JP3025990B2 - Manufacturing method of magnetic head - Google Patents
Manufacturing method of magnetic headInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、VTR等に用いる磁
気ヘッドの製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION This invention relates to a manufacturing method of a magnetic heads used in the VTR or the like.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、VTR等の磁気記録の分野におい
て、高密度記録の達成のため、磁気記録媒体は、高抗磁
力、高残留磁束密度を有するものが使用されるようにな
ってきている。これに伴い磁気ヘッドも高飽和磁束密
度、高透磁率のものが要求されている。これらの要求を
満たすため、高飽和磁束密度かつ高透磁率を有する軟磁
性膜を非磁性基板で挟み込んだ磁気コア半体を突き合わ
せてギャップを形成する、いわゆるラミネートヘッドが
提案されている。このラミネートヘッドは高帯域の周波
数で発生する渦電流損失の影響を低減させるため、厚さ
が3〜4μmの複数の軟磁性層を、絶縁膜を介して、設
定しているトラック幅まで積層し、前記軟磁性膜を形成
するのが一般的である。2. Description of the Related Art In recent years, in the field of magnetic recording such as a VTR, a magnetic recording medium having high coercive force and high residual magnetic flux density has been used in order to achieve high density recording. . Accordingly, the magnetic head is required to have a high saturation magnetic flux density and a high magnetic permeability. In order to satisfy these requirements, a so-called laminate head has been proposed in which a gap is formed by abutting magnetic core halves in which a soft magnetic film having a high saturation magnetic flux density and a high magnetic permeability is sandwiched between non-magnetic substrates. This laminating head stacks a plurality of soft magnetic layers with a thickness of 3 to 4 μm to a set track width via an insulating film in order to reduce the effect of eddy current loss generated at a high frequency band. Generally, the soft magnetic film is formed.
【0003】この従来より提案されている積層ラミネー
トヘッドの斜視図を図11に示す。図11に示す従来の
積層ラミネートヘッドは、非磁性基板1a上に絶縁層
(図示せず)を介して軟磁性層2を積層することにより
軟磁性膜3を形成し、その上にガラス材(図示せず)を
積層させて非磁性基板1bと接着し、磁気コア半体4
a,4bを構成する。これらの磁気コア半体4a,4b
に接着用ガラス充填溝5を、また磁気コア半体4bに巻
線溝6を図のように形成し、磁気コア半体4a,4bを
前記積層された前記軟磁性膜3の端面同士が突き合わさ
れるように融着ガラス7にて接合一体化してチップヘッ
ドが構成されている。そして、これら軟磁性膜3の突合
せ面間には磁気ギャップ8が形成されている。FIG. 11 is a perspective view of a conventionally proposed laminated laminating head. The conventional laminated laminating head shown in FIG. 11 forms a soft magnetic film 3 by laminating a soft magnetic layer 2 on a non-magnetic substrate 1a via an insulating layer (not shown), and forms a glass material ( (Not shown) and bonded to the non-magnetic substrate 1b to form the magnetic core half 4
a and 4b. These magnetic core halves 4a, 4b
A glass filling groove 5 for bonding is formed on the magnetic core half 4b, and a winding groove 6 is formed on the magnetic core half 4b as shown in the figure, and the magnetic core halves 4a and 4b are brought into contact with each other. A chip head is formed by bonding and integrating with the fusion glass 7 so as to be combined. A magnetic gap 8 is formed between the butting surfaces of the soft magnetic films 3.
【0004】ところで、デジタルVTR等、次世代VT
Rの磁気ヘッドのトラック幅は高密度記録化に伴い狭く
なってきており、従来の積層ラミネートヘッドのように
軟磁性膜3のみにより磁路を形成している場合には、ト
ラック幅の減少と共に磁路体積も減少し、ヘッド出力の
低下を引き起こすことが問題となっている。By the way, next-generation VTs such as digital VTRs
The track width of the R magnetic head is becoming narrower with high-density recording. When a magnetic path is formed only by the soft magnetic film 3 as in a conventional laminated laminating head, the track width is reduced and the track width is reduced. A problem is that the volume of the magnetic path is also reduced, causing a reduction in the head output.
【0005】従来、前記したヘッド出力の低下に対処す
べく、次のような磁気ヘッドも提案されている。図12
は磁気ヘッドの平面、即ち磁気テープとの当接面を示す
ものであり、前記図11のものと同様の部分には同一符
号を付してある。この図のものは、軟磁性膜3を一対の
非磁性基板1a,1bにより膜圧方向から挟み込み接合
一体化してなる磁気コア半体4a,4bを前記軟磁性膜
3の端面同士が対向するように突合せ、これら軟磁性膜
3の突合せ面間に磁気ギャップ8を構成してなる磁気ヘ
ッドであって、前記磁気ギャップ8の部位に設けられた
軟磁性膜3を膜圧方向の片側から切り欠く切欠溝9a,
9bによって前記磁気ギャップ8のトラック幅を規制す
るようにしている(特開平5−101321号公報参
照)。Conventionally, the following magnetic head has been proposed in order to cope with the above-mentioned decrease in head output. FIG.
Indicates a plane of the magnetic head, that is, a contact surface with the magnetic tape, and portions similar to those in FIG. 11 are denoted by the same reference numerals. In this figure, the magnetic core halves 4a and 4b formed by sandwiching the soft magnetic film 3 between a pair of non-magnetic substrates 1a and 1b in the film pressure direction and joining them together are arranged so that the end faces of the soft magnetic film 3 face each other. And a magnetic gap 8 is formed between the butting surfaces of the soft magnetic films 3. The soft magnetic film 3 provided at the position of the magnetic gap 8 is cut out from one side in the film pressure direction. Notch groove 9a,
9b regulates the track width of the magnetic gap 8 (see JP-A-5-101321).
【0006】この図12のものでは、軟磁性膜3の磁気
ギャップ8の近傍における膜圧方向の厚みが、他の部分
に比較して厚くなるので、ヘッド出力は向上すると考え
られるが、次のような欠点がある。即ち、軟磁性膜3の
厚みをトラック幅より厚く設定し、トラック幅が切欠溝
9a,9bにより規制されるので、軟磁性膜に切欠溝9
a,9bを入れる際に、少なからず加工歪が発生して、
ヘッド出力低下の要因となり得る。In FIG. 12, the thickness of the soft magnetic film 3 in the film thickness direction near the magnetic gap 8 is larger than that of the other portions, so that the head output is considered to be improved. There are such disadvantages. That is, the thickness of the soft magnetic film 3 is set to be larger than the track width, and the track width is regulated by the notches 9a and 9b.
When inserting a and 9b, not a little processing distortion occurs,
This may cause a reduction in head output.
【0007】また、図13は同じく磁気ヘッドの平面を
示すものであり、前記図11のものと同様の部分には同
一符号を付してある。この図のものは、軟磁性膜3の両
サイドを磁性基板10a,10bにより挟持し、前記軟
磁性膜3の厚みそのものがトラック幅となるように前記
磁性基板10a,10bに溝11a,11bを設けてい
る(特開平6−150238号公報参照)。この図13
のものでは、磁性体が軟磁性膜3のみである磁気ギャッ
プ8の近傍に比較して、他の部分では軟磁性膜3に磁性
基板10a,10bの厚みが加えられるので、ヘッド出
力は向上するが、次のような欠点がある。即ち、トラッ
ク端のギャップラインまで磁性基板10a,10bが配
置される構造のため、ギャップ対向面の研磨時における
寸法精度が非常に高くなければならず、少しの研磨量の
バラツキによりギャップライン上に磁性基板10a,1
0bが突出してしまい、トラック幅制御が難しく量産性
は期待できない。FIG. 13 shows a plane view of the magnetic head, and the same parts as those in FIG. 11 are denoted by the same reference numerals. In this figure, both sides of the soft magnetic film 3 are sandwiched between magnetic substrates 10a and 10b, and grooves 11a and 11b are formed in the magnetic substrates 10a and 10b so that the thickness of the soft magnetic film 3 itself becomes the track width. (See JP-A-6-150238). This FIG.
As compared with the vicinity of the magnetic gap 8 in which the magnetic material is only the soft magnetic film 3, the thickness of the magnetic substrates 10a and 10b is added to the soft magnetic film 3 in other portions, so that the head output is improved. However, it has the following disadvantages. That is, since the magnetic substrates 10a and 10b are arranged up to the gap line at the track end, the dimensional accuracy at the time of polishing the gap opposing surface must be very high. Magnetic substrates 10a, 1
Since 0b protrudes, it is difficult to control the track width, and mass productivity cannot be expected.
【0008】図14も同じく磁気ヘッドの平面を示すも
のであり、前記図13のものと同様の部分には同一の符
号を付してある。この図のものは、軟磁性膜3の両サイ
ドを磁性基板10a,10bにより挟持し、前記軟磁性
膜3の厚みそのものがトラック幅となるように前記磁性
基板10a,10bは前記磁気ギャップ8の近傍には至
らないようにしている(特開平6−150238号公報
参照)。この図14のものでは、磁性体が軟磁性膜3の
みである磁気ギャップ8の近傍に比較して、他の部分で
は軟磁性膜3に磁性基板10a,10bの厚みが加えら
れるので、ヘッド出力は向上するが、次のような欠点が
ある。即ち、磁性基板10a,10bと融着ガラス7と
の境界は磁気ギャップ8と平行であるため、この境界が
疑似ギャップとなり、前記磁気ギャップ8により再生し
ているトラックの隣のトラックからの再生信号が混入す
る。FIG. 14 also shows the plane of the magnetic head, and the same parts as those in FIG. 13 are denoted by the same reference numerals. In this figure, both sides of the soft magnetic film 3 are sandwiched between magnetic substrates 10a and 10b, and the magnetic substrates 10a and 10b are connected to the magnetic gap 8 so that the thickness of the soft magnetic film 3 itself becomes the track width. It does not reach the vicinity (see JP-A-6-150238). In FIG. 14, the thickness of the magnetic substrates 10a and 10b is added to the soft magnetic film 3 in other portions compared to the vicinity of the magnetic gap 8 in which the magnetic substance is only the soft magnetic film 3, so that the head output Is improved, but has the following disadvantages. That is, since the boundary between the magnetic substrates 10a and 10b and the fusion glass 7 is parallel to the magnetic gap 8, this boundary becomes a pseudo gap, and a reproduced signal from a track adjacent to the track being reproduced by the magnetic gap 8 is used. Is mixed.
【0009】図15は磁気ヘッドを斜面から見たもので
あり、図11乃至14のものと同様の部分には同一の符
号を付してある。この図のものは、軟磁性膜3の両サイ
ドのうち磁気ギャップ8となる部分を含む前方側を非磁
性基板1a,1bにより、また後方側を磁性基板10
a,10bとにより挟持している(特開平5−2255
15号公報参照)。この図15のものでは、磁性体が軟
磁性膜3のみである前方側に比較して、後方側では軟磁
性膜3に磁性基板10a,10bの厚みが加えられるの
で、ヘッド出力は向上するが、次のような欠点がある。
即ち、この図15のものでは、前記した非磁性基板1
a,1bは単結晶フェライトであり、また磁性基板10
a,10bは多結晶フェライトであって、これらの基板
を互いに接合して基板を形成しているが、この接合技術
は高度かつ手間のかかる作業である。FIG. 15 shows the magnetic head viewed from a slope, and the same parts as those in FIGS. 11 to 14 are denoted by the same reference numerals. In this figure, the front side including the portion to be the magnetic gap 8 on both sides of the soft magnetic film 3 is formed by the nonmagnetic substrates 1a and 1b, and the rear side is formed by the magnetic substrate 10a.
a and 10b (Japanese Patent Laid-Open No. 5-2255)
No. 15). In FIG. 15, the thickness of the magnetic substrates 10a and 10b is added to the soft magnetic film 3 on the rear side as compared with the front side where the magnetic substance is only the soft magnetic film 3, so that the head output is improved. Has the following disadvantages.
That is, in the case of FIG.
a and 1b are single crystal ferrites, and
Reference numerals a and 10b denote polycrystalline ferrites, and these substrates are bonded to each other to form a substrate. This bonding technique is a sophisticated and laborious operation.
【0010】[0010]
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の磁気ヘ
ッドでは、前記したように、製造時に軟磁性膜に加工歪
が発生して、これにより出力が低下したり、製造工程で
のギャップ対向面の研磨時における寸法精度が非常に高
くなければならず、少しの研磨量のバラツキによりギャ
ップライン上に磁性基板が突出してしまって、トラック
幅制御が難しかったり、疑似ギャップが生じて、この疑
似ギャップにより磁気ギャップによって再生しているト
ラックの隣のトラックからの再生信号が混入したり、基
板を形成する非磁性基板と磁性基板との接合に手間がか
かる等の課題があった。In the above-mentioned conventional magnetic head, as described above, processing distortion occurs in the soft magnetic film during manufacturing, which causes a reduction in output or a gap facing surface in the manufacturing process. The dimensional accuracy at the time of polishing must be very high, and a slight variation in the polishing amount causes the magnetic substrate to protrude above the gap line, making it difficult to control the track width or generating a pseudo gap. As a result, there are problems such as that a reproduction signal from a track adjacent to the track being reproduced is mixed due to the magnetic gap, and that it takes time to join the non-magnetic substrate and the magnetic substrate which form the substrate.
【0011】この発明は、上記に鑑み、製造時に軟磁性
膜に加工歪が発生することがなく、製造工程でのギャッ
プ対向面の研磨時における寸法精度を高くする必要がな
く、疑似ギャップが生ずることもなく、かつ基板を形成
する非磁性部と磁性部との接合に手間がかからない磁気
ヘッドの製造方法を提供することを目的とするものであ
る。In view of the above, the present invention does not cause processing distortion in the soft magnetic film during manufacturing, eliminates the need for increasing the dimensional accuracy when polishing the gap opposing surface in the manufacturing process, and generates a pseudo gap. it is also not and it is an object to provide a method of manufacturing a magnetic <br/> heads which is not time-consuming for bonding the non-magnetic portion and the magnetic portion forming the substrate.
【0012】[0012]
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決し、前
記目的を達成するためのこの発明の磁気ヘッドの製造方
法は、 A method of manufacturing a magnetic head according to the present invention for solving the above-mentioned problems and achieving the above object.
Law,
【0013】 磁性体と非磁性体とを交互に重ね合わせて
接着する工程と、この接着により形成されたブロックを
前記重ね合わせ方向とは傾斜した方向に切断してブロッ
クバーを形成する工程と、その切断した面を研磨し、軟
磁性膜を形成する工程と、その軟磁性膜が形成されたブ
ロックバーを重ね合わせて接着する工程と、その接着し
た面に対して垂直に切断して磁気コア半体ブロックを作
成する工程と、一対の前記磁気コア半体ブロックのう
ち、何れか一方または双方に巻線溝と接着用ガラス充填
溝を形成する工程と、これらの溝を形成した面及びこの
面に該当する面を研磨する工程と、これらの研磨された
面に非磁性のギャップ材を介して前記軟磁性膜同士が対
向するように2個の前記磁気コア半体ブロック同士を突
合せ、融着ガラスを前記ガラス充填溝に充填する工程
と、この工程により形成されたブロックをアジマス角だ
け傾斜するように切断してヘッドチップを形成する工程
とを有するものである。前記非磁性体は結晶化ガラスに
より構成してもよいし、また前記磁性体はフェライトに
より構成してもよい。[0013] Magnetic material and non-magnetic material are alternately overlapped
Bonding step and the block formed by this bonding
Cut in an oblique direction from the
The process of forming a cuber and the cut surface is polished and softened.
A step of forming a magnetic film, and a step of forming the soft magnetic film.
The process of laminating and bonding the lock bars and the bonding
Cut perpendicular to the cut surface to create a magnetic core half block.
Forming a pair of magnetic core half blocks.
One or both of them are filled with winding grooves and glass for bonding.
The step of forming the grooves, the surface on which these grooves are formed and
Polishing the surface corresponding to the surface, and these polished surfaces
The soft magnetic films are opposed to each other via a non-magnetic gap material on the surfaces.
The two magnetic core half-blocks project from each other so as to face each other.
Filling the fused glass into the glass filling groove
And the block formed by this process is the azimuth angle
Forming a head chip by cutting at an angle
And The non-magnetic material is converted to crystallized glass
And the magnetic material may be ferrite.
May be configured.
【0014】[0014]
【作用】上記のような方法により製造された磁気ヘッド
では、製造時に軟磁性膜を磁気ギャップの近傍で加工す
ることがないので、加工歪の発生がなく、また製造工程
でのギャップ対向面の研磨量に少々のバラツキがあった
としても、ギャップライン上に磁性部が突出することが
ないので、トラック幅制御が容易になる。また、基板を
構成する磁性部と非磁性部との境界線は磁気ギャップに
対して傾斜しているので、疑似ギャップが生じない。さ
らに、高温に熱するだけで、基板を形成する非磁性部と
磁性部とを接合することができるので、前記非磁性部と
磁性部との接合が簡単でであり、生産を円滑ならしめ得
る。In the magnetic head manufactured by the above method , since the soft magnetic film is not processed in the vicinity of the magnetic gap at the time of manufacturing, no processing distortion occurs, and the gap facing surface in the manufacturing process is not generated. Even if the polishing amount slightly varies, the magnetic width does not protrude above the gap line, so that the track width can be easily controlled. Further, since the boundary between the magnetic portion and the non-magnetic portion constituting the substrate is inclined with respect to the magnetic gap, a pseudo gap does not occur. Furthermore, since the non-magnetic portion and the magnetic portion forming the substrate can be joined only by heating to a high temperature, the joining between the non-magnetic portion and the magnetic portion is simple, and production can be facilitated. .
【0015】[0015]
【実施例】以下に、この発明の実施例を図1乃至図9に
ついて説明する。図1はヘッドチップの概略斜視図、図
2乃至図9はヘッドチップを製造する工程を示す概略図
であって、説明を容易にするために、これらの図相互間
において、図が統一または一致していないところもあ
る。図1において、前記従来例を説明するのに用いた図
11と同一符号は同様のものを示すので、その詳細な説
明は省略する。この図1に示すヘッドチップは前記図1
1で説明した従来ヘッドでの非磁性基板の一部分を磁性
体に置き換えた構造となっている。即ち、基板15a,
15bのうち、基板15aは非磁性部16と磁性部17
とにより構成され、基板15bは非磁性体により構成さ
れている。そして、前記軟磁性膜3における前記磁気ギ
ャップ8の近傍は、前記基板15aの非磁性部16と非
磁性の基板15bによって挟持されている。また、前記
基板15aの非磁性部16と磁性部17との境界線は前
記磁気ギャップ8に対して傾斜している。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. FIG. 1 is a schematic perspective view of a head chip, and FIGS. 2 to 9 are schematic views showing a process of manufacturing the head chip. There are places that I have not done. In FIG. 1, the same reference numerals as in FIG. 11 used for describing the conventional example denote the same parts, and a detailed description thereof will be omitted. The head chip shown in FIG.
The structure is such that a part of the non-magnetic substrate in the conventional head described in 1 is replaced with a magnetic material. That is, the substrates 15a,
15b, the substrate 15a includes the non-magnetic portion 16 and the magnetic portion 17
The substrate 15b is made of a non-magnetic material. The vicinity of the magnetic gap 8 in the soft magnetic film 3 is sandwiched between the non-magnetic portion 16 of the substrate 15a and the non-magnetic substrate 15b. The boundary between the non-magnetic portion 16 and the magnetic portion 17 of the substrate 15a is inclined with respect to the magnetic gap 8.
【0016】次に、この磁気ヘッドの製造方法について
説明する。図2のように磁性体であるフェライト18と
非磁性である結晶化ガラス19とを交互に並べ、両端よ
り矢印方向に加圧しながら高温で加熱する。この加熱に
より、結晶化ガラス19のガラス質が溶け出して接着さ
れる。この接着により形成されたブロックを、一点鎖線
に沿って切断する。図3は、この切断された状態のブロ
ックバー20を示す。このブロックバー20を図3の鎖
線に沿って切断し、ブロック端のフェライト位置を揃
え、ブロックバー21とする。このブロックバー21の
図3における上、下面を研磨し、図4のように、ブロッ
クバー21の上面に絶縁膜を介して軟磁性薄層を積層
し、前記した軟磁性膜3を形成する。そして、その上面
にガラス材22をスパッタ、蒸着等によりコーティング
する。Next, a method for manufacturing the magnetic head will be described. As shown in FIG. 2, ferrite 18 which is a magnetic material and crystallized glass 19 which is non-magnetic are alternately arranged, and heated at a high temperature while pressurizing in both directions indicated by arrows. By this heating, the vitreous of the crystallized glass 19 is melted and bonded. The block formed by this bonding is cut along the dashed line. FIG. 3 shows the block bar 20 in the cut state. The block bar 20 is cut along the chain line in FIG. The upper and lower surfaces of the block bar 21 in FIG. 3 are polished, and a soft magnetic thin layer is laminated on the upper surface of the block bar 21 with an insulating film interposed therebetween as shown in FIG. Then, a glass material 22 is coated on the upper surface by sputtering, vapor deposition, or the like.
【0017】このブロックバー21を図5のように重ね
合わせ、矢印方向に加圧しながら高温で加熱して接着さ
せる。次に、図5の一点鎖線のように切断して磁気コア
半体ブロックA,Bを作る。これらの磁気コア半体ブロ
ックA,Bには、図6のように上端ガラス溝23及び接
着 接着用ガラス充填溝24を穿ち、磁気コア半体ブロ
ックBには巻線溝25をも穿つ。The block bars 21 are overlapped as shown in FIG. 5 and are bonded by heating at a high temperature while pressing in the direction of the arrow. Next, the magnetic core half blocks A and B are formed by cutting as shown by the alternate long and short dash line in FIG. These magnetic core half blocks A and B are provided with an upper end glass groove 23 and a glass filling groove 24 for bonding as shown in FIG. 6, and the magnetic core half block B is also provided with a winding groove 25.
【0018】そして、ギャップ対向となる面にギャップ
材をスパッタして、前記軟磁性膜3の端同士が一致する
よう突合せ、図7のように上端ガラス溝23と巻線溝2
4にガラス材26,27を挿入し、矢印方向に加圧しな
がら高温で加熱して、磁気コア半体ブロックA,Bを互
いに接着させる。ここで、ギャップ材は、接着可能なガ
ラス材としてもよに。Then, a gap material is sputtered on the surface facing the gap, and butted so that the ends of the soft magnetic films 3 coincide with each other, and as shown in FIG.
The glass materials 26 and 27 are inserted into the plate 4 and heated at a high temperature while being pressed in the direction of the arrow, so that the magnetic core half blocks A and B are bonded to each other. Here, the gap material may be a glass material that can be bonded.
【0019】その後、図8のように、テープ摺動面とな
る面28を円筒研削して一点鎖線に沿って切断し、前記
図1のようなヘッドチップが得られる。尚、図1におけ
る接着用ガラス充填溝5は前記の充填溝24により、巻
線溝6は前記巻線溝25により、基板15aの非磁性部
16は結晶化ガラス19により、磁性部17はフェライ
ト18により、そして基板15bは前記結晶化ガラス1
9によりそれぞれ構成される。図9はこのヘッドチップ
をテープ摺動面側から見たものであり、図1と同一部分
には同一の符号を付してある。尚、各工程ごとでのガラ
ス材を加熱・接着する温度は、図2のフェライト18と
結晶化ガラス19との接着温度>図5の接着温度>図7
の接着温度でなければならない。また、ガラス材は、各
々の温度で溶けるものを選ばなければならない。Thereafter, as shown in FIG. 8, the surface 28 serving as the tape sliding surface is cylindrically ground and cut along the alternate long and short dash line to obtain the head chip as shown in FIG. In FIG. 1, the bonding glass filling groove 5 is formed by the filling groove 24, the winding groove 6 is formed by the winding groove 25, the nonmagnetic portion 16 of the substrate 15a is formed by crystallized glass 19, and the magnetic portion 17 is formed by ferrite. 18, and the substrate 15b is made of the crystallized glass 1
9 respectively. FIG. 9 shows this head chip viewed from the tape sliding surface side, and the same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals. The temperature at which the glass material is heated and bonded in each step is as follows: the bonding temperature between the ferrite 18 and the crystallized glass 19 in FIG. 2> the bonding temperature in FIG.
The bonding temperature should be. Also, the glass material must be selected to melt at each temperature.
【0020】上記実施例では、基板15aを非磁性部1
6と磁性部17とにより構成し、基板15bを非磁性体
により構成したが、双方の基板とも磁性部と非磁性部と
により構成してもよい。また、上記した製造工程では、
非磁性体として結晶化ガラス19を用いたが、セラミッ
クを用いることもできる。この場合には、前もってフェ
ライトまたはセラミックの表面にガラス材をスパッタま
たは蒸着等によりコーティングしておく必要がある。上
記実施例では、理解を容易にするために、基板15a,
15bの長手方向の板面と磁気ギャップ8との方向が直
交しているものとして説明したが、実際には図10に例
示するように、基板15a,15bの板面と磁気ギャッ
プ8との方向はアジマス角がつくように直角方向からず
れている。このようなアジマス角をつけるには、前記図
8について説明した切断方向を選定することにより可能
となる。尚、図10において、図9と同一符号は同様の
ものを示す。In the above embodiment, the substrate 15a is
6 and the magnetic portion 17, and the substrate 15b is made of a non-magnetic material. However, both substrates may be made of a magnetic portion and a non-magnetic portion. In the above-described manufacturing process,
Although the crystallized glass 19 is used as the non-magnetic material, ceramic can be used. In this case, it is necessary to coat a glass material on the surface of the ferrite or ceramic in advance by sputtering or vapor deposition. In the above embodiment, in order to facilitate understanding, the substrates 15a,
Although it has been described that the direction of the plate surface in the longitudinal direction of 15b and the magnetic gap 8 are orthogonal to each other, the direction between the plate surfaces of the substrates 15a and 15b and the magnetic gap 8 is actually as illustrated in FIG. Are shifted from the perpendicular direction so as to form an azimuth angle. Such an azimuth angle can be obtained by selecting the cutting direction described with reference to FIG. In FIG. 10, the same reference numerals as those in FIG. 9 denote the same parts.
【0021】前記説明した結晶化ガラスは、加熱すると
ガラス質が溶け出して接着能力が得られ、かつ形状が変
化しないものを言う。The above-mentioned crystallized glass refers to a glass which, when heated, vitreous melts to obtain an adhesive ability and does not change its shape.
【0022】[0022]
【発明の効果】以上説明したように、この発明の方法で
製造された磁気ヘッドでは、従来のラミネートヘッドに
比べ狭トラック幅となっても、出力は低下せず、高出力
が得られるほか、製造時に軟磁性膜を磁気ギャップの近
傍で加工することがないので、加工歪の発生がなく、ま
た製造工程でのギャップ対向面の研磨量に少々のバラツ
キがあったとしても、ギャップライン上に磁性部が突出
することがないので、トラック幅制御が容易になる。ま
た、基板を構成する磁性部と非磁性部との境界線は磁気
ギャップに対して傾斜しているので、疑似ギャップが生
じない。さらに、高温に熱するだけで、基板を形成する
非磁性部と磁性部とを接合することができるので、前記
非磁性部と磁性部との接合が簡単であり、生産を円滑な
らしめ得る。As described above, according to the method of the present invention ,
In the manufactured magnetic head, even if the track width is narrower than the conventional laminating head, the output does not decrease, high output is obtained, and the soft magnetic film is not processed near the magnetic gap during manufacturing Therefore, there is no processing distortion, and even if there is a slight variation in the polishing amount of the gap opposing surface in the manufacturing process, the magnetic portion does not protrude above the gap line, so that track width control is easy. Become. Further, since the boundary between the magnetic portion and the non-magnetic portion constituting the substrate is inclined with respect to the magnetic gap, a pseudo gap does not occur. Furthermore, since the non-magnetic portion and the magnetic portion forming the substrate can be joined only by heating to a high temperature, the joining of the non-magnetic portion and the magnetic portion is simple, and the production can be facilitated.
【図1】この発明の方法で製造されたヘッドチップの概
略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view of a head chip manufactured by the method of the present invention.
【図2】この発明の製造工程を示す概略図である。FIG. 2 is a schematic view showing a manufacturing process of the present invention.
【図3】この発明の製造工程を示す概略図である。FIG. 3 is a schematic view showing a manufacturing process of the present invention.
【図4】この発明の製造工程を示す概略図である。FIG. 4 is a schematic view showing a manufacturing process of the present invention.
【図5】この発明の製造工程を示す概略図である。FIG. 5 is a schematic view showing a manufacturing process of the present invention.
【図6】この発明の製造工程を示す概略図である。FIG. 6 is a schematic view showing a manufacturing process of the present invention.
【図7】この発明の製造工程を示す概略図である。FIG. 7 is a schematic view showing a manufacturing process of the present invention.
【図8】この発明の製造工程を示す概略図である。FIG. 8 is a schematic view showing a manufacturing process of the present invention.
【図9】この発明の製造工程を示す概略図である。FIG. 9 is a schematic view showing a manufacturing process of the present invention.
【図10】この発明の方法で製造れさたものの具体例を
示す概略平面図である。FIG. 10 is a schematic plan view showing a specific example of one manufactured by the method of the present invention.
【図11】従来例を示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing a conventional example.
【図12】従来例を示す平面図である。FIG. 12 is a plan view showing a conventional example.
【図13】従来例を示す平面図である。FIG. 13 is a plan view showing a conventional example.
【図14】従来例を示す平面図である。FIG. 14 is a plan view showing a conventional example.
【図15】従来例を示す斜視図である。FIG. 15 is a perspective view showing a conventional example.
2 軟磁性層 3 軟磁性膜 4a,4b 磁気コア半体 5,24 接着用ガラス充填溝 6,25 巻線溝 7 融着ガラス 8 磁気ギャップ 15a,15b 基板 16 非磁性部 17 磁性部 18 フェライト 19 結晶化ガラス 20,21 ブロックバー 22 ガラス材 23 上端ガラス溝 26,27 ガラス材 A,B 磁気コア半体ブロック  Reference Signs List 2 Soft magnetic layer 3 Soft magnetic film 4a, 4b Magnetic core half 5, 24 Glass filling groove for bonding 6, 25 Winding groove 7 Fused glass 8 Magnetic gap 15a, 15b Substrate 16 Non-magnetic part 17 Magnetic part 18 Ferrite 19 Crystallized glass 20, 21 Block bar 22 Glass material 23 Upper glass groove 26, 27 Glass material A, B Magnetic core half block 
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−94418(JP,A) 特開 平6−111224(JP,A) 特開 平3−250406(JP,A) 特開 平3−46308(JP,A) 特開 平7−153016(JP,A) 特開 平3−86905(JP,A) 実開 昭60−26609(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 5/127 - 5/255 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-63-94418 (JP, A) JP-A-6-111224 (JP, A) JP-A-3-250406 (JP, A) JP-A-3- 46308 (JP, A) JP-A-7-153016 (JP, A) JP-A-3-86905 (JP, A) JP-A-60-26609 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G11B 5/127-5/255
Claims (3)
て接着する工程と、この接着により形成されたブロック
を前記重ね合わせ方向とは傾斜した方向に切断してブロ
ックバーを形成する工程と、その切断した面を研磨し、
軟磁性膜を形成する工程と、その軟磁性膜が形成された
ブロックバーを重ね合わせて接着する工程と、その接着
した面に対して垂直に切断して磁気コア半体ブロックを
作成する工程と、一対の前記磁気コア半体ブロックのう
ち、何れか一方または双方に巻線溝と接着用ガラス充填
溝を形成する工程と、これらの溝を形成した面及びこの
面に該当する面を研磨する工程と、これらの研磨された
面に非磁性のギャップ材を介して前記軟磁性膜同士が対
向するように2個の前記磁気コア半体ブロック同士を突
合せ、融着ガラスを前記ガラス充填溝に充填する工程
と、この工程により形成されたブロックをアジマス角だ
け傾斜するように切断してヘッドチップを形成する工程
とを有する磁気ヘッドの製造方法。 A magnetic material and a non-magnetic material are alternately overlapped.
Bonding step and the block formed by this bonding
Is cut in the direction inclined from the
Polishing the cut bar and the process of forming the cut bar,
Forming a soft magnetic film and forming the soft magnetic film
The process of laminating and bonding block bars and bonding
Cut perpendicular to the cut surface to form the magnetic core half block.
Forming a pair of magnetic core half blocks;
One or both of them are filled with winding grooves and glass for bonding.
The step of forming the grooves, the surface on which these grooves are formed and
Polishing the surface corresponding to the surface, and these polished surfaces
The soft magnetic films are opposed to each other via a non-magnetic gap material on the surfaces.
The two magnetic core half-blocks project from each other so as to face each other.
Filling the fused glass into the glass filling groove
And the block formed by this process is the azimuth angle
Forming a head chip by cutting at an angle
A method for manufacturing a magnetic head comprising:
したことを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッドの製造
方法。2. The nonmagnetic material is made of crystallized glass.
2. The method for manufacturing a magnetic head according to claim 1, wherein:
ことを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッドの製造方
法。 3. The magnetic body is made of ferrite.
The method of manufacturing a magnetic head according to claim 1, wherein
Law.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6224100A JP3025990B2 (en) | 1994-08-25 | 1994-08-25 | Manufacturing method of magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6224100A JP3025990B2 (en) | 1994-08-25 | 1994-08-25 | Manufacturing method of magnetic head |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0863708A JPH0863708A (en) | 1996-03-08 |
JP3025990B2 true JP3025990B2 (en) | 2000-03-27 |
Family
ID=16808551
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6224100A Expired - Lifetime JP3025990B2 (en) | 1994-08-25 | 1994-08-25 | Manufacturing method of magnetic head |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3025990B2 (en) |
-
1994
- 1994-08-25 JP JP6224100A patent/JP3025990B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0863708A (en) | 1996-03-08 |
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