JP3001997B2 - 被測定物の支持装置 - Google Patents
被測定物の支持装置Info
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、被測定物の形状や表面
あらさ等を測定する際に使用する、被測定物を安定して
支持するための被測定物の支持装置に関する。
あらさ等を測定する際に使用する、被測定物を安定して
支持するための被測定物の支持装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、任意形状の被測定物の形状や表面
あらさ等を測定する際、下記(イ)または(ロ)の如き
支持具を用いている。
あらさ等を測定する際、下記(イ)または(ロ)の如き
支持具を用いている。
【0003】(イ)図7に示すように、定盤54の上面
に、先端部に曲率半径の小さい曲面部を有する剛体から
なる支持体53を3個所に配置し、該支持体53の先端
部で被測定物51を3点支持するもの。
に、先端部に曲率半径の小さい曲面部を有する剛体から
なる支持体53を3個所に配置し、該支持体53の先端
部で被測定物51を3点支持するもの。
【0004】(ロ)図8に示すように、定盤64の上面
に、1個または複数個の粘土、アスファルトピッチ等か
らなる高粘性支持体63を配置し、該高粘性支持体63
によって被測定物61を支持するもの。
に、1個または複数個の粘土、アスファルトピッチ等か
らなる高粘性支持体63を配置し、該高粘性支持体63
によって被測定物61を支持するもの。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の技
術をナノメートルオーダの精度の測定に用いた場合、上
記従来の技術のうち(イ)のものは、支持具が剛体製で
あるため、被測定物を前記支持具に支持させたときの位
置(以下、「基準点」という。)は時間の経過によって
移動しないが、被測定物を曲率半径の小さい先端部で支
持するため、大型,大重量の被測定物を支持したとき、
被測定物の自重によるたわみが発生したり、被測定物の
前記支持体の先端部と当接している部位が歪んでしま
い、測定値の精度が低下すると共に、被測定物を傷付け
るおそれがあるという問題点があった。
術をナノメートルオーダの精度の測定に用いた場合、上
記従来の技術のうち(イ)のものは、支持具が剛体製で
あるため、被測定物を前記支持具に支持させたときの位
置(以下、「基準点」という。)は時間の経過によって
移動しないが、被測定物を曲率半径の小さい先端部で支
持するため、大型,大重量の被測定物を支持したとき、
被測定物の自重によるたわみが発生したり、被測定物の
前記支持体の先端部と当接している部位が歪んでしま
い、測定値の精度が低下すると共に、被測定物を傷付け
るおそれがあるという問題点があった。
【0006】また、(ロ)のものは、上記(イ)のもの
のような自重によるたわみや歪の発生は防止できるも
の、高粘性支持体自体が時間の経過とともに変形してし
まい、該変形にともなって被測定物の前記基準点が微小
ではあるが移動して測定精度が時間の経過とともに低下
し、加えて、被測定物の支持面に高粘性支持体の構成材
料が付着してしまい、後工程で洗浄や拭き取りを行わな
ければならないという問題点があった。
のような自重によるたわみや歪の発生は防止できるも
の、高粘性支持体自体が時間の経過とともに変形してし
まい、該変形にともなって被測定物の前記基準点が微小
ではあるが移動して測定精度が時間の経過とともに低下
し、加えて、被測定物の支持面に高粘性支持体の構成材
料が付着してしまい、後工程で洗浄や拭き取りを行わな
ければならないという問題点があった。
【0007】本発明は、上記従来の技術の有する問題点
に鑑みてなされたものであり、被測定物の自重によるた
わみや歪の発生がなく、さらに、時間の経過にともなっ
て、被測定物が支持された位置(基準点)が移動するお
それのない被測定物の支持装置を提供することを目的と
するものである。
に鑑みてなされたものであり、被測定物の自重によるた
わみや歪の発生がなく、さらに、時間の経過にともなっ
て、被測定物が支持された位置(基準点)が移動するお
それのない被測定物の支持装置を提供することを目的と
するものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の被測定物の支持装置は、凹球面が設けられ
た支持具本体と、被測定物を3点で支持するために前記
凹球面内に配設された3個の同じ大きさの球面体とを有
する3つの支持具によって前記被測定物を支持するよう
に構成されている。 また、前記球面体は、前記球面体の
半径をr 0 とし、前記凹球面の半径をR 0 としたときに、
r 0 =(2√3−3)R 0 なる条件を満たす大きさに形成
されている構成としてもよい。 さらに、前記3つの支持
具の各々は、3角形の各角部位に相当する位置にそれぞ
れ配置されている構成とすることが好ましい。
め、本発明の被測定物の支持装置は、凹球面が設けられ
た支持具本体と、被測定物を3点で支持するために前記
凹球面内に配設された3個の同じ大きさの球面体とを有
する3つの支持具によって前記被測定物を支持するよう
に構成されている。 また、前記球面体は、前記球面体の
半径をr 0 とし、前記凹球面の半径をR 0 としたときに、
r 0 =(2√3−3)R 0 なる条件を満たす大きさに形成
されている構成としてもよい。 さらに、前記3つの支持
具の各々は、3角形の各角部位に相当する位置にそれぞ
れ配置されている構成とすることが好ましい。
【0009】前記凹球面の代りに、凹放物面を設けるこ
ともでき、また、支持具本体を、台に形成された凹球面
からなるすり合わせ面で支持したものでもよい。
ともでき、また、支持具本体を、台に形成された凹球面
からなるすり合わせ面で支持したものでもよい。
【0010】
【作用】本発明の支持装置上に被測定物を載置すると、
被測定物は各支持具の3個の球面体のそれぞれの一点で
当接する。このとき3個の球面体は互いに接触したま
ま、凹球面の面上を移動し、各球面体に働く力がつり合
った位置で静止し、各支持具において被測定物は3点で
分散して支持されることになる。本発明の支持装置は3
つの支持具によって前記被測定物を支持するように構成
されているので、被測定物を定盤上で支持したとき、被
測定物は9点で分散して支持されることになる。
被測定物は各支持具の3個の球面体のそれぞれの一点で
当接する。このとき3個の球面体は互いに接触したま
ま、凹球面の面上を移動し、各球面体に働く力がつり合
った位置で静止し、各支持具において被測定物は3点で
分散して支持されることになる。本発明の支持装置は3
つの支持具によって前記被測定物を支持するように構成
されているので、被測定物を定盤上で支持したとき、被
測定物は9点で分散して支持されることになる。
【0011】また、前記3つの支持具の各々が、平面視
3角形の各角部位に相当する位置にそれぞれ配置されて
いる構成とすることにより、被測定物の自重によるたわ
みが大幅に減少すると共に、被測定物を傷付けることも
なくなる。
3角形の各角部位に相当する位置にそれぞれ配置されて
いる構成とすることにより、被測定物の自重によるたわ
みが大幅に減少すると共に、被測定物を傷付けることも
なくなる。
【0012】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【0013】図1は第1実施例を示す模式側面図であっ
て、本実施例の支持具6は、支持具本体3の上面に凹球
面5が設けられており、該凹球面5内には、被測定物1
を3点で支持するための3個の同じ大きさの球面体2が
配設されている。支持具本体3の裏面は平面に形成さ
れ、支持具6を定盤4上に載置した際、前記裏面が定盤
4の上面と接触する。前記球面体2は、真ちゅう,鋼,
ガラス、セラミック等の剛体から構成することができる
が、低熱膨張係数の熱的に安定した材料で製作すること
が望ましい。
て、本実施例の支持具6は、支持具本体3の上面に凹球
面5が設けられており、該凹球面5内には、被測定物1
を3点で支持するための3個の同じ大きさの球面体2が
配設されている。支持具本体3の裏面は平面に形成さ
れ、支持具6を定盤4上に載置した際、前記裏面が定盤
4の上面と接触する。前記球面体2は、真ちゅう,鋼,
ガラス、セラミック等の剛体から構成することができる
が、低熱膨張係数の熱的に安定した材料で製作すること
が望ましい。
【0014】次に、球面体2の大きさと被測定物1また
は凹球面5の大きさとの関係について説明する。
は凹球面5の大きさとの関係について説明する。
【0015】先ず、球面体2の大きさと被測定物1の大
きさとの関係について述べる。
きさとの関係について述べる。
【0016】球面体2の大きさは、被測定物1をできる
だけ広い支持領域で受けるようにするために、3個の球
面体2が凹球面5内で静止状態が安定する範囲内でなる
べく大きいことが望ましい。
だけ広い支持領域で受けるようにするために、3個の球
面体2が凹球面5内で静止状態が安定する範囲内でなる
べく大きいことが望ましい。
【0017】例えば,被測定物1の外周形状が円形の場
合、各球面体2の直径は被測定物1の直径の約1/5〜
1/10程度とし、凹球面5の開口面より各球面体2が
上方へ3〜10mm程度突出したものであればよい。
合、各球面体2の直径は被測定物1の直径の約1/5〜
1/10程度とし、凹球面5の開口面より各球面体2が
上方へ3〜10mm程度突出したものであればよい。
【0018】球面体2の大きさと凹球面5の深さとの関
係については、3個の球面体2がすべて凹球面5の面に
接触する必要があるため、3個の球面体2がそれぞれ凹
球面5の面と接触する点(以下、「接触点」という。)
を通る平面は、凹球面5の開口面より図示下方に存在し
なければならない。
係については、3個の球面体2がすべて凹球面5の面に
接触する必要があるため、3個の球面体2がそれぞれ凹
球面5の面と接触する点(以下、「接触点」という。)
を通る平面は、凹球面5の開口面より図示下方に存在し
なければならない。
【0019】ここで、凹球面5に対し使用可能な最大の
大きさの球面体2について検討してみると、各球面体2
が凹球面5の大円上で内接する場合の球面体2の大きさ
が、使用可能な最大のものということができる。
大きさの球面体2について検討してみると、各球面体2
が凹球面5の大円上で内接する場合の球面体2の大きさ
が、使用可能な最大のものということができる。
【0020】図4はこの状態を示す模式平面図であっ
て、Oは凹球面5の大円の中心,Pは第1球面体2−1
の中心,Qは第1球面体2−1と第2球面体2−2との
接触点,Rは第2球面体2−2の中心,Sは第3球面体
2−3の中心,Tは第1球面体2−1と凹球面5の大円
との接触点である。
て、Oは凹球面5の大円の中心,Pは第1球面体2−1
の中心,Qは第1球面体2−1と第2球面体2−2との
接触点,Rは第2球面体2−2の中心,Sは第3球面体
2−3の中心,Tは第1球面体2−1と凹球面5の大円
との接触点である。
【0021】この場合、O,P,Qは凹球面5の大円と
同一面上にあり、△OPQは∠OQP=直角の直角三角
形であり、△PRSは正三角となる。したがって、次式
が成立する。
同一面上にあり、△OPQは∠OQP=直角の直角三角
形であり、△PRSは正三角となる。したがって、次式
が成立する。
【0022】
【数1】 上記式から明らかなように、球面体2の使用可能な最大
半径は凹球面5の大円の(2×31/2 −3)倍である。
半径は凹球面5の大円の(2×31/2 −3)倍である。
【0023】次に、第1実施例の支持具6を用いて被測
定物1を支持した例について説明する。
定物1を支持した例について説明する。
【0024】図5および図6は、本実施例の支持具6を
3個使用し、定盤4上に被測定物1をその裏面部で支持
したもので、図5はその模式平面図、図6はその模式側
面図である。
3個使用し、定盤4上に被測定物1をその裏面部で支持
したもので、図5はその模式平面図、図6はその模式側
面図である。
【0025】定盤4上に平面視3角形の各角部位に配置
された1組の支持具6が載置されている。被測定物1を
載置する前には、各支持具6のそれぞれの3個の球面体
2は重力により、互いに一点で接触し、かつ、凹球面5
ともそれぞれ一点で接触しており、各接触点で生じる反
力と重力とがバランスする位置で静止している。このと
き、3個の球面体2は、静止しているが、固定されてい
るものではないので、球面体2に外力が働くと、3個の
球面体2は互いの位置関係を変えずに、それぞれ接触を
保ったまま、前記外力とつり合う位置まで凹球面5の面
上を移動することができる。
された1組の支持具6が載置されている。被測定物1を
載置する前には、各支持具6のそれぞれの3個の球面体
2は重力により、互いに一点で接触し、かつ、凹球面5
ともそれぞれ一点で接触しており、各接触点で生じる反
力と重力とがバランスする位置で静止している。このと
き、3個の球面体2は、静止しているが、固定されてい
るものではないので、球面体2に外力が働くと、3個の
球面体2は互いの位置関係を変えずに、それぞれ接触を
保ったまま、前記外力とつり合う位置まで凹球面5の面
上を移動することができる。
【0026】被測定物1が載置されると、各支持具6
は、3個の球面体2のそれぞれの一点で被測定物1を支
持すると共に、上述したように、3個の球面体2は互い
に接触したまま、凹球面5の面上を移動し、3個の球面
体2に働く力がつり合った位置で静止する。この状態
が、1組の支持具6により支持された被測定物1の基準
点となるが、被測定物1は各支持具6の3個の球面体2
の3点で分散して支持され、全体として9点で分散して
支持されることになる。
は、3個の球面体2のそれぞれの一点で被測定物1を支
持すると共に、上述したように、3個の球面体2は互い
に接触したまま、凹球面5の面上を移動し、3個の球面
体2に働く力がつり合った位置で静止する。この状態
が、1組の支持具6により支持された被測定物1の基準
点となるが、被測定物1は各支持具6の3個の球面体2
の3点で分散して支持され、全体として9点で分散して
支持されることになる。
【0027】本実施例では、各支持具6のそれぞれの3
個の球面体2が、支持荷重をバランスさせるので、合計
9点で分散して被測定物1をほぼ均等に支持することが
できる。このため、従来の3点支持の支持具に比較し
て、被測定物1の自重によるたわみが大幅に減少すると
共に、被測定物1を傷付けることもなくなる。
個の球面体2が、支持荷重をバランスさせるので、合計
9点で分散して被測定物1をほぼ均等に支持することが
できる。このため、従来の3点支持の支持具に比較し
て、被測定物1の自重によるたわみが大幅に減少すると
共に、被測定物1を傷付けることもなくなる。
【0028】また、支持具本体3および球面体2を剛体
で製作できるので、従来の粘性体支持具の如く、前記基
準点が時間の経過とともに移動することがなくなり、計
測に長時間を必要とする場合であっても、正確な計測を
行うことができる。
で製作できるので、従来の粘性体支持具の如く、前記基
準点が時間の経過とともに移動することがなくなり、計
測に長時間を必要とする場合であっても、正確な計測を
行うことができる。
【0029】次に、本発明の第2実施例について、図2
を参照して説明する。
を参照して説明する。
【0030】第2実施例の支持具16は、支持具本体1
3に凹球面15が設けられ、該凹球面15内に同じ大き
さの3個の球面体12が配設されている点は上記第1実
施例と同様であるが、支持具本体13の反凹球面側の面
すなわち裏面13bに3個以上の突出部13aが一体的
に設けられている点で相違している。
3に凹球面15が設けられ、該凹球面15内に同じ大き
さの3個の球面体12が配設されている点は上記第1実
施例と同様であるが、支持具本体13の反凹球面側の面
すなわち裏面13bに3個以上の突出部13aが一体的
に設けられている点で相違している。
【0031】本実施例の作用・効果は第1実施例とほと
んど同様であるが、前記裏面13bに突出部13aが一
体的に設けられているので、裏面13bの平面の仕上げ
は精密に仕上げる必要がなくなると共に、定盤4の上面
に多少の凹凸が存在しても安定して載置することができ
る。
んど同様であるが、前記裏面13bに突出部13aが一
体的に設けられているので、裏面13bの平面の仕上げ
は精密に仕上げる必要がなくなると共に、定盤4の上面
に多少の凹凸が存在しても安定して載置することができ
る。
【0032】さらに、本発明の第3実施例について、図
3を参照して説明する。
3を参照して説明する。
【0033】第3実施例の支持具26は、上記各実施例
の支持具本体3,13をそれぞれ二分割したものに相当
し、支持具本体23が凹球面25を有し、該凹球面25
内には同じ大きさの3個の球面体22が配設されている
点では、上記第1および第2実施例と同様であり、次に
説明する点が相違している。
の支持具本体3,13をそれぞれ二分割したものに相当
し、支持具本体23が凹球面25を有し、該凹球面25
内には同じ大きさの3個の球面体22が配設されている
点では、上記第1および第2実施例と同様であり、次に
説明する点が相違している。
【0034】支持具本体23の反凹球面側には凸球面が
形成されており、該凸球面が台23bの図示上面に形成
された凹球面からなるすり合わせ面23aで支持された
ものである。
形成されており、該凸球面が台23bの図示上面に形成
された凹球面からなるすり合わせ面23aで支持された
ものである。
【0035】本実施例は、例えば、図3に示すように被
測定物21の支持面がわん曲しているものや、支持面が
傾斜している被測定物を支持するとき、前記支持具本体
23を前記すり合わせ面23a上で移動させることで、
支持具本体を台23b上で傾斜させ、被測定物21が支
持具本体23に触れる(干渉する)ことを防ぐことがで
きる。本実施例の支持具26の場合、球面体22の最上
端が凹球面25の開口面より図示上方へ3mm程度突出
するものであれば十分である。
測定物21の支持面がわん曲しているものや、支持面が
傾斜している被測定物を支持するとき、前記支持具本体
23を前記すり合わせ面23a上で移動させることで、
支持具本体を台23b上で傾斜させ、被測定物21が支
持具本体23に触れる(干渉する)ことを防ぐことがで
きる。本実施例の支持具26の場合、球面体22の最上
端が凹球面25の開口面より図示上方へ3mm程度突出
するものであれば十分である。
【0036】上記各実施例において、支持具本体に凹球
面を設けたもののみを示したが、凹球面に代えて凹放物
面としてもよい。この凹放物面の場合も、球面体の大き
さと凹放物面の大きさの関係等については、上記各実施
例と同様に考えてよい。
面を設けたもののみを示したが、凹球面に代えて凹放物
面としてもよい。この凹放物面の場合も、球面体の大き
さと凹放物面の大きさの関係等については、上記各実施
例と同様に考えてよい。
【0037】さらに、支持具本体の外形形状は、円柱、
角柱、多角形柱等、必要に応じて任意の外形形状とする
ことができる。
角柱、多角形柱等、必要に応じて任意の外形形状とする
ことができる。
【0038】
【発明の効果】本発明は、上述のとおり構成されている
ので以下に記載するような効果を奏する。
ので以下に記載するような効果を奏する。
【0039】載置された被測定物は、各支持具の3個の
球面体により3点に分散されて支持されるので、3つの
支持具を用いて被測定物を支持すると合計9点で支持す
ることになり、被測定物の自重によるたわみ量が従来の
支持具に比較して大幅に減少すると共に、被測定物を傷
付けるおそれもなくなる。
球面体により3点に分散されて支持されるので、3つの
支持具を用いて被測定物を支持すると合計9点で支持す
ることになり、被測定物の自重によるたわみ量が従来の
支持具に比較して大幅に減少すると共に、被測定物を傷
付けるおそれもなくなる。
【0040】加えて、支持具本体および球面体を剛体で
製作することができるので、従来の粘性体支持具の如く
基準点が時間の経過とともに移動することがなくなり、
計測に長時間を必要とする場合であっても、高精度の計
測を行うことが可能となる。また、支持具本体を台のす
り合わせ面で支持したものは、上記効果のほか、被測定
物の支持面がわん曲または傾斜したものであっても、3
個の球面体で均等に支持することができると共に、支持
具本体と被測定物との干渉を防止できる。
製作することができるので、従来の粘性体支持具の如く
基準点が時間の経過とともに移動することがなくなり、
計測に長時間を必要とする場合であっても、高精度の計
測を行うことが可能となる。また、支持具本体を台のす
り合わせ面で支持したものは、上記効果のほか、被測定
物の支持面がわん曲または傾斜したものであっても、3
個の球面体で均等に支持することができると共に、支持
具本体と被測定物との干渉を防止できる。
【図1】第1実施例の支持具の模式側面図である。
【図2】第2実施例の支持具の模式側面図である。
【図3】第3実施例の支持具の模式側面図である。
【図4】本発明の支持具の各球面体が凹球面の大円で接
触する状態を示す説明図である。
触する状態を示す説明図である。
【図5】本発明の支持具を3組用いて定盤上に被測定物
を支持した状態を示す模式平面図である。
を支持した状態を示す模式平面図である。
【図6】図5の状態を側面からみた模式側面図である。
【図7】従来の3点支持具で被測定物を支持した状態を
示す模式側面図である。
示す模式側面図である。
【図8】従来の粘性体支持具で被測定物を支持した状態
を示す模式側面図である。
を示す模式側面図である。
1,21 被測定物 2,12,22 球面体 3,13,23 支持具本体 4 定盤 5,15,25 凹球面 6,16,26 支持具 13a 突出部 13b 裏面 23a すり合わせ面
Claims (5)
- 【請求項1】 凹球面が設けられた支持具本体と、被測
定物を3点で支持するために前記凹球面内に配設された
3個の同じ大きさの球面体とを有する3つの支持具によ
って前記被測定物を支持するように構成されている被測
定物の支持装置。 - 【請求項2】 前記球面体は、前記球面体の半径をr0
とし、前記凹球面の半径をR0としたときに、 r0=(2√3−3)R0 なる条件を満たす大きさに形成されている請求項1に記
載の被測定物の支持装置。 - 【請求項3】 前記3つの支持具の各々が、平面視3角
形の各角部位に相当する位置にそれぞれ配置されている
請求項1または2に記載の被測定物の支持装置。 - 【請求項4】 前記凹球面の代りに、凹放物面を設けた
請求項1から3のいずれか1項に記載の被測定物の測定
装置。 - 【請求項5】 前記支持具本体を、台に形成された凹球
面からなるすり合わせ面で支持した請求項1から4のい
ずれか1項に記載の被測定物の支持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3037735A JP3001997B2 (ja) | 1991-02-08 | 1991-02-08 | 被測定物の支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3037735A JP3001997B2 (ja) | 1991-02-08 | 1991-02-08 | 被測定物の支持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04256588A JPH04256588A (ja) | 1992-09-11 |
JP3001997B2 true JP3001997B2 (ja) | 2000-01-24 |
Family
ID=12505746
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3037735A Expired - Fee Related JP3001997B2 (ja) | 1991-02-08 | 1991-02-08 | 被測定物の支持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3001997B2 (ja) |
-
1991
- 1991-02-08 JP JP3037735A patent/JP3001997B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH04256588A (ja) | 1992-09-11 |
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