JP3006883U

JP3006883U - 系内挿入管端を備えた半導体製造装置用配管メカニカル継手

Info

Publication number: JP3006883U
Application number: JP1994010324U
Authority: JP
Inventors: 英親横山
Original assignee: 創研工業株式会社
Priority date: 1994-07-18
Filing date: 1994-07-18
Publication date: 1995-01-31
Anticipated expiration: 2000-07-18

Abstract

(57)【要約】【目的】この考案は、半導体製造装置用の流体移送系の
内部の流体の状態を直接測定するプローブを溶接接続出
来るようにした配管メカニカル継手に関するものであ
る。また、この考案は、前記の配管メカニカル継手に先
端を溶封した金属管のもう一端を溶接し、管内に測温体
を挿入した温度測定プローブに関するものである。ま
た、この考案は、この考案にかかる配管メカニカル継手
に、先端に透光部を有する金属管のもう一端を溶接した
光学的プローブに関するものである。【構成】図１のように、半導体製造装置用配管メカニカ
ル継手のシール部の内側に、メカニカル継手締結時に、
管系内に挿入されるよう、管端２を設け、管端２に任意
の機能を持つプローブを溶接出来るようにした。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、半導体製造装置用の流体移送管系の内部の流体の状態を直接測定するプローブを溶接接続出来るようにした配管メカニカル継手である。半導体製造には、純度の高い流体を使用することが不可欠でありそのため、流体移送管系には、完全な金属シールを持つ配管メカニカル継手が必要とされ利用されて来た。しかし、それらの配管メカニカル継手と互換性があり、かつ系を汚染させずコンパクトに系内にプローブを挿入するメカニカル継手がなかった。本考案は、現在の半導体製造装置流体配管系を構成する部材である配管メカニカル継手と互換性があり、組合せて使用することが出来るように系内挿入管端を備えた半導体製造装置用配管メカニカル継手に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来は、系内を測定するためにプローブを系内に挿入して直接溶接した。しかし、この方法では、測定部位を変更しようとすると、系をはじめから製作し直さなければならない欠点があった。また、系内の貯液槽等に挿入するプローブや、浸液管を備える場合にも同様の欠点があった。また、プローブは系本体に比較して小型で溶接加工上の困難が伴ったり、取付時に溶接加工する必要があるため系を汚染するなどの不都合が生じ易かった。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

したがって、本考案は半導体製造装置流体配管系で従来から利用されて来た配管メカニカル継手と互換性があり、溶接加工なしに装着出来、かつ交換、変更の容易な系内挿入管端を備えた半導体製造装置用配管メカニカル継手および、それと組み合わせて利用するプローブを提供するために考案されたのである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

いまその構成を説明すると（イ）半導体製造装置用配管メカニカル継手のシール部の内側に、継手締結時に管系内に挿入されるよう管端２を設ける。（ロ）管端２に、先端を封止した金属管のもう一端をあらかじめ溶接し、この金属管内に測温素子を備え、管系内流体を測温するプローブとする。（ハ）管端２に、先端をガラス封止して光学窓とした金属管のもう一端をあらかじめ溶接し、管系内流体の光学的特性を利用するプローブとする。（ニ）管端２に、両端を開放した金属管の一端を溶接し、管系内流体を採取するプローブとする。

【０００５】

【作用】

次に本考案の作用を述べると、本考案にかかる系内挿入管端を備えた半導体製造装置用配管メカニカル継手は、系内挿入管端に測定または試料採取用プローブを任意の長さにして製作することが出来、そして管系に対して溶接なしに機械的に締結取付け出来る。そのため、管系へのプローブ取付時の溶接加工は不要であり結果的に清浄度を維持する工法が可能となる。また、プローブ交換の必要が生じた際も、プローブのみを機械的に取りはずし、新らたに締結すれば交換が完了するので、大掛りな交換工事が不要である。

【０００６】

【実施例１】図１のように、半導体製造装置用配管メカニカル継手のシール部の内側に、メカニカル継手締結時に、管系内に挿入されるよう、管端２を設け、管端２に任意の機能を持つプローブを溶接出来るようにした。

【０００７】

【実施例２】図２のように、金属管の一端を溶接封止し、もう一端を半導体製造装置用配管メカニカル継手の管端２と溶接した後、表面を清浄化してから溶接封止した管内に熱電対を挿入して、温度測定プローブとした。本プローブを図３のように管系と機械的に接続し管系内流体温度測定プローブとした。

【０００８】

【実施例３】図４のように、金属管の一端に先端が９０°以下の角度である三角錘に加工した透明なガラスをその基部で溶着し、金属管のもう一端を、半導体製造装置用配管メカニカル継手の管端２と溶接し、金属管内に透明ガラス棒を挿入して、光導波路を有する測定プローブとした。本プローブに流体配管外から光束を光導波路を通じて導入し、プローブ先端が液相にある時は弱い全反射光を帰還し、プローブ先端が気相にある時は強い全反射光を帰還することを光電的に検出することにより、半導体製造装置流体供給系内における液相気相界面の検出用プローブとした。

【０００９】

【考案の効果】

以上の如く管端２に任意の種類のプローブを任意の長さで取り付けることができる。このため、配管工事なしにプローブの種類や長さを容易に変更できる。

【００１０】

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案にかかる配管メカニカル継手の一例。

【図２】本考案にかかる配管メカニカル継手を温度測定
プローブとした一例。

【図３】本考案にかかる温度測定プローブを管系と機械
的に接続した一例。

【図４】本考案にかかる配管メカニカル継手を液相気相
界面の検出用プローブとした一例。１−−−−・本考案にかかる配管メカニカル継手２−−−−・管端３−−−−・継手締結用金属製パッキン４−−−−・配管メカニカル継手５−−−−・継手締結用ボルト６−−−−・継手締結用ナット７−−−−・測温素子８−−−−・温度測定プローブ９−−−−・透明ガラス製光検出プローブ端

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】（イ）半導体製造装置用配管メカニカル継
手のシール部の内側にメカニカル継手締結時に、管系内
に挿入されるよう管端２を設ける。（ロ）管端２に、任意のプローブまたは金属管を溶接し
て用いる。以上の如く構成された、半導体製造装置用配管メカニカ
ル継手。
【請求項２】管端２に、溶接されたプローブが先端を金
属で封止した金属管で、管内に測温素子が備えられてい
る管系内流体を測温するプローブ。
【請求項３】管端２に溶接されたプローブが先端をガラ
スで封止して光学的窓とした、金属管で管系内流体の光
学的特性を利用するプローブ。
【請求項４】管端２に溶接されたプローブが、先端が開
放されている金属管で、系内の任意の所定位置から試料
採取できるプローブ。