JP3100330B2 - 自動材料欠陥検査装置 - Google Patents

自動材料欠陥検査装置

Info

Publication number
JP3100330B2
JP3100330B2 JP08015188A JP1518896A JP3100330B2 JP 3100330 B2 JP3100330 B2 JP 3100330B2 JP 08015188 A JP08015188 A JP 08015188A JP 1518896 A JP1518896 A JP 1518896A JP 3100330 B2 JP3100330 B2 JP 3100330B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image
defect
video
recording
camera
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP08015188A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH09210659A (ja
Inventor
泰久 飯田
育治 花尾
忠精 森本
弘 谷田部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority to JP08015188A priority Critical patent/JP3100330B2/ja
Publication of JPH09210659A publication Critical patent/JPH09210659A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3100330B2 publication Critical patent/JP3100330B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は立体構造物に発生す
る材料欠陥を計測する自動材料欠陥検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図5は従来の材料欠陥検査方法を示す要
領図である。(a)に示すように従来の技術は、立体構
造物1に発生した材料欠陥2に対し、映像効果のある非
破壊検査用の像映材31などを塗布し、欠陥形状寸法を
目視でスケール32にて直読して測定、作図する方法に
より行っていた。
【0003】もしくは、(b)に示すように写真フィル
ム33などに一旦撮像した後、光学的な方法で読みとる
か又は写真フィルム33からスケール32で測寸する方
法が用いられている。
【0004】この際、立体的な構造物に対しスケールを
直接当て計測した場合には、材料欠陥2に正確に沿った
形状測寸が出来ず、又、写真フィルム33から読み出す
方法でも同様に2次元的な測寸結果になる等、いずれも
結果値に対する立体的な寸法補正が必要であった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、立体的な形
状の欠陥計測においては、前述のような従来の方法では
人手による計測であるため、計測値に個人差があり、定
量性に欠け、正確なデータが得られない、等の問題があ
った。
【0006】本発明は上記の課題に対して立体的な構造
物に発生する材料欠陥をカメラによりステレオで撮影
し、このステレオ映像を3次元で処理して定量的に欠陥
の幅、長さ、等の測定を可能とする自動材料欠陥検査装
置を提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】そのため、本発明は次の
ような(1)及び(2)の手段を提供する。
【0008】(1)立体構造物に発生する材料欠陥など
をステレオ撮影するステレオ撮影用カメラ及び前記ステ
レオ撮影用カメラで撮影する前記材料欠陥と同じ部分
撮影する記録写真用カメラを有する欠陥撮像器と;同欠
陥撮像器で撮影された映像を受け、この映像を記録し、
保管する映像記録器と;同映像記録器に記録された映像
情報を入力し、この映像情報から3次元の欠陥形状の測
寸処理を行うと共にこの測寸処理結果と前記記録写真用
カメラの映像を重ね書きする映像重複処理が可能な映像
判定装置とからなることを特徴とする自動材料欠陥検査
装置。
【0009】(2)上記の(1)において、前記映像記
録器には、欠陥撮像器で得たステレオ映像と記録写真用
カメラで得た映像をディジタル化して映像メディアに保
管することが可能な映像変換器と;欠陥部位の計測位置
が目視で確認できる映像モニターと;前記欠陥撮像器が
映像記録する対象物の状態によって変化する撮像条件に
応じて光量設定制御を行う映像記録制御器とを設けたこ
とを特徴とする自動材料欠陥検査装置。
【0010】本発明は上記の手段により、その(1)の
手段においては、立体的な構造物に発生する材料欠陥な
どをステレオ撮影することができる欠陥撮像器を持ち、
その欠陥撮像器は材料欠陥部などの3次元の測寸形状を
求める為にステレオ撮影用カメラを有し、欠陥部を撮影
する。ステレオ撮影用カメラとしては、例えば、2台の
CCDカメラを平行に配置し、欠陥部位の定量的な映像
を同時に撮像記録する。同時にスケッチ作画に必要な映
像撮像が行える記録写真用カメラは被計測部の中心に配
置固定して設けておき、これら欠陥撮像器はステレオ映
像と記録写真用映像の撮影時において一体操作にて撮影
と記録が同時に行える。
【0011】また、本発明の構成は測寸データと重ね書
き記録写真用映像のデータ整理処理を可能にする。これ
はステレオ配置された2台のCCDカメラから得たステ
レオ映像と重ね書き記録写真用CCDカメラから得た映
像を映像判定装置で欠陥部位の特徴抽出画像処理を行
い、3次元測長しやすい映像に処理し、その後に材料欠
陥部の対象点について形状測寸する演算処理が行われ
る。また、結果測寸値は記録写真用映像に重ね書きする
事が可能な機能構成を持っている。
【0012】(2)の手段においては、映像記録器に
は、映像変換器、映像モニター及び映像記録制御器を備
えているので、欠陥撮像器で得たステレオ映像と記録写
真用映像は映像記録器でディジタル化した映像とし、記
録保管される。記録保管された映像はディジタル化され
ているため、測寸精度を向上させることができると共に
定量性のある測寸値を求めることができる。さらに、欠
陥部位の計測位置がリアルタイムに目視確認ができる映
像モニターがあり、映像記録する際の被写体面の光量条
件を誤る事なく制御し、撮影する事が可能な機能を有す
る映像記録制御器を有するので高精度の映像記録ができ
る。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面に基づいて具体的に説明する。図1は本発明の実
施の一形態に係る自動材料欠陥検査装置の全体の概略構
成図である。図1において、(a)は立体構造物1と材
料欠陥2を示し、(b)はこれらの欠陥2をステレオ撮
像し、記録写真用撮影する欠陥撮像器3、これら撮影さ
れた映像を記録する映像記録器4、それらを接続するケ
ーブル40とを示し、(c)は映像記録器4で記録した
映像を入力し、演算処理する映像判定装置5を示す。
【0014】このような構成の自動材料欠陥検査装置
は、立体構造物1に発生する材料欠陥2などに対し、欠
陥撮影できる欠陥撮像器3を人手で持ち、欠陥撮像器3
は後述するように左カメラ6と右カメラ7によりステレ
オ映像を撮影し、記録写真用カメラ9で記録写真用映像
を同時に撮像することができる。
【0015】この後、撮影された映像は映像記録器4に
記録保管され、記録映像は後述するように記録メディア
23により映像判定器5に入力され、材料欠陥部の3次
元形状を測寸するための処理用コンピュータ25で処理
される。
【0016】また、映像判定器5の内部では、後述する
ように3次元処理される映像の検索と測寸処理が行わ
れ、欠陥撮像器で撮影した映像は映像保管器26に映像
情報として保管され、プリンタ27等でプリント出力な
どの汎用の情報処理も行なえる。
【0017】上記に説明の欠陥撮像器3は立体構造物1
の材料欠陥2に対し、的確なステレオ映像が得られるよ
うに人が距離、撮像視野などを考慮し、撮影位置決めを
行い、欠陥撮像器3を人が手持ちしながら材料欠陥2の
最適の撮影位置にてステレオ映像の記録操作を行うもの
であり、図2にこの欠陥撮像器3の内部について詳細に
説明する。
【0018】図2は欠陥撮像器3の内部の詳細な斜視図
であり、この欠陥撮像器3は左カメラ6と右カメラ7で
3次元欠陥のステレオ映像を撮影できる基本的な構成か
らなる。左カメラ6と右カメラ7の先端には、検査対象
となる立体構造物1の大きさ、または距離、視野などに
応じて焦点距離の異なるレンズ8を交換し、装置でき
る。
【0019】これら、各カメラ6,7はカメラ固定用位
置決め治具12の上に固定され、決められた光学位置に
校正されている。さらに立体構造物1の材料欠陥2に対
し的確な撮像が可能なように光量を制御できる拡散光源
10が配置されており、材料欠陥2の撮像面を均一に照
明するために拡散光源10の先端に拡散ガラス11が設
けられている。
【0020】各光学系の制御はカメラ固定用位置決め治
具12の中央にある制御基板13で制御され、操作は軽
量カバー15の左右側面にある手持ち部スイッチ14で
行うことができる。
【0021】記録写真用カメラ9の映像は欠陥撮像器3
で得た材料欠陥2の欠陥形状と重ね書きすることができ
る。この記録写真用カメラ9は欠陥撮像器3の左カメラ
6と右カメラ7の中央にある制御基板13の上部に設け
てあり、左右のカメラと同様の構造で焦点距離の異なる
レンズを交換装置できる機能を持つ。操作方法は左右カ
メラ6,7の操作と同様に手持ちスイッチ14で操作が
行える。
【0022】図3は映像記録器4の詳細を示す斜視図で
あり、キャビネット20の上部には吊り下げ金具22が
4隅に設けてあり、下部には床上に置いた場合に移動で
きるように移動キャスター21が4個設けてある。内部
には欠陥撮像器3で撮影した映像を記録する際の制御を
行う映像記録制御器17、左カメラ6からの映像をモニ
ターする左映像モニター18、同じく右カメラ7の映像
をモニターする右映像モニター19、映像を記録メディ
アに記録するためにディジタル変換する映像変換器16
から構成されている。
【0023】このような構成の映像記録器4において、
その記録操作は欠陥撮像器3と連係されており映像記録
器4の操作側にいる人も欠陥撮像器3の取得映像を記録
するタイミング、撮像視野が確認することができる構成
となっている。映像記録器4には、前述のように欠陥撮
像器3で得たステレオ映像と記録写真用映像をディジタ
ル化する機能があり、映像変換器16で行う。ディジタ
ル化された映像データは測寸精度が向上するばかりでな
く、画像処理結果を定量的に求めることが可能となる。
また、ディジタル化した映像は映像保管が容易になり、
検索機能も向上する。
【0024】さらに、欠陥部位の計測個所をリアルタイ
ムに目視確認ができる映像モニターがあり、それらは左
映像モニター18と右映像モニター19から構成され、
モニターには映像記録する際の撮影状態を誤ることがな
いように目視確認することができ、撮影条件に応じて映
像記録制御器17にて拡散光源10の光量調整等が可能
な構成となっている。
【0025】欠陥撮像器3で撮影されたステレオ映像
は、このような構成の映像記録器4に取込まれ、左右の
映像モニター18,19でモニターしながら映像記録制
御器17の制御により映像変換器16でディジタル変換
され、記録メディア23に記録保管される。
【0026】図4は映像判定装置5の詳細な斜視図であ
り、映像記録器4により欠陥映像情報が記録された記録
メディア23を入力するための記録映像入力器24、映
像データを処理する処理用コンピュータ25、コンピュ
ータ25前面にあるディスプレイ30、コンピュータ2
5に接続し、処理された映像情報を保管する映像保管器
26、プリンタ27、キーボード28、マウス29より
構成される。
【0027】このような映像判定装置5においては、記
録メディア23を記録映像入力器24にセットし、記録
映像入力器24を介して入力されたステレオ映像は処理
用コンピュータ25で欠陥部位に対し特徴抽出画像処理
がなされ、3次元の形状測寸に必要な演算処理を行う。
【0028】さらにその後、ステレオ映像の処理結果
(抽出された形状)と記録写真用映像を重ね書きする処
理を処理用コンピュータ25が行い、その結果は入力さ
れた映像ファイルと共に映像保管器26にファイルとし
て保管記録される。処理結果の出力はプリンタ27で行
なわれる。また、重ね書きの調整は、処理用コンピュー
タ25のディスプレイ30およびマウス29を用い、目
視で確認しながら行うことができる。
【0029】
【発明の効果】以上、具体的に説明したように、本発明
は、(1)ステレオ撮影用カメラ及び記録写真用カメラ
を有する欠陥撮像器、映像記録器及び映像判定装置より
なる構成、更に、(2)映像記録器には映像変換器、映
像モニター及び映像記録制御器とを備えた構成を特徴と
しているので次のような効果を奏する。
【0030】(1)の発明においては、立体構造物に発
生する材料欠陥などは欠陥撮像器でステレオ撮影により
立体的な欠陥部位の形状を検出する為の映像を撮影する
事が可能となる。また、欠陥撮像器ではステレオ映像の
撮影と記録写真用映像の同時撮影を可能にし、映像記録
器では欠陥撮像器で撮影された映像を記録保持する事が
できる。映像判定装置では必要な映像の検索3次元の欠
陥形状の演算処理機能および欠陥形状の測寸結果と記録
写真用映像を重ね書き処理する機能を持ち結果はプリン
タなどによって出力が行える構成とした産業上極めて有
益なものである。
【0031】(2)の発明においては、欠陥撮像器から
得たステレオ記録写真用映像をディジタル化する事で立
体的な測寸精度を向上させると共に迅速でかつ、定量性
のある3次元計測による欠陥測寸を可能にしている。ま
た、映像のディジタル化によって映像保管と映像検索が
容易になり、更に、欠陥部位の計測個所の状態が検査員
に対しリアルタイムで常時目視確認できるなどの映像モ
ニターを設けた事によって映像記録する時の検索対象個
所の状態などが的確に判断できるなど計測誤りのない配
慮がされており、それらの制御機能は被写体面の光量調
整が可能な映像記録制御器で行う事ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の一形態に係る自動材料欠陥検査
装置の全体構成図で、(a)は立体構造物と材料欠陥
を、(b)は欠陥撮像器と映像記録器を、(c)は映像
判定器をそれぞれ示す。
【図2】図1における欠陥撮像器の詳細な斜視図であ
る。
【図3】図1における映像記録器の詳細な斜視図であ
る。
【図4】図1における映像判定器の詳細な斜視図であ
る。
【図5】従来の材料欠陥検査方法を示す要領図で、
(a)は像映材による方法、(b)は写真フィルムによ
る方法をそれぞれ示す。
【符号の説明】
1 立体構造物 2 材料欠陥 3 欠陥撮像器 4 映像記録器 5 映像判定装置 6 左カメラ 7 右カメラ 9 記録写真用カメラ 12 カメラ固定用位置決め治具 13 制御基板 14 手持ちスイッチ 16 映像変換器 17 映像記録制御器 18 左映像モニター 19 右映像モニター 23 記録メディア 24 記録映像入力器 25 処理用コンピュータ 26 映像保管器 27 プリンタ 28 キーボード 29 マウス 30 ディスプレイ
フロントページの続き (72)発明者 谷田部 弘 兵庫県高砂市荒井町新浜2丁目8番19号 高菱エンジニアリング株式会社内 (56)参考文献 特開 平2−259513(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01B 11/00 - 11/30 G01C 3/06 G01N 21/84 - 21/958 H04N 7/18 G06T 1/00 - 7/00

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 立体構造物に発生する材料欠陥などをス
    テレオ撮影するステレオ撮影用カメラ及び前記ステレオ
    撮影用カメラで撮影する前記材料欠陥と同じ部分を撮影
    する記録写真用カメラを有する欠陥撮像器と;同欠陥撮
    像器で撮影された映像を受け、この映像を記録し、保管
    する映像記録器と;同映像記録器に記録された映像情報
    を入力し、この映像情報から3次元の欠陥形状の測寸処
    理を行うと共にこの測寸処理結果と前記記録写真用カメ
    ラの映像を重ね書きする映像重複処理が可能な映像判定
    装置とからなることを特徴とする自動材料欠陥検査装
    置。
  2. 【請求項2】 前記映像記録器には、欠陥撮像器で得た
    ステレオ映像と記録写真用カメラで得た映像をディジタ
    ル化して映像メディアに保管することが可能な映像変換
    器と;欠陥部位の計測位置が目視で確認できる映像モニ
    ターと;前記欠陥撮像器が映像記録する対象物の状態に
    よって変化する撮像条件に応じて光量設定制御を行う映
    像記録制御器とを設けたことを特徴とする請求項1記載
    の自動材料欠陥検査装置。
JP08015188A 1996-01-31 1996-01-31 自動材料欠陥検査装置 Expired - Fee Related JP3100330B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP08015188A JP3100330B2 (ja) 1996-01-31 1996-01-31 自動材料欠陥検査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP08015188A JP3100330B2 (ja) 1996-01-31 1996-01-31 自動材料欠陥検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH09210659A JPH09210659A (ja) 1997-08-12
JP3100330B2 true JP3100330B2 (ja) 2000-10-16

Family

ID=11881875

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP08015188A Expired - Fee Related JP3100330B2 (ja) 1996-01-31 1996-01-31 自動材料欠陥検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3100330B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104583761A (zh) * 2012-08-28 2015-04-29 住友化学株式会社 缺陷检查装置以及缺陷检查方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100779918B1 (ko) * 2006-09-28 2007-11-29 아진산업(주) 스테레오비전 검사용 영상처리장치 및 이를 이용한검사방법
US20110317909A1 (en) * 2010-06-29 2011-12-29 General Electric Company Tool wear quantification system and method

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104583761A (zh) * 2012-08-28 2015-04-29 住友化学株式会社 缺陷检查装置以及缺陷检查方法
CN104583761B (zh) * 2012-08-28 2016-12-21 住友化学株式会社 缺陷检查装置以及缺陷检查方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH09210659A (ja) 1997-08-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5216476A (en) Photogrammetric laser system
US7015473B2 (en) Method and apparatus for internal feature reconstruction
US20110298901A1 (en) Method for the non-destructive inspection of a mechanical part
JPH11259688A (ja) 画像記録装置並びにその位置及び向きの決定方法
TW200916764A (en) Monitoring apparatus, monitoring method, inspecting apparatus and inspecting method
JP2724300B2 (ja) 特に悪環境における表面の非破壊検査方法
JPH1038533A (ja) タイヤの形状測定装置とその方法
JP3100330B2 (ja) 自動材料欠陥検査装置
WO2016188350A1 (zh) 一种具有照像功能的光谱显示方法及系统
JPH04172213A (ja) 三次元形状測定装置の校正方法
JP2001266125A (ja) 基板検査装置
JPH08505478A (ja) 固体の1つの面の表面状態を制御する方法および関連する装置
JP2004086712A (ja) 画像処理装置
JPH11166813A (ja) 画像処理による寸法計測回路
JPS63311109A (ja) 画像処理によるキ−山形状識別方法
JP2003075361A (ja) 非破壊検査方法
JPH0615236A (ja) メロンの外観品質評価装置
JP2003126076A5 (ja)
JP3730322B2 (ja) 形状測定装置及びそれに使用する画像入力装置
JP3940493B2 (ja) 点検データ画像記録装置
JP2000019124A (ja) 材料表面欠陥測定方法および測定装置
KR102234984B1 (ko) 반도체 웨이퍼의 파티클 검출장치
KR102053922B1 (ko) 오염요소를 제거한 법과학 증거물 촬영시스템
JP4619748B2 (ja) 光透過性を有する多層平板状被検査体の欠陥検出方法
JPS61193013A (ja) 表面の微小変位検出方法

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20000711

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees