JP3091498B2 - セラミックスの電気接合用接合剤 - Google Patents
セラミックスの電気接合用接合剤Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミックスの電気接
合法に用いられる接合剤に関するものである。
合法に用いられる接合剤に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】特開昭６２−６５９８５号公報及び特開
昭６２−６５９８６号公報には、被接着体セラミックス
の間に高温において導電性を有する接合剤を介在させ、
接合面をガス炎によって加熱するとともに接合剤に電流
を流してジュール熱によって接合部分のセラミックスを
短時間に加熱することにより、セラミックスを相互に溶
着して強固に接合するセラミックスの電気接合技術が開
示されている。
昭６２−６５９８６号公報には、被接着体セラミックス
の間に高温において導電性を有する接合剤を介在させ、
接合面をガス炎によって加熱するとともに接合剤に電流
を流してジュール熱によって接合部分のセラミックスを
短時間に加熱することにより、セラミックスを相互に溶
着して強固に接合するセラミックスの電気接合技術が開
示されている。
【０００３】特開昭６２−６５９８６号公報には、接合
強度を高める接合剤として、カオリン、Ａｌ2 Ｏ3 ，Ｓ
ｉＯ2 等のガラス成分を主成分として、銅、ニッケル等
の酸化物、硫化物または塩化物、ランタン，インジウム
等の希土類元素の酸化物、モリブデン，マンガン等の金
属、フッ化カルシウム、フッ化ナトリウム等のフッ化物
等の導電成分を適宜配合した公知の接合剤を用いること
ができると記載されている。そして具体的には、フッ化
カルシウムを導電性付与剤として用いた接合剤を、窒化
珪素セラミックスの電気接合法で用いると、所定の接合
強度が得られることが開示されている。
強度を高める接合剤として、カオリン、Ａｌ2 Ｏ3 ，Ｓ
ｉＯ2 等のガラス成分を主成分として、銅、ニッケル等
の酸化物、硫化物または塩化物、ランタン，インジウム
等の希土類元素の酸化物、モリブデン，マンガン等の金
属、フッ化カルシウム、フッ化ナトリウム等のフッ化物
等の導電成分を適宜配合した公知の接合剤を用いること
ができると記載されている。そして具体的には、フッ化
カルシウムを導電性付与剤として用いた接合剤を、窒化
珪素セラミックスの電気接合法で用いると、所定の接合
強度が得られることが開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
接合剤では下記の問題があった。
接合剤では下記の問題があった。
【０００５】１）金属等の高導電性成分を添加した接合
剤では、金属の添加量が少ないと十分な導電性が得られ
ずに、電流が接合面の局所に集中して接合面全体を加熱
できず、加熱状態が不安定となって、接合状態の再現性
が得られない。逆に金属の添加量が多くなると、導電性
が高くなり過ぎて低電流では十分な発熱が得られなくな
る。そこで発熱量を増やすために、大電流を流すと、電
極と接合剤との接触が不安定なために、電極が過加熱さ
れたり、アークが発生し、母材そのものが破損する事態
も生じる。このように金属等の高導電性成分を添加した
接合剤は、再現性と安定した発熱とを得難いという問題
がある。
剤では、金属の添加量が少ないと十分な導電性が得られ
ずに、電流が接合面の局所に集中して接合面全体を加熱
できず、加熱状態が不安定となって、接合状態の再現性
が得られない。逆に金属の添加量が多くなると、導電性
が高くなり過ぎて低電流では十分な発熱が得られなくな
る。そこで発熱量を増やすために、大電流を流すと、電
極と接合剤との接触が不安定なために、電極が過加熱さ
れたり、アークが発生し、母材そのものが破損する事態
も生じる。このように金属等の高導電性成分を添加した
接合剤は、再現性と安定した発熱とを得難いという問題
がある。
【０００６】２）フッ化物を導電性成分とした接合剤
は、現在のところ再現性及び安定性でも最もよい結果が
得られている接合剤である。しかしながらフッ化物は、
接合後の接合層（珪酸塩ガラス）において、２価の酸素
イオン部に同じ大きさのマイナス１価のフッ素イオンが
置換するため、高温での粘性が低くなり、接合部の高温
強度を低下させるという問題がある。また接合時に有害
なフッ素ガスまたはフッ素化合物が発生して、治具が腐
蝕したり、人体に悪影響を及ぼすという問題もある。
は、現在のところ再現性及び安定性でも最もよい結果が
得られている接合剤である。しかしながらフッ化物は、
接合後の接合層（珪酸塩ガラス）において、２価の酸素
イオン部に同じ大きさのマイナス１価のフッ素イオンが
置換するため、高温での粘性が低くなり、接合部の高温
強度を低下させるという問題がある。また接合時に有害
なフッ素ガスまたはフッ素化合物が発生して、治具が腐
蝕したり、人体に悪影響を及ぼすという問題もある。
【０００７】３）銅、ニッケル等の酸化物、硫化物また
は塩化物、ランタン，インジウム等の希土類元素の酸化
物を導電性成分として用いる接合剤は、まだ十分な検討
がなされておらず、再現性及び安定性に問題があるもの
も少なくない。
は塩化物、ランタン，インジウム等の希土類元素の酸化
物を導電性成分として用いる接合剤は、まだ十分な検討
がなされておらず、再現性及び安定性に問題があるもの
も少なくない。
【０００８】本発明の目的は、上記問題を解決した接合
剤を提供することにある。また高温においてもある程度
の接合強度を安定して得られる接合剤を提供することに
ある。
剤を提供することにある。また高温においてもある程度
の接合強度を安定して得られる接合剤を提供することに
ある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明者の研究による
と、アルカリ土類金属の酸化物とＡｌ 2 Ｏ 3 とＹ 2 Ｏ 3
とを配合するか、アルカリ土類金属の酸化物とＡｌ 2 Ｏ
3 とＳｉＯ 2 （ガラス成分）とＹ 2 Ｏ 3 とを配合するこ
とにより、高温強度の高い接合剤が得られることが判明
した。またアルカリ土類金属の酸化物とＮｉＯ，Ｍｎ
Ｏ，ＺｒＯ 2 ，ＺｎＯ，ＴｉＯ 2 といった遷移金属の酸
化物とを適宜に配合することによってもある程度高温強
度の高い接合剤が得られることが判明した。 請求項１の
電気接合用接合剤は、ＣａＯを１５〜５０重量％、Ａｌ
2 Ｏ3 を１０重量％以上、Ｙ2 Ｏ3 を１０〜５５重量％
含んで構成される。
と、アルカリ土類金属の酸化物とＡｌ 2 Ｏ 3 とＹ 2 Ｏ 3
とを配合するか、アルカリ土類金属の酸化物とＡｌ 2 Ｏ
3 とＳｉＯ 2 （ガラス成分）とＹ 2 Ｏ 3 とを配合するこ
とにより、高温強度の高い接合剤が得られることが判明
した。またアルカリ土類金属の酸化物とＮｉＯ，Ｍｎ
Ｏ，ＺｒＯ 2 ，ＺｎＯ，ＴｉＯ 2 といった遷移金属の酸
化物とを適宜に配合することによってもある程度高温強
度の高い接合剤が得られることが判明した。 請求項１の
電気接合用接合剤は、ＣａＯを１５〜５０重量％、Ａｌ
2 Ｏ3 を１０重量％以上、Ｙ2 Ｏ3 を１０〜５５重量％
含んで構成される。
【００１０】請求項２の電気接合用接合剤は、ＣａＯを
１５〜５０重量％、Ａｌ2 Ｏ3 を１０重量％以上、Ｓｉ
Ｏ2 を１０重量％以上、Ｙ2 Ｏ3 １０〜５５重量％含ん
で構成される。
１５〜５０重量％、Ａｌ2 Ｏ3 を１０重量％以上、Ｓｉ
Ｏ2 を１０重量％以上、Ｙ2 Ｏ3 １０〜５５重量％含ん
で構成される。
【００１１】請求項３の電気接合用接合剤は、ＭｇＯを
１０〜４５重量％、Ａｌ2 Ｏ3 を１０重量％以上、Ｙ2
Ｏ3 を１０〜５５重量％含んで構成される。
１０〜４５重量％、Ａｌ2 Ｏ3 を１０重量％以上、Ｙ2
Ｏ3 を１０〜５５重量％含んで構成される。
【００１２】請求項４の電気接合用接合剤では、ＭｇＯ
を１０〜４５重量％、Ａｌ2 Ｏ3 を１０重量％以上、Ｓ
ｉＯ2 を１０重量％以上、Ｙ2 Ｏ3 を１０〜５５重量％
含んで構成される。 請求項５の電気接合用接合剤は、Ｍ
ｇＯを４０〜９０重量％、ＮｉＯを１０〜６０重量％含
んで構成されている。
を１０〜４５重量％、Ａｌ2 Ｏ3 を１０重量％以上、Ｓ
ｉＯ2 を１０重量％以上、Ｙ2 Ｏ3 を１０〜５５重量％
含んで構成される。 請求項５の電気接合用接合剤は、Ｍ
ｇＯを４０〜９０重量％、ＮｉＯを１０〜６０重量％含
んで構成されている。
【００１３】請求項６の電気接合用接合剤は、ＭｇＯを
２５〜８０重量％，ＭｎＯを２０〜７５重量％含んで構
成されている。
２５〜８０重量％，ＭｎＯを２０〜７５重量％含んで構
成されている。
【００１４】請求項７の電気接合用接合剤は、ＭｇＯを
３０〜９０重量％、ＺｒＯ2 を１０〜７０重量％含んで
構成されている。
３０〜９０重量％、ＺｒＯ2 を１０〜７０重量％含んで
構成されている。
【００１５】請求項８の電気接合用接合剤は、ＭｇＯを
４０〜９０重量％，ＺｎＯを１０〜６０重量％含んで構
成されている。
４０〜９０重量％，ＺｎＯを１０〜６０重量％含んで構
成されている。
【００１６】請求項９の電気接合用接合剤は、ＭｇＯを
５０〜９０重量％、ＴｉＯ2 を１０〜５０重量％含んで
構成されている。
５０〜９０重量％、ＴｉＯ2 を１０〜５０重量％含んで
構成されている。
【００１７】
【作用】アルカリ土類金属の酸化物は、ある程度導電性
にすぐれ、しかも先願のフッ化物を導電性成分として用
いた場合と同様に再現性及び安定性の点でも優れてい
る。また、フッ化物でないために接合時に有毒なガスが
発生することもなく、接合後の接合層にフッ素が混入す
ることがなく、高温での粘性の向上により高温強度が上
がる。 請求項１ないし４の接合剤は、ＣａＯまたはＭｇ
Ｏを導電性成分とし、他にＡｌ2 Ｏ3 とＳｉＯ2 とを配
合したものに、Ｙ2 Ｏ3 を添加する。Ｙ2 Ｏ3 を添加す
ると、接合後の接合層（珪酸塩ガラス）は珪酸網目状骨
格の中にＹが入り込む構造となるため、接合層の弾性率
が増加する。その結果、Ｙ2 Ｏ3 を添加しない場合に比
べて、接合強度を更に増加させることができる。Ｙ2 Ｏ
3 の添加量を単に多くすれば、接合層の強度が増加する
というわけではなくＹが接合層（珪酸塩ガラス）に入り
過ぎると、珪酸網目状組織を切っていくため軟化点が下
がり高温強度を低下させてしまう。また他の成分と反応
して作られる接合層の特性によって接合部の強度は決ま
る。効果を得るためのＹ2 Ｏ3 の添加量は、ＣａＯとＡ
ｌ2 Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とからなる場合には、１０〜５５重
量％の範囲に限られる。またＣａＯとＡｌ2 Ｏ3 とＳｉ
Ｏ2 とＹ2 Ｏ3 とからなる場合も、Ｙ2 Ｏ3の量は１０
〜５５重量％の範囲に限られる。更に導電性成分として
ＭｇＯを用いる場合も同様である。 請求項５〜９の接合
剤は、ＭｇＯを導電性成分とし、他にＮｉＯ，ＭｎＯ，
ＺｒＯ2 ，ＺｎＯ，ＴｉＯ2 といった遷移金属の酸化物
の一つを配合したものである。各接合剤のＭｇＯの重量
％範囲は、ＭｇＯの量がその最小重量％未満であると導
電性が低下して接合不良を生じ、その最大重量％を越え
ると接合部の軟化温度が低下することから限定されてい
る。遷移金属の酸化物は、Ａｌ2 Ｏ3 と同様に、接合層
の構造を強化し、軟化温度を高める作用を果たす。各接
合剤の遷移金属酸化物の重量％範囲は、９００℃まで常
温強度を保持できる範囲である。限定の範囲を外れる
と、９００℃まで常温強度を保持することができなくな
る。請求項５〜９の接合剤を用いて接合した接合部は、
珪酸塩ガラスを主体としてなっていることから、Ｙ 2 Ｏ
3 を添加したり、或いはＳｉ 3 Ｎ 4 を添加したり、或い
はＹ 2 Ｏ 3 及びＳｉ 3 Ｎ 4 を添加すると強度が更に向上
する。
にすぐれ、しかも先願のフッ化物を導電性成分として用
いた場合と同様に再現性及び安定性の点でも優れてい
る。また、フッ化物でないために接合時に有毒なガスが
発生することもなく、接合後の接合層にフッ素が混入す
ることがなく、高温での粘性の向上により高温強度が上
がる。 請求項１ないし４の接合剤は、ＣａＯまたはＭｇ
Ｏを導電性成分とし、他にＡｌ2 Ｏ3 とＳｉＯ2 とを配
合したものに、Ｙ2 Ｏ3 を添加する。Ｙ2 Ｏ3 を添加す
ると、接合後の接合層（珪酸塩ガラス）は珪酸網目状骨
格の中にＹが入り込む構造となるため、接合層の弾性率
が増加する。その結果、Ｙ2 Ｏ3 を添加しない場合に比
べて、接合強度を更に増加させることができる。Ｙ2 Ｏ
3 の添加量を単に多くすれば、接合層の強度が増加する
というわけではなくＹが接合層（珪酸塩ガラス）に入り
過ぎると、珪酸網目状組織を切っていくため軟化点が下
がり高温強度を低下させてしまう。また他の成分と反応
して作られる接合層の特性によって接合部の強度は決ま
る。効果を得るためのＹ2 Ｏ3 の添加量は、ＣａＯとＡ
ｌ2 Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とからなる場合には、１０〜５５重
量％の範囲に限られる。またＣａＯとＡｌ2 Ｏ3 とＳｉ
Ｏ2 とＹ2 Ｏ3 とからなる場合も、Ｙ2 Ｏ3の量は１０
〜５５重量％の範囲に限られる。更に導電性成分として
ＭｇＯを用いる場合も同様である。 請求項５〜９の接合
剤は、ＭｇＯを導電性成分とし、他にＮｉＯ，ＭｎＯ，
ＺｒＯ2 ，ＺｎＯ，ＴｉＯ2 といった遷移金属の酸化物
の一つを配合したものである。各接合剤のＭｇＯの重量
％範囲は、ＭｇＯの量がその最小重量％未満であると導
電性が低下して接合不良を生じ、その最大重量％を越え
ると接合部の軟化温度が低下することから限定されてい
る。遷移金属の酸化物は、Ａｌ2 Ｏ3 と同様に、接合層
の構造を強化し、軟化温度を高める作用を果たす。各接
合剤の遷移金属酸化物の重量％範囲は、９００℃まで常
温強度を保持できる範囲である。限定の範囲を外れる
と、９００℃まで常温強度を保持することができなくな
る。請求項５〜９の接合剤を用いて接合した接合部は、
珪酸塩ガラスを主体としてなっていることから、Ｙ 2 Ｏ
3 を添加したり、或いはＳｉ 3 Ｎ 4 を添加したり、或い
はＹ 2 Ｏ 3 及びＳｉ 3 Ｎ 4 を添加すると強度が更に向上
する。
【００１８】
【実施例】以下各請求項に記載の発明の実施例を参考例
とともに説明する。以下の各参考例及び実施例におい
て、接合剤は所定の成分で配合された材料を、アセト
ン，トルエン等の有機バインダーと均一に混練してペー
スト状にしたものを用いた。そして強度試験（曲げ試
験）に用いる試験用接合体は、予め１５mm×１５mm×２
０mmの２ケの窒化珪素セラミックス角材を接合剤で接合
して接合体を作り、この接合体から３mm×４mm×４０mm
の角棒（ＪＩＳ片）を切り出して得た。接合剤の量は、
接合面積当たり５０mg／cm2 となるようにした。強度試
験は、この角棒を上部スパン１０mm、下部スパン３０m
m、荷重速度０．５mm／min の条件下で曲げる４点曲げ
試験で行った。結果は１０本の角棒について４点曲げ試
験を行った平均値を、Ｍｐａ（メガパスカル）の単位で
示してある。
とともに説明する。以下の各参考例及び実施例におい
て、接合剤は所定の成分で配合された材料を、アセト
ン，トルエン等の有機バインダーと均一に混練してペー
スト状にしたものを用いた。そして強度試験（曲げ試
験）に用いる試験用接合体は、予め１５mm×１５mm×２
０mmの２ケの窒化珪素セラミックス角材を接合剤で接合
して接合体を作り、この接合体から３mm×４mm×４０mm
の角棒（ＪＩＳ片）を切り出して得た。接合剤の量は、
接合面積当たり５０mg／cm2 となるようにした。強度試
験は、この角棒を上部スパン１０mm、下部スパン３０m
m、荷重速度０．５mm／min の条件下で曲げる４点曲げ
試験で行った。結果は１０本の角棒について４点曲げ試
験を行った平均値を、Ｍｐａ（メガパスカル）の単位で
示してある。
【００１９】電気接合は、プロパンと酸素の混合ガス炎
により接合部を加熱し、予熱温度が８５０℃〜９００℃
となるようにした後、接合剤部に電流を０．６〜１Ａの
範囲で流し、電極を５cm／min の速度で移動させること
により接合面全体を加熱して行った。
により接合部を加熱し、予熱温度が８５０℃〜９００℃
となるようにした後、接合剤部に電流を０．６〜１Ａの
範囲で流し、電極を５cm／min の速度で移動させること
により接合面全体を加熱して行った。
【００２０】（参考例１） 表１の配合比率で、Ｃａ０及びＡｌ2 Ｏ3 を配合し、常
温、９００℃及び１０００℃の条件で強度試験を行っ
た。この参考例によれば、ＣａＯの含有量を１５〜５０
重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3 を５０〜８５重量％含有させること
により、常温から１０００℃まで、２００Ｍｐａ以上の
強度を維持できる。なお表は、データが多いため発明の
効果の欄の後にまとめて記載する。
温、９００℃及び１０００℃の条件で強度試験を行っ
た。この参考例によれば、ＣａＯの含有量を１５〜５０
重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3 を５０〜８５重量％含有させること
により、常温から１０００℃まで、２００Ｍｐａ以上の
強度を維持できる。なお表は、データが多いため発明の
効果の欄の後にまとめて記載する。
【００２１】（参考例２） 表２の配合比率で、Ｃａ０、Ａｌ2 Ｏ3 及びＳｉＯ2 を
配合し、常温、９００℃及び１０００℃の条件で強度試
験を行った。この参考例によれば、ＣａＯを１５〜５０
重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3 を１０重量％以上、ＳｉＯ 2 を１０
重量％以上含有させることにより、常温〜９００℃の範
囲で３００Ｍｐａ以上、そして１０００℃でも２５０Ｍ
ｐａ以上の強度を得ることができる。ＳｉＯ 2 が入るこ
とにより、参考例１の場合と比べれて更に高温強度が増
加することが判る。 （参考例３） 表３の配合比率で、Ｍｇ０及びＡｌ2 Ｏ3 を配合し、常
温及び９００℃の条件で強度試験を行った。この参考例
によれば、ＭｇＯを１５〜４５重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3 を５
５〜９０重量％含有させることにより、常温から９００
℃まで、２５０Ｍｐａ以上の強度を維持できる。
配合し、常温、９００℃及び１０００℃の条件で強度試
験を行った。この参考例によれば、ＣａＯを１５〜５０
重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3 を１０重量％以上、ＳｉＯ 2 を１０
重量％以上含有させることにより、常温〜９００℃の範
囲で３００Ｍｐａ以上、そして１０００℃でも２５０Ｍ
ｐａ以上の強度を得ることができる。ＳｉＯ 2 が入るこ
とにより、参考例１の場合と比べれて更に高温強度が増
加することが判る。 （参考例３） 表３の配合比率で、Ｍｇ０及びＡｌ2 Ｏ3 を配合し、常
温及び９００℃の条件で強度試験を行った。この参考例
によれば、ＭｇＯを１５〜４５重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3 を５
５〜９０重量％含有させることにより、常温から９００
℃まで、２５０Ｍｐａ以上の強度を維持できる。
【００２２】（参考例４） 表４の配合比率で、Ｍｇ０、Ａｌ2 Ｏ3 及びＳｉＯ2 を
配合し、常温及び９００℃の条件で強度試験を行った。
この参考例によれば、ＭｇＯを１０〜４５重量％、Ａｌ
2 Ｏ 3 を１０重量％以上、ＳｉＯ 2 を１０重量％以上含
有させることにより、常温から９００℃まで３００Ｍｐ
ａ以上の強度を維持できる。また実施例３の場合と比べ
ると、ＳｉＯ2 が入ることにより、常温及び高温におい
て強度が増加することが判るであろう。
配合し、常温及び９００℃の条件で強度試験を行った。
この参考例によれば、ＭｇＯを１０〜４５重量％、Ａｌ
2 Ｏ 3 を１０重量％以上、ＳｉＯ 2 を１０重量％以上含
有させることにより、常温から９００℃まで３００Ｍｐ
ａ以上の強度を維持できる。また実施例３の場合と比べ
ると、ＳｉＯ2 が入ることにより、常温及び高温におい
て強度が増加することが判るであろう。
【００２３】（実施例１） 表５に記載の配合比で、ＣａＯ、Ａｌ2 Ｏ3 及びＹ2 Ｏ
3 を配合して接合剤を作り、常温及び１０００℃の条件
で強度試験を行った。この実施例によれば、ＣａＯを１
５〜５０重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3 を１０重量％以上、Ｙ 2 Ｏ
3 を１０〜５５重量％含有させることにより、常温から
１０００℃まで、３００Ｍｐａ以上の強度を維持でき
る。なおＹ 2 Ｏ 3 を添加すると、ＳｉＯ 2 を添加する参
考例２の場合と比べれて、更に広い範囲で常温及び高温
における強度を増加させることができる。 （実施例２） 表６ないし表８に示すように、ＣａＯ、Ａｌ2 Ｏ3 、Ｓ
ｉＯ2 及びＹ2 Ｏ3 を配合して接合剤を作り、常温及び
１０００℃の条件で強度試験を行った。この実施例によ
れば、ＣａＯを１５〜５０重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3 を１０重
量％以上、ＳｉＯ 2 を１０重量％以上、Ｙ 2 Ｏ 3 を１０
〜５５重量％含有させることにより、常温から１０００
℃まで、３５０Ｍｐａ以上の強度を維持できる。ＳｉＯ
2 が添加されない実施例５の場合と対比すると、本実施
例によれば常温及び高温における強度が更に増加するの
が判るであろう。
3 を配合して接合剤を作り、常温及び１０００℃の条件
で強度試験を行った。この実施例によれば、ＣａＯを１
５〜５０重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3 を１０重量％以上、Ｙ 2 Ｏ
3 を１０〜５５重量％含有させることにより、常温から
１０００℃まで、３００Ｍｐａ以上の強度を維持でき
る。なおＹ 2 Ｏ 3 を添加すると、ＳｉＯ 2 を添加する参
考例２の場合と比べれて、更に広い範囲で常温及び高温
における強度を増加させることができる。 （実施例２） 表６ないし表８に示すように、ＣａＯ、Ａｌ2 Ｏ3 、Ｓ
ｉＯ2 及びＹ2 Ｏ3 を配合して接合剤を作り、常温及び
１０００℃の条件で強度試験を行った。この実施例によ
れば、ＣａＯを１５〜５０重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3 を１０重
量％以上、ＳｉＯ 2 を１０重量％以上、Ｙ 2 Ｏ 3 を１０
〜５５重量％含有させることにより、常温から１０００
℃まで、３５０Ｍｐａ以上の強度を維持できる。ＳｉＯ
2 が添加されない実施例５の場合と対比すると、本実施
例によれば常温及び高温における強度が更に増加するの
が判るであろう。
【００２４】（実施例３） 表９に記載の配合比でＭｇＯ、Ａｌ2 Ｏ3 及びＹ2 Ｏ3
を配合して接合剤を作り、常温及び９００℃の条件で強
度試験を行った。この実施例によれば、ＭｇＯを１０〜
４５重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3 を１０重量％以上、Ｙ 2 Ｏ 3 を
１０〜５５重量％含有させることにより、常温から９０
０℃まで、３００Ｍｐａ以上の強度を維持できる。
を配合して接合剤を作り、常温及び９００℃の条件で強
度試験を行った。この実施例によれば、ＭｇＯを１０〜
４５重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3 を１０重量％以上、Ｙ 2 Ｏ 3 を
１０〜５５重量％含有させることにより、常温から９０
０℃まで、３００Ｍｐａ以上の強度を維持できる。
【００２５】（実施例４） 表１０ないし表１２に示す配合比で、ＭｇＯ、Ａｌ2 Ｏ
3 、ＳｉＯ2 及びＹ2Ｏ3 を配合して接合剤を作り、常
温及び９００℃の条件で強度試験を行った。この実施例
によれば、ＭｇＯを１０〜４５重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3 を１
０重量％以上、ＳｉＯ 2 を１０重量％以上、Ｙ 2 Ｏ 3 を
１０〜５５重量％含有させることにより、常温から９０
０℃まで、３５０Ｍｐａ以上の強度を維持できる。この
データから実施例３の場合と比べて、ＳｉＯ2 が添加さ
れることにより高温強度が増加することが判るであろ
う。
3 、ＳｉＯ2 及びＹ2Ｏ3 を配合して接合剤を作り、常
温及び９００℃の条件で強度試験を行った。この実施例
によれば、ＭｇＯを１０〜４５重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3 を１
０重量％以上、ＳｉＯ 2 を１０重量％以上、Ｙ 2 Ｏ 3 を
１０〜５５重量％含有させることにより、常温から９０
０℃まで、３５０Ｍｐａ以上の強度を維持できる。この
データから実施例３の場合と比べて、ＳｉＯ2 が添加さ
れることにより高温強度が増加することが判るであろ
う。
【００２６】（参考例５） 表１３に示す配合比で、ＣａＯ、Ａｌ2 Ｏ3 及びＳｉ3
Ｎ4 を配合して下接合剤を作り、常温及び１０００℃の
条件で強度試験を行った。この参考例によれば、ＣａＯ
を１５〜５０重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3 を１０重量％以上、Ｓ
ｉ 3 Ｎ 4 を１５〜４５重量％以上含有させることによ
り、常温から１０００℃まで、３００Ｍｐａ以上の強度
を維持できる。 （参考例６） 表１４ないし表１６に示す配合比でＣａＯ、Ａｌ2 Ｏ
3 、ＳｉＯ2 及びＳｉ3Ｎ4 を配合して接合剤を作り、
常温及び１０００℃の条件で強度試験を行った。この参
考例によれば、ＣａＯを１５〜５０重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3
を１０重量％以上、ＳｉＯ 2 を１０重量％以上、Ｓｉ 3
Ｎ 4 を１５〜４５重量％以上含有させることにより、常
温から１０００℃まで、３５０Ｍｐａ以上の強度を維持
できる。ＳｉＯ 2 を添加することにより、参考例５と比
べて、常温及び高温における強度が更に増加する。 （参考例７） 表１７に示す配合比でＭｇＯ、Ａｌ2 Ｏ3 及びＳｉ3 Ｎ
4 を配合して接合剤を作り、常温及び９００℃の条件で
強度試験を行った。この参考例によれば、ＭｇＯを１０
〜４５重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3 を１０重量％以上、Ｓｉ 3 Ｎ
4 を１５〜４５重量％以上含有させることにより、常温
から９００℃まで、３００Ｍｐａ以上の強度を維持でき
る。
Ｎ4 を配合して下接合剤を作り、常温及び１０００℃の
条件で強度試験を行った。この参考例によれば、ＣａＯ
を１５〜５０重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3 を１０重量％以上、Ｓ
ｉ 3 Ｎ 4 を１５〜４５重量％以上含有させることによ
り、常温から１０００℃まで、３００Ｍｐａ以上の強度
を維持できる。 （参考例６） 表１４ないし表１６に示す配合比でＣａＯ、Ａｌ2 Ｏ
3 、ＳｉＯ2 及びＳｉ3Ｎ4 を配合して接合剤を作り、
常温及び１０００℃の条件で強度試験を行った。この参
考例によれば、ＣａＯを１５〜５０重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3
を１０重量％以上、ＳｉＯ 2 を１０重量％以上、Ｓｉ 3
Ｎ 4 を１５〜４５重量％以上含有させることにより、常
温から１０００℃まで、３５０Ｍｐａ以上の強度を維持
できる。ＳｉＯ 2 を添加することにより、参考例５と比
べて、常温及び高温における強度が更に増加する。 （参考例７） 表１７に示す配合比でＭｇＯ、Ａｌ2 Ｏ3 及びＳｉ3 Ｎ
4 を配合して接合剤を作り、常温及び９００℃の条件で
強度試験を行った。この参考例によれば、ＭｇＯを１０
〜４５重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3 を１０重量％以上、Ｓｉ 3 Ｎ
4 を１５〜４５重量％以上含有させることにより、常温
から９００℃まで、３００Ｍｐａ以上の強度を維持でき
る。
【００２７】（参考例８） 表１８ないし表２０に示す配合比でＭｇＯ、Ａｌ2 Ｏ
3 、ＳｉＯ2 及びＳｉ3Ｎ4 を配合して接合剤を作り、
常温及び９００℃の条件で強度試験を行った。この参考
例によれば、ＭｇＯを１０〜４５重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3 を
１０重量％以上、ＳｉＯ 2 を１０重量％以上、Ｓｉ 3 Ｎ
4 を１５〜４５重量％以上含有させることにより、常温
から９００℃まで、３５０Ｍｐａ以上の強度を維持でき
る。
3 、ＳｉＯ2 及びＳｉ3Ｎ4 を配合して接合剤を作り、
常温及び９００℃の条件で強度試験を行った。この参考
例によれば、ＭｇＯを１０〜４５重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3 を
１０重量％以上、ＳｉＯ 2 を１０重量％以上、Ｓｉ 3 Ｎ
4 を１５〜４５重量％以上含有させることにより、常温
から９００℃まで、３５０Ｍｐａ以上の強度を維持でき
る。
【００２８】（実施例５） 表２１に示す配合比でＭｇＯ、ＮｉＯを配合して接合剤
を作り、常温及び９００℃の条件で強度試験を行った。
この実施例によれば、ＭｇＯを４０〜９０重量％、Ｎｉ
Ｏを１０〜６０重量％含有させることにより、常温で２
００Ｍｐａ以上の強度を得ることができ、しかも常温か
ら９００℃まで２００Ｍｐａ以上の強度を維持できる。
を作り、常温及び９００℃の条件で強度試験を行った。
この実施例によれば、ＭｇＯを４０〜９０重量％、Ｎｉ
Ｏを１０〜６０重量％含有させることにより、常温で２
００Ｍｐａ以上の強度を得ることができ、しかも常温か
ら９００℃まで２００Ｍｐａ以上の強度を維持できる。
【００２９】（実施例６） 表２２に示す配合比でＭｇＯ、ＭｎＯを配合して接合剤
を作り、常温及び９００℃の条件で強度試験を行った。
この実施例によれば、ＭｇＯを２５〜８０重量％、Ｍｎ
Ｏを２０〜７５重量％含有させることにより、常温で２
３０Ｍｐａ以上、９００℃でも２４６Ｍｐａ以上の強度
を得ることができ、しかも常温から９００℃まで２３０
Ｍｐａ以上の強度を維持できる。
を作り、常温及び９００℃の条件で強度試験を行った。
この実施例によれば、ＭｇＯを２５〜８０重量％、Ｍｎ
Ｏを２０〜７５重量％含有させることにより、常温で２
３０Ｍｐａ以上、９００℃でも２４６Ｍｐａ以上の強度
を得ることができ、しかも常温から９００℃まで２３０
Ｍｐａ以上の強度を維持できる。
【００３０】（実施例７） 表２３に示す配合比でＭｇＯ、ＺｒＯ2 を配合して接合
剤を作り、常温及び９００℃の条件で強度試験を行っ
た。この実施例によれば、ＭｇＯを３０〜９０重量％、
ＺｒＯ 2 を１０〜７０重量％含有させることにより、常
温で２６０Ｍｐａ以上、９００℃でも２７０Ｍｐａ以上
の強度を得ることができ、しかも常温から９００℃まで
２６０Ｍｐａ以上の強度を維持できる。
剤を作り、常温及び９００℃の条件で強度試験を行っ
た。この実施例によれば、ＭｇＯを３０〜９０重量％、
ＺｒＯ 2 を１０〜７０重量％含有させることにより、常
温で２６０Ｍｐａ以上、９００℃でも２７０Ｍｐａ以上
の強度を得ることができ、しかも常温から９００℃まで
２６０Ｍｐａ以上の強度を維持できる。
【００３１】（実施例８） 表２４に示す配合比でＭｇＯ、ＺｎＯを配合して接合剤
を作り、ＭｇＯを４０〜９０重量％、ＺｎＯを１０〜６
０重量％含有させることにより、常温及び９００℃の条
件で強度試験を行った。この実施例によれば、常温で２
２０Ｍｐａ以上の強度を得ることができ、しかも常温か
ら９００℃まで２２０Ｍｐａ以上の強度を維持できる。
を作り、ＭｇＯを４０〜９０重量％、ＺｎＯを１０〜６
０重量％含有させることにより、常温及び９００℃の条
件で強度試験を行った。この実施例によれば、常温で２
２０Ｍｐａ以上の強度を得ることができ、しかも常温か
ら９００℃まで２２０Ｍｐａ以上の強度を維持できる。
【００３２】（実施例９） 表２５に示す配合比でＭｇＯ、ＴｉＯ2 を配合して接合
剤を作り、常温及び９００℃の条件で強度試験を行っ
た。この実施例によれば、ＭｇＯを５０〜９０重量％、
ＴｉＯ 2 を１０〜５０重量％含有させることにより、常
温で２６０Ｍｐａ以上の強度を得ることができ、９００
℃でも２７０Ｍｐａ以上の強度を得ることができ、しか
も常温から９００℃まで２６０Ｍｐａ以上の強度を維持
できる。
剤を作り、常温及び９００℃の条件で強度試験を行っ
た。この実施例によれば、ＭｇＯを５０〜９０重量％、
ＴｉＯ 2 を１０〜５０重量％含有させることにより、常
温で２６０Ｍｐａ以上の強度を得ることができ、９００
℃でも２７０Ｍｐａ以上の強度を得ることができ、しか
も常温から９００℃まで２６０Ｍｐａ以上の強度を維持
できる。
【００３３】上記の各実施例では、窒化珪素セラミック
スを被接合体として用いているが、サイアロンを接合す
る場合も本発明の接合剤を用いることができるのは勿論
である。
スを被接合体として用いているが、サイアロンを接合す
る場合も本発明の接合剤を用いることができるのは勿論
である。
【００３４】上記実施例２，４の接合剤のように、成分
としてＡｌ2 Ｏ3 及びＳｉＯ2 を含むものでは、配合比
によっては、各成分を個別に配合しなくても、当然カオ
リナイト（Ａｌ2 Ｏ3 、２ＳｉＯ2 、２Ｈ2 Ｏ）やムラ
イト（３Ａｌ2 Ｏ3 、２ＳｉＯ2 ）などのＡｌ2 Ｏ3 と
ＳｉＯ2 の化合物で代用できる。 本発明は、上記実施例
以外の、アルカリ土類金属の酸化物、Ａｌ2 Ｏ3 、Ｓｉ
Ｏ2 、Ｙ2 Ｏ3 及びＳｉ3 Ｎ4 を組合せた接合剤にも及
ぶものである。
としてＡｌ2 Ｏ3 及びＳｉＯ2 を含むものでは、配合比
によっては、各成分を個別に配合しなくても、当然カオ
リナイト（Ａｌ2 Ｏ3 、２ＳｉＯ2 、２Ｈ2 Ｏ）やムラ
イト（３Ａｌ2 Ｏ3 、２ＳｉＯ2 ）などのＡｌ2 Ｏ3 と
ＳｉＯ2 の化合物で代用できる。 本発明は、上記実施例
以外の、アルカリ土類金属の酸化物、Ａｌ2 Ｏ3 、Ｓｉ
Ｏ2 、Ｙ2 Ｏ3 及びＳｉ3 Ｎ4 を組合せた接合剤にも及
ぶものである。
【００３５】例えば、ＣａＯ，Ａｌ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 及
びＳｉ3 Ｎ4 を組合せた接合剤の好ましい範囲は、Ｃａ
Ｏが１５〜５０重量％、Ａｌ2 Ｏ3 が１０重量％以上、
Ｙ2Ｏ3 が５〜４０重量％、Ｓｉ3 Ｎ4 が１０〜４５重
量％の範囲である。またＭｇＯ，Ａｌ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3
及びＳｉ3 Ｎ4 を組合せた接合剤の好ましい範囲は、Ｍ
ｇＯが１０〜４５重量％、Ａｌ2 Ｏ3 が１０重量％以
上、Ｙ2 Ｏ3 が５〜４０重量％、Ｓｉ3 Ｎ4 が１０〜４
５重量％の範囲である。
びＳｉ3 Ｎ4 を組合せた接合剤の好ましい範囲は、Ｃａ
Ｏが１５〜５０重量％、Ａｌ2 Ｏ3 が１０重量％以上、
Ｙ2Ｏ3 が５〜４０重量％、Ｓｉ3 Ｎ4 が１０〜４５重
量％の範囲である。またＭｇＯ，Ａｌ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3
及びＳｉ3 Ｎ4 を組合せた接合剤の好ましい範囲は、Ｍ
ｇＯが１０〜４５重量％、Ａｌ2 Ｏ3 が１０重量％以
上、Ｙ2 Ｏ3 が５〜４０重量％、Ｓｉ3 Ｎ4 が１０〜４
５重量％の範囲である。
【００３６】またＣａＯ，Ａｌ2 Ｏ3 、ＳｉＯ2 、Ｙ2
Ｏ3 及びＳｉ3 Ｎ4 を組合せた接合剤の好ましい範囲
は、ＣａＯが１５〜５０重量％、Ａｌ2 Ｏ3 が１０重量
％以上、ＳｉＯ2 が１０重量％以上、Ｙ2 Ｏ3 が５〜４
０重量％、Ｓｉ3 Ｎ4 が１０〜４５重量％の範囲であ
る。またＭｇＯ，Ａｌ2 Ｏ3 、ＳｉＯ2 、Ｙ2 Ｏ3 及び
Ｓｉ3 Ｎ4 を組合せた接合剤の好ましい範囲は、ＭｇＯ
が１０〜４５重量％、Ａｌ2 Ｏ3 が１０重量％以上、Ｓ
ｉＯ2 が１０重量％以上、Ｙ2 Ｏ3 が５〜４０重量％、
Ｓｉ3 Ｎ4 が１０〜４５重量％の範囲である。
Ｏ3 及びＳｉ3 Ｎ4 を組合せた接合剤の好ましい範囲
は、ＣａＯが１５〜５０重量％、Ａｌ2 Ｏ3 が１０重量
％以上、ＳｉＯ2 が１０重量％以上、Ｙ2 Ｏ3 が５〜４
０重量％、Ｓｉ3 Ｎ4 が１０〜４５重量％の範囲であ
る。またＭｇＯ，Ａｌ2 Ｏ3 、ＳｉＯ2 、Ｙ2 Ｏ3 及び
Ｓｉ3 Ｎ4 を組合せた接合剤の好ましい範囲は、ＭｇＯ
が１０〜４５重量％、Ａｌ2 Ｏ3 が１０重量％以上、Ｓ
ｉＯ2 が１０重量％以上、Ｙ2 Ｏ3 が５〜４０重量％、
Ｓｉ3 Ｎ4 が１０〜４５重量％の範囲である。
【００３７】また請求項５〜９に特定したＭｇＯを含む
アルカリ土類金属酸化物と遷移金属酸化物を配合した接
合剤の場合にも、Ｓｉ3 Ｎ4 及びＹ2 Ｏ3 を加えると、
さらに強度が向上することはいうまでもない。例えば、
ＭｇＯを５０重量％，ＭｎＯを２５重量％，Ｙ2 Ｏ3 を
２５重量％配合した接合剤を用いた接合体の強度は、常
温で３１５Ｍｐａ，９００℃で３２１Ｍｐａであった。
またＭｇＯを４５重量，ＭｎＯを３０重量％，Ｓｉ3 Ｎ
4 を２５重量％配合した接合剤を用いた接合体の強度
は、常温で３０８Ｍｐａ，９００℃で３１０Ｍｐａであ
った。
アルカリ土類金属酸化物と遷移金属酸化物を配合した接
合剤の場合にも、Ｓｉ3 Ｎ4 及びＹ2 Ｏ3 を加えると、
さらに強度が向上することはいうまでもない。例えば、
ＭｇＯを５０重量％，ＭｎＯを２５重量％，Ｙ2 Ｏ3 を
２５重量％配合した接合剤を用いた接合体の強度は、常
温で３１５Ｍｐａ，９００℃で３２１Ｍｐａであった。
またＭｇＯを４５重量，ＭｎＯを３０重量％，Ｓｉ3 Ｎ
4 を２５重量％配合した接合剤を用いた接合体の強度
は、常温で３０８Ｍｐａ，９００℃で３１０Ｍｐａであ
った。
【００３８】
【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、以下に示
す効果を得ることができる。 請求項１に記載した接合剤
によれば、ＣａＯを導電性成分として用いて常温から１
０００℃まで３００Ｍｐａ以上の強度を得ることができ
る。
す効果を得ることができる。 請求項１に記載した接合剤
によれば、ＣａＯを導電性成分として用いて常温から１
０００℃まで３００Ｍｐａ以上の強度を得ることができ
る。
【００３９】請求項２に記載した接合剤によれば、Ｃａ
Ｏを導電性成分として用いて常温から１０００℃まで３
５０Ｍｐａ以上の強度を得ることができる。
Ｏを導電性成分として用いて常温から１０００℃まで３
５０Ｍｐａ以上の強度を得ることができる。
【００４０】請求項３に記載した接合剤によれば、Ｍｇ
Ｏを導電性成分として用いて常温から９００℃まで３０
０Ｍｐａ以上の強度を得ることができる。
Ｏを導電性成分として用いて常温から９００℃まで３０
０Ｍｐａ以上の強度を得ることができる。
【００４１】請求項４に記載した接合剤によれば、Ｍｇ
Ｏを導電性成分として用いて常温から９００℃まで３５
０Ｍｐａ以上の強度を得ることができる。また請求項５
〜９に記載した接合剤によれば、常温から９００℃まで
２００Ｍｐａ以上の強度を得ることができる。
Ｏを導電性成分として用いて常温から９００℃まで３５
０Ｍｐａ以上の強度を得ることができる。また請求項５
〜９に記載した接合剤によれば、常温から９００℃まで
２００Ｍｐａ以上の強度を得ることができる。
【００４２】
【表１】
【表２】
【表３】
【表４】
【表５】
【表６】
【表７】
【表８】
【表９】
【表１０】
【表１１】
【表１２】
【表１３】
【表１４】
【表１５】
【表１６】
【表１７】
【表１８】
【表１９】
【表２０】
【表２１】
【表２２】
【表２３】
【表２４】
【表２５】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−226775（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C04B 37/00 - 37/04
Claims (9)
- 【請求項１】ＣａＯを１５〜５０重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3 を
１０重量％以上、Ｙ 2 Ｏ 3 を１０〜５５重量％含んでな
るセラミックスの電気接合用接合剤。 - 【請求項２】ＣａＯを１５〜５０重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3 を
１０重量％以上、ＳｉＯ 2 を１０重量％以上、Ｙ 2 Ｏ 3
を１０〜５５重量％含んでなるセラミックスの電気接合
用接合剤。 - 【請求項３】ＭｇＯを１０〜４５重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3 を
１０重量％以上、Ｙ 2 Ｏ 3 を１０〜５５重量％を含んで
なるセラミックスの電気接合用接合剤。 - 【請求項４】ＭｇＯを１０〜４５重量％、Ａｌ 2 Ｏ 3 を
１０重量％以上、ＳｉＯ 2 を１０重量％以上、Ｙ 2 Ｏ 3
を１０〜５５重量％を含んでなるセラミックスの電気接
合用接合剤。 - 【請求項５】ＭｇＯを４０〜９０重量％、ＮｉＯを１０
〜６０重量％含んでなるセラミックスの電気接合用接合
剤。 - 【請求項６】ＭｇＯを２５〜８０重量％，ＭｎＯを２０
〜７５重量％含んでなるセラミックスの電気接合用接合
剤。 - 【請求項７】ＭｇＯを３０〜９０重量％、ＺｒＯ 2 を１
０〜７０重量％含んでなるセラミックスの電気接合用接
合剤。 - 【請求項８】ＭｇＯを４０〜９０重量％，ＺｎＯを１０
〜６０重量％含んでなるセラミックスの電気接合用接合
剤。 - 【請求項９】ＭｇＯを５０〜９０重量％、ＴｉＯ 2 を１
０〜５０重量％含んでなるセラミックスの電気接合用接
合剤。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02405758A JP3091498B2 (ja) | 1989-12-22 | 1990-12-25 | セラミックスの電気接合用接合剤 |
| EP91911194A EP0486706B1 (en) | 1990-06-13 | 1991-06-13 | Electrical cementing agent for ceramic |
| PCT/JP1991/000796 WO1991019689A1 (en) | 1990-06-13 | 1991-06-13 | Electrical cementing agent for ceramic |
| US07/834,258 US5352385A (en) | 1990-06-13 | 1991-06-13 | Joining agent for joining ceramic with electric joining method |
| DE69130104T DE69130104T2 (de) | 1990-06-13 | 1991-06-13 | Elektrisch leitender klebstoff für keramik |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33420089 | 1989-12-22 | ||
| JP1-334200 | 1989-12-22 | ||
| JP02405758A JP3091498B2 (ja) | 1989-12-22 | 1990-12-25 | セラミックスの電気接合用接合剤 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04265280A JPH04265280A (ja) | 1992-09-21 |
| JP3091498B2 true JP3091498B2 (ja) | 2000-09-25 |
Family
ID=26574771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02405758A Expired - Fee Related JP3091498B2 (ja) | 1989-12-22 | 1990-12-25 | セラミックスの電気接合用接合剤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3091498B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05178408A (ja) * | 1991-12-27 | 1993-07-20 | Murata Mach Ltd | 自動倉庫の停止位置決定方法 |
| JPH0556811U (ja) * | 1992-01-08 | 1993-07-27 | 村田機械株式会社 | 自動倉庫の棚構造 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4787568B2 (ja) * | 2004-11-16 | 2011-10-05 | 日本碍子株式会社 | 接合剤、窒化アルミニウム接合体及びその製造方法 |
| US11554992B2 (en) * | 2016-07-27 | 2023-01-17 | Kyocera Corporation | Bonded ceramic assembly |
-
1990
- 1990-12-25 JP JP02405758A patent/JP3091498B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05178408A (ja) * | 1991-12-27 | 1993-07-20 | Murata Mach Ltd | 自動倉庫の停止位置決定方法 |
| JPH0556811U (ja) * | 1992-01-08 | 1993-07-27 | 村田機械株式会社 | 自動倉庫の棚構造 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04265280A (ja) | 1992-09-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |