JP3097776B2 - 多層膜分光反射鏡 - Google Patents
多層膜分光反射鏡Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体材料などの各種
の材料の化学状態、化学組成、不純物濃度、中でも軽元
素を高感度で分析する装置に必要な軟Ｘ線を選択する分
光素子や、微細加工、Ｘ線顕微鏡、Ｘ線望遠鏡などに必
要なＸ線分光反射鏡に関するものである。
の材料の化学状態、化学組成、不純物濃度、中でも軽元
素を高感度で分析する装置に必要な軟Ｘ線を選択する分
光素子や、微細加工、Ｘ線顕微鏡、Ｘ線望遠鏡などに必
要なＸ線分光反射鏡に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】等間隔に原子面が並んだり、重元素層と
軽元素層がそれぞれ一定の厚みで交互に並んでいるよう
な物質や材料にＸ線が入射すると各原子や各層でＸ線が
散乱する。ある特定の角度方向ではこれら散乱したＸ線
が干渉し強めあう結果、その角度方向に強いＸ線が出射
する現象、いわゆるブラッグ回折が観察される。
軽元素層がそれぞれ一定の厚みで交互に並んでいるよう
な物質や材料にＸ線が入射すると各原子や各層でＸ線が
散乱する。ある特定の角度方向ではこれら散乱したＸ線
が干渉し強めあう結果、その角度方向に強いＸ線が出射
する現象、いわゆるブラッグ回折が観察される。
【０００３】現在、単色、準単色の軟Ｘ線やＸ線を選択
するために、このようなブラッグ回折効果を有する分光
素子が用いられているが、中でも重元素層と軽元素層が
交互に一定の厚みで形成された多層膜が使用されるよう
になってきた。多層膜はシリコンや石英などの基板の上
に、一般には軽元素層と重元素層をそれぞれ一定の厚み
で規則正しく積層させて形成されており、このような多
層膜は特に軟Ｘ線波長領域で回折格子や結晶に比べてＸ
線の反射率が高いという利点を有している。例えば波長
が約５ｎｍ程度では重元素層にＮｉを使用し、軽元素層
にＣを使用した、Ｎｉ／Ｃは、直入射においても、計算
上では約４０〜６０％という高い反射率が得られること
から上記分光素子への適用が検討されつつある。
するために、このようなブラッグ回折効果を有する分光
素子が用いられているが、中でも重元素層と軽元素層が
交互に一定の厚みで形成された多層膜が使用されるよう
になってきた。多層膜はシリコンや石英などの基板の上
に、一般には軽元素層と重元素層をそれぞれ一定の厚み
で規則正しく積層させて形成されており、このような多
層膜は特に軟Ｘ線波長領域で回折格子や結晶に比べてＸ
線の反射率が高いという利点を有している。例えば波長
が約５ｎｍ程度では重元素層にＮｉを使用し、軽元素層
にＣを使用した、Ｎｉ／Ｃは、直入射においても、計算
上では約４０〜６０％という高い反射率が得られること
から上記分光素子への適用が検討されつつある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例えば
Ｎｉ／Ｃ多層膜においては、Ｎｉの融点が約１４５０℃
と低いこと、また、一般に物質は数１０Åの膜厚ではバ
ルクの融点よりも更に融点が低下するため、Ａｕなどと
同様に島状に凝集する。このため、Ｎｉ層を平滑な薄層
状で５から１５Å程度の厚みに形成することが困難であ
った。Ｎｉが凝集する場合、多層膜の界面の平滑性が乱
れるため、Ｘ線反射率が大幅に低下してしまうという重
大な問題が生じていた。しかも、層厚が１５Å以上のＮ
ｉ／Ｃ多層膜においても、高強度のＸ線や軟Ｘ線がこの
多層膜に照射されると照射部の温度が上昇するため、こ
の部分の積層構造が乱れ、この影響で反射率が低下す
る。反射率が低下すると、分析応用の場合には変化した
だけ精度や確度が悪くなり、また、Ｘ線リソグラフィー
などに適用された場合は、レジストを適正時間露光する
ことが困難になる。更には、多層膜そのものの寿命が短
いなどの様々の問題を有していた。
Ｎｉ／Ｃ多層膜においては、Ｎｉの融点が約１４５０℃
と低いこと、また、一般に物質は数１０Åの膜厚ではバ
ルクの融点よりも更に融点が低下するため、Ａｕなどと
同様に島状に凝集する。このため、Ｎｉ層を平滑な薄層
状で５から１５Å程度の厚みに形成することが困難であ
った。Ｎｉが凝集する場合、多層膜の界面の平滑性が乱
れるため、Ｘ線反射率が大幅に低下してしまうという重
大な問題が生じていた。しかも、層厚が１５Å以上のＮ
ｉ／Ｃ多層膜においても、高強度のＸ線や軟Ｘ線がこの
多層膜に照射されると照射部の温度が上昇するため、こ
の部分の積層構造が乱れ、この影響で反射率が低下す
る。反射率が低下すると、分析応用の場合には変化した
だけ精度や確度が悪くなり、また、Ｘ線リソグラフィー
などに適用された場合は、レジストを適正時間露光する
ことが困難になる。更には、多層膜そのものの寿命が短
いなどの様々の問題を有していた。
【０００５】本発明は、上述の問題を解決するものであ
り、その目的は、多層膜の重元素層の融点を向上させる
ことにより、平滑な多層膜を形成でき、Ｘ線反射特性と
耐熱性が向上された多層膜分光反射鏡を提供することに
ある。
り、その目的は、多層膜の重元素層の融点を向上させる
ことにより、平滑な多層膜を形成でき、Ｘ線反射特性と
耐熱性が向上された多層膜分光反射鏡を提供することに
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記目的
を達成するために鋭意検討した結果、重元素層にＮｉ化
合物を使用することにより上記の問題が解消されること
を見出した。すなわち本発明は、ブラッグ回折効果を有
する多層膜分光素子の重元素層に、Ｏ，Ｎ，Ｃ，Ｆ，
Ｗ，Ｒｅ，Ｒｕからなる群から選択される１種の元素と
Ｎｉとの化合物あるいは混合物を使用したことを特徴と
する多層膜分光反射鏡を要旨とするものである。また、
本発明は、ブラッグ回折効果を有する多層膜分光素子の
軽元素層として炭素を選択し、５から１５Åの厚みの重
元素層として、Ｎｉ化合物あるいは混合物を使用したこ
とを特徴とする多層膜分光反射鏡にも関する。
を達成するために鋭意検討した結果、重元素層にＮｉ化
合物を使用することにより上記の問題が解消されること
を見出した。すなわち本発明は、ブラッグ回折効果を有
する多層膜分光素子の重元素層に、Ｏ，Ｎ，Ｃ，Ｆ，
Ｗ，Ｒｅ，Ｒｕからなる群から選択される１種の元素と
Ｎｉとの化合物あるいは混合物を使用したことを特徴と
する多層膜分光反射鏡を要旨とするものである。また、
本発明は、ブラッグ回折効果を有する多層膜分光素子の
軽元素層として炭素を選択し、５から１５Åの厚みの重
元素層として、Ｎｉ化合物あるいは混合物を使用したこ
とを特徴とする多層膜分光反射鏡にも関する。
【０００７】
【作用】Ｎｉの融点は１４５０℃程度であるが、Ｎｉ化
合物、例えばＮｉＯでは融点は１９８０℃程度と高くな
る。即ち、ＮｉＯを使用するか、Ｎｉ層内にＮｉＯを混
合させることにより、その融点はＮｉよりも高くなり、
このような物質で形成される薄層は、厚みが５〜１５Å
においても平滑に形成することが容易になる。このた
め、ＮｉＯ／ＣあるいはＮｉ1-xＯx／Ｃで形成された多
層膜は、反射率が乱れた積層構造で同一厚みのＮｉ／Ｏ
で形成された多層膜に比べて反射率や耐熱性が向上す
る。一方、添加物によりＮｉの凝集が抑制されるという
効果を持つようになる。このため、Ｎｉに添加物を混合
した薄膜はＮｉのみの薄膜よりも平坦化し、積層構造を
確保するのみの場合はこのような物質を重元素層とした
場合も、薄層の厚みが５〜１５Åにおいても平滑に形成
することが容易になる。このような多層膜の反射率は、
ＮｉにＯなどの他の元素が１０％程度まで入っても計算
上、Ｘ線反射率や軟Ｘ線反射率はあまり低下しない。し
かも、平滑性が増すため、多層膜の元素が更に含有され
ても実際に作製された膜では層界面の粗さの影響が少な
くなるため反射率が向上する。また、特に高い反射率を
必要とせず、耐熱性の向上、即ち、経時変化の少なさだ
けを求める場合、他元素の含有量がいくら増加してもか
まわない。このため重元素層にこのような材料を用い、
かつ軽元素層にＣを用いた多層膜を、（１）Ｘ線・軟Ｘ
線を利用した各種分析に適用させた場合、多層膜の反射
率や耐熱性が重元素層にＮｉのみを用いた多層膜よりも
向上するため、反射率の向上により感度や精度が向上
し、耐熱性の向上から反射率の変化が少なくなり、精度
や確度が向上する。（２）Ｘ線リソグラフィーに適用さ
せた場合、重元素層にＮｉのみを用いた多層膜よりも
（１）と同様の理由でスループットの向上が図れたり、
反射率の変化が少なくなり、適正露光時間を正確に決め
られるようになる。（３）更に多層膜自身の寿命が延び
るなどの効果を有することとなる。
合物、例えばＮｉＯでは融点は１９８０℃程度と高くな
る。即ち、ＮｉＯを使用するか、Ｎｉ層内にＮｉＯを混
合させることにより、その融点はＮｉよりも高くなり、
このような物質で形成される薄層は、厚みが５〜１５Å
においても平滑に形成することが容易になる。このた
め、ＮｉＯ／ＣあるいはＮｉ1-xＯx／Ｃで形成された多
層膜は、反射率が乱れた積層構造で同一厚みのＮｉ／Ｏ
で形成された多層膜に比べて反射率や耐熱性が向上す
る。一方、添加物によりＮｉの凝集が抑制されるという
効果を持つようになる。このため、Ｎｉに添加物を混合
した薄膜はＮｉのみの薄膜よりも平坦化し、積層構造を
確保するのみの場合はこのような物質を重元素層とした
場合も、薄層の厚みが５〜１５Åにおいても平滑に形成
することが容易になる。このような多層膜の反射率は、
ＮｉにＯなどの他の元素が１０％程度まで入っても計算
上、Ｘ線反射率や軟Ｘ線反射率はあまり低下しない。し
かも、平滑性が増すため、多層膜の元素が更に含有され
ても実際に作製された膜では層界面の粗さの影響が少な
くなるため反射率が向上する。また、特に高い反射率を
必要とせず、耐熱性の向上、即ち、経時変化の少なさだ
けを求める場合、他元素の含有量がいくら増加してもか
まわない。このため重元素層にこのような材料を用い、
かつ軽元素層にＣを用いた多層膜を、（１）Ｘ線・軟Ｘ
線を利用した各種分析に適用させた場合、多層膜の反射
率や耐熱性が重元素層にＮｉのみを用いた多層膜よりも
向上するため、反射率の向上により感度や精度が向上
し、耐熱性の向上から反射率の変化が少なくなり、精度
や確度が向上する。（２）Ｘ線リソグラフィーに適用さ
せた場合、重元素層にＮｉのみを用いた多層膜よりも
（１）と同様の理由でスループットの向上が図れたり、
反射率の変化が少なくなり、適正露光時間を正確に決め
られるようになる。（３）更に多層膜自身の寿命が延び
るなどの効果を有することとなる。
【０００８】
【実施例】次に本発明の代表的な実施例について説明す
る。
る。
【０００９】実施例１ スパッタ法により軽元素層としてＣを用い、重元素層に
ＮｉＯ化合物を使用した多層膜を作製した。重元素層と
軽元素層の層厚の比率は１：２、重元素層と軽元素層の
ペアの数を３５とし、周期長を約１２Åから約５０Åま
でのいずれかの値をとる多層膜を作製した。この多層膜
のＸ線反射率を測定した。図１にその反射率と同一積層
構造のＮｉ／Ｃ多層膜の反射率との関係を示す。ＮｉＯ
／Ｃ多層膜はＮｉ／Ｃ多層膜に比べ反射率が高くなり、
Ｘ線反射特性に優れていることが確認された。また、Ｎ
ｉ／Ｃ多層膜では２５Å程度までしか積層構造がＸ線的
には観測されなかったが、ＮｉＯ／Ｃ多層膜では１０Å
程度まで積層構造が観測された。即ち、層の界面が平滑
になっていることを示した。また、周期長約３０ÅのＮ
ｉＯ／Ｃ多層膜の波長５０Åでの反射率は直入射角度５
度で２５％の高い値を示した。また、図２に周期長１２
Å、１５Å及び３０ÅのＮｉＯ／Ｃ多層膜の軟Ｘ線反射
率を示す。
ＮｉＯ化合物を使用した多層膜を作製した。重元素層と
軽元素層の層厚の比率は１：２、重元素層と軽元素層の
ペアの数を３５とし、周期長を約１２Åから約５０Åま
でのいずれかの値をとる多層膜を作製した。この多層膜
のＸ線反射率を測定した。図１にその反射率と同一積層
構造のＮｉ／Ｃ多層膜の反射率との関係を示す。ＮｉＯ
／Ｃ多層膜はＮｉ／Ｃ多層膜に比べ反射率が高くなり、
Ｘ線反射特性に優れていることが確認された。また、Ｎ
ｉ／Ｃ多層膜では２５Å程度までしか積層構造がＸ線的
には観測されなかったが、ＮｉＯ／Ｃ多層膜では１０Å
程度まで積層構造が観測された。即ち、層の界面が平滑
になっていることを示した。また、周期長約３０ÅのＮ
ｉＯ／Ｃ多層膜の波長５０Åでの反射率は直入射角度５
度で２５％の高い値を示した。また、図２に周期長１２
Å、１５Å及び３０ÅのＮｉＯ／Ｃ多層膜の軟Ｘ線反射
率を示す。
【００１０】更に、図３にこれらの多層膜をＡｒ雰囲気
中で種々の温度で１時間加熱処理し、その時のＸ線
（１．５４Å）反射率の変化を測定した耐熱性の評価結
果を示す。ＮｉＯ／Ｃ多層膜は高温熱処理でもＮｉ／Ｃ
よりもＸ線反射率の減少が少なく、耐熱性が高いことが
確認された。
中で種々の温度で１時間加熱処理し、その時のＸ線
（１．５４Å）反射率の変化を測定した耐熱性の評価結
果を示す。ＮｉＯ／Ｃ多層膜は高温熱処理でもＮｉ／Ｃ
よりもＸ線反射率の減少が少なく、耐熱性が高いことが
確認された。
【００１１】実施例２ 実施例１と同様に、軽元素層としてＣを用い、重元素層
にＮｉ1-xＯxを使用して、多層膜を作製した。いずれも
周期長約２０Å、重元素層と軽元素層の層厚の比率は
１：２、重元素層と軽元素層のペアの数は３５であり、
ｘの値を０．０１から０．５０までの間で変化させた。
これらのＸ線反射率を測定した結果を図４に示す。いず
れの組成においてもＮｉ／Ｃ多層膜の反射率よりも高い
値を示し、Ｎｉ／Ｃ多層膜よりＸ線反射特性が優れてい
ることが確認された。また、図５にＮｉ1-xＯx／Ｃの波
長５０Åでの軟Ｘ線反射率の一例を示す。いずれもＮｉ
／Ｃ多層膜の軟Ｘ線反射率よりも高い値を示した。
にＮｉ1-xＯxを使用して、多層膜を作製した。いずれも
周期長約２０Å、重元素層と軽元素層の層厚の比率は
１：２、重元素層と軽元素層のペアの数は３５であり、
ｘの値を０．０１から０．５０までの間で変化させた。
これらのＸ線反射率を測定した結果を図４に示す。いず
れの組成においてもＮｉ／Ｃ多層膜の反射率よりも高い
値を示し、Ｎｉ／Ｃ多層膜よりＸ線反射特性が優れてい
ることが確認された。また、図５にＮｉ1-xＯx／Ｃの波
長５０Åでの軟Ｘ線反射率の一例を示す。いずれもＮｉ
／Ｃ多層膜の軟Ｘ線反射率よりも高い値を示した。
【００１２】実施例３ 実施例１と同様に、軽元素層としてＣを用い、重元素層
にＮｉ1-xＮx，Ｎｉ1- xＣx，Ｎｉ1-xＦxを使用して、多
層膜を作製した。いずれも周期長約２０Å、重元素層と
軽元素層の層厚の比率は１：２、重元素層と軽元素層の
ペアの数は３５であり、ｘの値を０．０１から０．５ま
での間で変化させた。これらのＸ線反射率を測定した結
果を図６に示す。いずれの組成においてもＮｉ／Ｃ多層
膜の反射率よりも高い値を示し、Ｎｉ／Ｃ多層膜よりＸ
線反射特性が優れていることが確認された。
にＮｉ1-xＮx，Ｎｉ1- xＣx，Ｎｉ1-xＦxを使用して、多
層膜を作製した。いずれも周期長約２０Å、重元素層と
軽元素層の層厚の比率は１：２、重元素層と軽元素層の
ペアの数は３５であり、ｘの値を０．０１から０．５ま
での間で変化させた。これらのＸ線反射率を測定した結
果を図６に示す。いずれの組成においてもＮｉ／Ｃ多層
膜の反射率よりも高い値を示し、Ｎｉ／Ｃ多層膜よりＸ
線反射特性が優れていることが確認された。
【００１３】また、ＮｉとＮ，Ｃ，Ｆの比が１：１のＮ
ｉＮ／Ｃ，ＮｉＣ／Ｃ，ＮｉＦ／Ｃ多層膜は波長５０Å
での反射率が直入射角度５度でそれぞれ１８％、１９
％、１３％の高い値を示し、またこれらの比が１：９の
場合、同じ測定条件でそれぞれ２８％、３０％、３４％
の高い値を示した。更にこれらの比が０．５：９．５の
場合はそれぞれ２９％、３２％、３８％を示し、比が
０．２：９．８の場合はそれぞれ２８％、２４％、３４
％を示した。
ｉＮ／Ｃ，ＮｉＣ／Ｃ，ＮｉＦ／Ｃ多層膜は波長５０Å
での反射率が直入射角度５度でそれぞれ１８％、１９
％、１３％の高い値を示し、またこれらの比が１：９の
場合、同じ測定条件でそれぞれ２８％、３０％、３４％
の高い値を示した。更にこれらの比が０．５：９．５の
場合はそれぞれ２９％、３２％、３８％を示し、比が
０．２：９．８の場合はそれぞれ２８％、２４％、３４
％を示した。
【００１４】実施例４ 実施例１と同様に、軽元素層としてＣを用い、重元素層
にＮｉ1-xＷx，Ｎｉ1- xＲｅx，Ｎｉ1-xＲｕxを使用し
て、多層膜を作製した。いずれも周期長約２０Å、重元
素層と軽元素層の層厚の比率は１：２、重元素層と軽元
素層のペアの数は３５であり、ｘの値を０．０１から
０．９９までの間で変化させた。これらのＸ線反射率を
測定した結果を図７に示す。いずれの組成においてもＮ
ｉ／Ｃ多層膜の反射率よりも高い値を示し、Ｎｉ／Ｃ多
層膜よりＸ線反射特性が優れていることが確認された。
また、ＮｉとＲｅ，Ｒｕ，Ｗの比が１：１のＮｉＲｅ／
Ｃ，ＮｉＲｕ／Ｃ，ＮｉＷ／Ｃは波長５０Åでの反射率
が直入射角度５度でそれぞれ１６％、２２％、１６％の
高い値を示した。またこれらの比が１：９の場合、同じ
測定条件でそれぞれ２５％、３２％、２６％の高い値を
示した。更にこれらの比が０．５：９．５の場合はそれ
ぞれ２７％、３４％、２７％を示した。
にＮｉ1-xＷx，Ｎｉ1- xＲｅx，Ｎｉ1-xＲｕxを使用し
て、多層膜を作製した。いずれも周期長約２０Å、重元
素層と軽元素層の層厚の比率は１：２、重元素層と軽元
素層のペアの数は３５であり、ｘの値を０．０１から
０．９９までの間で変化させた。これらのＸ線反射率を
測定した結果を図７に示す。いずれの組成においてもＮ
ｉ／Ｃ多層膜の反射率よりも高い値を示し、Ｎｉ／Ｃ多
層膜よりＸ線反射特性が優れていることが確認された。
また、ＮｉとＲｅ，Ｒｕ，Ｗの比が１：１のＮｉＲｅ／
Ｃ，ＮｉＲｕ／Ｃ，ＮｉＷ／Ｃは波長５０Åでの反射率
が直入射角度５度でそれぞれ１６％、２２％、１６％の
高い値を示した。またこれらの比が１：９の場合、同じ
測定条件でそれぞれ２５％、３２％、２６％の高い値を
示した。更にこれらの比が０．５：９．５の場合はそれ
ぞれ２７％、３４％、２７％を示した。
【００１５】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の多層膜は、
Ｎｉ／Ｃ多層膜に比較してＸ線反射特性が向上し、耐熱
性も向上している。このため、このような多層膜を
（１）Ｘ線・軟Ｘ線を利用した各種分析に適用させた場
合、多層膜の反射率や耐熱性が重元素層にＮｉのみを用
いた多層膜よりも向上するため、反射率の向上により感
度や精度が向上し、耐熱性の向上から反射率の変化が少
なくなり、精度や確度が向上する。（２）Ｘ線リソグラ
フィーに適用させた場合、重元素層にＮｉのみを用いた
多層膜よりも（１）と同様の理由でスループットの向上
が図れたり、反射率の変化が少なくなり、適正露光時間
を正確に決められるようになる。（３）更に多層膜自身
の寿命が延びるなどの効果を有することとなる。上記の
実施例ではいくつかの例を示しただけであるが、当然推
定されるように、これ以外にＮｉに他の元素を加えて融
点が更に向上する場合、あるいは、Ｎｉの凝集を防ぐ効
果がある場合にはそのような元素を添加したＮｉ化合
物、混合物においても同様に効果があることは言うまで
もない。
Ｎｉ／Ｃ多層膜に比較してＸ線反射特性が向上し、耐熱
性も向上している。このため、このような多層膜を
（１）Ｘ線・軟Ｘ線を利用した各種分析に適用させた場
合、多層膜の反射率や耐熱性が重元素層にＮｉのみを用
いた多層膜よりも向上するため、反射率の向上により感
度や精度が向上し、耐熱性の向上から反射率の変化が少
なくなり、精度や確度が向上する。（２）Ｘ線リソグラ
フィーに適用させた場合、重元素層にＮｉのみを用いた
多層膜よりも（１）と同様の理由でスループットの向上
が図れたり、反射率の変化が少なくなり、適正露光時間
を正確に決められるようになる。（３）更に多層膜自身
の寿命が延びるなどの効果を有することとなる。上記の
実施例ではいくつかの例を示しただけであるが、当然推
定されるように、これ以外にＮｉに他の元素を加えて融
点が更に向上する場合、あるいは、Ｎｉの凝集を防ぐ効
果がある場合にはそのような元素を添加したＮｉ化合
物、混合物においても同様に効果があることは言うまで
もない。
【図１】ＮｉＯ／Ｃ多層膜及びＮｉ／Ｃ多層膜の各周期
長におけるＸ線反射率を示すグラフである。
長におけるＸ線反射率を示すグラフである。
【図２】周期長１２Å、１５Å及び３０ÅのＮｉＯ／Ｃ
多層膜のＸ線反射率を示すグラフである。
多層膜のＸ線反射率を示すグラフである。
【図３】ＮｉＯ／Ｃ多層膜及びＮｉ／Ｃ多層膜の各温度
における熱処理前後のＸ線反射率の変化を示すグラフで
ある。
における熱処理前後のＸ線反射率の変化を示すグラフで
ある。
【図４】Ｎｉ1-xＯx多層膜のＯ濃度とＸ線反射率との関
係を示すグラフである。
係を示すグラフである。
【図５】Ｎｉ1-xＯx多層膜のＯ濃度と波長５０Åでの軟
Ｘ線反射率との関係を示すグラフである。
Ｘ線反射率との関係を示すグラフである。
【図６】Ｎｉ1-xＮx，Ｎｉ1-xＣx，Ｎｉ1-xＦxの各多層
膜におけるＮ、ＣあるいはＦ濃度とＸ線反射率との関係
を示すグラフである。
膜におけるＮ、ＣあるいはＦ濃度とＸ線反射率との関係
を示すグラフである。
【図７】Ｎｉ1-xＲｅx，Ｎｉ1-xＲｕx，Ｎｉ1-xＷxの各
多層膜におけるＲｅ、ＲｕあるいはＷ濃度とＸ線反射率
との関係を示すグラフである。
多層膜におけるＲｅ、ＲｕあるいはＷ濃度とＸ線反射率
との関係を示すグラフである。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−45498（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G21K 1/06
Claims (2)
- 【請求項１】 ブラッグ回折効果を有する多層膜分光素
子の重元素層に、Ｏ，Ｎ，Ｃ，Ｆ，Ｗ，Ｒｅ，Ｒｕから
なる群から選択される１種の元素とＮｉとの化合物ある
いは混合物を使用したことを特徴とする多層膜分光反射
鏡。 - 【請求項２】 ブラッグ回折効果を有する多層膜分光素
子の軽元素層として炭素を選択し、５から１５Åの厚み
の重元素層として、Ｎｉ化合物あるいは混合物を使用し
たことを特徴とする多層膜分光反射鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03338550A JP3097776B2 (ja) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | 多層膜分光反射鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03338550A JP3097776B2 (ja) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | 多層膜分光反射鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05172999A JPH05172999A (ja) | 1993-07-13 |
| JP3097776B2 true JP3097776B2 (ja) | 2000-10-10 |
Family
ID=18319229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03338550A Expired - Lifetime JP3097776B2 (ja) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | 多層膜分光反射鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3097776B2 (ja) |
-
1991
- 1991-12-20 JP JP03338550A patent/JP3097776B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05172999A (ja) | 1993-07-13 |
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