JP3023071B2 - 導波管の製造方法 - Google Patents
導波管の製造方法Info
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Description
nmオーダの電磁波用の導波管は、非常に高い形状精度
と面精度を要求される。このような要求に応える導波管
の製造方法として従来、導波管母型を精密に加工し、そ
の表面に電鋳加工により、導波管金属材料を一層以上形
成した後、中心の導波管母型を薬品により溶融除去する
方法が広く用いられている。導波管金属材料には、原理
的に導波管母型の形状が転写されているから、母型を除
去することで、精密な形状の導波管ができる。
アルミニウム合金が用いられてきた。ところが、アルミ
母型を用いて電鋳加工した導波管は、その導波面に微細
な凹凸が生じるという問題点があることが判明した。そ
の理由は、次のように考えられる。
が付着しにくい。このため従来、アルミ母型上に電鋳金
属を形成するときには、電鋳の前に無電解メッキにより
薄いZn層を付着させ(亜鉛置換)、その後電鋳加工を
行なっている。この無電解メッキの際には、亜鉛の付着
性を向上させるため、その前処理としてアルミ母型の表
面をエッチングにより僅かに粗してから行わねばなら
ず、このエッチングの際、表面に微細な凹凸が生じる。
従って、母型材料形状が転写されるZn層、及びこのZ
n層上にさらに形成される導波管金属材料の導波面も微
細な凹凸が避けられない。すなわち、如何にアルミ母型
を精密に加工しても、亜鉛置換時にその表面精度が悪化
すれば、そのZn表面上にさらに付着形成される導波管
金属材料の表面(導波面)精度も当然悪化する。導波面
の微細な凹凸は導波性能を明らかに悪化させ、特に使用
波長が単波長化するにつれてその問題が顕著になる。
以上の問題意識に基づき、導波面に微細な凹凸の生じな
い製造方法を得ることを目的とする。
面に微細な凹凸が生じることがなく、母型材料の加工表
面形状をそのまま導波管金属材料に正確に転写できる母
型金属材料について研究の結果、真鍮が最も好ましい母
型材料であること、及び精度及び強度の点から、この真
鍮製母型材料上に電鋳によって形成する導波管金属材料
はAu単体であること(すなわち製造される導波管全体
がAuの無垢材からなること)が好ましいことを見出し
て完成されたものである。
囲に、電鋳加工により少なくとも一層の導波管金属材料
を形成するステップと;導波管母型を薬液により溶融除
去して導波管金属材料を取り出すステップと;を有する
導波管の製造方法において、導波管母型を真鍮から構成
し、かつ電鋳加工により形成する導波管金属材料をAu
のみとし、かつこのAuを単独で導波管としての強度を
有する厚さとしたことを特徴としている。真鍮は、加工
性に優れ、かつ安価で入手が容易であるため、導波管の
製造コストを上げることがない。導波管金属材料の全体
を、電鋳により、単独で導波管としての強度を有する厚
さのAuから構成することにより、精度及び強度に優
れ、使用環境を選ばない導波管を得ることができる。
説明する。図1に示す例は、最も単純な断面円形の導波
管の製造に本発明方法を適用した例である。ブランク材
料11は、真鍮からなっている。本発明方法は、その一
形態によると、この真鍮ブランク材料11を所定の寸法
形状、例えば断面円形の導波管母型(凸型)12に精密
に加工する機械加工工程、この導波管母型12を第一電
鋳槽、例えばAu電鋳槽20内に入れてその表面にAu
層13を形成する第一電鋳加工工程、Au層13を付着
形成した真鍮ブランク材料11を、別の金属の電鋳槽、
例えばNi電鋳槽21にいれて、Au層13上に、Ni
層14を同様に電鋳加工する第二電鋳加工工程、及び以
上の電鋳加工の終了した素材をNi電鋳槽21から取り
出し、母型溶融除去薬液槽22内に入れて、中心の導波
管母型12を溶かして除去する溶融除去工程からなって
いる。母型溶融除去薬液槽22内には、導波管母型12
を溶かすことができる薬液、例えばクロム酸が入れられ
ている。電鋳加工は、周知のように、電鋳槽中に、非電
鋳金属材料と、電鋳金属材料からなるプラス電極25と
を挿入し、非電鋳金属材料をマイナス極に接続して行な
われる。
端部には、図2に示すように、周知の手段により接続フ
ランジ16が設けられる。導波管10のAu層13の内
面には、精密に機械加工された導波管母型12の表面形
状が転写されている。導波管母型12は、被削性に優れ
た真鍮からなっていて、しかも真鍮は、表面に何ら追加
工または追処理をせずに電鋳加工に供することができる
ため、電鋳加工によって、表面精度を悪化させることが
ない。よって、導波管10の内面は、機械加工によって
得られる導波管母型12の表面精度と同等の表面精度が
得られる。
略することがある。これは、使用環境が厳しい場合に
は、第一電鋳工程で形成されるAu層13と、第二電鋳
工程でこのAu層13上に形成される別の金属層14と
の熱膨張係数の差により、Au層13に応力が加わって
微小な変形が生じ、導波性能が悪化するからである。第
二電鋳工程を省略する場合には、Au層13の厚さを必
要な機械的な強度が得られる厚さにする。すなわち、い
ずれにしても、電鋳加工により形成する導波管金属材料
は、単独で導波管としての強度を有する厚さとする。電
鋳加工によれば、このような強度の導波管金属材料を導
波管母型12の外側に形成することができる。
用したものであるが、本発明は、導波管回路のH面を曲
げるHベンド導波管、E面を曲げるEベンド導波管、波
面を回転させるツイスト導波管、周波数を変換するテー
パ導波管等、すべての導波管の製造に適用できる。
の形状精度と面精度が高い導波管を得ることができ、特
に、波長がサブミクロンからnmオーダの電磁波の分離
取出用の導波管の製造に好適である。
程概念図である。
る。
Claims (1)
- 【請求項1】 導波管母型の周囲に、電鋳加工により少
なくとも一層の導波管金属材料を形成するステップと; 導波管母型を薬液により溶融除去して導波管金属材料を
取り出すステップと;を有する導波管の製造方法におい
て、 上記導波管母型を真鍮から構成し、かつ上記電鋳加工により形成する導波管金属材料をAu
のみとし、かつこのAuを単独で導波管としての強度を
有する厚さとした ことを特徴とする導波管の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP586596A JP3023071B2 (ja) | 1996-01-17 | 1996-01-17 | 導波管の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP586596A JP3023071B2 (ja) | 1996-01-17 | 1996-01-17 | 導波管の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09199915A JPH09199915A (ja) | 1997-07-31 |
JP3023071B2 true JP3023071B2 (ja) | 2000-03-21 |
Family
ID=11622857
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP586596A Expired - Fee Related JP3023071B2 (ja) | 1996-01-17 | 1996-01-17 | 導波管の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3023071B2 (ja) |
-
1996
- 1996-01-17 JP JP586596A patent/JP3023071B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
R.Kighight,"UPDATED PROCESS HAS WODER APPEAL",Machinery and production entineering,7 March 1984,pp.14−15 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH09199915A (ja) | 1997-07-31 |
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