JP3017211B1 - 外気取り入れ制御システム及び外気取り入れ制御方法 - Google Patents

Abstract

【要約】 【課題】 本発明は、瞬時に計測不可能な微量成分の濃
度の低い外気を選択的に取り入れることが可能な外気取
り入れ制御システム及び外気取り入れ制御方法を提供す
ることを課題とする。 【解決手段】 ダンパ開度に応じて外気取り込み量を制
御可能なダンパを備えた複数の外気取り入れ手段と、風
向を観測して風向の測定データを生成・出力する風向計
測手段と、あらかじめ複数の風向環境で複数の外気取り
入れ手段のそれぞれの周辺の外気をサンプリングし汚染
成分となる特定微量成分濃度の濃度を分析して求めた濃
度風向相関関係のデータに基づいて、外気取り入れ制御
時に、風向計測手段で観測した風向の測定データを取得
し、予め記憶されている濃度風向相関関係のデータに基
づいて、複数の外気取り入れ手段のそれぞれのダンパ開
度を集中制御して外気の総量を制御しつつ汚染成分とな
る特定微量成分濃度の低い外気を選択的に取り入れる外
気取り入れ制御を実行する制御手段とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、瞬時に計測不可能
な微量成分の濃度の低い外気を選択的に取り入れること
が可能な外気取り入れ制御システム及び外気取り入れ制
御方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体製造工場などのクリーン・
ルームの清浄度を維持するために、浮遊塵埃、ケミカル
・ガス成分を除去したクリーン・エアを供給する必要が
ある。特に最先端の半導体デバイス製造環境において
は、微量の特定有機成分が、半導体デバイスの特性・歩
留まりに影響を与えることがわかってきている。この目
的のために、通常、外気を複数のダクトから取り込み、
各種フィルターにより汚染成分を捕捉して導入する手法
が採用されている。しかしながらこの手法では、フィル
ターの除去性能や取り入れる外気の汚染成分となる特定
微量成分の濃度によっては、充分捕捉できない場合があ
る。例えば、近隣に汚染成分を排出する施設が存在し、
この施設の風下となった場合、その施設に最も近い位置
の外気取り入れ口から取り入れた外気は、他の位置に比
較し汚染成分となる特定微量成分の濃度が高くなる。こ
のため高価なフィルターの寿命にも影響し、汚染成分と
なる特定微量成分の濃度によっては、フィルターの性能
を超えてクリーンルーム内に取り込む空気の汚染成分と
なる特定微量成分の濃度が高くなる問題がある。よっ
て、できるだけ汚染成分となる特定微量成分の濃度の低
い外気を選択的に取り入れることが重要である。そこ
で、このような問題点を解決することを目的とする従来
技術として、例えば、特開昭６０−１７８５１６号公報
に記載のものがある（第１従来技術）。すなわち、第１
従来技術には、外気ダクトに設けられた外気風速センサ
と炭酸ガス濃度センサの計測値から外気導入用のダンパ
開度を制御することが開示されている。また、このよう
な問題点を解決することを目的とする他の従来技術とし
て、例えば、特開平８−２５９４９号公報に記載のもの
がある（第２従来技術）。すなわち、第２従来技術に
は、車両用空調装置として外気導入口を複数設け、各導
入口に排気ガス・センサと開閉ダンパを設け、排気ガス
濃度の低い外気導入口から選択的に外気を導入すること
が開示されている。これらの技術は、容易に濃度計測が
可能な炭酸ガスなどの場合において一応の効果を奏して
いる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、半導体
工場などのクリーン・ルームの外気取り入れ制御への適
応を考えてみると、計測したい成分が特定の微量成分で
あり、定量分析には大規模な分析器と分析に長時間を要
するために、経時変化の大きい風向・風速に即応して外
気導入量を制御するのは困難であるという問題点が第
１、第２従来技術にはあった。本発明は斯かる問題点を
鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、
瞬時に計測不可能な微量成分の濃度の低い外気を選択的
に取り入れることが可能な外気取り入れ制御システム及
び外気取り入れ制御方法を提供する点にある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の要旨は、瞬時に計測不可能な微量成分の濃度の低い外
気を選択的に取り入れることが可能な外気取り入れ制御
システムであって、ダンパ開度に応じて外気取り込み量
を制御可能なダンパを備えた複数の外気取り入れ手段
と、風向を観測して風向の測定データを生成・出力する
風向計測手段と、あらかじめ複数の風向環境で前記複数
の外気取り入れ手段のそれぞれの周辺の外気をサンプリ
ングし汚染成分となる特定微量成分濃度の濃度を分析し
て求めた濃度風向相関関係のデータに基づいて、外気取
り入れ制御時に、前記風向計測手段で観測した風向の測
定データを取得し、前記予め記憶されている濃度風向相
関関係のデータに基づいて、前記複数の外気取り入れ手
段のそれぞれのダンパ開度を集中制御して外気の総量を
制御しつつ汚染成分となる特定微量成分濃度の低い外気
を選択的に取り入れる外気取り入れ制御を実行する制御
手段とを有する ことを特徴とする外気取り入れ制御シ
ステムに存する。また本発明の請求項２に記載の要旨
は、瞬時に計測不可能な微量成分の濃度の低い外気を選
択的に取り入れることが可能な外気取り入れ制御システ
ムであって、ダンパ開度に応じて外気取り込み量を制御
可能なダンパを備えた複数の外気取り入れ手段と、あら
かじめ複数の風向環境で前記複数の外気取り入れ手段の
それぞれの周辺の外気をサンプリングし、汚染成分とな
る特定微量成分濃度の濃度を分析する分析手段と、風向
の変化に対して、前記複数の外気取り入れ手段のそれぞ
れの濃度風向相関関係のデータに基づいて、導入される
汚染成分が所定レベル以下になるように外気取り込み比
率を求める演算手段と、風向の変化に対する前記複数の
外気取り入れ手段のそれぞれの前記外気取り込み比率を
記憶するメモリ手段と、風向を観測して風向の測定デー
タを生成・出力する風向計測手段と、外気取り入れ制御
時に、前記風向計測手段で観測した風向の測定データを
取得し、前記メモリ手段に記憶されている前記濃度風向
相関関係のデータ及び前記外気取り込み比率に基づい
て、前記複数の外気取り入れ手段のそれぞれのダンパ開
度を集中制御して外気の総量を制御しつつ汚染成分とな
る特定微量成分濃度の低い外気を選択的に取り入れる外
気取り入れ制御を実行する制御手段とを有することを特
徴とする外気取り入れ制御システムに存する。また本発
明の請求項３に記載の要旨は、瞬時に計測不可能な微量
成分の濃度の低い外気を選択的に取り入れることが可能
な外気取り入れ制御システムであって、ダンパ開度に応
じて外気取り込み量を制御可能なダンパを備えた複数の
外気取り入れ手段と、あらかじめ複数の風向環境で前記
複数の外気取り入れ手段のそれぞれの周辺の外気をサン
プリングし、汚染成分となる特定微量成分濃度の濃度を
分析する分析手段と、風向の変化に対して、前記複数の
外気取り入れ手段のそれぞれの濃度風向相関関係のデー
タに基づいて、導入される汚染成分が最低レベルになる
ように外気取り込み比率を求める演算手段と、風向の変
化に対する前記複数の外気取り入れ手段のそれぞれの外
気取り込み比率を記憶するメモリ手段と、風向を観測し
て風向の測定データを生成・出力する風向計測手段と、
外気取り入れ制御時に、前記風向計測手段で観測した風
向の測定データを取得し、前記メモリ手段に記憶されて
いる前記濃度風向相関関係のデータ及び前記外気取り込
み比率に基づいて、前記複数の外気取り入れ手段のそれ
ぞれのダンパ開度を集中制御して外気の総量を制御しつ
つ汚染成分となる特定微量成分濃度の低い外気を選択的
に取り入れる外気取り入れ制御を実行する制御手段とを
有することを特徴とする外気取り入れ制御システムに存
する。また本発明の請求項４に記載の要旨は、瞬時に計
測不可能な微量成分の濃度の低い外気を選択的に取り入
れることが可能な外気取り入れ制御システムであって、
ダンパ開度に応じて外気取り込み量を制御可能なダンパ
を備えた複数の外気取り入れ手段と、室外環境を観測し
て室外環境の測定データを生成・出力する室外環境計測
手段と、あらかじめ複数の室外環境で前記複数の外気取
り入れ手段のそれぞれの周辺の外気をサンプリングし汚
染成分となる特定微量成分濃度の濃度を分析して求めた
濃度室外環境相関関係のデータに基づいて、外気取り入
れ制御時に、前記室外環境計測手段で観測した室外環境
の測定データを取得し、前記予め記憶されている濃度室
外環境相関関係のデータに基づいて、前記複数の外気取
り入れ手段のそれぞれのダンパ開度を集中制御して外気
の総量を制御しつつ汚染成分となる特定微量成分濃度の
低い外気を選択的に取り入れる外気取り入れ制御を実行
する制御手段とを有することを特徴とする外気取り入れ
制御システムに存する。また本発明の請求項５に記載の
要旨は、瞬時に計測不可能な微量成分の濃度の低い外気
を選択的に取り入れることが可能な外気取り入れ制御シ
ステムであって、ダンパ開度に応じて外気取り込み量を
制御可能なダンパを備えた複数の外気取り入れ手段と、
あらかじめ複数の室外環境で前記複数の外気取り入れ手
段のそれぞれの周辺の外気をサンプリングし、汚染成分
となる特定微量成分濃度の濃度を分析する分析手段と、
室外環境の変化に対して、前記複数の外気取り入れ手段
のそれぞれの濃度室外環境相関関係のデータに基づい
て、導入される汚染成分が所定レベル以下になるように
外気取り込み比率を求める演算手段と、室外環境の変化
に対する前記複数の外気取り入れ手段のそれぞれの前記
外気取り込み比率を記憶するメモリ手段と、室外環境を
観測して室外環境の測定データを生成・出力する室外環
境計測手段と、外気取り入れ制御時に、前記室外環境計
測手段で観測した室外環境の測定データを取得し、前記
メモリ手段に記憶されている前記濃度室外環境相関関係
のデータ及び前記外気取り込み比率に基づいて、前記複
数の外気取り入れ手段のそれぞれのダンパ開度を集中制
御して外気の総量を制御しつつ汚染成分となる特定微量
成分濃度の低い外気を選択的に取り入れる外気取り入れ
制御を実行する制御手段とを有することを特徴とする外
気取り入れ制御システムに存する。また本発明の請求項
６に記載の要旨は、瞬時に計測不可能な微量成分の濃度
の低い外気を選択的に取り入れることが可能な外気取り
入れ制御システムであって、ダンパ開度に応じて外気取
り込み量を制御可能なダンパを備えた複数の外気取り入
れ手段と、あらかじめ複数の室外環境で前記複数の外気
取り入れ手段のそれぞれの周辺の外気をサンプリング
し、汚染成分となる特定微量成分濃度の濃度を分析する
分析手段と、室外環境の変化に対して、前記複数の外気
取り入れ手段のそれぞれの濃度室外環境相関関係のデー
タに基づいて、導入される汚染成分が最低レベルになる
ように外気取り込み比率を求める演算手段と、室外環境
の変化に対する前記複数の外気取り入れ手段のそれぞれ
の外気取り込み比率を記憶するメモリ手段と、室外環境
を観測して室外環境の測定データを生成・出力する室外
環境計測手段と、外気取り入れ制御時に、前記室外環境
計測手段で観測した室外環境の測定データを取得し、前
記メモリ手段に記憶されている前記濃度室外環境相関関
係のデータ及び前記外気取り込み比率に基づいて、前記
複数の外気取り入れ手段のそれぞれのダンパ開度を集中
制御して外気の総量を制御しつつ汚染成分となる特定微
量成分濃度の低い外気を選択的に取り入れる外気取り入
れ制御を実行する制御手段とを有することを特徴とする
外気取り入れ制御システムに存する。また本発明の請求
項７に記載の要旨は、ダンパ開度に応じて外気取り込み
量を制御可能なダンパを備えた複数の外気取り入れ手段
と、風向を観測して風向の測定データを生成・出力する
風向計測手段とを備えた外気取り入れ制御システムに対
して、瞬時に計測不可能な微量成分の濃度の低い外気を
選択的に取り入れることが可能な外気取り入れ制御方法
であって、あらかじめ複数の風向環境で前記複数の外気
取り入れ手段のそれぞれの周辺の外気をサンプリングし
汚染成分となる特定微量成分濃度の濃度を分析して求め
た濃度風向相関関係のデータに基づいて、外気取り入れ
制御時に、前記風向計測手段で観測した風向の測定デー
タを取得し、前記予め記憶されている濃度風向相関関係
のデータに基づいて、前記複数の外気取り入れ手段のそ
れぞれのダンパ開度を集中制御して外気の総量を制御し
つつ汚染成分となる特定微量成分濃度の低い外気を選択
的に取り入れる外気取り入れ制御を実行する制御工程を
有することを特徴とする外気取り入れ制御方法に存す
る。また本発明の請求項８に記載の要旨は、ダンパ開度
に応じて外気取り込み量を制御可能なダンパを備えた複
数の外気取り入れ手段と、風向を観測して風向の測定デ
ータを生成・出力する風向計測手段とを備えた外気取り
入れ制御システムに対して、瞬時に計測不可能な微量成
分の濃度の低い外気を選択的に取り入れることが可能な
外気取り入れ制御方法であって、あらかじめ複数の風向
環境で前記複数の外気取り入れ手段のそれぞれの周辺の
外気をサンプリングし、汚染成分となる特定微量成分濃
度の濃度を分析する分析工程と、風向の変化に対して、
前記複数の外気取り入れ手段のそれぞれの濃度風向相関
関係のデータに基づいて、導入される汚染成分が所定レ
ベル以下になるように外気取り込み比率を求める演算工
程と、風向の変化に対する前記複数の外気取り入れ手段
のそれぞれの前記外気取り込み比率を記憶するメモリ工
程と、外気取り入れ制御時に、前記風向計測手段で観測
した風向の測定データを取得し、前記メモリ工程に記憶
されている前記濃度風向相関関係のデータ及び前記外気
取り込み比率に基づいて、前記複数の外気取り入れ手段
のそれぞれのダンパ開度を集中制御して外気の総量を制
御しつつ汚染成分となる特定微量成分濃度の低い外気を
選択的に取り入れる外気取り入れ制御を実行する制御工
程とを有することを特徴とする外気取り入れ制御方法に
存する。また本発明の請求項９に記載の要旨は、ダンパ
開度に応じて外気取り込み量を制御可能なダンパを備え
た複数の外気取り入れ手段と、風向を観測して風向の測
定データを生成・出力する風向計測手段とを備えた外気
取り入れ制御システムに対して、瞬時に計測不可能な微
量成分の濃度の低い外気を選択的に取り入れることが可
能な外気取り入れ制御方法であって、あらかじめ複数の
風向環境で前記複数の外気取り入れ手段のそれぞれの周
辺の外気をサンプリングし、汚染成分となる特定微量成
分濃度の濃度を分析する分析工程と、風向の変化に対し
て、前記複数の外気取り入れ手段のそれぞれの濃度風向
相関関係のデータに基づいて、導入される汚染成分が最
低レベルになるように外気取り込み比率を求める演算工
程と、風向の変化に対する前記複数の外気取り入れ手段
のそれぞれの外気取り込み比率を記憶するメモリ工程
と、外気取り入れ制御時に、前記風向計測手段で観測し
た風向の測定データを取得し、前記メモリ工程に記憶さ
れている前記濃度風向相関関係のデータ及び前記外気取
り込み比率に基づいて、前記複数の外気取り入れ手段の
それぞれのダンパ開度を集中制御して外気の総量を制御
しつつ汚染成分となる特定微量成分濃度の低い外気を選
択的に取り入れる外気取り入れ制御を実行する制御工程
とを有することを特徴とする外気取り入れ制御方法に存
する。また本発明の請求項１０に記載の要旨は、ダンパ
開度に応じて外気取り込み量を制御可能なダンパを備え
た複数の外気取り入れ手段と、室外環境を観測して室外
環境の測定データを生成・出力する室外環境計測手段と
を備えた外気取り入れ制御システムに対して、瞬時に計
測不可能な微量成分の濃度の低い外気を選択的に取り入
れることが可能な外気取り入れ制御方法であって、あら
かじめ複数の室外環境で前記複数の外気取り入れ手段の
それぞれの周辺の外気をサンプリングし汚染成分となる
特定微量成分濃度の濃度を分析して求めた濃度室外環境
相関関係のデータに基づいて、外気取り入れ制御時に、
前記室外環境計測手段で観測した室外環境の測定データ
を取得し、前記予め記憶されている濃度室外環境相関関
係のデータに基づいて、前記複数の外気取り入れ手段の
それぞれのダンパ開度を集中制御して外気の総量を制御
しつつ汚染成分となる特定微量成分濃度の低い外気を選
択的に取り入れる外気取り入れ制御を実行する制御工程
を有することを特徴とする外気取り入れ制御方法に存す
る。また本発明の請求項１１に記載の要旨は、ダンパ開
度に応じて外気取り込み量を制御可能なダンパを備えた
複数の外気取り入れ手段と、室外環境を観測して室外環
境の測定データを生成・出力する室外環境計測手段とを
備えた外気取り入れ制御システムに対して、瞬時に計測
不可能な微量成分の濃度の低い外気を選択的に取り入れ
ることが可能な外気取り入れ制御方法であって、あらか
じめ複数の室外環境で前記複数の外気取り入れ手段のそ
れぞれの周辺の外気をサンプリングし、汚染成分となる
特定微量成分濃度の濃度を分析する分析工程と、室外環
境の変化に対して、前記複数の外気取り入れ手段のそれ
ぞれの濃度室外環境相関関係のデータに基づいて、導入
される汚染成分が所定レベル以下になるように外気取り
込み比率を求める演算工程と、室外環境の変化に対する
前記複数の外気取り入れ手段のそれぞれの前記外気取り
込み比率を記憶するメモリ工程と、外気取り入れ制御時
に、前記室外環境計測手段で観測した室外環境の測定デ
ータを取得し、前記メモリ工程に記憶されている前記濃
度室外環境相関関係のデータ及び前記外気取り込み比率
に基づいて、前記複数の外気取り入れ手段のそれぞれの
ダンパ開度を集中制御して外気の総量を制御しつつ汚染
成分となる特定微量成分濃度の低い外気を選択的に取り
入れる外気取り入れ制御を実行する制御工程とを有する
ことを特徴とする外気取り入れ制御方法に存する。また
本発明の請求項１２に記載の要旨は、ダンパ開度に応じ
て外気取り込み量を制御可能なダンパを備えた複数の外
気取り入れ手段と、室外環境を観測して室外環境の測定
データを生成・出力する室外環境計測手段とを備えた外
気取り入れ制御システムに対して、瞬時に計測不可能な
微量成分の濃度の低い外気を選択的に取り入れることが
可能な外気取り入れ制御方法であって、あらかじめ複数
の室外環境で前記複数の外気取り入れ手段のそれぞれの
周辺の外気をサンプリングし、汚染成分となる特定微量
成分濃度の濃度を分析する分析工程と、室外環境の変化
に対して、前記複数の外気取り入れ手段のそれぞれの濃
度室外環境相関関係のデータに基づいて、導入される汚
染成分が最低レベルになるように外気取り込み比率を求
める演算工程と、室外環境の変化に対する前記複数の外
気取り入れ手段のそれぞれの外気取り込み比率を記憶す
るメモリ工程と、外気取り入れ制御時に、前記室外環境
計測手段で観測した室外環境の測定データを取得し、前
記メモリ工程に記憶されている前記濃度室外環境相関関
係のデータ及び前記外気取り込み比率に基づいて、前記
複数の外気取り入れ手段のそれぞれのダンパ開度を集中
制御して外気の総量を制御しつつ汚染成分となる特定微
量成分濃度の低い外気を選択的に取り入れる外気取り入
れ制御を実行する制御工程とを有することを特徴とする
外気取り入れ制御方法に存する。

【０００５】

【発明の実施の形態】以下に示す各実施形態の特徴は、
異なる複数の風向時に外気取り入れ口（外気取り入れ手
段）のそれぞれ周辺で特定微量成分に対する濃度風向相
関関係のデータを予めサンプリング・分析して濃度風向
相関関係のデータに基づいて、導入される汚染成分が所
定レベル以下になるように外気取り込み比率を求めてお
き、風向計測手段で観測した風向の測定データをこの特
定微量成分に対する濃度風向相関関係のデータと比較し
てクリーンルーム内に取り込む空気の汚染成分となる特
定微量成分の濃度が所定のレベル以下になるように、複
数の外気取り入れ口（外気取り入れ手段）のそれぞれの
ダンパ開度を調節して外気の総量を制御するとともに、
汚染成分となる特定微量成分濃度の低い外気を選択的に
取り入れる点にある。これにより、安価な機構を用い
て、瞬時に計測不可能な微量成分の濃度の低い外気を選
択的に取り入れることが可能となる結果、外気の総量を
制御しつつ汚染成分となる特定微量成分濃度の低い外気
を選択的に取り入れることが可能となるといった効果を
奏する。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳
細に説明する。

【０００６】（第１実施形態）図１は本発明にかかる外
気取り入れ制御システム及び外気取り入れ制御方法の一
実施形態を説明するためのシステム図である。図１を参
照すると、本発明の一実施形態として外気取り入れ制御
システム２を備えた施設および周辺の平面図が示されて
いる。外気取り入れ制御システム２は、マイクロプロセ
ッサ（分析手段、演算手段、制御手段）３、メモリ（メ
モリ手段）４、風向計（風向計測手段）６、ダンパ開度
が調整可能な複数の外気取り入れ口（外気取り入れ手
段）５−ａ，…，５−ｆを備えている。マイクロプロセ
ッサ（分析手段、演算手段、制御手段）３は、異なる複
数の風向時に外気取り入れ口（外気取り入れ手段）５−
ａ，…，５−ｆのそれぞれの周辺で汚染成分となる特定
微量成分濃度に対する濃度風向相関関係のデータを予め
サンプリング・分析し、濃度風向相関関係のデータに基
づいて、導入される汚染成分が所定レベル以下になるよ
うに外気取り込み比率を求めてメモリ（メモリ手段）４
に記憶しておき、風向計で観測した風向の測定データを
この特定微量成分に対する濃度風向相関関係のデータと
比較して外気取り込み比率を求め、求めた外気取り込み
比率に基づいて、クリーンルーム内に取り込む空気の汚
染成分となる特定微量成分の濃度が所定のレベル以下に
なるように複数の外気取り入れ口（外気取り入れ手段）
５−ａ，…，５−ｆのそれぞれのダンパ開度を調節して
外気の総量を制御するとともに、汚染成分となる特定微
量成分濃度の低い外気を選択的に取り入れる制御を実行
する機能を有している。

【０００７】次に、本発明の外気取り入れ制御システム
２による外気取り入れ制御方法を説明する。本実施形態
では、あらかじめ、複数の風向環境で外気取り入れ口
（外気取り入れ手段）５−ａ，…，５−ｆのそれぞれの
周辺の外気をサンプリングし、汚染成分となる特定微量
成分濃度の濃度を分析して、風向が０〜３６０°変化し
た場合の外気取り入れ口（外気取り入れ手段）５−ａ，
…，５−ｆのそれぞれの濃度風向相関関係のデータに基
づいて、導入される汚染成分が所定レベル以下になるよ
うに外気取り込み比率を求めてメモリ（メモリ手段）４
に記憶させておく。マイクロプロセッサ（分析手段、演
算手段、制御手段）３は外気取り入れ制御時に、風向計
で観測した風向の測定データを取得し、メモリ（メモリ
手段）４に記憶されている濃度風向相関関係のデータ及
び外気取り込み比率に基づいて、外気取り入れ口（外気
取り入れ手段）５−ａ，…，５−ｆのそれぞれのダンパ
開度を集中制御する。

【０００８】例えば、図１に示すクリーンルームを備え
た施設１が近隣の大気汚染成分を排出している施設７の
風下となった場合にマイクロプロセッサ（分析手段、演
算手段、制御手段）３は、大気汚染成分を排出している
施設７に近い外気取り込み口５−ｃのダンパ開度を絞
り、大気汚染成分を排出している施設７から遠い外気取
り込み口５−ａ，５−ｄ，５−ｅのダンパ開度を開ける
ように制御する。

【０００９】以上説明したように、第１実施形態によれ
ば、安価な機構を用いて、瞬時に計測不可能な微量成分
の濃度の低い外気を選択的に取り入れることが可能とな
る結果、外気の総量を制御しつつ汚染成分となる特定微
量成分濃度の低い外気を選択的に取り入れることが可能
となるといった効果を奏する。

【００１０】（第２実施形態）前述の第１実施形態で
は、室外環境のみの情報に基づいて外気取り入れ制御す
る方式としたが、風速、天気、時間帯、温度、湿度、気
圧など複数の環境変化、またはこれらの組み合わせに応
じた濃度室外環境相関関係のデータに基づいて、マイク
ロプロセッサ（分析手段、演算手段、制御手段）３を用
いて予めメモリ（メモリ手段）４に学習させておき、複
数の環境変化のそれぞれを観測する観測計（室外環境計
測手段）を設け、マイクロプロセッサ（分析手段、演算
手段、制御手段）３を用いてそれらの観測計のそれぞれ
から採取される情報に基づいて外気取り入れ制御を実行
すれば、さらに高い精度の制御が可能となる。

【００１１】なお、本発明が上記各実施形態に限定され
ず、本発明の技術思想の範囲内において、各実施形態は
適宜変更され得ることは明らかである。また上記構成部
材の数、位置、形状等は上記実施の形態に限定されず、
本発明を実施する上で好適な数、位置、形状等にするこ
とができる。

【００１２】

【発明の効果】本発明は以上のように構成されているの
で、安価な機構を用いて、瞬時に計測不可能な微量成分
の濃度の低い外気を選択的に取り入れることが可能とな
る結果、外気の総量を制御しつつ汚染成分となる特定微
量成分濃度の低い外気を選択的に取り入れることが可能
となるといった効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる外気取り入れ制御システム及び
外気取り入れ制御方法の一実施形態を説明するためのシ
ステム図である。

【符号の説明】

１…クリーンルームを備えた施設 ２…外気取り入れ制御システム ３…マイクロプロセッサ（分析手段、演算手段、制御手
段） ４…メモリ（メモリ手段） ５−ａ，…，５−ｆ…外気取り入れ口（外気取り入れ手
段） ６…風向計（風向計測手段） ７…大気汚染成分を排出している施設

Claims (12)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 瞬時に計測不可能な微量成分の濃度の低
   い外気を選択的に取り入れることが可能な外気取り入れ
   制御システムであって、 ダンパ開度に応じて外気取り込み量を制御可能なダンパ
   を備えた複数の外気取り入れ手段と、 風向を観測して風向の測定データを生成・出力する風向
   計測手段と、 あらかじめ複数の風向環境で前記複数の外気取り入れ手
   段のそれぞれの周辺の外気をサンプリングし汚染成分と
   なる特定微量成分濃度の濃度を分析して求めた濃度風向
   相関関係のデータに基づいて、外気取り入れ制御時に、
   前記風向計測手段で観測した風向の測定データを取得
   し、前記予め記憶されている濃度風向相関関係のデータ
   に基づいて、前記複数の外気取り入れ手段のそれぞれの
   ダンパ開度を集中制御して外気の総量を制御しつつ汚染
   成分となる特定微量成分濃度の低い外気を選択的に取り
   入れる外気取り入れ制御を実行する制御手段とを有する
   ことを特徴とする外気取り入れ制御システム。
2. 【請求項２】 瞬時に計測不可能な微量成分の濃度の低
   い外気を選択的に取り入れることが可能な外気取り入れ
   制御システムであって、 ダンパ開度に応じて外気取り込み量を制御可能なダンパ
   を備えた複数の外気取り入れ手段と、 あらかじめ複数の風向環境で前記複数の外気取り入れ手
   段のそれぞれの周辺の外気をサンプリングし、汚染成分
   となる特定微量成分濃度の濃度を分析する分析手段と、 風向の変化に対して、前記複数の外気取り入れ手段のそ
   れぞれの濃度風向相関関係のデータに基づいて、導入さ
   れる汚染成分が所定レベル以下になるように外気取り込
   み比率を求める演算手段と、 風向の変化に対する前記複数の外気取り入れ手段のそれ
   ぞれの前記外気取り込み比率を記憶するメモリ手段と、 風向を観測して風向の測定データを生成・出力する風向
   計測手段と、 外気取り入れ制御時に、前記風向計測手段で観測した風
   向の測定データを取得し、前記メモリ手段に記憶されて
   いる前記濃度風向相関関係のデータ及び前記外気取り込
   み比率に基づいて、前記複数の外気取り入れ手段のそれ
   ぞれのダンパ開度を集中制御して外気の総量を制御しつ
   つ汚染成分となる特定微量成分濃度の低い外気を選択的
   に取り入れる外気取り入れ制御を実行する制御手段とを
   有することを特徴とする外気取り入れ制御システム。
3. 【請求項３】 瞬時に計測不可能な微量成分の濃度の低
   い外気を選択的に取り入れることが可能な外気取り入れ
   制御システムであって、 ダンパ開度に応じて外気取り込み量を制御可能なダンパ
   を備えた複数の外気取り入れ手段と、 あらかじめ複数の風向環境で前記複数の外気取り入れ手
   段のそれぞれの周辺の外気をサンプリングし、汚染成分
   となる特定微量成分濃度の濃度を分析する分析手段と、 風向の変化に対して、前記複数の外気取り入れ手段のそ
   れぞれの濃度風向相関関係のデータに基づいて、導入さ
   れる汚染成分が最低レベルになるように外気取り込み比
   率を求める演算手段と、 風向の変化に対する前記複数の外気取り入れ手段のそれ
   ぞれの外気取り込み比率を記憶するメモリ手段と、 風向を観測して風向の測定データを生成・出力する風向
   計測手段と、 外気取り入れ制御時に、前記風向計測手段で観測した風
   向の測定データを取得し、前記メモリ手段に記憶されて
   いる前記濃度風向相関関係のデータ及び前記外気取り込
   み比率に基づいて、前記複数の外気取り入れ手段のそれ
   ぞれのダンパ開度を集中制御して外気の総量を制御しつ
   つ汚染成分となる特定微量成分濃度の低い外気を選択的
   に取り入れる外気取り入れ制御を実行する制御手段とを
   有することを特徴とする外気取り入れ制御システム。
4. 【請求項４】 瞬時に計測不可能な微量成分の濃度の低
   い外気を選択的に取り入れることが可能な外気取り入れ
   制御システムであって、 ダンパ開度に応じて外気取り込み量を制御可能なダンパ
   を備えた複数の外気取り入れ手段と、 室外環境を観測して室外環境の測定データを生成・出力
   する室外環境計測手段と、 あらかじめ複数の室外環境で前記複数の外気取り入れ手
   段のそれぞれの周辺の外気をサンプリングし汚染成分と
   なる特定微量成分濃度の濃度を分析して求めた濃度室外
   環境相関関係のデータに基づいて、外気取り入れ制御時
   に、前記室外環境計測手段で観測した室外環境の測定デ
   ータを取得し、前記予め記憶されている濃度室外環境相
   関関係のデータに基づいて、前記複数の外気取り入れ手
   段のそれぞれのダンパ開度を集中制御して外気の総量を
   制御しつつ汚染成分となる特定微量成分濃度の低い外気
   を選択的に取り入れる外気取り入れ制御を実行する制御
   手段とを有することを特徴とする外気取り入れ制御シス
   テム。
5. 【請求項５】 瞬時に計測不可能な微量成分の濃度の低
   い外気を選択的に取り入れることが可能な外気取り入れ
   制御システムであって、 ダンパ開度に応じて外気取り込み量を制御可能なダンパ
   を備えた複数の外気取り入れ手段と、 あらかじめ複数の室外環境で前記複数の外気取り入れ手
   段のそれぞれの周辺の外気をサンプリングし、汚染成分
   となる特定微量成分濃度の濃度を分析する分析手段と、 室外環境の変化に対して、前記複数の外気取り入れ手段
   のそれぞれの濃度室外環境相関関係のデータに基づい
   て、導入される汚染成分が所定レベル以下になるように
   外気取り込み比率を求める演算手段と、 室外環境の変化に対する前記複数の外気取り入れ手段の
   それぞれの前記外気取り込み比率を記憶するメモリ手段
   と、 室外環境を観測して室外環境の測定データを生成・出力
   する室外環境計測手段と、 外気取り入れ制御時に、前記室外環境計測手段で観測し
   た室外環境の測定データを取得し、前記メモリ手段に記
   憶されている前記濃度室外環境相関関係のデータ及び前
   記外気取り込み比率に基づいて、前記複数の外気取り入
   れ手段のそれぞれのダンパ開度を集中制御して外気の総
   量を制御しつつ汚染成分となる特定微量成分濃度の低い
   外気を選択的に取り入れる外気取り入れ制御を実行する
   制御手段とを有することを特徴とする外気取り入れ制御
   システム。
6. 【請求項６】 瞬時に計測不可能な微量成分の濃度の低
   い外気を選択的に取り入れることが可能な外気取り入れ
   制御システムであって、 ダンパ開度に応じて外気取り込み量を制御可能なダンパ
   を備えた複数の外気取り入れ手段と、 あらかじめ複数の室外環境で前記複数の外気取り入れ手
   段のそれぞれの周辺の外気をサンプリングし、汚染成分
   となる特定微量成分濃度の濃度を分析する分析手段と、 室外環境の変化に対して、前記複数の外気取り入れ手段
   のそれぞれの濃度室外環境相関関係のデータに基づい
   て、導入される汚染成分が最低レベルになるように外気
   取り込み比率を求める演算手段と、 室外環境の変化に対する前記複数の外気取り入れ手段の
   それぞれの外気取り込み比率を記憶するメモリ手段と、 室外環境を観測して室外環境の測定データを生成・出力
   する室外環境計測手段と、 外気取り入れ制御時に、前記室外環境計測手段で観測し
   た室外環境の測定データを取得し、前記メモリ手段に記
   憶されている前記濃度室外環境相関関係のデータ及び前
   記外気取り込み比率に基づいて、前記複数の外気取り入
   れ手段のそれぞれのダンパ開度を集中制御して外気の総
   量を制御しつつ汚染成分となる特定微量成分濃度の低い
   外気を選択的に取り入れる外気取り入れ制御を実行する
   制御手段とを有することを特徴とする外気取り入れ制御
   システム。
7. 【請求項７】 ダンパ開度に応じて外気取り込み量を制
   御可能なダンパを備えた複数の外気取り入れ手段と、風
   向を観測して風向の測定データを生成・出力する風向計
   測手段とを備えた外気取り入れ制御システムに対して、
   瞬時に計測不可能な微量成分の濃度の低い外気を選択的
   に取り入れることが可能な外気取り入れ制御方法であっ
   て、 あらかじめ複数の風向環境で前記複数の外気取り入れ手
   段のそれぞれの周辺の外気をサンプリングし汚染成分と
   なる特定微量成分濃度の濃度を分析して求めた濃度風向
   相関関係のデータに基づいて、外気取り入れ制御時に、
   前記風向計測手段で観測した風向の測定データを取得
   し、前記予め記憶されている濃度風向相関関係のデータ
   に基づいて、前記複数の外気取り入れ手段のそれぞれの
   ダンパ開度を集中制御して外気の総量を制御しつつ汚染
   成分となる特定微量成分濃度の低い外気を選択的に取り
   入れる外気取り入れ制御を実行する制御工程を有するこ
   とを特徴とする外気取り入れ制御方法。
8. 【請求項８】 ダンパ開度に応じて外気取り込み量を制
   御可能なダンパを備えた複数の外気取り入れ手段と、風
   向を観測して風向の測定データを生成・出力する風向計
   測手段とを備えた外気取り入れ制御システムに対して、
   瞬時に計測不可能な微量成分の濃度の低い外気を選択的
   に取り入れることが可能な外気取り入れ制御方法であっ
   て、 あらかじめ複数の風向環境で前記複数の外気取り入れ手
   段のそれぞれの周辺の外気をサンプリングし、汚染成分
   となる特定微量成分濃度の濃度を分析する分析工程と、 風向の変化に対して、前記複数の外気取り入れ手段のそ
   れぞれの濃度風向相関関係のデータに基づいて、導入さ
   れる汚染成分が所定レベル以下になるように外気取り込
   み比率を求める演算工程と、 風向の変化に対する前記複数の外気取り入れ手段のそれ
   ぞれの前記外気取り込み比率を記憶するメモリ工程と、 外気取り入れ制御時に、前記風向計測手段で観測した風
   向の測定データを取得し、前記メモリ工程に記憶されて
   いる前記濃度風向相関関係のデータ及び前記外気取り込
   み比率に基づいて、前記複数の外気取り入れ手段のそれ
   ぞれのダンパ開度を集中制御して外気の総量を制御しつ
   つ汚染成分となる特定微量成分濃度の低い外気を選択的
   に取り入れる外気取り入れ制御を実行する制御工程とを
   有することを特徴とする外気取り入れ制御方法。
9. 【請求項９】 ダンパ開度に応じて外気取り込み量を制
   御可能なダンパを備えた複数の外気取り入れ手段と、風
   向を観測して風向の測定データを生成・出力する風向計
   測手段とを備えた外気取り入れ制御システムに対して、
   瞬時に計測不可能な微量成分の濃度の低い外気を選択的
   に取り入れることが可能な外気取り入れ制御方法であっ
   て、 あらかじめ複数の風向環境で前記複数の外気取り入れ手
   段のそれぞれの周辺の外気をサンプリングし、汚染成分
   となる特定微量成分濃度の濃度を分析する分析工程と、 風向の変化に対して、前記複数の外気取り入れ手段のそ
   れぞれの濃度風向相関関係のデータに基づいて、導入さ
   れる汚染成分が最低レベルになるように外気取り込み比
   率を求める演算工程と、 風向の変化に対する前記複数の外気取り入れ手段のそれ
   ぞれの外気取り込み比率を記憶するメモリ工程と、 外気取り入れ制御時に、前記風向計測手段で観測した風
   向の測定データを取得し、前記メモリ工程に記憶されて
   いる前記濃度風向相関関係のデータ及び前記外気取り込
   み比率に基づいて、前記複数の外気取り入れ手段のそれ
   ぞれのダンパ開度を集中制御して外気の総量を制御しつ
   つ汚染成分となる特定微量成分濃度の低い外気を選択的
   に取り入れる外気取り入れ制御を実行する制御工程とを
   有することを特徴とする外気取り入れ制御方法。
10. 【請求項１０】 ダンパ開度に応じて外気取り込み量を
    制御可能なダンパを備えた複数の外気取り入れ手段と、
    室外環境を観測して室外環境の測定データを生成・出力
    する室外環境計測手段とを備えた外気取り入れ制御シス
    テムに対して、瞬時に計測不可能な微量成分の濃度の低
    い外気を選択的に取り入れることが可能な外気取り入れ
    制御方法であって、 あらかじめ複数の室外環境で前記複数の外気取り入れ手
    段のそれぞれの周辺の外気をサンプリングし汚染成分と
    なる特定微量成分濃度の濃度を分析して求めた濃度室外
    環境相関関係のデータに基づいて、外気取り入れ制御時
    に、前記室外環境計測手段で観測した室外環境の測定デ
    ータを取得し、前記予め記憶されている濃度室外環境相
    関関係のデータに基づいて、前記複数の外気取り入れ手
    段のそれぞれのダンパ開度を集中制御して外気の総量を
    制御しつつ汚染成分となる特定微量成分濃度の低い外気
    を選択的に取り入れる外気取り入れ制御を実行する制御
    工程を有することを特徴とする外気取り入れ制御方法。
11. 【請求項１１】 ダンパ開度に応じて外気取り込み量を
    制御可能なダンパを備えた複数の外気取り入れ手段と、
    室外環境を観測して室外環境の測定データを生成・出力
    する室外環境計測手段とを備えた外気取り入れ制御シス
    テムに対して、瞬時に計測不可能な微量成分の濃度の低
    い外気を選択的に取り入れることが可能な外気取り入れ
    制御方法であって、 あらかじめ複数の室外環境で前記複数の外気取り入れ手
    段のそれぞれの周辺の外気をサンプリングし、汚染成分
    となる特定微量成分濃度の濃度を分析する分析工程と、 室外環境の変化に対して、前記複数の外気取り入れ手段
    のそれぞれの濃度室外環境相関関係のデータに基づい
    て、導入される汚染成分が所定レベル以下になるように
    外気取り込み比率を求める演算工程と、 室外環境の変化に対する前記複数の外気取り入れ手段の
    それぞれの前記外気取り込み比率を記憶するメモリ工程
    と、 外気取り入れ制御時に、前記室外環境計測手段で観測し
    た室外環境の測定データを取得し、前記メモリ工程に記
    憶されている前記濃度室外環境相関関係のデータ及び前
    記外気取り込み比率に基づいて、前記複数の外気取り入
    れ手段のそれぞれのダンパ開度を集中制御して外気の総
    量を制御しつつ汚染成分となる特定微量成分濃度の低い
    外気を選択的に取り入れる外気取り入れ制御を実行する
    制御工程とを有することを特徴とする外気取り入れ制御
    方法。
12. 【請求項１２】 ダンパ開度に応じて外気取り込み量を
    制御可能なダンパを備えた複数の外気取り入れ手段と、
    室外環境を観測して室外環境の測定データを生成・出力
    する室外環境計測手段とを備えた外気取り入れ制御シス
    テムに対して、瞬時に計測不可能な微量成分の濃度の低
    い外気を選択的に取り入れることが可能な外気取り入れ
    制御方法であって、 あらかじめ複数の室外環境で前記複数の外気取り入れ手
    段のそれぞれの周辺の外気をサンプリングし、汚染成分
    となる特定微量成分濃度の濃度を分析する分析工程と、 室外環境の変化に対して、前記複数の外気取り入れ手段
    のそれぞれの濃度室外環境相関関係のデータに基づい
    て、導入される汚染成分が最低レベルになるように外気
    取り込み比率を求める演算工程と、 室外環境の変化に対する前記複数の外気取り入れ手段の
    それぞれの外気取り込み比率を記憶するメモリ工程と、 外気取り入れ制御時に、前記室外環境計測手段で観測し
    た室外環境の測定データを取得し、前記メモリ工程に記
    憶されている前記濃度室外環境相関関係のデータ及び前
    記外気取り込み比率に基づいて、前記複数の外気取り入
    れ手段のそれぞれのダンパ開度を集中制御して外気の総
    量を制御しつつ汚染成分となる特定微量成分濃度の低い
    外気を選択的に取り入れる外気取り入れ制御を実行する
    制御工程とを有することを特徴とする外気取り入れ制御
    方法。