JP3043303B2 - ガスの固定化処理装置 - Google Patents
ガスの固定化処理装置Info
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- JP3043303B2 JP3043303B2 JP9340230A JP34023097A JP3043303B2 JP 3043303 B2 JP3043303 B2 JP 3043303B2 JP 9340230 A JP9340230 A JP 9340230A JP 34023097 A JP34023097 A JP 34023097A JP 3043303 B2 JP3043303 B2 JP 3043303B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガス、特に放射性
ガスをイオン化し金属基体中に注入して固定化する、ガ
スの固定化処理装置に関する。
ガスをイオン化し金属基体中に注入して固定化する、ガ
スの固定化処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】原子力発電所から発生する使用済燃料の
再処理工程においては、環境へ放出される放射性物質の
低減を図るための種々の技術開発が行われている。この
うち気体廃棄物で半減期が約１０年と比較的長いクリプ
トン８５（以下Ｋｒ一８５と略称する）については、廃
ガス中から除去回収後イオン注入法による固定化処理装
置が開発されている。
再処理工程においては、環境へ放出される放射性物質の
低減を図るための種々の技術開発が行われている。この
うち気体廃棄物で半減期が約１０年と比較的長いクリプ
トン８５（以下Ｋｒ一８５と略称する）については、廃
ガス中から除去回収後イオン注入法による固定化処理装
置が開発されている。
【０００３】図３はイオン注入法を用いた従来のガス固
定化処理装置を示したものである。このガス固定化処理
装置は、被処理ガスが導入される密閉型のイオン注入電
極としてのステンレス製の外側陰極１１と、この外側陰
極１１の温度上昇を抑えるための外側陰極冷却管１３
と、前記外側陰極１１の内部に配置されたスパッタリン
グターゲット材となるニッケルイットリウム製の円筒状
内側陰極１５と、内側陰極１５を冷却するため内部を冷
却水が流れるステンレス製の内側陰極冷却水管１７と、
この内側陰極冷却水管１７に冷却水を供給する冷却水供
給管１９と、前記内側陰極冷却水管１７から冷却水を排
出する冷却水排出管２１と、前記外側陰極１１の上端開
口を閉塞させるステンレス製の陽極蓋２３と、この陽極
蓋２３に取付られた被処理ガスのガス導入管２５と、外
側陰極１１内を減圧するためのガス吸引管２７と、前記
外側陰極１１の底部に設けられたステンレス製の陽極底
２９と、前記外側陰極１１と内側陰極１５とに高電圧を
印加するための直流高圧電源３１とからなっている。な
お、図中３３、３５、３７は絶縁部材である。また、外
側陰極１１、陽極蓋２３、陽極底２９、絶縁体３３，３
５，３７は、密閉構造の固定化容器３９を構成する。
定化処理装置を示したものである。このガス固定化処理
装置は、被処理ガスが導入される密閉型のイオン注入電
極としてのステンレス製の外側陰極１１と、この外側陰
極１１の温度上昇を抑えるための外側陰極冷却管１３
と、前記外側陰極１１の内部に配置されたスパッタリン
グターゲット材となるニッケルイットリウム製の円筒状
内側陰極１５と、内側陰極１５を冷却するため内部を冷
却水が流れるステンレス製の内側陰極冷却水管１７と、
この内側陰極冷却水管１７に冷却水を供給する冷却水供
給管１９と、前記内側陰極冷却水管１７から冷却水を排
出する冷却水排出管２１と、前記外側陰極１１の上端開
口を閉塞させるステンレス製の陽極蓋２３と、この陽極
蓋２３に取付られた被処理ガスのガス導入管２５と、外
側陰極１１内を減圧するためのガス吸引管２７と、前記
外側陰極１１の底部に設けられたステンレス製の陽極底
２９と、前記外側陰極１１と内側陰極１５とに高電圧を
印加するための直流高圧電源３１とからなっている。な
お、図中３３、３５、３７は絶縁部材である。また、外
側陰極１１、陽極蓋２３、陽極底２９、絶縁体３３，３
５，３７は、密閉構造の固定化容器３９を構成する。
【０００４】このようなガス固定化処理装置では、外側
陰極１１内の圧力および外側陰極１１と内側陰極１５と
の間に印加される電圧が適当な条件を満たす場合には外
側陰極１１内全体に放電が発生することが知られてい
る。この放電によりＫｒ一８５は電離してイオン状態と
なり、放電プラズマが形成される。
陰極１１内の圧力および外側陰極１１と内側陰極１５と
の間に印加される電圧が適当な条件を満たす場合には外
側陰極１１内全体に放電が発生することが知られてい
る。この放電によりＫｒ一８５は電離してイオン状態と
なり、放電プラズマが形成される。
【０００５】そして、高圧直流電源３１から外側陰極１
１に１ＫＶ以下の負の電圧を、内側陰極１５に冷却水排
出管２１および内側陰極冷却水管１７を介して１ＫＶ以
上の負の電圧をそれぞれ連続的に印加した場合には、放
電により電離したＫｒ一８５イオン４１は電界に沿って
加速され、内側陰極１５の面に入射衝突し、内側陰極１
５をスパッタさせる。スパッタされた金属原子は対向す
る外側陰極１１の内面に付着し積層して金属製の固化体
４３を形成していく。
１に１ＫＶ以下の負の電圧を、内側陰極１５に冷却水排
出管２１および内側陰極冷却水管１７を介して１ＫＶ以
上の負の電圧をそれぞれ連続的に印加した場合には、放
電により電離したＫｒ一８５イオン４１は電界に沿って
加速され、内側陰極１５の面に入射衝突し、内側陰極１
５をスパッタさせる。スパッタされた金属原子は対向す
る外側陰極１１の内面に付着し積層して金属製の固化体
４３を形成していく。
【０００６】また、これと同時に一部のＫｒ一８５イオ
ン４１は外側陰極１１の電界の方に直接加速されて、前
記固化体４３に打ち込まれ注入されていく。このように
して固化体４３は厚みを増しながら注入されたＫｒ一８
５を連続的に金属中に固定化処理していく。なお、内側
陰極１５はスパッタリングの進行とともに消耗してい
く。
ン４１は外側陰極１１の電界の方に直接加速されて、前
記固化体４３に打ち込まれ注入されていく。このように
して固化体４３は厚みを増しながら注入されたＫｒ一８
５を連続的に金属中に固定化処理していく。なお、内側
陰極１５はスパッタリングの進行とともに消耗してい
く。
【０００７】このように、イオン注入法は、常温、負圧
という条件で連続して金属中に放射性のクリプトンを固
定化できる技術であり、安全性に優れている。
という条件で連続して金属中に放射性のクリプトンを固
定化できる技術であり、安全性に優れている。
【０００８】
【発明が開発しようとする課題】ところで、上記固定化
処理装置においては、固定化処理の進行とともに内側陰
極１５はスパッタリングにより消耗していく。しかし、
消耗の程度が直接確認できないため、いつ電極が消耗し
尽くしたのか判断できない。現状内側陰極の消耗につい
ては、電極の大きさに基づき固定化可能なクリプトンガ
ス量を算出し、クリプトンガスの固定化量からその程度
を推測していた。
処理装置においては、固定化処理の進行とともに内側陰
極１５はスパッタリングにより消耗していく。しかし、
消耗の程度が直接確認できないため、いつ電極が消耗し
尽くしたのか判断できない。現状内側陰極の消耗につい
ては、電極の大きさに基づき固定化可能なクリプトンガ
ス量を算出し、クリプトンガスの固定化量からその程度
を推測していた。
【０００９】本発明は、上記問題点を解消するためにな
されたもので、内側陰極の消耗度合を検知し、消耗が所
定の部位に達した場合固定化処理を停止させることを可
能にした、特に放射性のガスを安全に固定化処理できる
ガスの固定化処理装置を提供することを目的とする。
されたもので、内側陰極の消耗度合を検知し、消耗が所
定の部位に達した場合固定化処理を停止させることを可
能にした、特に放射性のガスを安全に固定化処理できる
ガスの固定化処理装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の特徴は、
被処理ガスが導入される密閉構造の固定化容器と、この
固定化容器内に設けられ負の電圧が印荷されるイオン注
入電極と、このイオン注入電極に対向して配置され負の
高電圧が印荷されるスパッタ電極と、これら両電極に高
電圧を供給する高圧電源とを備え、両電極間に被処理ガ
スを導入し、グロー放電を発生させることによって被処
理ガスをイオン化し、このイオン化されたガスをイオン
注入電極表面に形成されたスパッタ金属の固化層中に注
入して固定化するガス固定化処理装置において、スパッ
タ電極に、この電極の消耗度合を検出する検出手段を設
けたことである。
被処理ガスが導入される密閉構造の固定化容器と、この
固定化容器内に設けられ負の電圧が印荷されるイオン注
入電極と、このイオン注入電極に対向して配置され負の
高電圧が印荷されるスパッタ電極と、これら両電極に高
電圧を供給する高圧電源とを備え、両電極間に被処理ガ
スを導入し、グロー放電を発生させることによって被処
理ガスをイオン化し、このイオン化されたガスをイオン
注入電極表面に形成されたスパッタ金属の固化層中に注
入して固定化するガス固定化処理装置において、スパッ
タ電極に、この電極の消耗度合を検出する検出手段を設
けたことである。
【００１１】従って、スパッタリングによりスパッタ電
極が所定量消耗すると、検出手段がこれを感知する。従
って、スパッタ電極の消耗度合いを確実に検出できる。
極が所定量消耗すると、検出手段がこれを感知する。従
って、スパッタ電極の消耗度合いを確実に検出できる。
【００１２】本発明の第２の特徴は、検出手段には、こ
の検出手段からの信号を処理しスパッタ電極が所定量以
上消耗しているか否かを判断する信号処理装置が接続さ
れ、この信号処理装置には、この信号処理装置において
スパッタ電極が消耗していると判断された場合に、両電
極に印荷されている高電圧を遮断する命令を高圧電源に
発する制御装置が接続されていることである。
の検出手段からの信号を処理しスパッタ電極が所定量以
上消耗しているか否かを判断する信号処理装置が接続さ
れ、この信号処理装置には、この信号処理装置において
スパッタ電極が消耗していると判断された場合に、両電
極に印荷されている高電圧を遮断する命令を高圧電源に
発する制御装置が接続されていることである。
【００１３】従って、検出手段がスパッタ電極が所定量
以上消耗していることを検知すると、自動的に直流高圧
電源を停止することができ、それ以上の電極の損耗を防
止し、安全性を確保することができる。
以上消耗していることを検知すると、自動的に直流高圧
電源を停止することができ、それ以上の電極の損耗を防
止し、安全性を確保することができる。
【００１４】本発明の第３の特徴は、スパッタ電極の内
側には、この電極を冷却する冷却管が設けられ、検出手
段はスパッタ電極と冷却管との界面に設けられているこ
とである。
側には、この電極を冷却する冷却管が設けられ、検出手
段はスパッタ電極と冷却管との界面に設けられているこ
とである。
【００１５】従って、スパッタ電極が消耗し冷却管が露
出すると、検出手段がこれを検知し自動的に直流高圧電
源を停止する。
出すると、検出手段がこれを検知し自動的に直流高圧電
源を停止する。
【００１６】本発明の第４の特徴は、検出手段は、ミネ
ラル絶縁ケーブルであるとともに、信号処理装置は、ミ
ネラル絶縁ケーブルが切断されたか否かによってスパッ
タ電極が所定量消耗しているか否かを判断するようにな
されていることである。
ラル絶縁ケーブルであるとともに、信号処理装置は、ミ
ネラル絶縁ケーブルが切断されたか否かによってスパッ
タ電極が所定量消耗しているか否かを判断するようにな
されていることである。
【００１７】従って、簡単な構造でスパッタ電極の消耗
を判断することができる。
を判断することができる。
【００１８】本発明の第５及び第６の特徴は、ミネラル
絶縁ケーブルは、スパッタ電極とその中に挿入された冷
却管との界面に螺旋状又はつづら折り状に配置されてい
ることである。
絶縁ケーブルは、スパッタ電極とその中に挿入された冷
却管との界面に螺旋状又はつづら折り状に配置されてい
ることである。
【００１９】従って、一本のケーブルで、スパッタ電極
及び冷却管の全周方向にわたる消耗を検知することがで
き、より安全性を高めることができる。
及び冷却管の全周方向にわたる消耗を検知することがで
き、より安全性を高めることができる。
【００２０】本発明の第７及び第８の特徴は、検出手段
は、シース熱電対又はシース測温抵抗体であることであ
る。
は、シース熱電対又はシース測温抵抗体であることであ
る。
【００２１】従って、内側陰極の消耗に伴いスパッタリ
ング領域がシース熱電対または測温抵抗体に近づくこと
による温度上昇を検知し、ＭＩケーブルの場合と同様の
操作を行うことができる。
ング領域がシース熱電対または測温抵抗体に近づくこと
による温度上昇を検知し、ＭＩケーブルの場合と同様の
操作を行うことができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、図１および図２を参照しな
がら本発明に係るガスの固定化処理装置の一実施例につ
いて説明する。なお、従来例と同一構成の部分には同一
符号を付してその説明を省略する。
がら本発明に係るガスの固定化処理装置の一実施例につ
いて説明する。なお、従来例と同一構成の部分には同一
符号を付してその説明を省略する。
【００２３】この固定化処理装置は、スパッタ電極であ
る内側陰極１５に挿入された内側陰極冷却水管１７の外
周面に溝５１が形成されている。この溝５１には、外径
１ｍｍ程度のＭＩ（Ｍｉｎｅｒａｌ Ｉｎｓｕｌａｔｅ
ｄ）ケーブル５３が螺旋状に配置されている。このＭＩ
ケーブル５３は、図２に示すように、金属シース５５の
内側に絶縁材５７が充填されており、この絶縁材５７内
にＵ字状の導線５９が埋め込まれている。このＭＩケー
ブルの一端には、信号処理装置６１が接続されている。
この信号処理装置６１には、導線５９の両端が接続され
ており、金属シース５５内の導線５９の導通を常時監視
している。そして、この導線５９の導通がとれるか否か
で導線５９が切断されたか否かを判断できるようになっ
ている。この信号処理装置６１には、制御装置６３が接
続されており、この制御装置６３は直流高圧電源３１に
接続されている。この制御装置６３は、信号処理装置６
１から導線５９が切断されたという信号を受けると、直
流高圧電源３１に対して高電圧の供給を停止する命令を
出力するようになっている。
る内側陰極１５に挿入された内側陰極冷却水管１７の外
周面に溝５１が形成されている。この溝５１には、外径
１ｍｍ程度のＭＩ（Ｍｉｎｅｒａｌ Ｉｎｓｕｌａｔｅ
ｄ）ケーブル５３が螺旋状に配置されている。このＭＩ
ケーブル５３は、図２に示すように、金属シース５５の
内側に絶縁材５７が充填されており、この絶縁材５７内
にＵ字状の導線５９が埋め込まれている。このＭＩケー
ブルの一端には、信号処理装置６１が接続されている。
この信号処理装置６１には、導線５９の両端が接続され
ており、金属シース５５内の導線５９の導通を常時監視
している。そして、この導線５９の導通がとれるか否か
で導線５９が切断されたか否かを判断できるようになっ
ている。この信号処理装置６１には、制御装置６３が接
続されており、この制御装置６３は直流高圧電源３１に
接続されている。この制御装置６３は、信号処理装置６
１から導線５９が切断されたという信号を受けると、直
流高圧電源３１に対して高電圧の供給を停止する命令を
出力するようになっている。
【００２４】このような構成において、高圧直流電源３
１から外側陰極１１に１ＫＶ以下の負の電圧を、内側陰
極１５に１ＫＶ以上の負の電圧をそれぞれ連続的に印加
した場合には、放電により電離したＫｒ一８５イオン４
１は電界に沿って加速され、内側陰極１５の面に入射衝
突し、内側陰極１５をスパッタさせる。スパッタされた
金属原子は対向する外側陰極１１の内面に付着し積層し
て金属製の固化体４３を形成していく。また、これと同
時に一部のＫｒ一８５イオン４１は外側陰極１１の電界
の方に直接加速されて、前記固化体４３に打ち込まれ注
入されていく。このようにして固化体４３は厚みを増し
ながら注入されたＫｒ一８５を連続的に金属中に固定化
処理していく。
１から外側陰極１１に１ＫＶ以下の負の電圧を、内側陰
極１５に１ＫＶ以上の負の電圧をそれぞれ連続的に印加
した場合には、放電により電離したＫｒ一８５イオン４
１は電界に沿って加速され、内側陰極１５の面に入射衝
突し、内側陰極１５をスパッタさせる。スパッタされた
金属原子は対向する外側陰極１１の内面に付着し積層し
て金属製の固化体４３を形成していく。また、これと同
時に一部のＫｒ一８５イオン４１は外側陰極１１の電界
の方に直接加速されて、前記固化体４３に打ち込まれ注
入されていく。このようにして固化体４３は厚みを増し
ながら注入されたＫｒ一８５を連続的に金属中に固定化
処理していく。
【００２５】この時、内側陰極１５はスパッタリングの
進行とともに消耗していくが、万一局部的に内側陰極冷
却水管１７の界面まで消耗し尽くした場合には、露出し
た内側陰極冷却水管１７の溝５１に埋め込まれたＭＩケ
ーブル５３がスパッタされ、内部の導線５９が切断され
る。その結果、信号処理装置６１では、導線５９間の導
通がなくなり、内側陰極１５の消耗が内側陰極冷却水管
１７の表面まで達したことが判断される。信号処理装置
６１において、内側陰極１５の消耗が内側陰極冷却水管
１７の表面まで達したことが判断されると、その判断は
制御装置６３に送られ、制御装置６３は、自動的に直流
高圧電源３１の電源を切断し固定化処理を停止する。
進行とともに消耗していくが、万一局部的に内側陰極冷
却水管１７の界面まで消耗し尽くした場合には、露出し
た内側陰極冷却水管１７の溝５１に埋め込まれたＭＩケ
ーブル５３がスパッタされ、内部の導線５９が切断され
る。その結果、信号処理装置６１では、導線５９間の導
通がなくなり、内側陰極１５の消耗が内側陰極冷却水管
１７の表面まで達したことが判断される。信号処理装置
６１において、内側陰極１５の消耗が内側陰極冷却水管
１７の表面まで達したことが判断されると、その判断は
制御装置６３に送られ、制御装置６３は、自動的に直流
高圧電源３１の電源を切断し固定化処理を停止する。
【００２６】以上説明したように、このガス固定化処理
装置においては、その内側陰極１５に挿入された内側陰
極冷却水管１９の外周面に、外形１ｍｍ程度のＭＩ（Ｍ
ｉｎｅｒａｌ Ｉｎｓｕｌａｔｅｄ）ケーブル５３を螺
旋状に配置しているから、内側陰極１５の消耗の度合い
が検知できる。
装置においては、その内側陰極１５に挿入された内側陰
極冷却水管１９の外周面に、外形１ｍｍ程度のＭＩ（Ｍ
ｉｎｅｒａｌ Ｉｎｓｕｌａｔｅｄ）ケーブル５３を螺
旋状に配置しているから、内側陰極１５の消耗の度合い
が検知できる。
【００２７】また、ＭＩケーブル５３を内側冷却水管１
７の表面部にらせん状、またはつづら折り状に配置する
ので１本のＭＩケーブルで内側陰極管１５のどのような
周方向の消耗に対しても消耗の度合いを検知することが
できる。
７の表面部にらせん状、またはつづら折り状に配置する
ので１本のＭＩケーブルで内側陰極管１５のどのような
周方向の消耗に対しても消耗の度合いを検知することが
できる。
【００２８】
【発明の効果】本発明に係わるガスの固定化処理装置に
よれば、スパッタ電極の消耗度合いを確実に検知できる
ため、放射性のガスをより安全に固定化処理できる。
よれば、スパッタ電極の消耗度合いを確実に検知できる
ため、放射性のガスをより安全に固定化処理できる。
【図１】本発明に係るガスの固定化処理装置の一実施例
を示す構成図。
を示す構成図。
【図２】一実施例のＭＩケーブルの断面図。
【図３】従来のガスの固定化処理装置を示す構成図であ
る。
る。
１１ 外側電極 １５ 内側電極 １７ 冷却管 ３１ 直流高圧電源 ３９ 固定化容器 ５３ ＭＩケーブル ６１ 信号処理装置 ６３ 制御装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安 田 秀 彦 神奈川県横浜市鶴見区末広町２丁目４番 地 株式会社東芝 京浜事業所内 (56)参考文献 特開 昭63−113396（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G21F 9/02
Claims (7)
- 【請求項１】被処理ガスが導入される密閉構造の固定化
容器と、この固定化容器内に設けられ負の電圧が印荷さ
れるイオン注入電極と、このイオン注入電極に対向して
配置され負の高電圧が印荷されるスパッタ電極と、これ
ら両電極に高電圧を供給する高圧電源とを備え、前記両
電極間に前記被処理ガスを導入し、グロー放電を発生さ
せることによって前記被処理ガスをイオン化し、このイ
オン化されたガスを前記イオン注入電極表面に形成され
たスパッタ金属の固化層中に注入して固定化するガス固
定化処理装置において、 前記スパッタ電極に、この電極の消耗度合を検出するミ
ネラル絶縁ケーブルを設け、このミネラル絶縁ケーブル
には、このミネラル絶縁ケーブルが切断されたか否かに
よってスパッタ電極が所定量消耗しているか否かを判断
する信号処理装置を接続したことを特徴とするガスの固
定化処理装置。 - 【請求項２】前記信号処理装置には、この信号処理装置
において前記スパッタ電極が消耗していると判断された
場合に、前記両電極に印荷されている高電圧を遮断する
命令を前記高圧電源に発する制御装置が接続されている
ことを特徴とする請求項１に記載のガスの固定化処理装
置。 - 【請求項３】前記スパッタ電極の内側には、この電極を
冷却する冷却管が設けられ、前記ミネラル絶縁ケーブル
は、前記スパッタ電極と前記冷却管との界面に設けられ
ていることを特徴とする請求項２に記載のガスの固定化
処理装置。 - 【請求項４】前記ミネラル絶縁ケーブルは、前記スパッ
タ電極とその中に設けられた前記冷却管との界面に螺旋
状に配置されていることを特徴とする請求項３に記載の
ガスの固定化処理装置。 - 【請求項５】前記ミネラル絶縁ケーブルは、前記スパッ
タ電極とその中に設けられた前記冷却管との界面につづ
ら折り状に配置されていることを特徴とする請求項３に
記載のガスの固定化処理装置。 - 【請求項６】被処理ガスが導入される密閉構造の固定化
容器と、この固定化容器内に設けられ負の電圧が印荷さ
れるイオン注入電極と、このイオン注入電極に対向して
配置され負の高電圧が印荷されるスパッタ電極と、これ
ら両電極に高電圧を供給する高圧電源とを備え、前記両
電極間に前記被処理ガスを導入し、グロー放電を発生さ
せることによって前記被処理ガスをイオン化し、このイ
オン化されたガスを前記イオン注入電極表面に形成され
たスパッタ金属の固化層中に注入して固定化するガス固
定化処理装置において、 前記スパッタ電極に、この電極の消耗度合を検出するシ
ース熱電対を設け、このシース熱電対には、このシース
熱電対からの信号を処理しスパッタ電極が所定量以上消
耗しているか否かを判断する信号処理装置を接続したこ
とを特徴とするガスの固定化処理装置。 - 【請求項７】被処理ガスが導入される密閉構造の固定化
容器と、この固定化容器内に設けられ負の電圧が印荷さ
れるイオン注入電極と、このイオン注入電極に対向して
配置され負の高電圧が印荷されるスパッタ電極と、これ
ら両電極に高電圧を供給する高圧電源とを備え、前記両
電極間に前記被処理ガスを導入し、グロー放電を発生さ
せることによって前記被処理ガスをイオン化し、このイ
オン化されたガスを前記イオン注入電極表面に形成され
たスパッタ金属の固化層中に注入して固定化するガス固
定化処理装置において、 前記スパッタ電極に、この電極の消耗度合を検出するシ
ース測温抵抗体を設け、このシース測温抵抗体には、こ
のシース測温抵抗体からの信号を処理しスパッタ電極が
所定量以上消耗しているか否かを判断する信号処理装置
を接続したことを特徴とするガスの固定化処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9340230A JP3043303B2 (ja) | 1997-12-10 | 1997-12-10 | ガスの固定化処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9340230A JP3043303B2 (ja) | 1997-12-10 | 1997-12-10 | ガスの固定化処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11174195A JPH11174195A (ja) | 1999-07-02 |
| JP3043303B2 true JP3043303B2 (ja) | 2000-05-22 |
Family
ID=18334952
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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