JP3053810B2 - 断層検査装置 - Google Patents
断層検査装置Info
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
- G01N23/044—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material using laminography or tomosynthesis
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- G01N21/13—Moving of cuvettes or solid samples to or from the investigating station
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は被検査物の断層映像
を得て直接肉眼で確認できない被検査物の内部を検査す
るための断層検査装置に関する。
を得て直接肉眼で確認できない被検査物の内部を検査す
るための断層検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に工業製品の生産工程では生産され
た製品の異常の有無を確認するための色々な品質検査が
実施されている。このうち、印刷回路基板に実装された
電子部品のハンダ付けなどのように肉眼で直接その異常
の有無を確認できない対象に関してはＸ線断層映像を通
した品質検査が実施されている。このようにＸ線断層映
像を用いた検査装置の構成及び作用を簡略に説明すれば
次の通りである。
た製品の異常の有無を確認するための色々な品質検査が
実施されている。このうち、印刷回路基板に実装された
電子部品のハンダ付けなどのように肉眼で直接その異常
の有無を確認できない対象に関してはＸ線断層映像を通
した品質検査が実施されている。このようにＸ線断層映
像を用いた検査装置の構成及び作用を簡略に説明すれば
次の通りである。
【０００３】断層検査装置は図１に示したように、搭載
テーブル１０、Ｘ線照射器２０、映像増倍管３０、ビュ
ーセレクター４０、及びカメラ５０とを含む。Ｘ線照射
器２０から照射するＸ線は図２に示したように円周に沿
って一定速度で回転される。このように回転されるＸ線
は搭載テーブル１０に搭載された被検査物Ｅを透過する
ようになる。被検査物Ｅを透過したＸ線は映像増倍管３
０を通して可視映像で像を結ぶ。
テーブル１０、Ｘ線照射器２０、映像増倍管３０、ビュ
ーセレクター４０、及びカメラ５０とを含む。Ｘ線照射
器２０から照射するＸ線は図２に示したように円周に沿
って一定速度で回転される。このように回転されるＸ線
は搭載テーブル１０に搭載された被検査物Ｅを透過する
ようになる。被検査物Ｅを透過したＸ線は映像増倍管３
０を通して可視映像で像を結ぶ。
【０００４】この時、得ようとする映像はＸ線の発生位
置によって映像増倍管３０の映像面３２で図２のように
相異なる位置に結ばれる。このように相異なる位置に結
ばれた映像はそれぞれ相異なる方向でＸ線を透過させ得
た映像で、この映像を特定の方法で合成して一つの断面
に対するＸ線断層映像が得られる。
置によって映像増倍管３０の映像面３２で図２のように
相異なる位置に結ばれる。このように相異なる位置に結
ばれた映像はそれぞれ相異なる方向でＸ線を透過させ得
た映像で、この映像を特定の方法で合成して一つの断面
に対するＸ線断層映像が得られる。
【０００５】通常、Ｘ線が円周に沿って移動する時、被
検査物を透過された映像もやはり映像増倍管３０の映像
面３２上で円周に沿って動くようになる。従って、ビュ
ーセレクター４０を通じて映像面３２上の映像を選択
し、これら映像をカメラ５０で取得する。このようなビ
ューセレクター４０は二枚の鏡を利用して映像面３２の
特定位置に結ばれた映像をカメラ５０に導く。米国特許
第４９２６４５２号と第５５９４７７０号に各々ビュー
セレクターの代表的な例が開示されている。
検査物を透過された映像もやはり映像増倍管３０の映像
面３２上で円周に沿って動くようになる。従って、ビュ
ーセレクター４０を通じて映像面３２上の映像を選択
し、これら映像をカメラ５０で取得する。このようなビ
ューセレクター４０は二枚の鏡を利用して映像面３２の
特定位置に結ばれた映像をカメラ５０に導く。米国特許
第４９２６４５２号と第５５９４７７０号に各々ビュー
セレクターの代表的な例が開示されている。
【０００６】米国特許第４９２６４５２号のビューセレ
クターは図３に示したように、互い傾斜して向い合って
設けられた一対の鏡４２’、４４’が映像面３２を追っ
て移動する映像と等速度で回転されて円周上の映像をカ
メラ５０に導く。一方、米国特許第５５９４７７０号の
場合、一対の鏡４２”、４４”は映像増倍管の下側で各
々Ｘ軸及びＹ軸を中心に回転可能に設けられている。映
像増倍管の映像面３２上で映像が移動する時、一対の鏡
は映像面３２上の特定領域の映像が選択されるようにＸ
軸及びＹ軸を中心に回転される。これに伴い、映像面３
２上の映像が一対の鏡４２”、４４”に順次に反射され
てカメラ５０に捕えられるようになる。一方、図４にお
いて、４３”、４５”は一対の鏡４２”、４４”を回転
させるためのモータである。
クターは図３に示したように、互い傾斜して向い合って
設けられた一対の鏡４２’、４４’が映像面３２を追っ
て移動する映像と等速度で回転されて円周上の映像をカ
メラ５０に導く。一方、米国特許第５５９４７７０号の
場合、一対の鏡４２”、４４”は映像増倍管の下側で各
々Ｘ軸及びＹ軸を中心に回転可能に設けられている。映
像増倍管の映像面３２上で映像が移動する時、一対の鏡
は映像面３２上の特定領域の映像が選択されるようにＸ
軸及びＹ軸を中心に回転される。これに伴い、映像面３
２上の映像が一対の鏡４２”、４４”に順次に反射され
てカメラ５０に捕えられるようになる。一方、図４にお
いて、４３”、４５”は一対の鏡４２”、４４”を回転
させるためのモータである。
【０００７】しかし、米国特許第４９２６４５２号のビ
ューセレクターは映像が円周に沿って移動する場合にだ
け使用が可能であり、映像増倍管の中間部の映像を自由
に取得できない短所がある。また、米国特許第５５９４
７７０号のビューセレクターは映像の位置に応じて光軸
の入射角が各々変わるため映像の歪曲が発生されるおそ
れがあるという短所がある。
ューセレクターは映像が円周に沿って移動する場合にだ
け使用が可能であり、映像増倍管の中間部の映像を自由
に取得できない短所がある。また、米国特許第５５９４
７７０号のビューセレクターは映像の位置に応じて光軸
の入射角が各々変わるため映像の歪曲が発生されるおそ
れがあるという短所がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は映像増
倍管の映像面上のいずれの位置に対しても歪曲のない映
像を得られる断層映像装置を提供するところにある。
倍管の映像面上のいずれの位置に対しても歪曲のない映
像を得られる断層映像装置を提供するところにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前述したような目的を達
成するための本発明は、搭載テーブルとＸ線照射器と、
映像増倍管と、ビューセレクター及びカメラを含む。ビ
ューセレクターは光の経路を屈折させるプリズムと、映
像増倍管の映像面のうち特定領域の映像がカメラに取得
されるようにプリズムの姿勢を調整するための姿勢調整
部を持つ。
成するための本発明は、搭載テーブルとＸ線照射器と、
映像増倍管と、ビューセレクター及びカメラを含む。ビ
ューセレクターは光の経路を屈折させるプリズムと、映
像増倍管の映像面のうち特定領域の映像がカメラに取得
されるようにプリズムの姿勢を調整するための姿勢調整
部を持つ。
【００１０】姿勢調整部はプリズムを映像増倍管の円周
方向を追って回転させる第１モータと、プリズムを映像
増倍管の半径方向と直角方向に回転させるための第２モ
ータを持つ。また、プリズムの映像増倍管の中心部に対
応される位置に映像増倍管の中心部の映像を第２のカメ
ラに反射させるための鏡が設けられることもできる。ま
たは、一対のプリズムが映像増倍管の下側に各々Ｘ軸及
びＹ軸を中心に回転可能に設けられ、調整手段は一対の
プリズムを各々Ｘ軸及びＹ軸を中心に回転させるための
一対のモータを持つこともできる。
方向を追って回転させる第１モータと、プリズムを映像
増倍管の半径方向と直角方向に回転させるための第２モ
ータを持つ。また、プリズムの映像増倍管の中心部に対
応される位置に映像増倍管の中心部の映像を第２のカメ
ラに反射させるための鏡が設けられることもできる。ま
たは、一対のプリズムが映像増倍管の下側に各々Ｘ軸及
びＹ軸を中心に回転可能に設けられ、調整手段は一対の
プリズムを各々Ｘ軸及びＹ軸を中心に回転させるための
一対のモータを持つこともできる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面に基づき本発
明の望ましい実施形態を詳細に説明する。本発明は基本
的に図１に示した通り、一般的な断層検査装置と同じ構
成を持つ。即ち、本発明に係る断層検査装置は被検査物
が搭載される搭載テーブル１０、搭載テーブル１０上の
被検査物ＥにＸ線を照射するＸ線照射器２０、被検査物
Ｅを透過したＸ線映像を可視映像に変換する映像増倍管
３０、映像増倍管３０の映像面３２のうち特定領域を選
択するためのビューセレクター４０、ビューセレクター
４０により選択された映像を得るためのカメラ５０とを
含む。Ｘ線照射器２０から照射されたＸ線は搭載テーブ
ル１０に搭載された被検査物Ｅを透過して映像増倍管３
０の映像面３２に可視映像に変換されて結ばれる。
明の望ましい実施形態を詳細に説明する。本発明は基本
的に図１に示した通り、一般的な断層検査装置と同じ構
成を持つ。即ち、本発明に係る断層検査装置は被検査物
が搭載される搭載テーブル１０、搭載テーブル１０上の
被検査物ＥにＸ線を照射するＸ線照射器２０、被検査物
Ｅを透過したＸ線映像を可視映像に変換する映像増倍管
３０、映像増倍管３０の映像面３２のうち特定領域を選
択するためのビューセレクター４０、ビューセレクター
４０により選択された映像を得るためのカメラ５０とを
含む。Ｘ線照射器２０から照射されたＸ線は搭載テーブ
ル１０に搭載された被検査物Ｅを透過して映像増倍管３
０の映像面３２に可視映像に変換されて結ばれる。
【００１２】この時、ビューセレクター４０は映像増倍
管３０の映像面３２のうち特定領域を選択する。これに
伴い選択された領域に結ばれた映像はカメラ５０に取得
される（参考に、以下の説明で従来のような構成につい
ては同じ参照符号を付する）。ただし、本発明の要旨は
ビューセレクター４０にある。即ち、従来とは違って、
本発明ではビューセレクター４０’の領域選択が従来の
ように鏡による光の反射ではなくプリズム１１０を通し
た光の屈折によりなされる。
管３０の映像面３２のうち特定領域を選択する。これに
伴い選択された領域に結ばれた映像はカメラ５０に取得
される（参考に、以下の説明で従来のような構成につい
ては同じ参照符号を付する）。ただし、本発明の要旨は
ビューセレクター４０にある。即ち、従来とは違って、
本発明ではビューセレクター４０’の領域選択が従来の
ように鏡による光の反射ではなくプリズム１１０を通し
た光の屈折によりなされる。
【００１３】公知の通り、プリズム１１０は入射される
光を屈折させ光の経路を変化させる役割を果す。従っ
て、図５に示したように、カメラ５０からｘの距離ほど
離れた位置Ｐで入射される光はプリズム１１０を通過し
ながらＰ’地点で屈折されてカメラ５０に入射される。
これを利用して映像増倍管の下側にプリズム１１０を設
け、このプリズム１１０の姿勢をよく調整することによ
り映像増倍管の映像面のうち特定領域の映像をカメラ５
０で取得できるようになることである。
光を屈折させ光の経路を変化させる役割を果す。従っ
て、図５に示したように、カメラ５０からｘの距離ほど
離れた位置Ｐで入射される光はプリズム１１０を通過し
ながらＰ’地点で屈折されてカメラ５０に入射される。
これを利用して映像増倍管の下側にプリズム１１０を設
け、このプリズム１１０の姿勢をよく調整することによ
り映像増倍管の映像面のうち特定領域の映像をカメラ５
０で取得できるようになることである。
【００１４】このような原理を適用した本発明の一実施
形態は次の通りである。本発明の一実施形態に伴う断層
検査装置のビューセレクター４０’は図６に示された通
り、所定の屈折率を持つプリズム１２２と、このプリズ
ム１２２を映像増倍管の映像面３２の円周方向、即ちＺ
軸を中心に追って回転させるための第１モータ（図示せ
ず）と、プリズム１２２を映像面３２の半径方向と直角
方向、即ちＺ軸と直角のＬ軸を中心に回転させるための
第２モータ１２４を持つ。
形態は次の通りである。本発明の一実施形態に伴う断層
検査装置のビューセレクター４０’は図６に示された通
り、所定の屈折率を持つプリズム１２２と、このプリズ
ム１２２を映像増倍管の映像面３２の円周方向、即ちＺ
軸を中心に追って回転させるための第１モータ（図示せ
ず）と、プリズム１２２を映像面３２の半径方向と直角
方向、即ちＺ軸と直角のＬ軸を中心に回転させるための
第２モータ１２４を持つ。
【００１５】このようになって、第１モータは映像増倍
管の映像面３２に結ばれる映像が円周に沿って移動する
速度に合せてプリズム１２２をＺ軸を中心に回転させる
（図５）。これに伴い、カメラ５０には光経路の移動幅
に対応される円周上に位置された映像が順次に得られる
ようになる。また、第２モータ１２４を通じて図７のよ
うにプリズム１２２の傾いた角度を調節して光経路の移
動幅ｘを変化させることができる。これに伴い映像面３
２で任意の回転半径に移動する映像を容易に得られる。
このようにプリズム１２２を利用して円周方向の映像を
得るようになれば、映像面３２とカメラ５０の結像面が
平行になるため、カメラ５０に捕えられた映像が歪曲さ
れることを防止できる。
管の映像面３２に結ばれる映像が円周に沿って移動する
速度に合せてプリズム１２２をＺ軸を中心に回転させる
（図５）。これに伴い、カメラ５０には光経路の移動幅
に対応される円周上に位置された映像が順次に得られる
ようになる。また、第２モータ１２４を通じて図７のよ
うにプリズム１２２の傾いた角度を調節して光経路の移
動幅ｘを変化させることができる。これに伴い映像面３
２で任意の回転半径に移動する映像を容易に得られる。
このようにプリズム１２２を利用して円周方向の映像を
得るようになれば、映像面３２とカメラ５０の結像面が
平行になるため、カメラ５０に捕えられた映像が歪曲さ
れることを防止できる。
【００１６】また、円周上の映像だけでなく映像面３２
の中央部に対する映像も得ることができる。即ち、図８
のようにプリズム１２２を回転させ水平状態で位置させ
れば光路の移動幅ｘが０になる。即ち、光は屈折されな
いままプリズム１２２を通過する。従って、映像面３２
の中央部に対する映像がカメラ５０に取得されうる。
の中央部に対する映像も得ることができる。即ち、図８
のようにプリズム１２２を回転させ水平状態で位置させ
れば光路の移動幅ｘが０になる。即ち、光は屈折されな
いままプリズム１２２を通過する。従って、映像面３２
の中央部に対する映像がカメラ５０に取得されうる。
【００１７】一方、さらに他の方法で図９に示したよう
に、プリズム１２２の一側に鏡面１２３を形成すること
によっても映像面３２の中央部映像を得ることができ
る。この時、鏡面１２３が形成される部分はカメラ５０
と同じ軸上に位置された部分である。そして、鏡面１２
３により光が反射される位置にさらに違うカメラ５２を
設ける。このようになって、映像面３２の中央部の映像
は鏡面１２３に反射されてさらに違うカメラ５２に捕え
られるようになる。
に、プリズム１２２の一側に鏡面１２３を形成すること
によっても映像面３２の中央部映像を得ることができ
る。この時、鏡面１２３が形成される部分はカメラ５０
と同じ軸上に位置された部分である。そして、鏡面１２
３により光が反射される位置にさらに違うカメラ５２を
設ける。このようになって、映像面３２の中央部の映像
は鏡面１２３に反射されてさらに違うカメラ５２に捕え
られるようになる。
【００１８】一方、図１０は本発明の他の実施形態に係
るビューセレクターの構成を示した図である。ここには
一対のプリズム１３２、１３４が使われる。即ち、映像
増倍管の映像面３２とカメラ５０との間に一対のプリズ
ム１３２、１３４が互い平行に設けられる。この一対の
プリズム１３２、１３４は各々Ｘ軸１３４ａ及びＹ軸１
３２ａを中心に回転可能に設けられ、それぞれの回転軸
と連結されたモータ（図示せず）によりその回転角度が
調節される。上側のプリズム１３２によってはＸ軸方向
に対する光路が変わり、下側のプリズム１３４によって
はＹ軸方向に対する光路が変わる。
るビューセレクターの構成を示した図である。ここには
一対のプリズム１３２、１３４が使われる。即ち、映像
増倍管の映像面３２とカメラ５０との間に一対のプリズ
ム１３２、１３４が互い平行に設けられる。この一対の
プリズム１３２、１３４は各々Ｘ軸１３４ａ及びＹ軸１
３２ａを中心に回転可能に設けられ、それぞれの回転軸
と連結されたモータ（図示せず）によりその回転角度が
調節される。上側のプリズム１３２によってはＸ軸方向
に対する光路が変わり、下側のプリズム１３４によって
はＹ軸方向に対する光路が変わる。
【００１９】このように、一対のプリズム１３２、１３
４を互い直角方向に回転させその傾斜を調節することに
よって映像面３２の任意の領域の映像を選択してカメラ
５０で取得できる。
４を互い直角方向に回転させその傾斜を調節することに
よって映像面３２の任意の領域の映像を選択してカメラ
５０で取得できる。
【００２０】
【発明の効果】以上述べたように、本発明はプリズムの
姿勢を調整することにより映像増倍管の映像面のうち任
意の領域の映像を取得できる。のみならず、プリズムを
通過してカメラに取得される映像の光軸がカメラに対し
て垂直を成すので映像の歪曲が発生されないという長所
がある。以上では本発明の特定の望ましい実施形態に対
して示しかつ説明したが、本発明は前記実施形態に限定
されず、特許請求の範囲で請求する本発明の要旨を逸脱
せず当該発明の属する分野において通常の知識を持った
者ならば誰でも多様な変形実施が可能である。
姿勢を調整することにより映像増倍管の映像面のうち任
意の領域の映像を取得できる。のみならず、プリズムを
通過してカメラに取得される映像の光軸がカメラに対し
て垂直を成すので映像の歪曲が発生されないという長所
がある。以上では本発明の特定の望ましい実施形態に対
して示しかつ説明したが、本発明は前記実施形態に限定
されず、特許請求の範囲で請求する本発明の要旨を逸脱
せず当該発明の属する分野において通常の知識を持った
者ならば誰でも多様な変形実施が可能である。
【図１】 一般の断層検査装置の構成を示した斜視図で
ある。
ある。
【図２】 図１に示した一般の断層検査装置でＸ線の照
射方向に伴う断層映像の位置変化を示した図面である。
射方向に伴う断層映像の位置変化を示した図面である。
【図３】 従来の断層検査装置に適用されたビューセレ
クターの一例を示した概略図である。
クターの一例を示した概略図である。
【図４】 従来の断層検査装置に適用されたビューセレ
クターの他の例を示した概略図である。
クターの他の例を示した概略図である。
【図５】 本発明のビューセレクターに適用されたプリ
ズムの原理を説明するための図面である。
ズムの原理を説明するための図面である。
【図６】 本発明のビューセレクターの一実施形態を示
した概略斜視図である。
した概略斜視図である。
【図７】 本発明のビューセレクターの一実施形態の作
用を示した概略図である。
用を示した概略図である。
【図８】 本発明のビューセレクターの一実施形態によ
り映像面の中央部の映像を取得する一例を示した概略図
である。
り映像面の中央部の映像を取得する一例を示した概略図
である。
【図９】 本発明のビューセレクターの一実施形態によ
り映像面の中央部の映像を取得するさらに他の例を示し
た概略図である。
り映像面の中央部の映像を取得するさらに他の例を示し
た概略図である。
【図１０】 本発明のビューセレクターのさらに他の実
施形態を示した概略斜視図である。
施形態を示した概略斜視図である。
Ｅ 被検査物 １０ 搭載テーブル ２０ Ｘ線照射器 ３０ 映像増倍管 ３２ 映像面 ４０ ビューセレクター ５０ カメラ １２２ プリズム １２４ 第２モータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 金 昌孝 大韓民国京畿道城南市盆唐區九美洞（番 地なし）建榮ヴィラ610−101 (72)発明者 趙 榮錫 大韓民国大田市儒城區漁隱洞（番地な し）ハンビトエーピーティ121−401 (72)発明者 高 國原 大韓民国大田市儒城區九城洞373−１ (72)発明者 蘆 榮俊 大韓民国大田市儒城區九城洞373−１ (56)参考文献 特開 平５−312735（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−5125（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−153676（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 23/04 - 23/18 G01B 11/00 - 11/30
Claims (3)
- 【請求項１】 被検査物が搭載される搭載テーブルと、 同一平面上の多様な位置で前記搭載テーブルに搭載され
た被検査物に対してＸ線を照射するＸ線照射器と、 前記被検査物を透過したＸ線映像を可視映像に変化させ
る映像増倍管と、 光の経路を屈折させるプリズムと、前記プリズムに連結
され前記映像増倍管の映像面のうち特定領域の映像が選
択されるように前記プリズムの姿勢を調整するための手
段を持つビューセレクターと、 前記ビューセレクターにより選択された領域の映像を得
るためのカメラとを含み、 前記可視映像は幾何学的中心を持つ円周経路に沿って前
記映像増倍管から照射され、前記調整手段は前記プリズ
ムを前記幾何学的中心と一致する第１軸を中心に回転さ
せる第１モータと、前記プリズムを前記第１軸と直角方
向に延びる第２軸を中心に回転させるための第２モータ
を持つ ことをを特徴とする断層検査装置。 - 【請求項２】 前記カメラは第１カメラ、第２カメラ、
前記第１軸により交差される前記プリズムの中心部に位
置して前記映像を第２のカメラに反射させるための鏡を
持つことを特徴とする請求項１に記載の断層検査装置。 - 【請求項３】 前記プリズムは第１プリズム、及び前記
第１プリズムの下側に設けられ前記第１及び第２軸に各
々直角に延びる第３軸を中心に回転可能な第２プリズム
を持つことを特徴とする請求項１に記載の断層検査装
置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR10-1998-0040955A KR100344587B1 (ko) | 1998-09-30 | 1998-09-30 | 단층검사장치 |
| KR199840955 | 1998-09-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000111502A JP2000111502A (ja) | 2000-04-21 |
| JP3053810B2 true JP3053810B2 (ja) | 2000-06-19 |
Family
ID=19552629
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11070721A Expired - Fee Related JP3053810B2 (ja) | 1998-09-30 | 1999-03-16 | 断層検査装置 |
Country Status (4)
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