JP3097882B2 - 超音波送受波装置 - Google Patents

超音波送受波装置

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JP3097882B2 JP04208524A JP20852492A JP3097882B2 JP 3097882 B2 JP3097882 B2 JP 3097882B2 JP 04208524 A JP04208524 A JP 04208524A JP 20852492 A JP20852492 A JP 20852492A JP 3097882 B2 JP3097882 B2 JP 3097882B2
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    • G01S15/00Systems using the reflection or reradiation of acoustic waves, e.g. sonar systems
    • G01S15/02Systems using the reflection or reradiation of acoustic waves, e.g. sonar systems using reflection of acoustic waves
    • G01S15/06Systems determining the position data of a target
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  • Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、被測定物に超音波を伝
搬させてその伝搬時間などを測定する超音波送受波装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、超音波式距離計や超音波式流量
計などの超音波式の計測器は、超音波送受波器から所定
周波数の超音波を出力し、その反射波あるいは透過波を
捕捉して電気信号に変換し、この捕捉された受信情報に
基づいてその伝搬時間などを算定するように構成されて
いる。従来、この伝搬時間は送受波パルス間の時間間隔
をその時間に含まれるクロックパルスのカウント数によ
って求めている。従って、このクロックパルスの1パル
ス分に満たない時間は無視されており、この分の時間量
子化誤差が生じていた。
【0003】かかる問題点を解決する手段として、例え
ば特開昭60−225027号公報では、送信パルスか
らクロックパルスの立ち上がりまでの時間及び受信パル
スからクロックパルスの立ち上がりまでの時間を積分器
で積分することによって1パルス分に満たない時間を求
め、その分を補正する装置が開示されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来例にあっては、積分器等のアナログ回路を用い
ているため、経年変化や温度変化によって積分器ランプ
電圧が変動し、誤差を生じるという不都合があった。
【0005】
【発明の目的】本発明は、このような従来例の不都合を
改善し、とくに、比較的低速、低分解能なA/D変換器
を用いて超音波伝搬時間を高分解能に測定することが可
能な超音波送受波装置を提供することを、その目的とす
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、超音波送波器
および超音波受波器を有し、超音波が送波器で送信され
てから受波器で受信されるまでの伝搬時間を算定する伝
搬時間算定手段を備え、この伝搬時間算定手段が、前記
超音波受波器で受信される超音波の波形信号を所定のタ
イミングでサンプリング後ディジタル値に変換して順次
記憶する波形記憶部と、記憶された波形信号から仮のゼ
ロクロス点を検出する仮ゼロクロス位置検出部と、この
仮ゼロクロス位置検出部の出力で示されるアドレスを中
心とする複数アドレスの波形データを波形記憶部から取
り込み、これら波形データに対して回帰直線補間を施す
ことで受信波のゼロクロス点を算定する回帰直線演算部
と、算定されたゼロクロス点に基づいて受信超音波の伝
搬時間を算定する伝搬時間演算部とを装備する、という
構成を採っている。これによって、前述の目的を達成し
ようとするものである。
【0007】また、本発明は、前記回帰直線演算部を回
帰曲線演算部に置き換えて回帰曲線補間を施すように
し、この回帰曲線補間で求められたゼロクロス点に基づ
いて超音波の伝搬時間を算定できる構成も採用される。
【0008】
【作用】本発明では、受信される超音波信号を所定のタ
イミングでサンプリング後、ディジタル値に変換して順
次記憶し、記憶された波形データ列から仮のゼロクロス
点を決定し、この仮ゼロクロス点アドレスを中心とする
複数アドレスの波形データから回帰直線補間または回帰
曲線補間により、真のゼロクロス点時刻を算定すること
で、波形記憶部のサンプリング周期よりも分解能を向上
させて超音波の伝搬時間が測定される。
【0009】
【実施例】以下、本発明の第1実施例を図1ないし図7
に基づいて説明する。まず、図2に示す実施例は、所定
の周期で送信パルスを発生するパルス発振回路101
と、このパルス発振回路101からの送信パルスによっ
て駆動される超音波送波器102と、この超音波送波器
102から出力される超音波信号を被測定物Sを介して
受信する超音波受波器103とを備えている。
【0010】この超音波受波器103で受信された超音
波信号は、電気信号に変換されたのち増幅器104で増
幅されて伝搬時間算定手段10に送られる。そして、こ
の伝搬時間算定手段10では、増幅器104からの受信
信号とパルス発振回路101からの送信パルスとから受
信超音波の伝搬時間が算定されるようになっている。
【0011】図1に、伝搬時間算定手段10の具体例を
示す。伝搬時間算定手段10は、波形記憶部11、ゼロ
クロス位置検出部12および、伝搬時間演算部13で構
成されている。波形記憶部11は、パルス発振回路10
1からの送信パルスによりトリガされてから、所定のタ
イミングで、すなわち一定の時間経過後に、一定周期の
方形波パルス列である書き込みパルス列を発生するタイ
ミング制御回路110と、増幅器104からの受信信号
を入力しサンプリング後、ディジタル値である波形デー
タ列に変換し出力するA/D変換回路111と、このA
/D変換回路111から出力される波形データ列を、書
き込みパルス列に同期して所定のアドレスより所定の順
序で格納するとともに、ゼロクロス位置検出部12から
の要求に従って任意のアドレスの波形データを任意の順
序で読み出し出力する波形記憶回路112とを備えてい
る。ただし、波形記憶回路112の記憶容量が豊富にあ
れば、送信パルスと同時に書き込みパルス列を発生させ
ても構わない。
【0012】ゼロクロス位置検出部12は、前回受信し
た際の仮のゼロクロス点を記憶する前ゼロクロス点記憶
部121と、前回の仮のゼロクロス点を基にして仮のゼ
ロクロス点を求める仮ゼロクロス位置検出部122と、
さらに高分解能に真のゼロクロス点を算定する回帰直線
演算部123とを備えている。
【0013】前ゼロクロス点記憶部121は、前回受信
した際の仮のゼロクロス点アドレスを記憶する機能を備
えているが、ここでは、第1回目の測定時の仮のゼロク
ロス点すなわち初期ゼロクロス点を求める方法について
説明する。図3は受信波形データの一例である。各波に
から順に番号をふってある。これら各波の隣接する波
同士のピーク値の比を求め、この比が最大となる波の組
合わせの前の方の波をトリガ波とする。図3の例では
の波との波のピーク値の比が最大となっているので
の波をトリガ波としている。の波のゼロクロス点とは
図3における点Pのことである。この場合の波のピー
クに近いデータのアドレスから後方に向かって波形デー
タを順次サーチして行き、最初に符号が正から負に変っ
たアドレスを初期ゼロクロス点とする。このアドレスが
第1回目の前ゼロクロス点アドレスとして前ゼロクロス
位置記憶部121に格納される。
【0014】その後、前ゼロクロス点記憶部121の内
容は、仮ゼロクロス位置検出部122が検出した今回の
仮ゼロクロス点アドレスによって上書きされる。
【0015】次に、図4ないし図7を用いて仮ゼロクロ
ス点検出のアルゴリズムについて説明する。
【0016】図4に仮ゼロクロス点検出のアルゴリズム
を示す。図中S1〜S4は本アルゴリズム中の各ステッ
プを示す。第1ステップS1では、今回受信された波形
データにおいて、前ゼロクロス点記憶部121で示され
る前ゼロクロス点のアドレスZp-1の波形データW(Z
p-1)を求める。ここで、添え字p−1は第p−1回目
の測定のデータであることを意味する。第2ステップS
2では、このデータW(Zp-1)が正であるか負である
かを判定する。
【0017】波形データW(Zp-1)が正または0の場
合は、第3ステップS3の処理を選択し、図5に示すよ
うに、ゼロクロス点が後方にずれたものと判断して、ア
ドレスZp-1から後方に向かって波形データの符号が+
から−へ変るアドレスZpを求め、このアドレスZpを新
たな仮のゼロクロス点とする。ここで、添え字pは今
回、すなわち第p回目の測定のデータであることを意味
する。一方、第2ステップS2において波形データW
(Zp-1)が負の場合は、第4ステップS4の処理を選
択し、図6に示すようにゼロクロス点が前方にずれたも
のと判断し、アドレスZp-1から前方に向かって波形デ
ータの符号が−から+へ変るアドレスを求め、このアド
レスZpを新たな仮ゼロクロス点とする。
【0018】今述べた、仮ゼロクロス位置検出部122
によって検出された仮のゼロクロス点はあくまで符号が
反転した直後のアドレスであって、厳密に受信信号が0
になった時刻に対応するものでない。また、各波形デー
タの振幅値もA/D変換器で量子化された値であるので
量子化誤差を有するものである。回帰直線演算部123
では、この仮のゼロクロス点アドレス近傍の複数点(n
点)のアドレスX1〜Xnの波形データY1〜Ynを波形記
憶部11から読み出し、回帰直線を求める。この時のデ
ータをプロットしたものを図7に示す。そのとき、回帰
直線の傾斜aは次式となる。
【0019】 a=[nΣ(Xii)−ΣYi・ΣXi]/[nΣ(Yi 2)−(ΣYi2] また、回帰直線のゼロクロス点zについては、次式を得
る。
【0020】z=[1/n]・(ΣXi−aΣYi
【0021】このように、回帰直線から求められたゼロ
クロス点zは、真のゼロクロス点の推定値として伝搬時
間演算部13へ送られる。伝搬時間演算部13では、伝
搬時間tを次式で算定する。
【0022】t=t0+z/fs ここで、t0は送信トリガから書き込みパルスが開始さ
れるまでの遅れ時間であり、fsはA/D変換器のサン
プリング周波数である。
【0023】以上のように、本実施例では、回帰直線演
算部123でゼロクロス点を算出するため、A/D変換
器のサンプリング周期及び振幅分解能によって生じる、
時間電圧双方の量子化誤差を低減して、高い分解能で伝
搬時間を推測することができる。
【0024】つぎに、本実施例による分解能について具
体的な数値を用いて検討する。例えば、受信波の周波数
を80[KHz]、振幅をA/D変換器のフルスパンの
1/3とし、A/D変換器を8ビット(分解能25
6)、そのサンプリング周波数を8[MHz]のものと
する。回帰直線演算部を用いない場合の分解能は、A/
D変換器のサンプリング周波数で決まり1/(8×10
6)=125[ns]であるのに対し、回帰直線演算部
を用いた本実施例ではその分解能は(A/D変換器のサ
ンプリング周期)/[(ゼロクロス点の傾斜)×(使用
データ数)]で表される。
【0025】ゼロクロス点の傾斜は、隣接するアドレス
間のデータの差で表し、受信波を正弦波で近似すると、
(256/3)sin[2π(80×103)/(8×
106)]=5.4となる。回帰直線演算に使用するデ
ータ数を7点とすると、分解能は前述の式に代入して、
「125/(5.4×7)=3.3[ns]」となり、
回帰直線演算部がない場合に比べて35倍以上に向上す
ることがわかる。
【0026】ここで、前記実施例のゼロクロス点は、図
3に示すP点のようにデータの符号が+から−に変化す
る点としているが、例えば、Q点のように符号が−から
+に変る点としても同様である。
【0027】なお、上記第1実施例の回帰直線補間を、
図8および図9に示される第2実施例のように、前記回
帰直線演算部123を回帰曲線演算部223とし、回帰
曲線補間に置き換えた場合によってゼロクロス点を求め
ることができる。ここで、図9は、回帰直線を求めた時
のデータをプロットした図7に対応する線図を示してい
る。
【0028】これを更に詳述すると、仮のゼロクロス点
近傍の波形でデータに対する回帰曲線の式をX=g
(Y)とおき、g(Y)を以下に示す3次曲線とおく。
【0029】g(Y)=aY3+bY2+cY+d
【0030】上記3次曲線のパラメータa〜dは補間に
用いるn個の波形データとの差の2乗和が最小になる組
合せとして求める。すなわち、E=Σ{Xi−g
(Yi)}2が最小になる値を求めればよい。そしてEが
最小になる点においてはaないしdの各パラメータでE
を微分した値がゼロになることから、以下に示す数1〜
数4の連立方程式が得られる。
【0031】
【数1】
【0032】
【数2】
【0033】
【数3】
【0034】
【数4】
【0035】よりΣg(Yi)=ΣXi、そしてg(Y
i)の定義より
【0036】 a・ΣYi 3+bΣYi 2+cΣY+dΣ1=ΣXi・・・・・
【0037】よりΣYig(Yi)=ΣYii、そして
g(Yi)の定義より
【0038】 a・ΣYi 4+bΣYi 3+cΣYi 2+dΣYi=ΣYii・・・・・
【0039】よりΣYi 2g(Yi)=ΣYi 2i、そし
てg(Yi)の定義より
【0040】 a・ΣYi 5+bΣYi 4+cΣYi 3+dΣYi 2=ΣYi 2i・・・・・
【0041】よりΣYi 3g(Yi)=ΣYi 3i、そし
てg(Yi)の定義より
【0042】 a・ΣYi 6+bΣYi 5+cΣYi 4+dΣYi 3=ΣYi 3i・・・・・
【0043】上記〜を行列式に書き換えると数5で
表される。
【0044】
【数5】
【0045】上記の行列式を解くことで、回帰曲線のパ
ラメータa〜dが求まり、回帰曲線のゼロクロス点のX
座標はg(Y)の式のY=0とおいた値であるのでg
(Y)の定義よりg(Y)=aY3+bY2+cY+d、
g(0)=dとなる。すなわち、パラメータdの値その
ものである。ここで、パラメータdの値はCramerの規則
により、数6のように求められる。
【0046】
【数6】
【0047】このように、第1実施例の回帰直線補間を
回帰曲線補間に置き換えた場合にあっては、回帰精度を
さらに向上できるとともに、補間に使用するデータの点
数nを増やすことができる結果として、より高分解能が
期待できる。また、サンプリング周期をやや長くした場
合に対しても対応でき、それによる精度劣化も小さい。
【0048】また、複数回の受信で求められた複数個の
伝搬時間に対して移動平均処理を施すことでさらに分解
能を向上させることもできる。
【0049】
【発明の効果】以上のように、本発明では、回帰直線演
算部または回帰曲線演算部の機能によりトリガ波のゼロ
クロス点を高分解能に推定することができ、算定された
超音波の伝搬時間の分解能と信頼性を著しく高めること
ができるという、従来にない優れた超音波送受波装置を
提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の主要部を示すブロック図で
ある。
【図2】図1のブロックを組込んだ装置全体の構成を示
すブロック図である。
【図3】初期ゼロクロス点検方法の説明の為の受信波形
の図である。
【図4】図1内における仮ゼロクロス点検出部の動作を
示すフローチャートである。
【図5】図4内のステップS3の動作を示す説明図であ
る。
【図6】図4内のステップS4の動作を示す説明図であ
る。
【図7】図1内における回帰直線演算部の動作を示す説
明図である。
【図8】本発明の第2実施例を示した図1と同様のブロ
ック構成図である。
【図9】図8内における回帰曲線演算部の動作を示す説
明図である。
【符号の説明】
10 伝搬時間算定手段 11 波形記憶部 12 ゼロクロス位置検出部 13 伝搬時間演算部 101 パルス発振回路 104 増幅器 110 タイミング制御回路 111 A/D変換回路 112 波形記憶回路 121 前ゼロクロス点記憶部 122 仮ゼロクロス位置検出部 123 回帰直線演算部 223 回帰曲線演算部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01H 5/00 G01N 29/18 G01N 29/22 501 G01S 7/526

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 超音波送波器および超音波受波器を有
    し、超音波が送波器で送信されてから受波器で受信され
    るまでの伝搬時間を算定する伝搬時間算定手段を備え、
    この伝搬時間算定手段が、前記超音波受波器で受信され
    る超音波の波形信号を所定のタイミングでサンプリング
    後ディジタル値に変換して順次記憶する波形記憶部と、
    記憶された波形信号から仮のゼロクロス点を検出する仮
    ゼロクロス位置検出部と、この仮ゼロクロス位置検出部
    の出力で示されるアドレスを中心とする複数アドレスの
    波形データを波形記憶部から取り込み、これら波形デー
    タに対して回帰直線補間を施すことで受信波のゼロクロ
    ス点を算定する回帰直線演算部と、算定されたゼロクロ
    ス点に基づいて受信超音波の伝搬時間を算定する伝搬時
    間演算部とを装備したことを特徴とする超音波送受波装
    置。
  2. 【請求項2】 超音波送波器および超音波受波器を有
    し、超音波が送波器で送信されてから受波器で受信され
    るまでの伝搬時間を算定する伝搬時間算定手段を備え、
    この伝搬時間算定手段が、前記超音波受波器で受信され
    る超音波の波形信号を所定のタイミングでサンプリング
    後ディジタル値に変換して順次記憶する波形記憶部と、
    記憶された波形信号から仮のゼロクロス点を検出する仮
    ゼロクロス位置検出部と、この仮ゼロクロス位置検出部
    の出力で示されるアドレスを中心とする複数アドレスの
    波形データを波形記憶部から取り込み、これら波形デー
    タに対して回帰曲線補間を施すことで受信波のゼロクロ
    ス点を算定する回帰曲線演算部と、算定されたゼロクロ
    ス点に基づいて受信超音波の伝搬時間を算定する伝搬時
    間演算部とを装備したことを特徴とする超音波送受波装
    置。
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