JP3091465B2

JP3091465B2 - 取付具ラッチ機構

Info

Publication number: JP3091465B2
Application number: JP01187198A
Authority: JP
Inventors: マイクル・エル・クリステンセン
Original assignee: Agilent Technologies Inc
Current assignee: Agilent Technologies Inc
Priority date: 1988-07-21
Filing date: 1989-07-19
Publication date: 2000-09-25
Anticipated expiration: 2015-09-25
Also published as: US4857009A; EP0352001B1; EP0352001A2; DE68917822T2; JPH0274875A; EP0352001A3; DE68917822D1

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明はプリント回路基板の試験に一般に使用される
タイプの取付具に関する。更に詳細には本発明は上記試
験装置のプローブ・フィールド（probe field）を形成
するばね負荷試験プローブに上記取付具を機械的に係合
解除可能な装置に関する。

〔従来の技術〕

取付具ラッチ機構は回路基板試験取付具を試験ヘッド
に大量に端子付けする手段を提供する。大量の電気接続
を行うためには、取付具内のワイヤ・ラップ・ポストを
接続させ、試験ヘッドのプローブ・フィールド部分を形
成するばね負荷プローブのアレイを圧縮する。

当業者であれば理解するところであるが、各プローブ
で生じる力が通常小さくとも（例えば、作業走行約0.18
mm（0.07in）あたり約70.87g（2.5oz））、多数のプロ
ーブ（例えば、試験ヘッドあたり数百、更に数千）が存
在すれば、全体として大きな力が集合的に発生し得るの
であり、プローブとラップ・ポストのアレイの全部材と
の間に適切な電気的接触を形成し維持するためにはこの
大きな力を抑える必要がある。取付具ラッチ機構はばね
負荷プローブを精密且つ一様に圧縮するのに必要な全体
の力を発生するように設計されている。

真空、電気的、及び機械的方法がこのような取付具を
その目的とするプローブ・フィールドに適格に接触させ
るのに必要な力を発生するのに使用されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、これらの方法にはすべて種々な問題が
ある。真空動作システムは全ての可能な条件下での真空
チャンバのシールに一般的に関する問題を抱えている。
例えば、通常このようなプローブは又カード上にも取付
けられるので、使用される多くのカードのそれぞれを試
験ヘッドの頂部においてシールせねばならない。しか
も、必ずしも全てのカードが使用されるとは限らない。
従って、カードが存在しないチャンバをシールするため
にもフィラー・パネル（filler panel）が必要となる。

大小２つの取付具を適用するためにインターフェース
を必要とする場合には更に別の問題が生じる。このよう
な場合には弁により開閉される２つの真空チャンバが必
要となる。このようにシールに関する問題は最終的には
コスト及び複雑さの増加に帰結するのであり、更にこれ
らは一般に信頼性の低下の原因となる。基板からプロー
ブを外し、これを直接試験ヘッド内に設置することによ
り、解決可能な真空シールの問題もある。しかしなが
ら、かかる構成ではインターフェースが増加し、そのた
め電気的性能が低下するおそれがある。またユーザの特
定の試験ニーズを満たすのにプローブ全体の一部しか必
要としない場合にも、最大数のプローブの購入をユーザ
に強いる点においてもコスト増につながる。個々のプロ
ーブの費用は比較的安いものであっても、その数量が多
くなれば（試験ヘッドあたり数千という数も稀ではな
い）、その総費用も大きなものとなり、従って余分の費
用も深刻である。

各種機械的結合システムもこのような取付具ラッチ機
構に利用されてきたが、その成功の程度はまちまちであ
る。かかるシステムの１つは銃弾形先端の円筒形接点を
利用しており、このような接点が取付具内に設置され、
試験ヘッド内のソケットに嵌合されることにより完全な
電気的接続が得られる。取付具は手回しクランクで作動
するカム機構により試験ヘッドと接続させられる。この
システムに関連する主な問題は取付具を試験装置に対し
て挿入、除去するときの銃弾形先端接点の損傷である。
費用及び人手により係合動作を行わねばならない点も問
題がある。これは試験ヘッドのソケットの費用は接点あ
たりでは穏当であるが、銃弾形先端接点の費用の方が接
点あたり高いということから生じる。平均的なユーザは
多数の取付具を買わなければならないので、取付具の費
用がシステムの費用を上廻ることは珍しくない。その
上、現在使用されている多くの構造に使用されているク
ランク作動カム機構は高価であるばかりでなく、オペレ
ータがクランクを手で回して機構を作動させなければな
らないという短所を持っている。体躯の小柄なオペレー
タの多くが作業日を通じてかかる手動機構を作動させる
に必要な力を出すのに困難を感じてきた。

他の手動取付具試験システムは米国特許第4230985号
に開示されている。これには一連の相手スロットが取付
具上の一列の相手ガイドと整合する構成で設けられてい
る取付具ラッチ機構が示されている。相手ガイドは相手
スロットに挿入される。ハンドルを手で回すと、トラッ
クが水平に引かれて相手ガイド及びその関連取付具を下
方に押し、ばね負荷プローブのアレイと接触させる。こ
のシステムは同時に整列し、下げ、水平移動レールによ
り係合させねばならない多数の相手ガイド及びスロット
を使用しているので、取付具を変えたり回路基板の試験
操作を行ったりするのに非常に多くの時間がかかる。そ
の上、相手ガイドが取付具から突出しているので、この
ような試験装置の使用に必然的に伴う頻繁な取付具交換
操作中に突出ガイドが曲がったり破断したりするおそれ
がある。

大量の電気的相互接続を行う更に他の機械システムに
はゼロ挿入力コネクタ（zero insertion force connect
or）すなわち「ZIF」を使用しているものがある。この
構成ではコネクタを挿入するのに力を必要としないので
ラッチ機構は不要であるが、ZIFを作動させるには幾ら
かの力が必要である。しかしながら、ZIFのな主な短所
は通常長い電線が必要でこれが電気的性能を低下させ、
その性能低下は今日まで広く普及させるには信頼性が不
十分であるという程度に大きかった。

上に記した電気的エア・システム及び機械的システム
に関連する問題はその係合ガイドが取付具交換操作中安
全な非露出位置まで引込められる、一層簡単で、一層信
頼性のある、一層高速動作の取付具ラッチ機構の必要性
を示している。従って、本発明の目的は、係合ガイドを
取付具交換操作中安全な非露出位置にまで引っ込めるこ
とが可能な、一層簡単で、一層信頼性のある、一層高速
動作の取付具ラッチ機構を提供するにある。

〔課題を解決するための手段〕

本特許開示のラッチ機構は、４つの主要協働部分から
構成されている。ハウジング、ラック、プルダウン、及
びレバー・アームである。このラッチ機構は機械的に、
空気的に、又は電気的に駆動することができる。最も望
ましくは、機構を空気的に駆動し、一般に次のように動
作させる。機械力をレバー歯車手段に加えてこれを回転
させる。レバー歯車手段は相手のラック歯車手段と係合
して該ラックを動かす。ラックが一方向（望ましくは下
方）に動くにつれてばねのような偏倚手段によりプルダ
ウンに加えられる力のためプルダウン片が前方に押され
る。前方に押されたプルダウンは、望ましくは取付具の
側面に設置された係合手段により、取付具と係合する。
ラッチ機構は次にプローブのばね力に打ち勝ってプロー
ブと取付具との間の電気的接触を完成させるために取付
具を少なくとも一つのプローブと接触させる。なお、当
業者は、この種のプローブは通常一般に包括的に「プロ
ーブ・フィールド」として知られている数百又は数千に
及ぶ個々のプローブの大きなアレイとして使用されるこ
とを認めるであろう。エア・シリンダがレバー歯車を反
対方向（望ましくは上方）に駆動すると取付具はプロー
ブから解除される。ラックが上方に押されると、プルダ
ウンがハウジング内に設置されているカム表面に沿うよ
うに付勢されるので、プルダウンはハウジング内に引込
む。このように引込むのでプルダウンは安全な場所に置
かれる。取付具は次に、好ましくはかかる機構の一部を
成していることが多いばね負荷プローブ保護プレートの
作用により、また同時にプローブ自身が発生するばね力
により、プローブ・フィールドから持ち上げることが可
能になる。

当業者もこの基本ラッチ機構は、最も望ましくは、２
つ以上のラッチ機構を備えたラッチ機構システムに使用
することができることを認めるであろう。２、３、又は
４個のラッチ機構を備えたシステムはもちろん非常に好
適である。その上、本特許開示のラッチ機構は半分の大
きさの又は他の小さい取付具を大量終結することもで
き、この場合４要素システムの２個の対向機構を使用す
るのが特に好適な構成である。

その一層好適な実施例の幾つかにおいてこの取付具ラ
ッチ機構はその基本要素が上に示したものより一層詳細
な説明を必要とする形態で提示することができる。例え
ば、取付具を少なくとも１つの電気試験プローブと接触
及び解離させる基本ラッチ機構は次のものから構成する
ことができる。（１）プルダウン・ラックをガイドする
内部ガイド壁を備えているハウジング。該ガイド壁は更
にカム作用面を備えている。（２）レバー歯車アームの
相手歯車手段を受ける歯車手段及び受け手段に滑動可能
に取付けられているプルダウンを受ける受け手段を備え
ているプルダウン・ラック。（３）ラックの歯車手段と
係合する相手歯車手段を備えており、ハウジング内に回
転可能に取付られているレバー歯車アーム。（４）ノー
ズ及びカム作用面を備えており、（ａ）ラックの受けに
滑動可能に取付けられ、（ｂ）プルダウン・ラックが一
方向に動くにつれてノーズを取付具と係合するために前
方位置に偏倚され、（ｃ）ラックが反対方向に動くにつ
れハウジングの内部ガイド壁上のカム作用面によりプル
ダウンに取付けられたカム・フォロワに加えられるカム
作用のもとに後方位置まで引かれ、これによりノーズを
取付具から解離するプルダウン。

この基本ラッチ機構は更にプルダウンがその上を滑動
的に動くプルダウン支持手段を備えたラックを備えるこ
とができる。ラッチ機構は、ラックの上部領域に設置さ
れた受けを介して水平運動するように滑動自在に取付け
られたプルダウンとを備えることができる。このラック
はレバー・アームの相手歯車手段により与えられる歯車
作用に応じて概ね垂直方向に動かされ、このレバー・ア
ームはラックが概ね最上方位置に到達した場合に得られ
るプルダウンの最後方移動を発生することができる。

ラッチ機構の更に好ましい実施例は、円筒形構成を有
する後部と、半円筒形構成を有するノーズとを有するプ
ルダウンを含み、ラックがレバー歯車アームにより下方
に押され、プルダウンがラックにより下方向に押される
につれ、ノーズの下方に形成された平らな面が取付具に
係合するように構成される。これらの取付具ラッチ機構
は載置される床に対していかなる角度で取付けることも
可能なので、「上方」「下方」などの語が文字通りの厳
密な字義が与えられているわけではないことを当業者で
あれば了解するであろう。プルダウンはラックの受け手
段に取付けられたばねのような偏倚手段により最前方位
置まで偏倚させることができる。好ましくは、最前方位
置はプルダウンがばねにより前方方向に偏倚されるとき
のカム手段がラックの後側に接する作用により規定され
る。好ましくはカム手段は円筒形であり、ラックがハウ
ジング内を上下にガイドされる場合にラックと前方に偏
倚されたカム円筒との間にガイド壁及びカム作用面が挟
まれるように円筒状プルダウンの後部位置に垂直に取付
けられている。さらにカムはプルダウンの前方位置でス
トップとして機能する。

回路基板試験取付具をプローブ・フィールドと接触及
び解離させるラッチ機構「システム」の更に洗練された
形態はもちろんラッチ機構システム内に２つ以上のラッ
チ機構を備え（「プルダウン・タワー」とも言う）、こ
れが取付具を概ね同時に且つ一様に係合及び解離を行
う。従って、例えば、このようなシステムは少なくとも
２つの、ただし好ましくは４つ以下のプルダウン・タワ
ーを備えることができ、その各々は個別に次のものを備
えている。（１）（ａ）その前面にプルダウンがその最
前方位置にある間それを貫通する第１のスロット、及び
（ｂ）その後壁が前記プルダウン・ラックに加えられる
歯車作用に応じてプルダウン・ラックをガイドする後壁
スロットを備えている矩形ガイド壁システム、を備えて
いるハウジング。ここで前記ガイド壁は更に少なくとも
一つのカム表面を備えている。（２）レバー歯車アーム
の相手歯車手段を受ける歯車手段及び受けに滑動可能に
取付けられているプルダウンを受ける受け手段を備えて
いる矩形プルダウン・ラック。（３）ラックの歯車手段
と係合し、ハウジングに回転可能に取付けられている相
手歯車手段を備えているレバー歯車アーム。及び（４）
ノーズ及びカム作用面を有し、（ａ）受けに滑動可能に
取付けられ、（ｂ）プルダウン・ラックが一方向に動く
につれてノーズを取付具と係合させるために前方位置に
偏倚されており、（ｃ）ノーズを取付具から解離するた
めにラックが反対方向に動くにつれてハウジング・ガイ
ド壁のカム作用面によりプルダウンに加えられるカム作
用のもとに後方位置に引かれる、プルダウン。

さらにまた、システムの各ラッチ機構は、プルダウン
支持手段とプルダウンとを含むラックを備え、プルダウ
ンはラックの上部領域に設置された中空円筒形受けを通
して水平運動可能なように滑動自在に取付けられてお
り、レバー歯車アームの相手歯車手段により与えられる
歯車作用と最上方位置に到達したラックにより規定され
るプルダウンの最後方運動に応じて概ね垂直方向に動
く。

ラッチ機構のこのようなシステムに関する他の好適実
施例は、円筒形構成の後部及びその下部の平らな部分が
取付具と係合する半円筒形ノーズを備えているプルダウ
ンを含んでいる。なお、プルダウンは好ましくはラック
の受け手段に取付けられたばねにより最前方位置に偏倚
されており、ここでプルダウンの最前方位置はカム手段
がラックの後面に接する作用により規定される。このよ
うなシステムにおいて各プルダウンはカム手段を備えて
おり、カム手段は前方に偏倚されたカム円筒であり、ラ
ックがハウジング内を上下にガイドされるにつれ、ガイ
ド壁とカム作用面がラックと前方に偏倚されたカム円筒
との間に挟まれるように円筒形プルダウンの後部に垂直
に取付けられる。構成に関して言えば、機械的調整が必
要なのはラックの動きであり、プルダウンの動きではな
い。これも公知技術により実施可能であろう。

ここに開示したラッチ機構の構成には各種公知材料を
使用することができる。プルダウン・ラック及びレバー
歯車は共に好ましくは合金鋼で作られ、最も好ましくは
低価格、高強度、高精度の鋼部品を生産する際に当技術
に既知の粉末金属技術により作られる。プルダウン支持
は最も好ましくはガラス繊維及びテフロン充填物を含有
する成形ナイロンから作られる。ガラス繊維は強度を増
し、テフロンは滑動面の潤滑を行う。プルダウン・ピン
及びプルダウンばねは最も好ましくはステンレス鋼から
作られる。

〔実施例及び作用〕

第１図は取付具12及び12Aを試験ヘッド14に保持する
取付具試験装置10の平面図である。第１図は各種大きさ
の取付具12及び12A（これは、例えば、取付具12の大き
さの２倍として示してある）を取付具試験装置10の上に
整列させることができることを示している。これは取付
具内に試験装置の一部である一つ以上のプローブ18A
（通常ばね負荷式のもの）の上に直接且つ個別に設置さ
れている一つ以上のラップ・ポスト16を位置決めするよ
うに行われる。当業者が了解するところによれば、プロ
ーブは通常プローブ・フィールド18内に配列され、この
プローブ・フィールドは取付具12、12Aなどのそれぞれ
のワイヤ・ラップ・ポスト16に接触する数百及び数千に
さえもなる個別プローブ18Aからしばしば構成されてい
る。４つの取付具ラッチ機構（ここでは「プルダウン・
タワー（pulldown tower）」と言うこともある）30、30
A、30B、及び30Cを所定位置に示してある。かかる取付
具ラッチ機構は丁度取付具の端に、例えば、第１図に示
す点30D及び30Eに設置することができる。上記のような
取付具ラッチであればその数は問題ではない。例えば、
取付具12は取付具ラッチ機構30Bだけで保持することが
できる。又は機構30B及び30Cにより保持することができ
る。又は機構30B,30C,及び点30Dに設置されている他の
機構で保持することができる。

第２図は「上」位置にあるラッチ機構30,30Aを備えた
取付具試験装置10の側面図を示す。プローブ保護プレー
ト20は取付具12とプローブ・フィールド18を形成する個
々のプローブ18Aとの間に設置されているように示して
ある。力発生手段22、22Aは取付具試験装置10の側面21
及び21Aにそれぞれ取付けられて示してある。また、力
発生手段は空気力、機械力、及び／又は電気的力で駆動
することができる。更に、ラッチ機構30、30Aなどはす
べて単一の力発生手段で駆動することができる。又は各
ラッチ機構、例えば、30Aを第２図に示すようにそれ自
身の力発生手段22、22Aで駆動することができる。明ら
かに、複数の力発生手段22、22Aなどを使用するとき、
その作用を一斉に且つ一様にすべきである。これは公知
の電気的及び機械的技術に基づき行うことができる。第
２図にも示す通り、本発明の好適な実施例によれば、プ
ルダウン・タワーは個別のエア駆動力発生手段22、22A
などにより、ロッド26を、ここに開示する取付具ラッチ
機構30Aの第１の部分を形成するレバー歯車アーム28に
回転可能に接続する結合システム24を介して駆動され
る。

第３図は、「上」位置にある、第２図に示す取付具ラ
ッチ機構30Aの詳細な、部分断裁側面図である。この
「上」位置で取付具12及び取付具ラッチ機構30Aは係合
していない。第３図に示す取付具ラッチ機構30Aの更に
顕著な要素の一つはハウジング32の中で上下に動くラッ
ク34を収容するそのハウジング32である。なお、この種
の取付具はオペレータの便宜や快適さを含む種々の理由
により床に対して斜めの角度で取付けられることが多い
（例えば、米国特許題4,230,985号の第４図を参照）こ
とから、ここに使用される「上」及び「下」という語が
絶対的な意味で用いられているものではないということ
が当業者には理解されよう。第３図に示すように、レバ
ー歯車アーム28は歯車手段29を終端に有しており、この
歯車手段がラック34の相手歯車手段36と協働する。プル
ダウン片38はラック34の上部領域に取付けられて示され
ている。プルダウン（プルダウン・ピンとも言う）38は
プルダウン片38に取付られたカム手段上に、カム作用で
生ずる最後方位置に示してある。取付具ラッチ機構30A
がこの「上」位置にあり、従ってプルダウン片38が最後
方位置にある場合に、取付具12を取付具ラッチ機構30A
に載置したり、外したりすることができる。第３図にお
いて取付具12はプローブ保護プレート20の上に静置して
いるように示してある。

第４図はその完全「下」位置にある取付具ラッチ機構
30Aを示す。この位置でその最「下」位置にあるラック3
4及びプルダウン片38は取付具12と係合し、取付具12を
引張ってプローブ・フィールド18と接触させる。第４図
に示すように、ハウジング32の底はラック34及びレバー
歯車アーム28がハウジング32の底を通して動くことがで
きるように一般に開いている。

第５図は第４図に示す取付具ラッチ機構30Aの詳細
な、部分断裁側面図である。この「下」位置で、ラック
34は、力発生手段22によりレバー歯車アーム28が下向き
に駆動されるときレバー歯車手段29によりラック歯車手
段36に生ずる歯車作用を介して下向きに駆動される。一
般に（図示したコイルばねのような）偏倚手段40により
プルダウン片38がその最前方位置まで押され、取付具12
の係合面39がプルダウン片38と係合され、プルダウン片
38が取付具12をプローブ・フィールド18と係合させられ
る。

第６図はその最「上」位置にある取付具ラッチ機構30
Aの好適実施例の詳細な、部分断裁側面図を示す。再
び、ラック34は一般にハウジング32の内部に画定される
ガイド領域56で上ったり下ったりする。ラック34は好ま
しくは頂部48、底部50、前面52、後面54、及び二つの対
向側面55を備えた矩形構成である。ラック34の前面52及
び後面54はガイド領域56のそれぞれ前側面60及び後側面
62により一般にゆるく閉じ込められている。ガイド領域
56の後側面62はハウジング32内部に設けられているガイ
ド後壁64により画定されている。このガイド後壁64の上
部はカム作用面66になっており、このカム作用面は概ね
ハウジング32の下部領域66Aから始まり概ね屋根58に近
い上部領域66Bで終わっている。カム・フォロワ42はそ
の前面42Aがカム作用面66の上部領域66Bに対して押しつ
けられた状態で示してある。この押し付け作用はプルダ
ウン片38に図示の前向き方向41に加えられる偏倚手段40
により発生する。

第６図はまた歯車手段36が最も好適にプルダウン・ラ
ック34の後面54の下部に設置されていることを示してい
る。レバー歯車アーム28は好ましくはハウジング32の中
に開いているジャーナル68により所定位置に保持されて
いる。ジャーナル68にはラック34の歯車手段36とレバー
歯車アーム28の歯車手段29との間の協働を容易にするた
めに軸70が取付けられている。

第７図は「下」途中位置にある好適な取付具ラッチ機
構の詳細な、部分断裁側面図である。偏倚手段40の作用
のもとに、カム・フォロワ42はカム作用面66の下部領域
66Aに到達しているので、カム作用は終了しており、プ
ルダウン・ピン38は今はこれに加わるカム作用が無いの
で偏倚手段40によりその最前方位置に押しつけられてい
る。第７図においてラック34は更に支持43を備え、支持
43上でプルダウン片38はスプリング40及び／又はカム66
の作用により水平に動くように滑動自在に載置されてい
る。

第８図は最「下」位置にある取付具ラッチ機構の詳細
な、部分断裁側面図であり、そこでは取付具ラッチ機構
により取付具（図示せず）がプローブ・フィールド（こ
れも図示せず）にしっかり押し下げられている。このよ
うに、プルダウン片38の上下運動は概ね２つの運動領域
に入る。第１の運動領域72には概ねカム66の上部領域66
Bと一致する上限74及びカム66の下部領域66Aと概ね一致
する下限76がある。プルダウン片がカム・フォロワ42を
介してプルダウン片38に与えられるカム作用のもとにそ
の最前方位置とその最後方位置との間で動くのはこの第
１の領域72においてである。第２の運動領域78には概ね
上部領域72の下限76に一致する上限がある。第２の運動
領域78の下限80にはレバー歯車アーム28が、歯車手段29
及び36を介して、ラック34をその最下位置まで引いたと
きに達する。カム・フォロワ42は、カム・フォロワがば
ね40によりプルダウン片38に加わる作用の下でラック34
の後面54に接した場合に、プルダウン片38の前向き運動
のストップとしても作用する。

第９図は取付具ラッチ機構の前面図である。この図は
プルダウン片38がその最「下」位置にあるところを示し
ており、この位置でプルダウン片38はハウジング32の両
側壁84と84Aとの間に概ね伸張するハウジング32の前面
のスロット82を通って突出している。ハウジング32を取
付け具ラッチ機構の枠（図示せず）に保持する手段は概
ねホルダ86で示してある。例えば各ホルダ86はそれを通
してボルト（図示せず）を締付けることができる穴88を
備えることができる。レバー歯車アーム28（図示せず）
を回転可能に取付ける軸70は概ねハウジング32の下部を
通して延びている。第９図はプルダウン片38の好適構成
をも示している。すなわち、このプルダウン片は長方
形、正方形、などの断面とすることができるが、円形断
面、したがって円筒状構成がプルダウンには非常に好適
な構成である。プルダウン片38の前部すなわちノーズは
好ましくは半円筒構成に切り込まれ、取付具12（図示せ
ず）がプルダウン片38により引き下げられる場合に取付
具に対して平らな係合面39を表すように構成される。

第10図は取付具ラッチ機構の背面図である。軸70はハ
ウジング32の下部を通して延びているように示してあ
る。ガイド後壁の左側64及び右側64Aはそれぞれカム作
用面66及び66Aに導かれるように示してある。第10図は
ハウジング32の内部屋根領域58の断面が半円形で円筒構
成をもつプルダウン片38に適合していることも示してい
る。

第11図はラック34の詳細であって、プルダウン片38が
その最前方位置44にあるところを示している。この位置
でプルダウン片38のノーズが第７図及び第８図に示すよ
うにハウジングの前面を超えて突出している。好ましく
はプルダウン片38は同じ断面構成（例えば、正方形、長
方形、円形などの）開口又は受け45内に収納され、プル
ダウン片38及び前記受けがラック34を介してその前面52
からこれを通ってその後面54まで且つこれを通して伸張
するように構成される。その更に好適な実施例において
は円筒形プルダウン片38は円筒形受けの内部に滑動可能
に取付けられ、ばね40（これも受け45に収容されてい
る）により機械的に公知の方法で前方に偏倚されてい
る。

第12図はその最後方位置47にあるプルダウン片38を示
す。この最後方位置でプルダウン片38はプルダウン支持
43から最大支持を受ける。好適にはプルダウン片38はプ
ルダウン支持43の上面のトラフ43A内を滑る。

第13図はラック34の前面図である。好適にはラック34
には第４図及び第５図に示すように取付具12の側面に設
置されている係合エッジの平らな面に係合する平らな係
合面39を示す半円形ノーズ及び円形断面を有するプルダ
ウン片38が設けられる。最も好適にはカム・フォロワ42
は円形構成でもあり、図示のようにプルダウン片38の長
軸に垂直に取付けられる。

第14図はラック34の背面図である。図は支持43のトラ
フ43Aに滑動可能に取付けられたプルダウン片38の後端
を示している。第14図はまたカム・フォロワ42が最も好
ましくは円筒形プルダウン片38の後部領域を通して延び
る円筒であることを示している。

本特許開示の取付具ラッチ機構及び取付具ラッチ機構
システムを上記明細書及び図面で示してきたが、本発明
は最も広範に把握されるべきであって、本発明は上記記
載に拘束されるものではない。特に各種要素（例えば、
プルダウン、ラックの断面構成）や一定の機械的機能
（例えば、偏倚手段、歯車手段など）が実行される手段
に関し、変更可能な他の等価技術がそうであるように、
当業者であれば本発明の範囲内で他の変更例に置換可能
である。

〔効果〕

本発明は上記構成を有しているために、要求される締
め付けが確実に行われ、しかも係合ガイドが取付具交換
操作中安全な非露出位置にまで引っ込められるため、頻
繁な取付具交換操作によっても機械の破損が生じ難い。
またかかる試験装置に要求される電気的性能が損なわれ
ることなく、信頼性を維持した上で、構造が簡略化さ
れ、しかも自動操作が可能なため労力を軽減可能であ
り、従ってコストの大幅な軽減を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は代表的な位置にあるプルダウン・タワーを備え
た取付具試験装置の平面図を示し；第２図はプルダウン・タワーが「上」位置にある場合の
取付具試験装置の側面図を示し；第３図は「上」位置にあるプルダウン・タワーの詳細な
部分断裁側面図を示し；第４図はプルダウン・タワーが「下」位置にある場合の
取付具試験装置の側面図を示し；第５図は「下」位置にあるプルダウン・タワーの詳細な
部分断裁側面図を示し；第６図は最「上」位置にある取付具ラッチ機構の詳細
な、部分断裁側面図を示し；第７図は「下」途中位置にある取付具ラッチ機構の詳細
な、部分断裁側面図を示し；第８図は最「下」位置にある取付具ラッチ機構の詳細
な、部分断裁側面図を示し；第９図はプルダウン・タワーの前面図を示し；第10図はプルダウン・タワーの背面図を示し；第11図は最前方位置にあるプルダウン片の機構を示すラ
ックの詳細であり；第12図は最後方位置にあるプルダウン片の機構を示すラ
ックの詳細であり；第13図はラックの前面図であり；さらに、第14図はラックの背面図を示している。 10……取付具試験装置、12,12A……取付具、 14……試験ヘッド、18……プローブ・フィールド、 28……レバー歯車アーム、 30,30A,30B,30C……ラッチ機構（プルダウン・タワー） 32……ハウジング、34……ラック、 36……歯車手段、38……プルダウン片、 39……係合面、40……偏倚手段、 42……カム・フォロワ、56……ガイド領域、 66……カム作用面、

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01R 31/28 G01R 1/06 G01R 31/02 H01L 21/66

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】取付具（12）を少なくとも１つの電気試験
プローブ（18A）に接触、及び解離させるためラッチ機
構（10）であって、（１）ラック（34）を案内するための、カム表面（66）
を有する内部ガイド壁（56）を備えたハウジング（32）
と、（２）レバーアーム（28）の一端に設けられた相手歯車
手段（29）を受けるための歯車手段（36）と、ラッチ部
（38）を受けるための受け手段（45）とを備えた前記ラ
ック（34）と、（３）前記ハウジング（32）内に枢動可能に装着された
前記レバーアーム（28）の前記相手歯車手段（29）と、（４）ノーズ部（39A）とカムフォロワ（42）とを備え
た前記ラッチ部（38）であって、（ａ）前記受け手段（45）に滑動自在に装着され、（ｂ）前記ラック（34）が一方の方向に移動するにつ
れ、前記ノーズ部（39A）を前記取付具（12）に係合せ
しめるために、前方位置に偏倚され、（ｃ）前記ラック（34）が反対の方向に移動し、それに
より前記ノーズ部（39A）が前記取付具（12）から解離
するにつれ、前記カムフォロワ（42）の前面（42A）に
対して前記ハウジング（32）の前記内部ガイド壁（56）
上の前記カム表面（66）により与えられるカム作用の下
で、後方位置に引き戻される、前記ラッチ部（38）と、から成ることを特徴とする、取付具ラッチ機構（10）。
【請求項２】前記ラック（34）は更に、ラッチ部支持手
段（43）を備えており、該ラッチ部支持手段（43）上で
前記ラッチ部（38）が滑動自在に移動する、請求項１に
記載の取付具ラッチ機構（10）。
【請求項３】（ａ）前記ラッチ部（38）は、前記ラック
（34）の上部領域に配置された前記受け手段（45）を介
して、水平移動のために滑動自在に装着され、（ｂ）前記ラック（34）は、回転する前記レバーアーム
（28）の前記相手歯車手段（29）により駆動されて概ね
垂直方向に移動し、（ｃ）該ラック（34）が最上方位置に実質的に到達した
際に前記ラッチ部（34）の最後方移動が達成される、請求項１に記載の取付具ラッチ機構（10）。
【請求項４】前記ラッチ部（38）は、円筒構成を有する
後部と、半円筒構成を有するノーズ部（39A）とを備
え、該半円筒構成における平坦な表面は、該ノーズ部
（39A）の下側にあり、前記ラック（34）が前記レバー
アーム（28）の前記相手歯車手段（29）により下方に押
され、前記ラッチ部（38）が前記ラック（34）により下
方向に押されるにつれて前記取付具（12）に係合する、
請求項１に記載の取付具ラッチ機構（10）。
【請求項５】前記ラッチ部（38）が、前記ラック（34）
の前記受け手段（45）に装着されたばね（40）によって
最前方位置にまで偏倚される、請求項１に記載の取付具
ラッチ機構（10）。