JP3093093B2 - 走査プローブ顕微鏡 - Google Patents
走査プローブ顕微鏡Info
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- JP3093093B2 JP3093093B2 JP06058898A JP5889894A JP3093093B2 JP 3093093 B2 JP3093093 B2 JP 3093093B2 JP 06058898 A JP06058898 A JP 06058898A JP 5889894 A JP5889894 A JP 5889894A JP 3093093 B2 JP3093093 B2 JP 3093093B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- base
- sample
- scanning probe
- probe microscope
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本発明は走査トンネル顕微鏡や
原子間力顕微鏡などの走査プローブ顕微鏡に関する。
原子間力顕微鏡などの走査プローブ顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】 走査トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）は、探
針を試料表面に沿うｘ，ｙ方向に走査しながらトンネル
電流が一定になるように探針の高さを制御することによ
り、試料表面の凹凸像を得るものである。また、原子間
力顕微鏡（ＡＦＭ）は、マイクロビーム（微小な梁）の
先端と試料表面間に働く原子間力によるマイクロビーム
の微小変形を光学的方法あるいはマイクロビームに従属
したＳＴＭにより検出しながら、マイクロビームの変化
が一定になるように試料のｚ方向の位置を補正しなが
ら、試料又はマイクロビームをｘ，ｙ方向に走査するこ
とにより、試料の表面形状を得るものである。
針を試料表面に沿うｘ，ｙ方向に走査しながらトンネル
電流が一定になるように探針の高さを制御することによ
り、試料表面の凹凸像を得るものである。また、原子間
力顕微鏡（ＡＦＭ）は、マイクロビーム（微小な梁）の
先端と試料表面間に働く原子間力によるマイクロビーム
の微小変形を光学的方法あるいはマイクロビームに従属
したＳＴＭにより検出しながら、マイクロビームの変化
が一定になるように試料のｚ方向の位置を補正しなが
ら、試料又はマイクロビームをｘ，ｙ方向に走査するこ
とにより、試料の表面形状を得るものである。
【０００３】このようなＳＴＭやＡＦＭの装置において
は、排気装置の振動が試料や試料移動機構や探針駆動機
構等を備えたユニットに伝わらないように、ユニットは
試料室の天井からバネにより吊り下げられている。
は、排気装置の振動が試料や試料移動機構や探針駆動機
構等を備えたユニットに伝わらないように、ユニットは
試料室の天井からバネにより吊り下げられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】 しかし、このような
構成にするには、試料室の高さを大きくしなければなら
ず、試料室が大きくなる。そのため、試料室を排気する
のに時間がかかったり、装置の製造コストも上昇する。
構成にするには、試料室の高さを大きくしなければなら
ず、試料室が大きくなる。そのため、試料室を排気する
のに時間がかかったり、装置の製造コストも上昇する。
【０００５】本発明はこのような点に鑑みて成されたも
ので、その目的は、試料観察において排気装置の振動の
影響を受けず、しかもコンパクトな走査プローブ顕微鏡
を提供することにある。
ので、その目的は、試料観察において排気装置の振動の
影響を受けず、しかもコンパクトな走査プローブ顕微鏡
を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】 この目的を達成する第
１の本発明の走査プローブ顕微鏡は、試料と探針を備え
るユニットと、該ユニットを支持するチャンバーと、該
チャンバーを支持するベース部材と、該ベース部材に接
続された排気手段と、前記ベース部材とチャンバー間に
配置された弾性部材を備え、前記弾性部材は前記ベース
部材とチャンバー間が非接触になるように厚みを有して
いる。第２の本発明の走査プローブ顕微鏡は、前記弾性
部材が前記ベース部材とチャンバー間の真空シール部材
として兼用されている。
１の本発明の走査プローブ顕微鏡は、試料と探針を備え
るユニットと、該ユニットを支持するチャンバーと、該
チャンバーを支持するベース部材と、該ベース部材に接
続された排気手段と、前記ベース部材とチャンバー間に
配置された弾性部材を備え、前記弾性部材は前記ベース
部材とチャンバー間が非接触になるように厚みを有して
いる。第２の本発明の走査プローブ顕微鏡は、前記弾性
部材が前記ベース部材とチャンバー間の真空シール部材
として兼用されている。
【０００７】
【実施例】 以下、図面を用いて本発明の実施例を説明
する。図１は、本発明の実施例として示したＳＴＭの概
略図である。図１において、１はテーブルで、孔Ｏを有
するベース２がテーブル１上に載置されている。３は排
気装置で、排気装置３はフランジ４を介してベース２に
取り付けられている。５はバイトンＯリングである。６
はパイプであり、パイプ６の一端にはストッパー７が、
そして、他端には試料室チャンバー８が固定されてい
る。９は、図２に示すような分割されたゲル部材で、ゲ
ル部材９はベース２とストッパー７の間に挟まってい
る。１０は、図３に示すようなリング状のゲル部材で、
ゲル部材１０はベース２と試料室チャンバー８の間に挟
まっている。ゲル部材は他の弾性部材に比べて振動の吸
収率は非常に高い。ｇは隙間であり、この隙間ｇは前記
ゲル部材９の隙間ｇ´に連通されており、隙間ｇ´を経
由して排気される。１１は試料や試料移動機構や探針駆
動機構等を備えたＳＴＭユニットである。１２はカバー
であり、試料交換時はこのカバー１２が開けられるが、
試料室チャンバー８は前記ストッパー７により上に引き
抜けることはない。
する。図１は、本発明の実施例として示したＳＴＭの概
略図である。図１において、１はテーブルで、孔Ｏを有
するベース２がテーブル１上に載置されている。３は排
気装置で、排気装置３はフランジ４を介してベース２に
取り付けられている。５はバイトンＯリングである。６
はパイプであり、パイプ６の一端にはストッパー７が、
そして、他端には試料室チャンバー８が固定されてい
る。９は、図２に示すような分割されたゲル部材で、ゲ
ル部材９はベース２とストッパー７の間に挟まってい
る。１０は、図３に示すようなリング状のゲル部材で、
ゲル部材１０はベース２と試料室チャンバー８の間に挟
まっている。ゲル部材は他の弾性部材に比べて振動の吸
収率は非常に高い。ｇは隙間であり、この隙間ｇは前記
ゲル部材９の隙間ｇ´に連通されており、隙間ｇ´を経
由して排気される。１１は試料や試料移動機構や探針駆
動機構等を備えたＳＴＭユニットである。１２はカバー
であり、試料交換時はこのカバー１２が開けられるが、
試料室チャンバー８は前記ストッパー７により上に引き
抜けることはない。
【０００８】このような構成において、排気装置３を動
作させると、その振動はフランジ４を通ってベース２に
伝わる。しかしながら、ベース２の振動はゲル部材９，
１０により吸収され、また、ベース２とパイプ６との間
には隙間ｇが存在するため、ベース２の振動が試料室チ
ャンバー８に伝わることはない。このため、排気装置３
の振動はＳＴＭユニット１１に伝わらず、試料の観察を
振動の影響を受けずに行うことができる。また、ゲル部
材１０はベース２と試料室チャンバー８間の真空シール
の役割も果たしている。
作させると、その振動はフランジ４を通ってベース２に
伝わる。しかしながら、ベース２の振動はゲル部材９，
１０により吸収され、また、ベース２とパイプ６との間
には隙間ｇが存在するため、ベース２の振動が試料室チ
ャンバー８に伝わることはない。このため、排気装置３
の振動はＳＴＭユニット１１に伝わらず、試料の観察を
振動の影響を受けずに行うことができる。また、ゲル部
材１０はベース２と試料室チャンバー８間の真空シール
の役割も果たしている。
【０００９】なお、以上の説明においては、ベース２と
試料室チャンバー８間にゲル部材を配置したが、ゲル部
材のかわりに、バイトンなどの弾性部材を配置してもよ
い。また、ゲル部材９，１０とベース２の間、ゲル部材
９とストッパー７の間およびゲル部材１０と試料室チャ
ンバー８の間にＯリングを配置してもよい。
試料室チャンバー８間にゲル部材を配置したが、ゲル部
材のかわりに、バイトンなどの弾性部材を配置してもよ
い。また、ゲル部材９，１０とベース２の間、ゲル部材
９とストッパー７の間およびゲル部材１０と試料室チャ
ンバー８の間にＯリングを配置してもよい。
【００１０】
【発明の効果】 第１の本発明の走査プローブ顕微鏡
は、ベース部材とチャンバー間に、ベース部とチャンバ
ー間が非接触になるような厚みの弾性部材が配置されて
いるので、試料観察において排気手段の振動の影響を受
けず、しかも従来に比べ装置がコンパクトとなって試料
室を排気する時間が短かくなり、また、装置の製造コス
トが下がる。また、第２の本発明の走査プローブ顕微鏡
は、弾性部材がベース部材とチャンバー間の真空シール
部材として兼用されているので、使用するＯリングの数
が減り、また、Ｏリングを嵌め込むための溝を作る必要
がなくなる。
は、ベース部材とチャンバー間に、ベース部とチャンバ
ー間が非接触になるような厚みの弾性部材が配置されて
いるので、試料観察において排気手段の振動の影響を受
けず、しかも従来に比べ装置がコンパクトとなって試料
室を排気する時間が短かくなり、また、装置の製造コス
トが下がる。また、第２の本発明の走査プローブ顕微鏡
は、弾性部材がベース部材とチャンバー間の真空シール
部材として兼用されているので、使用するＯリングの数
が減り、また、Ｏリングを嵌め込むための溝を作る必要
がなくなる。
【図１】本発明の実施例として示したＳＴＭの概略図で
ある。
ある。
【図２】ゲル部材９を説明するために示した図である。
【図３】ゲル部材１０を説明するために示した図であ
る。
る。
１ テーブル ２ ベース ３ 排気装置 ４ フランジ ５ バイトンＯリング ６ パイプ ７ ストッパー ８ 試料室チャンバー ９ ゲル部材 １０ ゲル部材 １１ ＳＴＭユニット １２ カバー ｇ 隙間 ｇ´ 隙間 Ｏ 孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 13/10 - 13/24 G01B 21/30 H01J 37/28
Claims (2)
- 【請求項１】 試料と探針を備えるユニットと、該ユニ
ットを支持するチャンバーと、該チャンバーを支持する
ベース部材と、該ベース部材に接続された排気手段と、
前記ベース部材とチャンバー間に配置された弾性部材を
備え、前記弾性部材は前記ベース部材とチャンバー間が
非接触になるように厚みを有している走査プローブ顕微
鏡。 - 【請求項２】 前記弾性部材が前記ベース部材とチャン
バー間の真空シール部材として兼用されている請求項１
記載の走査プローブ顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06058898A JP3093093B2 (ja) | 1994-03-29 | 1994-03-29 | 走査プローブ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06058898A JP3093093B2 (ja) | 1994-03-29 | 1994-03-29 | 走査プローブ顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07270432A JPH07270432A (ja) | 1995-10-20 |
| JP3093093B2 true JP3093093B2 (ja) | 2000-10-03 |
Family
ID=13097624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06058898A Expired - Fee Related JP3093093B2 (ja) | 1994-03-29 | 1994-03-29 | 走査プローブ顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3093093B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6361208B1 (en) * | 1999-11-26 | 2002-03-26 | Varian Medical Systems | Mammography x-ray tube having an integral housing assembly |
-
1994
- 1994-03-29 JP JP06058898A patent/JP3093093B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07270432A (ja) | 1995-10-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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