JP3059238B2 - 超純水製造ラインの運転方法及び分離膜モジュ−ル - Google Patents
超純水製造ラインの運転方法及び分離膜モジュ−ルInfo
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は中空糸膜型分離膜モジュ
−ルを用いた超純水製造ラインの運転方法及び中空糸膜
型分離膜モジュ−ルに関するものである。
−ルを用いた超純水製造ラインの運転方法及び中空糸膜
型分離膜モジュ−ルに関するものである。
【0002】
【従来の技術】精密濾過膜、限外濾過膜、パ−ベ−パレ
−ション膜、気液分離膜、気体分離膜を使用した分離膜
モジュ−ルの内、中空糸膜を使用した分離膜モジュ−ル
においては、モジュ−ル単位容積あたりの膜面積を大き
くし得、有利である。
−ション膜、気液分離膜、気体分離膜を使用した分離膜
モジュ−ルの内、中空糸膜を使用した分離膜モジュ−ル
においては、モジュ−ル単位容積あたりの膜面積を大き
くし得、有利である。
【0003】近来、分離膜モジュ−ルの使用範囲は広
く、超純水のような極めてクリ−ンな水の製造から、水
道水濾過,果汁濾過,家庭排水の濾過等の濁質の液体分
離に至っている。
く、超純水のような極めてクリ−ンな水の製造から、水
道水濾過,果汁濾過,家庭排水の濾過等の濁質の液体分
離に至っている。
【0004】上記の超純水においては、主に、LSI製
造プロセスのウエハ−加工、マスク製作、製膜工程、写
真製版工程、エッチング工程、その他の各種洗浄工程で
のウエハ−に残る微粒子などの洗浄除去に使用されてい
る。而して、洗滌水中にイオン,微粒子,微生物,有機
物などが存在すると、ウエハ−に形成する酸化膜,多結
晶膜,配線などに悪影響を招来する。例えば、細菌がウ
エハ−に付着していると細菌の主成分である炭素,リ
ン,カリウムなどが焼成されて炭素を析出してショ−ト
を惹起し、リンなどの拡散によってp型,n型半導体に
異常をもたらし、また、LSIの集積度に比べて粒子径
の大なる粒体の付着もショ−トを惹起する。
造プロセスのウエハ−加工、マスク製作、製膜工程、写
真製版工程、エッチング工程、その他の各種洗浄工程で
のウエハ−に残る微粒子などの洗浄除去に使用されてい
る。而して、洗滌水中にイオン,微粒子,微生物,有機
物などが存在すると、ウエハ−に形成する酸化膜,多結
晶膜,配線などに悪影響を招来する。例えば、細菌がウ
エハ−に付着していると細菌の主成分である炭素,リ
ン,カリウムなどが焼成されて炭素を析出してショ−ト
を惹起し、リンなどの拡散によってp型,n型半導体に
異常をもたらし、また、LSIの集積度に比べて粒子径
の大なる粒体の付着もショ−トを惹起する。
【0005】従って、超純水の特性は、微粒子数、溶存
酸素量、溶存炭素量、生菌数等の諸点において厳格に規
制されており、近来においては、LSI集積度のアップ
によりますます厳格化されつつある。
酸素量、溶存炭素量、生菌数等の諸点において厳格に規
制されており、近来においては、LSI集積度のアップ
によりますます厳格化されつつある。
【0006】このように、超純水の製造においては、超
高品質が要求されるために分離膜モジュ−ルの操作にお
いても、細心の注意を払う必要がある。このため、超純
水製造用分離膜モジュ−ルの初期運転においては、配管
内の付着ゴミ,油脂がモジュ−ルに侵入してモジュ−ル
の膜面が汚損されることのないように、ダミ−膜モジュ
−ルを使用して試運転を行い、而るのち、超純水製造用
分離膜モジュ−ルを設置して正規運転を行っている。
高品質が要求されるために分離膜モジュ−ルの操作にお
いても、細心の注意を払う必要がある。このため、超純
水製造用分離膜モジュ−ルの初期運転においては、配管
内の付着ゴミ,油脂がモジュ−ルに侵入してモジュ−ル
の膜面が汚損されることのないように、ダミ−膜モジュ
−ルを使用して試運転を行い、而るのち、超純水製造用
分離膜モジュ−ルを設置して正規運転を行っている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、本発明
者の実験結果によれば、正規運転の直後において、モジ
ュ−ル内へのゴミの流入が小量ではあるが、避けられな
い。この理由としては、正規の超純水製造用分離膜モジ
ュ−ルを配管ラインに接続する際に、配管内に付着・残
存していたゴミが振動、衝撃などのために脱落し、正規
運転の直後にこの脱落ゴミが原水と共にモジュ−ル内に
侵入するケ−スが考えられる。
者の実験結果によれば、正規運転の直後において、モジ
ュ−ル内へのゴミの流入が小量ではあるが、避けられな
い。この理由としては、正規の超純水製造用分離膜モジ
ュ−ルを配管ラインに接続する際に、配管内に付着・残
存していたゴミが振動、衝撃などのために脱落し、正規
運転の直後にこの脱落ゴミが原水と共にモジュ−ル内に
侵入するケ−スが考えられる。
【0008】而るに、モジュ−ル内での原水の流速は高
速であり、かかる高速下で粒子径の大なるゴミが膜面に
衝突すると膜面が傷付き、膜破損の発端となる可能性が
ある。特に、中空糸膜モジュ−ルにおいては、モジュ−
ルの単位容積あたりの膜面積が大であり、従って、原水
の流路断面積に対する膜面積の割合が大であって、上記
の侵入ゴミが膜に接触する確率が大であるから、ないが
しろにできない重要な問題である。
速であり、かかる高速下で粒子径の大なるゴミが膜面に
衝突すると膜面が傷付き、膜破損の発端となる可能性が
ある。特に、中空糸膜モジュ−ルにおいては、モジュ−
ルの単位容積あたりの膜面積が大であり、従って、原水
の流路断面積に対する膜面積の割合が大であって、上記
の侵入ゴミが膜に接触する確率が大であるから、ないが
しろにできない重要な問題である。
【0009】本発明の目的は、超純水製造ラインを安全
に運転して超純水の水質を確実に所定の水質に保証でき
る超純水製造ラインの運転方法及び簡易構造の分離膜モ
ジュ−ルを提供することにある。
に運転して超純水の水質を確実に所定の水質に保証でき
る超純水製造ラインの運転方法及び簡易構造の分離膜モ
ジュ−ルを提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明に係る超純水製造
ラインの運転方法は、超純水製造ラインをダミ−膜モジ
ュ−ルを用いて試運転したのち、正規膜モジュ−ルを用
いて正規運転する方法において、正規膜モジュ−ルの原
水流入部に、粒子径0.01mm以上の粒子を阻止する
プレフィルタ−を内蔵させることを特徴とする構成であ
る。
ラインの運転方法は、超純水製造ラインをダミ−膜モジ
ュ−ルを用いて試運転したのち、正規膜モジュ−ルを用
いて正規運転する方法において、正規膜モジュ−ルの原
水流入部に、粒子径0.01mm以上の粒子を阻止する
プレフィルタ−を内蔵させることを特徴とする構成であ
る。
【0011】本発明に係る分離膜モジュ−ルは、上記超
純水製造ラインの運転方法において正規膜モジュ−ルと
して使用する中空糸膜モジュ−ルであり、粒子径0.0
1mm以上の粒子を阻止するプレフィルタ−を原水流入
部に内蔵させたことを特徴とする構成である。
純水製造ラインの運転方法において正規膜モジュ−ルと
して使用する中空糸膜モジュ−ルであり、粒子径0.0
1mm以上の粒子を阻止するプレフィルタ−を原水流入
部に内蔵させたことを特徴とする構成である。
【0012】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面により説明す
る。図1は本発明において使用する膜モジュ−ルの一例
を示す説明図である。図1において、1はモニタリング
が可能な透明な筒状ケ−スであり、例えば、透明なポリ
スルホンを使用することができる。11は濃縮原水の流
出口である。2は筒状ケ−ス1内に収容した中空糸膜の
束状体であり、中空糸膜には、例えば、ポリスルホンを
使用でき、通常、下限粒子径0.001μmの微粒子の
通過を阻止し得る限外濾過膜又は精密濾過膜が使用され
る。
る。図1は本発明において使用する膜モジュ−ルの一例
を示す説明図である。図1において、1はモニタリング
が可能な透明な筒状ケ−スであり、例えば、透明なポリ
スルホンを使用することができる。11は濃縮原水の流
出口である。2は筒状ケ−ス1内に収容した中空糸膜の
束状体であり、中空糸膜には、例えば、ポリスルホンを
使用でき、通常、下限粒子径0.001μmの微粒子の
通過を阻止し得る限外濾過膜又は精密濾過膜が使用され
る。
【0013】3は筒状ケ−ス1の一端内部に注型した樹
脂隔壁(例えば、エポキシ樹脂隔壁)であり、ケ−ス1
と中空糸膜2との間をシ−ルし、中空糸膜2の一端を隔
壁3の外面に開口させてある。4は中空糸膜2の束状体
の他端に注型した封止材(例えば、エポキシ樹脂)であ
り、中空糸膜2の他端を閉塞している。5は筒状ケ−ス
1の他端にパッキング6によって取着したプレフィルタ
−であり、粒子径0.01mm以上の粒体の通過を阻止
し得る孔径としてある。このプレフィルタ−5には、例
えば、プラスチック網(例えば、ポリスルホン網)、金
属網などを使用できる。
脂隔壁(例えば、エポキシ樹脂隔壁)であり、ケ−ス1
と中空糸膜2との間をシ−ルし、中空糸膜2の一端を隔
壁3の外面に開口させてある。4は中空糸膜2の束状体
の他端に注型した封止材(例えば、エポキシ樹脂)であ
り、中空糸膜2の他端を閉塞している。5は筒状ケ−ス
1の他端にパッキング6によって取着したプレフィルタ
−であり、粒子径0.01mm以上の粒体の通過を阻止
し得る孔径としてある。このプレフィルタ−5には、例
えば、プラスチック網(例えば、ポリスルホン網)、金
属網などを使用できる。
【0014】本発明により超純水製造ラインを運転する
には、ダミ−膜モジュ−ルによる試運転後、上記したプ
レフィルタ−を取り付けた正規の膜モジュ−ルをダミ−
膜モジュ−ルと置換してラインを再運転して正規運転に
移行する。この正規膜モジュ−ルの設置時、ライン配管
内面の付着・残存ゴミが振動、衝撃などのために脱落
し、この残存ゴミが再運転によりモジュ−ルに向かって
流れてきても、0.01mm以上の粒子径のゴミはプレ
フィルタ−5で捕獲でき、0.01mm以上の粒子径の
ゴミが中空糸膜に衝突するのを排除できる。従って、膜
面へのゴミの衝突による膜面の傷付きを防止でき(0.
01mm以下の粒子径のゴミでは膜の傷付きは生じな
い)、試運転により達成したとおりの所定水質の超純水
を確実に得ることができる。
には、ダミ−膜モジュ−ルによる試運転後、上記したプ
レフィルタ−を取り付けた正規の膜モジュ−ルをダミ−
膜モジュ−ルと置換してラインを再運転して正規運転に
移行する。この正規膜モジュ−ルの設置時、ライン配管
内面の付着・残存ゴミが振動、衝撃などのために脱落
し、この残存ゴミが再運転によりモジュ−ルに向かって
流れてきても、0.01mm以上の粒子径のゴミはプレ
フィルタ−5で捕獲でき、0.01mm以上の粒子径の
ゴミが中空糸膜に衝突するのを排除できる。従って、膜
面へのゴミの衝突による膜面の傷付きを防止でき(0.
01mm以下の粒子径のゴミでは膜の傷付きは生じな
い)、試運転により達成したとおりの所定水質の超純水
を確実に得ることができる。
【0015】上記において、プレフィルタ−5の抵抗は
小さく、例えば、膜モジュ−ルは推進圧力1kg/cm2
で、毎時2〜8m3/hrの処理を行うが、このプレフ
ィルタ−なら、ここで生じる圧力損失はモジュ−ル本体
の1%以内に抑えることができる。
小さく、例えば、膜モジュ−ルは推進圧力1kg/cm2
で、毎時2〜8m3/hrの処理を行うが、このプレフ
ィルタ−なら、ここで生じる圧力損失はモジュ−ル本体
の1%以内に抑えることができる。
【0016】上記の正規運転後、モジュ−ルよりも上流
の配管内からモジュ−ルに向かってゴミが流れてくるの
は限られた時間内であり、正規運転後一定時間(通常、
1ヵ月)を経過すれば、その流れはなくなる。従って、
この一定時間経過後は、プレフィルタ−5を取り外せる
よう着脱自在とすることもできる。このように、プレフ
ィルタ−5を一時的に使用する場合、プレフィルタ−に
はモジュ−ルに要求させる耐熱性,耐圧性などは必ずし
も必要ではない。耐圧性については、モジュ−ルの初期
運転圧力に耐え得る最低限の耐圧性を付与しておけば充
分であり、モジュ−ルの耐圧性(初期運転圧力の3倍程
度)の1/2〜1/3程度の耐圧性を付与すればよい。
の配管内からモジュ−ルに向かってゴミが流れてくるの
は限られた時間内であり、正規運転後一定時間(通常、
1ヵ月)を経過すれば、その流れはなくなる。従って、
この一定時間経過後は、プレフィルタ−5を取り外せる
よう着脱自在とすることもできる。このように、プレフ
ィルタ−5を一時的に使用する場合、プレフィルタ−に
はモジュ−ルに要求させる耐熱性,耐圧性などは必ずし
も必要ではない。耐圧性については、モジュ−ルの初期
運転圧力に耐え得る最低限の耐圧性を付与しておけば充
分であり、モジュ−ルの耐圧性(初期運転圧力の3倍程
度)の1/2〜1/3程度の耐圧性を付与すればよい。
【0017】上記プレフィルタ−5はモジュ−ルに取り
付けたままにしておくこともでき、この場合は、モジュ
−ルと同程度の耐熱性(通常,95℃)、耐圧性を付与
する必要がある。
付けたままにしておくこともでき、この場合は、モジュ
−ルと同程度の耐熱性(通常,95℃)、耐圧性を付与
する必要がある。
【0018】本発明の中空糸膜モジュ−ルにおいては、
粒子径の大なるゴミが膜面に衝突するのを防止でき、膜
の傷付きを排除できる。従って、膜強度とプレフィルタ
−5によって阻止すべき粒体の粒子径とは密接な関係が
あり、膜の材質如何によっては、1.0mm以上の粒子
を阻止するような孔径にしてもよい。
粒子径の大なるゴミが膜面に衝突するのを防止でき、膜
の傷付きを排除できる。従って、膜強度とプレフィルタ
−5によって阻止すべき粒体の粒子径とは密接な関係が
あり、膜の材質如何によっては、1.0mm以上の粒子
を阻止するような孔径にしてもよい。
【0019】本発明の中空糸膜モジュ−ルによれば、ダ
ミ−膜モジュ−ルにより試運転を行った後、正規運転後
でのモジュ−ルへの粒子径の大なる異物(0.01mm
〜1.0mm程度以上)の流入を防止でき、膜面の傷付
きを回避できる。このことは、次ぎの試験結果からも、
確認できる。
ミ−膜モジュ−ルにより試運転を行った後、正規運転後
でのモジュ−ルへの粒子径の大なる異物(0.01mm
〜1.0mm程度以上)の流入を防止でき、膜面の傷付
きを回避できる。このことは、次ぎの試験結果からも、
確認できる。
【0020】試験結果 内径100mmのポリスルホン筒状ケ−ス内に、外径1
mmのポリスルホン中空糸膜を5000本収容し、該ケ
−スの一端にエポキシ樹脂で隔壁を注型し、中空糸膜束
の他端をエポキシ樹脂で封止し、ケ−スの他端に0.1
mmピッチのポリスルホン製網のプレフィルタ−を取り
付けた本発明品とプレフィルタ−なしの従来品とを製作
した。
mmのポリスルホン中空糸膜を5000本収容し、該ケ
−スの一端にエポキシ樹脂で隔壁を注型し、中空糸膜束
の他端をエポキシ樹脂で封止し、ケ−スの他端に0.1
mmピッチのポリスルホン製網のプレフィルタ−を取り
付けた本発明品とプレフィルタ−なしの従来品とを製作
した。
【0021】新設のラインでダミ−膜モジュ−ルによる
3時間の予備運転の後、上記本発明品と従来品とを並設
して1ヵ月の正規運転を行った。この正規運転後、本発
明品におけるプレフィルタ−の捕獲異物数を調べたとこ
ろ、18個であり、モジュ−ル内への異物の侵入は認め
られなかった。これに対して、従来例品においては、1
6個の異物粒がモジュ−ルに侵入していた。
3時間の予備運転の後、上記本発明品と従来品とを並設
して1ヵ月の正規運転を行った。この正規運転後、本発
明品におけるプレフィルタ−の捕獲異物数を調べたとこ
ろ、18個であり、モジュ−ル内への異物の侵入は認め
られなかった。これに対して、従来例品においては、1
6個の異物粒がモジュ−ルに侵入していた。
【0022】尚、上記実施例は外圧型であるが、本発明
は内圧型にも適用でき、この場合、図1において、樹脂
隔壁の前面にプレフィルタ−が取り付けられる。
は内圧型にも適用でき、この場合、図1において、樹脂
隔壁の前面にプレフィルタ−が取り付けられる。
【0023】
【発明の効果】本発明は、超純水製造ラインをダミ−膜
モジュ−ルを用いて試運転し、水質が所定の水質である
ことを確認したうえで、正規膜モジュ−ルによる正規運
転を行っても、正規膜モジュ−ル設置の際の振動、衝撃
で配管内面の付着残存ゴミが脱落し、この脱落ゴミで正
規膜モジュ−ルの膜が傷ついて所定水質の超純水が得ら
れない場合があることを知り、粒子径0.01mm以上
の粒子を阻止するプレフィルタ−を正規膜モジュ−ルの
原水流入部に内蔵させ、前記脱落ゴミで正規膜モジュ−
ルの膜が傷付くのを防止しているから、超純水製造ライ
ンを安全に運転して超純水の水質を確実に所定の水質に
保証できる。又、プレフィルタ−の圧損が小さく、配管
については何ら変更を要しないから、低圧損、低コスト
を保証し得る。
モジュ−ルを用いて試運転し、水質が所定の水質である
ことを確認したうえで、正規膜モジュ−ルによる正規運
転を行っても、正規膜モジュ−ル設置の際の振動、衝撃
で配管内面の付着残存ゴミが脱落し、この脱落ゴミで正
規膜モジュ−ルの膜が傷ついて所定水質の超純水が得ら
れない場合があることを知り、粒子径0.01mm以上
の粒子を阻止するプレフィルタ−を正規膜モジュ−ルの
原水流入部に内蔵させ、前記脱落ゴミで正規膜モジュ−
ルの膜が傷付くのを防止しているから、超純水製造ライ
ンを安全に運転して超純水の水質を確実に所定の水質に
保証できる。又、プレフィルタ−の圧損が小さく、配管
については何ら変更を要しないから、低圧損、低コスト
を保証し得る。
【図1】本発明において使用する膜モジュ−ルの一例を
示す説明図である。
示す説明図である。
1 ケ−ス 2 中空糸膜 3 樹脂隔壁 4 封止材 5 プレフィルタ−
Claims (2)
- 【請求項1】超純水製造ラインをダミ−膜モジュ−ルを
用いて試運転したのち、正規膜モジュ−ルを用いて正規
運転する方法において、正規膜モジュ−ルの原水流入部
に、粒子径0.01mm以上の粒子を阻止するプレフィ
ルタ−を内蔵させることを特徴とする超純水製造ライン
の運転方法。 - 【請求項2】請求項1記載の超純水製造ラインの運転方
法において、正規膜モジュ−ルとして使用する中空糸膜
膜モジュ−ルであり、粒子径0.01mm以上の粒子を
阻止するプレフィルタ−を原水流入部に内蔵させたこと
を特徴とする分離膜膜モジュ−ル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3138348A JP3059238B2 (ja) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | 超純水製造ラインの運転方法及び分離膜モジュ−ル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3138348A JP3059238B2 (ja) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | 超純水製造ラインの運転方法及び分離膜モジュ−ル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04338221A JPH04338221A (ja) | 1992-11-25 |
JP3059238B2 true JP3059238B2 (ja) | 2000-07-04 |
Family
ID=15219824
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3138348A Expired - Lifetime JP3059238B2 (ja) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | 超純水製造ラインの運転方法及び分離膜モジュ−ル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3059238B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4483160B2 (ja) * | 2002-07-18 | 2010-06-16 | 栗田工業株式会社 | 超純水供給設備 |
JP6304259B2 (ja) | 2013-10-04 | 2018-04-04 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置 |
JP6417734B2 (ja) * | 2014-06-10 | 2018-11-07 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造方法 |
JP6670206B2 (ja) | 2016-08-24 | 2020-03-18 | オルガノ株式会社 | 超純水製造装置 |
-
1991
- 1991-05-13 JP JP3138348A patent/JP3059238B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH04338221A (ja) | 1992-11-25 |
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