JP3000177B2 - Display device - Google Patents

Display device

Info

Publication number
JP3000177B2
JP3000177B2 JP7731991A JP7731991A JP3000177B2 JP 3000177 B2 JP3000177 B2 JP 3000177B2 JP 7731991 A JP7731991 A JP 7731991A JP 7731991 A JP7731991 A JP 7731991A JP 3000177 B2 JP3000177 B2 JP 3000177B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thin film
film transistor
signal line
channel
pixel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP7731991A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0643484A (en
Inventor
正明 ▲ひろ▼木
舜平 山崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Original Assignee
Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd filed Critical Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Priority to JP7731991A priority Critical patent/JP3000177B2/en
Publication of JPH0643484A publication Critical patent/JPH0643484A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3000177B2 publication Critical patent/JP3000177B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Thin Film Transistor (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、アクティブ型表示装
置、特にアクティブ型液晶表示装置に関するもので、そ
れぞれの画素に相補型にPチャネル型およびNチャネル
型の2つの薄膜型絶縁ゲイト電界効果トランジスタ(以
下TFTという) を設けてピクセルを構成した表示装置
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an active display device, and more particularly to an active liquid crystal display device. Two P-channel and N-channel thin-film insulated gate field effect transistors are complementary to each pixel. (Hereinafter referred to as a TFT).

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、表示装置として有効なものに、T
FTを用いたアクティブ型の液晶表示装置が知られてい
る。この場合、TFTにはアモルファスまたは多結晶構
造の半導体を用い、1つの画素にPまたはN型のいずれ
か一方の導電型のみのTFTを用いたものである。即
ち、一般にはNチャネル型TFT(NTFTという) を
画素に直列に連結している。その代表例を図6に示す。
2. Description of the Related Art Conventionally, an effective display device has been
2. Description of the Related Art An active liquid crystal display device using an FT is known. In this case, a semiconductor having an amorphous or polycrystalline structure is used for the TFT, and a TFT having only one of the P and N conductivity types is used for one pixel. That is, generally, an N-channel TFT (referred to as NTFT) is connected in series to the pixel. FIG. 6 shows a typical example.

【0003】一般にアクティブマトリクス型の液晶表示
装置は480×640、または1260×960と非常
に多くの画素を有している。図6ではこれらと同じ意味
を示すもので、説明を簡単にするために2×2のマトリ
クス配列で示している。複数のゲイト線G1,2 と複数
の信号線D1,2 とを直交して配置し、そのマトリクス
状の交差部に画素表示素子を設けている。この画素表示
素子は液晶部102とTFT部101で構成されてい
る。それぞれの画素に対して周辺回路106、107か
ら信号を加えて所定の画素を選択的にオンまたはオフし
て表示を行う。
In general, an active matrix type liquid crystal display device has a very large number of pixels of 480 × 640 or 1260 × 960. FIG. 6 shows the same meaning as above, and is shown in a 2 × 2 matrix arrangement for simplicity of explanation. Arranged orthogonally plurality of gate lines G 1, G 2 and a plurality of signal lines D 1, and D 2, is provided with a pixel display element at the intersection of the matrix. This pixel display element includes a liquid crystal unit 102 and a TFT unit 101. A signal is applied to each pixel from the peripheral circuits 106 and 107, and a predetermined pixel is selectively turned on or off to perform display.

【0004】しかし、実際にこれらの液晶表示装置を作
製して表示をさせた場合、TFTの出力、即ち液晶にと
っての入力(液晶電位という) の電圧VLC100は、し
ばしば“1”(High)となるべき時に“1”(High)になら
ず、また、逆に“0”(Low)となるべき時に“0”(Low)
にならない。これは、画素に信号を加えるスィッチン
グ素子、つまりTFTの特性に対称性がないために発生
する。すなわち、画素電極への充電の様子と放電の様子
に電気特性上のかたよりがあるためである。そして、液
晶102はその動作において本来絶縁性であり、また、
TFTがオフの時に液晶電位(VLC) は浮いた状態にな
る。この液晶102は等価的にキャパシタであるため、
そこに蓄積された電荷によりVLCが決められる。この電
荷は液晶がRLCで比較的小さい抵抗となったり、ゴミや
イオン性不純物の存在によりリ−クしたり、またTFT
のゲイト絶縁膜のピンホ−ルによりRGS105が生じた
場合にはそこから電荷がもれ、VLCは中途半端な状態に
なってしまう。このため1つのパネル中に20万〜50
0万個の画素を有する液晶表示装置においては、高い歩
留まりを成就することができないという問題があった。
However, when these liquid crystal display devices are actually manufactured and displayed, the output of the TFT, that is, the voltage VLC 100 of the input to the liquid crystal (referred to as liquid crystal potential) is often “1” (High). It does not become "1" (High) when it should be, and "0" (Low) when it should become "0" (Low)
do not become. This occurs because there is no symmetry in the characteristics of a switching element for applying a signal to a pixel, that is, a TFT. In other words, this is because the state of charge and the state of discharge to the pixel electrode have a difference in electrical characteristics. The liquid crystal 102 is inherently insulating in its operation, and
When the TFT is off, the liquid crystal potential (V LC ) is in a floating state. Since the liquid crystal 102 is equivalently a capacitor,
VLC is determined by the electric charge stored therein. This charge or a relatively small resistance the liquid crystal is in R LC, Li by the presence of dust or ionic impurities - or click and TFT
Pin hole of the gate insulating film - charge therefrom when R GS 105 has occurred leaked by Le, V LC becomes the limbo. For this reason, 200,000 to 50 per panel
A liquid crystal display device having 100,000 pixels has a problem that a high yield cannot be achieved.

【0005】液晶102は一般にはTN(ツイステッド
ネマティック) 液晶が用いられる。その液晶の配向のた
めにそれぞれの電極上にラビングした配向膜を設ける。
このラビング工程のため発生する静電気により弱い絶縁
破壊が起こり、隣の画素との間または隣の導線との間で
リ−クしたり、またゲイト絶縁膜が弱く、リ−クをした
りしてしまう。
As the liquid crystal 102, a TN (twisted nematic) liquid crystal is generally used. A rubbed alignment film is provided on each electrode to align the liquid crystal.
A weak dielectric breakdown occurs due to static electricity generated by the rubbing process, leading to leakage between adjacent pixels or adjacent conductors, or leakage due to weak gate insulating film. I will.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】アクティブ型の液晶表
示装置においては、液晶電位を1フレ−ムの間はたえず
初期値と同じ値として所定のレベルを保つことがきわめ
て重要である。しかし実際はアクティブ素子の動作不良
が多く、必ずしも液晶電位を1フレ−ムの間はたえず初
期値と同じ値として所定のレベルを保てないのが実情で
ある。
In an active type liquid crystal display device, it is extremely important to keep the liquid crystal potential at the same level as the initial value during one frame to keep a predetermined level. However, in practice, there are many malfunctions of the active element, and in fact, the liquid crystal potential cannot always be kept at the same value as the initial value and maintained at a predetermined level during one frame.

【0007】そこで図7に示すように、一つの画素に対
し、X方向に一対の第1及び第2の信号線が、Y方向に
第3の信号線がマトリクス配線されており、前記信号線
の交差部分に相補型構成の薄膜トランジスタと画素電極
が設けられた表示装置であって、画素に接続されたNチ
ャネル薄膜トランジスタ2のソース(ドレイン)部をX
方向の一対の信号線のうちの第1の信号線35に接続
し、画素に接続されたPチャネル薄膜トランジスタ1の
ソース(ドレイン)部をX方向の一対の信号線のうちの
第2の信号線38に接続し、前記Pチャネル型薄膜トラ
ンジスタとNチャネル型薄膜トランジスタのゲート部を
第三の信号線33に接続したことを特徴とする表示装置
が提案されている。
Therefore, as shown in FIG. 7, a pair of first and second signal lines are arranged in the X direction and a third signal line is arranged in the Y direction in a matrix for one pixel. In which a complementary type thin film transistor and a pixel electrode are provided at the intersection of the N-channel thin film transistor 2 connected to the pixel.
The source (drain) portion of the P-channel thin film transistor 1 connected to the pixel is connected to the first signal line 35 of the pair of signal lines in the X direction, and the second signal line of the pair of signal lines in the X direction is connected to the pixel. 38, and the gates of the P-channel thin film transistor and the N-channel thin film transistor are connected to a third signal line 33.

【0008】これによれば、上述のような問題を解決
し、より電流マ−ジンを大とする、即ち応答速度を大と
する。また各ピクセルにおける画素の電位、即ち液晶電
位VLCが“1”, “0”に充分安定して固定され、1フ
レ−ム中にそのレベルがドリフトしないようになってい
るのである。
According to this, the above-mentioned problem is solved, and the current margin is increased, that is, the response speed is increased. In addition, the potential of the pixel in each pixel, that is, the liquid crystal potential VLC is fixed to "1" and "0" with sufficient stability so that the level does not drift during one frame.

【0009】しかしながら、この回路構成には単位画素
あたり3本の信号線を必要とするために、液晶表示装置
の表示品質を決定する要因の一つである『開口率』の低
下を招いているために、問題となっていた。
However, since this circuit configuration requires three signal lines per unit pixel, the "aperture ratio" which is one of the factors determining the display quality of the liquid crystal display device is reduced. Because, it was a problem.

【0010】[0010]

【問題を解決するための手段】本発明は、マトリクス状
に複数の画素が設けられた液晶表示装置において、一方
の基板上に設けられた画素電極の各々に第一のPチャネ
ル型薄膜トランジスタと第一のNチャネル型薄膜トラン
ジスタとを相補型に構成した相補型薄膜トランジスタの
入出力端の一方を前記画素電極接続し、他方をそれぞれ
第二のPチャネル型薄膜トランジスタの入出力端と第二
のNチャネル型薄膜トランジスタの入出力端に接続し、
前記第二のPチャネル型薄膜トランジスタの他方の入出
力端を基板のX軸方向の第一の信号線に接続し、前記第
二のNチャネル型薄膜トランジスタの他方の入出力端を
X軸方向の第二の信号線に接続し、前記第一のPチャネ
ル型薄膜トランジスタおよび第一のNチャネル型薄膜ト
ランジスタのゲイト電極を共通に接続して、基板のY軸
方向の第三の信号線に接続し、前記第二のPチャネル型
薄膜トランジスタのゲイト電極を前記第二の信号線に接
続し、前記第二のNチャネル型薄膜トランジスタのゲイ
ト電極を前記第一の信号線に接続し、前記第二の信号線
を前記第二の信号線を挟んで隣合っている他の画素電極
に接続されている複数の薄膜トランジスタの第一の信号
線として設けたことを特徴とする表示装置である。
According to the present invention, in a liquid crystal display device having a plurality of pixels arranged in a matrix, a first P-channel thin film transistor and a second P-channel type thin film transistor are provided on each of pixel electrodes provided on one substrate. One of the input / output terminals of a complementary thin film transistor in which one N-channel thin film transistor is configured to be complementary is connected to the pixel electrode, and the other is connected to the input / output terminal of a second P-channel thin film transistor and a second N-channel thin film transistor, respectively. Connected to the input / output end of the thin film transistor,
The other input / output terminal of the second P-channel thin film transistor is connected to a first signal line in the X-axis direction of the substrate, and the other input / output terminal of the second N-channel thin film transistor is connected to the first input / output terminal in the X-axis direction. Connected to two signal lines, commonly connected to the gate electrodes of the first P-channel thin film transistor and the first N-channel thin film transistor, and connected to a third signal line in the Y-axis direction of the substrate; A gate electrode of a second P-channel thin film transistor is connected to the second signal line, a gate electrode of the second N-channel thin film transistor is connected to the first signal line, and the second signal line is connected to the second signal line. A display device provided as a first signal line of a plurality of thin film transistors connected to other pixel electrodes adjacent to each other with the second signal line interposed therebetween.

【0011】つまり、本発明における相補型薄膜トラン
ジスタ回路は、表示手段に接した画素電極電位を制御す
るNチャネル型薄膜トランジスタとPチャネル型薄膜ト
ランジスタとこれら相補型回路の動作を制御するPチャ
ネル型薄膜トランジスタとNチャネル型薄膜トランジス
タを一つの群として構成される。
That is, the complementary thin film transistor circuit of the present invention comprises an N-channel thin film transistor, a P-channel thin film transistor for controlling the potential of the pixel electrode in contact with the display means, a P-channel thin film transistor for controlling the operation of these complementary circuits, and an N-channel thin film transistor. The channel type thin film transistors are configured as one group.

【0012】このような構成にすることによって、隣接
する画素に接続する信号線は、X軸方向の信号線を挟ん
で隣合った画素に対応する薄膜トランジスタ群で、共通
化でき、単位画素当たり2本の信号線ですむことになっ
た。これによって、開口率を向上することができた。
With this configuration, the signal lines connected to the adjacent pixels can be shared by a group of thin film transistors corresponding to the pixels adjacent to each other across the signal line in the X-axis direction. It ended up with just a single signal line. As a result, the aperture ratio could be improved.

【0013】本発明を適用可能な表示装置の構成として
は、1つの画素に2つまたはそれ以上の薄膜トランジス
タ群を接続して1つのピクセルを構成せしめてもよい。
さらに1つのピクセルを2つまたはそれ以上に分割し、
それぞれに薄膜トランジスタ群を1つまたは複数個連結
してもよい。
As a configuration of the display device to which the present invention can be applied, one pixel may be configured by connecting two or more thin film transistor groups to one pixel.
Further dividing one pixel into two or more,
One or more thin film transistor groups may be connected to each.

【0014】またこのような構成により、画素に接続さ
れたC/TFTを実際に駆動する際にPTFTとNTF
Tがとなりあっており、かつその入力の信号が印加され
た場合、最大2倍のVDD(VSS)の電圧が信号線間に加
わることになり、この信号線間でリークが発生すること
がなく、となりあった信号線は同じ機能(NTFTへの
信号線同士あるいはPTFTへの信号線同士)を持つた
め最大VDD(VSS)程度の電圧しか信号線間に加わらな
い、従ってこの部分でのリークが少ないという特徴を持
つものであります。
With such a configuration, when the C / TFT connected to the pixel is actually driven, the PTFT and the NTF are used.
When T is close to each other and the input signal is applied, up to twice the voltage of V DD (V SS ) is applied between the signal lines, and leakage occurs between the signal lines. Since the signal lines that have become the same have the same function (signal lines to NTFT or signal lines to PTFT), only a maximum voltage of about V DD ( VSS ) is applied between the signal lines. It has the characteristic that there is little leak in.

【0015】本発明を適用可能な表示装置の構成の代表
例を図1、図5、図8に回路図として示す。まず、本発
明の説明のために図1の回路図に従って説明を行う、ま
た、図1の実際のパタ−ンレイアウト(配置図)の例を
図2に示す。説明を簡単にするため、ここでは2×2の
マトリクス構成を例としている。図1の2×2のマトリ
クスの例において第一のPTFT1と第一のNTFT2
とのゲイト3、4を互いに連結し、さらにY軸方向の第
3の信号線VG1に連結し、またC/TFTの共通出力端
6を液晶7に連結している。第一のPTFT1の入力端
8を第二のPTFT20の出力端9に、第二のPTFT
の入力端10をX軸方向の信号線VD1に連結し、さらに
第二のPTFTのゲート12をX軸方向の信号線VD2
連結している。
A typical example of the structure of a display device to which the present invention can be applied is shown as a circuit diagram in FIGS. First, the present invention will be described with reference to the circuit diagram of FIG. 1. FIG. 2 shows an example of the actual pattern layout (arrangement diagram) of FIG. For simplicity of description, a 2 × 2 matrix configuration is exemplified here. In the example of the 2 × 2 matrix shown in FIG. 1, the first PTFT 1 and the first NTFT 2
The gate 3,4 is connected to each other with, and further connected to a third signal line V G1 in the Y-axis direction and connects the common output terminal 6 of the C / TFT in the liquid crystal 7. The input terminal 8 of the first PTFT 1 is connected to the output terminal 9 of the second PTFT 20 and the second PTFT
Is connected to the signal line V D1 in the X-axis direction, and the gate 12 of the second PTFT is connected to the signal line V D2 in the X-axis direction.

【0016】さらに第一のNTFT2の出力端14を第
二のNTFT17の入力端15に、第二のNTFTの出
力端16をX軸方向の信号線VD2に連結している。さら
に、第二のNTFTのゲート18をX軸方向の信号線V
D1に連結して構成されている。
Furthermore the output terminal 14 of the first NTFT2 to the input end 15 of the second NTFT17, and connects the output terminal 16 of the second NTFT to the signal line V D2 in the X-axis direction. Further, the gate 18 of the second NTFT is connected to the signal line V in the X-axis direction.
It is connected to D1 .

【0017】この様な構成において、図2に示されてい
るように一対の第1の信号線VD1と第2の信号線VD2
に選択(オン)信号波形が印加されている期間に第3の
信号線VG1に対し表示(オン)信号波形を印加した時、
A点の液晶電位(VLC)19はPTFT20とNTFT
17の各ゲート電極12、18が、順バイアスされPT
FT20とNTFT17は導通状態となるため、PTF
T1、NTFT2の動作により制御される様になる。こ
のPTFT1、NTFT2の動作は各TFTのゲート電
極3、4の接続された信号線VG1により制御され信号線
G1の電圧(VG )と信号線VD1の電圧(VD1)、信号
線VD2の電圧(VD2)、液晶電位19(VCL)で動作を
示した場合、VG <VD2+VTH(NTFT2)の時、V
CL19≒VD111、またVG >VD1−VTH(PTFT
2)の時、VCL19≒VD213の値に制御される。
In such a configuration, as shown in FIG. 2, during a period in which a selection (ON) signal waveform is applied between the pair of first signal line V D1 and second signal line V D2. When a display (ON) signal waveform is applied to the third signal line VG1 ,
The liquid crystal potential (V LC ) 19 at point A is PTFT 20 and NTFT
The gate electrodes 12 and 18 are forward biased and PT
Since the FT 20 and the NTFT 17 are conductive, the PTF
It is controlled by the operation of T1 and NTFT2. This PTFT1, operation of NTFT2 are connected signal lines V G1 by the controlled voltage of the signal line V G1 (V G) and the voltage of the signal line V D1 of the gate electrodes 3, 4 of each TFT (V D1), the signal line voltage V D2 (V D2), when illustrating an operation in the liquid crystal potential 19 (V CL), when V G <V D2 + V TH (NTFT2), V
CL 19 ≒ V D11 , and V G > V D1 −V TH (PTFT
In the case of 2), it is controlled to the value of V CL 19 ≒ V D2 13.

【0018】逆に第三の信号線VG1に表示(オン信号を
印加されている場合)において、第一の信号線VD1、第
二の信号線VD2が非選択(オフ信号となる値)、VD1
D2、VD1<VD2の場合PTFT20およびNTFT1
7は逆バイアスされPTFT20とNTFT17は絶縁
状態となるためPTFT1およびNTFT2の動作を示
した前記条件が成立し、PTFT1またはNTFT2が
導通状態となっても液晶電位19(VCL)は他電位と絶
縁状態となる。よって液晶電位19(VCL)は第三の信
号線VG1に対し非選択状態となり現在の液晶電位を保持
しつずける。
Conversely, when the third signal line V G1 is displayed (when an ON signal is applied), the first signal line V D1 and the second signal line V D2 are not selected (the value that becomes the OFF signal). ), V D1
If V D2 , V D1 <V D2 , PTFT20 and NTFT1
7 is reverse-biased and PTFT 20 and NTFT 17 are insulated, so that the above-mentioned condition indicating the operation of PTFT 1 and NTFT 2 is satisfied. Even if PTFT 1 or NTFT 2 becomes conductive, liquid crystal potential 19 (V CL ) is insulated from other potentials State. Therefore, the liquid crystal potential 19 (V CL ) is in a non-selected state with respect to the third signal line V G1, and keeps the current liquid crystal potential.

【0019】かくのごとく、液晶電位(VCL)は第一の
信号線と隣接した別画素の第一の信号線に相当する第二
の信号線に印加する電圧に従ってあたえられるものであ
りこの信号線に加える信号の電圧を可変することにより
液晶に加える電位差を任意に可変することが出来る。
As described above, the liquid crystal potential (V CL ) is given according to the voltage applied to the second signal line corresponding to the first signal line of another pixel adjacent to the first signal line. By varying the voltage of the signal applied to the line, the potential difference applied to the liquid crystal can be arbitrarily varied.

【0020】また、対抗電極16はオフセット電圧(V
OFFSET)が印加されており、実際に液晶15に加わる電
圧はVD1+VOFFSET、あるいはVD2+VOFFSETとなる。
本発明の駆動方法では対抗電極に加えるオフセット電圧
OFFSETを可変して、液晶駆動のオンとオフを任意に変
更することができる。また、液晶を実際に駆動する際の
しきい値が液晶材料よって異なっているため、その液晶
の持つ値に合わせ為にこのオフセット電圧VOFFSETを可
変するだけで、任意のしきい値合わせることができる。
The counter electrode 16 is connected to an offset voltage (V
OFFSET ) is applied, and the voltage actually applied to the liquid crystal 15 is V D1 + V OFFSET or V D2 + V OFFSET .
In the driving method of the present invention, the on / off of the liquid crystal driving can be arbitrarily changed by changing the offset voltage V OFFSET applied to the counter electrode. Also, since the threshold for actually driving the liquid crystal differs depending on the liquid crystal material, an arbitrary threshold can be adjusted only by changing the offset voltage V OFFSET to match the value of the liquid crystal. it can.

【0021】[0021]

【実施例】本実施例では図1に示すような回路構成の液
晶表示装置を用いて説明を行う。この回路構成に対応す
る実際の電極等の配置構成を図2に示している。これら
は説明を簡単にする為2×2に相当する部分のみ記載さ
れている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In this embodiment, description will be made using a liquid crystal display device having a circuit configuration as shown in FIG. FIG. 2 shows an actual arrangement of electrodes and the like corresponding to this circuit configuration. For simplification of description, only portions corresponding to 2 × 2 are described.

【0022】まず、本実施例で使用する液晶表示装置の
作製方法を図3を使用して説明する。図3(A)におい
て、石英ガラス等の高価でない700℃以下、例えば約
600℃の熱処理に耐え得るガラス150上にマグネト
ロンRF(高周波) スパッタ法を用いてブロッキング層
151としての酸化珪素膜を1000〜3000Åの厚
さに作製する。プロセス条件は酸素100%雰囲気、成
膜温度15℃、出力400〜800W、圧力0.5Pa
とした。タ−ゲットに石英または単結晶シリコンを用い
た成膜速度は30〜100Å/分であった。
First, a method for manufacturing a liquid crystal display device used in this embodiment will be described with reference to FIGS. In FIG. 3A, a silicon oxide film as a blocking layer 151 is formed on a glass 150 which can withstand a heat treatment at 700 ° C. or less, which is not expensive, for example, about 600 ° C., using a magnetron RF (high frequency) sputtering method. It is made to a thickness of 3000 mm. The process conditions are an atmosphere of 100% oxygen, a film formation temperature of 15 ° C., an output of 400 to 800 W, and a pressure of 0.5 Pa.
And The film formation rate using quartz or single crystal silicon as a target was 30 to 100 ° / min.

【0023】この上にシリコン膜をLPCVD(減圧気
相法、スパッタ法またはプラズマCVD法により形成し
た。減圧気相法で形成する場合、結晶化温度よりも10
0〜200℃低い450〜550℃、例えば530℃で
ジシラン(Si2H6) またはトリシラン(Si3H8) をCVD装
置に供給して成膜した。反応炉内圧力は30〜300P
aとした。成膜速度は50〜250Å/ 分であった。N
TFTとPTFTとのスレッシュホ−ルド電圧(Vthに
概略同一に制御するため、ホウ素をジボランを用いて1
×1015〜1×1018cm-3の濃度として成膜中に添加しても
よい。
On top of this, a silicon film is formed by LPCVD (low pressure vapor phase method, sputtering method or plasma CVD method.
Disilane (Si 2 H 6 ) or trisilane (Si 3 H 8 ) was supplied to a CVD apparatus at 450 to 550 ° C., for example, 530 ° C., lower by 0 to 200 ° C. to form a film. Reactor pressure is 30 ~ 300P
a. The deposition rate was 50-250 ° / min. N
In order to control the threshold voltage of the TFT and the PTFT substantially equal to Vth, boron is changed to 1 by using diborane.
It may be added during film formation as a concentration of × 10 15 to 1 × 10 18 cm −3 .

【0024】スパッタ法で行う場合、スパッタ前の背圧
を1×10-5Pa以下とし、単結晶シリコンをタ−ゲット
として、アルゴンに水素を20〜80%混入した雰囲気
で行った。例えばアルゴン20%、水素80%とした。
成膜温度は150℃、周波数は13.56MHz、スパ
ッタ出力は400〜800W、圧力は0.5Paであっ
た。
When the sputtering method is used, the back pressure before sputtering is set to 1 × 10 −5 Pa or less, and single crystal silicon is used as a target in an atmosphere containing 20 to 80% of hydrogen mixed with argon. For example, argon was 20% and hydrogen was 80%.
The film formation temperature was 150 ° C., the frequency was 13.56 MHz, the sputter output was 400 to 800 W, and the pressure was 0.5 Pa.

【0025】プラズマCVD法により珪素膜を作製する
場合、温度は例えば300℃とし、モノシラン(SiH4)ま
たはジシラン(Si2H6) を用いた。これらをPCVD装置
内に導入し、13.56MHzの高周波電力を加えて成
膜した。
When a silicon film is formed by the plasma CVD method, the temperature is, for example, 300 ° C., and monosilane (SiH 4 ) or disilane (Si 2 H 6 ) is used. These were introduced into a PCVD apparatus, and a high-frequency power of 13.56 MHz was applied to form a film.

【0026】これらの方法によって形成された被膜は、
酸素が5×1021cm-3以下であることが好ましい。この酸
素濃度が高いと、結晶化させにくく、熱アニ−ル温度を
高くまたは熱アニ−ル時間を長くしなければならない。
また少なすぎると、バックライトによりオフ状態のリ−
ク電流が増加してしまう。そのため4×1019〜4×1021
cm-3の範囲とした。水素は4×1020cm-3であり、珪素4
×1022cm-3として比較すると1原子%であった。また、
ソ−ス、ドレインに対してより結晶化を助長させるた
め、酸素濃度を7×1019cm-3以下、好ましくは1×1019
cm-3以下とし、ピクセル構成するTFTのチャネル形成
領域のみに酸素をイオン注入法により5×1020〜5×10
21cm-3となるように添加してもよい。その時周辺回路を
構成するTFTには光照射がなされないため、この酸素
の混入をより少なくし、より大きいキャリア移動度を有
せしめることは、高周波動作をさせるためる有効であ
る。
The coatings formed by these methods are:
It is preferable that oxygen is 5 × 10 21 cm −3 or less. If the oxygen concentration is high, it is difficult to crystallize, and the heat annealing temperature must be increased or the heat annealing time must be increased.
If the amount is too small, the lamp is turned off by the backlight.
Current increases. Therefore, 4 × 10 19 to 4 × 10 21
The range was cm −3 . Hydrogen is 4 × 10 20 cm -3 and silicon 4
It was 1 atomic% when compared with × 10 22 cm −3 . Also,
In order to promote crystallization of the source and the drain, the oxygen concentration is set to 7 × 10 19 cm −3 or less, preferably 1 × 10 19 cm −3.
cm −3 or less, and oxygen is ion-implanted only in a channel formation region of a TFT constituting a pixel to form 5 × 10 20 to 5 × 10
You may add so that it may be set to 21 cm- 3 . At this time, since light is not irradiated to the TFTs constituting the peripheral circuit, it is effective to reduce the mixing of oxygen and to have a higher carrier mobility for high-frequency operation.

【0027】次に、アモルファス状態の珪素膜を500
〜5000Å、例えば1500Åの厚さに作製の後、4
50〜700℃の温度にて12〜70時間非酸化物雰囲
気にて中温の加熱処理、例えば水素雰囲気下にて600
℃の温度で保持した。珪素膜の下の基板表面にアモルフ
ァス構造の酸化珪素膜が形成されているため、この熱処
理で特定の核が存在せず、全体が均一に加熱アニ−ルさ
れる。即ち、成膜時はアモルファス構造を有し、また水
素は単に混入しているのみである。
Next, a silicon film in an amorphous state is
After fabrication to a thickness of ~ 5000mm, for example 1500mm, 4
Medium-temperature heat treatment in a non-oxide atmosphere at a temperature of 50 to 700 ° C. for 12 to 70 hours, for example, 600 hours in a hydrogen atmosphere
It was kept at a temperature of ° C. Since a silicon oxide film having an amorphous structure is formed on the surface of the substrate under the silicon film, no specific nucleus is present in this heat treatment, and the whole is annealed uniformly. That is, it has an amorphous structure at the time of film formation, and hydrogen is simply mixed therein.

【0028】アニ−ルにより、珪素膜はアモルファス構
造から秩序性の高い状態に移り、一部は結晶状態を呈す
る。特にシリコンの成膜後の状態で比較的秩序性の高い
領域は特に結晶化をして結晶状態となろうとする。しか
しこれらの領域間に存在する珪素により互いの結合がな
されるため、珪素同志は互いにひっぱりあう。レ−ザラ
マン分光により測定すると単結晶の珪素のピ−ク522
cm-1より低周波側にシフトしたピ−クが観察される。そ
れの見掛け上の粒径は半値巾から計算すると、50〜5
00Åとマイクロクリスタルのようになっているが、実
際はこの結晶性の高い領域は多数あってクラスタ構造を
有し、各クラスタ間は互いに珪素同志で結合(アンカリ
ング) がされたセミアモルファス構造の被膜を形成させ
ることができた。
Due to the annealing, the silicon film shifts from an amorphous structure to a highly ordered state, and a part of the silicon film exhibits a crystalline state. In particular, a region having a relatively high order in a state after the formation of silicon is particularly likely to be crystallized to be in a crystalline state. However, since the silicon existing between these regions is bonded to each other, silicon mutually pulls each other. When measured by laser Raman spectroscopy, a single crystal silicon peak 522 is obtained.
A peak shifted to a lower frequency side than cm −1 is observed. Its apparent particle size is 50 to 5 when calculated from the half width.
Although it is a microcrystal with a size of 00Å, there are actually a large number of regions with high crystallinity and a cluster structure, and a semi-amorphous structure film in which each cluster is bonded to each other by silicon (anchoring). Could be formed.

【0029】結果として、被膜は実質的にグレインバウ
ンダリ(以下GBという)がないといってもよい状態を
呈する。キャリアは各クラスタ間をアンカリングされた
個所を通じ互いに容易に移動し得るため、いわゆるGBの
明確に存在する多結晶珪素よりも高いキャリア移動度と
なる。即ちホ−ル移動度(μh=10〜200cm2 /V
Sec)、電子移動度(μe =15〜300cm2 /VS
ec)が得られる。
As a result, the coating exhibits a state substantially free of grain boundaries (hereinafter referred to as GB). Carriers can easily move from one cluster to another through anchored locations, resulting in higher carrier mobility than so-called GB polycrystalline silicon. That is, the hole mobility (μh = 10 to 200 cm 2 / V)
Sec), electron mobility (μe = 15-300 cm 2 / VS)
ec) is obtained.

【0030】他方、上記の如き中温でのアニ−ルではな
く、900〜1200℃の高温アニ−ルにより被膜を多
結晶化すると、核からの固相成長により被膜中の不純物
の偏析がおきて、GBには酸素、炭素、窒素等の不純物
が多くなり、結晶中の移動度は大きいが、GBでのバリ
ア(障壁を作ってそこでのキャリアの移動を阻害してし
まう。結果として10cm2/Vsec以上の移動度がなかなか
得られないのが実情である。即ち、本実施例ではかくの
如き理由により、セミアモルファスまたはセミクリスタ
ル構造を有するシリコン半導体を用いている。
On the other hand, when the film is polycrystallized by high-temperature annealing at 900 to 1200 ° C. instead of annealing at the medium temperature as described above, segregation of impurities in the film occurs due to solid phase growth from nuclei. , GB contain a large amount of impurities such as oxygen, carbon, and nitrogen, and have high mobility in the crystal. However, the barrier in GB (a barrier is formed and movement of carriers there is hindered. As a result, 10 cm 2 / In fact, it is difficult to obtain a mobility of Vsec or more, that is, in this embodiment, a silicon semiconductor having a semi-amorphous or semi-crystalline structure is used for the above reason.

【0031】図3(A)において、珪素膜を第1のフォ
トマスクにてフォトエッチングを施し、PTFT用の
領域122(チャネル巾20μm)を図面の右側に、NT
FT用の領域113を左側に作製した。
In FIG. 3A, a silicon film is subjected to photoetching using a first photomask, and a PTFT region 122 (channel width 20 μm) is placed on the right side of the drawing in NT.
A region 113 for FT was formed on the left side.

【0032】この上に酸化珪素膜をゲイト絶縁膜として
500〜2000Å例えば1000Åの厚さに形成し
た。これはブロッキング層としての酸化珪素膜の作製と
同一条件とした。この成膜中に弗素を少量添加し、ナト
リウムイオンの固定化をさせてもよい。
On this, a silicon oxide film was formed as a gate insulating film to a thickness of 500 to 2000 {for example, 1000}. This was made under the same conditions as those for forming the silicon oxide film as the blocking layer. During the film formation, a small amount of fluorine may be added to fix the sodium ions.

【0033】この後、この上側にリンが1〜5×1021cm
-3の濃度に入ったシリコン膜またはこのシリコン膜とそ
の上にモリブデン(Mo)、タングステン(W),MoSi2 または
WSi2との多層膜を形成した。これを第2のフォトマスク
にてパタ−ニングして図13(B)を得た。PTFT
用のゲイト電極121、NTFT用のゲイト電極109
を形成した。例えばチャネル長10μm、ゲイト電極と
してリンド−プ珪素を0.2μm、その上にモリブデン
を0.3μmの厚さに形成した。図3(C)において、
フォトレジスト157をフォトマスクを用いて形成
し、PTFT用のソ−ス118ドレイン120に対し、
ホウ素を1〜5×1015cm-2のド−ズ量でイオン注入法
により添加した。次に図3(D)の如く、フォトレジス
ト161をフォトマスクを用いて形成した。NTFT
用のソ−ス110、ドレイン112としてリンを1〜5
×1015cm-2のドーズ量でイオン注入法により添加し
た。
Thereafter, 1 to 5 × 10 21 cm of phosphorus is placed on the upper side.
-3 silicon film or molybdenum (Mo), tungsten (W), MoSi 2 or
A multilayer film with WSi 2 was formed. This was patterned using a second photomask to obtain FIG. PTFT
Gate electrode 121 for NTFT, gate electrode 109 for NTFT
Was formed. For example, a channel length was 10 μm, and a gate electrode was formed of 0.2 μm of phosphorus silicon, and molybdenum was formed thereon with a thickness of 0.3 μm. In FIG. 3 (C),
A photoresist 157 is formed using a photomask, and a source 118 for PTFT and a drain 120 are formed.
Boron was added at a dose of 1-5 × 10 15 cm -2 by ion implantation. Next, as shown in FIG. 3D, a photoresist 161 was formed using a photomask. NTFT
Source 1 and phosphorus 1 to 5 as drain 112
It was added by ion implantation at a dose of × 10 15 cm -2 .

【0034】これらはゲイト絶縁膜154を通じて行っ
た。しかし図3(B)において、ゲイト電極121、1
09をマスクとしてシリコン膜上の酸化珪素を除去し、
その後、ホウ素、リンを直接珪素膜中にイオン注入して
もよい。
These steps were performed through the gate insulating film 154. However, in FIG. 3B, the gate electrodes 121, 1
09 is used as a mask to remove silicon oxide on the silicon film,
Thereafter, boron or phosphorus may be directly ion-implanted into the silicon film.

【0035】次に、600℃にて10〜50時間再び加
熱アニ−ルを行った。PTFTのソ−ス118、ドレイ
ン120、NTFTのソ−ス110、ドレイン112を
不純物を活性化してP+ 、N+ として作製した。またゲ
イト電極121、109下にはチャネル形成領域11
9、111がセミアモルファス半導体として形成されて
いる。
Next, annealing was performed again at 600 ° C. for 10 to 50 hours. The source 118 and the drain 120 of the PTFT and the source 110 and the drain 112 of the NTFT were manufactured as P + and N + by activating impurities. The channel formation region 11 is formed below the gate electrodes 121 and 109.
9, 111 are formed as semi-amorphous semiconductors.

【0036】かくすると、セルフアライン方式でありな
がらも、700℃以上にすべての工程で温度を加えるこ
とがなくC/TFTを作ることができる。そのため、基
板材料として、石英等の高価な基板を用いなくてもよ
く、本発明の大画素の液晶表示装置にきわめて適したプ
ロセスである。
In this way, a C / TFT can be manufactured without applying a temperature to 700 ° C. or more in all steps, even though it is a self-aligned system. Therefore, it is not necessary to use an expensive substrate such as quartz as a substrate material, and this is a process very suitable for the large pixel liquid crystal display device of the present invention.

【0037】本実施例では熱アニ−ルは図3(A)、
(D)で2回行った。しかし図3(A)のアニ−ルは求
める特性により省略し、双方を図3(D)のアニ−ルに
より兼ね製造時間の短縮を図ってもよい。図3(E)に
おいて、層間絶縁物165を前記したスパッタ法により
酸化珪素膜の形成として行った。この酸化珪素膜の形成
はLPCVD法、光CVD法、常圧CVD法を用いても
よい。例えば0.2〜0.6μmの厚さに形成し、その
後、フォトマスクを用いて電極用の窓166を形成し
た。さらに、これら全体にアルミニウムをスパッタ法に
より形成し、リ−ド171、172およびコンタクト1
67、168をフォトマスクを用いて作製した後、表
面を平坦化用有機樹脂169例えば透光性ポリイミド樹
脂を塗布形成し、再度の電極穴あけをフォトマスクに
て行った。
In this embodiment, the thermal annealing is performed as shown in FIG.
(D) was performed twice. However, the annealing in FIG. 3A may be omitted depending on the desired characteristics, and both may be replaced by the annealing in FIG. 3D to shorten the manufacturing time. In FIG. 3E, the interlayer insulator 165 was formed as a silicon oxide film by the above-described sputtering method. This silicon oxide film may be formed by an LPCVD method, a photo CVD method, or a normal pressure CVD method. For example, it was formed to a thickness of 0.2 to 0.6 μm, and then a window 166 for an electrode was formed using a photomask. Further, aluminum is formed on the entire surface by sputtering, and leads 171 and 172 and contact 1 are formed.
After producing 67 and 168 using a photomask, the surface was coated with a flattening organic resin 169, for example, a light-transmitting polyimide resin, and the electrode drilling was performed again using the photomask.

【0038】図3(F)に示す如く2つのTFTを相補
型構成とし、かつその出力端を液晶装置の一方の画素の
電極を透明電極としてそれに連結するため、スパッタ法
によりITO(インジュ−ム・スズ酸化膜)を形成し
た。それをフォトマスクによりエッチングし、電極1
17を構成させた。このITOは室温〜150℃で成膜
し、200〜400℃の酸素または大気中のアニ−ルに
より成就した。かくの如くにしてPTFT122とNT
FT113と透明導電膜の電極117とを同一ガラス基
板150上に作製した。得られたTFTの電気的な特性
はPTFTで移動度は20〔cm2/Vs〕、Vthは−5.9
〔V〕で、NTFTで移動度は40〔cm2/Vs、Vth〕は
5.0〔V〕であった。
As shown in FIG. 3 (F), in order to connect the two TFTs to a complementary structure and connect the output terminals thereof to the electrodes of one pixel of the liquid crystal device as transparent electrodes, ITO (indium oxide) is formed by sputtering. A tin oxide film). It is etched using a photomask and the electrode 1
17 were constructed. This ITO film was formed at room temperature to 150 ° C., and was achieved by oxygen at 200 to 400 ° C. or annealing in air. Thus, PTFT 122 and NT
The FT 113 and the electrode 117 made of a transparent conductive film were formed on the same glass substrate 150. The electrical characteristics of the obtained TFT are PTFT, the mobility is 20 [cm 2 / Vs], and the Vth is −5.9.
In [V], the mobility of NTFT was 40 [cm 2 / Vs, Vth] of 5.0 [V].

【0039】上記の様な方法に従って作製された液晶装
置用の一方の基板と他方ガラス基板上に全面に透明電極
を設け、これら基板を張り合わせて液晶セルを形成し、
この中にTNの液晶材料を注入した。
A transparent electrode is provided on the entire surface of one of the substrates for the liquid crystal device and the other glass substrate manufactured according to the method as described above, and these substrates are laminated to form a liquid crystal cell.
A TN liquid crystal material was injected therein.

【0040】この液晶表示装置の電極等の配置の様子を
図2に示している。PTFT1、20を第1の信号線V
D1と第3の信号線VG1との交差部に設けられている。一
方NTFT2、17は第2の信号線VD2と第3の信号線
G1との交差部に設けられている。このようなC/TF
Tを用いたマトリクス構成を有せしめた。
FIG. 2 shows the arrangement of the electrodes and the like of the liquid crystal display device. PTFT 1 and 20 are connected to the first signal line V
It is provided at the intersection of D1 and the third signal line VG1 . Meanwhile NTFT2,17 is provided at the intersection between the second signal line V D2 third signal line V G1. Such C / TF
A matrix configuration using T was provided.

【0041】PTFT20は、ドレイン10の入力端の
コンタクトを介し第1の信号線VD1に連結され、ゲイト
12は多層配線形成がなされた信号線VD2に配線22を
介して連結されている。ソ−ス9の出力端はPTFT1
のドレイン8に拡散層を通じて連結し、また該TFTの
ソース23はコンタクトを介して画素の電極6に連結し
ている。また、該TFTのゲート3は第3の電極5に連
結されている。
The PTFT 20 is connected to the first signal line V D1 via a contact at the input end of the drain 10, and the gate 12 is connected to the signal line V D2 on which a multilayer wiring is formed via a wiring 22. The output terminal of source 9 is PTFT1
And the source 23 of the TFT is connected to the pixel electrode 6 via a contact. The gate 3 of the TFT is connected to the third electrode 5.

【0042】他方、NTFT17は、ドレイン16の入
力端のコンタクトを介し第2の信号線VD2に連結され、
ゲイト18は多層配線形成がなされた信号線VD1に配線
21を介して連結されている。ソ−ス15の出力端はN
TFT2のドレイン15に拡散層を通じて連結し、また
該TFTのソース24はコンタクトを介して画素の電極
6に連結している。また、該TFTのゲート3は第3の
電極5に連結されている。
On the other hand, the NTFT 17 is connected to the second signal line V D2 via a contact at the input terminal of the drain 16, and
The gate 18 is connected via a wiring 21 to a signal line VD1 on which a multilayer wiring is formed. The output terminal of source 15 is N
The drain 15 of the TFT 2 is connected through a diffusion layer, and the source 24 of the TFT 2 is connected to the pixel electrode 6 through a contact. The gate 3 of the TFT is connected to the third electrode 5.

【0043】かかる構造を左右、上下に繰り返すことに
より、2×2のマトリクスをそれを拡大した640×4
80、1280×960といった大画素の液晶表示装置
とすることができる。
By repeating such a structure horizontally and vertically, a 2 × 2 matrix is expanded to 640 × 4.
A liquid crystal display device having a large pixel size of 80, 1280 × 960 can be obtained.

【0044】この様にして、ラップトップ型の表示装置
を作成した。また、これはラップトップ型のみならず、
投射型の表示装置、ビデオカメラのビューファインダ
ー、投射型表示装置等にもほぼ同様の工程、構造となっ
ている。
In this way, a laptop display device was produced. Also, this is not only laptop type,
A projection type display device, a viewfinder of a video camera, a projection type display device, and the like have substantially the same steps and structures.

【0045】本実施例においては、一つの画素に対し
て、一群の薄膜トランジスタを設けた例を示したが特に
この構成に限定されることはなく、一つの画素を複数の
画素電極で構成し、その各々に一群の薄膜トランジスタ
を設けた構成や一つの画素に対して複数群の薄膜トラン
ジスタを設けた構成としても本発明の範囲に含まれる。
この場合、一部のTFTに不良動作がみられても、その
働きを他の部分で補ったり、面積的なグレースケールを
達成することができる。
In this embodiment, an example in which a group of thin film transistors is provided for one pixel has been described. However, the present invention is not particularly limited to this configuration. One pixel is constituted by a plurality of pixel electrodes. A configuration in which a group of thin film transistors is provided in each of them and a configuration in which a plurality of groups of thin film transistors are provided for one pixel are also included in the scope of the present invention.
In this case, even if a defective operation is found in some of the TFTs, the function can be supplemented by other parts or an area gray scale can be achieved.

【0046】[0046]

【発明の効果】以上説明したように本発明の駆動法によ
り、液晶電位をフロ−ティングとしないため、安定した
表示を行うことができる。また、アクティブ素子として
のC/TFTの駆動能力が高いため、動作マ−ジンを拡
大でき、さらに周辺の駆動回路をより簡単にすることが
可能で表示装置の小型化、製造コストの低減に効果があ
る。また、3本の信号線と対抗電極に非常に単純な信号
で高い駆動能力を発揮することができる。
As described above, according to the driving method of the present invention, since the liquid crystal potential is not floating, a stable display can be performed. Also, since the driving capability of the C / TFT as the active element is high, the operation margin can be expanded, and the peripheral driving circuit can be made simpler, so that the display device can be downsized and the manufacturing cost can be reduced. There is. In addition, high driving capability can be exhibited with very simple signals to the three signal lines and the counter electrode.

【0047】不良TFTが一部にあっても同相出力であ
るためその補償をある程度行うことができる。
Even if some of the defective TFTs are in-phase output, it can be compensated to some extent.

【0048】さらに、となりあった画素に接続されてい
る信号線間に高い電位差が印加されない為、リークしな
い。また、となりあった画素と信号線を共通に使用でき
るために、単位画素当りの実質の信号線数は2本とな
り、表示装置の開口率を向上させることができた。
Further, since no high potential difference is applied between the signal lines connected to the adjacent pixels, no leakage occurs. Further, since the pixel and the signal line can be used in common, the actual number of signal lines per unit pixel is two, and the aperture ratio of the display device can be improved.

【0049】本発明における表示媒体としては、透過型
の液晶表示装置または反射型の液晶表示装置として用い
得る。また使用可能な液晶材料としては前術のTN液
晶、FLC液晶、分散型液晶、ポリマ型液晶を用い得
る。 またゲストホスト型、誘電異方性型のネマチック
液晶にイオン性ド−パントを添加して電界を印加するこ
とによってネマチック液晶としコレステリック液晶との
混合体に電界を印加して、ネマチック相とコレステリッ
ク相との間で相変化を生じさせ、透明ないし白濁の表示
を実現する相転移液晶を用いることもできる。また液晶
以外では、例えば染料で着色した有機溶媒中にこれと色
の異なる顔料粒子を分散させたいわゆる電気泳動表示用
分散系を用いることもできることを付記する。
As the display medium in the present invention, a transmission type liquid crystal display device or a reflection type liquid crystal display device can be used. As a usable liquid crystal material, a TN liquid crystal, an FLC liquid crystal, a dispersion liquid crystal, or a polymer liquid crystal as described above can be used. In addition, an ionic dopant is added to a guest-host type or dielectric anisotropic type nematic liquid crystal and an electric field is applied to apply the electric field to a nematic liquid crystal and a mixture of the cholesteric liquid crystal and a nematic phase and a cholesteric phase. A phase change liquid crystal which causes a phase change between the liquid crystal and the liquid crystal and realizes a transparent or cloudy display can also be used. In addition to the liquid crystal, for example, a so-called electrophoretic display dispersion system in which pigment particles having different colors are dispersed in an organic solvent colored with a dye can be used.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の回路図を示す。FIG. 1 shows a circuit diagram of the invention.

【図2】本発明の素子構成を示す。FIG. 2 shows an element configuration of the present invention.

【図3】本発明による工程の一例を示す。FIG. 3 shows an example of a process according to the invention.

【図4】本発明による駆動波形を示す。FIG. 4 shows a driving waveform according to the present invention.

【図5】本発明による回路図を示す。FIG. 5 shows a circuit diagram according to the invention.

【図6】従来例による回路図を示す。FIG. 6 shows a circuit diagram according to a conventional example.

【図7】従来例による回路図を示す。FIG. 7 shows a circuit diagram according to a conventional example.

【図8】本発明による回路図を示す。FIG. 8 shows a circuit diagram according to the invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・・第1のPTFT 2・・・・第1のNTFT 17・・・第2のNTFT 20・・・第2のPTFT 1 first PTFT 2 first NTFT 17 second NTFT 20 second PTFT

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 マトリクス状に複数の画素が設けられ
示装置において、一方の基板上に設けられた画素電極
の各々に第一のPチャネル型薄膜トランジスタと第一の
Nチャネル型薄膜トランジスタとを相補型に構成した相
補型薄膜トランジスタの共通出力端を接続し、前記第一
のPチャネル型薄膜トランジスタの入力端を第二のPチ
ャネル型薄膜トランジスタの出力端に接続し、前記第一
のNチャネル型薄膜トランジスタの出力端を第二のNチ
ャネル型薄膜トランジスタの入力端に接続し、前記第二
のPチャネル型薄膜トランジスタの入力端をX軸方向の
第一の信号線に接続し、前記第二のNチャネル型薄膜ト
ランジスタの出力端をX軸方向の第二の信号線に接続
し、前記第一のPチャネル型薄膜トランジスタのゲイト
電極と前記第一のNチャネル型薄膜トランジスタのゲイ
ト電極とを互いに接続しかつY軸方向の第三の信号線に
接続し、前記第二のPチャネル型薄膜トランジスタのゲ
イト電極を前記X軸方向の第二の信号線に接続し、前記
第二のNチャネル型トランジスタのゲイト電極を前記X
軸方向の第一の信号線に接続し、前記X軸方向の第一の
信号線は、前記X軸方向の第一の信号線側に隣接する画
素におけるX軸方向の第二の信号線に相等し、かつ前記
X軸方向の第二の信号線は、前記X軸方向の第二の信号
線側に隣接する画素におけるX軸方向の第一の信号線に
相等することを特徴とする表示装置。
1. A plurality of pixels are provided in a matrix .
In Viewing device, connect the common output terminal of the complementary thin film transistor constructed in complementary with the first P-channel thin film transistor and a first N-channel type thin film transistor to each of the pixel electrodes provided on one of the substrates The first
Of the P-channel type thin film transistor of the second
Connected to the output terminal of the channel type thin film transistor,
Output terminal of the N-channel type thin film transistor
Connected to the input terminal of the channel type thin film transistor,
Of the input terminal of the P-channel type thin film transistor in the X-axis direction.
Connected to the first signal line, and connected to the second N-channel thin film transistor.
Connect the output end of the transistor to the second signal line in the X-axis direction
And a gate of the first P-channel thin film transistor
Electrodes and gay of the first n-channel thin film transistor
And to the third signal line in the Y-axis direction
Connected to the gate of the second P-channel thin film transistor.
Light source electrode connected to the second signal line in the X-axis direction,
The gate electrode of the second N-channel transistor is connected to the X
Connected to the first signal line in the axial direction,
The signal line is an image adjacent to the first signal line side in the X-axis direction.
The second signal line in the X-axis direction in the element, and
The second signal line in the X-axis direction is the second signal in the X-axis direction.
To the first signal line in the X-axis direction in the pixel adjacent to the line side
A display device characterized by being equal .
【請求項2】 請求項1記載の前記画素は複数の画素電
極により構成されており、前記画素電極の各々に対応し
て第一のNチャネル型薄膜トランジスタ、第一のPチャ
ネル型薄膜トランジスタ、第二のNチャネル型薄膜トラ
ンジスタおよび第二のPチャネル型薄膜トランジスタが
設けられていることを特徴とする表示装置。
2. The pixel according to claim 1, wherein the pixel includes a plurality of pixel electrodes, and a first N-channel thin film transistor, a first P-channel thin film transistor, and a second P-channel thin film transistor correspond to each of the pixel electrodes. Wherein the N-channel type thin film transistor and the second P-channel type thin film transistor are provided.
【請求項3】 請求項1記載の前記画素電極の各々に対
応して第一のNチャネル型薄膜トランジスタ、第一のP
チャネル型薄膜トランジスタ、第二のNチャネル型薄膜
トランジスタおよび第二のPチャネル型薄膜トランジス
タを一群として、複数群が設けられていることを特徴と
する表示装置。
Wherein in correspondence with each of the pixel electrode according to claim 1, wherein the first N-channel thin film transistor, the first P
A display device, comprising a plurality of groups each including a channel thin film transistor, a second N-channel thin film transistor, and a second P-channel thin film transistor.
JP7731991A 1991-02-16 1991-02-16 Display device Expired - Lifetime JP3000177B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7731991A JP3000177B2 (en) 1991-02-16 1991-02-16 Display device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7731991A JP3000177B2 (en) 1991-02-16 1991-02-16 Display device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0643484A JPH0643484A (en) 1994-02-18
JP3000177B2 true JP3000177B2 (en) 2000-01-17

Family

ID=13630618

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7731991A Expired - Lifetime JP3000177B2 (en) 1991-02-16 1991-02-16 Display device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3000177B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3468986B2 (en) 1996-04-16 2003-11-25 株式会社半導体エネルギー研究所 Active matrix circuit and display device

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0643484A (en) 1994-02-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2999271B2 (en) Display device
US5218464A (en) Electro-optical device
JPH0627484A (en) Liquid crystal electro-optical device
JP2916606B2 (en) Display device
JP3000177B2 (en) Display device
JP3297674B2 (en) Display device
JP2990232B2 (en) Liquid crystal electro-optical device
JPH1068972A (en) Electro-optical device
JP3270485B2 (en) Driving method of display device
JP3300700B2 (en) Thin film transistor
JP2742725B2 (en) Display device
JP2707157B2 (en) Display device
JP3013259B2 (en) Liquid crystal display
JP3161707B2 (en) Electro-optical device
JP3000174B2 (en) Driving method of display device
JP3651731B2 (en) Display device
JP3350528B2 (en) Active matrix display
JP3220092B2 (en) Display device
JP3380794B2 (en) Electro-optical device
JP3300701B2 (en) Electro-optical device
JP3668416B2 (en) Electro-optic device
JP3330910B2 (en) Electro-optical device
JP3476763B2 (en) Active matrix device
JP3054219B2 (en) Liquid crystal display
JP3229938B2 (en) Display device

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081112

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091112

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091112

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091112

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101112

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101112

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111112

Year of fee payment: 12

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111112

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111112

Year of fee payment: 12