JP3102329B2 - チップの実装装置 - Google Patents
チップの実装装置Info
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- JP3102329B2 JP3102329B2 JP07325454A JP32545495A JP3102329B2 JP 3102329 B2 JP3102329 B2 JP 3102329B2 JP 07325454 A JP07325454 A JP 07325454A JP 32545495 A JP32545495 A JP 32545495A JP 3102329 B2 JP3102329 B2 JP 3102329B2
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- chip
- head
- nozzle holder
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ヘッドのノズルに
チップを真空吸着して基板に移送搭載するチップの実装
装置に関するものである。
チップを真空吸着して基板に移送搭載するチップの実装
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】チップの実装装置は、ヘッドのノズルに
チップを真空吸着して基板に移送搭載するようになって
いる。また多品種のチップやノズル破損に対応できるよ
うに、ヘッドのノズルはヘッド側のノズルホルダーに着
脱自在に装着されて交換できるようになっている。
チップを真空吸着して基板に移送搭載するようになって
いる。また多品種のチップやノズル破損に対応できるよ
うに、ヘッドのノズルはヘッド側のノズルホルダーに着
脱自在に装着されて交換できるようになっている。
【０００３】図６（ａ）は従来のチップの実装装置のヘ
ッドのノズル部のノズルホルダーとノズルユニットの断
面図、図６（ｂ）は同ノズルユニットの側面図である。
また図７は同ノズルホルダーとノズルユニットの結合状
態の平断面図である。図６（ａ）において、ノズルホル
ダー１のセンターには装着孔２が形成されており、また
側面にはノズルユニット４の回り止め用のピン３が挿入
されている。ノズルユニット４は、つば部５と、つば部
５のセンターに垂設されたノズル６と、つば部５のセン
ター上に突設された上細テーパ状の頭部７から成ってい
る。頭部７はノズルホルダー１の装着孔２に挿着され
る。頭部７には細長の切溝８が形成されており、この切
溝８にピン３を挿入することにより、ノズルユニット４
の回り止めとしている（図７も参照）。なお図６（ｂ）
は図６（ａ）のノズルユニット４を右方から見た側面図
である。
ッドのノズル部のノズルホルダーとノズルユニットの断
面図、図６（ｂ）は同ノズルユニットの側面図である。
また図７は同ノズルホルダーとノズルユニットの結合状
態の平断面図である。図６（ａ）において、ノズルホル
ダー１のセンターには装着孔２が形成されており、また
側面にはノズルユニット４の回り止め用のピン３が挿入
されている。ノズルユニット４は、つば部５と、つば部
５のセンターに垂設されたノズル６と、つば部５のセン
ター上に突設された上細テーパ状の頭部７から成ってい
る。頭部７はノズルホルダー１の装着孔２に挿着され
る。頭部７には細長の切溝８が形成されており、この切
溝８にピン３を挿入することにより、ノズルユニット４
の回り止めとしている（図７も参照）。なお図６（ｂ）
は図６（ａ）のノズルユニット４を右方から見た側面図
である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図７に示すように、ピ
ン３と切溝８の間にわずかなすき間Ｇが生じることは加
工技術上避けられない。一方、ノズル６の下端部にチッ
プを真空吸着した状態で、チップをカメラなどの認識系
で観察し、その位置ずれが検出される。そして回転方向
（θ方向）の位置ずれは、ノズル６をその軸心線ＮＡを
中心にθ回転させることにより補正したうえで、チップ
は基板に搭載される。ところがピン３と切溝８の間にす
き間Ｇがあるため、θ回転時に角度誤差θ’が生じ、こ
のためチップの回転方向の位置ずれを十分に補正でき
ず、チップの実装精度が低下するという問題点があっ
た。
ン３と切溝８の間にわずかなすき間Ｇが生じることは加
工技術上避けられない。一方、ノズル６の下端部にチッ
プを真空吸着した状態で、チップをカメラなどの認識系
で観察し、その位置ずれが検出される。そして回転方向
（θ方向）の位置ずれは、ノズル６をその軸心線ＮＡを
中心にθ回転させることにより補正したうえで、チップ
は基板に搭載される。ところがピン３と切溝８の間にす
き間Ｇがあるため、θ回転時に角度誤差θ’が生じ、こ
のためチップの回転方向の位置ずれを十分に補正でき
ず、チップの実装精度が低下するという問題点があっ
た。
【０００５】したがって本発明は、チップの回転方向の
位置ずれを精密に補正して、高精度でチップを基板に実
装できるチップの実装装置を提供することを目的とす
る。
位置ずれを精密に補正して、高精度でチップを基板に実
装できるチップの実装装置を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このために本発明は、チ
ップ供給部と、基板の位置決め部と、チップ供給部に備
えられたチップをノズル部のノズルで真空吸着して基板
の位置決め部に位置決めされた基板に移送搭載するヘッ
ドとを備えたチップの実装装置であって、前記ノズル部
が、前記ヘッドに装着されたノズルホルダーと、このノ
ズルホルダーの下端部に着脱自在に装着されるノズルユ
ニットとを有し、このノズルユニットが、つば部とこの
つば部に垂設されたノズルと前記ノズルホルダーの装着
孔に装着される頭部とから成り、前記つば部の上面に被
係合部を形成し、かつ前記ノズルホルダーにその先端部
がこの被係合部に係合する回り止め部材を突設したもの
である。
ップ供給部と、基板の位置決め部と、チップ供給部に備
えられたチップをノズル部のノズルで真空吸着して基板
の位置決め部に位置決めされた基板に移送搭載するヘッ
ドとを備えたチップの実装装置であって、前記ノズル部
が、前記ヘッドに装着されたノズルホルダーと、このノ
ズルホルダーの下端部に着脱自在に装着されるノズルユ
ニットとを有し、このノズルユニットが、つば部とこの
つば部に垂設されたノズルと前記ノズルホルダーの装着
孔に装着される頭部とから成り、前記つば部の上面に被
係合部を形成し、かつ前記ノズルホルダーにその先端部
がこの被係合部に係合する回り止め部材を突設したもの
である。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の構成によれば、被係合部
と、この被係合部に係合する回り止め部材の先端部の間
にすき間があっても、回り止め部材の長さを長くとれる
ので、このすき間のがたによる角度誤差はきわめて小さ
くなり、したがってチップの回転方向の位置ずれを精密
に補正して、チップを基板に高精度で実装できる。
と、この被係合部に係合する回り止め部材の先端部の間
にすき間があっても、回り止め部材の長さを長くとれる
ので、このすき間のがたによる角度誤差はきわめて小さ
くなり、したがってチップの回転方向の位置ずれを精密
に補正して、チップを基板に高精度で実装できる。
【０００８】次に、本発明の実施の形態を図面を参照し
て説明する。図１は本発明の一実施の形態によるチップ
の実装装置の斜視図、図２は同ヘッドのノズル部の正面
図、図３および図４は同ヘッドのノズル部の断面図、図
５は同ヘッドのノズル部の簡略平面図である。
て説明する。図１は本発明の一実施の形態によるチップ
の実装装置の斜視図、図２は同ヘッドのノズル部の正面
図、図３および図４は同ヘッドのノズル部の断面図、図
５は同ヘッドのノズル部の簡略平面図である。
【０００９】図１において、１０は基台であり、その上
面に基板１１の位置決め部１２が設けられている。位置
決め部１２は基板１１をクランプして位置決めしてい
る。基台１０の側方にはチップ供給部１３が設けられて
いる。チップ供給部１３は多数個のパーツフィーダ１４
を並設して構成されており、各々のパーツフィーダ１４
には様々な品種のチップ１５が収納されている。基台１
０の上方には、互いに直交するＸテーブル１６とＹテー
ブル１７が設けられており、Ｙテーブル１７にはヘッド
２０が保持されている。Ｘテーブル１６とＹテーブル１
７が駆動すると、ヘッド２０はＸ方向やＹ方向へ水平移
動し、パーツフィーダ１４のチップ１５をノズルの下端
部に真空吸着してピックアップし、基板１１の所定の座
標位置に搭載する。１８はチップ観察用のカメラであ
る。
面に基板１１の位置決め部１２が設けられている。位置
決め部１２は基板１１をクランプして位置決めしてい
る。基台１０の側方にはチップ供給部１３が設けられて
いる。チップ供給部１３は多数個のパーツフィーダ１４
を並設して構成されており、各々のパーツフィーダ１４
には様々な品種のチップ１５が収納されている。基台１
０の上方には、互いに直交するＸテーブル１６とＹテー
ブル１７が設けられており、Ｙテーブル１７にはヘッド
２０が保持されている。Ｘテーブル１６とＹテーブル１
７が駆動すると、ヘッド２０はＸ方向やＹ方向へ水平移
動し、パーツフィーダ１４のチップ１５をノズルの下端
部に真空吸着してピックアップし、基板１１の所定の座
標位置に搭載する。１８はチップ観察用のカメラであ
る。
【００１０】ヘッド２０にはノズル部２１が装着されて
いる。次に図２〜図４を参照して、ノズル部２１の構造
を説明する。ノズル部２１は、ヘッド２０の下部に装着
されたノズルホルダー２２と、ノズルホルダー２２の下
部に着脱自在に装着されるノズルユニット２３から成っ
ている。ノズルホルダー２２には吸引孔２４が形成され
ている。ノズルユニット２３は、円板状のつば部２５
と、つば部２５のセンターに垂設されたノズル２６と、
つば部２５のセンターに突設された頭部２７から成って
おり、その中心にはノズルホルダー２２の吸引孔２４に
連通する吸引孔２８が形成されている。つば部２５の下
面は光拡散面２９となっている。光拡散面２９は、ノズ
ル２６の下端部に真空吸着されたチップ１５を下方から
カメラ１８で観察するときのバックプレートとなるもの
であり、白く輝く光拡散面の中央にチップ１５の黒いシ
ルエットが観察される。
いる。次に図２〜図４を参照して、ノズル部２１の構造
を説明する。ノズル部２１は、ヘッド２０の下部に装着
されたノズルホルダー２２と、ノズルホルダー２２の下
部に着脱自在に装着されるノズルユニット２３から成っ
ている。ノズルホルダー２２には吸引孔２４が形成され
ている。ノズルユニット２３は、円板状のつば部２５
と、つば部２５のセンターに垂設されたノズル２６と、
つば部２５のセンターに突設された頭部２７から成って
おり、その中心にはノズルホルダー２２の吸引孔２４に
連通する吸引孔２８が形成されている。つば部２５の下
面は光拡散面２９となっている。光拡散面２９は、ノズ
ル２６の下端部に真空吸着されたチップ１５を下方から
カメラ１８で観察するときのバックプレートとなるもの
であり、白く輝く光拡散面の中央にチップ１５の黒いシ
ルエットが観察される。
【００１１】頭部２７の外面はくさび形の膨出形状にな
っており、頭部２７が装着されるノズルホルダー２２の
下端部の内面は、頭部２７の外面がぴったりフィットす
るテーパ面になっている。３０は係合爪であって、ノズ
ルホルダー２２の外面と頭部２７の外面に嵌着され、そ
の外周にはリング状のばね３１が装着され、これにより
ノズルユニット２３はノズルホルダー２２に装着され
る。図４に示すように、ノズルホルダー２２の下端部か
ら外方へ回り止め部材としてのアーム３２が延出してい
る。アーム３２はカギ形に屈曲しており、その先端部３
３はつば部２５の上面に半径方向に形成された被係合部
としての溝部３４に係合している（図５も参照）。なお
図４は、図２のＡ−Ａ断面図であり、図３はこれに直交
する面の断面図である。なおヘッド２０の内部には、ノ
ズル部２１をその軸心線を中心に回転させる手段や、ノ
ズル部２１に上下動作を行わせる手段が内蔵されてい
る。
っており、頭部２７が装着されるノズルホルダー２２の
下端部の内面は、頭部２７の外面がぴったりフィットす
るテーパ面になっている。３０は係合爪であって、ノズ
ルホルダー２２の外面と頭部２７の外面に嵌着され、そ
の外周にはリング状のばね３１が装着され、これにより
ノズルユニット２３はノズルホルダー２２に装着され
る。図４に示すように、ノズルホルダー２２の下端部か
ら外方へ回り止め部材としてのアーム３２が延出してい
る。アーム３２はカギ形に屈曲しており、その先端部３
３はつば部２５の上面に半径方向に形成された被係合部
としての溝部３４に係合している（図５も参照）。なお
図４は、図２のＡ−Ａ断面図であり、図３はこれに直交
する面の断面図である。なおヘッド２０の内部には、ノ
ズル部２１をその軸心線を中心に回転させる手段や、ノ
ズル部２１に上下動作を行わせる手段が内蔵されてい
る。
【００１２】このチップの実装装置は上記のような構成
より成り、次にその動作を説明する。図１において、Ｘ
テーブル１６とＹテーブル１７が駆動することによりヘ
ッド２０はパーツフィーダ１４の上方へ移動し、そこで
ノズル部２１が上下動作を行うことにより、パーツフィ
ーダ１４に備えられたチップ１５をノズル２６の下端部
に真空吸着してピックアップする。
より成り、次にその動作を説明する。図１において、Ｘ
テーブル１６とＹテーブル１７が駆動することによりヘ
ッド２０はパーツフィーダ１４の上方へ移動し、そこで
ノズル部２１が上下動作を行うことにより、パーツフィ
ーダ１４に備えられたチップ１５をノズル２６の下端部
に真空吸着してピックアップする。
【００１３】次にヘッド２０はカメラ１８の上方へ移動
し、そこでノズル２６の下端部に真空吸着されたチップ
１５をカメラ１８で観察してそのＸ方向、Ｙ方向、回転
方向（θ方向）の位置ずれを検出する。次にヘッド２０
は基板１１の上方へ移動し、そこでノズル部２１が再度
上下動作を行い、かつチップ１５の真空吸着状態を解除
することにより、チップ１５を基板１１の所定の座標位
置に搭載する。この搭載に先立って、チップ１５のＸ方
向、Ｙ方向、θ方向の位置ずれを補正する。Ｘ方向とＹ
方向の位置ずれは、Ｘテーブル１６とＹテーブル１７の
駆動によるヘッド２０のＸ方向とＹ方向の移動ストロー
クを加減することにより補正し、またθ方向の位置ずれ
は、ノズル部２１をその軸心線を中心に回転させること
により補正する。
し、そこでノズル２６の下端部に真空吸着されたチップ
１５をカメラ１８で観察してそのＸ方向、Ｙ方向、回転
方向（θ方向）の位置ずれを検出する。次にヘッド２０
は基板１１の上方へ移動し、そこでノズル部２１が再度
上下動作を行い、かつチップ１５の真空吸着状態を解除
することにより、チップ１５を基板１１の所定の座標位
置に搭載する。この搭載に先立って、チップ１５のＸ方
向、Ｙ方向、θ方向の位置ずれを補正する。Ｘ方向とＹ
方向の位置ずれは、Ｘテーブル１６とＹテーブル１７の
駆動によるヘッド２０のＸ方向とＹ方向の移動ストロー
クを加減することにより補正し、またθ方向の位置ずれ
は、ノズル部２１をその軸心線を中心に回転させること
により補正する。
【００１４】図５に示すように、アーム３２の先端部３
３と溝部３４の間にすき間Ｇが生じることは加工技術上
避けられない。このため、上記θ方向の位置ずれを補正
するために、ノズル部２１をその軸心線ＮＡを中心に回
転させると、すき間Ｇのがたのために角度誤差θが生じ
る。しかしながら軸心線ＮＡから先端部３３までのアー
ム長Ｌは長いため、この角度誤差θは図７に示す従来例
の角度誤差θ’よりもかなり小さなものとなる。したが
ってチップ１５のθ方向の誤差はきわめて小さく、チッ
プ１５を高精度で基板１１に搭載できる。
３と溝部３４の間にすき間Ｇが生じることは加工技術上
避けられない。このため、上記θ方向の位置ずれを補正
するために、ノズル部２１をその軸心線ＮＡを中心に回
転させると、すき間Ｇのがたのために角度誤差θが生じ
る。しかしながら軸心線ＮＡから先端部３３までのアー
ム長Ｌは長いため、この角度誤差θは図７に示す従来例
の角度誤差θ’よりもかなり小さなものとなる。したが
ってチップ１５のθ方向の誤差はきわめて小さく、チッ
プ１５を高精度で基板１１に搭載できる。
【００１５】なお上記実施の形態では、移載ヘッドがＸ
方向やＹ方向へ移動する形式のチップの実装装置を例に
とって説明したが、本発明は移載ヘッドが回転軌動を移
動するロータリー形式のチップの実装装置などの他の方
式のものにも適用できる。
方向やＹ方向へ移動する形式のチップの実装装置を例に
とって説明したが、本発明は移載ヘッドが回転軌動を移
動するロータリー形式のチップの実装装置などの他の方
式のものにも適用できる。
【００１６】
【発明の効果】本発明は、ノズルユニットのつば部に形
成された被係合部と、この被係合部に係合するノズルホ
ルダー側の回り止め部材の間にすき間があっても、回り
止め部材の長さを長くとれるので、このすき間のがたに
よる角度誤差はきわめて小さくなり、したがってチップ
の回転方向の位置ずれを精密に補正して、チップを基板
に高精度で実装できる。
成された被係合部と、この被係合部に係合するノズルホ
ルダー側の回り止め部材の間にすき間があっても、回り
止め部材の長さを長くとれるので、このすき間のがたに
よる角度誤差はきわめて小さくなり、したがってチップ
の回転方向の位置ずれを精密に補正して、チップを基板
に高精度で実装できる。
【図１】本発明の一実施の形態によるチップの実装装置
の斜視図
の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態によるチップの実装装置
のヘッドのノズル部の正面図
のヘッドのノズル部の正面図
【図３】本発明の一実施の形態によるチップの実装装置
のヘッドのノズル部の断面図
のヘッドのノズル部の断面図
【図４】本発明の一実施の形態によるチップの実装装置
のヘッドのノズル部の断面図
のヘッドのノズル部の断面図
【図５】本発明の一実施の形態によるチップの実装装置
のヘッドのノズル部の簡略平面図
のヘッドのノズル部の簡略平面図
【図６】（ａ）従来のチップの実装装置のヘッドのノズ
ル部のノズルホルダーとノズルユニットの断面図 （ｂ）従来のチップの実装装置のヘッドのノズル部のノ
ズルユニットの側面図
ル部のノズルホルダーとノズルユニットの断面図 （ｂ）従来のチップの実装装置のヘッドのノズル部のノ
ズルユニットの側面図
【図７】従来のチップの実装装置のヘッドのノズル部の
ノズルホルダーとノズルユニットの結合状態の平断面図
ノズルホルダーとノズルユニットの結合状態の平断面図
１１ 基板 １２ 基板の位置決め部 １３ チップ供給部 １５ チップ １６ Ｘテーブル １７ Ｙテーブル ２０ ヘッド ２１ ノズル部 ２２ ノズルホルダー ２３ ノズルユニット ２５ つば部 ２６ ノズル ２７ 頭部 ３２ アーム（回り止め部材） ３３ 先端部 ３４ 溝部（被係合部） Ｌ アーム長（回り止め部材の長さ）
Claims (1)
- 【請求項１】チップ供給部と、基板の位置決め部と、チ
ップ供給部に備えられたチップをノズル部のノズルで真
空吸着して基板の位置決め部に位置決めされた基板に移
送搭載するヘッドとを備えたチップの実装装置であっ
て、前記ノズル部が、前記ヘッドに装着されたノズルホ
ルダーと、このノズルホルダーの下端部に着脱自在に装
着されるノズルユニットとを有し、このノズルユニット
が、つば部とこのつば部に垂設されたノズルと前記ノズ
ルホルダーの装着孔に装着される頭部とから成り、前記
つば部の上面に被係合部を形成し、かつ前記ノズルホル
ダーにその先端部がこの被係合部に係合する回り止め部
材を突設したことを特徴とするチップの実装装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07325454A JP3102329B2 (ja) | 1995-12-14 | 1995-12-14 | チップの実装装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07325454A JP3102329B2 (ja) | 1995-12-14 | 1995-12-14 | チップの実装装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09167900A JPH09167900A (ja) | 1997-06-24 |
| JP3102329B2 true JP3102329B2 (ja) | 2000-10-23 |
Family
ID=18177054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07325454A Expired - Fee Related JP3102329B2 (ja) | 1995-12-14 | 1995-12-14 | チップの実装装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3102329B2 (ja) |
-
1995
- 1995-12-14 JP JP07325454A patent/JP3102329B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09167900A (ja) | 1997-06-24 |
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Legal Events
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