JP2996862B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、透過型、走査型等の電
子顕微鏡に関し、特に、試料のどの領域にどれだけの電
子線が照射されたかを一目で検知し得る電子顕微鏡に関
する。

【０００２】

【従来の技術】透過型、走査型等の電子顕微鏡では、試
料に電子線を照射してその透過電子線像あるいは二次電
子像等を観察しているが、このようにして観察される試
料の中には電子線の照射によって損傷を受けやすいもの
も多く、ある程度の電子線量を照射すると試料の微細構
造が壊れてしまうような場合もある。そのため、正確な
観察やデータ収集を行うためには、一度観察した箇所と
未だ観察していない、すなわち電子線を一度も照射して
いない箇所とを区別することが重要になってくる。

【０００３】しかしながら、従来の電子顕微鏡では、試
料面の適当な箇所を中心座標として、現在観察が行われ
ている箇所の座標を表示装置上に表示することが行われ
ているのみであり、過去の観察経過については表示され
ることはない。したがって、過去にどの領域を観察した
かについては、観察者が観察箇所の座標について別途記
録を取るか、あるいは観察者自身の記憶に頼らざるを得
ないという状況にあり、観察者の負担が大きいととも
に、正確を期することが極めて困難であった。

【０００４】このような従来技術に対して、試料面の観
察可能な領域を微細な領域単位に分割し、各領域単位ご
とに電子線が照射されたか否かを検知して、一度電子線
が照射された箇所と、一度も照射されていない箇所とを
表示装置上に区別して表示するものが提案されている。
また、試料面上で電子線が過去に通過した軌跡を自動記
録するものも提案されている。

【０００５】

【発明の解決しようとする課題】しかしながら、これら
の提案にかかるものでは、いずれも得られるデータは、
過去に電子線が照射されたことがあるか否か、すなわち
１か０かのデータであるにすぎない。これでは、試料面
上の一箇所について長く観察を行った場合でも、また、
観察箇所を変更するために単に試料面上を横切った場合
でも、同じように電子線既照射領域として記録あるいは
表示されてしまう。一方、電子線照射による損傷を受け
やすい試料であっても、ある一定の電子線量までならば
特段の問題もなく観察を行えるものもあり、特に、観察
箇所を変えるために電子線が横切った程度では何も問題
にする必要がない場合も少なくない。しかしながら、上
記提案に係るものでは、単に電子線が照射されたか否か
という情報しか得られないため、本来は問題なく使用で
きる試料面についても観察に不適当と判断され、貴重な
試料が有効に利用されないという問題点がある。

【０００６】本発明は、上記の課題を解決するものであ
って、観察開始から現在までの間に試料面上のどの箇所
にどれだけの電子線量が照射されたかを一目で識別する
ことを可能として、迅速且つ正確な観察を可能とし、ま
た貴重な試料を有効利用することが可能な電子顕微鏡を
提供することを目的とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の電子顕微鏡は、試料面内の観察可能な領
域を微小な領域単位に分割し、当該領域単位ごとにデー
タを読み書きできる記憶領域を有する記憶手段と、前記
微小な領域単位に対応させてデータを表示しうる表示手
段と、観察時に、試料に照射される電子線の総電流量と
広がりの大きさとから、前記微小な領域単位ごとに照射
された単位時間ごとの電流量を逐次計算し、その電流量
計算値を順次積算させながら前記記憶手段の各々の記憶
領域にデータとして記憶させるとともに、その記憶され
た領域単位ごとのデータを所定の電流量積算値の範囲ご
とに表示方法を変えて前記表示手段に表示させる演算手
段とを備えることを特徴とする。

【０００８】また、上記本発明の一態様として、電子顕
微鏡が透過電子顕微鏡であり、計算手段において、蛍光
スクリーンに結像された試料面の範囲を前記電子ビーム
の広がりの大きさと設定して前記領域単位ごとの電流量
を計算することを特徴とする。

【０００９】

【作用及び発明の効果】本発明の電子顕微鏡では、ま
ず、試料面内の観察可能な領域を仮想的に微小な領域単
位に分割する。そして、試料の観察時に、試料に照射さ
れる電子線の総電流量と広がりの大きさ（面積）とか
ら、演算手段によって、単位時間ごとにどの微小領域単
位にどれだけの電子線が照射されたかを逐次計算する。
この計算値は、記憶手段における前記微小領域単位ごと
の格納領域のうち、対応する格納領域に順次加算してい
く。するとこの記憶手段に記憶されたデータは、観察開
始から現在に至るまでの微小領域単位ごとの照射電子線
量の総量（積算値）に相当することになる。このデータ
を、ある所定の範囲ごとに例えば表示色を変えるなどし
て、表示手段上に表示するものである。

【００１０】したがって、表示手段に表示された画像を
見れば、一目でどの領域にどれだけの電子線が照射され
たかを知ることができるので、電子線照射に対する耐力
が低い試料にあっては、観察者が新たに観察が可能な領
域と既に電子線が相当量照射されて観察に不適当となっ
ている領域とを容易に判別することができ、正確な観察
をスピーディーに行うことが可能となる。また、未だ使
用に耐えられる試料を廃棄することがなくなり、試料資
源を最大限有効に活用することができるようになる。さ
らには、一度観察した試料面を再度観察する場合にも、
その位置を容易に知ることができるようになる。

【００１１】さらに、請求項２に記載した電子顕微鏡に
おいては、蛍光スクリーン上に透過電顕微鏡像を結像す
る透過電子顕微鏡を対象とする。そして、演算手段で微
小領域単位ごとの照射電子線量を計算する際、当該蛍光
スクリーンに結像された試料面の範囲を前記電子ビーム
の広がりの大きさとして設定するようにしている。

【００１２】したがって、後に実施例の説明において詳
述するように、演算手段における照射電子線量の計算が
容易となり、演算手段のロードを大幅に軽減することが
可能となる。

【００１３】

【実施例】以下、図面に基づいて本発明の一実施例につ
いて説明する。図１は本発明に係る電子顕微鏡の一実施
例の構成を示す図であり、図中、１は透過電子顕微鏡本
体、２は試料ステージ、３は対物レンズ、４、５は中間
レンズ、６は投影レンズ、７は偏向コイル、８は蛍光ス
クリーン、９はステージ駆動手段、１０は偏向コイル電
源、１１はレンズ電源、１２は制御手段、１３は走査手
段、１４は電流検出手段、１５は演算手段、１６、１７
は記憶手段、１８は表示手段を示す。

【００１４】図１における透過電子顕微鏡本体１は、従
来より知られている一般的な透過電子顕微鏡であり、そ
の基本的な動作は次のようである。すなわち、試料ステ
ージ２上に保持された試料に電子線が照射されると、試
料を透過した電子線が対物レンズ３、中間レンズ４、
５、及び投影レンズ６によって蛍光スクリーン８上に透
過電子顕微鏡像を結像する。この透過電子顕微鏡像の倍
率は、観察者によって操作手段１３から入力される指令
に応じ、制御手段１２が各レンズ３〜６のレンズ電源１
１を操作することによって可変制御される。また、透過
電子顕微鏡像の視野の移動は、同じく操作手段１３から
の指令に基づいて、制御手段１２がステージ駆動手段９
を制御することによって実行されるほか、偏向コイル７
に励磁電流を供給する偏向コイル電源１０の出力を調整
することによっても実行される。

【００１５】このような基本的な透過電子顕微鏡の構成
に加え、本実施例ではさらに、電流検出手段１４、演算
手段１５、記憶手段１６、１７、表示手段１８が備えら
れている。

【００１６】ここで、電流検出手段１４は、試料に照射
される電流量を検出するためのものである。

【００１７】記憶手段１６は、各レンズ３〜６に関する
データなど、後に説明する演算手段１５での計算に必要
なデータを格納しておくためのメモリである。なお、試
料に照射される電流量は、電子線の照射条件や各レンズ
３〜６に関する焦点距離などのデータから間接的に知る
ことができ、そのような計算に必要なデータをマップな
どにしてこの記憶手段１６に格納しておく場合には、上
記電流検出手段１４は不要とすることもできる。

【００１８】記憶手段１７は、試料面の観察可能領域を
仮想的に例えば１０μｍ四方の微小な領域単位に分割
し、それぞれの微小領域単位ごとにデータを格納できる
ような格納領域を備えた、読み書き自在のメモリであ
る。

【００１９】表示手段１８は、記憶手段１８に格納され
た試料面の微小領域単位ごとのデータをグラフィカルに
表示するためのものである。

【００２０】演算手段１５は、制御手段１２、電流検出
手段１４、記憶手段１６から各種情報を取り込んで、試
料面の微小領域単位ごとに、単位時間ごとに照射される
電流量を逐次計算し、その計算値を記憶手段１７内の対
応する格納領域に順次積算していくものである。そし
て、その積算されたデータを記憶手段１７から読み出し
て、表示装置１８に表示させるものである。

【００２１】次に、この図１に示した一実施例の動作に
ついて説明する。まず、本実施例では、観察に先立っ
て、試料面が仮想的に微小な領域単位に分割される。こ
こで仮想的というのは、試料面上に実際に線引などを施
して微小領域単位に分割するということではなく、演算
手段１５、記憶手段１７、表示手段１８等の内部データ
として、試料面を微小な領域単位に分割するということ
を表す。

【００２２】この微小な領域単位は、試料面上の特定の
１点、例えば中心点を基準点とし、試料面上の観察可能
な領域を一定の間隔で升目に区切ることによって設定さ
れる。例えば、試料が３ｍｍφの略円形であり、そのう
ち観察可能な領域部分が 2.2ｍｍ× 2.2ｍｍであったと
し、上記升目の一区切りを10μｍと設定したとすれば、
その試料面上の観察可能な領域は 220×220 の微小な領
域単位に分割されることになる。なお、このような升目
の区切りをどの程度の大きさにするかについては、観察
者が試料の種類や観察の目的等に応じて任意に設定しう
ることであり、例えば１μｍで区切ってもよいし、ある
いは20μｍで区切るようにしてもよい。このような微小
領域単位の大きさは、操作手段１３を通して観察者が入
力設定することができる。また、設定された微小領域単
位は、演算手段１５、記憶手段１７、及び表示手段１８
において共通のデータであり、かつ、試料の観察視野が
変更されても不偏のものとして保持されるものである。

【００２３】このようにして試料面上に微小な領域単位
が設定された後、観察が開始されると、演算手段１５
は、試料に照射されている照射電流値を電流検出手段１
４から取り込む。それと同時に、制御手段１２から試料
面上における電子線の広がりの大きさ、すなわち電子線
の照射位置、形状、及び照射面積に関係する諸データを
取り込み、(1) 電子線の総照射面積はどれだけか、また
(2) 電子線が前記微小領域単位のどの升目に照射されて
いるかを演算する。

【００２４】ここで、上記(1) の電子線の総照射面積に
関しては、対物レンズ３、中間レンズ４、５、及び投影
レンズ６からなるレンズ系の倍率及び焦点距離から計算
することができる。したがって、制御手段１２からレン
ズ電源１１に与えられる制御信号と、電子顕微鏡本体１
のレンズ系固有の諸数値が取り込まれ、前記電子線の総
照射面積が計算される。なお、予め記憶手段１６内に、
レンズ系の倍率、焦点距離などのデータに対応させて電
子線の総照射面積の計算値をマップなどの形で記憶させ
ておけば、演算手段１５におけるロードを軽減できる。

【００２５】また、上記(2) の電子線が微小領域単位の
どの升目に照射されているかに関しては、まず制御手段
１２からステージ駆動手段９に与えられる制御信号を取
り込むことによって電子線の照射位置を検知する。ま
た、ステージ位置を一定としていても偏向コイル７の励
磁電流を操作することによって電子線の照射位置を変更
することができるが、そのような場合には、偏向コイル
電源１０に与えられる制御信号も取り込んで、前記ステ
ージ駆動手段９への制御信号とともに所定の演算を施す
ことにより、電子線の照射位置を正確に検知することが
できる。また、電子線の照射条件から、試料面上におけ
る電子線の照射形状を検知する。この電子線の形状につ
いては、計算を簡略化するために円形として取り扱うこ
とにしてもよい。これらの場合も、上記(1) のときと同
様に、記憶手段１６内に予め演算した値を記憶させてお
けば、演算手段１５では、制御手段１２から取り込んだ
各種データに応じてそれらに対応する記憶値を記憶手段
１６から読み出せばよいこととなる。そして、このよう
にして求められた電子線の照射位置及び照射形状と、上
記電子線の総照射面積とから、どの升目に電子線が照射
されているかを検知する。

【００２６】図２は、試料面上における電子線の広がり
と微小領域単位の升目との関係を表した図である。図２
において、線２０は電子線の照射されている範囲（広が
りの大きさ）を示しており、この線２０の内側の部分に
電子線が照射されていることを示す。このような線２０
で囲まれた部分の総面積を求めるのが上記(1) で説明し
た過程であり、また、この線２０の位置及び形状を確定
し、その線２０で囲まれた範囲の中にどの微小領域単位
が含まれているかを知るのが上記(2) の過程である。

【００２７】なお、微小領域単位は方形で区切られてお
り、その一方で、電子線の形状は通常は略円形あるいは
楕円形様であるため、線２０の境界付近では、中間的に
電子線が照射されている升目が存在する。このような升
目の扱いについては、(a) 少しでも電子線照射領域（線
２０の内側）にかかっていればその升目は電子線が照射
されているものとして扱う、(b) 例えば当該升目の面積
の５０％以上が電子線照射領域にかかっていれば、その
升目は電子線が照射されている升目として扱い、５０％
未満ならば照射されていないものとして扱う、あるいは
(c) 電子線照射領域に１００％かかっていなければその
升目は電子線が照射されているものとは扱わない等のル
ールを予め設定しておくことが必要である。図２では、
上記(b) の取扱いをする場合を想定し、電子線が照射さ
れたとして扱われる升目を網かけによって示している。

【００２８】次に、演算手段１５では、電流検出手段１
４から取り込んだ照射電流値と、上記(1) の過程で求め
た総照射面積値とから、電子線が照射されている各升目
に対し、単位時間当たりどれだけの電流が照射されてい
るかを計算する。例えば、１００ＰＡの照射電流値で、
電子線の総照射面積値が１００μｍ平方であり、各升目
の大きさが１辺１μｍであったとすれば、１秒ごとに１
つの升目に１ピコクーロンの電流が照射されていること
になる。このようにして、どの微小領域単位に、単位時
間当たりどれだけの電流が照射されているかが計算され
る。

【００２９】そして、このようにして求めた各微小領域
単位（升目）ごとの照射電流値を、それぞれ記憶手段１
７内の対応する格納領域に積算して書き込んでいく。上
記例では、電子線照射領域内にあると判定された微小領
域単位のそれぞれに対応した記憶手段１７内の格納領域
に対し、１秒ごとに１ピコクーロンに相当する数値を順
次積算していくことになる。したがって、上記条件で１
０秒間にわたり電子線が照射されれば、その照射領域内
にあった微小領域単位に対応する格納領域には、１０ピ
コクーロンに相当する数値が記憶されることになる。こ
のような演算処理が、観察が行われている間、連続的に
実行される。

【００３０】そして、この記憶手段１７に記憶された数
値に関するデータが、観察者からの指示に応じて、ある
いは観察の進行と同時並行的に、制御手段１５によって
読み出され、所定の処理を施されて表示手段１８上に表
示される。この表示に際しては、演算手段１５により、
記憶手段１７内の積算データが所定の範囲を越えるごと
に視覚的に表示方法を異ならせるような処理が行われ
る。

【００３１】図３に、そのような表示手段１８における
表示の一例を示す。ここでは、記憶手段１７内に記憶さ
れた積算値に応じて３段階に表示を分けた場合の例を示
しており、電子線が照射された履歴を持つが微量の範囲
にある升目をＡ（小ドットで示した部分）、前記Ａの範
囲を超え電子線が相当量照射された範囲にある升目をＢ
（格子模様で示した部分）、さらに照射が進んでもはや
観察には適さない範囲にある升目をＣ（大ドットで示し
た部分）の３段階に視覚的に分別して表示している。こ
のような表示は、画面上の濃淡によって視覚的に分けて
もよいし、また表示装置１８がカラー表示可能な画面を
有するものであれば、電子線の照射量の積算値に応じ
て、例えば最小値［青］から［緑］、［黄］、最大値
［赤］のように、表示色で分けるようにしてもよい。要
するに、この表示手段１８による表示は、電子線が既に
照射された微小領域単位の位置とその照射量とを観察者
が一目で認識できるようになされていればよく、したが
って、何段階に分けて表示するか、あるいはどのような
表示方法とするかは、上記の例に限定されるものではな
い。

【００３２】このような表示手段１８上の表示を見るこ
とにより、観察者は、次に試料面上のどの部分を使用し
て観察を行えばよいか、直ちに知ることができる。そし
て、未だ電子線の照射されていない部分の微小領域単位
の座標値（Ｎｘ、Ｎｙ）に基づいて、操作手段１３等か
ら次に電子線を照射すべき位置に関する情報を入力すれ
ば、制御手段１２を介してステージ駆動手段９等が操作
され、新たな観察が行われることとなる。したがって、
一度電子線を照射してもはや観察に適さなくなっている
試料面を再度観察することもなく、また未だ使用に耐え
られる試料を無駄に廃棄するようなこともなくなり、観
察がスピーディーで、かつ正確に行われるとともに、資
源を最大限有効に利用することが可能となるのである。
また、あえて一度観察した場所を再度観察するような場
合にも、表示手段１８上に表示された微小領域単位の座
標値（Ｎｘ、Ｎｙ）から容易にその場所を知ることがで
きる。

【００３３】なお、本実施例では、照射電流値を電流検
出手段１４によって直接的に検出する場合について説明
したが、照射電流値は電子線加速系の諸値（加速電圧
等）、レンズ系の諸値（焦点距離等）、試料の種類等の
観察の条件によって一義的に求めることができる。した
がって、予め観察の条件ごとに照射電流値を実測した値
を記憶手段１６内にマップ等の形で記憶させておき、観
察時には、そのときの条件に関係するデータを演算手段
１５が制御手段１２から取り込んで、当該諸データに対
応する電流値を記憶手段１６から読み出すようにすれ
ば、電流検出手段１４は不要とすることもできる。

【００３４】次に、本発明の別の実施例を説明する。図
１に示したような透過電子顕微鏡では、前述したよう
に、試料面に電子線を照射すると、その照射された部分
の透過電子顕微鏡像がレンズ系３〜６に設定した倍率で
拡大されて、蛍光スクリーン８上に結像するものであ
る。したがって、試料面上における電子線の照射範囲
（広がりの大きさ）と、レンズ系３〜６の倍率、及び蛍
光スクリーン８上の透過電子顕微鏡像の大きさとの間に
は密接な関係がある。

【００３５】そこで、蛍光スクリーン８上に像を結んで
いる試料部分に対して電子線が照射されているものと仮
置きすれば、蛍光スクリーン８の実効的なスクリーンサ
イズとレンズ系３〜６の倍率とがわかれば、逆に試料面
における電子線の広がりの大きさを知ることができる。
すなわち、実効的なスクリーンサイズをＳ、レンズ系の
倍率をＭとすれば、試料面における電子線の照射領域の
面積Ｒは、 Ｒ＝Ｍ／Ｓ によって求めることができる。例えば、蛍光スクリーン
８のスクリーンサイズを２００ｍｍφ、レンズ系３〜６
の倍率を２０００倍として観察を行っている場合には、 Ｒ＝２００ｍｍφ／２０００＝１００μｍφ となり、試料面では１００μｍφの範囲に電子線が照射
されていると考えることができる。そして、電子線の照
射領域の形状を円とし、その中心が光軸（蛍光スクリー
ンの中心）にあるとすれば、試料面での照射領域は光軸
位置を中心として半径５０μｍの範囲と判定することが
できる。また、その照射面積は、１００μｍφの円とし
て簡単に求めることができる。

【００３６】したがって、透過電子顕微鏡において、蛍
光スクリーン８の実効的スクリーンサイズに対応した試
料面の範囲、換言すれば蛍光スクリーン８に結像された
試料面の範囲を電子線の広がりの大きさと設定して、演
算手段１５において微小領域単位ごとの電流量を計算す
ることが可能であり、このようにすることにより、演算
手段におけるロードを大幅に軽減することができる。

【００３７】また、予め蛍光スクリーン８の実効的なサ
イズとレンズ系３〜６の各種倍率とに対応させて照射領
域の範囲や照射面積の値等に関するデータを計算し、そ
の数値をマップにして記憶手段１６に記憶させておけ
ば、実際の観察時には、演算手段１５は制御手段１２か
ら蛍光スクリーン８の実効的なサイズとレンズ系３〜６
の各種倍率とを取り込んだ上で対応するデータを記憶手
段１６から読み出せばよいだけとなり、さらにロードを
軽減することができる。

【００３８】次に、図４を用いて、さらに別の実施例を
説明する。図４は本発明を走査電子顕微鏡に適用した場
合の一実施例の構成を示す図であり、図中、４１は走査
電子顕微鏡本体、４２は電子銃、４３、４４は集束レン
ズ、４５は試料、４６は試料ステージ、４７は偏向コイ
ル、４８は検出器、４９はステージ駆動手段、５０は偏
向コイル電源、５１はレンズ電源、５２は制御手段、５
３は操作手段、５９は加算手段、６０は表示手段であ
る。また、同図中、図１と同等な構成要素については同
一の符号を付す。

【００３９】図４における走査電子顕微鏡本体４１は、
従来より知られている一般的な走査電子顕微鏡であり、
その基本的な動作は次のようである。すなわち、電子銃
４２から放射される電子線は、集束レンズ３、４によっ
て細く収束されて、試料ステージ４２上に保持された試
料４５に照射される。この電子線は偏向コイル４７によ
って試料４５上を二次元的に走査される。そして、試料
４５から放出される二次電子等が検出器４８で電気信号
として検出され、加算手段５９を経て表示手段６０に表
示される。この透過電子顕微鏡像の倍率は、観察者によ
って操作手段５３から入力される指令に応じ、制御手段
５２が偏向コイル電源５０及びレンズ電源５１を操作す
ることによって可変制御される。また、試料面の視野の
移動は、同じく操作手段５３からの指令に基づいて、制
御手段５２がステージ駆動手段４９及び偏向コイル電源
５０を制御することによって実行される このような基本的な走査電子顕微鏡の構成に加え、本実
施例ではさらに、電流検出手段１４、演算手段１５、記
憶手段１６、１７、表示手段１８が備えられている。こ
れらの各構成要素は図１で説明したものと同じであり、
その動作についても図１を用いて説明した一実施例と同
様であるので、ここでは重複する説明は省略する。

【００４０】なお、図４に示したような走査電子顕微鏡
においては、もともと二次電子像等を表示するための表
示手段６０を備えているため、この表示手段６０と電子
線照射状況を識別表示するための表示手段１８とを共用
することも可能である。この場合には、表示手段の画面
を二分割して二次電子像等と電子線照射状況を表示する
画像とを同時に表示することもできるが、観察者からの
指示等に応じて、２つの画像を適宜切り替えて表示する
ようにしてもよい。

【００４１】以上、本発明のいくつかの実施例について
説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものでは
なく、種々の変形が可能であることは当業者に明らかで
ある。例えば、試料によっては低い倍率で観察を行って
いる場合には、試料面における電子線照射損傷がほとん
ど問題にならないような場合もある。そのような場合に
は、ある所定の倍率以上で観察するときだけ、上記の電
子線照射量の演算が行われるようにしてもよい。また、
１度観察した領域にポイント番号を自動的に付すように
し、再度観察する場合には、そのポイント番号を入力す
るだけで、所望の既観察領域が観察できるようにステー
ジ駆動手段等を制御するようにしてもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例の構成を示す図である。

【図２】 本発明の一実施例において、試料面上におけ
る電子線の広がりと微小領域単位の升目との関係を表し
た図である。

【図３】 本発明の一実施例における表示手段の表示例
を示す図である。

【図４】 本発明の別の実施例の構成を示す図である。

【符号の説明】

１…透過電子顕微鏡本体、２…試料ステージ、３…対物
レンズ、４、５…中間レンズ、６…投影レンズ、７…偏
向コイル、８…蛍光スクリーン、９…ステージ駆動手
段、１０…偏向コイル電源、１１…レンズ電源、１２…
制御手段、１３…走査手段、１４…電流検出手段、１５
…演算手段、１６、１７…記憶手段、１８…表示手段、
４１…走査電子顕微鏡本体、４２…電子銃、４３、４４
…集束レンズ、４５…試料、４６…試料ステージ、４７
…偏向コイル、４８…検出器、４９…ステージ駆動手
段、５０…偏向コイル電源、５１…レンズ電源、５２…
制御手段、５３…操作手段、５９…加算手段、６０…表
示手段。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01J 37/04 H01J 37/22

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】試料面内の観察可能な領域を微小な領域単
   位に分割し、当該領域単位ごとにデータを読み書きでき
   る記憶領域を有する記憶手段と、 前記微小な領域単位に対応させてデータを表示しうる表
   示手段と、 観察時に、試料に照射される電子線の総電流量と広がり
   の大きさとから、前記微小な領域単位ごとに照射された
   単位時間ごとの電流量を逐次計算し、その電流量計算値
   を順次積算させながら前記記憶手段の各々の記憶領域に
   データとして記憶させるとともに、その記憶された領域
   単位ごとのデータを所定の電流量積算値の範囲ごとに表
   示方法を変えて前記表示手段に表示させる演算手段とを
   備えることを特徴とする電子顕微鏡。
2. 【請求項２】電子顕微鏡が透過電子顕微鏡であり、演算
   手段において、蛍光スクリーンに結像された試料面の範
   囲を前記電子線の広がりの大きさと設定して前記領域単
   位ごとの電流量を計算することを特徴とする請求項１記
   載の電子顕微鏡。