JP3026633B2 - 発泡性強酸性薬液用配管構造 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は発泡性強酸性薬液の給送
に適用される配管構造に関する。

【０００２】半導体製造には、例えば、硫酸と過酸化水
素の混合液のように、発泡性を有すると共に強酸性であ
る薬液が、高温条件で使用される。

【０００３】このため、半導体製造装置の本体は勿論、
この薬液を給送する配管についても、発泡性及び強酸性
を考慮した特別の構造を採る必要がある。

【０００４】

【従来の技術】図４は、半導体製造装置の一つであるレ
ジスト剥離装置であり、従来の配管構造が採用してあ
る。

【０００５】１は処理槽，２はポンプ，３はフィルタで
ある。

【０００６】４は配管であり、パーフルオロアルコキシ
樹脂製である。

【０００７】硫酸（Ｈ₂ ＳＯ₄ ）と過酸化水素（Ｈ₂Ｏ
₂ ）との混合液（以下（過硫酸液という）５が、高温状
態で、ポンプ２によって、配管４内を矢印６で示すよう
に循環している。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】パーフルオロアルコキ
シ樹脂は酸・アルカリに対し侵されにくい性質を有すも
のではあるけれども、高温過硫酸に対しては配管４にク
ラックが生ずる場合があり、放置しておくと過硫酸液が
漏洩する事故を起こす虞れがあった。

【０００９】なお、クラックの発生は、高温の過硫酸液
より発生したガスか配管４の内周面から配管４の管壁内
に侵み込み、管壁内に溜まり、これが装置の定期的な保
守に伴う温度サイクルによって液化、気化を繰り返し、
収縮と膨張を繰り返すことによるものと考えられる。

【００１０】なお、従来のパーフルオロアルコキシ樹脂
は、ガスの透過性に対し優れた特性を有していない。

【００１１】本発明は、管壁内にガス溜まりができない
ようにしてクラックの発生を防止するようにした発泡性
強酸性薬用液用配管構造を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、内部
を発泡性強酸性薬液が給送される四フッ化エチレン樹脂
製の内管と、パーフルオロアルコキシ樹脂製であり、上
記内管との間に空間をおいて上記内管を囲む外管とより
なる配管本体と、該配管本体の該内管と該外管との間の
断面環状の空間内の気体を強制的に排気する手段とより
なる構成である。

【００１３】

【作用】四フッ化エチレン樹脂製の内管は、この内部を
給送される発泡性強酸性薬液から発生する酸性ガスを、
外側の空間に円滑に透過させる。

【００１４】外管には四フッ化エチレン樹脂に比べガス
透過性の劣るパーフルオルアルコキシ樹脂を用いる。こ
の外管は、酸性ガスが周囲に自由に拡がることを防止す
るように作用する。

【００１５】強制排気手段は、空間内の酸性ガスを強制
的に排気すると共に、内管及び外管の管壁内に入り込ん
でいる酸性ガスを吸い出すように作用する。

【００１６】

【実施例】図２は、図４と同じレジスト剥離装置１０を
示す。

【００１７】図２中、図４に示す構成部分と対応する部
分には同一符号を付す。

【００１８】１１は配管本体であり、処理槽１とポンプ
２との間、ポンプ２とフィルタ３との間、及びフィルタ
処理槽１との間に敷設してある。

【００１９】この配管本体１１は、内管１２と、この内
管１２との間に断面環状の空間１３において内管１２を
取り囲む外管１４とよりなる二重管構造である。

【００２０】内管１２は、四フッ化エチレン樹脂（以下
ＰＴＦＥ樹脂という）製である。

【００２１】外管１４は、パーフルオロアルコキシ樹脂
（以下ＰＦＡ樹脂という）製である。

【００２２】なお、ＰＴＦＥ樹脂はＰＦＡ樹脂よりガス
透過性が優れている。

【００２３】１５は強制排気手段としてのブロワであ
り、上記空間１３と連通させて設けられた配管１６に設
けてあり、空間１３内の気体を強制的に吸引して排気す
る。

【００２４】処理槽１内では、高温の過硫酸液によって
ウェハ表面のレジストを剥離する処理が行われる。

【００２５】また、高温の過硫酸液は、ポンプ２によっ
て配管本体１１内を矢印６で示すように、給送されて流
れる。

【００２６】配管本体１１は、高温の過硫酸液によって
加熱されて高温状態とあり、且つポンプ２より圧送され
る過硫酸液の脈動によって、常に振動している。

【００２７】また、装置１０内の保守点検は、過硫酸液
を抜いて行う。過硫酸液を抜くことにより、配管本体１
１の温度は常温まで低下する。従って、装置１０の定期
的な保守点検によって、配管本体１１は熱サイクルを受
ける。

【００２８】このように、配管本体１１は、通常は高温
で且つ振動状態にあり、且つ定期的な保守点検によって
熱サイクルを受け、クラックが生じ易い状態にある。

【００２９】しかしながら、以下の理由によりクラック
は生じない。

【００３０】 内管１２のガス透過度は高いため、内
管４内を流れる高温の過硫酸液５より発生した酸性ガス
は図１，図３中、矢印１７で示すように、内管１２の管
壁１２ａ内を比較的円滑に透過して、空間１３内に抜け
出る。

【００３１】このため、酸性ガスが管壁１２ａ内に滞留
することがない。

【００３２】また、空間１３内は矢印１８で示すよう
に、強制的に排気されていることによって壁１２ａ内に
酸性ガスが滞留しにくくなっている。

【００３３】 空間１３内に抜け出した酸性ガスは、
外管１４の管壁１４ａ内に浸み込もうとするけれども、
外管１４はガス透過度が低いことにより、また空間１３
は強制的に排気されていることによって、酸性ガスが外
管１４内に滞留することもない。

【００３４】 このように、装置１０の稼働時には、
酸性ガスが内管１２の管壁１２ａ内及び外管１４の壁１
４ａ内に滞留しない状態が保たれる。

【００３５】また、装置１０の保守点検も、内管１３の
管壁１２ａ及び外管１４の管壁１４ａ内より酸性ガスが
全て抜かれた状態で行われる。

【００３６】このため、保守点検に伴う熱サイクルによ
っても、内管１２の管壁１２ａ内及び外管１４の管壁１
４ａ内において、従来のように滞留している酸性ガスの
液化及び気化による収縮，膨張は起きず、内管１２ａ及
び外管１４にクラックは発生しない。

【００３７】また、上記の配管構造は、以下に述べる効
果も有する。

【００３８】内管１２の管壁１２ａを通して空間１３内
に抜け出た酸性ガスは、ブロワ１５によりまとめて排気
される。

【００３９】これにより、装置１０の各部が内管１２よ
り抜け出した酸性ガスによって腐食されることは確実に
防止される。

【００４０】

【発明の効果】以上説明した様に、請求項１の発明によ
れば、発泡性強酸性薬液から発生した酸性ガスが内管及
び外管の管壁内に滞留しないようにすることが出来、こ
れにより、内管及び外管にクラックが発生することを確
実に防止することが出来る。

【００４１】また、外管を設けた構成により、内管より
抜け出したきた酸性ガスが周囲に自由に拡がって各部を
腐食させてしまうことを防止することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の配管構造を示す図である。

【図２】本発明の一実施例の配管構造及びこれが適用さ
れているレジスト剥離装置を示す図である。

【図３】図２中、III −III 線に沿う断面図である。

【図４】従来の配管構造の１例を示す図である。

【符号の説明】

１ 処理槽 ２ ポンプ ３ フィルタ ５ 過硫酸液 １０ レジスト剥離装置 １１ 配管本体 １２ 四フッ化エチレン樹脂製の内管 １２ａ，１４ａ 管壁 １３ 断面環状の空間 １４ パーフルオロアルコキシ樹脂製の外管 １５ ブロワ １６ 配管 １７ 酸性ガスの抜け出しを示す矢印 １８ 強制排気を示す矢印

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/027 F17D 1/17

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部を発泡性強酸性薬液（５）が給送さ
   れる四フッ化エチレン樹脂製の内管（１２）と、パーフ
   ルオロアルコキシ樹脂製であり、上記内管との間に空間
   をおいて上記内管を囲む外管（１４）とよりなる配管本
   体（１１）と、該配管本体の該内管と該外管との間の断
   面環状の空間（１３）内の気体を強制的に排気する手段
   （１５，１６）とよりなることを特徴とする発泡性強酸
   性薬液用配管構造。