JP3002002B2 - バンドパスフィルタ - Google Patents
バンドパスフィルタInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、特定波長域の光だけ
を選択的に透過する特性を有するバンドパスフィルタに
関する。
を選択的に透過する特性を有するバンドパスフィルタに
関する。
【０００２】
【従来の技術】光学多層膜を応用した多層膜は、すでに
真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリング等の
方法により作製され、各種の用途に実用化されている。
その中で、特定波長域の光だけを選択的に透過するもの
をバンドパスフィルタと呼んでいる。一般に、バンドパ
スフィルタは、透過部の透過率分布はなるべく高く平坦
で、不透過部（反射部）の透過率分布はなるべく低く平
坦であることが必要である。
真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリング等の
方法により作製され、各種の用途に実用化されている。
その中で、特定波長域の光だけを選択的に透過するもの
をバンドパスフィルタと呼んでいる。一般に、バンドパ
スフィルタは、透過部の透過率分布はなるべく高く平坦
で、不透過部（反射部）の透過率分布はなるべく低く平
坦であることが必要である。
【０００３】従来、バンドパスフィルタとしては、通
常、光学膜厚が互いに等しい高屈折率膜と低屈折率膜を
交互に積層した構造の選択反射鏡が用いられている。図
１にみるように、このような選択反射鏡は、反射波長の
異なるショートパスフィルタとロングパスフィルタの２
個のフィルタを積層し、両者の透過部分が重なることを
利用してバンドパス特性を得るように作製されたもので
ある。
常、光学膜厚が互いに等しい高屈折率膜と低屈折率膜を
交互に積層した構造の選択反射鏡が用いられている。図
１にみるように、このような選択反射鏡は、反射波長の
異なるショートパスフィルタとロングパスフィルタの２
個のフィルタを積層し、両者の透過部分が重なることを
利用してバンドパス特性を得るように作製されたもので
ある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図２にみる
ように、前述した選択反射鏡の透過部分には、両方のフ
ィルタの、リップルと呼ばれる漣状の特性が現れ、重な
るので、これを抑制しなければ、優れたバンドパス特性
を得ることができないという問題があった。リップル抑
制の方法としては、従来から、コンピュータのシミュレ
ーションによる膜構成の「最適化」による方法があっ
た。しかし、この方法では、各層の膜厚がばらばらにな
ってしまうため、作製が難しくなるばかりでなく、量産
時に管理すべき要素が非常に増えてしまい、特性のばら
つきを抑えることが困難であった。
ように、前述した選択反射鏡の透過部分には、両方のフ
ィルタの、リップルと呼ばれる漣状の特性が現れ、重な
るので、これを抑制しなければ、優れたバンドパス特性
を得ることができないという問題があった。リップル抑
制の方法としては、従来から、コンピュータのシミュレ
ーションによる膜構成の「最適化」による方法があっ
た。しかし、この方法では、各層の膜厚がばらばらにな
ってしまうため、作製が難しくなるばかりでなく、量産
時に管理すべき要素が非常に増えてしまい、特性のばら
つきを抑えることが困難であった。
【０００５】この発明は、このような問題を解決し、特
定波長域の光だけを選択的に透過する特性を得ようとす
るとき、リップルを抑制し、透過部の分光透過率特性を
高く平坦にし、同時にシャープカット特性にすることが
できるとともに、膜構成が簡単で作製が容易であるバン
ドパスフィルタを提供することを課題とする。
定波長域の光だけを選択的に透過する特性を得ようとす
るとき、リップルを抑制し、透過部の分光透過率特性を
高く平坦にし、同時にシャープカット特性にすることが
できるとともに、膜構成が簡単で作製が容易であるバン
ドパスフィルタを提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、この発明は、高屈折率膜と低屈折率膜が基材上に交
互に多層形成されてなる光学多層干渉薄膜を有するバン
ドパスフィルタにおいて、基材側からみて順に、高屈折
率膜と低屈折率膜が交互に多層形成されている多層膜群
Ａ、高屈折率膜と低屈折率膜が１層ずつ重ね合わせて形
成されている中間層群Ｂ、および、高屈折率膜と低屈折
率膜が交互に多層形成されている多層膜群Ｃを有し、基
材側から数えて第１層および最終層がいずれも高屈折率
膜であり、全体の層数が奇数であるとともに、前記膜群
Ａ、Ｂ、およびＣの各光学膜厚が下記（１）〜（４）の
条件を満たすように設定されていることを特徴とするも
のである。
め、この発明は、高屈折率膜と低屈折率膜が基材上に交
互に多層形成されてなる光学多層干渉薄膜を有するバン
ドパスフィルタにおいて、基材側からみて順に、高屈折
率膜と低屈折率膜が交互に多層形成されている多層膜群
Ａ、高屈折率膜と低屈折率膜が１層ずつ重ね合わせて形
成されている中間層群Ｂ、および、高屈折率膜と低屈折
率膜が交互に多層形成されている多層膜群Ｃを有し、基
材側から数えて第１層および最終層がいずれも高屈折率
膜であり、全体の層数が奇数であるとともに、前記膜群
Ａ、Ｂ、およびＣの各光学膜厚が下記（１）〜（４）の
条件を満たすように設定されていることを特徴とするも
のである。
【０００７】（１）多層膜群Ａの、基材側から数えて第
３層以降の光学膜厚がいずれもａであり、第１層および
第２層の光学膜厚がいずれもａの１〜１．３５倍の範囲
である。 （２）多層膜群Ｃの、基材側から数えて第１層から最終
層の１つ手前の層までの光学膜厚がいずれもｃであり、
最終層の光学膜厚がｃの０．５±０．２５倍の範囲であ
る。
３層以降の光学膜厚がいずれもａであり、第１層および
第２層の光学膜厚がいずれもａの１〜１．３５倍の範囲
である。 （２）多層膜群Ｃの、基材側から数えて第１層から最終
層の１つ手前の層までの光学膜厚がいずれもｃであり、
最終層の光学膜厚がｃの０．５±０．２５倍の範囲であ
る。
【０００８】（３）光学膜厚ａが光学膜厚ｃよりも大き
い。 （４）中間層群Ｂの、基材側から数えて第１層の光学膜
厚ｂ1 が光学膜厚ｃの１±０．１倍の範囲であり、第２
層の光学膜厚ｂ2 が光学膜厚ｃの０．５±０．２５倍の
範囲である。 有効なリップル抑制を行うためには、高屈折率膜と低屈
折率膜の屈折率は、それぞれ、２．５、１．４前後であ
ることが望ましい。これより大幅に離れると、リップル
抑制効果が弱くなるからである。しかし、実用的な膜材
料のほとんどは、この屈折率域にあり、特に問題はな
い。
い。 （４）中間層群Ｂの、基材側から数えて第１層の光学膜
厚ｂ1 が光学膜厚ｃの１±０．１倍の範囲であり、第２
層の光学膜厚ｂ2 が光学膜厚ｃの０．５±０．２５倍の
範囲である。 有効なリップル抑制を行うためには、高屈折率膜と低屈
折率膜の屈折率は、それぞれ、２．５、１．４前後であ
ることが望ましい。これより大幅に離れると、リップル
抑制効果が弱くなるからである。しかし、実用的な膜材
料のほとんどは、この屈折率域にあり、特に問題はな
い。
【０００９】また、光学膜厚の大きい多層膜群Ａの主反
射波長と光学膜厚の小さい多層膜群Ｃの主反射波長との
比は、１．６前後であることが望ましい。これより大幅
に離れると、リップル抑制効果が弱くなるからである。
全体の層数は、前述したように奇数である必要があり、
２５ないし４１層位が適当である。
射波長と光学膜厚の小さい多層膜群Ｃの主反射波長との
比は、１．６前後であることが望ましい。これより大幅
に離れると、リップル抑制効果が弱くなるからである。
全体の層数は、前述したように奇数である必要があり、
２５ないし４１層位が適当である。
【００１０】図３は、この発明の１例であるバンドパス
フィルタの膜構成を表す。図にみるように、このバンド
パスフィルタは、基材１上に、多層膜群Ａ、中間層群
Ｂ、および多層膜群Ｃがこの順に積層されるように形成
された構造を有する（多層膜群ＡおよびＣの一部図示省
略）。以下に、この発明を、各層の光学膜厚の比率に関
する１例を挙げて、図３を参照しながら詳しく説明す
る。なお、以下の説明中、バンドパスフィルタを構成す
る第１層、第２層、最終層等の各層の順番は、いずれも
基材側から数えたものである。
フィルタの膜構成を表す。図にみるように、このバンド
パスフィルタは、基材１上に、多層膜群Ａ、中間層群
Ｂ、および多層膜群Ｃがこの順に積層されるように形成
された構造を有する（多層膜群ＡおよびＣの一部図示省
略）。以下に、この発明を、各層の光学膜厚の比率に関
する１例を挙げて、図３を参照しながら詳しく説明す
る。なお、以下の説明中、バンドパスフィルタを構成す
る第１層、第２層、最終層等の各層の順番は、いずれも
基材側から数えたものである。
【００１１】多層膜群Ａは、長波長側の膜群であり、光
学膜厚（主反射波長。以下同様。）の大きい膜群であ
る。第１層は高屈折率膜Ｈ1 、第２層は低屈折率膜Ｌ1
であり、第３層以降は、互いに等しい光学膜厚ａを有す
る高屈折率膜Ｈ2 と低屈折率膜Ｌ2 が交互に多層形成さ
れたものである。第１層および第２層は、基材側調整層
であり、その光学膜厚はいずれもａの１．２倍、すなわ
ち１．２ａである。
学膜厚（主反射波長。以下同様。）の大きい膜群であ
る。第１層は高屈折率膜Ｈ1 、第２層は低屈折率膜Ｌ1
であり、第３層以降は、互いに等しい光学膜厚ａを有す
る高屈折率膜Ｈ2 と低屈折率膜Ｌ2 が交互に多層形成さ
れたものである。第１層および第２層は、基材側調整層
であり、その光学膜厚はいずれもａの１．２倍、すなわ
ち１．２ａである。
【００１２】多層膜群Ｃは、短波長側の膜群であり、光
学膜厚の小さい膜群である。第１層から最終層の１つ手
前の層までは、互いに等しい光学膜厚ｃ（ただし、ａよ
り小。）を有する高屈折率膜Ｈ4 と低屈折率膜Ｌ4 が交
互に多層形成されたものである。最終層は、大気側調整
層であり、ｃの０．５倍、すなわち０．５ｃの光学膜厚
を有する高屈折率膜Ｈ5 である。
学膜厚の小さい膜群である。第１層から最終層の１つ手
前の層までは、互いに等しい光学膜厚ｃ（ただし、ａよ
り小。）を有する高屈折率膜Ｈ4 と低屈折率膜Ｌ4 が交
互に多層形成されたものである。最終層は、大気側調整
層であり、ｃの０．５倍、すなわち０．５ｃの光学膜厚
を有する高屈折率膜Ｈ5 である。
【００１３】中間層群Ｂは、中間調整層である。第１層
は、高屈折率膜Ｈ3であり、その光学膜厚ｂ1 はｃの１
倍、すなわちｃである。第２層は、低屈折率膜Ｌ3 であ
り、その光学膜厚ｂ2 はｃの０．５倍、すなわち０．５
ｃである。ただし、このバンドパスフィルタの第１層お
よび最終層はいずれも高屈折率膜であり、全体の層数は
奇数である。
は、高屈折率膜Ｈ3であり、その光学膜厚ｂ1 はｃの１
倍、すなわちｃである。第２層は、低屈折率膜Ｌ3 であ
り、その光学膜厚ｂ2 はｃの０．５倍、すなわち０．５
ｃである。ただし、このバンドパスフィルタの第１層お
よび最終層はいずれも高屈折率膜であり、全体の層数は
奇数である。
【００１４】図４は、このバンドパスフィルタの分光透
過率特性を示すグラフである。図にみるように、リップ
ルが抑制されており、緑色光（５５０nm近傍の波長域）
の透過率が高く、両側の赤、青等の成分がシャープカッ
トされている。なお、この発明のバンドパスフィルタ
は、前記の１例のように多層膜群Ａの第１層と第２層の
光学膜厚が互いに等しいものに限定されるわけではな
く、両層の光学膜厚が互いに異なるものであってもよ
い。
過率特性を示すグラフである。図にみるように、リップ
ルが抑制されており、緑色光（５５０nm近傍の波長域）
の透過率が高く、両側の赤、青等の成分がシャープカッ
トされている。なお、この発明のバンドパスフィルタ
は、前記の１例のように多層膜群Ａの第１層と第２層の
光学膜厚が互いに等しいものに限定されるわけではな
く、両層の光学膜厚が互いに異なるものであってもよ
い。
【００１５】この発明で用いられる基材としては、たと
えば、ガラス等が挙げられるが、特に限定されない。こ
の発明で用いられる高屈折率膜を構成する材料として
は、たとえば、二酸化チタン等が挙げられるが、特に限
定されない。また、低屈折率膜を構成する材料として
は、たとえば、二酸化ケイ素等が挙げられるが、特に限
定されない。これら高屈折率膜および低屈折率膜を形成
する方法としては、たとえば、真空蒸着等、前述の膜形
成方法等が採用されるが、特に限定されない。膜厚の管
理には光電式膜厚計等が利用されるが、これに限定され
ない。
えば、ガラス等が挙げられるが、特に限定されない。こ
の発明で用いられる高屈折率膜を構成する材料として
は、たとえば、二酸化チタン等が挙げられるが、特に限
定されない。また、低屈折率膜を構成する材料として
は、たとえば、二酸化ケイ素等が挙げられるが、特に限
定されない。これら高屈折率膜および低屈折率膜を形成
する方法としては、たとえば、真空蒸着等、前述の膜形
成方法等が採用されるが、特に限定されない。膜厚の管
理には光電式膜厚計等が利用されるが、これに限定され
ない。
【００１６】
【作用】前記特定の３つの膜群Ａ、Ｂ、およびＣからな
る膜構成にすると、リップルを抑制し、透過部の分光透
過率特性を高く平坦にし、同時にシャープカット特性に
することが可能になるとともに、膜構成が簡単で作製が
容易になる。光学膜厚や構成が請求項に示す範囲から外
れる場合は、リップル抑制効果が弱くなったり、バンド
パス特性が崩れたりし、実用的な特性は得られない。
る膜構成にすると、リップルを抑制し、透過部の分光透
過率特性を高く平坦にし、同時にシャープカット特性に
することが可能になるとともに、膜構成が簡単で作製が
容易になる。光学膜厚や構成が請求項に示す範囲から外
れる場合は、リップル抑制効果が弱くなったり、バンド
パス特性が崩れたりし、実用的な特性は得られない。
【００１７】
【実施例】次に、この発明の具体的な実施例を比較例と
併せて詳しく説明するが、この発明は、下記実施例に限
定されない。なお、下記例中、第１層、第２層、最終層
等の各層の順番は、いずれも基材側から数えたものであ
る。 −実施例１− この実施例は、この発明のバンドパスフィルタが緑色フ
ィルタである場合の一実施例である。
併せて詳しく説明するが、この発明は、下記実施例に限
定されない。なお、下記例中、第１層、第２層、最終層
等の各層の順番は、いずれも基材側から数えたものであ
る。 −実施例１− この実施例は、この発明のバンドパスフィルタが緑色フ
ィルタである場合の一実施例である。
【００１８】舞台照明等に用いられる緑色フィルタを以
下のようにして作製した。ガラス基材上に、高屈折率膜
と低屈折率膜を、第１層が高屈折率膜、第２層が低屈折
率膜、および最終層が高屈折率膜になるように真空蒸着
法により交互に合計２３層形成した。ただし、高屈折率
膜としては二酸化チタン、低屈折率膜としては二酸化ケ
イ素を用い、膜構成は、基材側から順に下記の、多層膜
群Ａ1（長波長側反射層；主反射波長７２８nm）、中間
層群Ｂ1 、および多層膜群Ｃ1 （短波長側反射層；主反
射波長４４０nm）であった。
下のようにして作製した。ガラス基材上に、高屈折率膜
と低屈折率膜を、第１層が高屈折率膜、第２層が低屈折
率膜、および最終層が高屈折率膜になるように真空蒸着
法により交互に合計２３層形成した。ただし、高屈折率
膜としては二酸化チタン、低屈折率膜としては二酸化ケ
イ素を用い、膜構成は、基材側から順に下記の、多層膜
群Ａ1（長波長側反射層；主反射波長７２８nm）、中間
層群Ｂ1 、および多層膜群Ｃ1 （短波長側反射層；主反
射波長４４０nm）であった。
【００１９】（Ａ1 ）合計１２層からなり、第１層（高
屈折率膜）および第２層（低屈折率膜）の光学膜厚が両
方共２１８nm（＝１．２ａ）であり、第３層（高屈折率
膜）から第１２層（低屈折率膜）までの光学膜厚がいず
れも１８２nm（＝ａ）である。 （Ｂ1 ）合計２層からなり、第１層（高屈折率膜）の光
学膜厚が１１０nm（＝ｃ）であり、第２層（低屈折率
膜）の光学膜厚が５５nm（＝０．５ｃ）である。
屈折率膜）および第２層（低屈折率膜）の光学膜厚が両
方共２１８nm（＝１．２ａ）であり、第３層（高屈折率
膜）から第１２層（低屈折率膜）までの光学膜厚がいず
れも１８２nm（＝ａ）である。 （Ｂ1 ）合計２層からなり、第１層（高屈折率膜）の光
学膜厚が１１０nm（＝ｃ）であり、第２層（低屈折率
膜）の光学膜厚が５５nm（＝０．５ｃ）である。
【００２０】（Ｃ1 ）合計９層からなり、第１層（高屈
折率膜）から第８層（低屈折率膜）までの光学膜厚がい
ずれも１１０nm（＝ｃ）であり、第９層（高屈折率膜；
フィルタ全体の最終層）の光学膜厚が５５nm（＝０．５
ｃ）である。 このフィルタの分光透過率特性を図５に示した。図にみ
るように、このフィルタは、必要な緑色の透過率が高
く、両側の赤、青等の成分をほぼ除去できるので、照明
用として優れた効率と美しい光色を示すことが確認され
た。
折率膜）から第８層（低屈折率膜）までの光学膜厚がい
ずれも１１０nm（＝ｃ）であり、第９層（高屈折率膜；
フィルタ全体の最終層）の光学膜厚が５５nm（＝０．５
ｃ）である。 このフィルタの分光透過率特性を図５に示した。図にみ
るように、このフィルタは、必要な緑色の透過率が高
く、両側の赤、青等の成分をほぼ除去できるので、照明
用として優れた効率と美しい光色を示すことが確認され
た。
【００２１】−実施例２− この実施例は、この発明のバンドパスフィルタが液晶プ
ロジェクタ用緑選択透過鏡である場合の一実施例であ
る。液晶投射式のテレビ（プロジェクションテレビ）に
は、Ｒ．Ｇ．Ｂ．３原色を分解、合成するため、４５°
使用の選択反射鏡が用いられるが、このうち、Ｇ．
（緑）の分解のための緑選択透過鏡を以下のようにして
作製した。このフィルタは、４５°の傾斜使用になる。
ロジェクタ用緑選択透過鏡である場合の一実施例であ
る。液晶投射式のテレビ（プロジェクションテレビ）に
は、Ｒ．Ｇ．Ｂ．３原色を分解、合成するため、４５°
使用の選択反射鏡が用いられるが、このうち、Ｇ．
（緑）の分解のための緑選択透過鏡を以下のようにして
作製した。このフィルタは、４５°の傾斜使用になる。
【００２２】ガラス基材上に、高屈折率膜と低屈折率膜
を、第１層が高屈折率膜、第２層が低屈折率膜、および
最終層が高屈折率膜になるように真空蒸着法により交互
に合計２７層形成した。ただし、高屈折率膜としては二
酸化チタン、低屈折率膜としては二酸化ケイ素を用い、
膜構成は、基材側から順に下記の、多層膜群Ａ2 （長波
長側反射層；主反射波長７８４nm）、中間層群Ｂ2 、お
よび多層膜群Ｃ2 （短波長側反射層；主反射波長４８０
nm）であった。
を、第１層が高屈折率膜、第２層が低屈折率膜、および
最終層が高屈折率膜になるように真空蒸着法により交互
に合計２７層形成した。ただし、高屈折率膜としては二
酸化チタン、低屈折率膜としては二酸化ケイ素を用い、
膜構成は、基材側から順に下記の、多層膜群Ａ2 （長波
長側反射層；主反射波長７８４nm）、中間層群Ｂ2 、お
よび多層膜群Ｃ2 （短波長側反射層；主反射波長４８０
nm）であった。
【００２３】（Ａ2 ）合計１４層からなり、第１層（高
屈折率膜）および第２層（低屈折率膜）の光学膜厚が両
方共２３５nm（＝１．２ａ′）であり、第３層（高屈折
率膜）から第１４層（低屈折率膜）までの光学膜厚がい
ずれも１９６nm（＝ａ′）である。 （Ｂ2 ）合計２層からなり、第１層（高屈折率膜）の光
学膜厚が１２０nm（＝ｃ′）であり、第２層（低屈折率
膜）の光学膜厚が６０nm（＝０．５ｃ′）である。
屈折率膜）および第２層（低屈折率膜）の光学膜厚が両
方共２３５nm（＝１．２ａ′）であり、第３層（高屈折
率膜）から第１４層（低屈折率膜）までの光学膜厚がい
ずれも１９６nm（＝ａ′）である。 （Ｂ2 ）合計２層からなり、第１層（高屈折率膜）の光
学膜厚が１２０nm（＝ｃ′）であり、第２層（低屈折率
膜）の光学膜厚が６０nm（＝０．５ｃ′）である。
【００２４】（Ｃ2 ）合計１１層からなり、第１層（高
屈折率膜）から第１０層（低屈折率膜）までの光学膜厚
がいずれも１２０nm（＝ｃ′）であり、第１１層（高屈
折率膜；フィルタ全体の最終層）の光学膜厚が６０nm
（＝０．５ｃ′）である。 このフィルタの４５°使用時の分光透過率特性を図６に
示した。図にみるように、このフィルタは、必要な緑色
の透過率が高く、両側の赤、青等の成分をほぼ除去でき
るので、色分解用として優れた効率と美しい光色を示す
ことが確認された。
屈折率膜）から第１０層（低屈折率膜）までの光学膜厚
がいずれも１２０nm（＝ｃ′）であり、第１１層（高屈
折率膜；フィルタ全体の最終層）の光学膜厚が６０nm
（＝０．５ｃ′）である。 このフィルタの４５°使用時の分光透過率特性を図６に
示した。図にみるように、このフィルタは、必要な緑色
の透過率が高く、両側の赤、青等の成分をほぼ除去でき
るので、色分解用として優れた効率と美しい光色を示す
ことが確認された。
【００２５】−実施例３〜１０および比較例１〜３− 実施例１において、各層の光学膜厚を下記表１に示した
通りとした以外は実施例１と同様にして、バンドパスフ
ィルタを作製した。ただし、実施例５では、中間層群Ｂ
の第１層が低屈折率膜、第２層が高屈折率膜になるよう
にした（全体の層数は同じ）。得られた各例のフィルタ
の分光透過率特性を示すグラフは、図７〜１７にみる通
りであった。
通りとした以外は実施例１と同様にして、バンドパスフ
ィルタを作製した。ただし、実施例５では、中間層群Ｂ
の第１層が低屈折率膜、第２層が高屈折率膜になるよう
にした（全体の層数は同じ）。得られた各例のフィルタ
の分光透過率特性を示すグラフは、図７〜１７にみる通
りであった。
【００２６】
【表１】
【００２７】表１および図７〜１７にみるように、前記
特定の範囲内の光学膜厚を有する実施例３〜１０にかか
るフィルタは、いずれもリップルが抑制されており、５
５０nm近傍の透過部の透過率が高く、その両側の波長域
の成分がシャープカットされているのに対し、前記特定
の範囲を外れた光学膜厚を有する比較例１〜３にかかる
フィルタは、リップル抑制効果が弱く、５５０nm近傍の
透過部の透過率も低いことが確認された。
特定の範囲内の光学膜厚を有する実施例３〜１０にかか
るフィルタは、いずれもリップルが抑制されており、５
５０nm近傍の透過部の透過率が高く、その両側の波長域
の成分がシャープカットされているのに対し、前記特定
の範囲を外れた光学膜厚を有する比較例１〜３にかかる
フィルタは、リップル抑制効果が弱く、５５０nm近傍の
透過部の透過率も低いことが確認された。
【００２８】
【発明の効果】この発明のバンドパスフィルタによれ
ば、リップルを抑制し、透過部の分光透過率特性を高く
平坦にし、同時にシャープカット特性にすることができ
るため、特定波長域の光だけを選択的に透過することが
できる。このバンドパスフィルタは、また、膜構成が簡
単で作製が容易であり、再現性の良い安定した生産が可
能であり、歩留りが向上し、コストが抑えられる。
ば、リップルを抑制し、透過部の分光透過率特性を高く
平坦にし、同時にシャープカット特性にすることができ
るため、特定波長域の光だけを選択的に透過することが
できる。このバンドパスフィルタは、また、膜構成が簡
単で作製が容易であり、再現性の良い安定した生産が可
能であり、歩留りが向上し、コストが抑えられる。
【図１】従来の、反射波長の異なるショートパスフィル
タとロングパスフィルタの２個のフィルタの各分光透過
率特性を同一グラフ上に示す図である。
タとロングパスフィルタの２個のフィルタの各分光透過
率特性を同一グラフ上に示す図である。
【図２】前記２個のフィルタを積層し、両者の透過部分
が重なることを利用してバンドパス特性を得るように作
製された従来の選択反射鏡の分光透過率特性を示すグラ
フである。
が重なることを利用してバンドパス特性を得るように作
製された従来の選択反射鏡の分光透過率特性を示すグラ
フである。
【図３】この発明の１例であるバンドパスフィルタの膜
構成を説明する図である。
構成を説明する図である。
【図４】前記１例のバンドパスフィルタの分光透過率特
性を示すグラフである。
性を示すグラフである。
【図５】実施例１のバンドパスフィルタ（照明用緑フィ
ルタ）の分光透過率特性を示すグラフである。
ルタ）の分光透過率特性を示すグラフである。
【図６】実施例２のバンドパスフィルタ（液晶プロジェ
クタ用緑選択透過鏡）の分光透過率特性を示すグラフで
ある。
クタ用緑選択透過鏡）の分光透過率特性を示すグラフで
ある。
【図７】実施例３のバンドパスフィルタの分光透過率特
性を示すグラフである。
性を示すグラフである。
【図８】比較例１のバンドパスフィルタの分光透過率特
性を示すグラフである。
性を示すグラフである。
【図９】実施例４のバンドパスフィルタの分光透過率特
性を示すグラフである。
性を示すグラフである。
【図１０】比較例２のバンドパスフィルタの分光透過率
特性を示すグラフである。
特性を示すグラフである。
【図１１】比較例３のバンドパスフィルタの分光透過率
特性を示すグラフである。
特性を示すグラフである。
【図１２】実施例５のバンドパスフィルタの分光透過率
特性を示すグラフである。
特性を示すグラフである。
【図１３】実施例６のバンドパスフィルタの分光透過率
特性を示すグラフである。
特性を示すグラフである。
【図１４】実施例７のバンドパスフィルタの分光透過率
特性を示すグラフである。
特性を示すグラフである。
【図１５】実施例８のバンドパスフィルタの分光透過率
特性を示すグラフである。
特性を示すグラフである。
【図１６】実施例９のバンドパスフィルタの分光透過率
特性を示すグラフである。
特性を示すグラフである。
【図１７】実施例１０のバンドパスフィルタの分光透過
率特性を示すグラフである。
率特性を示すグラフである。
１ 基材 Ａ 多層膜群 Ｂ 中間層群 Ｃ 多層膜群 Ｈ1 高屈折率膜 Ｈ2 高屈折率膜 Ｈ3 高屈折率膜 Ｈ4 高屈折率膜 Ｈ5 高屈折率膜 Ｌ1 低屈折率膜 Ｌ2 低屈折率膜 Ｌ3 低屈折率膜 Ｌ4 低屈折率膜
Claims (1)
- 【請求項１】 高屈折率膜と低屈折率膜が基材上に交互
に多層形成されてなる光学多層干渉薄膜を有するバンド
パスフィルタにおいて、基材側からみて順に、高屈折率
膜と低屈折率膜が交互に多層形成されている多層膜群
Ａ、高屈折率膜と低屈折率膜が１層ずつ重ね合わせて形
成されている中間層群Ｂ、および、高屈折率膜と低屈折
率膜が交互に多層形成されている多層膜群Ｃを有し、基
材側から数えて第１層および最終層がいずれも高屈折率
膜であり、全体の層数が奇数であるとともに、前記膜群
Ａ、Ｂ、およびＣの各光学膜厚が下記（１）〜（４）の
条件を満たすように設定されていることを特徴とするバ
ンドパスフィルタ。 （１）多層膜群Ａの、基材側から数えて第３層以降の光
学膜厚がいずれもａであり、第１層および第２層の光学
膜厚がいずれもａの１〜１．３５倍の範囲である。 （２）多層膜群Ｃの、基材側から数えて第１層から最終
層の１つ手前の層までの光学膜厚がいずれもｃであり、
最終層の光学膜厚がｃの０．５±０．２５倍の範囲であ
る。 （３）光学膜厚ａが光学膜厚ｃよりも大きい。 （４）中間層群Ｂの、基材側から数えて第１層の光学膜
厚ｂ1 が光学膜厚ｃの１±０．１倍の範囲であり、第２
層の光学膜厚ｂ2 が光学膜厚ｃの０．５±０．２５倍の
範囲である。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3062201A JP3002002B2 (ja) | 1991-03-26 | 1991-03-26 | バンドパスフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3062201A JP3002002B2 (ja) | 1991-03-26 | 1991-03-26 | バンドパスフィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04296703A JPH04296703A (ja) | 1992-10-21 |
| JP3002002B2 true JP3002002B2 (ja) | 2000-01-24 |
Family
ID=13193299
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3062201A Expired - Fee Related JP3002002B2 (ja) | 1991-03-26 | 1991-03-26 | バンドパスフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3002002B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4001619B2 (ja) * | 1992-10-29 | 2007-10-31 | スリーエム カンパニー | 成形可能な反射多層物体 |
-
1991
- 1991-03-26 JP JP3062201A patent/JP3002002B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04296703A (ja) | 1992-10-21 |
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