JP3062202B2

JP3062202B2 - 圧脈波検出装置

Info

Publication number: JP3062202B2
Application number: JP1184126A
Authority: JP
Inventors: 親男原田; 公夫藤川
Original assignee: コーリン電子株式会社
Priority date: 1989-07-17
Filing date: 1989-07-17
Publication date: 2000-07-10
Anticipated expiration: 2015-07-10
Also published as: JPH0349733A

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、圧脈波検出装置に関するものであり、特
に、動脈の方向に沿った最適押圧位置において脈波検出
を自動的に行い得るようにする技術に関するものであ
る。

従来の技術生体の動脈内において心拍に同期して周期的に発生す
る圧力変動波、すなわち圧脈波は血圧値だけでなく循環
器の作動状態を反映しているため、血圧値の測定或いは
循環器の診断などのために生体動脈内の圧脈波を悲観血
的に且つ正確に検出することが望まれる。

これに対し、橈骨動脈のような生体の表皮直下の動脈
に発生する圧脈波を非観血的に検出するためにその動脈
の真上を皮膚上から圧力センサにて押圧する形式の脈波
検出装置が提案されている。たとえば、米国特許第4423
738号に記載されている脈波検出装置がそれである。こ
のような形式の脈波検出装置では、圧力センサを半導体
基板にて構成するとともに、その半導体基板の下面（押
圧面）に凹陥部を局所的に形成することによって微小な
薄肉部を複数箇所形成し且つこの複数箇所薄肉部に発生
する歪を電気信号に変換するピエゾ抵抗素子などの歪検
出素子を設ける一方、上記凹陥部内には皮膚表皮から上
記薄肉部へ圧脈波を伝達するための軟質充填材を充填す
ることにより、半導体基板の押圧面の動脈を横断する方
向に複数箇所の圧力検出素子が配設され、所定の押圧状
態のときにそれら複数箇所の圧力検出素子から得られる
信号により、生体の動脈内の圧力を検出するように構成
されている。そして、橈骨動脈や足背動脈のような、生
体の表皮直下に位置している動脈を表皮の上から適当に
押圧して圧脈波を検出する際には、通常、その動脈の一
部の前記押圧面側に所定の平坦部が形成されるまで押圧
することにより動脈壁の張力の影響を排除して圧脈波の
検出精度を高めるようにしている。

発明が解決すべき課題ところで、上記のような動脈に対する好適な押圧状
態、すなわち動脈の一部に所定の平坦部を形成させる状
態を得るためには、単に、表皮直下の動脈に対する圧力
センサの押圧力を調節するだけでは得られ難く、その動
脈の裏側に適当なバックアップが存在していることが必
要とされる。たとえば、橈骨動脈の場合には、橈骨の一
部が橈骨動脈の裏側に位置していることが必要とされ
る。しかし、上記のように表皮直下の動脈に対する好適
な押圧状態を実現するために必要な適当なバックアップ
（骨など）が存在している部分は、限られた位置しかな
く、動脈に沿った方向において比較的短いため、単に脈
波検出装置が生体に装着されただけでは、前記好適な押
圧位置が得られない場合が多い。このため、脈波検出装
置を再装着する煩雑な作業が必要とされたり、あるいは
動脈の方向における装着位置を選択するために熟練が必
要とされる欠点があった。なお、特開昭63−275320号に
記載されているように、動脈に沿った方向に脈波センサ
を移動させる機構を備えた装置が提案されているが、こ
のような装置であっても、脈波センサを動脈に沿った方
向に移動させる毎に押圧力を一旦零とする必要があるた
め、速やかな脈波検出ができない不都合があった。

本発明は以上の事情を背景として為されたものであ
り、その目的とするところは、表皮直下の動脈の圧脈波
を検出するに際して、一旦装着された脈波検出装置の動
脈に沿った方向の押圧位置の変更をそれ程要しない脈波
検出装置を提供することにある。

課題を解決するための手段斯る目的を達成するための第１発明の要旨とするとこ
ろは、生体の表皮に押圧される圧力センサと、その圧力
センサを前記表皮下の動脈に向かって押圧する押圧手段
とを備えて前記生体に装着され、前記押圧手段による押
圧力を最適値に維持しつつ前記圧力センサからの出力信
号に基づいて前記動脈から発生する圧脈波を採取する形
式の圧脈波検出装置であって、（ａ）前記圧力センサ
は、長手状の凹陥部が形成されることにより形成され且
つ複数個の感圧素子が一列に設けられた長手状の薄肉部
が、前記動脈に沿った方向の複数箇所に設けられた半導
体基板から構成され、（ｂ）その半導体基板は、前記凹
陥部が形成されていない側の平坦面が押圧面とされ、そ
の押圧面が前記生体の表皮上に押圧されるものであり、
且つその半導体基板に形成された前記長手状の凹陥部内
にはその半導体基板の厚みよりも低い高さを備え且つそ
の長手状の凹陥部を横断する突条が複数本形成され、前
記薄肉部のその突条の間に位置する部分において前記感
圧素子が複数個設けられていることにある。

また、上記目的を達成するための第２発明の要旨とす
るところは、生体の表皮に押圧される圧力センサと、そ
の圧力センサを前記表皮下の動脈に向かって押圧する押
圧手段とを備えて前記生体に装着され、前記押圧手段に
よる押圧力を最適値に維持しつつ前記圧力センサからの
出力信号に基づいて前記動脈から発生する圧脈波を採取
する形式の圧脈波検出装置であって、（ａ）前記圧力セ
ンサは、長手状の凹陥部が形成されることにより形成さ
れ且つ複数個の感圧素子が一列に設けられた長手状の薄
肉部が、前記動脈に沿った方向の複数箇所に設けられた
半導体基板から構成され、（ｂ）その半導体基板は、前
記凹陥部が形成されていない側の平坦面が押圧面とさ
れ、その押圧面が前記生体の表皮上に押圧されるもので
あり、且つその半導体基板に形成された前記長手状の凹
陥部内にはその長手状の凹陥部を横断する長穴が複数本
形成され、前記薄肉部のその長穴の間に位置する部分に
おいて前記感圧素子が複数個設けられていることにあ
る。

作用および発明の効果上記請求項１および請求項２に係る発明によれば、圧
力センサは、長手状の凹陥部が形成されることにより形
成され且つ複数個の感圧素子が一列に設けられた長手状
の薄肉部が、動脈に沿った方向の複数箇所に設けられた
半導体基板から構成されているので、それら感圧素子の
うちの最適位置に位置するものを選択することにより、
脈波検出装置の再装着を要することなく、また押圧手段
により圧力センサの押圧力を一旦零にして圧力センサを
移動させることも必要なく、正確な脈波検出を速やかに
行うことができる。

また、半導体基板の凹陥部が形成されていない側の平
坦な面が押圧面とされ、その押圧面が生体の皮膚上に押
圧されることにより、生体内から充填剤を介さないで薄
肉部へ直接伝達された圧脈波が、その薄肉部に設けられ
た感圧素子によって検出されるので、軟質充填材と半導
体基板との間の熱膨張差に起因する脈波検出精度の低下
を解消することができる。

実施例以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明
する。

第２図は、本発明の一実施例である脈波検出装置を示
す斜視図である。ハウジング10は、樹脂製であって全体
として容器状を成し、長手方向の側面の基本形状が三日
月状に形成されているとともに、底壁の幅方向中間部が
長手方向に沿って所定形状に突き出した形状とされてい
る。このようなハウジング10は、後述の第４図に示すよ
うに、その開口端がたとえば手首などの生体の一部にお
いてその表皮12に対向する状態で装着バンド14により着
脱可能に取り付けられるようになっている。

第３図および第４図に詳しく示すように、減速ギアユ
ニット22をハウジング10に固定するために、断面Ｌ字形
の樹脂製の支持プレート24がねじ部材23により減速ギア
ユニット22に固定されており、その一面から突き出す一
対のブラケット26（一方のみ図示）がねじ部材25により
ハウジング10の相対向する側壁18,20に固着されてい
る。減速ギアユニット22は、第１歯車30と噛み合う第２
歯車32と、第２歯車32と同軸に固定された第３歯車34
と、第３歯車34と噛み合う第４歯車36と、第４歯車36と
同軸に固定された第５歯車38と、第５歯車38と噛み合う
状態で駆動モータ40の出力軸42に固定された第６歯車44
とを金属製の枠部材28内にそれぞれ回転可能に備えてい
る。上記第１歯車30は、枠部材28に嵌め着けられた樹脂
製の軸受46を貫通した送りねじ48の一端部に固定されて
いる。これにより、送りねじ48と駆動モータ40とが作動
的に連結され、駆動モータ40により送りねじ48が回転駆
動されるようになっている。なお、上記駆動モータ40
は、枠部材28に固定されている。

ハウジング10の端部には、偏心軸受50を嵌め着けるた
めの穴52が形成されており、前記送りねじ48の他端部は
その偏心軸受50により支持されている。これにより送り
ねじ48は、回転可能な状態でハウジング10の幅方向中央
に位置させられている。上記偏心軸受50は、第５図に詳
しく示すように、前記穴52に嵌め入れられる円筒部54
と、円筒部54の端部に形成された大径のフランジ部56
と、円筒部54およびフランジ部56の軸芯からずれた位置
に形成された偏心穴58とを備えている。また、フランジ
部56の端面には、回転位置調整工具の先端部と係合する
ための細溝60が径方向に沿って形成されている。したが
って、この偏心軸受50の細溝60に調整工具を嵌め入れて
回転させることにより、偏心穴58に嵌合された送りねじ
48の他端部が第４図中上下および左右方向に変位させら
れるようになっている。

押圧装置66は、第３図および第４図に示すように、送
りねじ48に螺合された螺合部材68およびその螺合部材68
の下側にダイアフラム70を介して固定された角筒状部材
72とから構成されている。そして、ダイアフラム70の中
央部には、脈波センサ74が固定されている。上記螺合部
材68とダイアフラム70とによって圧力室76が形成される
ので、この圧力室76に図示しない圧力調節装置から所定
の圧力が供給されると、上記脈波センサ74が圧力室76の
圧力に応じた押圧力で生体の表皮12に向かって押圧され
るようになっている。脈波センサ74の押圧面78には、圧
力センサとして機能するものであって、後述のように、
半導体歪抵抗や感圧ダイオード等の複数の圧力検出素子
が配列された半導体基板が設けられており、橈骨動脈80
の壁の一部が平坦になるように押圧された状態で、心拍
に同期して発生する動脈80内の圧脈波が検出されるよう
になっている。

上記押圧装置66は、外周形状が四角形状を成してお
り、その両側面には、第３図に示すように、一対の案内
溝82が設けられている。一方、ハウジング10の側壁18,2
0の内壁面であって上記両案内溝82と対応する位置に
は、第３図および第４図に示すように、一対のガイドレ
ール84が設けられており、押圧装置66はその案内溝82お
よびガイドレール84により橈骨動脈80と略直交する方向
において所定の移動ストローク内でがたつきなく直線的
に案内されるようになっている。

上記のように、本実施例では、一端に第１歯車30が固
定されている送りねじ48の他端部が、偏心軸受50により
回転可能に支持されていることから、その偏心軸受50の
軸まわりの回転位置を工具などを用いて変更することに
より、送りねじ48の他端部の支持位置が移動させられ、
それに伴って送りねじ48の一端部に固定された第１歯車
30の軸芯位置が移動させられる。すなわち、送りねじ48
は、軸受け46を支点として僅かに回動させられるのであ
る。これにより、組み立てに際して減速ギヤユニット22
の第２歯車32と送りねじ48の一端部に固定された第１歯
車30との軸心間距離が調整されてそれらの噛合状態が良
好に設定される。したがって、第１歯車30と第２歯車32
との間の軸心間距離のばらつきに起因して脈波センサ74
が円滑に移動され得なかったり、或いは異常摩耗に起因
して耐久性が損なわれたりすることが解消されるととも
に、第１歯車30と第２歯車32との寸法誤差を解消するた
めに各構成部品の公差を小さくする必要がないので、装
置が高価になることがない。

前記脈波センサ74は、第６図に示すように、導体が積
層配線されたセラミック基板90と、セラミック製或いは
樹脂製などの電気的絶縁材料から構成されてセラミック
基板90の中央部に固定されたスペーサ92と、そのスペー
サ92により支持されて生体の皮膚に押圧される押圧板94
とを備えている。この押圧板94は、比較的剛性の高いバ
ックアップ板96と、このバックアップ板96の一面に接着
された半導体基板98とから構成されている。上記バック
アップ板96と半導体基板98とは、エポキシ樹脂或いはシ
リコンゴムなどにより好適に接着される。上記バックア
ップ板96は、ガラス製或いは半導体基板98と同じ半導体
製の厚肉板などが用いられる。上記バックアップ板96と
半導体基板98との間の熱膨張差の影響をなくすために
は、接着剤としてエポキシ樹脂よりシリコンゴムを用い
ることが一層効果的であり、また、バックアップ板96と
してはガラス製より半導体製厚肉板を用いることが一層
効果的である。したがって、半導体基板98と同じ半導体
製のバックアップ板96の上にシリコンゴムを用いて半導
体基板98を接着することが最も好ましい組み合わせであ
る。

本実施例では、半導体基板98はシリコン単結晶板であ
り、第１図に示すように、その押圧面には、接触圧を検
知するために、一定の間隔αの複数個の感圧素子100か
ら成る１本の素子列101が複数本並列に配列されてい
る。本実施例の脈波検出装置では、上記素子列101は、
手首に装着されたとき橈骨動脈80に直角な方向となるよ
うに、第１図のｘ方向に平行に配設されるとともに、橈
骨動脈80に沿った方向、すなわち第１図のｙ方向におい
て一定の間隔βを隔てて配設されている。たとえば、上
記１本の素子列101内では、各感圧素子100が100μｍピ
ッチで配設され、また、上記素子列101は、125μｍピッ
チで配設されている。このため半導体基板98の押圧面で
は、感圧素子100が、橈骨動脈80に直交するｘ方向およ
び橈骨動脈80と平行なｙ方向においてそれぞれ一定の間
隔でマトリックス状に配設されているのである。

第７図は、上記半導体基板98およびバックアップ板96
の構造を説明するための第１図のVII−VII視断面図であ
り、第８図は、第１図のVIII−VIII視断面図である。第
７図および第８図において、500μｍ乃至1500μｍの厚
みとされることにより剛性が高められたバックアップ板
96には、スペーサ92およびセラミック基板90の中央穴を
通して半導体基板98の裏面（非押圧側の面）に大気圧を
導くための２本の貫通穴102が設けられている。半導体
基板98は、300ミクロン程度の厚みを備えており、その
裏面に長手状の凹陥部104が形成されることにより、厚
みが数乃至十数ミクロンの薄肉部106が形成されてい
る。この薄肉部106には、半導体基板98の厚みよりも低
い高さを備え且つ上記長手状の凹陥部104を横断する突
条108が一定の間隔で複数本形成され、上記薄肉部106の
突条108の間に位置する部分において前記感圧素子100が
複数設けられているのである。本実施例においては、上
記突条108は数十ミクロンの幅寸法を備え、200乃至250
ミクロンの間隔で配設されている。上記突条108の高さ
は、クロストークを防止するために適宜決定される。

第９図は、半導体基板98の押圧面を正面から見た図で
あり、上記突条108の間の薄肉部106に配設されている感
圧素子100の構成例を示している。図において、４つの
歪抵抗素子110a、110b、110c、110dは、たとえば所定の
不純物の拡散或いは注入などの良く知られた半導体製造
手法を用いて形成されている。また、上記４つの歪抵抗
素子110a、110b、110c、110dの電橋を構成するための導
体112a、112b、112c、112dも、所定の不純物の拡散或い
は注入などの良く知られた半導体製造手法を用いて形成
されている。上記歪抵抗素子110a、110b、110c、110dお
よび導体112a、112b、112c、112dにより構成された電橋
は、それが配設されている薄肉部106に加えられた歪に
対応した電気信号を発生するので、１つの感圧素子100
を構成しているのである。なお、上記歪抵抗素子110a、
110b、110c、110dおよび導体112a、112b、112c、112d
は、半導体基板98の不純物濃度を局所的に高めることに
より構成されているので、通常は目視できない。

上記半導体基板98は、たとえば、次のように製作され
る。先ず、半導体ウエハに長手状パターンのレジストを
塗着して第１エッチングを行い且つレジスト除去を行う
ことにより比較的浅い長手状凹陥部を形成する。この比
較的浅い長手状凹陥部の縦寸法および横寸法は前記凹陥
部104と略同じである。次いで、上記長手状パターンの
長手方向において複数に分割されたパターンが上記比較
的浅い長手状凹陥部内に位置するようにレジストを塗着
して第２エッチングを行い且つレジスト除去を行うこと
により、前述の凹陥部104が形成されるのである。

前記セラミック基板90には、積層導体配線が設けられ
ており、それらの配線中にマルチプレクサやプリアンプ
用の半導体チップが装着され且つワイヤボンディングさ
れている。また上記のように薄肉部106において感圧素
子100がマトリックス状に複数設けられる結果、各感圧
素子100の電源端子や各感圧素子100からの出力端子が半
導体基板98の端縁に沿って配列されており、それらの端
子列とセラミック基板90に設けられた端子列との間は、
第６図に示すように、たとえば100ミクロン間隔の導線
パターンを備えたフラットケーブル120により接続され
ている。このフラットケーブル120は、たとえば、ポリ
イミド樹脂フィルムの片面に貼着された銅箔をエッチン
グし且つ端子部分に金またはその合金をメッキすること
により構成されており、半導体基板98では、その押圧面
に配列されたバンプにフラットケーブル120の一端部が
熱圧着または超音波圧着によって接続される。そして、
上記のように固定され且つ接続された半導体基板98の押
圧面は、必要に応じてコーティングされる。

以上のように構成された脈波検出装置は、感圧素子10
0が動脈80の真上に位置し且つ素子列101の配列方向が動
脈80と直交するｘ方向となるように、手首に装着され
る。そして、図示しない起動釦が操作されると、先ず、
圧力室76内に空気が圧送されて脈波センサ74が表皮12に
緩やかな速度で押圧される。第10図はこの状態を示して
いる。図において、122は橈骨、124は尺骨、126は腱で
あり、橈骨動脈80が橈骨122の一部128によりバックアッ
プされている。上記のように表皮12直下の橈骨動脈80に
対する好適な押圧状態を実現するために必要な適当なバ
ックアップ128が存在している部分は、限られた位置し
かなく、橈骨動脈80に沿った方向において比較的短いた
め、その方向において単一の場所で脈波検出するだけで
は、前記好適な検出状態が得られない場合が多いのであ
る。

上記の押圧過程においては、各感圧素子100からの圧
力信号が図示しない制御装置により逐次読み込まれてお
り、この制御装置は、押圧力に伴って変化する各部の圧
力変動に基づいて最適押圧力を決定するとともに、ｙ方
向において所定間隔で並列している複数本の素子列101
のうちの最適位置に位置するものを決定する。たとえ
ば、最適押圧力に関しては、特願昭63−263562号の決定
方法に記載されているように、感圧素子100からの信号
の振幅のうちの下ピーク値の押圧力に関連して変化する
曲線の平坦部（プラトー）内から決定される。また、素
子列101の決定に関しては、たとえばある素子列101を構
成する各感圧素子100からの信号のうちの最大ピーク値
中の局小値（特開昭63−293424号）が最も明確に形成さ
れる素子列101が選択される。

上述のように、本実施例によれば、半導体基板98に
は、長手状の凹陥部104により形成され且つ複数個の感
圧素子100が一列に設けられた長手状の薄肉部106が、橈
骨動脈80に平行なＹ方向に複数本一定の間隔で配設され
た素子列101が設けられているので、それら圧力検出用
素子列101のうちの最適位置に位置するものを選択する
ことにより、脈波検出装置の再装着を要することなく、
また押圧装置66により脈波センサ74の押圧力を一旦零に
してから脈波センサ74を移動させることも必要なく、正
確な脈波検出を速やかに行うことができるのである。

また、半導体基板98の凹陥部104が形成されていない
側の平坦な面が押圧面78とされ、その押圧面78が表皮12
に押圧されることにより、生体内から充填材を介さない
で薄肉部106へ直接伝達された圧脈波が、その薄肉部106
に設けられた感圧素子100によって検出されるので、軟
質充填材と半導体基板との間の熱膨張差に起因する脈波
検出精度の低下を解消することができる。

また、本実施例によれば、脈波センサ74をｙ方向へ駆
動させる位置決め機構が不要となるので、脈波検出装置
が小型になるとともに、そのような位置決め機構による
位置精度よりも高い位置精度（素子列101のｙ方向の配
列精度）にて測定できるので、高い測定精度が得られる
利点がある。

また、本実施例の脈波検出装置によれば、脈波センサ
74の押圧面において橈骨動脈80に平行なｙ方向において
複数本の素子列101が一定の間隔で配設されているの
で、橈骨動脈80の脈波伝播速度が算出できる利点があ
る。この脈波伝播速度は、生体の動脈硬化度などの指標
として利用できる。

以上、本発明の一実施例を図面に基づいて説明した
が、本発明はその他の態様においても適用される。

また、前述の実施例では、橈骨動脈80について説明さ
れていたが、足背動脈の圧脈波を検出する装置などにも
本発明が適用され得る。

また、前述の実施例の感圧素子100の間には、前記の
突条108に替えて、その突条108と同様の幅および長さの
複数本の長穴がレーザビーム照射により貫通した状態で
形成されてもよい。このようにすれば、クロストークが
一層抑制される。

また、前述の半導体基板98にはシリコン単結晶板が用
いられていたが、ガリウム−砒素などの化合物半導体の
単結晶板が用いられてもよい。

また、前述の実施例では、押圧装置66により脈波セン
サ74が表皮12に押圧されるように構成されていたが、押
圧装置66に替えて、圧縮コイルスプリングや圧縮性気体
が封入された空気ばねなどの押圧手段であってもよい。
また、ハウジング10を手首に装着するバンド14にその張
力を所定範囲に維持することにより脈波センサ66を押圧
する引張手段を備えてもよい。この場合にはバンド14自
体が押圧手段としても機能する。

また、バンド14に替えて、ハウジング10を表皮12に装
着する接着手段が設けられてもよい。

また、前述の実施例では、ねじ軸48およびそれを回転
駆動する駆動モータ40を含む位置決め手段により脈波セ
ンサ74を橈骨動脈80に直角な方向、すなわちｘ方向に移
動させるようになっていたが、半導体基板98の押圧面に
おいて圧力検出素子100が配設されるマトリックスの面
積のｘ方向の幅寸法が大きい場合には上記位置決め手段
が削除されてもよい。

なお、上述したのはあくまでも本発明の一実施例であ
り、本発明はその目的を逸脱しない範囲で種々変更が加
えられ得るものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、第６図の押圧板を示す斜視図である。第２図
は、本発明の一実施例の脈波検出装置を示す斜視図であ
る。第３図は第２図の装置の横断面を示す図であり、第
４図は第２図の装置の縦断面を示す図である。第５図は
第２図の装置に用いられる偏心軸受を示す斜視図であ
る。第６図は第２図の実施例の脈波センサを詳しく示す
要部断面図である。第７図および第８図は、第６図の押
圧板の構成を詳しく示す断面図であって、第７図は第６
図のVII−VII視断面、第８図は第６図のVIII−VIII視断
面図である。第９図は、第１図の感圧素子の構成を説明
する図である。第10図は、第４図の脈波センサの押圧状
態を説明する図である。 12:表皮 66:押圧装置（押圧手段） 74:脈波センサ（圧力センサ） 78:押圧面 98:半導体基板 100:感圧素子 104:凹陥部 106:薄肉部 108:突条

フロントページの続き (56)参考文献特開昭63−294832（ＪＰ，Ａ) 特開昭59−46830（ＪＰ，Ａ) 特開昭62−275320（ＪＰ，Ａ) 実開昭59−20136（ＪＰ，Ｕ) 米国特許4423738（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) A61B 5/022 - 5/0295 実用ファイル（ＰＡＴＯＬＩＳ) 特許ファイル（ＰＡＴＯＬＩＳ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】生体の表皮に押圧される圧力センサと、該
圧力センサを前記表皮下の動脈に向かって押圧する押圧
手段とを備えて前記生体に装着され、前記押圧手段によ
る押圧力を最適値に維持しつつ前記圧力センサからの出
力信号に基づいて前記動脈から発生する圧脈波を採取す
る形式の圧脈波検出装置であって、前記圧力センサは、長手状の凹陥部が形成されることに
より形成され且つ複数個の感圧素子が一列に設けられた
長手状の薄肉部が、前記動脈に沿った方向の複数箇所に
設けられた半導体基板から構成され、該半導体基板は、その凹陥部が形成されていない側の平
坦面が押圧面とされ、該押圧面が前記生体の表皮上に押
圧されるものであり、且つ該半導体基板に形成された前
記長手状の凹陥部内には該半導体基板の厚みよりも低い
高さを備え且つ該長手状の凹陥部を横断する突条が複数
本形成され、前記薄肉部の該突条の間に位置する部分に
おいて前記感圧素子が複数個設けられていることを特徴とする脈波検出装置。
【請求項２】生体の表皮に押圧される圧力センサと、該
圧力センサを前記表皮下の動脈に向かって押圧する押圧
手段とを備えて前記生体に装着され、前記押圧手段によ
る押圧力を最適値に維持しつつ前記圧力センサからの出
力信号に基づいて前記動脈から発生する圧脈波を採取す
る形式の圧脈波検出装置であって、前記圧力センサは、長手状の凹陥部が形成されることに
より形成され且つ複数個の感圧素子が一列に設けられた
長手状の薄肉部が、前記動脈に沿った方向の複数箇所に
設けられた半導体基板から構成され、該半導体基板は、その凹陥部が形成されていない側の平
坦面が押圧面とされ、該押圧面が前記生体の表皮上に押
圧されるものであり、且つ該半導体基板に形成された前
記長手状の凹陥部内には該長手状の凹陥部を横断する長
穴が複数本形成され、前記薄肉部の該長穴の間に位置す
る部分において前記感圧素子が複数個設けられていることを特徴とする脈波検出装置。