JP3068456B2

JP3068456B2 - めっき装置

Info

Publication number: JP3068456B2
Application number: JP8090431A
Authority: JP
Inventors: 孝男西尾
Original assignee: 長谷川春行; 孝男西尾
Priority date: 1996-03-18
Filing date: 1996-03-18
Publication date: 2000-07-24
Anticipated expiration: 2016-03-18
Also published as: JPH09256196A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣ、トランジス
タ等のリードフレームに外装用の半田めっき等の各種め
っきを施すためのめっき装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、ＩＣ、トランジスタ等のリードフ
レームに外装用の半田めっき等の各種めっきを施すため
のめっき装置として、短尺のリードフレームを多数縦方
向に吊り下げ、処理槽に浸漬する方式のものや、短尺の
リードフレーム単体を籠状のリードフレーム保持体に収
容し、処理槽に浸漬する方式のもの（例えば、特開昭６
１ー８７９００号公報参照）が提案され、実用化されて
いる。

【０００３】ところで、上記従来のめっき装置の場合、
リードフレームを処理槽へ浸漬する操作及び処理槽から
引き上げる操作が必須であることから、めっき処理工程
の生産性が低く大量処理が困難であり、また、めっき装
置の構造が複雑化したり、処理槽が大形化する（特に処
理槽の深さが大きくなる）という問題点を有していた。
また、上記従来のめっき装置は、めっき処理工程のみを
単独に行うもので、めっき処理工程の前処理工程である
リードフレームに付着した合成樹脂バリの除去工程を１
つの装置で行うことができなかった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来のめ
っき装置の問題点に鑑み、リードフレーム保持体を昇降
操作することなくリードフレームに外装用のめっきを施
すこと及びめっき処理工程の前処理工程であるリードフ
レームに付着した合成樹脂バリの除去工程を１つの装置
で行うことを可能することにより、生産性が高く、構造
が簡易でコンパクトなめっき装置を提供することを目的
とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のめっき装置は、環状に連ねて配設した複数
の処理槽と、複数枚のリードフレームを並列に吊り下げ
状態に保持する電極を兼ねたチャック部を有し、該チャ
ック部にリードフレームを保持したまま、環状に連ねて
配設した複数の処理槽１間を順に移動しながら循環する
複数のリードフレーム保持体と、リードフレーム保持体
を処理槽間を順に同期して間欠的に移動させる移動装置
とからなり、処理槽の周壁にリードフレーム保持体が移
動するときリードフレーム保持体に吊り下げ状態に保持
した複数枚のリードフレームがそのまま通過し得るスリ
ットを形成したことを特徴とする。この場合において、
処理槽は、リードフレームのめっき処理の種類に応じ
て、電解脱脂槽、バリ除去槽、エッチング槽、酸活性
層、半田めっき槽、水洗槽、中和槽、水切り槽、乾燥槽
等の処理槽のうちから任意のものを、任意の順序に組み
合わせて構成することができる。

【０００６】本発明のめっき装置は、処理槽のリードフ
レーム保持体の移動方向の長さをリードフレーム保持体
の１回の間欠的な移動量の整数倍に形成したり、処理槽
の周壁に形成したスリットから流出した処理液を処理槽
に循環させる処理液循環装置を設けることができる。

【０００７】本発明のめっき装置は、電極（陰極）を兼
ねたチャック部に複数枚のリードフレームを並列に吊り
下げ状態に保持した複数のリードフレーム保持体を、連
ねて配設した複数の処理槽間を移動装置により順に同期
して間欠的に移動させながら循環させることにより、各
処理槽において、リードフレームに付着した合成樹脂バ
リの除去、エッチング、めっき、水洗、乾燥等の処理を
行う。そして、リードフレーム保持体が移動するときリ
ードフレーム保持体に並列に吊り下げ状態に保持された
複数枚のリードフレームは、処理槽の周壁に形成したス
リットを通過するため、移動装置はリードフレーム保持
体を昇降操作することなく複数の処理槽間をそのまま水
平方向に移動させることができる。

【０００８】この場合において、各処理槽において行
う、リードフレームに付着した合成樹脂バリの除去、エ
ッチング、めっき、水洗、乾燥等の処理に要する時間
は、各々の処理槽において大きく異なるため、めっき
等、処理時間の長い処理槽は、その処理時間に合わせて
リードフレーム保持体の移動方向の長さをリードフレー
ム保持体の１回の間欠的な移動量の整数倍に形成し、他
の処理槽における処理時間に影響を与えることなく処理
時間を長くすることができる。

【０００９】また、処理槽の周壁に形成したスリットか
ら流出した処理液は、処理液循環装置により処理槽に循
環させることができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るめっき装置の
発明の実施の形態を図示の実施例に基づいて説明する。
図１〜図２に示すように、めっき装置は、環状に連ねて
配設した複数の処理槽１と、複数枚のリードフレーム１
０を並列に吊り下げ状態に保持する電極を兼ねたチャッ
ク部３を有し、複数の処理槽１間を順に移動しながら循
環する複数のリードフレーム保持体２と、リードフレー
ム保持体２を処理槽間を順に同期して間欠的に移動させ
る移動装置４からその主要部を構成する。

【００１１】処理槽１は、リードフレーム１０の処理を
行うための適宜の処理液、処理設備を収容した複数の処
理槽を連接したもので、リードフレームに付着した合成
樹脂バリを浮かせる電解脱脂槽１１、電解脱脂槽１１で
浮いた合成樹脂バリを高圧水又はショットブラストによ
り完全に除去するバリ除去槽１２、Ｆｅ系リードフレー
ム用エッチング槽１３ａ、Ｃｕ系リードフレーム用エッ
チング槽１３ｂ、Ｆｅ系リードフレーム用酸活性槽１４
ａ、Ｃｕ系リードフレーム用酸活性槽１４ｂ及び半田め
っき槽１５並びにこれらの槽の間に適宜配設した水洗槽
１６（純水洗槽、純湯洗槽を含む。）、中和槽１７、水
切り槽１８及び乾燥槽１９からなる。

【００１２】このうち、半田めっき槽１５には、電極
（陽極）１５ａを配設し、その一端を電源（図示せず）
に、他端を半田めっき槽１５の処理液中に配設した陽極
部材１５ｂに接続する。陽極部材１５ｂは、めっき金属
からなる棒状のもので、リードフレーム保持体２のチャ
ック部３に並列に吊り下げられたリードフレーム１０を
囲むように複数本、例えば、左右に３本の陽極部材１５
ｂを移動するリードフレーム１０とほぼ平行になるよう
に配設する。これによって、リードフレーム１０のめっ
き処理のむらをなくし、表面に均一なめっき層を形成す
ることができる。

【００１３】この場合において、電解脱脂槽１１や半田
めっき槽１５のような処理時間の長い処理槽は、その処
理時間に合わせてリードフレーム保持体２の移動方向の
長さをリードフレーム保持体２の１回の間欠的な移動量
の整数倍、具体的には、電解脱脂槽１１の場合は６倍
に、半田めっき槽１５の場合は１５倍に形成し、他の処
理槽における処理時間に影響を与えることなく処理時間
を長く、本実施例においては、電解脱脂槽１１の処理時
間を単位処理時間の６倍に、半田めっき槽１５の処理時
間を単位処理時間の１５倍にすることができる。

【００１４】本実施例においては、処理槽１を２列に配
置し、それぞれの両端をリードフレーム保持体２のトラ
バース機構５を介して環状に連接するとともに、電解脱
脂槽１１の前にリードフレーム供給装置６のリードフレ
ーム供給槽６ａを、乾燥槽１９の後ろにリードフレーム
排出装置７のリードフレーム排出槽７ａを設け、さら
に、リードフレーム排出槽７ａとリードフレーム供給槽
６ａの間にリードフレーム保持体２のチャック部３等に
付着した不要の半田めっきの除去を行うためのめっき剥
離槽８を設けるようにしているが、これら処理槽の種
類、配列等は、リードフレーム１０の処理の内容に応じ
て適宜変更可能であり、例えば、処理槽１を１列に配置
し、その両端をリードフレーム保持体２のトラバース機
構を介して環状に連接するように構成することも可能で
ある。

【００１５】リードフレーム供給槽６ａには、供給コン
ベア６ｂを介してリードフレーム配列装置６ｃを連接
し、リードフレーム配列装置６ｃにおいて配列されたリ
ードフレーム１０を、リードフレーム供給槽６ａにおい
てリードフレーム保持体２のチャック部３に並列に吊り
下げ状態に自動的に装着、保持するように構成する。リ
ードフレーム排出槽７ａには、排出コンベア７ｂを連接
し、処理が終わったリードフレーム１０を、リードフレ
ーム排出槽７ａにおいて自動的に離脱、排出するように
構成する。この場合において、リードフレーム保持体２
のチャック部３に並列に吊り下げるリードフレーム１０
の枚数に応じて、リードフレーム供給装置６の供給コン
ベア６ｂ及びリードフレーム配列装置６ｃ並びにリード
フレーム排出装置７の排出コンベア７ｂを２組以上配設
することができ、これにより、リードフレーム１０の装
着、離脱の作業時間を短縮することができる。

【００１６】処理槽１の周壁１ａには、リードフレーム
保持体２が移動するとき、リードフレーム保持体２のチ
ャック部３に並列に吊り下げ状態に保持されたリードフ
レーム１０がそのまま通過し得るスリット１ｂを形成す
る。スリット１ｂは、対象となるリードフレームの大き
さに合わせて形成するが、このスリット１ｂから処理槽
１内の処理液が流出するため、リードフレームの通過を
妨げない必要最小限の大きさとすることが望ましい。な
お、スリット１ｂ部にリードフレームの通過を妨げない
適宜のシール装置を配設することができる。

【００１７】この場合において、スリット１ｂを、図３
（ａ）に示すように、対象となる最も大きいリードフレ
ームの大きさに合わせて形成し、それより薄いリードフ
レームの処理を行う場合には、図３（ｂ）に示すような
狭い幅のスリット１ｂを形成した補助板１ｃを処理槽１
の周壁１ａに配設したり、それより幅の小さいリードフ
レームの処理を行う場合には、図３（ｃ）に示すよう
に、補助板１ｄを処理槽１の周壁１ａに配設することに
よって、めっき装置に汎用性を持たせながら処理槽１内
の処理液の流出量を低減することができる。

【００１８】処理槽１の下方には、処理槽１の周壁１ａ
に形成したスリット１ｂから流出した処理液を処理槽１
に循環させる処理液循環装置９を設ける。処理液循環装
置９は、スリット１ｂから流出した処理液を受ける受槽
９１と、受槽９１に配管９２を介して連接したポンプ９
３と、ポンプ９３から分岐配管９４を介して連接した下
槽９５と、下槽９５から還流する処理液の流れの影響を
小さくするため下槽９５と処理槽１の間に配設した緩衝
板９６からなる。

【００１９】リードフレーム保持体２は、チャック部３
にリードフレーム１０を並列に吊り下げ状態に保持し
て、移動装置４によって複数の処理槽１間を順に移動し
ながら循環するもので、図４に示すように、枠部材２ａ
と、複数の処理槽１に沿って配設した移動装置４のレー
ル４１，４１上を摺動する摺動部材２ｂ，２ｂと、チャ
ック部３を垂下する桟部材２ｃからなる。摺動部材２ｂ
の少なくとも一方は、リードフレーム保持体２がレール
４１，４１から外れず、レールに沿って移動するよう
に、レール４１と嵌合する形状、具体的には、山形のレ
ール４１に嵌合する谷形に形成する。

【００２０】処理槽１間を循環するリードフレーム保持
体２の数は、特に限定的なものではなく、１台のリード
フレーム保持体２を配設して処理を行うインデックス運
転から、間隙なくリードフレーム保持体２を配設して処
理を行う連続運転まで可能で、連続運転を行うことによ
って、処理の都合上リードフレーム保持体２の移動速度
を落としても生産性が低下せず、大量処理を支障なく行
うことができる。

【００２１】リードフレーム保持体２の桟部材２ｃに垂
下するチャック部３は、電極（陰極）を兼ねたもので、
可動接点を介して電源（共に図示せず）に接続される。
このチャック部３は、図５に示すように、互いに対向す
るく字状に曲がった操作部３ａ，３ａの先端にリードフ
レーム１０の把持部３ｂ，３ｂを備えた形状をし、ステ
ンレス鋼板等の導電性を有する弾性材料で形成する。チ
ャック部３に装着されたリードフレーム１０は、把持部
３ｂ，３ｂにより広い面積で、かつ強固に挟持されるた
め、電解脱脂槽１１や半田めっき槽１５において高い電
流密度で電解、めっき処理を行うことができ、処理時間
の短縮を図ることができ、また、バリ除去槽１２におい
て合成樹脂バリを高圧水又はショットブラストにより除
去する際、装着されたリードフレーム１０がチャック部
３から離脱することがない。

【００２２】リードフレーム１０の装着は、チャック部
３の操作部３ａ，３ａの両側に押圧部材３ｃ，３ｃを配
置し（図６（ａ））、押圧部材３ｃ，３ｃにより操作部
３ａ，３ａを挟みつけるようにして操作部３ａ，３ａの
先端の把持部３ｂ，３ｂを開き（図６（ｂ））、把持部
３ｂ，３ｂの間隙にリードフレーム１０の端部を挿入し
た後、押圧部材３ｃ，３ｃの押圧力を解除することによ
り、把持部３ｂ，３ｂ間にリードフレーム１０の端部を
挟持することにより行う（図６（ｃ））。チャック部３
に装着されたリードフレーム１０の離脱は、装着の場合
とは逆に、チャック部３の操作部３ａ，３ａの両側に押
圧部材３ｃ，３ｃを配置し（図６（ｃ））、押圧部材３
ｃ，３ｃにより操作部３ａ，３ａを挟みつけるようにし
て操作部３ａ，３ａの先端の把持部３ｂ，３ｂを開き、
把持部３ｂ，３ｂ間からリードフレーム１０が離脱した
後（図６（ｂ））、押圧部材３ｃ，３ｃの押圧力を解除
することにより行う（図６（ａ））。なお、上記の操作
は、リードフレーム供給槽６ａ及びリードフレーム排出
槽７ａにおいて自動的に行われる。

【００２３】リードフレーム保持体２に並列に設けるチ
ャック部３の数は、本実施例においては４条としている
が、これに限定されず、２条以上の任意の数にすること
ができる。図７は、第２実施例を示すもので、このリー
ドフレーム保持体２には並列に８条のチャック部３を設
けている。

【００２４】移動装置４は、複数のリードフレーム保持
体２を複数の処理槽１に沿って配設したレール４１，４
１上を順に同期して間欠的に所定の距離だけ移動させる
もので、図８に示すように、リードフレーム保持体２に
当接し、移動させる揺動可能な送りレバー４２と、送り
レバー４２を揺動させる揺動シリンダ４３と、送りレバ
ー４２を間欠的に所定の距離だけ移動させる移動シリン
ダ４４から構成する。この移動装置４は、処理槽１の側
方にリードフレーム保持体２の１回の間欠的な移動量だ
け距離をあけて等間隔に配設し、揺動シリンダ４３によ
り送りレバー４２をリードフレーム保持体２に当接する
位置に揺動させた状態で移動シリンダ４４を作動するこ
とにより、リードフレーム保持体２を前方の移動装置４
の位置まで移動させる。その後、揺動シリンダ４３によ
り送りレバー４２をリードフレーム保持体２に当接しな
い位置に揺動させた状態で移動シリンダ４４を復帰さ
せ、前工程から移動してくるリードフレーム保持体２に
備えるようにしたものである。なお、移動装置は、複数
のリードフレーム保持体２を複数の処理槽１間を順に同
期して間欠的に所定の距離だけ移動させることができる
ものであれば、本実施例のものに限定されるものではな
い。

【００２５】上記のように構成されためっき装置により
リードフレーム１０の処理を行うには、リードフレーム
１０をリードフレーム供給槽６ａにおいてチャック部３
に並列に吊り下げ状態に装着、保持したリードフレーム
保持体２を、電解脱脂槽１１、バリ除去槽１２、Ｆｅ系
リードフレーム用エッチング槽１３ａ、Ｃｕ系リードフ
レーム用エッチング槽１３ｂ、Ｆｅ系リードフレーム用
酸活性槽１４ａ、Ｃｕ系リードフレーム用酸活性槽１４
ｂ、半田めっき槽１５、水洗槽１６、中和槽１７、水切
り槽１８及び乾燥槽１９を移動装置４により順に同期し
て間欠的に移動させながら循環させることにより、各処
理槽１において、リードフレームに付着した合成樹脂バ
リの除去、エッチング、めっき、水洗、乾燥等の処理を
行った後、リードフレーム排出槽７ａにおいて、処理が
終わったリードフレーム１０を離脱、排出して１工程を
終了する。なお、リードフレーム保持体２のチャック部
３等に付着した不要の半田めっきは、めっき装置の故障
の原因にもなることから、リードフレーム１０を離脱し
た後、リードフレーム排出槽７ａに連接しためっき剥離
槽８において除去する。

【００２６】ところで、リードフレーム保持体２が移動
するとき、リードフレーム保持体２のチャック部３に並
列に吊り下げ状態に保持された複数枚のリードフレーム
１０は、処理槽１の周壁１ａに形成したスリット１ｂを
通過するため、移動装置４はリードフレーム保持体２を
複数の処理槽１に沿って配設したレール４１，４１上を
水平方向に移動させる。

【００２７】また、処理槽１の周壁に形成したスリット
１ａから流出した処理液は、処理液循環装置９のポンプ
９３により処理槽１に還流させる。

【００２８】

【発明の効果】本発明のめっき装置によれば、電極（陰
極）を兼ねたチャック部に複数枚のリードフレームを並
列に吊り下げ状態に保持した複数のリードフレーム保持
体を、環状に連ねて配設した複数の処理槽間を移動装置
により順に同期して間欠的に移動させながら循環させる
ことにより、リードフレームに付着した合成樹脂バリの
除去、エッチング、めっき、水洗、乾燥等の処理を１つ
の装置で行うことができる。これにより、本発明のめっ
き装置は、リードフレーム保持体を昇降操作することな
く複数の処理槽間をそのまま水平方向に移動させること
ができることと相俟って、生産性が高く、大量処理を支
障なく行うことができる。また、本発明のめっき装置
は、リードフレームの処理数量等に応じて、循環するリ
ードフレーム保持体の数を任意に設定することが可能で
あり、運転方法もインデックス運転から連続運転まで行
うことができる。さらに、本発明のめっき装置は、構造
が簡易でコンパクトであり、また、リードフレーム保持
体がめっき装置本体から分離可能であるため、メンテナ
ンスが容易である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のめっき装置の実施例を示す平面図であ
る。

【図２】図１のIーI断面図である。

【図３】処理槽の実施例を示す図である。

【図４】リードフレーム保持体の実施例を示す図であ
る。

【図５】チャック部の実施例を示す図である。

【図６】リードフレームの装着、離脱方法を示す図であ
る。

【図７】本発明のめっき装置の第２実施例を示し、
（ａ）は正面断面図、（ｂ）はそのIIーII断面図であ
る。

【図８】移動装置の実施例を示す図である。

【符号の説明】１処理槽１ａ周壁１ｂスリット２リードフレーム保持体３チャック部４移動装置５チャック部回転駆動装置６リードフレーム供給装置７リードフレーム排出装置８めっき剥離槽９処理液循環装置１０リードフレーム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開昭58−193829（ＪＰ，Ａ) 特開平６−220695（ＪＰ，Ａ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】環状に連ねて配設した複数の処理槽と、
複数枚のリードフレームを並列に吊り下げ状態に保持す
る電極を兼ねたチャック部を有し、該チャック部にリー
ドフレームを保持したまま、環状に連ねて配設した複数
の処理槽間を順に移動しながら循環する複数のリードフ
レーム保持体と、リードフレーム保持体を処理槽間を順
に同期して間欠的に移動させる移動装置とからなり、処
理槽の周壁にリードフレーム保持体が移動するときリー
ドフレーム保持体に吊り下げ状態に保持した複数枚のリ
ードフレームがそのまま通過し得るスリットを形成した
ことを特徴とするめっき装置。