JP3049011U - 樹脂封止用金型装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 単一の駆動モータと安価なエアシリンダの組
み合わせによって、確実に型締め作業を行なうことがで
きると共に安価に製作できる樹脂封止用金型装置を提供
する。 【解決手段】 仮固定したナット部材２３に螺合するボ
ールねじ軸２１を駆動モータ４１によって回転し、ボー
ルねじ軸２１の一端部に可動フレーム３６を介して連結
されている上金型２２を対となる下金型１８に向けて移
動して当接させた後、ボールねじ軸２１を固定した状態
で、ナット部材２３に設けられた回動レバー３５をエア
シリンダ４６によって駆動することによって、ナット部
材２３を回動駆動して上、下金型２２、１８の強力な型
締めを行い、次に、上金型２２と下金型１８によって形
成される成形空間内に樹脂を充填して、成形空間内に予
め配置された対象物２７を樹脂封止する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の属する技術分野】

本考案は、半導体素子を搭載したリードフレームを樹脂封止する樹脂封止用金 型装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、例えば、半導体素子樹脂封止装置として、以下の要領で型締め作業を行 なうものがある。 まず、先部に可動型を取付けたボールねじ軸を固定状態の筒状ナットに対して サーボモータからなる型送りモータを用いて回転し、この回転に連動してボール ねじ軸と可動型を一体的に固定型に向けて移動して固定型に可動型を当接する。 その後、別途設けたサーボモータからなる型締め用モータを用いてボールねじ軸 を回転して可動型を固定型に対して押圧し、型締めを行なうことができる。また 、上記した型締め作業において、型締め用モータとボールねじ軸との間にはクラ ッチが設けられており、可動型を固定型に向けて移動する際はクラッチは解除さ れており、可動型を固定型に向けて押圧する際は、クラッチが入ることになる。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、上記した半導体素子樹脂封止装置における型締装置は、未だ、以下の 解決すべき課題を有していた。 即ち、このような半導体素子樹脂封止装置は、可動型を固定型に型締めするた めに、型送りモータと型締め用モータの２つのモータを必要とし、しかも、これ らのモータは位置制御性に優れるが極めて高価なサーボモータを用いているので 、いきおい、半導体素子樹脂封止装置の製作費を高いものとしていた。また、２ つのモータを制御する必要があるため、制御回路設計も複雑となり、その面から も半導体素子樹脂封止装置の製作費をさらに高いものとしていた。

【０００４】 本考案は、このような事情に鑑みなされたものであり、単一のモータと安価な シリンダの組み合わせによって、確実に型締め作業を行なうことができると共に 安価に製作できる樹脂封止用金型装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

前記目的に沿う請求項１記載の樹脂封止用金型装置は、立設された４本のガイ ドポストの上下に固定される上固定フレーム及び下固定フレームと、前記上固定 フレーム及び前記下固定フレームの中間位置に配置され、前記ガイドポストに沿 って昇降可能な可動フレームと、前記下固定フレームの上部に設けられた下金型 と、前記可動フレームの下部に設けられ、前記下金型に向かい合って配置される 上金型と、前記可動フレームにその基端部が第１のスラストベアリング及び第１ のラジアルベアリングを介して回転可能に取付けられ、少なくとも上半分には雄 ねじが形成され、その軸芯が前記ガイドポストの軸芯と平行なボールねじ軸と、 前記ボールねじ軸の下側に設けられ、該ボールねじ軸に回転動力を伝えると共に 、該ボールねじ軸の回転を止める動力を伝える動力伝達要素と、前記上固定フレ ームに第２のスラストベアリングを介して回転可能に取付けられて、前記ボール ねじ軸に螺合するナット部材と、前記ナット部材にその一端が固定される回動レ バーと、先部が前記回動レバーの他端に取付けられて、前記ナット部材を型締め 回動駆動するエアシリンダと、前記ボールねじ軸の動力伝達要素に連結されて、 該ボールねじ軸を回転して前記可動フレームの早送り昇降を行う駆動モータと、 前記下金型に設けられ、相互に当接する前記上金型及び前記下金型間に形成され る成形空間に樹脂を充填して予め配置されている対象物を樹脂封止する樹脂封止 機構とを有する。

【０００６】 請求項２記載の樹脂封止用金型装置は、請求項１記載の樹脂封止用金型装置に おいて、前記動力伝達要素は、前記ボールねじ軸にそれぞれ同軸的に固着された 歯車と歯付きプーリとからなって、前記歯付きプーリを介した前記ボールねじ軸 への前記駆動モータの回転動力の伝達は歯付きベルトによって行われ、前記可動 フレームに設けられた進退するロックピンを前記歯車の歯間に嵌入することによ って前記ボールねじ軸のロックを行う。

【０００７】 請求項３記載の樹脂封止用金型装置は、請求項１記載の樹脂封止用金型装置に おいて、前記動力伝達要素は、前記ボールねじ軸に固着された歯車であり、前記 駆動モータからの前記ボールねじ軸への動力伝達及び前記ボールねじ軸のロック は、前記歯車を介して行われる。

【０００８】 請求項４記載の樹脂封止用金型装置は、請求項１記載の樹脂封止用金型装置に おいて、前記動力伝達要素は、前記ボールねじ軸に固着された歯付きプーリであ り、前記駆動モータからの前記ボールねじ軸への動力伝達及び前記ボールねじ軸 のロックは、前記歯付きプーリを介して行われる。

【０００９】

【考案の実施の形態】

続いて、添付した図面を参照しつつ、本考案を具体化した実施の形態につき説 明し、本考案の理解に供する。 まず、図１〜図５を参照して、本考案の一実施の形態に係る樹脂封止用金型装 置Ａの全体構成を説明する。

【００１０】 図１及び図２に示すように、床面１０に固定設置されている矩形箱状の機枠１ １の上面には、前後及び左右に４つのガイドポスト１２〜１５が立設されており 、各ガイドポスト１２〜１５の基部は矩形環状枠からなる下固定フレーム１６を 介して機枠１１に固着連結されている。一方、ガイドポスト１２〜１５の上部同 士は矩形環状枠からなる上固定フレーム１７によって相互に連結されている。

【００１１】 図１に示すように、下固定フレーム１６の上面には下金型１８が固着されてお り、下金型１８の上面には、図４に示すように、前後列にわたって、リードフレ ーム載置凹部１９、２０が形成されている。 図１〜図３に示すように、上固定フレーム１７と下固定フレーム１６の中間位 置には可動フレーム３６がガイドポスト１２〜１５に沿って昇降可能に配設され ている。そして、可動フレーム３６の下部には、下金型１８と向かいあった状態 で、上金型２２が取付けられている。

【００１２】 本実施の形態において、上、下金型２２、１８間に成形空間を形成するために 可動フレーム３６と一体をなす上金型２２を下金型１８に向けて移動する機構と して、ボールねじ軸昇降機構２４を用いることにしている。即ち、ボールねじ軸 ２１の基端部（下端部）が可動フレーム３６の中央部に回動自在に取付けられて おり、一方、ボールねじ軸２１の上端は、上固定フレーム１７の中央部に取付け られているナット部材の一例である筒状ナット２３に螺着されている。そして、 ボールねじ軸昇降機構２４を駆動することによって、後述するように、ボールね じ軸２１と一体的に、可動フレーム３６と上金型２２を下金型１８に向けて進退 することができ、進出時に上金型２２を下金型１８に当接させて両金型１８、２ ２間に成形空間を形成することができる。

【００１３】 また、可動フレーム３６には、上金型２２が下金型１８に当接した際にボール ねじ軸２１を固定することができるボールねじ軸固定機構２５が設けられている 。 また、図３に示すように、上固定フレーム１７には、ボールねじ軸２１と螺合 する筒状ナット２３の一端が連結され、筒状ナット２３を回転することによって ボールねじ軸２１に軸方向の推力を発生し、上金型２２を下金型１８に対して型 締めする型締機構２６が取付けられている。

【００１４】 さらに、図１及び図２に示すように、機枠１１と下固定フレーム１６には、樹 脂封止される対象物の一例であるリードフレーム２７の樹脂封止用材料（樹脂） として用いる熱硬化性のタブレット２８（図７参照）を装着すると共に上、下金 型２２、１８間に形成される成形空間内に溶融状態で押し出すことができ、しか も、成形品、即ち、樹脂封止完了後のリードフレーム５５を成形カスと共に取り 出すことができる樹脂封止機構２９が配設されている。

【００１５】 次に、図１〜図５を参照して、上記した全体構成を有する樹脂封止用金型装置 Ａの各部の構成について詳細に説明する。

【００１６】 （下金型１８） 図１及び図４に示すように、下金型１８は第１〜第３の金型支持板１８ａ〜１ ８ｃを介して下固定フレーム１６の上面に固着されている。下金型１８の上面の 前後列には、幅方向に間隔を開けてリードフレーム載置凹部１９、２０が形成さ れており、中央列には、幅方向に間隔を開けて複数のタブレット装着孔３０が形 成されている。各タブレット装着孔３０は、リードフレーム載置凹部１９、２０ に、同様に下金型１８の上面に設けた樹脂注入溝３１、３２を介して連通されて いる。そして、各タブレット装着孔３０には、図７に示すようにして、熱硬化性 のタブレット２８が装着されることになる。

【００１７】 なお、図示しないが、第３の金型支持板１８ｃ内にはヒーターが埋設されてお り、タブレット装着孔３０内のタブレット２８を例えば１８０℃に予熱すること ができる。

【００１８】 （ボールねじ軸２１、筒状ナット２３及びボールねじ軸昇降機構２４） 図１〜図３に示すように、上固定フレーム１７の中央部には、大径の筒状ナッ ト２３が取付けられており、筒状ナット２３にはボールねじ軸２１の上半分に形 成された雄ねじが螺合されている。また、この筒状ナット２３は、後述するよう に、上金型２２を下降して下金型１８に当接させる型合わせ作業においては型締 機構２６によって仮固定される仮固定ナットとして働き、その後に行なわれる型 締機構２６による型締め作業においては、回転ナットとして働くように構成され ている。

【００１９】 即ち、図１〜図３に示すように、筒状ナット２３の外周面は上固定フレーム１ ７に第２のスラストベアリング３３及び第２のラジアルベアリング３４を介して 回転自在に取付けられている。一方、その上端部には後述する型締機構２６の一 部を構成する回動レバー３５の基端が固着されている。

【００２０】 図１に示すように、筒状ナット２３に、ガイドポスト１２〜１５の軸芯と平行 な軸芯を有するボールねじ軸２１の上部が螺合されており、ボールねじ軸２１の 下端（基端部）に設けた小径部３８は、第１のスラストベアリング３７ａ及び第 １のラジアルベアリング３７を介して矩形枠体からなる可動フレーム３６の中央 部に相対回転自在に取付けられている。そして、可動フレーム３６の下面には上 金型２２が連結されている。また、図１及び図２に示すように、可動フレーム３ ６の４角部は、上固定フレーム１７と下固定フレーム１６との中間位置で、ガイ ドポスト１２〜１５に沿って昇降自在に取付けられている。

【００２１】 図１に示すように、可動フレーム３６の直上方位置において、ボールねじ軸２ １には被駆動側プーリを形成する歯付きプーリ３９が固着されており、また、歯 付きプーリの下面には、歯付きプーリ３９と一体をなす歯車４０が同軸的に取付 けられている。 可動フレーム３６の上面であって、ガイドポスト１２の近傍をなす個所には、 駆動モータの一例であるサーボモータからなる第１の回転モータ４１が取付けら れており、その出力軸には駆動側プーリを形成する歯付きプーリ４２が固着され ている。そして、この歯付きプーリ４２と歯付きプーリ３９との間には歯付きベ ルト４３が巻回されている。そして、歯付きプーリ３９と、歯車４０と、歯付き プーリ４２によって、ボールねじ軸２１に歯付きベルト４３を介して回転動力を 伝えると共に、ボールねじ軸２１の回転を止める動力を伝える動力伝達要素が構 成されることになる。

【００２２】 かかる構成によって、第１の回転モータ４１を駆動すると、その回転動力は歯 付きプーリ４２→歯付きベルト４３→歯付きプーリ３９を介してボールねじ軸２ １に伝達され、ボールねじ軸２１を筒状ナット２３に対して相対回転させること になる。この時点では、筒状ナット２３は型締機構２６によって仮固定されてい るので、ボールねじ軸２１は回転しながら下方に移動することになる。従って、 ボールねじ軸２１の下端に連結された可動フレーム３６及び可動フレーム３６の 下面に取付けられた上金型２２も一体的に、しかも早送りで下降することになる 。一方、可動フレーム３６の回転は、ガイドポスト１２〜１５によって規制され ているので、可動フレーム３６及び上金型２２は、回転することなく下降し、下 金型１８に当接され、上金型２２との間に成形空間を形成することができる。

【００２３】 （ボールねじ軸固定機構２５） 図１〜図３及び図５に示すように、可動フレーム３６の上面であって、ガイド ポスト１３、１５の中間をなす位置には固定爪進退シリンダ４４が取付けられ、 ボールねじ軸２１の軸線に向けて伸延する固定爪進退シリンダ４４の伸縮ロッド の先部にはロックピンの一例である固定爪４５が固着されている。そして、固定 爪進退シリンダ４４を駆動して固定爪４５を進出し歯車４０の歯間をなす歯溝に 嵌入又は係合させることによって、ボールねじ軸２１を確実に固定することがで きる。

【００２４】 （型締機構２６） 図２及び図３に示すように、筒状ナット２３の上端部には所定の長さを有する 回動レバー３５の基端が取付けられている。一方、回動レバー３５の先端は上固 定フレーム１７の側部に取付けられたエアシリンダ４６の伸縮ロッド４６ａの先 部に枢軸４７によって枢支連結されている。

【００２５】 かかる構成によって、エアシリンダ４６を駆動して伸縮ロッド４６ａを進出す ることによって、回動レバー３５をその基端回りに回転することによって筒状ナ ット２３を一体的に回転することができ、この回転によってボールねじ軸２１に 強大な推力を付与し、上金型２２を下金型１８に対して型締めすることができる 。即ち、筒状ナット２３には、エアシリンダ４６の進出力に回動レバー３５の長 さを掛けた強大な回転トルクが発生し、この回転トルクは筒状ナット２３を介し てボールねじ軸２１に伝達され、ボールねじ軸２１に強大な推力を付与すること になる。

【００２６】 （樹脂封止機構２９） 図２及び図４に示すように、下金型１８に設けられた各タブレット装着孔３０ はピンガイド孔が同軸的に設けられており、ピンガイド孔内には、タブレット２ ８を溶融状態で成形空間に流出すると共に、成形後カスを取り出すことができる エジェクタ兼用のプランジャ４８が昇降自在に嵌入されている。プランジャ４８ の下端は、図１に示すように、第２の回転モータ７０によって昇降される昇降台 ６５の上部に連動連結されている。

【００２７】 また、図２及び図４に示すように、下金型１８の前後部に設けられたリードフ レーム載置凹部１９、２０には、幅方向に間隔を開けて複数のピンガイド孔５４ 、５４ａが設けられており、各ピンガイド孔５４、５４ａ内には、成形後のリー ドフレーム５５（図７参照）を打ち抜くためのエジェクタピン５６が昇降自在に 嵌入されている。エジェクタピン５６の下端は、プランジャ４８と同様に、昇降 台６５の上部に連動連結されている。

【００２８】 かかる構成によって、第２の回転モータ７０を駆動して昇降台６５を昇降し、 この昇降台６５の上昇に連動してプランジャ４８及びエジェクタピン５６を上昇 して、樹脂の一例である溶融状態のタブレット２８を成形空間内に流出したり、 或いは、成形作業後の成形カスやリードフレーム５５（図７参照）を打ち出すこ とができる。

【００２９】 次に、上記した構成を有する樹脂封止用金型装置Ａを用いた半導体素子樹脂封 止作業について、図６及び図７、特に、図６に示すフローチャートを参照して具 体的に説明する。

【００３０】 （１）樹脂封止用金型装置Ａは原点位置にあり、図１〜図３に示すように、上 金型２２は下金型１８の上方に位置しており、かつ、上金型２２の下面及び下金 型１８の上面は清掃されている。また、全ての運転準備が完了しており（ステッ プ１００）、筒状ナット２３は仮固定状態にある。 （２）操作盤上の自動運転スイッチを押すと、以下の一連の自動運転が開始さ れる。まず、図７（ａ）に示すように、図示しないローディング装置によりリー ドフレーム２７が自動的に下金型１８の上面に移送され載置される（ステップ１ ０１）。

【００３１】 （３）図７（ｂ）に示すように、図示しない別のローディング装置によりタブ レット２８がタブレット装着孔３０に装着される（ステップ１０２）。 （４）第１の回転モータ４１が駆動され、上金型２２の下面が下金型１８の上 面に当接するまで上金型２２を下金型１８に向けて下降する（ステップ１０３） 。 （５）第１の回転モータ４１による定格トルクでの位置を検出し、検出された 位置が異常な場合は異物が噛み込んでいると判断し（ステップ１０４ＮＯ）、第 １の回転モータ４１を緊急停止して上金型２２の下降を停止すると共に（ステッ プ１０５）、樹脂封止用金型装置Ａの全体の作動を停止する（ステップ１０６） 。

【００３２】 （６）第１の回転モータ４１による定格トルクでの位置を検出し、所定のトル クが検出された場合は正常に当接されたと判断し（ステップ１０４ＹＥＳ）、定 格トルクを保持しながら、固定爪進退シリンダ４４を進出駆動して固定爪４５を 歯車４０に向けて進出し、その歯溝に係合させて、ボールねじ軸２１を固定する （ステップ１０７）。 （７）エアシリンダ４６を進出駆動して、仮固定状態の筒状ナット２３を回転 （正転）し、ボールねじ軸２１を介して上金型２２を下金型１８にさらに押圧し て型締めを行なう（ステップ１０８）。

【００３３】 （８）型締め完了後（ステップ１０９）、ヒーターによって下金型１８を所定 時間予備加熱する（ステップ１１０）。 （９）予備加熱終了後（ステップ１１１）、第２の回転モータ７０を駆動（正 転）してプランジャ４８とエジェクタピン５６を上昇し、タブレット装着孔３０ 内のタブレット２８を溶融状態の樹脂として成形空間内に注出して一定圧力で保 持し、半導体素子を搭載したリードフレーム２７を樹脂封止する（ステップ１１ ２）。

【００３４】 （１０）キュア時間の経過によって樹脂が硬化した後（ステップ１１３）、第 ２の回転モータ７０を駆動（逆転）して成形空間内の圧力を解除する（ステップ １１４）。 （１１）エアシリンダ４６を後退駆動して筒状ナット２３を回転（逆転）し、 型締めを解除する（ステップ１１５）。 （１２）固定爪進退シリンダ４４を後退駆動して固定爪４５を歯車４０から抜 き取り、ボールねじ軸２１の固定を解除する（ステップ１１６）。

【００３５】 （１３）第１の回転モータ４１を駆動（逆転）して、上金型２２を上昇する（ ステップ１１７）。 （１４）第２の回転モータ７０を駆動（正転）して、プランジャ４８及びエジ ェクタピン５６によって半導体素子が樹脂封止されたリードフレーム５５を下金 型１８からエジェクトとすると共に（ステップ１１８）、図７（ｃ）に示す状態 で、下金型１８からこのリードフレーム５５をアンローディング装置によってア ンロードする（ステップ１１９）。なお、アンロードされたリードフレーム５５ は、図７（ｄ）に示すように分離される。 （１５）上金型２２、下金型１８の成形面を清掃し（ステップ１２０）、原点 復帰動作（ステップ１２１）を行なった後、原点復帰する（ステップ１００）。

【００３６】 上記したように、本実施の形態では、半導体素子樹脂封止作業において、従来 、２つのサーボモータを用いてそれぞれ行なわれていた上金型２２を下金型１８ に当接させる動作と、当接後に上金型２２を下金型１８に押圧して型締めを行な う動作を、それぞれ、サーボモータからなる第１の回転モータ４１と、安価なエ アシリンダ４６によって行なうようにしている。

【００３７】 このように、高価なサーボモータを型当接作業のみに使用し、型締めは安価な エアシリンダ４６によって行なうようにしたので、樹脂封止用金型装置Ａを安価 に製作することができる。また、サーボモータを２台使用する場合に必要となる 複雑な制御も不要となるので、この面からも、樹脂封止用金型装置Ａの製作費の 低減化を図ることができる。

【００３８】 さらに、型締めは強大な力を必要とし、サーボモータによって型締めを行なう 場合は大出力のものを用いなければならず、そのため、サーボモータが大型化し 、樹脂封止用金型装置Ａも大型化し、搬送作業や設置個所の設定作業が煩雑とな る。しかし、本実施の形態では、エアシリンダ４６として小型のシリンダを用い る場合でも、エアシリンダ４６の進出力に回動レバー３５の長さを掛けた強大な 回転トルクを発生することができ、この回転トルクによって筒状ナット２３を回 転することができるので、ボールねじ軸２１に強大な推力を付与することができ 、確実に型締めを行なうことができる。

【００３９】 また、固定爪進退シリンダ４４を駆動してボールねじ軸２１に固着された歯車 ４０の歯溝に固定爪４５を係合させることによってボールねじ軸２１を確実に固 定した後、エアシリンダ４６によって筒状ナット２３を回転して型締めを行なう ようにしているので、エアシリンダ４６によって発生した力を無駄なく上、下金 型２２、１８間に強大な圧着力として伝達することができ、円滑かつ確実に型締 め作業を行なうことができる。また、ボールねじ軸固定機構２５と型締機構２６ は共に簡単な構造を有するので、安価に製作できると共に、制御も簡単なので、 故障が少なく、また、故障が生じた場合でもメンテナンスを容易に行なうことが できる。

【００４０】 以上、本考案を、一実施の形態を参照して説明してきたが、本考案は何ら上記 した実施の形態に記載の構成に限定されるものではなく、実用新案登録請求の範 囲に記載されている事項の範囲内で考えられるその他の実施の形態や変形例も含 むものである。

【００４１】 例えば、本実施の形態では、駆動モータを形成する第１の回転モータからボー ルねじ軸への回転動力を伝達する動力伝達要素を歯付きプーリと歯付きベルトに よって形成し、一方、ボールねじ軸固定機構をボールねじ軸に固着された歯車か ら形成し、可動フレームに設けられた進退するロックピンを歯車の歯間に嵌入す ることによって、ボールねじ軸のロックを行うようにしている。即ち、動力伝達 要素とボールねじ軸固定機構を独立して構成しているが、動力伝達要素とボール ねじ軸固定機構を一つの機械要素から構成することもできる。

【００４２】 即ち、ボールねじ軸の中間部に歯車を固着し、この歯車を駆動モータの出力軸 に固着した歯車に噛合させる又は歯付きベルトを介して連動連結させることによ って、駆動モータの回転によって回転動力をボールねじ軸に伝達することができ ると共に、駆動モータ内蔵のブレーキによってボールねじ軸を固定することがで きる。さらに、ボールねじ軸の中間部に歯付きプーリを固着し、この歯付きプー リを駆動モータの出力軸に固着した歯付きプーリに歯付きベルトを用いて連動連 結することによって、駆動モータの回転によって回転動力をボールねじ軸に伝達 することができると共に、駆動モータ内蔵のブレーキによってボールねじ軸を固 定することができる。

【００４３】

【考案の効果】

請求項１〜４記載の樹脂封止用金型装置においては、仮固定したナット部材に 螺合するボールねじ軸を駆動モータによって回転し、ボールねじ軸の一端部に可 動フレームを介して連結されている上金型を下金型に向けて移動して当接させた 後、ボールねじ軸を動力伝達要素によって固定した状態で、ナット部材に連結さ れた回動レバーをエアシリンダによって駆動することによって、ナット部材を回 動駆動して上、下金型の強力な型締めを行い、次に、上、下金型によって形成さ れる成形空間内に樹脂を充填して、成形空間内に予め配置された対象物を樹脂封 止するようにしている。

【００４４】 このように、下金型への上金型の移動及び当接動作は高価なサーボモータ等か らなる駆動モータで行なうが、型締めは安価なエアシリンダによって行なうこと ができるので、樹脂封止作業を安価に行なうことができる。 型当接動作のみならず型締動作にもサーボモータを使用する場合に必要となる 複雑な制御を不要とすることができるので、この面からも、樹脂封止作業の低廉 化を図ることができる。

【００４５】 エアシリンダによって発生する回転トルクを回動レバーを介して行なうことに よって、エアシリンダを可及的にコンパクトに保持しながら、強大な回転トルク をナット部材を介してボールねじ軸に伝達することができ、強大な推力を発生し て、上、下金型の型締めを確実に行なうことができる。 下金型に当接かつ型締めされる上金型を、４つのガイドポストによって昇降案 内される可動フレームの下部に取付けると共に、可動フレームを第１のスラスト ベアリングと第１のラジアルベアリングを介してボールねじ軸に連結したので、 ボールねじ軸の回動駆動に連動して下金型に向けて円滑かつ確実に移動すること ができ、精密な成形作業を迅速に行うことができる。 ナット部材を第２のスラストベアリングを介して上固定フレームに取付けたの で、回転レバーの回転力を効率的にボールねじ軸への推力に変換することができ る。

【００４６】 請求項２記載の樹脂封止用金型装置においては、動力伝達要素は、ボールねじ 軸にそれぞれ同軸的に固着された歯車と歯付きプーリとからなって、歯付きプー リを介したボールねじ軸への駆動モータの回転動力の伝達は歯付きベルトによっ て行われ、可動フレームに設けられた進退するロックピンを歯車の歯間に嵌入し ている。従って、駆動モータによってボールねじ軸を確実に回転して円滑かつ精 密に上金型を昇降できると共に、ロックピンによってボールねじ軸を強固に固定 することができ、その後の型締めを容易かつ確実に行なうことができる。

【００４７】 請求項３記載の樹脂封止用金型装置においては、動力伝達要素は、前記ボール ねじ軸に固着された歯車であり、駆動モータからのボールねじ軸への動力伝達及 びボールねじ軸のロックは、歯車を介して行われる。従って、ロックピンや歯付 きプーリを用いずに、ボールねじ軸を強固に固定することができ、動力伝達要素 の構成を簡単にすることができるので、樹脂封止用金型装置を安価に製作するこ とできると共に、メンテナンスも容易に行うことができる。

【００４８】 請求項４記載の樹脂封止用金型装置においては、動力伝達要素は、ボールねじ 軸に固着された歯付きプーリであり、駆動モータからのボールねじ軸への動力伝 達及びボールねじ軸のロックは、歯付きプーリを介して行われる。従って、この 場合も、ロックピンや歯車を用いずに、ボールねじ軸を強固に固定することがで き、動力伝達要素の構成を簡単にすることができるので、樹脂封止用金型装置を 安価に製作することできると共に、メンテナンスも容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施の形態に係る樹脂封止用金型装
置の正面図である。

【図２】同側面図である。

【図３】同平面図である。

【図４】下金型の平面図である。

【図５】歯車と固定爪との係合状態を示す説明図であ
る。

【図６】本考案の一実施の形態に係る樹脂封止用金型装
置による半導体素子樹脂封止作業のフローチャートであ
る。

【図７】本考案の一実施の形態に係る樹脂封止用金型装
置による半導体素子樹脂封止作業におけるリードフレー
ムへの樹脂封止工程を示す説明図である。

【符号の説明】

Ａ 樹脂封止用金型装置 １０ 床面 １１ 機枠 １２ ガイドポ
スト １３ ガイドポスト １４ ガイドポ
スト １５ ガイドポスト １６ 下固定フ
レーム １７ 上固定フレーム １８ 下金型 １８ａ 第１の金型支持板 １８ｂ 第２の
金型支持板 １８ｃ 第３の金型支持板 １９ リードフ
レーム載置凹部 ２０ リードフレーム載置凹部 ２１ ボールね
じ軸 ２２ 上金型 ２３ 筒状ナッ
ト ２４ ボールねじ軸昇降機構 ２５ ボールね
じ軸固定機構 ２６ 型締機構 ２７ リードフ
レーム ２８ タブレット ２９ 樹脂封止
機構 ３０ タブレット装着孔 ３１ 樹脂注入
溝 ３２ 樹脂注入溝 ３３ 第２のス
ラストベアリング ３４ 第２のラジアルベアリング ３５ 回動レバ
ー ３６ 可動フレーム ３７ 第１のラ
ジアルベアリング ３７ａ 第１のスラストベアリング ３８ 小径部 ３９ 歯付きプーリ ４０ 歯車 ４１ 回転モータ ４２ 歯付きプ
ーリ ４３ 歯付きベルト ４４ 固定爪進
退シリンダ ４５ 固定爪 ４６ エアシリ
ンダ ４６ａ 伸縮ロッド ４７ 枢軸 ４８ プランジャ ５４ ピンガイ
ド孔 ５４ａ ピンガイド孔 ５５ リードフ
レーム ５６ エジェクタピン ６５ 昇降台 ７０ 回転モータ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ // Ｂ２９Ｌ 31:34

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 立設された４本のガイドポストの上下に
   固定される上固定フレーム及び下固定フレームと、 前記上固定フレーム及び前記下固定フレームの中間位置
   に配置され、前記ガイドポストに沿って昇降可能な可動
   フレームと、 前記下固定フレームの上部に設けられた下金型と、 前記可動フレームの下部に設けられ、前記下金型に向か
   い合って配置される上金型と、 前記可動フレームにその基端部が第１のスラストベアリ
   ング及び第１のラジアルベアリングを介して回転可能に
   取付けられ、少なくとも上半分には雄ねじが形成され、
   その軸芯が前記ガイドポストの軸芯と平行なボールねじ
   軸と、 前記ボールねじ軸の下側に設けられ、該ボールねじ軸に
   回転動力を伝えると共に、該ボールねじ軸の回転を止め
   る動力を伝える動力伝達要素と、 前記上固定フレームに第２のスラストベアリングを介し
   て回転可能に取付けられて、前記ボールねじ軸に螺合す
   るナット部材と、 前記ナット部材にその一端が固定される回動レバーと、 先部が前記回動レバーの他端に取付けられて、前記ナッ
   ト部材を型締め回動駆動するエアシリンダと、 前記ボールねじ軸の動力伝達要素に連結されて、該ボー
   ルねじ軸を回転して前記可動フレームの早送り昇降を行
   う駆動モータと、 前記下金型に設けられ、相互に当接する前記上金型及び
   前記下金型間に形成される成形空間に樹脂を充填して予
   め配置されている対象物を樹脂封止する樹脂封止機構と
   を有することを特徴とする樹脂封止用金型装置。
2. 【請求項２】 前記動力伝達要素は、前記ボールねじ軸
   にそれぞれ同軸的に固着された歯車と歯付きプーリとか
   らなって、前記歯付きプーリを介した前記ボールねじ軸
   への前記駆動モータの回転動力の伝達は歯付きベルトに
   よって行われ、前記可動フレームに設けられた進退する
   ロックピンを前記歯車の歯間に嵌入することによって前
   記ボールねじ軸のロックを行う請求項１記載の樹脂封止
   用金型装置。
3. 【請求項３】 前記動力伝達要素は、前記ボールねじ軸
   に固着された歯車であり、前記駆動モータからの前記ボ
   ールねじ軸への動力伝達及び前記ボールねじ軸のロック
   は、前記歯車を介して行われる請求項１記載の樹脂封止
   用金型装置。
4. 【請求項４】 前記動力伝達要素は、前記ボールねじ軸
   に固着された歯付きプーリであり、前記駆動モータから
   の前記ボールねじ軸への動力伝達及び前記ボールねじ軸
   のロックは、前記歯付きプーリを介して行われる請求項
   １記載の樹脂封止用金型装置。