JP3050498U - プラズマ装置用電極板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 プラズマ装置用電極板をプラズマドライエッ
チング装置等の拡散板部に取り付けるに際して、容易に
位置決めが可能なプラズマ装置用電極板を提供すること
を主目的とするものである。 【解決手段】 中央部に反応ガスを通気させるため多数
の小径穴が設けられた小径穴エリアを有し、外周部には
外周に沿って取付用のボルト穴が設けられたプラズマ装
置用電極板において、その表面側の少なくとも一つのボ
ルト穴周囲に位置決め用溝部が設けられていることを特
徴とするプラズマ装置用電極板である。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の属する技術分野】

本考案は、例えばプラズマドライエッチング装置等に使用される電極板であっ て、その中心部に反応ガス通気用の小径穴が多数設けられているプラズマ装置用 電極板に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来より、半導体ウエーハ等のドライエッチングを行う際には高周波を印加す るプラズマドライエッチング装置が用いられている。 このようなプラズマドライエッチング装置は、例えば第５図に示すように、チ ャンバ２１内に設けられた平面電極２２とこれに対向する対向電極２３とから構 成されるものである。

【０００３】 この平面電極２２には、不図示の高周波電源が接続されており、また半導体ウ エーハ等の被処理物２４を載置・固定するための固定部２５が設けられている。 一方、この平面電極２２に対向する対向電極２３は、電極部２６とプラズマ装置 用電極板２７とからなるものである。電極部２６内にはガス溜り部２８が設けら れており、またこの電極部２６の下側のプラズマ装置用電極板２７と接触する部 分は、ガス溜り部２８と連通する多数の導入孔２９が設けられた拡散板部３０と されている。このガス溜り部２８は不図示の反応ガス供給系に接続されている。

【０００４】 プラズマ装置用電極板２７は、その中央部に多数の小径穴３２が設けられてお り、この小径穴３２と上記拡散板部３０の導入孔２９との位置が合うように電極 部２６にボルト３１により取り付けられている。

【０００５】 なお、この拡散板部３０は、この例に示すようにガス溜り部２８と一体となっ て電極部２６を形成しているものの他に、別に拡散板として形成されこれをボル トや固定リング等で固定されているものもある。

【０００６】 このプラズマドライエッチング装置を用いてエッチングを行う場合は、まず、 チャンバ２１に設けられた真空排気装置３３により、チャンバ２１内を真空に引 く。これと同時に反応ガス３４は、ガス溜り部２８から導入孔２９および小径穴 ３２を通ることにより整流されてチャンバ２１内に導入される。そして、この状 態で不図示の高周波電源により高周波を印加することにより平面電極２２と対向 電極２３との間にプラズマが発生し、平面電極２２上に載置・固定された半導体 ウエーハ等の被処理物２４をエッチングするのである。

【０００７】 このようなプラズマドライエッチング装置において反応ガス３４は、上述した ように拡散板部３０の導入孔２９およびプラズマ装置用電極板２７の小径穴３２ を介してチャンバ内に導入されることから、プラズマ装置用電極板２７を拡散板 部３０にボルト３１により固定する場合に、導入孔２９と小径穴３２との位置が 一致して通気できるようにする必要がある。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、従来のプラズマ装置用電極板２７では、導入孔２９と小径穴３ ２とに位置ずれが生じ、反応ガスが流れなくなるという問題があった。 この点について、従来のプラズマ装置用電極板を示す図４および図５を用いて 説明する。

【０００９】 図４は、従来のプラズマ装置用電極板２７の表面側（本考案において、プラズ マ装置用電極板の表面側とは、チャンバ２１内に面し、拡散板部３０に接触しな い側の面をいう。）を示すものである。このプラズマ装置用電極板２７の中央部 には、多数の小径穴３２が設けられたほぼ円形の小径穴エリア３５が形成されて おり、またその外周部には、外周に沿って等間隔に設けられた取付用ボルト穴３ ６が１２個形成されている。また、このボルト穴３６の周囲には、ボルト３１の 頭部がプラズマ装置用電極板の表面から突出しないようにザグリ３７が設けられ ている。

【００１０】 上記小径穴３２は、通常縦方向および横方向共に等間隔となるような位置に設 けられているものであり、かつ所定の間隔を有することから小径穴エリア３５は 完全な円形状とはなり得ないものである。また、図５に示す拡散板部３０の導入 孔２９が設けられている領域も、この小径穴３２と対応するように設けられてい ることから、同様に完全な円形状とはなりえない。したがって、このプラズマ装 置用電極板２７を拡散板部３０に取り付ける場合は、所定のボルト穴３６を拡散 板部３０の所定のボルト穴に位置決めをして取り付けなければ、小径穴３２と導 入孔２９とが一致せず、反応ガス３４をチャンバ２１内にうまく導入することが できないという問題が生じる。

【００１１】 しかしながら、上記従来のプラズマ装置用電極板２７は、図４に示すように取 付用ボルト穴３６およびその周囲に設けられたザグリ３７が全く同形状であるた め、これにより位置決めをすることはできない。また、小径穴エリア３５と導入 孔が設けられている領域との形状を合わせることにより位置決めを行うことは可 能であるが、これらの形状は円形状との相違が微小でありこれを見分けて位置決 めをするのは、困難であり時間がかかるという問題があった。

【００１２】 本考案は、このような問題点に鑑みなされたもので、プラズマ装置用電極板を プラズマドライエッチング装置等の拡散板部に取り付けるに際して、容易に位置 決めが可能なプラズマ装置用電極板を提供することを主目的とするものである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】

本考案は、上記課題を解決するためになされたもので、本考案の請求項１に記 載した考案は、中央部に反応ガスを通気させるため多数の小径穴が設けられた小 径穴エリアを有し、外周部には外周に沿って取付用のボルト穴が設けられたプラ ズマ装置用電極板において、その表面側の少なくとも一つのボルト穴周囲に位置 決め用溝部が設けられていることを特徴とするプラズマ装置用電極板である。

【００１４】 このように、プラズマ装置用電極板の表面側の少なくとも一つのボルト穴周囲 に位置決め用溝部を設けることにより、プラズマ装置用電極板を拡散板部に取り 付ける際に容易に位置決めを行うことが可能となり、導入孔と小径穴との位置ず れという問題が生じることがなく、かつ位置決めに際しての時間を短縮すること ができることから、効率的にエッチングを行うことができる。

【００１５】 この場合、請求項２に記載したように、位置決め用溝部が、取付用のボルト穴 の径より大きい幅を有し、ボルト穴周囲から前記プラズマ装置用電極板の外周ま で伸びる形状に形成されていることが好ましい。 このような形状とすることにより、位置決め用溝部の特定が瞬時に可能となり 取り付け位置の特定が容易となる。また、外周まで伸びていることから側面側か らも取り付け位置の特定が可能となる。さらに、簡単な形状であることから加工 が容易であり、コスト的にも有利なものとすることができる。

【００１６】 また、請求項３に記載したように、この位置決め用溝部の深さが、１ｍｍ以上 、プラズマ装置用電極板の厚みの５／６以下の範囲内であることが好ましい。 位置決め用溝部の深さが１ｍｍより小さい場合は、位置決め用溝部の目視によ る特定が困難となるためであり、深さがプラズマ装置用電極板の厚みの５／６よ り大きい場合は、位置決め用溝部が割れる等の強度に問題が生じるためである。

【００１７】 本考案のプラズマ装置用電極板の厚みは、請求項４に記載するように３ｍｍ以 上１５ｍｍ以下の範囲内で寿命とコストを勘案して定められ、またその外径は、 請求項５に記載するように、２５０ｍｍ以上４００ｍｍ以下の範囲内でエッチン グ処理される被処理物の外径に対応して選択される。

【００１８】 また、本考案においては、請求項６に記載したように、小径穴の直径が０．３ ｍｍ以上１．０ｍｍ以下であり、またその数が２００個以上２０００個以下であ り、さらに小径穴エリアの最大幅が１５０ｍｍ以上３６０ｍｍ以下であることが 好ましい。 このように小径穴の直径が小さく、かつ数が多い場合に特に本考案の位置合わ せを容易とするという効果が有効に発揮されるからであり、またこのような範囲 とすることにより反応ガスの流量等の調整が容易となりまたエッチングの均一性 が良好となるからである。

【００１９】 さらに、本考案において、ボルト穴の数は、プラズマ装置用電極板の外径によ り適宜決定されるものであるが、請求項７に記載するように８個以上２０個以下 であることが好ましい。

【００２０】 また、プラズマ装置用電極板の材質が、請求項８に記載するように０．００１ Ω・ｃｍ以上５０Ω・ｃｍ以下の比抵抗を有する単結晶シリコンであることが好 ましい。 被処理物である半導体デバイスは、通常単結晶シリコンのウエーハであるため 、これと同一の材質で同一の比抵抗を有するものによりプラズマ装置用電極板を 形成することにより、パーティクル異常放電等のトラブルを防止することができ るからである。

【００２１】 本考案においては、請求項９に記載するように位置決め用溝部が少なくとも２ か所以上のボルト穴の周囲に設けられている場合、その内の一つの溝部が他の溝 部の深さと異なる深さで形成されていることが好ましい。 このように、複数の位置決め用溝部が設けられた場合、その内の一つを深さを 変えて取り付け位置を特定することにより、取り付け位置の特定が容易となるか らである。

【００２２】

【考案の実施の形態】

以下、本考案の実施の形態について説明するが、本考案はこれらに限定される ものではない。 図１は、本考案のプラズマ装置用電極板１の表面側を示すものである。 ここで、表面側とは、プラズマ装置用電極板１のチャンバ内に面する側の面で あり、プラズマドライエッチング装置の拡散板部に密着しない側の面である。

【００２３】 このプラズマ装置用電極板１は、特に限定されるものではないが、シリコン、 カーボン、アルミニウム、または炭化珪素のいずれかの材料で形成されたもので あることが好ましく、特に好ましくは単結晶シリコンにより形成されたものであ り、中でも比抵抗が０．００１Ω・ｃｍ以上５０Ω・ｃｍ以下の単結晶シリコン により形成されたものが好ましい。 被処理物は通常単結晶シリコンのウエーハであることから、これと同材質で同 じ比抵抗を有する単結晶シリコンにより形成されたプラズマ装置用電極板を用い れば、パーティクル異常放電等のトラブルもなく好ましいからである。

【００２４】 また、このプラズマ装置用電極板１は、特に限定されるものではないが、図１ に示す例のように円形であることが好ましい。また、その外径は処理される半導 体ウエーハ等の被処理物の外径に対応して決定されるものであり、被処理物の外 径よりやや径の大きいもの、具体的には２５０ｍｍ以上４００ｍｍ以下の範囲内 のものを用いることが好ましい。この範囲内であれば、エッチング処理の均一性 を向上させることができるからである。

【００２５】 さらに、このプラズマ装置用電極板１の厚みは、３ｍｍ以上１５ｍｍ以内の範 囲内で適宜選択され用いられる。 プラズマ装置用電極板１は、使用されるにつれて被処理物である半導体ウエー ハ等と同様にエッチングされ、序々に薄くなるものであり、所定の厚みとなると 寿命として新品と交換される。一方、厚みの大きいものに小径穴等を加工する場 合はコストが高くなる。したがって、このプラズマ装置用電極板１の最適厚みは 、寿命面とコスト面を勘案して適宜決定されるものであり、通常上記範囲内で決 定されるものである。

【００２６】 本考案のプラズマ装置用電極板１には、その外周部に外周に沿うように取付用 のボルト穴２が形成されている。 このボルト穴２の数は、プラズマ装置用電極板１の外径に応じて適宜選択され るものであるが、多過ぎると取り付け時の手間が多くなり、また少な過ぎると拡 散板部との密着性に問題が生じる。したがって、径の大きさにもよるが、本考案 においては、８以上２０以下の範囲内で適宜選択される。 また、このボルト穴２の配置は、所定の間隔をおいて等間隔に配置されること が好ましい。締め付け時の応力が均等となり、拡散板部との密着性が良好となる からである。

【００２７】 さらに、このボルト穴２の径は、使用するボルトの最外径よりやや大きめとす ることが好ましい。 通常、プラズマドライエッチング装置の使用時にはプラズマ装置用電極板１に 熱が生じ、これに伴い熱膨張が生じる。この熱膨張した際にボルトとボルト穴２ とが接触すると割れ生じるという問題があるからである。 具体的には、直径３ｍｍのボルト（通称Ｍ３）を用いる場合は、ボルト穴２の 内径を３．３ｍｍ程度とすればよい。

【００２８】 さらに、熱膨張による割れをより確実に防止するために、ボルト穴２の形状を プラズマ装置用電極板１の直径方向の径を、円周方向の径に比較して長い径とし た楕円形状とすることが好ましい。このような形状とすることにより、熱膨張時 に特に問題となる直径方向の膨張を吸収することができるからである。 具体的には、上述した直径３ｍｍのＭ３ボルトを用いた場合は、円周方向の径 （短い方の径）が約３．３ｍｍ、直径方向の径（長い方の径）が約３．６ｍｍの 楕円形状とすればよい。

【００２９】 本考案のプラズマ装置用電極板１の表面側においては、このように形成された ボルト穴２の周囲にボルトの頭部を収納するための溝部であるザグリ３が形成さ れていることが好ましい。 これは、ザグリ３が形成されていないとプラズマ装置用電極板１をボルトによ り拡散板部に取りつけた場合に、このボルトの頭部がプラズマ装置用電極板から 飛び出すことになり、異常放電の原因となるという問題が生じるからである。

【００３０】 本考案のプラズマ装置用電極板は、少なくとも一か所のボルト穴２の周囲に位 置決め用溝部４が設けられているところに特徴を有するものである。 このように、プラズマ装置用電極板の表面側の少なくとも一つのボルト穴周囲 に位置決め用溝部を設けることにより、プラズマ装置用電極板を拡散板部に取り 付ける際に、取り付け位置の特定が容易となり、導入孔と小径穴との位置ずれと いう問題が生じることがない。また、容易に位置決めが可能となるため位置決め に際しての時間を短縮することができることから、効率的にエッチングを行うこ とができる。

【００３１】 この位置決め用溝部４は、図１の例に示すようにザグリ３と一体に形成された ものであってもよく、またザグリ３とは別個に形成されたものであってもよい。 また、位置決め用溝部４の溝形状は、例えば、ザグリ３の径を他のものより大 きくしたもの等、目視で特定できる形状であれば特に限定されるものではない。 本考案においては、図１の例に示すように、この位置決め用溝部４が、ザグリ ３と一体に形成され、ボルト穴２の径より大きい幅を有し、ボルト穴２の周囲か らプラズマ装置用電極板の外周まで伸びる形状とされたものであることが好まし い。

【００３２】 このような形状とすることにより、他のザグリ３とは形状が大きく異なるもの となり、特定し易いことから位置決めが容易となるからである。また、外周まで 伸びていることから、図２に示すように、側面側からも取り付け位置の確認が可 能となり、さらには、形状が簡単であることから加工が容易であり、コスト的に も有利なものとすることができるからである。

【００３３】 この場合の位置決め用溝部４の幅は、ボルト穴２の径より大きく、ボルトの頭 部が収まる幅であればよく、図１に示すようにザグリ３の径と同じ幅であること が好ましい。また、位置決め用溝部４の長さは、ボルト穴２からプラズマ装置用 電極板１の外周までの長さとすることが好ましい。

【００３４】 本考案の位置決め用溝部は、少なくとも１か所のボルト穴の周囲に設けられて いればよい。少なくとも１か所のボルト穴周囲に設けられていれば、取り付け位 置の特定ができるからである。

【００３５】 また、本考案においては、２か所以上のボルト穴の周囲に位置決め用溝部が設 けられていてもよく、この場合、位置決め用溝部の配置等を工夫することにより 取り付け位置の特定を行うことも可能であるが、一か所の位置決め用溝部の深さ を他の位置決め用溝部の深さと異なる深さに形成することにより、取り付け位置 の特定を行うことが好ましい。これは、加工が容易であり、目視による取り付け 位置の特定が可能であり、また側面からも取り付け位置の特定を行うことができ るからである。 例えば、図３に示すように、全てのボルト穴２の周囲に位置決め用溝部４を形 成した場合は、その内の一つの位置決め用溝部の深さを浅くすることにより、取 り付け位置の特定を容易に行うことができる。

【００３６】 本考案において、位置決め用溝部の深さは、ザグリと同じ深さであってもよく 、またザグリとは異なる深さに形成されたものであってもよい。ザグリと同じ深 さに形成するのであれば、ボルトの頭部の厚さに応じて決定すればよく、またザ グリと別個、もしくはザグリと一体であっても同じ深さとしない場合は、目視で 確認できる程度の深さであればその深さは特に限定されるものではない。本考案 における好ましい深さとしては、１ｍｍ以上、プラズマ装置用電極板の厚みの５ ／６以下の範囲内である。深さが１ｍｍより浅い場合は、目視による確認が困難 となり、深さが位置決め用溝部の厚みの５／６より大きくなるとこの位置決め用 溝部の強度弱くなり、割れ等が生じるおそれがあるからである。

【００３７】 本考案のプラズマ装置用電極板１には、図１に示すようにその中央部に反応ガ スを通気させる小径穴５が多数設けられている小径穴エリア６が形成されている 。 上記小径穴５の直径は、特に限定されるものではないが、０．３ｍｍ以上１． ０ｍｍ以下の範囲内であることが好ましい。小径穴５の直径をこの範囲内とする ことにより、反応ガスの流量、圧力等の制御が容易に行えるようになるからであ る。

【００３８】 また、この小径穴５の数は、被処理物である半導体ウエーハ等の径に依存する ものであり、例えば５インチや６インチの径の小さな被処理物を処理する場合は 、比較的少ない数の穴が採用され、また８インチ、１０インチ、もしくは１２イ ンチ等の径の大きな被処理物を処理する場合は小径穴５の数を多くする必要があ る。本考案においては、被処理物の径にもよるが、小径穴５の数が２００個以上 ２０００個以下の範囲内であることが好ましい。小径穴５の数をこの範囲内とす ることにより、例えば半導体ウエーハ等の被処理物のエッチングレート等の処理 の均一性が良好となるからである。

【００３９】 さらに、小径穴エリア６の最大幅は、被処理物である半導体ウエーハ等の直径 と、処理の均一性とを考慮して決定されるものであり、本考案においては１５０ ｍｍ以上３６０ｍｍ以下の範囲内であることが好ましい。具体的には、小径の被 処理物を処理する場合は上記範囲内の１５０ｍｍに近い径を採用し、大径の被処 理物を処理する場合は上記範囲内の３６０ｍｍに近い径を採用することにより良 好な処理が可能となる。 また、この小径穴エリア６の形状は、処理の均一性を考慮した場合、円形に近 い形状であることが好ましい。 このような小径穴５の数と小径穴エリア６の最大幅により、小径穴５の間隔で あるピッチが決定される。本考案においては、処理の均一性から小径穴５のピッ チを等間隔とすることが好ましい。 本考案は、このように小径穴５の径が小さく、その数が多数であり、小径穴エ リアの最大幅が比較的大きい場合に生じる位置決めの困難性を回避することを目 的とするものである。したがって、それぞれが上記範囲内である場合に、本考案 の位置決めが容易となるという効果がより有効に発揮されるものであり、この面 からも上記範囲内とすることが好ましい。

【００４０】

【実施例】

以下、本考案を実施例を挙げて説明する。 （実施例） まず、直径３００ｍｍ、比抵抗が２Ω・ｃｍの単結晶シリコンのインゴットを 用意し、このインゴットにスライス加工を施し、厚さ６ｍｍの円板を得た。この 円板の外周を加工することにより、これを直径２９０ｍｍのプラズマ装置用電極 板素材とした。

【００４１】 次に、この電極板素材をグラインディングセンターに取り付け、ダイヤモンド ツールを用いて、直径３．４ｍｍのボルト穴を電極板素材の外周部に沿って１２ 個等間隔に設けた。 この１２個のボルト穴の内、１１個については直径８ｍｍで深さが２．５ｍｍ のザグリを設け、残りの１個については、幅８ｍｍで長さがボルト穴周囲からプ ラズマ装置用電極板素材の外周まであり、深さが２．５ｍｍの位置決め用溝部を 設けた。

【００４２】 さらに、この電極板素材の中央部に、直径０．５５ｍｍのダイヤモンドツール を用いて、小径穴エリアの形状がほぼ円形で、その直径が２２０ｍｍとなるよう に６１３個の小径穴を設けてプラズマ装置用電極板を製造した。 このようにして製造したプラズマ装置用電極板を、図５に示すようなプラズマ ドライエッチング装置の拡散板部に取り付け、プラズマドライエッチングを行っ た。取り付けに際して、作業者はプラズマ装置用電極板の取り付け位置の特定を 容易に行うことができ、作業時間を短縮することができた。また、取り付け位置 の間違いによりプラズマドライエッチング中に反応ガスが導入されないといった 問題も生じなかった。

【００４３】 本考案は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示で あり、本考案の実用新案登録請求の範囲に記載された技術思想と実質的に同一な 構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本考案の 技術的範囲に包含される。

【００４４】

【考案の効果】

本考案は、中央部に反応ガスを通気させるため多数の小径穴が設けられた小径 穴エリアを有し、外周部には外周に沿って取付用のボルト穴が設けられたプラズ マ装置用電極板において、その表面側の少なくとも一つのボルト穴周囲に位置決 め用溝部が設けらたプラズマ装置用電極板であるので、プラズマ装置用電極板を プラズマドライエッチング装置に取り付ける際に、作業者が容易にプラズマ装置 用電極板の位置決めを行うことができ、取り付けの作業時間を短縮することがで きる。また、位置決めが容易となるので、取り付け位置を間違えることにより生 じる反応ガスが流れなくなるというトラブルを防止するという効果を奏するもの である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のプラズマ装置用電極板の一例を示す平
面図である。

【図２】図１に示す本考案のプラズマ装置用電極板の一
例の側面図である。

【図３】本考案のプラズマ装置用電極板の他の例を示す
平面図である。

【図４】従来のプラズマ装置用電極板を示す平面図であ
る。

【図５】プラズマドライエッチング装置を示す説明図で
ある。

【符号の説明】

１ … プラズマ装置用電極板、 ２ … ボルト
穴、３ … ザグリ、 ４ … 位置
決め用溝部、５ … 小径穴、 ６
… 小径穴エリア、２１ … チャンバ、
２２ … 平面電極、２３ … 対向電極、
２４ … 被処理物、２５ … 固定部、
２６ … 電極部、２７ … プラズマ装置
用電極板、 ２８ … ガス溜り部、２９ … 導入
孔、 ３０ … 拡散板部、３１ …
ボルト、 ３２ … 小径穴、３３ …
真空排気装置、 ３４ … 反応ガス、３５
… 小径穴エリア、 ３６ … ボルト穴、
３７ … ザグリ。

Claims (9)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 中央部に反応ガスを通気させるため多数
   の小径穴が設けられた小径穴エリアを有し、外周部には
   外周に沿って取付用のボルト穴が設けられたプラズマ装
   置用電極板において、その表面側の少なくとも一つのボ
   ルト穴周囲に位置決め用溝部が設けられていることを特
   徴とするプラズマ装置用電極板。
2. 【請求項２】 前記位置決め用溝部が、取付用のボルト
   穴の径より大きい幅を有し、ボルト穴周囲から前記プラ
   ズマ装置用電極板の外周まで伸びる形状に形成されてい
   ることを特徴とする請求項１記載のプラズマ装置用電極
   板。
3. 【請求項３】 前記位置決め用溝部の深さが、１ｍｍ以
   上、前記プラズマ装置用電極板の厚みの５／６以下の範
   囲内であることを特徴とする請求項１または請求項２に
   記載のプラズマ装置用電極板。
4. 【請求項４】 前記プラズマ装置用電極板の厚みが３ｍ
   ｍ以上１５ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１か
   ら請求項３までのいずれか１つの請求項に記載のプラズ
   マ装置用電極板。
5. 【請求項５】 前記プラズマ装置用電極板の外径が、２
   ５０ｍｍ以上４００ｍｍ以下であることを特徴とする請
   求項１から請求項４までのいずれか１つの請求項に記載
   のプラズマ装置用電極板。
6. 【請求項６】 前記小径穴の直径が０．３ｍｍ以上１．
   ０ｍｍ以下であり、またその数が２００個以上２０００
   個以下であり、さらに小径穴エリアの最大幅が１５０ｍ
   ｍ以上３６０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１
   から請求項５までのいずれか１つの請求項に記載のプラ
   ズマ装置用電極板。
7. 【請求項７】 前記取付用のボルト穴の数が８個以上２
   ０個以下であることを特徴とする請求項１から請求項６
   までのいずれか１つの請求項に記載のプラズマ装置用電
   極板。
8. 【請求項８】 前記プラズマ装置用電極板の材質が、
   ０．００１Ω・ｃｍ以上５０Ω・ｃｍ以下の比抵抗を有
   する単結晶シリコンであることを特徴とする請求項１か
   ら請求項７までのいずれかの１つの請求項に記載のプラ
   ズマ装置用電極板。
9. 【請求項９】 前記位置決め用溝部が少なくとも２か所
   以上のボルト穴の周囲に設けられ、かつ一つの溝部が他
   の溝部の深さと異なる深さで形成されていることを特徴
   とする請求項１から請求項８までのいずれか１つの請求
   項に記載のプラズマ装置用電極板。