JP3023338B2 - Evaporative getter with reduced activation time - Google Patents

Evaporative getter with reduced activation time

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JP3023338B2
JP3023338B2 JP1352198A JP1352198A JP3023338B2 JP 3023338 B2 JP3023338 B2 JP 3023338B2 JP 1352198 A JP1352198 A JP 1352198A JP 1352198 A JP1352198 A JP 1352198A JP 3023338 B2 JP3023338 B2 JP 3023338B2
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powder
container
mixture
barium
getter device
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JP1352198A
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JPH10208675A (en
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ダニエレ・マルテリ
ルイザ・マントバニ
ステファノ・トリベラト
ラファエルロ・ラトゥアダ
Original Assignee
サエス・ゲテルス・ソチエタ・ペル・アチオニ
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J7/00Details not provided for in the preceding groups and common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J7/14Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • H01J7/18Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering
    • H01J7/183Composition or manufacture of getters

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  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
  • Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
  • Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Thermal Insulation (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、賦活時間を短縮し
た蒸発型ゲッタ装置に関するものである。本発明はま
た、短縮された賦活時間を有しそしてフリット封着可能
である蒸発型ゲッタ装置にも関係する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an evaporable getter device having a reduced activation time. The present invention also relates to an evaporable getter device having a reduced activation time and being frit sealable.

【0002】[0002]

【従来の技術】知られる通り、蒸発性ゲッタ材料は主と
してテレビジョン設備の受像管(ブラウン管)やコンピ
ュータスクリーンの内部において真空を維持するのに使
用されている。フラット(平面型)ディスプレイの内部
での蒸発性ゲッタ材料の使用もまた、現在研究開発段階
中であり、今後も研究されていくものと思われる。
2. Description of the Related Art As is known, evaporable getter materials are mainly used to maintain a vacuum inside a picture tube (CRT) or a computer screen of television equipment. The use of evaporable getter materials inside flat (flat) displays is also currently in research and development and is expected to be explored in the future.

【0003】受像管において一般に使用されているゲッ
タ材料は、金属バリウムであり、これは受像管の内壁に
薄膜の形で付着される。この薄膜を得るためには、受像
管の作製中そこに組み込まれる蒸発型ゲッタ装置として
斯界で知られる装置が使用される。これら装置は、一般
に約250μm未満の粒寸を有するバリウム及びアルミ
ニウムの化合物であるBaAl4 の粉末と一般に約60
μm未満の粒寸を有するニッケル(Ni)粉末とを約
1:1の重量比で内部に納めた開放された金属容器から
構成される。この装置は、斯界では周知であり、例えば
本件出願人に係る米国特許第5,118,988号を参
照されたい。バリウムは、「フラッシュ」としても呼ば
れる賦活プロセスにおいて、受像管自体の外側に配置さ
れたコイルによりゲッタ装置を誘導加熱することにより
蒸発せしめられる。粉末の温度が約800〜850℃の
範囲の温度に達する時、次の反応が起こる:
A commonly used getter material in picture tubes is metal barium, which is deposited in a thin film on the inner wall of the picture tube. To obtain this thin film, a device known in the art as an evaporable getter device incorporated therein during the manufacture of the picture tube is used. These devices consist of a powder of BaAl 4 , a compound of barium and aluminum having a particle size of generally less than about 250 μm, and typically a powder of
It comprises an open metal container containing nickel (Ni) powder having a particle size of less than μm in a weight ratio of about 1: 1. This device is well known in the art, see for example, U.S. Pat. No. 5,118,988 to the present applicant. Barium is vaporized in an activation process, also referred to as a "flash", by inductively heating the getter device with a coil located outside the picture tube itself. When the temperature of the powder reaches a temperature in the range of about 800-850 ° C., the following reaction takes place:

【0004】[0004]

【化1】 BaAl4 +4Ni→Ba+4NiAl (I)Embedded image BaAl 4 + 4Ni → Ba + 4NiAl (I)

【0005】この反応は強発熱性でありそして粉末の温
度を約1200℃まで高め、この温度でバリウムは蒸発
し、そしてバリウム蒸気は、管壁上に付着して金属皮膜
を形成する。
The reaction is highly exothermic and raises the temperature of the powder to about 1200 ° C., at which point the barium evaporates and the barium vapor deposits on the tube walls to form a metal film.

【0006】装置にコイルにより電力が供給される時点
から測定を開始して、装置に収蔵されるバリウムのすべ
てを蒸発せしめるに必要とされる時間が、「合計時間
(Total Time:TTと省略する)」として、
斯界では定義されている。例えば、大型寸法のカラー受
像管により必要とされる約300mgのバリウム皮膜を
得るのに、現在のゲッタ装置を使用して必要とされるT
Tは、40〜45秒の範囲である。しかし、この時間
は、現在の電子管製造ラインにおいては、低速度段階に
相当し、それによりもっと短縮されたTT値でもってバ
リウムを放出することができる装置を開発することが製
造業者にとって必要とされている。
The time required to evaporate all of the barium stored in the device by starting the measurement from the point at which power is supplied to the device by the coil is referred to as “total time (Total Time: TT). ) "
It is defined in the art. For example, to obtain the barium coating of approximately 300 mg required by large size color picture tubes, the T required using current getter equipment is required.
T ranges from 40 to 45 seconds. However, this time corresponds to a low speed stage in current electron tube manufacturing lines, which requires the manufacturer to develop a device that can release barium with a much shorter TT value. ing.

【0007】そうした結果を得るために、原理的には、
コイルに供給される電力が増大されうるし、また粉末の
反応度の増大はそれらの粒寸を減じることにより得るこ
とができる。
In order to obtain such a result, in principle,
The power supplied to the coils can be increased, and the increased reactivity of the powders can be obtained by reducing their grain size.

【0008】しかしながら、現在得られるゲッタ装置を
使用した場合、コイル電力の増加は不可能である。実際
上、そうすることにより、粉末容器はその温度を非常に
急速に高め、粉末詰め物内部で熱の均一な拡散に十分な
時間が存在しなくなり、容器の溶融が起こる。
However, it is not possible to increase the coil power with the currently available getter devices. In effect, by doing so, the powder container raises its temperature very quickly, so that there is not enough time for a uniform diffusion of heat inside the powder filling and melting of the container occurs.

【0009】粉末の粒寸の減少もまた不可能である。そ
の理由は、これはBaAl4 とNiとの間の反応速度の
過大なそして局所的な増大をもたらし、その結果粉末詰
め物の膨張を生じそして粉末詰め物からの砕片の飛び出
しの恐れさえ生じるからである。
Reduction of the particle size of the powder is also not possible. The reason for this is that this leads to an excessive and local increase in the rate of reaction between BaAl 4 and Ni, resulting in the expansion of the powder filling and even the risk of debris jumping out of the powder filling. .

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、先行
技術の不都合を呈さない、短縮された賦活時間を有する
蒸発型ゲッタ装置の提供である。
It is an object of the present invention to provide an evaporable getter device with a reduced activation time, which does not exhibit the disadvantages of the prior art.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記課題は、BaAl4
化合物の粉末と、Niの粉末と、鉄、チタン及びそれ
らの合金から成る群から選択される第3成分の粉末とよ
り成る混合物にして、該第3成分が混合物の合計重量の
約0.3〜5%の範囲の量において存在する混合物を収
納した金属容器を有するゲッタ装置により達成される。
本発明の課題は又、上面を開口した金属容器と、詰め物
の形態にありそして上面に半径方向凹所を形成した、前
記容器内の粉末混合物にして、BaAl4と、ニッケル
と、アルミニウム、鉄、チタン及びそれらの合金から成
る群から選択される第3成分との粉末を含み、該第3成
分が混合物の合計重量の約0.3〜5%の範囲の量にお
いて存在する粉末混合物と、実質上平坦な形状を有しそ
して前記容器の底面に実質上平行であり、粉末詰め物中
に該容器底面から離間した位置に該詰め物自体の自由表
面から出現しないように埋設される不連続金属要素とを
包含する短縮された賦活時間を有しそしてフリット封着
可能である蒸発型ゲッタ装置により達成される。
Means for Solving the Problems The above object is achieved by BaAl4
Compound powder, Ni powder, and powder of the third component selected from the group consisting of iron, titanium, and alloys thereof .
The resulting mixture is achieved by a getter device having a metal container containing the mixture in which the third component is present in an amount ranging from about 0.3 to 5% of the total weight of the mixture.
It is also an object of the invention to provide a powder mixture in said container, in the form of a metal container having an open top and a filling and having a radial recess in the upper surface, wherein BaAl 4 , nickel, aluminum, iron A powder mixture with a third component selected from the group consisting of titanium and alloys thereof, wherein the third component is present in an amount ranging from about 0.3 to 5% of the total weight of the mixture; A discontinuous metal element having a substantially flat shape and substantially parallel to the bottom surface of the container and embedded in the powder filling such that it does not emerge from the free surface of the filling itself at a location spaced from the bottom surface of the container. This is achieved by an evaporable getter device which has a reduced activation time and which is frit sealable.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】粉末混合物における第3成分の粉
末量は、実際に使用される成分の種類に依存しそして一
般に約0.3〜5%の範囲にある。特に、第3成分の重
量%は、アルミニウムの場合約0.8〜2%の範囲にあ
り、鉄の場合約0.3〜1.2%の範囲にありそしてチ
タンの場合約0.5〜5%の範囲にある。第3成分の量
がこれら指定値より低い場合、バリウム蒸発時間を短縮
するという所望の効果が得られない。他方、第3成分の
量がこれら指定値より高い状態でゲッタ装置が動作され
るとき、バリウムフラッシュは、激しくなり、ほとんど
制御不可能となる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The amount of powder of the third component in the powder mixture depends on the type of component actually used and is generally in the range of about 0.3-5%. In particular, the weight percentage of the third component is in the range of about 0.8-2% for aluminum, about 0.3-1.2% for iron, and about 0.5-1.2% for titanium. It is in the range of 5%. If the amount of the third component is lower than these specified values, the desired effect of shortening the barium evaporation time cannot be obtained. On the other hand, when the getter device is operated with the amount of the third component higher than these specified values, the barium flash becomes intense and almost uncontrollable.

【0013】ニッケルとBaAl4 との間の重量比は先
行技術の装置におけるのと同様であり、一般に約1:
1、特にはこの分野ではニッケルとBaAl4 との間で
5.3:4.7の比率を有するゲッタ装置が広く使用さ
れている。
The weight ratio between nickel and BaAl 4 is similar to that in prior art devices, generally about 1:
1, especially in this field, getter devices having a ratio of 5.3: 4.7 between nickel and BaAl 4 are widely used.

【0014】本発明の目的に対して、第3成分は特に高
純度である必要はなく、一般に約98〜99%の純度を
有する市販の金属及び合金の粉末から作製されうる。本
発明目的に有用である粉末状第3成分の粒寸は、約80
μm未満、好ましくは約55μm未満である。
For the purposes of the present invention, the third component does not need to be particularly pure, but can be made from commercially available metal and alloy powders, which generally have a purity of about 98-99%. The particle size of the powdered third component useful for the purposes of the present invention is about 80
It is less than μm, preferably less than about 55 μm.

【0015】本発明のゲッタ装置において使用されるニ
ッケル粉末及び化合物BaAl4 粉末は、先行技術の装
置において使用されるのと同様である。一般に、ニッケ
ルに対しては約60μm未満の粒寸を有する粉末が使用
され、他方化合物BaAl4に対しては約250μm未
満の粒寸を有する粉末が一般に使用される。
The nickel powder and compound BaAl 4 powder used in the getter device of the present invention are similar to those used in prior art devices. Generally, powders having a particle size of less than about 60 μm are used for nickel, while powders having a particle size of less than about 250 μm are generally used for the compound BaAl 4 .

【0016】金属容器は、ニッケルメッキをした鉄やコ
ンスタンタンのような様々の材料から作製でき、酸化及
び熱処理への良好な耐性と良好な冷間加工性を示す、A
ISI304及びAISI305ステンレス鋼の使用が
好ましい。金属容器は任意の形状をとることができ、特
に米国特許第4,127,361、4,323,81
8、4,486,686、4,504,765、4,6
42,516、4,961,040及び5,118,9
88号に従う装置の容器のような斯界で知られそして使
用されているもののいずれでも良い。
The metal container can be made from a variety of materials such as nickel-plated iron and constantan, and exhibits good resistance to oxidation and heat treatment and good cold workability.
The use of ISI 304 and AISI 305 stainless steel is preferred. The metal container can take any shape, in particular U.S. Patent Nos. 4,127,361, 4,323,81.
8, 4,486,686, 4,504,765, 4,6
42,516, 4,961,040 and 5,118,9
Any of those known and used in the art, such as the container of a device according to No. 88.

【0017】賦活時間を短縮ししかもフリット可能な蒸
発型ゲッタ装置を得ることができれば好都合である。こ
のフリット可能な蒸発型ゲッタ装置という用語は、約4
50℃の温度において2時間までの期間酸化性雰囲気に
耐えることができることを意味する。これらは、受像管
の作製のための幾つかのプロセスにおいてゲッタ装置が
受けねばならない条件である。フリット可能なゲッタ装
置からのバリウム蒸発中、一般のゲッタ装置におけるよ
り一層多くの熱量が発生せしめられ、その結果容器内に
粉末詰め物を維持することに一層大きな困難さを伴う。
約200mgまでの蒸発可能なバリウム量を持つフリッ
ト可能なゲッタ装置は、数年来本件出願人により既に製
造されそして販売されている。しかし、もっと多くの量
のバリウム、特に約300mgのバリウムを蒸発するこ
とのできるフリット可能なゲッタ装置は、その一層大き
な反応性により特別な解決策が採用されねばならない。
本件出願人に係る同日出願の「高いバリウム収率を有す
るフリット可能なゲッタ装置」と題する特許願は、粉末
詰め物において周回方向における熱の分散を抑制する要
素の追加と、粉末詰め物内に実質上平坦な不連続金属要
素の追加を通して得られた、高いバリウム収率を有する
フリット可能なゲッタ装置を開示する。従来からの或い
は高収率型のいずれのフリット可能なゲッタ装置に第3
成分を加えることにより、短縮された蒸発時間でそれら
と匹敵するバリウム放出特性を有するフリット可能なゲ
ッタ装置を得ることが可能である。
It would be advantageous if the activation time could be reduced and a fritable evaporable getter device could be obtained. The term fritable evaporable getter device is about 4
It means that it can withstand an oxidizing atmosphere at a temperature of 50 ° C. for a period of up to 2 hours. These are the conditions that the getter device must undergo in some processes for the manufacture of picture tubes. During the evaporation of barium from a fritable getter device, more heat is generated than in a typical getter device, resulting in greater difficulty maintaining the powder filling in the container.
Fritable getter devices having an evaporable barium content of up to about 200 mg have already been manufactured and sold by the applicant for several years. However, a fritable getter device capable of evaporating larger amounts of barium, especially about 300 mg of barium, has to adopt special solutions due to its greater reactivity.
The applicant's co-pending patent application entitled "Fritable Getter Apparatus with High Barium Yield" is based on the addition of an element that suppresses heat distribution in the circumferential direction in the powder filling, and the addition of substantially an element in the powder filling. A fritable getter device having a high barium yield obtained through the addition of a flat discontinuous metal element is disclosed. Third-generation getter devices, either conventional or high-yield
By adding the components, it is possible to obtain fritable getter devices with comparable barium emission characteristics with reduced evaporation times.

【0018】上記同日出願の内容を補足説明すると、受
像管の作製プロセスは、2つのガラス部分を互いに溶着
する段階と関与する、すなわち大気の存在下で2つのガ
ラス部分間で約450℃の融点を有するガラスペースト
を溶融もしくは軟化せしめることによる所謂「フリット
封着」作業において実施される。伝統的な受像管におい
ては、ゲッタ装置は、フリット封着段階後、電子銃を収
納するために設けられたネックを通して導入されうる。
しかし、この場合には、ゲッタ装置の寸法はネックの直
径により制限されそして受像管内でのゲッタ装置の正確
な位置決めは困難である。その結果、受像管の製造業者
は、フリット封着前にゲッタ装置を挿入する傾向が強く
なっている。フリット封着段階中、ゲッタ装置は、約4
50℃の温度において大気に曝され、そして蒸気が低融
点ガラスペーストにより放出される。その主たる結果と
して、ニッケルの表面酸化が起こる。バリウムフラッシ
ュ中、ニッケル酸化物はアルミニウムと共に、ほとんど
コントロール不可能な、強い発熱反応を呈する。これは
粉末詰め物の隆起、そこからの砕片の飛び出し或いは容
器の部分的な溶融につながる恐れがあり、従って全体と
してゲッタ装置のまた受像管の適正な動作に有害とな
る。
To supplement the content of the same application, the process of making a picture tube involves the step of welding two glass parts together, ie, a melting point of about 450 ° C. between the two glass parts in the presence of air. This is performed in a so-called “frit sealing” operation by melting or softening a glass paste having In traditional picture tubes, after the frit sealing step, the getter device can be introduced through a neck provided to house the electron gun.
However, in this case, the size of the getter device is limited by the diameter of the neck, and accurate positioning of the getter device within the picture tube is difficult. As a result, picture tube manufacturers have a greater tendency to insert getter devices before frit sealing. During the frit sealing phase, the getter device is
Exposure to the atmosphere at a temperature of 50 ° C. and the vapor is released by the low melting glass paste. The main result is surface oxidation of nickel. During the barium flash, the nickel oxide, together with the aluminum, exhibits a strong, uncontrollable, exothermic reaction. This can lead to bulging of the powder filling, spattering of debris therefrom or partial melting of the container, and thus overall is detrimental to the proper operation of the getter device and picture tube.

【0019】上述した欠点を生ぜしめることなくフリッ
ト封着に耐えることができる蒸発型ゲッタ装置が「フリ
ット可能」として定義される。上述した通り、フリット
可能なゲッタ装置は本件出願人によりすでに製造されそ
して販売されている。これらゲッタ装置は、幾つかの臨
界値を超えない限り伝統的な技術を使用して作製するこ
とができる。特に、粉末の詰め物の或る所定の厚さを超
えることは不可能である。これは、あまり大きな厚さに
なると、粉末詰め物本体中で発生する熱量がごく徐々に
しか放出されず、かくして上述したような問題を呈す
る。そのため、伝統的な技術を使用して作製されたフリ
ット可能なゲッタ装置から蒸発されうるバリウムの最大
量は200mgとなる。しかし、大きな寸法の受像管は
少なくとも300mgの蒸発バリウム量を必要としそし
てそうした要求は先行技術に従うフリット可能な装置に
よっては対応できない。200mgを超えるバリウム量
を蒸発することのできるフリット可能なゲッタ装置が
「高収率型」であるとして定義される。
An evaporable getter device that can withstand frit sealing without the disadvantages described above is defined as "fritable." As mentioned above, fritable getter devices have already been manufactured and sold by the Applicant. These getter devices can be made using traditional techniques as long as some critical values are not exceeded. In particular, it is not possible to exceed a certain predetermined thickness of the powder filling. This means that, if the thickness is too large, the heat generated in the body of the powder filling is released only very slowly, thus presenting the problem described above. Thus, the maximum amount of barium that can be evaporated from a fritable getter device made using traditional techniques is 200 mg. However, large size picture tubes require at least 300 mg of evaporating barium and such requirements cannot be met by fritable devices according to the prior art. A fritable getter device capable of evaporating more than 200 mg of barium is defined as being "high yielding".

【0020】高収率型のフリット可能なゲッタ装置を得
るためには、金属部材が、粉末の詰め物内に底面からは
離間され且つ表面から出現しないような位置において埋
設されることが必要である。実際上、ゲッタ装置の誘導
加熱は、主として容器及び粉末中に埋設されている金属
部材において起こり、その後ゲッタ材料粉末に熱を伝達
する。金属部材と容器底面との接触域において粉末への
熱伝達はほとんど効率が無く、そして局所的な過熱が起
こることが観察された。もしこれら接触域が多過ぎたり
もしくは過剰に延在すると、発散できない熱は粉末詰め
物を隆起させたりまた幾つかの場合には装置部分の溶融
をもたらす。逆に、金属部材が詰め物の自由表面におい
て出現するなら、表面自体が、互いに結合の乏しく、そ
のためフラッシュ中受像管内部に飛散する帯域に細分さ
れる。
In order to obtain a high-yield type fritable getter device, it is necessary that the metal part is embedded in the powder filling at a position spaced from the bottom surface and not emerging from the surface. . In practice, the induction heating of the getter device occurs primarily in the container and in the metal member embedded in the powder, and then transfers heat to the getter material powder. It was observed that heat transfer to the powder in the contact area between the metal member and the bottom of the vessel was almost inefficient and local overheating occurred. If these contact areas extend too much or too much, the non-dissipating heat can cause the powder filling to rise and in some cases also cause the equipment parts to melt. Conversely, if the metal members appear on the free surface of the padding, the surfaces themselves are subdivided into zones that bond poorly to one another and thus fly inside the picture tube during flash.

【0021】金属部材は、鉄合金、ニッケル合金或いは
アルミニウム合金のようなさまざまの金属から作製する
ことができる。冷間加工の容易性からステンレス鋼AI
SI304の使用が好ましい。金属部材は、それが不連
続でありそして実質上平面状であるなら、様々に異なっ
た形状をとりうる。不連続の状態は、金属部材が部材自
体と容器底面との間の粉末部分で発生したバリウム蒸気
の放出を妨害しないようにするために必要である。この
条件は、多くの異なった寸法形状を通して得ることがで
きる。可能な具体例として、金属部材は、下側の粉末か
らのバリウムの放出を助成するための中央穴を有する放
射状形状を有する金属切断素材として形成でき、また無
秩序模様においてもしくは秩序だった模様いずれでもで
表面上に分布される多数の穴を有する切断素材として形
成することができる。別様には、金属部材は、米国特許
第3,558,962号に述べられたようなワイヤネッ
トでありうる。
The metal member can be made from various metals, such as an iron alloy, a nickel alloy or an aluminum alloy. Stainless steel AI for ease of cold working
The use of SI 304 is preferred. The metal member can take a variety of different shapes if it is discontinuous and substantially planar. The discontinuity is necessary so that the metal member does not interfere with the release of barium vapor generated in the powder portion between the member itself and the container bottom. This condition can be obtained through many different sizes and shapes. As a possible embodiment, the metal member can be formed as a metal cutting material having a radial shape with a central hole to aid in the release of barium from the underlying powder, and in either a random or ordered pattern. Can be formed as a cutting material having a large number of holes distributed on the surface. Alternatively, the metal member can be a wire net as described in U.S. Pat. No. 3,558,962.

【0022】金属部材はまた、一般に数mmの厚さを有
する粉末詰め物内部に、容器底面と接触することなくそ
して粉末自由表面から出現することなく、埋設できるよ
うに実質上平坦でなければならない。金属部材が容器底
面と接触してはならないという条件は、様々の方式で実
現できる。例えば、容器の底面上に粉末の第1部分を注
ぎ、平坦な金属部材をその上面に敷きそして粉末の残り
部分で金属部材を覆うことにより得られる。最後に、粉
末は、上面に半径方向凹所が形成されるように成形パン
チを使用して容器内で圧縮される。また別の具体例にお
いて、金属部材は、幾つかの脚をそこに得るように局所
的に変形され、容器内底面に置かれる。容器の側壁に変
形部を形成してそこに金属部材を載置することができ
る。容器の底面に隆起部を形成し、それにより金属部材
を載置する支持体が形成される。
The metal part must also be substantially flat so that it can be embedded inside a powder filling, typically having a thickness of a few mm, without coming into contact with the bottom of the container and emerging from the free surface of the powder. The condition that the metal member must not contact the bottom of the container can be realized in various ways. For example, it is obtained by pouring a first part of the powder on the bottom of the container, laying a flat metal member on its upper surface and covering the metal member with the rest of the powder. Finally, the powder is compressed in a container using a forming punch such that a radial recess is formed in the upper surface. In yet another embodiment, the metal member is locally deformed so as to obtain some legs therein and is placed on the bottom inside the container. A deformed portion can be formed on the side wall of the container, and the metal member can be placed thereon. A raised portion is formed on the bottom surface of the container, thereby forming a support on which the metal member is placed.

【0023】更に、粉末詰め物上面において周回方向に
おける熱の分散を抑制するための半径方向凹所を形成す
ることが必要とされる。粉末詰め物の上面に、2〜8個
の数において、幾つかの凹所が半径方向に形成される。
Further, it is necessary to form a radial recess on the upper surface of the powder filling to suppress heat dispersion in the circumferential direction. On the upper surface of the powder filling, several recesses are formed in the radial direction, in numbers of 2 to 8.

【0024】[0024]

【実施例】本発明を以下の例により更に詳しく説明す
る。これら例は、本発明を制限するものではなく、本発
明をどのように実施するかそして本発明の実施に最適と
考えられる態様を表す実施例を当業者に教示するのを目
的としたものである。
The present invention will be described in more detail with reference to the following examples. These examples are not intended to limit the invention but to teach one of ordinary skill in the art how to practice the invention and to illustrate embodiments deemed optimal for practicing the invention. is there.

【0025】(例1:実施例)ステンレス鋼AISI3
04製であり、20mmの直径と4mmの高さを有する
と共に、米国特許第5,118,988号に記載される
ような1mm高さの隆起を備える形状の底面を有する容
器を使用することにより、すべて同等の多数のゲッタ装
置を作製した。各サンプルに対して、250μm未満の
粒寸を有する767mgの粉末状BaAl4 、60μm
未満の粒寸を有する866mgの粉末状ニッケル、及び
99%純度を有しそして80μm未満の粒寸を有する1
8mgの粉末状鉄から成る均質な混合物を容器内に注入
した。その後、粉末混合物を適当なパンチにより容器内
部で圧縮した。サンプルをポンプ系統に接続されたガラ
ス製の測定室に1回に一つ置き、測定室を真空引きし、
そして標準ASTM・F111−72に記載された方法
従うことによりバリウム蒸発試験を行った。各装置は、
加熱開始後12秒でバリウムの蒸発が起こるような電力
を使用してラジオ周波数により加熱した。試験は、加熱
合計時間(TT)について35〜45秒の範囲で様々に
変更して、互いに異なるものとした。各試験の終わりに
おいて、蒸発したバリウムの量を検出した。300mg
のバリウム量を装置から蒸発させるに必要とされたTT
を表1に示す。
(Example 1: Example) Stainless steel AISI3
04, having a diameter of 20 mm and a height of 4 mm, and having a bottom surface shaped like a ridge as described in US Pat. No. 5,118,988. A number of getter devices were manufactured, all of which were equivalent. For each sample, 767 mg of powdered BaAl 4 with a particle size of less than 250 μm, 60 μm
866 mg of powdered nickel having a particle size of less than 8.6 mg and 1 having a purity of 99% and a particle size of less than 80 μm
A homogeneous mixture consisting of 8 mg of powdered iron was poured into the container. Thereafter, the powder mixture was compressed inside the container with a suitable punch. Place the sample one at a time in a glass measuring chamber connected to the pump system, evacuate the measuring chamber,
A barium evaporation test was performed according to the method described in standard ASTM F111-72. Each device is
Heating was performed by radio frequency using electric power such that evaporation of barium occurred 12 seconds after the start of heating. The tests were different from each other with various changes in the total heating time (TT) in the range of 35 to 45 seconds. At the end of each test, the amount of barium evaporated was detected. 300mg
TT required to evaporate the amount of barium from the apparatus
Are shown in Table 1.

【0026】(例2:実施例)実施例1に記載したよう
な鋼容器を使用して多数の同等のゲッタ装置を作製し
た。容器内に、1.5mm幅のメッシュを有するAIS
I304鋼ネットを底面隆起上に配置した。各サンプル
に対して、250μm未満の粒寸を有する767mgの
粉末状BaAl4 、60μm未満の粒寸を有する866
mgの粉末状ニッケル、及び99%純度を有しそして5
0μm未満の粒寸を有する18mgの粉末状アルミニウ
ムから成る均質な混合物を容器内に注入した。その後、
粉末混合物粉末詰め物上に4つの半径方向凹所を形成す
るように形作られたパンチを使用して容器の内部で圧縮
した。こうして得られたサンプルをフリット封着条件を
模擬するべく大気中450℃で1時間処理した。例1に
従って、各サンプルにバリウム蒸発試験を同様に行っ
た。この場合にも、各装置は、加熱開始後12秒でバリ
ウムの蒸発が起こるような電力を使用してラジオ周波数
により加熱した。試験は、加熱合計時間(TT)につい
て35〜45秒の範囲で様々に変更して、互いに異なる
ものとして行い、その後300mgのバリウム量を装置
から蒸発させるに必要とされたTTを測定した。結果を
表1に示す。
Example 2: Example A number of equivalent getter devices were made using a steel container as described in Example 1. AIS with 1.5 mm width mesh in container
An I304 steel net was placed on the bottom ridge. For each sample, 767 mg of powdered BaAl 4 with a particle size of less than 250 μm, 866 with a particle size of less than 60 μm
mg of powdered nickel, and having 99% purity and 5
A homogeneous mixture consisting of 18 mg of powdered aluminum having a particle size of less than 0 μm was poured into the container. afterwards,
The powder mixture was compressed inside the container using a punch shaped to form four radial recesses on the powder filling. The sample thus obtained was treated at 450 ° C. for one hour in the atmosphere to simulate frit sealing conditions. According to Example 1, each sample was similarly subjected to a barium evaporation test. Again, each device was heated by radio frequency using power such that barium evaporation occurred 12 seconds after the start of heating. The test was performed differently, varying the total heating time (TT) in the range of 35-45 seconds, and then measuring the TT required to evaporate 300 mg of barium from the apparatus. Table 1 shows the results.

【0027】(例3:比較例)例1と同じであるが、鉄
粉末を添加しない一連のサンプルを用いて、各装置を加
熱開始後12秒でバリウムの蒸発が起こるような電力水
準を使用してラジオ周波数により加熱することにより例
1の試験を繰り返した。試験は、加熱合計時間(TT)
について35〜45秒の範囲で様々に変更して、互いに
異なるものとした。試験結果を表1に示す。
Example 3: Comparative Example Same as Example 1, but using a series of samples without the addition of iron powder, using a power level such that barium evaporation occurs 12 seconds after the start of heating. The test of Example 1 was repeated by heating with radio frequency. The test is the total heating time (TT)
Were variously changed in the range of 35 to 45 seconds to be different from each other. Table 1 shows the test results.

【0028】(例4:比較例)粉末状アルミニウムを使
用しないことを除いて例1と同じ材料を用い、例2と同
等のゲッタ装置を使用して一連の試験を繰り返した。こ
れらサンプルから30mgのバリウムを蒸発させるのに
必要なTTを表1に示す。
Example 4 Comparative Example A series of tests was repeated using the same materials as in Example 1 except that no powdered aluminum was used and using the same getter device as in Example 2. Table 1 shows the TT required to evaporate 30 mg of barium from these samples.

【0029】[0029]

【表1】 [Table 1]

【0030】[0030]

【発明の効果】表1における結果から理解されるよう
に、本発明に従う装置を使用して35秒のTTで300
mgのバリウム収率を得ることが可能であり、先行技術
より5乃至10秒TTを短縮することができる。粉末詰
め物上面において周回方向における熱の分散を抑制する
ための半径方向凹所を形成し、粉末詰め物内に実質上平
坦な不連続金属要素の追加を通して、短縮された賦活時
間を有しそしてフリット封着可能なゲッタ装置が得られ
る。
As can be seen from the results in Table 1, using the apparatus according to the invention at a TT of 35 seconds 300
mg barium yields can be obtained and the TT can be reduced by 5 to 10 seconds compared to the prior art. Forming radial recesses on the top surface of the powder filling to suppress heat spread in the circumferential direction, having a reduced activation time through the addition of substantially flat discontinuous metal elements within the powder filling and having a frit seal A wearable getter device is obtained.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ステファノ・トリベラト イタリア国バレゼ、ジェレンツァノ、ビ ア・イソンツォ、6/エ (72)発明者 ラファエルロ・ラトゥアダ イタリア国ミラノ、チェロ・マッジオ レ、ビア・クアルト・ノベムブレ、94 (56)参考文献 特開 昭59−117038(JP,A) 特開 平7−176278(JP,A) 特開 昭49−49571(JP,A) 特公 昭51−36037(JP,B1) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01J 29/94 H01J 7/18 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Stefano Triverato Ballese, Gerenzano, Via Issonzo, Italy, 6 / D Nobembure, 94 (56) References JP-A-59-117038 (JP, A) JP-A-7-176278 (JP, A) JP-A-49-49571 (JP, A) JP-B-51-36037 (JP) , B1) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) H01J 29/94 H01J 7/18

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 BaAl4化合物の粉末と、ニッケルの
粉末と、鉄、チタン及びそれらの合金から成る群から選
択される第3成分の粉末とより成る混合物にして、該第
3成分が混合物の合計重量の約0.3〜5%の範囲の量
において存在する混合物を収納した金属容器を有する蒸
発型ゲッタ装置。
A powder of claim 1] BaAl 4 compound, a powder of nickel, iron, and titanium and the powder more comprising a mixture of a third component selected from the group consisting of alloys thereof, said third component is a mixture An evaporable getter device having a metal container containing a mixture present in an amount ranging from about 0.3 to 5% of the total weight.
【請求項2】 上面を開口した金属容器と、詰め物の形
態にありそして上面に半径方向凹所を形成した、前記容
器内の粉末混合物にして、BaAl4と、ニッケルと、
アルミニウム、鉄、チタン及びそれらの合金から成る群
から選択される第3成分との粉末を含み、該第3成分が
混合物の合計重量の約0.3〜5%の範囲の量において
存在する粉末混合物と、実質上平坦な形状を有しそして
前記容器の底面に実質上平行であり、粉末詰め物中に該
容器底面から離間した位置に該詰め物自体の自由表面か
ら出現しないように埋設される不連続金属要素とを包含
する短縮された賦活時間を有しそしてフリット封着可能
である蒸発型ゲッタ装置。
2. A powder mixture in said container, said metal container having an open top and a filling in said container and having a radial recess formed in said upper surface, comprising: BaAl 4 , nickel,
A powder comprising a third component selected from the group consisting of aluminum, iron, titanium and alloys thereof, wherein the third component is present in an amount ranging from about 0.3 to 5% of the total weight of the mixture. With the mixture, having a substantially flat shape and substantially parallel to the bottom surface of the container, and being embedded in the powder filling such that it does not emerge from the free surface of the filling itself at a location spaced from the bottom surface of the container. An evaporable getter device having a reduced activation time and a frit sealable including a continuous metal element.
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