JP2995606B2 - 超音波送信及び又は受信装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は超音波送信及び又は受信
装置に関し、例えば超音波診断装置の超音波送受信器に
適用して好適なものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば生体内部の組織状態を検査
し、又は診断する手段の１つとして超音波診断装置が広
く用いられている。超音波診断装置は、超音波を被検体
の内部に放射したときに当該被検体内部の各物体点にお
いて散乱した当該超音波（以下これを散乱波と呼ぶ）の
一部を受波し、当該散乱波の強度及び伝送時間に基づい
てモニタ画面の輝度を濃淡させることにより被検体の内
部を画像表示するようになされている。

【０００３】例えば特開平2-63440 号公報に開示されて
いる図１５に示すような超音波診断装置１では、超音波
を被検体２に向けて放射する第１及び第２の送信器３、
４と散乱波を受波する受信器５とを有する。この場合第
１及び第２の送信器３、４は、それぞれパルス発振器６
からスイツチ７を介して所定のタイミングで順次供給さ
れる所定電圧の駆動パルス信号Ｓ１に基づいて検査領域
全域に向けて所定周波数の平面波状の超音波を順次送波
し得るようになされている。

【０００４】受信器５においては、その受信面に例えば
圧電素子でなる複数の受信素子が配設されてなる。この
場合各受信素子は、入射する散乱波の強度に応じたレベ
ルの信号電圧を発生し、これを受信信号Ｓ２として信号
処理部８のマルチプレクサ回路９に送出するようになさ
れている。これにより当該超音波診断装置１において
は、検査モード時、第１の送信器３がパルス発生回路６
から供給される駆動パルス信号Ｓ２に基づいて超音波を
検査領域に向けて送波すると共に、マルチプレクサ回路
９がこの結果として受信器５の各受信素子から供給され
る受信信号Ｓ２のうち超音波の送波前に予め選定した受
信素子から供給される受信信号Ｓ１だけを対数アンプ１
０を介してアナログデイジタル変換回路１１に送出し、
これを当該アナログデイジタル変換回路１１においてア
ナログデイジタル変換した後メモリ１２に記憶させる。

【０００５】続いて超音波診断装置１は、同様の動作を
受信器５の各受信素子に対して順次実行すると共に、こ
の後第２の送信器４を用いて同様の動作を実行すること
により、各受信素子から出力される受信信号Ｓ２に基づ
く散乱波の強度データを順次メモリ１２に蓄えるように
なされている。ここでメモリ１２に蓄えられる各強度デ
ータには、それぞれ検査領域内の各点において反射した
各散乱波の強度データが混じつている。すなわち図１６
に示すように、送信器３、４から送信された超音波が物
体点ａに入射し、かつ送信器３、４から送信された超音
波が物体点ｂに入射するものとすると、受信器５の第
１、第２、第３及び第４の各受信素子２０Ａ、２０Ｂ、
２０Ｃ及び２０Ｄにはそれぞれ物体点ａにおいて散乱さ
れた散乱波と物体点ｂにおいて散乱された散乱波とがそ
れぞれ入射する。

【０００６】従つてこの受信器５の第１〜第４の各受信
素子２０Ａ〜２０Ｄからは、それぞれ図１７（Ａ）、図
１７（Ｂ）、図１７（Ｃ）及び図１７（Ｄ）に示すよう
な物体点ａから入射する散乱波の強度に応じた信号レベ
ルの第１のパルスＰ１Ａ、Ｐ１Ｂ、Ｐ１Ｃ、Ｐ１Ｄと物
体点ｂから入射する散乱波の強度に応じた信号レベルの
第２のパルスＰ２Ａ、Ｐ２Ｂ、Ｐ２Ｃ、Ｐ２Ｄとを含ん
だ受信信号Ｓ２Ａ、Ｓ２Ｂ、Ｓ２Ｃ及びＳ２Ｄが出力さ
れる。このため通常この種の診断装置では、メモリ１２
に蓄えられた各強度データから所望の物体点における超
音波の散乱強度を得る場合には、各強度データの中から
当該物体点で散乱された散乱波の強度に関するデータ部
分をそれぞれ取り出し、これらを足し合わせることによ
り加算結果をこの物体点における最終的な超音波の散乱
強度としている。

【０００７】この場合、被検体２内部の任意の物体点の
座標を（Ｘ₀ 、Ｙ₀ 、Ｚ₀ ）、受信器の任意の受信素子
（以下これを第Ｋの受信素子）の座標を（Ｘ_SK、Ｙ_SK、
Ｚ_SK）、点（Ｘ₀ 、Ｙ₀ 、Ｚ₀ ）及び点（Ｘ_SK、Ｙ_SK、
Ｚ_SK）間の平均音速をＶ、及び送信器３、４から出力さ
れた超音波が物体点（Ｘ₀ 、Ｙ₀ 、Ｚ₀ ）に到達するま
での時間をＴ_A とすると、送信器３、４から出力された
超音波が物体点（Ｘ₀、Ｙ₀ 、Ｚ₀ ）において散乱され
た後受信器５の第Ｋの受信素子に入射するまでの時間Ｔ
₀ は、送信器３、４から出力された超音波が物体点（Ｘ
₀ 、Ｙ₀ 、Ｚ₀）に達するまでの時間Ｔ_A が次式

【数１】 で与えられ、かつこれによつて生じた散乱波が物体点
（Ｘ₀ 、Ｙ₀ 、Ｚ₀ ）から当該第Ｋの受信素子に達する
までの時間Ｔ_B が次式

【数２】 で与えられることから次式

【数３】 のように表すことができる。

【０００８】従つてこの場合、送信器３、４から超音波
を発射した時間をｔ＝０とし、第Ｋの受信素子から出力
された受信信号Ｓ２に基づく物体点（Ｘ₀ 、Ｙ₀ 、
Ｚ₀ ）における超音波の散乱強度をＳ_K （ｔ）とする
と、最終的な当該物体点（Ｘ₀ 、Ｙ₀ 、Ｚ₀ ）の超音波
の散乱強度Ｋは次式

【数４】 から得ることができる。これにより超音波診断装置１で
は、メモリ１２に記憶された複数の強度データを用い、
３次元像復元回路２１において（４）式に基づく演算を
実行することにより検査領域内の各サンプリング点（例
えば10×10×10〔cm³ 〕の検査領域で１〔mm〕ステツプ
でサンプリング点を設定したとして100 ×100 ×100
個）における超音波の散乱強度をそれぞれ順次算出し、
かくして得られた各サンプリング点の散乱強度データに
基づいて例えばデイスプレイ２２の表示画面の輝度の濃
淡を変化させることにより被検体２の内部の様子を３次
元的に再現するようになされている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところでこの種の診断
装置１においては、各送信器３、４から検査領域全域に
超音波を送波する構造のために当該検査領域内の任意の
点における超音波の音圧は微弱であり、従つて受信器５
に入射する散乱波の音圧も微弱なものとなる。このため
この種の診断装置１に用いる受信器５としては、できる
だけ高感度であるものが望まれる。ここで受信器５の感
度を上げるためには、受信素子としてできるだけ広い領
域からの散乱波を検出でき（すなわち指向性が小さ
い）、かつ特性が揃つているものを使用すれば良い。

【００１０】この場合、例えば図１８に示すように、一
定音圧の超音波（波長をλとする）が円形形状の受信素
子（直径をｄとする）に入射する場合には、当該受信素
子の直径ｄが小さい方が斜め方向から入射する超音波に
対して感度の低下が少ない。従つて受信素子の指向性を
小さくするためには受信素子の直径を波長単位でなるべ
く小さくすれば良い。ところが図１５に示すように、こ
の種の超音波診断装置１の場合、受信器５の各受信素子
はそれぞれ当該各受信素子に接続されているリード線を
介して信号処理回路部８に受信信号Ｓ２を送出している
ために当該受信信号Ｓ２の伝送時における減衰率が大き
い（すなわち受信信号Ｓ２の伝送効率が悪い）問題があ
る。

【００１１】例えば受信素子及びリード線間の静電容量
に対する等価回路を示す図１９において、受信素子２０
Ａ（２０Ｂ〜２０Ｄ）に発生した電圧をＶ₀ 、当該受信
素子の静電容量をＣ₀ 、リード線の浮遊容量をＣ_S とす
ると、当該リード線を介して出力される電圧Ｖ_OUT は、
次式

【数５】 のように与えられる。従つて受信素子２０Ａ（２０Ｂ〜
２０Ｄ）として受信面積が0.78〔mm² 〕、厚さがほぼ16
0 〔μm 〕のポリフツ化ビニリデンを用いるものとする
と、当該受信素子の静電容量Ｃ₀ はほぼ0.5 〔pF〕であ
り、従つてリード線の浮遊容量Ｃ_S を10〔pF〕とすると
当該リード線を介して出力される受信信号の信号レベル
は20分の１に低下する。

【００１２】このため当該超音波診断装置１では、受信
器５に用いる各受信素子の受信面積を小さくすればする
ほど当該各受信素子の静電容量が小さくなるために、受
信信号Ｓ２の伝送効率がさらに低下する問題があり、従
つて各受信素子の受信面積を小さくし難いために受信器
５の感度を向上させ難い問題があつた。またこの種の診
断装置１においては、（３）式及び（４）式からも明ら
かなうように、測定及び演算結果として得られる散乱強
度には送信器３、４の配設位置と受信器５の配設位置に
関する情報が含まれており、従つてこれらの位置が不正
確である場合には被検体２内部の注目する物体点の再現
像を得る際、送信器として第１の送信器３を用いる場合
と第２の送信器４を用いる場合とで同一の点が空間的に
一致せずに像に歪みが生じることがある。

【００１３】従つてこの種の診断装置１では、このよう
な像の歪みの発生を回避するために第１及び第２の送信
器３、４と受信器５との位置関係を精密に調整する必要
がある。ところが、このような調整作業は煩雑であり、
また当該調整作業に用いる調整装置が高価であるために
超音波診断装置１自体の価格が高くなる問題があつた。

【００１４】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、信号の伝送効率を劣化させずに広い領域から入射す
る超音波を高感度で検出でき、かつ煩雑な調整作業を必
要としない超音波送信及び又は受信装置を提案しようと
するものである。

【００１５】かかる課題を解決するため本発明において
は、基板４０と、基板４０の一面に配置された複数の電
極４１と、基板４０の一面のうち各電極４１及び各電極
４１の周辺部４２を除くほぼ全面に亘つて各電極４１と
絶縁した状態に形成された導電性の駆動電極層４３、７
２と、電極４１及び駆動電極層４３、７２に積層され、
外部から入射する超音波の強度に応じた信号レベルの信
号電圧を厚さ方向に発生すると共に、駆動電極層４３、
７２に所定電圧の駆動信号Ｓ１０、Ｓ１０Ｘ、Ｓ１０Ｙ
が供給されたときに励振することにより外部に所定周波
数の超音波を放射する圧電変換手段４４と、基板の他面
に配置されたインピーダンス変換機能を有するインピー
ダンス変換手段４８と、基板４０を貫通して各電極４１
及びインピーダンス変換手段４８を電気的に接続する接
続手段４７とを設け、各電極４１と対向する領域内にあ
る圧電変換手段４４の内部で発生した信号電圧を、それ
ぞれ対応する各電極４１、接続手段４７及びインピーダ
ンス変換手段を介して出力するようにした。

【００１６】また本発明においては、超音波受信装置に
おいて、超音波の受信面３３Ａ、７１Ａに、入射する超
音波の強度に応じた信号レベルの信号Ｓ１１を出力する
複数の受波手段３４を、近接する少なくとも３つの中心
が同一直線上に位置しないように、受信面３３Ａ、７１
Ａの全面に分散して配置するようにした。さらに本発明
においては、超音波送受信装置において、超音波の送受
信面３３Ａ、７１Ａに、入射する超音波の強度に応じた
信号レベルの信号Ｓ１１を出力する複数の受波手段３４
を全面に分散して設けると共に、当該送受信面３３Ａ、
７１Ａに、超音波を送波する送波手段４３、４４を全面
に亘つて受波手段３４を避けて設けるようにした。さら
に本発明においては、超音波受信装置において、基板４
０の一面に複数設けられ、入射する超音波の強度に応じ
た信号レベルの信号Ｓ１１を出力する圧電変換手段３４
と、圧電変換手段３４にそれぞれ対応させて基板４０の
他面に設けられたインピーダンス変換機能を有するイン
ピーダンス変換手段４８とを設け、各圧電変換手段３４
から出力される信号Ｓ１１をインピーダンス変換手段４
８を介して外部に出力するようにした。

【００１７】

【００１８】

【作用】基板４０の一面に複数の電極４１を配置すると
共に、当該電極４１及びその周辺部４２を除く当該基板
４０の一面全面に当該電極４１と絶縁した状態に導電性
の駆動電極層４３、７２を形成し、かつ当該電極４１及
び駆動電極層４３、７２に圧電変換手段４４を積層した
ことにより、煩雑な調整作業を必要とせずに超音波の送
信部としての圧電変換手段４４と受信部としての電極４
１との間に常に一定の位置関係を得ることができる。

【００１９】また超音波の受信面３３Ａ、７１Ａに、受
波手段３４を当該受信面３３Ａ、７１Ａの全面に分散す
るように、かつ近接する少なくとも３つの中心が同一直
線上に位置しないように配置するようにしたことによ
り、アーチフアクトの発生を未然に防止することができ
る。さらに超音波の送受信面３３Ａ、７１Ａに、入射す
る超音波の強度に応じた信号レベルの信号Ｓ１１を出力
する複数の受波手段３４を全面に分散するように設ける
と共に、当該送受信面３３Ａ、７１Ａに、超音波を送波
する送波手段４３、４４を全面に亘つて受波手段３４を
避けて設けるようにしたことにより、煩雑な調整作業を
必要とせずに受波手段３４及び送波手段４３、４４の位
置関係を常に一定とすることができる。さらに基板４０
の一面に複数設けられ、入射する超音波の強度に応じた
信号レベルの信号Ｓ１１を出力する圧電変換手段３４
と、圧電変換手段３４にそれぞれ対応させて基板４０の
他面に設けられたインピーダンス変換手段４８とを設
け、各圧電変換手段３４から出力される信号Ｓ１１をイ
ンピーダンス変換手段４８を介して外部に出力するよう
にしたことにより、各圧電変換手段３４から出力される
信号Ｓ１１をそれぞれ効率良く外部に出力することがで
きる。

【００２０】

【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。

【００２１】（１）第１実施例 （１−１）超音波診断装置の全体構成 図１５との対応部分に同一符号を付して示す図１におい
て、３０は全体として超音波診断装置を示し、駆動電源
部３１は高圧のパルス電圧を発生し、これを駆動信号Ｓ
１０としてスイツチ部３２を介して超音波送受信器３３
に送出する。

【００２２】超音波送受信器３３は、駆動信号Ｓ１０に
基づくパルス電圧の入力に応じて超音波の送受信面（以
下、これを単に送受信面３３Ａと呼ぶ）から順次所定周
波数の超音波を検査領域に向けて送波する。また超音波
送受信器３３においては、当該送受信面３３Ａに複数の
受信信号出力部３４を有し、超音波の送波後、各受信信
号出力部３４に入射する散乱波の強度に応じた信号レベ
ルの受信信号Ｓ１１をそれぞれ各受信信号出力部３４か
らマルチプレクサ回路９に送出する。

【００２３】マルチプレクサ回路９は、超音波送受信器
３３から供給される複数の受信信号Ｓ１１の中から超音
波の送波前に予め選択した受信信号出力部３４から供給
される受信信号Ｓ１１だけを対数アンプ１０を介してア
ナログデイジタル変換回路１１に送出し、これにより当
該受信信号Ｓ１１に基づく当該受信信号出力部３４に入
射した散乱波の強度データをメモリ１２に記憶させる。
さらに当該超音波診断装置３０では、同様の動作を各受
信信号出力部３４に対して実行し、これにより各受信信
号出力部３４から出力される各受信信号Ｓ１１に基づい
て得られる各受信信号出力部３４に入射した散乱波の各
強度データを順次メモリ１２に蓄える。

【００２４】さらに当該超音波診断装置３０では、この
後３次元像復元回路２１によつて図１５において説明し
た場合と同様の演算を実行することにより検査領域内の
各サンプリング点における超音波の散乱強度を順次得、
当該各散乱強度に基づいてデイスプレイ２２の表示画面
の対応部分を濃淡させることにより被検体２の内部の様
子を３次元的に再現するようになされている。

【００２５】実際上超音波送受信器３３においては、超
音波を受波し、かつ送波する受波する手段として、図２
及び図３に示すように、プリント基板４０の一面に受波
信号出力部３４を形成する円形状の受信素子電極４１が
２次元マトリクス状に設けられ、当該プリント基板４０
の各受信素子電極４１及び各受信素子電極４１の周辺部
（以下これをリング状ギヤツプ４２と呼ぶ）を除く送受
信面のほぼ全面に亘つて形成された導電性の駆動電極層
４３において駆動信号Ｓ１０を受信するようになされて
いる。

【００２６】この場合駆動電極層４３及び各受信素子電
極４１の受信面には厚さ方向に分極された圧電性の高分
子フイルム（高分子圧電フイルム）が積層されることに
より圧電層４４が形成されると共に、当該圧電層４４に
はアース接地された導電性のグランド電極層４５及び絶
縁性の保護膜層４６がそれぞれ順次形成されている。こ
れにより当該超音波送受信器３３においては、駆動電極
層４３に駆動信号Ｓ１０に基づく高圧パルス電圧が供給
された状態では高分子圧電フイルムが励振し、かくして
当該高分子圧電フイルムから平面波状の超音波を放射し
得るようになされている。

【００２７】また特に図３からも明らかなように、各受
信素子電極４１はプリント基板４０を貫通するように形
成された導電性の貫通孔４７（以下、これをスルーホー
ル４７と呼ぶ）を介してプリント基板４０の他面（以
下、この面を裏面と呼ぶ）に当該各受信素子電極４１と
それぞれ対応するように設けられたインピーダンス変換
回路４８と電気的に接続されている。これにより当該超
音波送受信器３３においては、外部から送受信面３３Ａ
に入射する散乱波の強度に応じた信号レベルで圧電層４
４の内部で発生する信号電圧を各受信素子電極４１でそ
れぞれ受信し、これを各受信素子電極４１から受信信号
Ｓ１１としてそれぞれスルーホール４７及びインピーダ
ンス変換回路４８を介してマルチプレクサ回路９に送出
するようになされている。

【００２８】この実施例の場合、図１に示すように、ス
イツチ部３２は第１及び第２のスイツチ切換え端３２Ａ
及び３２Ｂを有し、駆動電源部３１から出力された駆動
信号Ｓ１０を第１のスイツチ切換え端３２Ａにおいて入
力すると共に、第２のスイツチ切換え端３２Ｂがアース
接地されている。この場合当該スイツチ部３２において
は、通常、第１のスイツチ切換え端３２Ａに接続されて
いるスイツチが、駆動信号Ｓ１０に基づく１パルス分の
パルス電圧が通過する毎に第２のスイツチ切換え端３２
Ｂに順次切り換わるようになされ、これにより超音波送
受信器３３の受波時に超音波送受信器３３の各受信素子
電極４１と対向する領域外の圧電層３４内部で発生され
た信号電圧をアース放電し、かくして当該信号電圧がイ
ンピーダンス変換回路４８に流れ込むのを防止し得るよ
うになされている。

【００２９】またこの実施例の場合、超音波送受信器３
３においては、圧電層４４を形成する圧電高分子フイル
ムとして、厚みがほぼ0.16〔mm〕、面積が12×12〔c
m² 〕の厚み方向に分極されたフツ化ビニリデン−３フ
ツカエチレン共重合体を用い、当該圧電高分子フイルム
をエポキシ系の接着剤を用いて駆動電極層４３及び受信
素子電極４１の受信面に接着することにより検査領域に
向けて3.5 〔MHz 〕の超音波を出力し得るようになされ
ている。このため当該超音波送受信器３３では、各受信
素子電極４１の直径を圧電層４４から出力される超音波
のほぼ２波長分に相当する0.9 〔mm〕に選定し、これに
より各受信素子としての受信信号出力部３４の指向性を
小さくし得るようになされている。また各スルーホール
４７は直径が0.2 〔mm〕に選定され、これにより中央部
に穴が開いていることによる当該各受信素子電極４１の
受信特性にほぼ影響を与え得ないようになされている。

【００３０】さらにこの実施の形態の場合、各インピー
ダンス変換回路４８は、図４に示すように電界効果型ト
ランジスタ（FET :Field Effect Transistor）Ｔ１を用
いて構成されている。この場合この電界効果型トランジ
スタＴ１においては、ゲート端子が受信素子電極４１の
第１の信号出力端に接続されると共に、ソース端子が抵
抗Ｒ１を介して受信素子電極４１の第２の信号出力端と
共にアース接地されている。また電界効果型トランジス
タＴ１においては、ドレイン端子が所定電圧（＋Ｖ）の
駆動電源に接続されていると共に、ゲート端子が抵抗Ｒ
２を介して所定電圧（−Ｖ）の駆動電源に接続され、こ
れにより受信素子電極４１から供給される受信信号Ｓ１
１をほぼ同じ信号レベルでソース端子及び抵抗Ｒ２の接
続中点からマルチプレクサ回路９に送出し得るようにな
されている。

【００３１】さらに当該インピーダンス変換回路４８に
おいては、抵抗Ｒ１に対して入力保護回路５０を形成す
るダイオードＤ１及びＤ２がそれぞれ互いに逆向きに並
列接続され、これにより駆動電極層４３に印加される駆
動信号Ｓ１０に基づく高圧パルス電圧が各受信素子電極
４１に流れ込むのを防止し、かくして当該高圧パルス電
圧の流入に起因する電界効果型トランジスタＴ１の破損
及びインピーダンス変換回路４８の飽和による一時的な
動作不良を防止し得るようになされている。さらに当該
インピーダンス変換回路４８においては、電界効果型ト
ランジスタＴ１として入力容量が１〔pF〕以下のものが
使用され、これにより受信信号Ｓ１１をマルチプレクサ
回路９に送出する際の当該受信信号Ｓ１１の減衰を効果
的に防止し得るようになされている。

【００３２】さらにこの実施例の場合、各リング状ギヤ
ツプ４２には、図５に示すように、導電性の環状のガー
ドリング６０が形成されると共に当該各ガードリング６
０はスルーホール６１を介してプリント基板４０の裏面
でアース接地されている。これにより当該超音波送受信
器３３は、駆動電極層４３に印加される駆動信号Ｓ１０
に基づく高圧パルス電圧が各受信素子電極４１に流れ込
むのを防止し、かくして当該高圧パルス電圧の流入に起
因する電界効果型トランジスタＴ１の破損及びインピー
ダンス変換回路４８の飽和による一時的な動作不良を防
止し得るようになされている。

【００３３】（１−２）第１実施例の動作 以上の構成において、この超音波送受信器３３では、駆
動信号Ｓ１０の入力に応じて圧電層４４が励振されるこ
とにより当該圧電層４４から当該圧電層４４の厚さ方向
に所定周波数の平面波状の超音波を放射する。また駆動
信号Ｓ１０が供給されていない状態では各受信素子電極
４１に入射する散乱波の強度に応じて当該各受信素子電
極４１と対向する圧電層４４内部において発生した信号
電圧を対応する各受信素子電極４１で受信し、これをそ
れぞれスルーホール４７及びインピーダンス変換回路４
８を介して続く信号処理回路（この実施例ではマルチプ
レクサ回路９）に送出する。

【００３４】この場合当該超音波送受信器３３では、超
音波送信手段としての圧電層４４と超音波受信手段とし
ての各受信素子電極４１との位置関係が常に一定である
ために超音波送信手段及び超音波受信手段間の位置調整
を必要としない。また当該超音波送受信器３３では、受
信信号Ｓ１１の出力段にインピーダンス変換回路４８を
設けたことにより受信信号Ｓ１１の伝送時における減衰
を効果的に低減できる。従つて当該超音波送受信器３３
においては、インピーダンス変換回路４８の入出力特性
を調整することによつて各受信素子電極４１の静電容量
の低下に伴う受信信号Ｓ１１の伝送効率の低下を防止す
ることができ、かくして伝送効率を低下させずに受信素
子電極４１の受信面の面積を小さくすることができる。

【００３５】（１−３）第１実施例の効果 以上の構成によれば、プリント基板４０の送受波面に複
数の受信素子電極４１及び厚み方向に分極された高分子
圧電フイルムを順次積層するようにしたことにより、超
音波送信手段と超音波受信手段との位置関係を常に正確
に得ることができ、かくして送信部と受信部との間の煩
雑な位置調整作業を必要としない超音波送受信器を実現
できる。

【００３６】またこの場合、各受信素子電極４１をスル
ーホール４７を介してプリント基板４０の裏面に配設さ
れたインピーダンス変換回路４８に接続し、各受信素子
電極４１が受信した信号電圧をスルホール４７及びイン
ピーダンス変換回路４８を介して続く信号処理回路に送
出するようにしたことにより、受信素子電極４１の受信
面の面積を小さくすることに起因する信号の伝達ロスを
効果的に防止することができる。従つて必要に応じて各
受信素子電極４１の受信面の面積を小さくすることがで
き、かくして信号の伝送効率を低下させずに広い領域か
ら入射する超音波を高感度で検出できる超音波送受信器
を実現できる。

【００３７】（２）第２実施例 （２−１）超音波診断装置の全体構成 図１との対応部分に同一符号又は同一符号に添字Ｘ、Ｙ
を付して示す図６は第２実施例による超音波診断装置７
０を示し、超音波送受信器７１の駆動電極層が複数部分
に分割されていることと受信素子電極４１の配置状態を
除いてほぼ第１実施例の超音波診断装置３０と同様に構
成されている。すなわち当該超音波診断装置７０におい
ては、複数の駆動電源回路３１Ｘ、３１Ｙ及びスイツチ
回路３２Ｘ、３２Ｙを有し、当該各駆動電源回路３１
Ｘ、３１Ｙがそれぞれ駆動信号Ｓ１０Ｘ、Ｓ１０Ｙを同
じタイミングで各スイツチ回路３２Ｘ、３２Ｙを介して
超音波送受信器７１に送出するようになされている。

【００３８】超音波送受信器７１においては、図２及び
図３との対応部分に同一符号を付して示す図７及び図８
のように、駆動電極層７２がギヤツプ７３によつて複数
の駆動電極層部７２Ａ、７２Ｂに分割され、駆動電源回
路３１Ｘ、３１Ｙから供給される駆動信号Ｓ１０Ｘ、Ｓ
１０Ｙをそれぞれ対応する当該各駆動電極層部に７２
Ａ、７２Ｂにおいて受信するようになされている。この
場合当該駆動電極層７２の分割数は、駆動電源回路３１
Ｘ、３１Ｙの出力インピーダンスの大きさに応じて選定
されており、これにより当該超音波送受信器７１及び駆
動電源回路３１Ｘ、３１Ｙ間のインピーダンス整合の不
釣り合いに起因する超音波送受信器７１全体の超音波の
送波効率の低下を防止し得るようになされている。

【００３９】また超音波送受信器７１においては、特に
図７からも明らかなように、各受信素子電極４１がその
送受信面７１Ａにお互いに近接する任意の３つができる
だけ同一直線上に位置せず、かつ全面に亘つて均一に分
散するような条件の元でほぼランダムに配置されてい
る。すなわち、図９のように平面波形状の超音波を送波
する平面Ｐ上に複数の受信素子８０Ａ、８０Ｂ、８０
Ｃ、８０Ｄが同一直線Ｋ１上に配置されている場合、当
該直線Ｋ１を含み平面Ｐと垂直な平面をＱ、当該平面Ｐ
と平行な平面をＲ、当該平面Ｒ上の任意の物体点をα、
当該物体点αと平面Ｑに対して面対称な点をβとする
と、直線Ｋ１上にある各受信素子８０Ａ〜８０Ｄから物
体点αまでの距離と各受信素子８０Ａ〜８０Ｄから点β
までの距離とはそれぞれ等しく、従つて平面Ｐから送波
された超音波が物体点αで散乱された後直線Ｋ１上にあ
る任意の受信素子８０Ａ〜８０Ｄに入射する時間と送受
波面７１Ａから送波された超音波が点βで散乱された後
当該受信素子８０Ａ〜８０Ｄに入射する時間とが等しく
なる。

【００４０】従つて当該各受信素子電極８０Ａ〜８０Ｄ
の出力に基づく強度データ及び（４）式を用いて点βに
おける超音波の散乱強度を求める場合には、結果的に物
体点αの散乱強度に関するデータ部分を用いることにな
り、この結果点βの位置に物体がない場合でもある程度
の大きさの散乱強度が得られるために演算結果に基づく
表示映像に虚像（以下これをアーチフアクトと呼ぶ）が
生じるおそれがある。

【００４１】ただしこの場合においても、例えば受信素
子電極８０Ｄが他の受信素子電極８０Ａ〜８０Ｃに対し
て遠く離れているときには、点βの散乱強度の計算結果
に対する当該受信素子電極８０Ｄの寄与は小さい。この
ため当該超音波送受信器７１では、各受信素子電極４１
をお互いに近接する任意の３つの受信素子電極４１がで
きるだけ同一直線上に位置しないように配置することに
よりアーチフアクトの発生を未然に防止し得るようにな
されている。

【００４２】また例えば図９との対応部分に同一符号を
付して示す図１０において、平面Ｒ上にある２つの物体
点をそれぞれＵ及びＶとし、当該各物体点Ｕ及びＶから
送受信面Ｐにおろした垂線のあしをそれぞれＵ_P 、Ｖ_P
とする。ここで、一般的に受信素子が図１８に示すよう
な指向特性を有し、かつ散乱波の音圧レベルが当該散乱
波の発生源までの距離に反比例することから、例えば物
体点Ｕにおいて生じた散乱波が同じ入射角及び同じ音圧
レベルで入射する、点Ｕ_P を中心とした半径ｒの円周上
にある各受信素子からは当該物体点Ｕにおいて生じた散
乱波の入射に応じてそれぞれ同じレベルの出力が得られ
る。この出力は、当該半径ｒの増加に伴つて急減する。

【００４３】従つて平面Ｐ上に配置された複数の受信素
子（図示せず）の各出力及び（４）式に基づいて第１実
施例と同様にして各物体点Ｕ及びＶにおける超音波の散
乱強度を算出するとき、点Ｕ_P 及び点Ｖ_P をそれぞれ中
心とする所定半径ｒの各範囲内に存在する受信素子の数
が大きく異なる場合には、本来同じ程度の散乱強度が得
られるはずの各計算結果が大きく異なつてくるおそれが
ある。このため当該超音波送受信器７１では、各受信素
子電極４１を送受信面に均一に分布することにより検査
領域内の各サンプリング点における散乱強度を正確に得
ることができるようになされている。

【００４４】実際上この超音波送受信器７１では、各受
信素子電極４１をお互いに近接する任意の３つができる
だけ同一直線上に位置せず、かつ全面に亘つて均一に分
散するように送受信面７１Ａに配置する方法として、図
１１に示すように、送受信面７１Ａの中央部に受信素子
電極４１を配置する領域（以下、これを受信素子電極存
在領域７１Ｂと呼ぶ）を設定すると共に、図１２に示す
ように、当該受信素子電極存在領域７１Ｂを横幅がLn、
縦幅がLmの長方形に順次分割する複数の仮想的な縦線Ｋ
１０及び横線Ｋ１１を考え、当該各縦線Ｋ１０及び各横
線Ｋ１１の各交点Ｏとそれぞれ重心が一致する複数の長
方形形状の各領域（以下これを電極配置領域７１Ｃと呼
ぶ）内にそれぞれ１つずつの受信素子電極４１をランダ
ムに配置している。

【００４５】すなわち当該超音波送受信器７１では、任
意の受信素子電極４１に対し、まず電極配置領域７１Ｃ
内の交点ＯをＸＹ平面上の原点とし、各電極配置領域７
１Ｃの横方向の幅をLnx （Lnx ≦Ln）、縦方向の幅をLm
x （Lmx ≦Lm）として、コンピユータに乱数を発生させ
ることによりＸ座標値を−Lnx ／２からLnx ／２の範囲
で求め、かつＹ座標値を−Lmx ／２からLmx ／２の範囲
で求める（以下このステツプを乱数決定ステツプと呼
ぶ）。

【００４６】続いて、得られた座標に受信素子電極４１
を配置したときに当該受信素子電極４１が駆動電極層７
２（図７）のギヤツプ７３（図７）に重なるか否かを判
断し、重なるような場合には乱数決定ステツプを繰り返
すことにより当該受信素子電極４１がギヤツプ７３に重
ならないようなＸ座標値及びＹ座標値をそれぞれ決定す
る。（以下このステツプを補正ステツプと呼ぶ）。さら
にこの乱数決定ステツプ及び補正ステツプを各受信素子
電極４１に対して順次実行し、これにより各受信素子電
極４１の配置位置を決定する。

【００４７】続いて決定された各受信素子電極４１のＸ
座標値及びＹ座標値に基づいて当該各受信素子電極４１
の配置位置をモニタ画面にプロツトし、近接する任意の
３つの受信素子電極４１がなるべく同一直線上になく、
かつ当該受信素子電極４１が均一に分散しているか否か
を目視によつて確認する。このとき近接する任意の３つ
の受信素子電極４１が同一直線上になく、かつ均一に分
散している場合にはこのときの各受信素子電極４１の位
置を最終的な配置位置として決定し、これに対して近接
する任意の３つの各受信素子電極４１が同一直線上にあ
り、及び又は均一に分散していない場合には対応する各
受信素子電極４１を近接する任意の３つが同一直線上に
なく、かつ均一に分散するように順次ずらすことにより
各受信素子電極４１の最終的な配置位置を決定してい
る。

【００４８】この実施例の場合、超音波送受信器７１に
おいては、送受信面７１Ａの縦幅及び横幅がそれぞれ12
〔cm〕に選定されると共に、当該送受信面７１Ａに縦幅
及び横幅がそれぞれ11〔cm〕の受信素子電極存在領域７
１Ｂが設定され、検査領域に向けて3.5 〔MHz 〕の超音
波を送波することにより10×10×10〔cm³ 〕の領域を検
査し得るようになされている。このため高分子圧電フイ
ルムとして面積が12×12〔cm² 〕、厚さが0.16〔mm〕の
ポリフツ化ビニリデンを用い、当該ポリフツ化ビニリデ
ンをエポキシ系の接着剤で駆動電極層７２及び受信素子
電極４１に貼着することにより圧電層４４を形成してい
る。

【００４９】この場合超音波送受信器７１においては、
送信部分の静電容量が9000〔pF〕となるために動作周波
数3.5 〔MHz 〕では、極めて小さいインピーダンスとな
る。これを防止するため、駆動電極層７２を４〜７個に
分割し、これにより超音波送受信器７１及び駆動電源回
路３１Ｘ、３１Ｙ間のインピーダンス整合をとつてい
る。また駆動電極層７２の各ギヤツプ７３は幅が0.3
〔mm〕程度に選定されている。

【００５０】（２−３）実施例の効果 以上の構成によれば、各受信素子電極４１を、近接する
３つが同一直線上に位置せず、かつ全面に亘つて均一に
分散するようにそれぞれ超音波送受信器７１の送受信面
７１Ａに配置したことにより、アーチフアクトを低減
し、ゴースト等の発生の少ない明瞭な再生画像を得るこ
とができ、かくして第１実施例よりも信頼性の高い超音
波送受信器を実現できる。また超音波送受信器７１の駆
動電源層７２を所定数に分割したことにより、当該超音
波送受信器７１の送波効率を向上させ得る。

【００５１】（３）他の実施例 なお上述の第１及び第２実施例においては、本発明を超
音波診断装置３０、７０の超音波送受信器３３、７１に
適用するようにした場合について述べたが、本発明はこ
れに限らず、例えば超音波探傷装置等この他被検物の内
部の様子を検出する手段として超音波を用いる種々の装
置の探触子に適用して好適なものである。

【００５２】また上述の第１及び第２実施例において
は、本発明を超音波送受信器３３、７１に適用するよう
にした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、
超音波を受波するだけの受信器又は超音波を送信するだ
けの送信器にも適用して好適なものである。この場合当
該送信電極を接地状態にすることによりノイズの混入を
防止することができる。

【００５３】さらに上述の第１及び第２実施例において
は、平面板状のプリント基板４０を用いて超音波送受信
器３３、７１を形成するようにした場合について述べた
が、本発明はこれに限らず、例えば図１３に示すような
被検物９０の形状に応じて屈曲したプリント基板９１を
用いて超音波送受信器を形成するようにしても良い。

【００５４】さらに上述の第１及び第２実施例において
は、超音波送受信器３３、７１の送受信面７１Ａに形成
された各受信素子電極４１と超音波送受信器３３、７１
の裏面に形成されたインピーダンス変換回路４８とを電
気的に接続する手段としてスルーホール４７を用いるよ
うにした場合について述べたが、本発明はこれに限ら
ず、要は各受信素子電極４１及びインピーダンス変換回
路４８をプリント基板４０を貫通する導電性の接続手段
で電気的に接続するのであれば、接続手段としては特に
スルーホールでなくても良い。

【００５５】さらに上述の第１及び第２実施例において
は、超音波送受信器３３、７１のプリント基板４０の裏
面に各受信素子電極４１に対応させてインピーダンス変
換回路４８を形成するようにした場合について述べた
が、本発明はこれに限らず、各受信素子電極４１から出
力された各受信信号Ｓ１１を減衰によるノイズの影響を
受けずに（又は受け難く）続く信号処理回路８に送出す
ることができるのであれば超音波送受信器３３、７１の
プリント基板４０の裏面にインピーダンス変換回路４８
に代えて増幅回路等この他種々の回路を形成するように
しても良い。

【００５６】さらに上述の第２実施例においては、駆動
電極層７２を４〜７個の駆動電極層部７２Ａ、７２Ｂに
分けるようにした場合について述べたが、本発明はこれ
に限らず、駆動電極層７２の分割数は駆動電源回路３１
Ｘ、３１Ｙのインピーダンスに応じて選定すれば良い。

【００５７】さらに上述の第２実施例においては、各受
信素子電極４１を、近接する３つが同一直線上に位置せ
ず、かつ均一に分散するように送受信面７１Ａに配置す
る方法として、超音波送受信器７１の送受信面７１Ａに
複数の電極配置領域７１Ｃを設定し、当該各電極配置領
域７１Ｃ内にそれぞれ１つずつの受信素子電極４１をラ
ンダムに配置するようにした場合について述べたが、本
発明はこれに限らず、例えば図１２との対応部分に同一
符号を付した図１４に示すように、各交点Ｏとそれぞれ
中心が一致するように複数の円形状の電極配置領域１０
０（例えば半径は圧電層４４から出力される超音波の波
長をλとして10λ程度）を設定し、当該各電極配置領域
１００内に１つずつの受信素子電極４１をランダムに配
置するようにしても良い。

【００５８】因にこの場合各受信素子電極４１の各電極
配置領域１００内における配置位置を決定する方法とし
て、コンピユータを用いて各受信素子電極４１の電極配
置領域１００内における交点Ｏからの距離ｒ_a 及び基準
線からの角度θを乱数により決定し、この後第２実施例
の場合と同様の手順により近接する３つの受信素子電極
４１が同一直線上に位置せず、かつ均一に分散するよう
に超音波送受信器７１の送受信面７１Ａに配置するよう
に補正すれば良い。

【００５９】また各受信素子電極４１の受信素子電極存
在領域７１Ａ（図１１）内における配置位置のＸ座標値
及びＹ座標値を全くランダムにコンピータの乱数で決定
し、この後第２実施例の場合と同様の手順により近接す
る３つの受信素子電極４１が同一直線上に位置せず、か
つ一面に均一に分散するように当該受信素子電極４１を
超音波送受信器７１の送受信面７１Ａに配置するように
補正するようにしても良く、近接する３つが同一直線上
に位置せず、かつ一面に均一に分散するように各当該受
信素子電極４１を超音波送受信器７１の送受信面７１Ａ
に配置する方法としてはこの他種々の方法を適用でき
る。

【００６０】さらに上述の第２実施例においては、各受
信素子電極４１の電極配置領域７１Ｃ内におけるＸ座標
値及びＹ座標値の求め方としてコンピユータに乱数を発
生させる方法を適用するようにした場合について述べた
が、本発明はこれに限らず、各受信素子電極４１の電極
配置領域７１Ｃ内におけるＸ座標値及びＹ座標値の求め
方としては人為的にランダムに決定する等この他種々の
方法を適用できる。

【００６１】さらに上述の第１及び第２実施例において
は、スイツチ部３２、３２Ｘ、３２Ｙのスイツチが第１
のスイツチ切換え端３２Ａ、３２ＸＡ、３２ＹＡに接続
後、直ちに第２のスイツチ切換え端３２Ｂ、３２ＸＢ、
３２ＹＢに切り換わることにより超音波送受信器３３、
７１の各受信素子電極４１と対向する領域外の圧電層４
４内部で発生した信号電圧を放電するようにした場合に
ついて述べたが、例えばパルス発生手段のインピーダン
スが小さいときにはスイツチ部３２、３２Ｘ、３２Ｙを
設けくても良い。この場合でも同様の効果を得ることが
できる。

【００６２】さらに上述の第２実施例においては、近接
する３つが同一直線上に位置せず、かつ一面に均一に分
散するように各当該受信素子電極４１を超音波送受信器
７１の送受信面７１Ａに配置するようにした場合につい
て述べたが、本発明はこれに限らず、要は各受信素子電
極４１の出力に基づく表示映像にゴーストが発生しない
ように当該各受信素子電極４１を超音波送受信器７１の
送受信面７１Ａにランダムに配置するのであれば、受信
素子電極４１の配置条件としてこの他種々の配置条件を
適用できる。

【００６３】

【発明の効果】上述のように本発明によれば、基板の一
面に複数の電極を配置し、当該電極及びその周辺部を除
く当該基板の一面全面に当該電極と絶縁した状態に導電
性の駆動電極層を形成すると共に当該電極及び駆動電極
層に圧電変換手段を積層し、かつ各電極を基板の裏面に
配置されたインピーダンス変換手段と当該基板を貫通す
る導電性の接続手段を用いて電気的に接続すると共に、
当該各電極が受信した信号電圧を接続手段及びインピー
ダンス変換手段を介して出力するようにしたことによ
り、煩雑な調整作業を必要とせずに超音波の送信部とし
ての圧電変換手段と受信部としての電極との間に常に一
定の位置関係を得ることができると共に、当該各電極か
ら出力された信号電圧をそれぞれ効率良く伝送すること
ができ、かくして信号電圧の伝送効率を低下させずに広
い領域から入射する超音波を高感度で検出できると共
に、煩雑な調整作業を必要としない超音波送信及び又は
受信装置を実現できる。また本発明によれば、超音波受
信装置において、超音波の受信面に複数の受波手段を、
隣接する少なくとも３つの中心が同一直線上に位置しな
いように、受信面の全面に分散して配置するようにした
ことにより、アーチフアクトの発生を有効に防止するこ
とができ、かくして信頼性の高い超音波受信装置を実現
できる。さらに本発明によれば、超音波送受信装置にお
いて、超音波の送受信面に複数の受波手段を全面に分散
して設けると共に、当該送受信面に送波手段を全面に亘
つて受波手段を避けて設けるようにしたことにより、受
波手段及び送波手段の位置関係を常に一定とすることが
でき、かくして煩雑な調整作業を必要としない超音波送
受信装置を実現できる。さらに本発明によれば、超音波
受信装置において、基板の一面に複数の圧電変換手段を
設けると共に、圧電変換手段にそれぞれ対応させて基板
の他面にインピーダンス変換手段を設け、各圧電変換手
段から出力される信号をインピーダンス変換手段を介し
て外部に出力するようにしたことにより、各圧電変換手
段から出力される信号をそれぞれ効率良く外部に出力す
ることができ、かくして信号電圧の伝送効率を低下させ
ずに広い領域から入射する超音波を高感度で検出できる
超音波受信装置を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例による超音波診断装置の全体構成を
示すブロツク図である。

【図２】第１実施例による超音波送受信器の送受信面の
様子を示す平面図である。

【図３】第１実施例による超音波送受信器を示す断面図
である。

【図４】受信信号出力部の詳細を示す平面図である。

【図５】インピーダンス変換回路の詳細を示す回路図で
ある。

【図６】第２実施例による超音波診断装置の全体構成を
示すブロツク図である。

【図７】第２実施例による超音波送受信器の送受信面の
様子を示す平面図である。

【図８】第２実施例による超音波送受信器を示す断面図
である。

【図９】アーチフアクトの説明に供する概念的な斜視図
である。

【図１０】受信素子電極の分布の均一性の説明に供する
概念的な斜視図である。

【図１１】受信素子電極存在領域を示す平面図である。

【図１２】受信素子電極存在領域における各受信素子電
極の配置方法の説明に供する平面図である。

【図１３】他の実施例を示す略線的な斜視図である。

【図１４】他の実施例を示す略線的な斜視図である。

【図１５】従来の超音波診断装置の全体構成を示すブロ
ツク図である。

【図１６】各受信素子に入射する散乱波の様子を示す略
線的な斜視図である。

【図１７】各受信素子から出力される受信信号の様子を
示す波形図である。

【図１８】受波面が円形状に形成された受信素子の指向
性の説明に供する特性曲線図である。

【図１９】受信素子及びリード線間における静電容量の
等価回路を示す回路図である。

【符号の説明】

１、３０、７０……超音波診断装置、３、４……送信
器、５……受信器、３３、７１……超音波送信及び又は
受信装置（超音波受信器）、３４……受波手段（受信信
号出力部）、４０……基板（プリント基板）、４１……
電極（受信素子電極）、４２……周辺部（リング状ギヤ
ツプ）、４３……駆動電極層、送波手段（駆動電極層）
４４……圧電変換手段、送波手段（圧電層）、４７……
接続手段（スルーホール）、４８……インピーダンス変
換手段（インピーダンス変換回路）、Ｓ２、Ｓ１１……
信号（受信信号）。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 瀬上 隆 東京都国分寺市東元町３丁目20番41号リ オン株式会社内 (72)発明者 落合 勉 東京都国分寺市東元町３丁目20番41号リ オン株式会社内 (56)参考文献 特開 平４−232425（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−143265（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−234697（ＪＰ，Ａ)

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板と、 上記基板の一面に配置された複数の電極と、 上記基板の上記一面のうち上記各電極及び上記各電極の
   周辺部を除くほぼ全面に亘つて上記各電極と絶縁した状
   態に形成された導電性の駆動電極層と、 上記電極及び上記駆動電極層に積層され、外部から入射
   する超音波の強度に応じた信号レベルの信号電圧を上記
   厚さ方向に発生すると共に、上記駆動電極層に所定電圧
   の駆動信号が供給されたときに励振することにより外部
   に所定周波数の超音波を放射する圧電変換手段と、 上記基板の他面に配置されたインピーダンス変換機能を
   有するインピーダンス変換手段と、 上記基板を貫通して上記各電極及び上記インピーダンス
   変換手段を電気的に接続する接続手段とを具え、上記各
   電極と対向する領域内にある上記圧電変換手段の内部で
   発生した上記信号電圧を、それぞれ対応する上記各電
   極、上記接続手段及び上記インピーダンス変換手段を介
   して出力することを特徴とする超音波送信及び又は受信
   装置。
2. 【請求項２】超音波の受信面に複数設けられ、入射する
   上記超音波の強度に応じた信号レベルの信号を出力する
   受波手段 を具え、 上記受波手段は、 近接する少なくとも３つの中心が同一直線上に位置しな
   いように、上記受信面の全面に分散して配置された こと
   を特徴とする超音波受信装置。
3. 【請求項３】上記受信面は、基板の一面であり、 上記受波手段は、圧電変換材料を用いて形成され、 各上記受波手段にそれぞれ対応させて上記基板の他面に
   設けられたインピーダンス変換機能を有するインピーダ
   ンス変換手段を具え、 各上記受波手段から出力される上記信号を上記インピー
   ダンス変換手段を介して外部に出力する ことを特徴とす
   る請求項２に記載の超音波受信装置。
4. 【請求項４】超音波の送受信面の全面に分散して設けら
   れ、入射する上記超音波の強度に応じた信号レベルの信
   号を出力する複数の受波手段と、 上記送受信面の全面に亘つて上記受波手段を避けて設け
   られた、上記超音波を送波する送波手段と を具えること
   を特徴とする超音波送受信装置。
5. 【請求項５】上記受波手段は、 近接する少なくとも３つの中心が同一直線上に位置しな
   いように上記送受信面に設けられた ことを特徴とする請
   求項４に記載の超音波送受信装置。
6. 【請求項６】上記送受信面は、基板の一面であり、 上記受波手段は、圧電変換材料を用いて形成され、 上記受波手段にそれぞれ対応させて上記基板の他面に設
   けられたインピーダンス変換機能を有するインピーダン
   ス変換手段を具え、 各上記受波手段から出力される上記信号を上記インピー
   ダンス変換手段を介して外部に出力する ことを特徴とす
   る請求項４又は請求項５に記載の超音波送受信装置。
7. 【請求項７】基板の一面に複数設けられ、入射する上記
   超音波の強度に応じた信号レベルの信号を出力する圧電
   変換手段と、 各上記圧電変換手段にそれぞれ対応させて上記基板の他
   面に設けられたインピーダンス変換機能を有するインピ
   ーダンス変換手段と を具え、 各上記圧電変換手段から出力される上記信号を上記イン
   ピーダンス変換手段を介して外部に出力する ことを特徴
   とする超音波受信装置。