JP3070521B2 - 光学部品の接合角度測定治具及び測定方法 - Google Patents

光学部品の接合角度測定治具及び測定方法

Info

Publication number
JP3070521B2
JP3070521B2 JP13602197A JP13602197A JP3070521B2 JP 3070521 B2 JP3070521 B2 JP 3070521B2 JP 13602197 A JP13602197 A JP 13602197A JP 13602197 A JP13602197 A JP 13602197A JP 3070521 B2 JP3070521 B2 JP 3070521B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical
prism
optical film
optical component
measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP13602197A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH10311940A (ja
Inventor
芳樹 佐野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP13602197A priority Critical patent/JP3070521B2/ja
Publication of JPH10311940A publication Critical patent/JPH10311940A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3070521B2 publication Critical patent/JP3070521B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光分波器の製造に
関し、特に光学部品の接合角度の測定治具及び方法に関
する。
【0002】
【従来の技術】光学部品の光軸調整方法として、例えば
特開昭62−3434号公報の記載が参照される。同公
報には、光学部品の光軸設定において、基準レーザー
と、ディスクに対して鉛直方向に配置された第1のカメ
ラ及びモニタと、またディスクからの反射光位置に配置
された第2のカメラ及びモニタを備えることにより、偏
光ビームスプリッターによるディスクへの入射角度の調
整とその反射光軸の位置精度の確認が容易に行え、また
ディスクに対する入射光軸を最終的に決定する光学部品
である偏光ビームスプリッターから先に光軸調整をはじ
めることにより、その他入射光学部品個々の光軸誤差を
排除して、確実な入射光軸設定がなされるようにした光
学部品の光軸調整方法が提案されている。
【0003】従来光学膜とプリズムを接着固定した光学
部品の接合角度の測定には、工具顕微鏡を使用してい
た。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の測定方
法は、光学部品の接合角度の測定に、多大な作業工数を
要する、という問題点を有している。
【0005】その理由は、光学部品の接合角度を工具顕
微鏡での目合せ調整により測定しており、時間がかかる
ためである。
【0006】したがって、本発明は、上記問題点に鑑み
てなされたものであって、その目的は、光学部品の接合
角度の測定にかかる作業工数の低減及び測定精度向上を
図る測定治具及び測定方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の接合角度測定治具は、光学膜と多角反射を
させるためのプリズムを、同一基板上に光路を一方向性
へ通過させるために接着固定する光学部品において、前
記光学膜の光路通過方向に、予め可視光レーザを照射さ
せ、その反射位置を測定することにより、前記光学膜及
び前記プリズムの接合角度を測定する、ように構成して
なることを特徴とする。
【0008】本発明の接合角度測定治具は、好ましく
は、光学膜と多角反射をさせるためのプリズムを同一基
板上に光路を一方向性へ通過させるために接着固定して
なる光学部品を保持する手段と、前記光学部品における
前記光学膜の光路通過方向に、可視光レーザを照射させ
る手段と、前記光学部品の前記光学膜と前記プリズムの
接合部分での反射により発生した反射ビームの位置を確
認するための手段と、を備え、前記反射ビームの反射位
置を測定することにより、前記光学膜と前記プリズムの
接合角度を測定する、ことを特徴とする。
【0009】また、本発明の接合角度測定方法は、光学
膜とプリズムを接合した光学部品の光路通過方向に、可
視光レーザを照射させ、反射ビームの位置を測定するこ
とにより、前記光学膜と前記プリズムの接合角度を測定
する、ことを特徴とする。
【0010】[発明の概要]本発明においては、光学膜
とプリズムを接合した光学部品の光路通過方向に、予め
可視光レーザを照射させ、その反射位置を測定すること
により、接合角度を測定する。
【0011】光学部品の接合角度を可視光レーザの反射
ビーム位置により測定を行っているため、目合せ時間が
かかっていた工具顕微鏡測定に対し、瞬時に測定が可能
となる。
【0012】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を参照して以下に説明する。
【0013】図1は、本発明の実施の形態をなす光学部
品の接合角度測定治具の構成を示す斜視図である。図1
を参照すると、この実施の形態は、He−Neレーザ光
源10及びHe−Neレーザ銃2からなる可視光レーザ
照射部と、プリズムと光学膜を接合した光学部品をセッ
トするワークセット部1と、反射ビーム位置を確認する
反射ビーム位置確認板3と、を備えている。
【0014】He−Neレーザ銃2より照射されたHe
−Neレーザは、ワークセット部1の光学部品に照射さ
れる。光学部品に照射されたHe−Neレーザは、光学
部品の接合部分にて反射により、ある方向に反射ビーム
が発生する。この反射ビームの位置を反射ビーム位置確
認板3で確認する。
【0015】本発明の実施の形態は、光学部品の接合角
度だけでなく、単体の光学部品の形状(角度)を確認に
も適用可能である。
【0016】
【実施例】上記した本発明の実施の形態について更に詳
細に説明すべく、本発明の実施例を図面を参照して以下
に説明する。
【0017】図1を参照すると、本発明の実施例は、ホ
ルダ11上にプリズム13と光学膜(フィルタ)12が
接合された光学部品をワークセット部1にセットする。
【0018】ワークセット部1に対し水平方向に位置し
たHe−Neレーザ銃2より、可視光レーザを照射する
と、プリズム13に接合されたフィルタ12面で反射ビ
ームが発生し、反射ビーム位置確認板2にて、反射ビー
ム位置を測定する。
【0019】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
光学部品の接合角度の測定に要する作業工数を削減する
と共に、顕微鏡測定と較べても測定精度を向上させ、作
業効率、生産性を向上することができる、という効果を
奏する。
【0020】その理由は、本発明においては、可視光レ
ーザの反射ビーム位置の測定により、瞬時に測定が可能
となったからである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光学部品の接合角度測定治具の一実施
例を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 ワークセット部 2 He−Neレーザ銃 3 反射ビーム位置確認板 10 He−Neレーザ光源 11 ホルダ 12 フィルタ 13 プリズム

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光学膜と多角反射をさせるためのプリズム
    を、同一基板上に光路を一方向性へ通過させるために接
    着固定する光学部品の接合角度測定方法であって、 前記光学膜と前記プリズムを接合した光学部品の光路通
    過方向に、可視光レーザを照射させ、前記光学膜と前記
    プリズムの接合部分での反射により発生した反射ビーム
    位置を測定することにより、前記光学膜及び前記プリ
    ズムの接合角度を測定する、ことを特徴とする接合角度
    測定方法
  2. 【請求項2】光学膜と多角反射をさせるためのプリズム
    を同一基板上に光路を一方向性へ通過させるために接着
    固定してなる光学部品を保持する手段と、 前記光学部品における前記光学膜の光路通過方向に、可
    視光レーザを照射させる手段と、 前記光学部品の前記光学膜と前記プリズムの接合部分で
    の反射により発生した反射ビームの位置を確認するため
    の手段と、 を備え、 前記反射ビームの反射位置を測定することにより、前記
    光学膜と前記プリズムの接合角度を測定する、ことを特
    徴とする接合角度測定治具。
JP13602197A 1997-05-09 1997-05-09 光学部品の接合角度測定治具及び測定方法 Expired - Lifetime JP3070521B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13602197A JP3070521B2 (ja) 1997-05-09 1997-05-09 光学部品の接合角度測定治具及び測定方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13602197A JP3070521B2 (ja) 1997-05-09 1997-05-09 光学部品の接合角度測定治具及び測定方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH10311940A JPH10311940A (ja) 1998-11-24
JP3070521B2 true JP3070521B2 (ja) 2000-07-31

Family

ID=15165340

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13602197A Expired - Lifetime JP3070521B2 (ja) 1997-05-09 1997-05-09 光学部品の接合角度測定治具及び測定方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3070521B2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH10311940A (ja) 1998-11-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW201919806A (zh) 雷射加工裝置
JP5868335B2 (ja) 調芯方法
JP3063688B2 (ja) レーザ加工装置及びその制御方法並びにその制御プログラムを記録した記録媒体
JP3070521B2 (ja) 光学部品の接合角度測定治具及び測定方法
US7923659B2 (en) Laser machining method and laser machining apparatus
JPS60157730A (ja) 光ヘツド
JP2004279345A (ja) 曲面ミラー及び面形状の測定方法
KR20190071729A (ko) 레이저 가공 장치 및 동작 확인 방법
KR100787236B1 (ko) 극초단 펄스 레이저 가공 장치 및 방법
JP4127986B2 (ja) 調芯固定方法および調芯固定装置
JPH08190037A (ja) 調芯組立方法
JP2003124549A (ja) レーザ発振装置
JPH0421804A (ja) 光学部品の固定構造
JP2891715B2 (ja) 縞走査型干渉測定装置
JP3096583B2 (ja) 半導体レーザモジュールの製造方法
JP2595360Y2 (ja) ビームスプリッタ装置
JP2664248B2 (ja) 接合レンズの光軸合わせ方法およびその装置
JP3645700B2 (ja) 光アイソレーター用素子およびその製造方法
JP2663804B2 (ja) X線分光器
JP2004170696A (ja) 光フィルタの固定方法
JPH04184316A (ja) 光部品ブロック組立方法および光部品用保持治具
JP3806532B2 (ja) 半導体レーザ装置の組立方法
JP2000002810A (ja) ホログラム素子とその装着装置及び装着方法、光モジュ―ルとその製造方法、光ヘッド装置、光ディスク装置
JPH08292128A (ja) 位置・傾き測定方法、傾き測定方法、及び、ccd素子の位置・傾き調整方法
JPH0246991A (ja) レーザ装置

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20000425