JP3051651B2 - 真空チャンバの除振装置 - Google Patents
真空チャンバの除振装置Info
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- JP3051651B2 JP3051651B2 JP7113992A JP11399295A JP3051651B2 JP 3051651 B2 JP3051651 B2 JP 3051651B2 JP 7113992 A JP7113992 A JP 7113992A JP 11399295 A JP11399295 A JP 11399295A JP 3051651 B2 JP3051651 B2 JP 3051651B2
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- vacuum chamber
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- vibration isolation
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空チャンバの除振装置
に係り、特に真空下で加工、組立検査等の作業を行う際
に使用される真空チャンバの除振装置に関する。
に係り、特に真空下で加工、組立検査等の作業を行う際
に使用される真空チャンバの除振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】最近、微細化の進む半導体プロセス装置
や、ミンロンオーダ又はそれ以下の加工、組立作業検査
を必要とする装置が出てきており、それらの装置は、床
面からの振動、装置内で発生する振動の除振が重要な問
題となっている。上述の装置においては、パテークル汚
染、分子汚染を防ぐため、真空内での作業をする装置が
主流になってきている。
や、ミンロンオーダ又はそれ以下の加工、組立作業検査
を必要とする装置が出てきており、それらの装置は、床
面からの振動、装置内で発生する振動の除振が重要な問
題となっている。上述の装置においては、パテークル汚
染、分子汚染を防ぐため、真空内での作業をする装置が
主流になってきている。
【０００３】図４及び図５は従来の半導体プロセス装置
を示す図であり、図４は一部欠截正面図、図５は一部欠
截平面図である。図４及び図５において、符号２１は真
空チャンバであり、真空チャンバ２１内においてプロセ
ス装置２２によりワークｗに加工、検査等の各種の処理
が行われる。そして、真空チャンバ２１に隣接して搬送
室２３が設置されており、真空チャンバ２１と搬送室２
３間にはゲートバルブ２４及びベローズ２５が設けられ
ている。
を示す図であり、図４は一部欠截正面図、図５は一部欠
截平面図である。図４及び図５において、符号２１は真
空チャンバであり、真空チャンバ２１内においてプロセ
ス装置２２によりワークｗに加工、検査等の各種の処理
が行われる。そして、真空チャンバ２１に隣接して搬送
室２３が設置されており、真空チャンバ２１と搬送室２
３間にはゲートバルブ２４及びベローズ２５が設けられ
ている。
【０００４】前記搬送室２３内にはワークｗをハンドリ
ングするためのロボット２６が設置されている。また搬
送室２３に隣接してロードロック室２７が設置されてい
る。なお、搬送室２３とロードロック室２７との間には
ゲートバルブ２８が設置されている。ロードロック室２
７には多数のワークｗを収納したカセット２９を昇降さ
せる昇降機構３０が設置されている。
ングするためのロボット２６が設置されている。また搬
送室２３に隣接してロードロック室２７が設置されてい
る。なお、搬送室２３とロードロック室２７との間には
ゲートバルブ２８が設置されている。ロードロック室２
７には多数のワークｗを収納したカセット２９を昇降さ
せる昇降機構３０が設置されている。
【０００５】上述の半導体プロセス装置を除振する場合
には、図４に示すように真空チャンバ２１、搬送室２３
を含む装置全体を除振台３１に載置する方法がとられて
いる。
には、図４に示すように真空チャンバ２１、搬送室２３
を含む装置全体を除振台３１に載置する方法がとられて
いる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体プロセス
装置においては、上述したように除振を行う場合に装置
全体を除振する方法がとられてきたが、装置全体が大型
の場合、除振台も大型となり、設備費の増大をまねいて
しまうという問題がある。そこで必要最低限の除振が必
要となってくる。例えば、半導体の加工、検査等を行う
図４及び図５に示す真空チャンバを例に挙げると、ワー
クｗを導入するためのロードロック室２７、搬送室２３
等が必要となってくる。しかしながら、この場合、除振
を必要とするのは、真空チャンバのみである。
装置においては、上述したように除振を行う場合に装置
全体を除振する方法がとられてきたが、装置全体が大型
の場合、除振台も大型となり、設備費の増大をまねいて
しまうという問題がある。そこで必要最低限の除振が必
要となってくる。例えば、半導体の加工、検査等を行う
図４及び図５に示す真空チャンバを例に挙げると、ワー
クｗを導入するためのロードロック室２７、搬送室２３
等が必要となってくる。しかしながら、この場合、除振
を必要とするのは、真空チャンバのみである。
【０００７】図６は、図４及び図５に示す半導体プロセ
ス装置において、真空チャンバ２１のみに除振台３１を
取り付けると仮定した場合を示す図である。図６におい
て、ベローズ２５の断面積をＡとすると、 Ｆ1 ＝Ａ×（Ｐ0 −Ｐ1 ） （Ｐ0 ：大気圧，Ｐ1 ：真空チャンバ内圧） の力が発生し、真空チャンバ２１は矢印で示すように力
Ｆ1 で左側に引っ張られ、除振台を破損又は機能不良に
してしまうという問題点がある。
ス装置において、真空チャンバ２１のみに除振台３１を
取り付けると仮定した場合を示す図である。図６におい
て、ベローズ２５の断面積をＡとすると、 Ｆ1 ＝Ａ×（Ｐ0 −Ｐ1 ） （Ｐ0 ：大気圧，Ｐ1 ：真空チャンバ内圧） の力が発生し、真空チャンバ２１は矢印で示すように力
Ｆ1 で左側に引っ張られ、除振台を破損又は機能不良に
してしまうという問題点がある。
【０００８】本発明は上述の事情に鑑みなされたもの
で、除振台等の破損又は機能不良を起こすことなく、除
振を必要とする真空チャンバのみを除振することができ
る真空チャンバの除振装置を提供することを目的とす
る。
で、除振台等の破損又は機能不良を起こすことなく、除
振を必要とする真空チャンバのみを除振することができ
る真空チャンバの除振装置を提供することを目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ため本発明は、ワークを導入する導入口を有する真空チ
ャンバと、該真空チャンバを載置して設置床からの振動
又は内部で発生する振動を軽減する除振台と、前記真空
チャンバの導入口に設けられ内部に開口を有する第１弾
性部材と、前記真空チャンバの導入口に対向する位置に
設けられるとともに前記第１弾性部材と同一開口断面積
を有する第２弾性部材と、前記第１弾性部材と第２弾性
部材とを連結するフレームとを備えたことを特徴とする
ものである。
ため本発明は、ワークを導入する導入口を有する真空チ
ャンバと、該真空チャンバを載置して設置床からの振動
又は内部で発生する振動を軽減する除振台と、前記真空
チャンバの導入口に設けられ内部に開口を有する第１弾
性部材と、前記真空チャンバの導入口に対向する位置に
設けられるとともに前記第１弾性部材と同一開口断面積
を有する第２弾性部材と、前記第１弾性部材と第２弾性
部材とを連結するフレームとを備えたことを特徴とする
ものである。
【００１０】
【作用】本発明によれば、導入口に設けられた第１弾性
部材と対向した真空チャンバの位置に、第１弾性部材と
同一の開口断面積を有した第２弾性部材を設け、これら
第１および第２弾性部材をフレームにより連結したた
め、大気圧と真空チャンバの内圧との差により、第１弾
性部材に発生する力と反対方向でかつ同一の大きさの力
が第２弾性部材に発生し、これら２つの力がフレーム内
で内力として打ち消し合う。したがって、真空チャンバ
は除振台に対し、定位置に安定してとどまる。
部材と対向した真空チャンバの位置に、第１弾性部材と
同一の開口断面積を有した第２弾性部材を設け、これら
第１および第２弾性部材をフレームにより連結したた
め、大気圧と真空チャンバの内圧との差により、第１弾
性部材に発生する力と反対方向でかつ同一の大きさの力
が第２弾性部材に発生し、これら２つの力がフレーム内
で内力として打ち消し合う。したがって、真空チャンバ
は除振台に対し、定位置に安定してとどまる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明に係る真空チャンバの除振装置
の一実施例を図１乃至図３を参照して説明する。図１及
び図２は、本発明を適用した半導体プロセス装置を示す
図であり、図１は一部欠截正面図、図２は一部欠截平面
図である。
の一実施例を図１乃至図３を参照して説明する。図１及
び図２は、本発明を適用した半導体プロセス装置を示す
図であり、図１は一部欠截正面図、図２は一部欠截平面
図である。
【００１２】図１及び図２において、符号１は真空チャ
ンバであり、真空チャンバ１内においてプロセス装置２
によりワークｗに加工、検査等の各種の処理が行われ
る。そして、真空チャンバ１に隣接して搬送室３が設置
されており、真空チャンバ１と搬送室３間にはゲートバ
ルブ４及び第１弾性部材を構成するベローズ５が設けら
れている。
ンバであり、真空チャンバ１内においてプロセス装置２
によりワークｗに加工、検査等の各種の処理が行われ
る。そして、真空チャンバ１に隣接して搬送室３が設置
されており、真空チャンバ１と搬送室３間にはゲートバ
ルブ４及び第１弾性部材を構成するベローズ５が設けら
れている。
【００１３】前記搬送室３内にはワークｗをハンドリン
グするためのロボット６が設置されている。また搬送室
３に隣接してロードロック室７が設置されている。な
お、搬送室３とロードロック室７との間にはゲートバル
ブ８が設置されている。ロードロック室７には多数のワ
ークｗを収納したカセット９を昇降させる昇降機構１０
が設置されている。
グするためのロボット６が設置されている。また搬送室
３に隣接してロードロック室７が設置されている。な
お、搬送室３とロードロック室７との間にはゲートバル
ブ８が設置されている。ロードロック室７には多数のワ
ークｗを収納したカセット９を昇降させる昇降機構１０
が設置されている。
【００１４】前記真空チャンバ１は、図１に示すように
除振台１１上に載置されており、設置床Ｇからの振動又
は内部で発生する振動を除振又は軽減するようになって
いる。真空チャンバ１には、真空ポンプに連通するため
の排気口１ａが形成されている。真空チャンバ１のみが
除振台１１により除振されているため、何ら工夫しない
場合には図６で示した例と同様に真空チャンバは一方に
押される。
除振台１１上に載置されており、設置床Ｇからの振動又
は内部で発生する振動を除振又は軽減するようになって
いる。真空チャンバ１には、真空ポンプに連通するため
の排気口１ａが形成されている。真空チャンバ１のみが
除振台１１により除振されているため、何ら工夫しない
場合には図６で示した例と同様に真空チャンバは一方に
押される。
【００１５】そこで、本実施例においては、図３（図２
の部分拡大図）に示すように真空チャンバ１の導入口と
対向した位置にベローズ５と同一の開口断面積を有する
第２弾性部材を構成するベローズ１２を設け、ベローズ
１２の一端開口部を真空チャンバ１に接続し他端開口部
を盲フランジ１３で閉塞する。そして、ベローズ１２の
内圧を真空チャンバ１の内圧と同一にする。
の部分拡大図）に示すように真空チャンバ１の導入口と
対向した位置にベローズ５と同一の開口断面積を有する
第２弾性部材を構成するベローズ１２を設け、ベローズ
１２の一端開口部を真空チャンバ１に接続し他端開口部
を盲フランジ１３で閉塞する。そして、ベローズ１２の
内圧を真空チャンバ１の内圧と同一にする。
【００１６】またベロ−ズ５に設けられたフランジ１４
と盲フランジ１３とは一対の反力フレーム１５，１５に
よって接続されている。そのため、ベローズ５にＦ1 の
力が発生すると同時に、ベローズ１２にもＦ1 と反対向
で絶対値の同じ力Ｆ2 が発生する。反力フレーム１５，
１５により両ベローズ５，１２は接続されているため、
内力として内ち消し合う。
と盲フランジ１３とは一対の反力フレーム１５，１５に
よって接続されている。そのため、ベローズ５にＦ1 の
力が発生すると同時に、ベローズ１２にもＦ1 と反対向
で絶対値の同じ力Ｆ2 が発生する。反力フレーム１５，
１５により両ベローズ５，１２は接続されているため、
内力として内ち消し合う。
【００１７】そこで、真空チャンバ１の内圧Ｐ1 が変化
しても、 ｜Ｆ1 ｜＝｜Ｆ2 ｜＝Ａ×（Ｐ0 −Ｐ1 ） （Ｐ0 ：大気圧，Ｐ1 ：真空チャンバ内圧） の力がつり合い、真空チャンバ１にはＰ1 による外力が
働かないため、真空チャンバ１は除振台１１に対して、
定位置に安定してとどまる。これにより除振台１１の性
能が確保できる。ベローズ５，１２のバネ定数は、除振
台１１の横剛性力に対し充分小さく設定されている。
しても、 ｜Ｆ1 ｜＝｜Ｆ2 ｜＝Ａ×（Ｐ0 −Ｐ1 ） （Ｐ0 ：大気圧，Ｐ1 ：真空チャンバ内圧） の力がつり合い、真空チャンバ１にはＰ1 による外力が
働かないため、真空チャンバ１は除振台１１に対して、
定位置に安定してとどまる。これにより除振台１１の性
能が確保できる。ベローズ５，１２のバネ定数は、除振
台１１の横剛性力に対し充分小さく設定されている。
【００１８】図１乃至図３に示す実施例においては、第
１弾性部材及び第２弾性部材としてベローズを用いた例
を説明したが、ベローズ以外に、開口を有するように成
形されたゴム等の弾性材によって形成することもでき
る。
１弾性部材及び第２弾性部材としてベローズを用いた例
を説明したが、ベローズ以外に、開口を有するように成
形されたゴム等の弾性材によって形成することもでき
る。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、除
振台の破損又は機能不良を起こすことなく真空チャンバ
のみを除振することができる。したがって、除振台の小
型化および低コスト化が可能となる。また、真空チャン
バ内の内圧の状態がいかに変化しても真空チャンバを簡
便に定位置に確保することができる。
振台の破損又は機能不良を起こすことなく真空チャンバ
のみを除振することができる。したがって、除振台の小
型化および低コスト化が可能となる。また、真空チャン
バ内の内圧の状態がいかに変化しても真空チャンバを簡
便に定位置に確保することができる。
【図１】本発明に係る真空チャンバの除振装置の一実施
例を示す一部欠截正面図である。
例を示す一部欠截正面図である。
【図２】本発明に係る真空チャンバの除振装置の一実施
例を示す一部欠截平面図である。
例を示す一部欠截平面図である。
【図３】本発明の作用を説明する説明図である。
【図４】従来の真空チャンバの除振装置を示す一部欠截
正面図である。
正面図である。
【図５】従来の真空チャンバの除振装置を示す一部欠截
平面図である。
平面図である。
【図６】従来の真空チャンバの除振装置における作用を
説明する説明図である。
説明する説明図である。
１ 真空チャンバ ２ プロセス装置 ３ 搬送室 ４ ゲートバルブ ５ ベローズ ６ ロボット ７ ロードロック室 ８ ゲートバルブ ９ カセット １０ 昇降機構 １１ 除振台 １２ ベローズ １３ 盲フランジ １４ フランジ １５ 反力フレーム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−27140（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−278709（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−215900（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−76999（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B01J 3/00 B23Q 11/00 H01L 21/68
Claims (2)
- 【請求項１】 ワークを導入する導入口を有する真空チ
ャンバと、該真空チャンバを載置して設置床からの振動
又は内部で発生する振動を軽減する除振台と、前記真空
チャンバの導入口に設けられ内部に開口を有する第１弾
性部材と、前記真空チャンバの導入口に対向する位置に
設けられるとともに前記第１弾性部材と同一開口断面積
を有する第２弾性部材と、前記第１弾性部材と第２弾性
部材とを連結するフレームとを備えたことを特徴とする
真空チャンバの除振装置。 - 【請求項２】 前記第１弾性部材及び第２弾性部材は、
ベローズからなることを特徴とする請求項１記載の真空
チャンバの除振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7113992A JP3051651B2 (ja) | 1995-04-14 | 1995-04-14 | 真空チャンバの除振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7113992A JP3051651B2 (ja) | 1995-04-14 | 1995-04-14 | 真空チャンバの除振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08281529A JPH08281529A (ja) | 1996-10-29 |
| JP3051651B2 true JP3051651B2 (ja) | 2000-06-12 |
Family
ID=14626352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7113992A Expired - Fee Related JP3051651B2 (ja) | 1995-04-14 | 1995-04-14 | 真空チャンバの除振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3051651B2 (ja) |
-
1995
- 1995-04-14 JP JP7113992A patent/JP3051651B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08281529A (ja) | 1996-10-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |