KR19980070411A - Evaporative Getter Devices with Reduced Active Time - Google Patents

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KR19980070411A
KR19980070411A KR1019980000333A KR19980000333A KR19980070411A KR 19980070411 A KR19980070411 A KR 19980070411A KR 1019980000333 A KR1019980000333 A KR 1019980000333A KR 19980000333 A KR19980000333 A KR 19980000333A KR 19980070411 A KR19980070411 A KR 19980070411A
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다니엘레 마르텔리
루이사 만토바니
스테파노 트리벨라토
라파엘로 라트투아다
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마시모델라포타
사에스게터스에스.페.아.
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J7/00Details not provided for in the preceding groups and common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J7/14Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • H01J7/18Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering
    • H01J7/183Composition or manufacture of getters

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Abstract

본 발명은 바륨 증발시간이 감소된 통상적인 텔레비젼 관 또는 평평한 디스플레이에서 사용하도록 구성되어 있는 증발성 게터 장치에 관한것으로서, 공지된 장치에서 사용되는 BaAl4합금 및 니켈 분말 이외에도, 철, 알루미늄, 티타늄 또는 이들의 합금으로부터 선택된 제 3 성분 분말을 포함하고 있다.The present invention is directed to an evaporable getter device configured for use in conventional television tubes or flat displays with reduced barium evaporation time, in addition to BaAl 4 alloy and nickel powders used in known devices, iron, aluminum, titanium or A third component powder selected from these alloys is included.

Description

활성 시간이 감소된 증발성 게터 장치Evaporative Getter Devices with Reduced Active Time

본 발명은 활성 시간이 감소된 증발성 게터 장치에 관한것이다.The present invention relates to an evaporative getter device with reduced activation time.

공지된 바와 같이, 증발성 게터 재료는 텔레비젼 셋트용 수상관 및 컴퓨터 스크린의 내면에서 진공을 유지하기 위해 사용되고 있다. 현재 상당한 수준으로 개선되어 있지만, 한편으로는 평평한 디스플레이의 내면에서 증발성 게터 재료를 사용하는 것이 연구중에 있다.As is known, evaporative getter materials have been used to maintain vacuum in the inner surface of water tubes and computer screens for television sets. While significant improvements have now been made, the use of evaporable getter materials on the inside of flat displays is under study.

수상관에서 통상적으로 사용되고 있는 게터 재료로는 관의 내부 벽상에 얇은 필름의 형태로 증착되는 금속 바륨이다. 이러한 필름을 수득하기 위해서는, 제조하는 동안 관내에 도입되는 증발성 게터 장치 분야에서 공지된 바와 같은 장치를 사용한다. 이들 장치는 약 1 : 1의 중량비로 약 250㎛이하의 입자 크기를 갖추고 있는 바륨 및 알루미늄 화합물 BaAl4, 및 60㎛이하의 입자 크기를 갖는 니켈 분말을 포함하는 개방 금속 용기로 형성된다. 이들 장치는 예를들어 미국 특허 5,118,988호와 관련된 기술분야에서 널리 공지되어 있다. 바륨은 또한 '플래시(flash)'로서 규정된 활성화 공정에서 수상관의 외면에서 코일 수단에 의해 장치를 가열 유도함에 의해 증발을 일으키며, 분말의 온도가 800 내지 850℃의 범위 값에 이르게 될 때, 다음과 같은 반응이 발생된다.A getter material commonly used in water tubes is metal barium deposited in the form of a thin film on the inner wall of the tube. To obtain such a film, a device as known in the art of evaporable getter devices introduced into a tube during manufacture is used. These devices are formed of an open metal container comprising a barium and aluminum compound BaAl 4 having a particle size of about 250 μm or less and a nickel powder having a particle size of 60 μm or less in a weight ratio of about 1: 1. These devices are well known in the art, for example in US Pat. No. 5,118,988. Barium also causes evaporation by heating the device by means of coils at the outer surface of the water tube in the activation process, defined as 'flash', when the temperature of the powder reaches a value in the range of 800 to 850 ° C. The following reactions occur.

BaAl4+ 4Ni → Ba + 4NiAl (Ⅰ)BaAl 4 + 4Ni → Ba + 4NiAl (Ⅰ)

이 반응은 강한 발열 반응이고 분말의 온도를 약 1200℃로 상승시키는데, 이 온도에서 바륨이 관 벽상으로 증발되고 증착되어 금속 필름을 형성한다.This reaction is a strong exothermic reaction and raises the temperature of the powder to about 1200 ° C. at which temperature barium evaporates and deposits onto the tube wall to form a metal film.

장치내에 포함된 모든 바륨을 증발시키는데 요구되는 시간은 코일 수단에 의해 장치에 동력이 공급되는 순간으로부터 출발하여 측정되지만, 이 분야에서는 본원의 상세한 설명 및 청구범위에서 TT로 사용될 '전체 시간'이란 용어로 규정될 것이다. 예를들어, 예를들어, 큰 크기의 칼라 수상관에 의해 요구되는 약 300㎎의 바륨 필름을 얻기 위해서는, 기존 게터 장치에 요구되는 TT는 40-45초이다. 그러나, 이 시간은 전자 관을 제조하는 기존 라인에서의 느린 단계에 따르게 되어 제조업자에게는 낮은 TT값을 으로 바륨을 배출할수 있는 장치를 갖추어야 하는 것이 필요하다.The time required to evaporate all the barium contained within the device is measured starting from the moment the device is powered by the coil means, but in this field the term 'total time' to be used as TT in the description and claims herein. Will be prescribed. For example, to obtain about 300 mg of barium film required by a large sized color tube, for example, the TT required for a conventional getter device is 40-45 seconds. However, this time will be followed by slower steps in the existing line of manufacturing electron tubes, requiring manufacturers to have a device capable of emitting barium at low TT values.

이러한 결과를 얻기위해서는, 대체로 코일에 의해 공급된 동력이 증가될수도 있거나 또는 분말 반응성의 증가는 입자 크기를 감소시킴에 의해 수득될수 있다.To achieve this result, the power supplied by the coil may generally be increased or an increase in powder reactivity may be obtained by reducing the particle size.

그러나, 시판되고 있는 게터 장치에 있어서는 코일 동력을 증가시키는 것은 불가능하다. 사실상, 이것을 실행함에 의해, 분말 용기는 그것의 온도를 매우 급속하게 상승시키고 열 분말의 패킷에서 확산을 균일하게 하기 위해서는 시간이 충분하지 않으며 용기의 용융을 상승시킨다.However, it is impossible to increase coil power in commercially available getter devices. In fact, by doing this, the powder container does not have enough time to raise its temperature very rapidly and even out the diffusion in the packet of thermal powder and raises the melting of the container.

또한, 분말 입자의 크기를 감소시키는 것은 불가능하며, 이것은 BaAl4와 Ni사이의 반응속도가 분말의 패킷이 연속적으로 부풀려지면서 그리고 가능한한 분말로부터 소재가 방출되면서 초과되어 구역적으로 증가되는데서 기인된다.In addition, it is not possible to reduce the size of the powder particles, which is due to the regionally increased reaction rate between BaAl 4 and Ni as the packets of the powder are inflated continuously and the material is released from the powder as much as possible. .

본 발명의 목적은 종래 기술의 단점을 극복하고 활성 시간이 감소된 증발성 게터 장치를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a vaporizable getter device which overcomes the disadvantages of the prior art and has reduced active time.

이러한 목적은 본 발명에 따른,This object is according to the present invention,

a) BaAl4화합물 분말과,a) BaAl 4 compound powder,

b) 니켈 분말과, 그리고b) with nickel powder, and

c) 혼합물 전체 중량의 0.3% 내지 5%의 범위의 알루미늄, 철, 티타늄및 이들의 합금 분말로부터 선택된 제 3성분을 포함하는 혼합물이 제공된 금속 용기를 포함하고 활성 시간이 감소된 증발성 게터 장치에 의해 달성된다.c) an evaporable getter device comprising a metal container provided with a mixture comprising a third component selected from aluminum, iron, titanium and alloy powders thereof in the range of 0.3% to 5% of the total weight of the mixture and having reduced activation time. Is achieved.

상기 분말 혼합물중 제 3 성분의 혼합물의 양은 실제 사용되는 성분에 따라 좌우되며 일반적으로 그 범위는 약 0.3% 내지 5%이다. 특히, 제 3 성분의 퍼센테이지는 바람직하게는 알루미늄의 경우에는 0.8% 내지 2%, 철의 경우에는 0.3% 내지 1.2%, 그리고 티타늄의 경우에는 0.5% 내지 5%이다. 제 3 성분의 양이 지시된 것 보다 낮은 경우에는, 바륨 증발 시간을 감소시키는 의도한 작용은 수득되지 않는다. 반면에, 제 3 성분이 상술한 양보다 더 크게 조작될때에는, 바륨 플래쉬는 격해지는 특성을 보이며 제어하는 것이 용이하지 않다. 니켈 및 BaAl4및 니켈사이의 중량비는 일반적으로 1 : 1로서 종래 기술의 장치와 동일하며, 특히, 이 분야에서 니켈과 BaAl4사이의 비가 5.3 : 4.7인 게터 장치가 폭 넓게 사용된다.The amount of the mixture of the third component in the powder mixture depends on the component actually used and generally ranges from about 0.3% to 5%. In particular, the percentage of the third component is preferably 0.8% to 2% for aluminum, 0.3% to 1.2% for iron and 0.5% to 5% for titanium. If the amount of the third component is lower than indicated, no intended action of reducing the barium evaporation time is obtained. On the other hand, when the third component is operated larger than the above-mentioned amount, the barium flash is not easy to control while exhibiting an intensifying characteristic. The weight ratio between nickel and BaAl 4 and nickel is generally 1: 1, which is the same as that of the prior art device, and in particular, a getter device having a ratio of 5.3: 4.7 between nickel and BaAl 4 is widely used.

본 발명의 목적을 달성하기 위해서는 제 3 성분은 특히 고순도인 것을 요구하지 않으며 일반적으로 약 98-99%의 순도를 갖는 공업용 금속 또는 합금이 사용될수 있다. 본 발명의 목적을 위해 유용한 제 3 성분의 분말의 입자 크기는 80㎛이하 그리고 바람직하게는 약 55㎛이하이다.In order to achieve the object of the present invention, the third component does not require particularly high purity and generally industrial metals or alloys having a purity of about 98-99% can be used. The particle size of the powder of the third component useful for the purposes of the present invention is 80 μm or less and preferably about 55 μm or less.

본 발명의 게터 장치에서 사용되는 화합물 BaAl4과 니켈의 분말은 종래기술의 장치에서 사용되는 것과 동일하며, 니켈의 경우에는 일반적으로 60㎛이하의 입자 크기를 갖는 분말이 사용되는 반면에 화합물 BaAl4의 경우에는 일반적으로 250㎛이하의 입자 크기를 갖는 분말이 사용된다.The powders of compound BaAl 4 and nickel used in the getter device of the present invention are the same as those used in the prior art devices. In the case of nickel, powders having a particle size of 60 μm or less are generally used, whereas compound BaAl 4 is used. In the case of powder, powder having a particle size of 250 mu m or less is generally used.

금속 용기는 니켈 도금된 철 또는 콘스탄탄과 같은 다양한 금속으로 제조될수 있으며, 산화 및 열 처리에 우수한 저항성 뿐만아니라 우수한 냉각 작업 능력을 보여주는 강 AISI 304 또는 AISI 305을 사용하는 것이 바람직하다. 금속 용기는 임의의 형태를 갖출수 있으며 특히 미국 특허 4,127,361, 4,323,818, 4,486,686, 4,504,765, 4,642,516, 4,961,040 및 5,118,988에 따른 장치와 같은 당해 분야에서 공지되어 사용되는 형태중 어떠한 것도 사용될수 있다.The metal container can be made of various metals such as nickel plated iron or constantan, and it is preferable to use steel AISI 304 or AISI 305 which shows not only good resistance to oxidation and heat treatment but also excellent cooling working ability. The metal container can take any form and in particular any of the forms known and used in the art, such as devices according to US Pat. Nos. 4,127,361, 4,323,818, 4,486,686, 4,504,765, 4,642,516, 4,961,040 and 5,118,988.

또한 본원 발명에 따라 프릿가능한(frittable) 활성 시간이 감소된 증발성 게터 장치를 수득할 가능성이 있으며, 이것과 관련하여 게터 장치는 2시간 이하의 지속 시간동안 약 450℃의 온도에서 산화 대기에 견딜수 있어야 하며, 이들 조건은 수상관을 제조하는 일부 공정에서 이러한 장치가 사용되어야 한다는 것이다. 프릿가능한 게터 장치로부터 바륨을 증발시키는 동안, 통상적인 게터 장치에서 보다 더 큰 열량이 생성되어 용기내에서 분말 패킷을 유지하기가 더욱 곤란하다. 200㎎이하의 양의 증발성 바륨을 갖추고 있는 프릿가능한 게터 장치는 이미 제조되어 시판되고 있다. 이와 대도적으로 더 큰 바륨의 양 특히 약 300㎎보다 큰 양을 증발시킬수 있는 프릿가능한 게터 장치는 더 큰 반응성을 고려하여 특정 해결책을 채용할 필요가 있다. 본 특허 출원과 동일자로 출원된 ' 바륨을 고수율로 수득할 수 있는 프릿가능한 게터장치 ' 란 명칭의 특허 출원에는 분말 패킷내에서 원주 방향으로의 열 확산을 지체시키는 원소를 부가하고 그리고 동일 패킷내에서 본질적으로 평평하게 불연속적으로 금속 원소를 부가하여 수득된 프릿가능한 게터 장치를 제조하는 방법에 관해 기술되어 있다. 통상적인 타입 또는 고수율의 타입중 하나의 프릿가능한 게터 장치에 제 3 성분을 부가함에 의해 단지 감소된 증발 시간동안에만, 바륨 방출이 동등한 특성을 갖는 프릿가능한 게터 장치를 수득하는 것이 가능하다.It is also possible in accordance with the present invention to obtain an evaporable getter device with reduced frittable activation time, in which the getter device can withstand an oxidizing atmosphere at a temperature of about 450 ° C. for a duration of up to 2 hours. These conditions are that these devices must be used in some processes of manufacturing the water pipes. During evaporation of the barium from the fritable getter device, more calories are produced than in conventional getter devices, making it more difficult to maintain the powder packet in the container. Fritable getter devices equipped with evaporable barium in amounts of up to 200 mg are already manufactured and commercially available. On the contrary, fritable getter devices capable of evaporating larger amounts of barium, in particular greater than about 300 mg, need to employ specific solutions in view of their greater reactivity. The patent application entitled 'Fritable getter device capable of obtaining barium in high yield' filed with the same patent application as this patent application adds an element which delays heat diffusion in the circumferential direction in the powder packet and in the same packet. A method of making a fritable getter device obtained by adding a metal element discontinuously in an essentially flat state is described. By adding a third component to a fritable getter device of either a conventional type or a high yield type, it is possible to obtain a fritable getter device having barium emission equivalent properties only during reduced evaporation times.

본 발명은 다음 실례에 의해 더 설명할 것이다. 이들 실례는 제한된 것은 아니며 본 발명을 어떻게 실행하는지를 기술하였고 그리고 최적의 형태로 본발명을 적용할수 있도록 일부 실시예를 기술하였다.The invention will be further illustrated by the following examples. These examples are not intended to be limiting but have described how to practice the invention and some embodiments have been described so that the invention may be applied in an optimal fashion.

실례 1Excuse me 1

다수의 서로 모두 동일한 게터 장치를 바닥에 본원에 인용된 미국 특허 제 5,118,988호에 기술된 바와 같이 1㎜높이의 융기부가 형성되고 지름 20㎜ 및 높이 4㎜를 갖는 강 AISI 304로 제조된 용기를 그들중 각각에 대해 사용하여 제공하였다. 각각의 샘플에 대해 250㎛이하의 입자 크기를 갖는 767mg의 BaAl4분말과, 60㎛이하의 입자 크기를 갖는 866mg의 니켈 분말과, 그리고 80㎛이하의 입자 크기를 갖는 99% 순도의 18mg의 철 분말을 균일하게 포함하는 균질 혼합물을 용기에 부어넣는다. 이어서 분말 혼합물은 적정한 펀치에 의해 용기의 내측면에서 압착된다. 샘플은 펌핑 장치에 연결되어 있고, 유리로 제조된 측정 챔버에 시간마다 이들을 배치하고, 상기 챔버를 비우고 그리고 표준 ASTM F 111-72에 기술된 바와 같은 다음 방법에 의해 바륨 증발 시험을 수행하여 시험하였고, 각각의 모든 동력은 가열이 시작된후 12s에 증발이 시작되도록 하는 동력을 갖는 고주파 수단에 의해 가열되고,35 내지 45s범위로 다양한 시험에서 변경되도록 된 가열 전체 시간(Total Time)에 관해서는 이 시험은 서로 다르다. 각 시험의 마지막 시간에 증발된 바륨 양을 탐색하였다. 장치로부터 300mg양의 바륨을 증발시키는데 필요한 TT는 표 1에 기록하였다.A plurality of all identical same getter devices were placed at the bottom of a container made of steel AISI 304 having a ridge of 1 mm height and having a diameter of 20 mm and a height of 4 mm as described in US Pat. No. 5,118,988, incorporated herein by reference. For each of the provided. 767 mg BaAl 4 powder with particle size less than 250 μm, 866 mg nickel powder with particle size less than 60 μm, and 99% purity 18 mg iron with particle size less than 80 μm for each sample The homogeneous mixture containing the powder uniformly is poured into the container. The powder mixture is then compressed on the inner side of the container with a suitable punch. The samples were connected to a pumping device, placed in an hourly glass measuring chamber, emptied the chamber and tested by performing a barium evaporation test by the following method as described in standard ASTM F 111-72. Each test is heated by a high frequency means having a power that causes evaporation to begin 12 s after the start of heating, and this test is for the total time of heating which is to be changed in various tests in the range of 35 to 45 s. Are different. The amount of barium evaporated at the end of each test was explored. The TT required to evaporate 300 mg of barium from the device is reported in Table 1.

실례 2Excuse me 2

서로 모두 동일한 다수의 게터 장치를 그것에 대해 제 1 실례에 기술된 바와 같은 용기를 사용하여 제공하였다. 이 용기내에 바닥 높이상에 놓여지는 1.5mm 폭의 메쉬를 갖는 강 AISI 304의 네트를 위치시켰다. 각각의 샘플에 대해 250㎛이하의 입자 크기를 갖는 767mg의 BaAl4분말과, 60㎛이하의 입자 크기를 갖는 866mg의 니켈 분말과, 그리고 50㎛이하의 입자 크기를 갖는 99% 순도의 18mg의 철 분말을 균일하게 포함하는 균질 혼합물을 용기에 부어넣었다. 분말의 혼합물은 포켓 표면에서 4개의 반경 방향의 리세스를 형성하도록하는 형태로 된 펀치를 사용하여 용기의 내측면에서 압착하였다. 이에따라 수득된 샘플은 프릿 밀봉 조건을 모의실험하도록 공기내에서 1시간동안 450℃에서 처리하였다. 이어서 바륨 증발 시험은 제 1 실례에 따라 유사하게 각각 모든 샘플상에서 수행하였다. 또한, 이 경우에 있어서, 각각의 장치는 가열이 시작된후 12s에 증발이 시작되도록 하는 동력을 갖는 고주파 수단에 의해 가열하는 한편, 샘플과 샘플에 대해 다르고 35 내지 45s에서 변하는 TT동안 가열이 유지되어, 장치로부터 300mg의 바륨 양을 증발시키도록 요구된 TT값을 탐색하게 된다.Multiple getter devices, all identical to each other, were provided using a container as described in the first example for it. In this vessel a net of steel AISI 304 with a 1.5 mm wide mesh placed on the floor height was placed. 767 mg BaAl 4 powder with particle size less than 250 μm, 866 mg nickel powder with particle size less than 60 μm, and 99% purity 18 mg iron with particle size less than 50 μm for each sample A homogeneous mixture containing the powder uniformly was poured into the container. The mixture of powder was pressed on the inner side of the container using a punch in the form to form four radial recesses at the pocket surface. The samples thus obtained were treated at 450 ° C. for 1 hour in air to simulate frit sealing conditions. The barium evaporation test was then carried out on each and all samples similarly according to the first example. Also in this case, each device is heated by high frequency means having a power that causes evaporation to begin 12 s after heating is started, while heating is maintained during the TT, which varies from sample to sample and varies from 35 to 45 s. Then, the TT value required to evaporate the barium amount of 300 mg from the device is searched.

이 시험의 결과를 표 1에 기록하였다.The results of this test are reported in Table 1.

(비교)실례 3(Comparative) Example 3

실례 1과 동일하지만, 분말 철은 사용하지 않았고, 가열이 시작된후 12s에 증발이 시작되도록하는 동력 수준에서 고주파로 장치를 가열시키고 그리고 35 내지 45s사이에 변경될수 있는 다른 TT를 사용하여 일련의 샘플로 실례 1의 시험을 반복하였다.Same as Example 1, but with no powdered iron, heating the device at high frequency at a power level that allows evaporation to begin 12 s after heating begins and using a series of samples using another TT that can be varied between 35 and 45 s The test of Example 1 was repeated.

(비교)실례 4(Comparative) Example 4

실례 2의 일련의 시험은 알루미늄 분말을 사용하는 것을 제외하고는 실례 1과 동일한 게터 장치를 사용함에 의해 반복하였다. 이들 샘플로부터 300mg의 바륨을 증발시키도록 하는 TT는 표 1에 기록하였다.The series of tests of Example 2 was repeated by using the same getter device as Example 1, except that aluminum powder was used. The TT to evaporate 300 mg of barium from these samples is reported in Table 1.

실례excuse % 제 3 성분% Third Ingredient 전체 시간(s)Total time (s) 1One 1.09(Fe)1.09 (Fe) 3535 22 1.09(Al)1.09 (Al) 3535 33 00 4545 44 00 4040

상기 표에서 알수 있는 바와 같이, 본 발명에 따른 장치를 사용하여 35s의 TT로 300mg의 바륨을 수율을 달성하는 것이 가능한데, 이것은 종래기술을 사용하여 샘플에서 동일한 수율을 달성하기 위해서는 5 또는 10s의 시간을 더 취하여야 한다.As can be seen from the table, it is possible to achieve 300 mg barium yield with a TT of 35 s using the device according to the invention, which is 5 or 10 s time to achieve the same yield in the sample using the prior art. Should be taken more.

본 발명에 따라 종래 기술의 단점을 극복하고 활성 시간이 감소된 증발성 게터 장치를 제공하게 된다.The present invention overcomes the disadvantages of the prior art and provides an evaporative getter device with reduced activation time.

Claims (11)

활성 시간을 감소시키기 위한 증발성 게터 장치에 있어서,A vaporizable getter device for reducing the activation time, a) BaAl4화합물 분말과,a) BaAl 4 compound powder, b) 니켈 분말과, 그리고b) with nickel powder, and c) 혼합물 전체 중량의 0.3% 내지 5%의 범위의 알루미늄, 철, 티타늄및 이들의 합금 분말로부터 선택된 제 3성분을 포함하는 혼합물 및 그내부에 제공된 금속 용기를 포함하는 증발성 게터 장치.c) An evaporable getter device comprising a mixture comprising a third component selected from aluminum, iron, titanium and alloy powders thereof in the range of 0.3% to 5% of the total weight of the mixture and a metal container provided therein. 제 1 항에 있어서, 상기 제 3 성분이 알루미늄일 때, 상기 혼합물내의 그것의 중량 퍼센테이지가 0.8% 내지 2%인 증발성 게터 장치.The evaporable getter device of claim 1, wherein when the third component is aluminum, its weight percentage in the mixture is between 0.8% and 2%. 제 1 항에 있어서, 상기 제 3 성분이 철일 때, 상기 혼합물내의 그것의 중량 퍼센테이지가 0.3% 내지 1.2%인 증발성 게터 장치.The evaporable getter device of claim 1, wherein when the third component is iron, its weight percentage in the mixture is 0.3% to 1.2%. 제 1 항에 있어서, 상기 제 3 성분이 티타늄일 때, 상기 혼합물내의 그것의 중량 퍼센테이지가 0.5% 내지 5%인 증발성 게터 장치.2. The vaporizable getter device of claim 1 wherein when the third component is titanium, its weight percentage in the mixture is from 0.5% to 5%. 제 1 항에 있어서, 상기 니켈과 상기 BaAl4사이의 중량비가 1 : 1인 증발성 게터 장치.The evaporable getter device of claim 1, wherein a weight ratio between the nickel and BaAl 4 is 1: 1. 제 1 항에 있어서, 상기 니켈과 상기 BaAl4사이의 중량비가 5.3 : 4.7인 증발성 게터 장치.The evaporable getter device of claim 1, wherein a weight ratio between the nickel and the BaAl 4 is 5.3: 4.7. 제 1 항에 있어서, 상기 제 3 성분의 분말이 80㎛이하의 입자 크기를 갖는 증발성 게터 장치.The evaporable getter device of claim 1, wherein the powder of the third component has a particle size of 80 μm or less. 제 7 항에 있어서, 상기 제 3 성분의 분말이 55㎛이하의 입자 크기를 갖는 증발성 게터 장치.8. An evaporable getter device according to claim 7, wherein said third component powder has a particle size of 55 [mu] m or less. 제 1 항에 있어서, 상기 니켈 분말이 60㎛이하의 입자 크기를 갖는 증발성 게터 장치.The evaporable getter device of claim 1, wherein the nickel powder has a particle size of 60 μm or less. 제 1 항에 있어서, 상기 BaAl4분말이 250㎛의 입자 크기를 갖는 증발성 게터 장치.The evaporable getter device of claim 1, wherein the BaAl 4 powder has a particle size of 250 μm. 활성 시간이 감소되고 프릿가능하게 되어 있는 증발성 게터 장치에 있어서,An evaporative getter device in which the activation time is reduced and made fritable, a) 상부 개방가능한 금속 용기와,a) a top openable metal container, b) 반경 방향의 리세스가 형성되어있는 상부 표면상에 패킷 형태의 용기에 제공되고, BaAl, 니켈, 및 알루미늄, 철, 티타늄 및 이들 합금으로부터 선택된 제 3 성분을 포함하고, 상기 제 3 성분이 상기 혼합물의 전체 중량을 토대로 0.3% 내지 5%양으로 제공되어 있는 혼합물과, 그리고b) provided in a container in the form of a packet on an upper surface on which a radial recess is formed, comprising a third component selected from BaAl, nickel, and aluminum, iron, titanium and their alloys, wherein the third component is A mixture provided in an amount of 0.3% to 5% based on the total weight of the mixture, and c) 형태가 평평하고 그리고 상기 용기의 바닥에 대해 평행하게 되어 있고, 상기 패킷자체의 자유 표면이 노출되지 않도록 상기 용기의 바닥으로부터 이격되어 있는 위치에서 분말 패킷내에 침지되어 있는 불연속 금속 원소를 포함하고 있는 증발성 게터 장치.c) a discontinuous metal element that is flat in shape and parallel to the bottom of the container and immersed in the powder packet at a location spaced from the bottom of the container such that the free surface of the packet itself is not exposed; Evaporative getter device.
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