端に多芯コネクタ７ｂ
をもう一端に単芯コネクタ７ａを取付けてあることを特
徴とするコネクタ変換アダプタ９を光双方向性結合器４
のポート４ｃに単芯コネクタ７ａを介して接続し、その
反対側に多芯コネクタ７ｂを介してテープファイバ８を
接続する。光双方向性結合器４のポート４ｄに基準光フ
ァイバを接続する。接続した単芯コネクタ７ａに対応す
るテープファイバ８の１チャネルを被測定光ファイバと
して選ぶ。そして、図１の場合と同じ要領で基準光ファ
イバ５に対する光伝搬時間差を測定する。次にテープフ
ァイバ８を取外した後にコネクタ変換アダプタ９単独で
の基準光ファイバ５に対する光伝搬時間差を測定する。
両者の差を取ることにより、被測定光ファイバの基準光
ファイバ５に対する光伝搬時間差を求めることができ
る。残りのチャネルについても同様の操作を行うことに
より光伝搬時間を測定できる。
をもう一端に単芯コネクタ７ａを取付けてあることを特
徴とするコネクタ変換アダプタ９を光双方向性結合器４
のポート４ｃに単芯コネクタ７ａを介して接続し、その
反対側に多芯コネクタ７ｂを介してテープファイバ８を
接続する。光双方向性結合器４のポート４ｄに基準光フ
ァイバを接続する。接続した単芯コネクタ７ａに対応す
るテープファイバ８の１チャネルを被測定光ファイバと
して選ぶ。そして、図１の場合と同じ要領で基準光ファ
イバ５に対する光伝搬時間差を測定する。次にテープフ
ァイバ８を取外した後にコネクタ変換アダプタ９単独で
の基準光ファイバ５に対する光伝搬時間差を測定する。
両者の差を取ることにより、被測定光ファイバの基準光
ファイバ５に対する光伝搬時間差を求めることができ
る。残りのチャネルについても同様の操作を行うことに
より光伝搬時間を測定できる。
【００２６】測定された光伝搬時間差に応じてコネクタ
付けされていない側で被測定光ファイバのファイバ長を
調節することにより光伝搬時間をある決められた範囲に
納めることができる。必要ならば反対側にもコネクタを
取付ける。
付けされていない側で被測定光ファイバのファイバ長を
調節することにより光伝搬時間をある決められた範囲に
納めることができる。必要ならば反対側にもコネクタを
取付ける。
【００２７】別の方法としては、このようにして得た片
端コネクタ付きテープファイバの２組をコネクタを取付
けていない側で対向させて各芯線を融着接続することで
光伝搬時間の設定された両端コネクタ付きテープファイ
バを得る方法がある。
端コネクタ付きテープファイバの２組をコネクタを取付
けていない側で対向させて各芯線を融着接続することで
光伝搬時間の設定された両端コネクタ付きテープファイ
バを得る方法がある。
【００２８】図３には、４芯のテープファイバを例とし
て示してあるが芯数は４芯に限るものではなく、必要に
応じて複数芯の構成をとる。コネクタ変換アダプタも必
要な芯線数で構成する。
て示してあるが芯数は４芯に限るものではなく、必要に
応じて複数芯の構成をとる。コネクタ変換アダプタも必
要な芯線数で構成する。
【００２９】図４に示すのはテープファイバの光伝搬時
間測定の一実施例である。スターカプラ１０を介してテ
ープファイバ８を光双方向性結合器４のポート４ｃに接
続している。一度に各芯線の光伝搬時間を測定できると
いう特徴がある。光双方向性結合器４の結合比とスター
カプラ１０の分岐比を選ぶことにより、入射パルス光の
分岐比を等しくしたり変えたりできる。
間測定の一実施例である。スターカプラ１０を介してテ
ープファイバ８を光双方向性結合器４のポート４ｃに接
続している。一度に各芯線の光伝搬時間を測定できると
いう特徴がある。光双方向性結合器４の結合比とスター
カプラ１０の分岐比を選ぶことにより、入射パルス光の
分岐比を等しくしたり変えたりできる。
【００３０】図５に示すのは４芯テープファイバどうし
の光伝搬時間差の測定例である。コネクタ変換アダプタ
９を２組用意する。２組のコネクタ変換アダプタの単芯
コネクタ７ａ側を、それぞれ光双方向性結合器４のポー
ト４ｃとポート４ｄの両方に接続する。まずコネクタ変
換アダプタ９のみを取付けた状態での光伝搬時間差を測
定しておく。次に片端多芯コネクタ付きの４芯テープフ
ァイバ８をそれぞれのコネクタ変換アダプタ９に接続す
る。一方を被測定光ファイバ、もう一方を基準光ファイ
バとみなしてチャンネル間の光伝搬時間差を測定する。
この両者の差をとることにより４芯テープファイバ間の
光伝搬時間差を測定できる。
の光伝搬時間差の測定例である。コネクタ変換アダプタ
９を２組用意する。２組のコネクタ変換アダプタの単芯
コネクタ７ａ側を、それぞれ光双方向性結合器４のポー
ト４ｃとポート４ｄの両方に接続する。まずコネクタ変
換アダプタ９のみを取付けた状態での光伝搬時間差を測
定しておく。次に片端多芯コネクタ付きの４芯テープフ
ァイバ８をそれぞれのコネクタ変換アダプタ９に接続す
る。一方を被測定光ファイバ、もう一方を基準光ファイ
バとみなしてチャンネル間の光伝搬時間差を測定する。
この両者の差をとることにより４芯テープファイバ間の
光伝搬時間差を測定できる。
【００３１】測定された光伝搬時間差に応じてコネクタ
付けされていない側で被測定光ファイバのファイバ長を
調節して、光伝搬時間差をある決められた範囲に納める
ことができる。必要ならば反対側にもコネクタを取付け
る。
付けされていない側で被測定光ファイバのファイバ長を
調節して、光伝搬時間差をある決められた範囲に納める
ことができる。必要ならば反対側にもコネクタを取付け
る。
【００３２】
【発明の効果】光伝搬時間を高精度に設定した並列光伝
送路を得ることができ、並列光信号伝送を行う際にその
効果が大きい。
送路を得ることができ、並列光信号伝送を行う際にその
効果が大きい。
【図１】本発明による光伝搬時間測定の一実施例
【図２】光伝搬時間の設定された光伝送路の製造フロー
チャート
チャート
【図３】テープファイバの光伝搬時間の測定例
【図４】テープファイバの光伝搬時間測定の一実施例
【図５】４芯テープファイバどうしの光伝搬時間差の測
定例
定例
１…タイミング制御部、２…パルス光源、３…受光装
置、４…光双方向性結合器、５…基準光導波路、６…被
測定光導波路、７…コネクタ、８…テープファイバ、９
…コネクタ変換アダプタ、１０…スターカプラ。
置、４…光双方向性結合器、５…基準光導波路、６…被
測定光導波路、７…コネクタ、８…テープファイバ、９
…コネクタ変換アダプタ、１０…スターカプラ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 6/00 - 6/54
Claims (9)
- 【請求項１】第１の光導波路と基準の光導波路とが同種
の光導波路であり且つ前記第１の光導波路の導波路長が
前記基準の光導波路の導波路長より長いものとして準備
し、前記第１の光導波路と前記基準の光導波路との光伝
搬時間差を測定し、この光伝搬時間差に基づき前記第１
の光導波路の光伝搬時間をあらかじめ定められた範囲に
なるように導波路長を調整することを特徴とする光伝送
路の製造方法。 - 【請求項２】複数の光導波路を有し、且つ前記複数の光
導波路の各々と基準の光導波路とが同種の光導波路であ
り且つ前記複数の光導波路の各々の導波路長が前記基準
の光導波路の導波路長より長いものとして準備し、前記
複数の光導波路の各々と前記基準の光導波路との各光伝
搬時間差を測定し、この光伝搬時間差の各々に基づき前
記複数の光導波路の各々の光伝搬時間をあらかじめ定め
られた範囲になるように導波路長を調整することを特徴
とする光伝送路の製造方法。 - 【請求項３】第１の光導波路と基準の光導波路とが同種
の光導波路であり且つ前記第１の光導波路の導波路長が
前記基準の光導波路の導波路長より長いものとして準備
し、前記第１の光導波路の一方の端部はコネクタに接続
され、この第１の光導波路の一方の端部がコネクタに接
続され状態で前記第１の光導波路と前記基準の光導波路
との光伝搬時間差を測定し、この光伝搬時間差に基づき
前記第１の光導波路の光伝搬時間をあらかじめ定められ
た範囲になるように導波路長を調整することを特徴とす
る光伝送路の製造方法。 - 【請求項４】複数の光導波路を有し、且つ前記複数の光
導波路の各々と基準の光導波路とが同種の光導波路であ
り且つ前記複数の光導波路の各々の導波路長が前記基準
の光導波路の導波路長より長いものとして準備し、前記
複数の光導波路の各々の一方の端部はコネクタに接続さ
れ、この複数の光導波路の各々の一方の端部がコネクタ
に接続され状態で前記前記複数の光導波路の各々と前記
基準の光導波路との各光伝搬時間差を測定し、この光伝
搬時間差の各々に基づき前記複数の光導波路の各々の光
伝搬時間をあらかじめ定められた範囲になるように導波
路長を調整することを特徴とする光伝送路の製造方法。 - 【請求項５】第１の光導波路と基準の光導波路とが同種
の光導波路であり且つ前記第１の光導波路の導波路長が
前記基準の光導波路の導波路長より長いものとして準備
し、前記第１の光導波路の一方の端部はコネクタに接続
され、この第１の光導波路の一方の端部がコネクタに接
続され状態で前記第１の光導波路と前記基準の光導波路
との光伝搬時間差を測定し、この光伝搬時間差に基づき
前記第１の光導波路の光伝搬時間をあらかじめ定められ
た範囲になるように導波路長を調整し、前記第１の光導
波路の他方の端部にコネクタを接続することを特徴とす
る光伝送路の製造方法。 - 【請求項６】複数の光導波路を有し、且つ前記複数の光
導波路の各々と基準の光導波路とが同種の光導波路であ
り且つ前記複数の光導波路の各々の導波路長が前記基準
の光導波路の導波路長より長いものとして準備し、前記
複数の光導波路の各々の一方の端部はコネクタに接続さ
れ、この複数の光導波路の各々の一方の端部がコネクタ
に接続され状態で前記前記複数の光導波路の各々と前記
複数の光導波路との各光伝搬時間差を測定し、この光伝
搬時間差の各々に基づき前記基準の光導波路の各々の光
伝搬時間をあらかじめ定められた範囲になるように各導
波路長を調整し、前記複数の光導波路の各々の他方の端
部にコネクタを接続するすることを特徴とする光伝送路
の製造方法。 - 【請求項７】第１の光導波路と基準の光導波路とが同種
の光導波路であり且つ前記第１の光導波路の導波路長が
前記基準の光導波路の導波路長より長いものとして準備
し、前記第１の光導波路の一方の端部はコネクタに接続
され、この第１の光導波路の一方の端部がコネクタに接
続され状態で前記第１の光導波路と前記基準の光導波路
との光伝搬時間差を測定し、この光伝搬時間差に基づき
前記第１の光導波路の光伝搬時間をあらかじめ定められ
た範囲になるように導波路長を調整して準備し、且つ第
２の光導波路と基準の光導波路とが同種の光導波路であ
り且つ前記第２の光導波路の導波路長が前記基準の光導
波路の導波路長より長いものとして準備し、前記第２の
光導波路の一方の端部はコネクタに接続され、この第２
の光導波路の一方の端部がコネクタに接続され状態で前
記第２の光導波路と前記基準の光導波路との光伝搬時間
差を測定し、この光伝搬時間差に基づき前記第２の光導
波路の光伝搬時間をあらかじめ定められた範囲になるよ
うに導波路長を調整して準備し、且つ前記第１の光導波
路の他方の端部と前記第２の光導波路の他方の端部とを
対向させて接続することを特徴とする光伝送路の製造方
法。 - 【請求項８】前記基準の光導波路とこの基準の光導波路
との光伝搬時間差を測定する光導波路とが当該光伝搬時
間差を測定時、同じ環境条件下にあることを特徴とする
請求項１項より７項の何れかに記載の光伝送路の製造方
法。 - 【請求項９】前記基準の光導波路と、この基準の光導波
路との光伝搬時間差を測定する複数の光導波路とが当該
光伝搬時間差を測定時、所定光源よりのパルス光を分岐
して前記光伝搬時間差を測定する複数の光導波路の各々
に入射し、当該複数の光導波路の各々からの各反射パル
ス光を合波して当該光伝搬時間差を測定することを特徴
とする請求項第２、４、６、及び７項の内の何れかに記
載の光伝送路の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03143018A JP3107315B2 (ja) | 1991-06-14 | 1991-06-14 | 光導波路の製造方法 |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03143018A JP3107315B2 (ja) | 1991-06-14 | 1991-06-14 | 光導波路の製造方法 |
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|---|---|
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Family
ID=15329021
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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